KR20070064382A - Substrate carrier having an interior lining - Google Patents

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KR20070064382A
KR20070064382A KR1020060105836A KR20060105836A KR20070064382A KR 20070064382 A KR20070064382 A KR 20070064382A KR 1020060105836 A KR1020060105836 A KR 1020060105836A KR 20060105836 A KR20060105836 A KR 20060105836A KR 20070064382 A KR20070064382 A KR 20070064382A
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마이클 라이스
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

A substrate carrier is provided to prevent a substrate from being exposed to contaminants by using an inner lining. A substrate carrier includes a substrate carrier body, a substrate carrier door, and a lining. The substrate carrier body(102) is used for defining an inner upper wall(106), an inner lower wall(110) and an inner region(104) restricted by a plurality of inner sidewalls(108). The carrier door(114) is connected to the substrate carrier body. The substrate carrier door includes an inner wall for defining doubly the inner region. The lining(116) is partially formed along the inner wall of the substrate carrier door and the substrate carrier body to prevent the penetration of gas into the inner region.

Description

내부 라이닝을 갖는 기판 캐리어{SUBSTRATE CARRIER HAVING AN INTERIOR LINING}Substrate carrier with inner lining {SUBSTRATE CARRIER HAVING AN INTERIOR LINING}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 예시적인 기판 캐리어의 단면도,1 is a cross-sectional view of an exemplary substrate carrier in accordance with an embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 제 2 예시적인 기판 캐리어의 단면도.2 is a cross-sectional view of a second exemplary substrate carrier in accordance with an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명** Brief description of the major symbols in the drawings *

100: 기판 캐리어 102: 기판 캐리어 바디100 substrate substrate 102 substrate carrier body

104; 내부 영역 106: 상부 내부벽104; Interior Zone 106: Upper Inner Wall

108: 내부 측벽 110: 내부 하부벽108: internal sidewall 110: internal bottom wall

114: 캐리어 도어 116: 라이닝114: carrier door 116: lining

본 출원은 "SUBSTRATE CARRIER HAVING AN INTERIOR LINING"이란 명칭으로 2005년 12월 16일자로 출원된 미국 가특허출원 No.60/751,105호의 우선권을 청구하며, 상기 문헌은 본 명세서에서 참조된다.This application claims the priority of US Provisional Patent Application No. 60 / 751,105, filed Dec. 16, 2005, entitled "SUBSTRATE CARRIER HAVING AN INTERIOR LINING," which is incorporated herein by reference.

본 발명은 전자 소자의 제조에 관한 것으로, 특히 내부 라이닝을 가지는 기판 캐리어에 관한 것이다.The present invention relates to the manufacture of electronic devices, and more particularly to a substrate carrier having an inner lining.

일반적으로 임의의 잠재적인 오염 입자들에 기판들(예를 들어, 패터닝된 또는 패터닝되지 않은 반도체 웨이퍼들, 글래스 패널들, 폴리머 기판들, 레티클들(reticules), 마스크들, 글래스 플레이트들 등)이 노출되는 것을 보호하는 것이 바람직하다. 따라서, 이러한 기판들은 밀폐된(air tight) 콘테이너들에 저장된다. 그러나 기판들은 통상적으로 전자 소자 제조 설비내의 상이한 프로세스 툴들로 전송되어야 한다. 종래의 기판 캐리어들은 밀폐된 콘테이너들을 제공하지 않는다. 따라서, 기판이 잠재적인 오염 입자들에 노출되지 않으면서 기판을 액세스하는 방법 및 시스템 및 밀폐가능한 콘테이너에서 기판을 이송하는 방법 및 장치가 요구된다. In general, any potential contaminating particles may have substrates (eg, patterned or unpatterned semiconductor wafers, glass panels, polymer substrates, reticules, masks, glass plates, etc.). It is desirable to protect the exposure. Thus, these substrates are stored in air tight containers. However, substrates typically have to be transferred to different process tools in an electronic device manufacturing facility. Conventional substrate carriers do not provide closed containers. Accordingly, what is needed is a method and system for accessing a substrate without exposing the substrate to potential contaminant particles and a method and apparatus for transporting the substrate in a sealable container.

본 발명의 목적은 밀폐가능한 콘테이너에서 기판을 이송하는 방법 및 장치, 및 액세스되는 기판이 오염 입자에 노출되지 않는 방법 및 시스템을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a method and apparatus for transferring a substrate in a sealable container and a method and system in which the substrate being accessed is not exposed to contaminating particles.

일 면에서, 본 발명은, 내부 상부 벽, 내부 하부 벽 및 다수의 내부 측벽들에 의해 제한되는 내부 영역을 한정하는 기판 캐리어 바디; 내부 영역을 보다 한정하는 내부 벽을 가지며 기판 캐리어 바디에 결합되는 기판 캐리어 도어; 및 기판 캐리어의 내부 영역 안팎으로의 가스 침투를 방지하도록 구성된 기판 캐리어 도어의 내부 벽 및 기판 캐리어 바디의 내부 벽들중 적어도 일부를 따르는 라이닝을 포함하는 기판 캐리어를 제공한다.In one aspect, the present invention provides an apparatus comprising: a substrate carrier body defining an interior region defined by an interior top wall, an interior bottom wall and a plurality of interior sidewalls; A substrate carrier door coupled to the substrate carrier body, the substrate carrier door having an interior wall to further define the interior region; And a lining along at least some of the interior wall of the substrate carrier door and the interior walls of the substrate carrier body configured to prevent gas penetration into and out of the interior region of the substrate carrier.

또 다른 면에서, 본 발명은, 기판 캐리어 바디에 의해 한정된 기판 캐리어의 내부 상부벽을 따라 위치되도록 구성된 상부 부분; 기판 캐리어 바디에 의해 한정된 기판 캐리어의 하부벽을 따라 위치되도록 구성된 하부 부분; 기판 캐리어 바디에 의해 한정된 기판 캐리어의 해당 내부 측벽들을 따라 위치되도록 구성된 다수의 측면 부분들; 및 기판 캐리어 도어의 내부벽을 따라 위치되도록 구성된 추가 부분을 포함하는 기판 캐리어 라이닝을 제공한다. 라이닝 부분들은 기판 캐리어의 내부 영역 안팎으로 가스 침투를 방지하도록 구성된다.In another aspect, the present invention provides an apparatus comprising: an upper portion configured to be positioned along an inner top wall of a substrate carrier defined by a substrate carrier body; A lower portion configured to be positioned along a lower wall of the substrate carrier defined by the substrate carrier body; A plurality of side portions configured to be positioned along corresponding inner sidewalls of the substrate carrier defined by the substrate carrier body; And an additional portion configured to be positioned along an inner wall of the substrate carrier door. The lining portions are configured to prevent gas penetration into and out of the inner region of the substrate carrier.

또 다른 면에서, 본 발명은, 내부 상부벽, 내부 하부벽 및 다수의 내부 측벽들에 의해 제한되는 내부 영역을 한정하는 기판 캐리어 바디를 형성하는 단계; 내부 영역을 보다 한정하는 내부벽을 가지는 기판 캐리어 도어를 형성하는 단계; 및 기판 캐리어 도어의 내부벽과 기판 캐리어 바디의 내부벽의 적어도 일부를 따르는 라이닝을 형성하는 단계를 포함하는 기판 캐리어 제조 방법을 제공한다. 라이닝은 기판 캐리어의 내부 영역 안팎으로 가스의 침투를 방지하도록 구성된다.In another aspect, the present invention provides a method of forming a substrate carrier comprising: forming a substrate carrier body defining an interior region defined by an interior top wall, an interior bottom wall and a plurality of interior sidewalls; Forming a substrate carrier door having an interior wall further defining an interior region; And forming a lining along at least a portion of the inner wall of the substrate carrier door and the inner wall of the substrate carrier body. The lining is configured to prevent the ingress of gas into and out of the interior region of the substrate carrier.

또 다른 면에서, 본 발명은 기판 캐리어 및 기판 캐리어 내의 공간을 둘러싸도록 구성되며 둘러싸인 공간에 가스가 도달하는 것을 방지하도록 구성된 라이너를 포함하는 장치를 제공한다. 라이너는 기판 캐리어로부터 제거될 수 있다. 라이너는 자체-지지체일 수 있고/있거나 라이너는 기판 캐리어의 내부벽들에 의해 지지될 수 있다. 라이너는 기판 캐리어에 저장된 기판의 오염을 방지하기 위해 입자를 흡수하도록 구성될 수 있다.In another aspect, the invention provides an apparatus comprising a substrate carrier and a liner configured to enclose a space within the substrate carrier and configured to prevent gas from reaching the enclosed space. The liner may be removed from the substrate carrier. The liner may be a self-support and / or the liner may be supported by the inner walls of the substrate carrier. The liner may be configured to absorb particles to prevent contamination of the substrate stored in the substrate carrier.

본 발명의 다른 특징 및 면들은 하기의 상세한 설명, 첨부된 특허청구항 및 첨부되는 도면들로부터 보다 명확해 질 것이다.Other features and aspects of the present invention will become more apparent from the following detailed description, the appended claims, and the accompanying drawings.

본 발명은 전자 소자 제조에 관한 것으로, 특히 내부 라이닝을 가지는, 고청정도의 밀폐 용기(FOUP: Front Opening Unified Pod)와 같은 기판 캐리어에 관한 것이다. 기판 캐리어는 패터닝된 또는 패터닝되지 않은 반도체 웨이퍼들, 글래스 패널들, 폴리머 기판들, 레티클들, 마스크들, 글래스 플레이트들과 같은 하나 이상의 기판들을 보유하고 전송하는데 이용된다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the manufacture of electronic devices, and more particularly to substrate carriers, such as Front Opening Unified Pods (FOUPs), having internal linings. The substrate carrier is used to hold and transfer one or more substrates, such as patterned or unpatterned semiconductor wafers, glass panels, polymer substrates, reticles, masks, glass plates.

본 발명에 따라, 기판 캐리어는 내부 라이닝을 갖도록 제공된다. 본 명세서에서 사용되는 "라이닝"이란 용어는 캐리어의 내부 벽들에 장착 및/또는 캐리어의 내부 벽들에 적용되는 것이 자체-지지되거나, 삽입가능/제거가능하거나, 단독형이거나(free-standing), 단일 부품이거나 또는 다중 부품 구성인지에 따라, 라이닝, 라이너, 코팅 등을 포함한다. 다른 말로, 라이닝은 기판 캐리어의 하나 이상의 내부벽들에 위치되거나 또는 기판 캐리어로의 삽입을 위한 개별 구조물일 수 있다. 라이닝은 탈기체(outgassing) 또는 가스의 침투 및/또는 기판 캐리어의 벽들을 통해 기판 캐리어의 내부 영역으로부터의 입자들이 기판 캐리어 주변의 환경으로의 이송을 방지하는 역할을 할 수 있다. 또한 내부 라이닝은 기판 캐리어의 내부 영역, 및 기판 캐리어를 둘러싸는 환경 및/또는 기판 캐리어 벽들로부터 기판 캐리어의 내부로 가스 또는 오염물의 진입을 야기할 수 있는 기판 캐리어 내에 위치된 임의의 기판의 오염을 방지하는 역할을 한다.According to the invention, the substrate carrier is provided with an inner lining. As used herein, the term "lining" is self-supporting, insertable / removable, free-standing, single, mounted on and / or applied to the inner walls of the carrier. Linings, liners, coatings, and the like, depending on whether they are parts or multi-part configurations. In other words, the lining may be located on one or more inner walls of the substrate carrier or may be a separate structure for insertion into the substrate carrier. The lining may serve to prevent outgassing or infiltration of gas and / or particles from the interior region of the substrate carrier through the walls of the substrate carrier to the environment around the substrate carrier. The inner lining may also contaminate the interior area of the substrate carrier and any substrate located within the substrate carrier that may cause gas or contaminants to enter the substrate carrier from the environment surrounding the substrate carrier and / or from the substrate carrier walls. It serves to prevent.

예시적인 실시예에서, 라이닝은 기판 캐리어의 내부 부품들 및/또는 내부 벽상에 위치되거나, 결합되거나 또는 형성되는 재료 또는 시트일 수 있다. 예를 들 어, 라이닝은 글래스 시트, 글래스 코팅 등과 같이 가스 불침투성 재료일 수 있다. 또 다른 예시적 실시예에서, 라이닝은 실리콘 질화물, 실리콘 이산화물 등과 같은 유전체 재료, 또는 기판 캐리어의 벽을 통하는 가스의 침투 및/또는 입자들의 이송을 방지하거나 또는 실질적으로 방지하는 재료 또는 물질의 임의의 다른 시트일 수 있다.In an exemplary embodiment, the lining may be a material or sheet that is positioned, bonded or formed on the internal components and / or internal walls of the substrate carrier. For example, the lining may be a gas impermeable material such as glass sheet, glass coating, or the like. In another exemplary embodiment, the lining may be a dielectric material such as silicon nitride, silicon dioxide, or the like, or any material or material that prevents or substantially prevents the penetration of gases and / or the transport of particles through the walls of the substrate carrier. It may be another sheet.

또 다른 실시예에서, 라이닝은 가스 및/또는 입자들을 흡수하면서 동시에 이들의 침투를 방지하는 흡수 배리어일 수 있다. 흡수 배리어의 예로는 제습(desiccant) 재료 또는 특정 가스/증기에 대해 친화성이 있는 제습형 재료를 포함한다. 제습 재료는 예를 들어 재료에 따라 선택적 제습 로드로서 "개조(reconditioned)"될 수 있다. 부가적으로 또는 선택적으로 교체가능한 라이닝이 사용될 수 있다. 일반적으로, 라이닝은 개조, 재적용 및/또는 교체될 수 있다.In yet another embodiment, the lining may be an absorption barrier that absorbs gases and / or particles while preventing their penetration. Examples of absorption barriers include desiccant materials or dehumidifying materials that are compatible with certain gases / vapors. The dehumidifying material can be "reconditioned" as an optional dehumidifying rod, for example depending on the material. Additionally or alternatively replaceable linings may be used. In general, linings can be retrofitted, reapplied and / or replaced.

본 발명의 기판 캐리어는 임의의 수의 기판을 보유 및/또는 이송할 수 있다. 이와 관련하여, 본 발명의 기판 캐리어는 단일 기판 또는 다수의 기판을 보유 및/또는 이송할 수 있다.The substrate carrier of the present invention may hold and / or transport any number of substrates. In this regard, the substrate carrier of the present invention may hold and / or transport a single substrate or multiple substrates.

도 1은 전반적으로 참조부호 100으로 표시된 본 발명의 예시적인 기판 캐리어의 측단면도이다. 도 1을 참조로, 기판 캐리어(100)는 내부 영역(104)을 가지며 이를 한정하는 기판 캐리어 바디(102)를 포함한다. 내부 영역(104)은 상부 내부벽(106), 내부 측벽(108) 및 내부 하부벽(110)에 의해 제한되고 한정될 수 있다. 또한 기판 캐리어(100)는 기판, 또는 참조부호 112로 표시된 기판을 보유하고 지지하는 장치를 포함할 수 있다. 예시적인 실시예에서, 기판 캐리어(100)는 임의의 수 의 기판을 보유 및/또는 이송하도록 장착 및 구성될 수 있다. 다시 도 1을 참조로, 기판 캐리어는 도시된 것처럼 기판 캐리어 도어(114)를 포함한다.1 is a cross-sectional side view of an exemplary substrate carrier of the present invention generally indicated by the numeral 100. Referring to FIG. 1, substrate carrier 100 includes a substrate carrier body 102 having and defining an interior region 104. Interior region 104 may be limited and defined by top interior wall 106, interior sidewall 108 and interior bottom wall 110. The substrate carrier 100 may also include a substrate, or an apparatus for holding and supporting the substrate indicated by reference numeral 112. In an exemplary embodiment, the substrate carrier 100 may be mounted and configured to hold and / or transport any number of substrates. Referring again to FIG. 1, the substrate carrier includes a substrate carrier door 114 as shown.

도 1의 예시적인 실시예에서, 기판 캐리어(100)는 도시된 것처럼, 내부 상부벽(106), 각각의 내부 측벽(108) 및 내부 하부벽(110) 상에 라이닝(116)을 포함한다. 라이닝(116)은 임의의 코너 영역을 포함하여, 벽 전체 또는 벽의 일부 또는 벽상에 배치되거나, 또는 이들을 따라 위치되거나, 또는 이들 상부 또는 이들을 따르게 형성될 수 있다. 마찬가지로, 라이닝(116)은 각각의 벽 또는 벽들과 인접하게 위치된 기판 캐리어의 부품 상에 배치되거나, 또는 상기 부품을 따라 위치되거나, 또는 상기 부품 상에 또는 상기 부품을 따라 형성될 수 있다.In the exemplary embodiment of FIG. 1, the substrate carrier 100 includes linings 116 on the inner top wall 106, each of the inner sidewalls 108 and the inner bottom wall 110, as shown. The lining 116 may be formed to be disposed along or positioned along or along or over or along the wall, including any corner area. Likewise, lining 116 may be disposed on or along the part of the substrate carrier positioned adjacent each wall or walls, or may be formed on or along the part.

또한 라이닝(116)은 기판 캐리어 도어(114)의 내부 측면에 부착된 부품 또는 기판 캐리어 도어(114)의 내부 측면의 전체 또는 일부 상에 배치되거나, 또는 이들을 따라 위치되거나 또는 이들 상에 또는 이들을 따르게 형성될 수 있다.The lining 116 may also be disposed on or positioned along or along or along parts attached to the inner side of the substrate carrier door 114 or the inner side of the substrate carrier door 114. Can be formed.

라이닝(116)은 글래스 시트 또는 글래스 코팅과 같은 가스 불침투성 재료일 수 있다. 또 다른 실시예에서, 라이닝(116)은 실리콘 질화물 시트 또는 코팅, 실리콘 이산화물 시트 또는 코팅 또는 또 다른 유전체 재료일 수 있다. 일반적으로, 라이닝(116)은 탈가스를 보호하고/보호하거나 기판 캐리어(100)의 내부 영역(104)으로/내부 영역(104)으로부터 가스 및/또는 입자들의 침투를 방지하는 보호 캐리어로서 작용할 수 있는 임의의 적합한 재료 또는 코팅일 수 있다.Lining 116 may be a gas impermeable material, such as a glass sheet or glass coating. In another embodiment, lining 116 may be a silicon nitride sheet or coating, a silicon dioxide sheet or coating, or another dielectric material. In general, the lining 116 may act as a protective carrier to protect outgassing and / or to prevent penetration of gases and / or particles into / from the inner region 104 of the substrate carrier 100. Any suitable material or coating that may be present.

또한 라이닝(116)은 가스 및/또는 입자들을 흡수하여 이들의 침투를 방지하는 흡수 배리어로서의 역할을 할 수 있다. 라이닝(116)에 적합한 예시적인 흡수 재료로는 제습 또는 제습형 재료 등이 포함된다. 이러한 방법으로, 기판 캐리어(100)의 내부 영역(104) 안쪽 및/또는 내부 영역(104) 밖으로의 가스 또는 입자들의 침투가 방지되거나, 또는 적어도 실질적으로 최소화될 수 있다.Lining 116 may also serve as an absorption barrier to absorb gases and / or particles and prevent their penetration. Exemplary absorbent materials suitable for lining 116 include dehumidifying or dehumidifying materials and the like. In this way, penetration of gases or particles into and out of the interior region 104 and / or out of the interior region 104 of the substrate carrier 100 can be prevented, or at least substantially minimized.

라이닝(116)은 가스 및/또는 입자 침투성의 실질적 최소화를 달성하기에 충분한 임의의 두께를 가질 수 있다. 예시적인 실시예에서, 라이닝(116)은 약 1 미크론 내지 약 50 미크론 범위의 두께를 갖지만, 불균일성 및/또는 가변 두께에 따라 다른 두께가 이용될 수 있다.Lining 116 may have any thickness sufficient to achieve substantial minimization of gas and / or particle permeability. In an exemplary embodiment, the lining 116 has a thickness in the range of about 1 micron to about 50 microns, although other thicknesses may be used depending on non-uniformity and / or varying thickness.

라이닝(116)은 기판 캐리어 바디(102)와 기판 캐리어 도어(114)의 내부 벽에 적적한 방식으로 제공될 수 있다. 예를 들어, 라이닝(116)은 (도어(114)를 포함하여) 기판 캐리어(100)의 부품 또는 각각의 내부벽들 상에 배치되거나, 아교접착되거나, 또는 다른방식으로 결합될 수 있는 시트 재료일 수 있다. 선택적으로, 라이닝(116)은 스프레이 코팅에 의해, 재료의 고체 시트로서 건조될 수 있는 액체 코팅으로 내부벽들 또는 부품들을 커버링에 의해 또는 임의의 다른 적절한 기술에 의해 제공될 수 있다. 또 다른 예시적 실시예에서, 라이닝(116)은 기판 캐리어(100)의 부품들 또는 각각의 내부벽들 상에 기상 증착될 수 있다. 일반적으로, 라이닝(116)은 임의의 적절한 형태(예를 들어 고체, 액체, 기체 등) 및/또는 임의의 적절한 방식으로 제공 및 장착될 수 있다.Lining 116 may be provided in a manner suitable to the inner walls of substrate carrier body 102 and substrate carrier door 114. For example, lining 116 may be a sheet material (including door 114) that may be disposed on, glued, or otherwise bonded to a component of substrate carrier 100 or respective inner walls. Can be. Optionally, lining 116 may be provided by spray coating, covering the inner walls or parts with a liquid coating that may be dried as a solid sheet of material, or by any other suitable technique. In yet another exemplary embodiment, the lining 116 may be vapor deposited on the components of the substrate carrier 100 or the respective inner walls. In general, lining 116 may be provided and mounted in any suitable form (eg, solid, liquid, gas, etc.) and / or in any suitable manner.

라이닝(116)은 기판 캐리어(100)의 내부 영역(104)으로부터, 각각의 벽들(106, 108, 110) 및/또는 기판 캐리어 도어(114)로 및/또는 이를 통해, 기판 캐리어(100) 주변 환경으로 임의의 가스 또는 입자들이 침투되는 것을 방지하는 역할을 한다. 또한 라이닝(116)은 기판 캐리어 주변 환경 또는 기판 캐리어 부품 자체로부터 기판 캐리어의 내부 영역(104)으로 오염물이 통과하는 것을 방지하는 역할을 한다.The lining 116 extends from the interior region 104 of the substrate carrier 100 to and / or through the respective walls 106, 108, 110 and / or the substrate carrier door 114, around the substrate carrier 100. Serves to prevent the penetration of any gas or particles into the environment. The lining 116 also serves to prevent contaminants from passing through the environment around the substrate carrier or the substrate carrier component itself to the interior region 104 of the substrate carrier.

도 1은 다수의 기판을 보유하도록 구성된 예시적인 기판 캐리어를 나타내지만, 또 다른 실시예에서, 본 발명의 기판 캐리어는 도 2에 도시된 것처럼 단지 하나의 기판 또는 몇 개의 기판을 보유하도록 설계 또는 구성될 수 있다. Although FIG. 1 illustrates an exemplary substrate carrier configured to hold multiple substrates, in another embodiment, the substrate carrier of the present invention is designed or configured to hold only one substrate or several substrates as shown in FIG. 2. Can be.

도 2는 참조번호 200으로 표시된 본 발명에 따라 제공되는 예시적인 또 다른 기판 캐리어의 측단면도이다. 도 2를 참조로, 기판 캐리어(200)는 내부 영역(204)을 갖는 기판 캐리어 바디(202)를 포함한다. 내부 영역(204)은 상부 내부벽(206), 내부 측벽들(208) 및 내부 하부벽(210)에 의해 제한된다.2 is a side cross-sectional view of another exemplary substrate carrier provided in accordance with the present invention, indicated at 200. 2, the substrate carrier 200 includes a substrate carrier body 202 having an interior region 204. Interior region 204 is limited by top interior wall 206, interior sidewalls 208 and interior bottom wall 210.

또한 기판 캐리어(200)는 예시적 실시예에서 내부 하부벽(210)상에 장착되거나 부착될 수 있는 기판 캐리어 도어(212) 및 기판 지지 장치(214)를 포함한다.The substrate carrier 200 also includes a substrate carrier door 212 and a substrate support device 214 that can be mounted or attached to the inner bottom wall 210 in an exemplary embodiment.

또한 기판 캐리어(200)는 도시된 것처럼 내부 상부벽(206), 각각의 내부 측벽(208) 및 내부 하부벽(210) 상의 라이닝(216)을 포함한다.The substrate carrier 200 also includes an inner top wall 206, a respective inner sidewall 208 and a lining 216 on the inner bottom wall 210 as shown.

도 2의 예시적 실시예에서, 라이닝(216)은 기판 캐리어(200)의 임의의 코너 영역을 포함하여, 벽 전체 또는 일부 또는 벽들 또는 다른 내부 부품 상에 또는 이들을 따라 배치되거나, 이들 상에 위치되거나, 또는 이들 상에 또는 이들을 따라 형성될 수 있다. 예를 들어, 지지 장치(214), 또는 지지 장치의 부분들이 라이닝(216)을 포함할 수 있다.In the example embodiment of FIG. 2, the lining 216 includes any corner area of the substrate carrier 200, disposed on or along the entire wall or in part or walls or other internal components, or located thereon. Or may be formed on or along them. For example, the support device 214, or portions of the support device, may include linings 216.

또한 기판 캐리어(200)는 기판 캐리어 도어(212)의 내부 측면 전체 또는 일 부상에 라이닝(216)을 포함할 수 있다.The substrate carrier 200 may also include linings 216 on the entire inner side of the substrate carrier door 212 or on one float.

라이닝(216)은 글래스 시트 또는 글래스 코팅과 같은 가스 불침투성 재료일 수 있다. 또 다른 실시예에서, 라이닝(216)은 실리콘 질화물 시트 또는 코팅, 실리콘 이산화물 시트 또는 코팅, 또는 또 다른 유전체 재료일 수 있다. 일반적으로, 라이닝(216)은 탈가스를 보호하고/보호하거나 기판 캐리어(200)의 내부 영역(204)으로 및/또는 내부 영역(204)으로부터 가스 및/또는 입자들의 침투를 방지하는 보호 배리어로서의 역할을 하는 임의의 적절한 재료 또는 코팅일 수 있다.Lining 216 may be a gas impermeable material such as glass sheet or glass coating. In another embodiment, lining 216 may be a silicon nitride sheet or coating, a silicon dioxide sheet or coating, or another dielectric material. In general, lining 216 serves as a protective barrier that protects outgassing and / or prevents penetration of gases and / or particles into and / or from interior regions 204 of substrate carrier 200. It can be any suitable material or coating that serves.

또한 라이닝(216)은 가스 및/또는 입자들을 흡수하여 이들의 침투를 방지하는 흡수 배리어로서의 역할을 할 수 있다. 라이닝(216)에 적합한 예시적인 흡수 재료는 제습 또는 제습형 재료 등이 포함된다. 이런 방식으로, 가스 또는 입자들의 기판 캐리어(200) 내부 영역(204)으로의 및/또는 내부 영역(204)으로부터의 침투가 방지되거나, 적어도 실질적으로 최소화될 수 있다.Lining 216 may also serve as an absorption barrier to absorb gases and / or particles and prevent their penetration. Exemplary absorbent materials suitable for lining 216 include dehumidifying or dehumidifying materials and the like. In this way, penetration of gas or particles into and / or from the interior region 204 of the substrate carrier 200 can be prevented, or at least substantially minimized.

도 1의 라이닝(116)과 유사한 도 2의 라이닝(216)은 임의의 원하는 두께를 가질 수 있다. 일 실시예에서, 라이닝(216)은 약 1 미크론 내지 약 50 미크론 범위의 두께를 가질 수 있다. 또한, 도 1의 라이닝(116)과 마찬가지로, 라이닝(216)은 고체, 액체 또는 가스 상태로 임의의 적절한 방식으로 적용될 수 있다.Similar to the lining 116 of FIG. 1, the lining 216 of FIG. 2 may have any desired thickness. In one embodiment, lining 216 may have a thickness in the range of about 1 micron to about 50 microns. Further, like lining 116 of FIG. 1, lining 216 may be applied in any suitable manner in a solid, liquid or gaseous state.

라이닝(216)은 임의의 가스 및/또는 입자들이 기판 캐리어(200)의 내부 영역(204)으로 또는 내부 영역(204)으로부터 각각의 벽들(206, 208, 210) 및/또는 기판 캐리어 도어(212)로 및/또는 이들을 통해 침투되는 것을 방지하는 역할을 한다.Lining 216 allows any gas and / or particles to enter or separate from respective walls 206, 208, 210 and / or substrate carrier door 212 into or out of interior region 204 of substrate carrier 200. ) And / or to prevent penetration through them.

일부 실시예에서, 라이닝(116, 216)은 기판 캐리어(100, 200)의 바디 또는 쉘(shell) 및/또는 도어(114, 212)를 형성하기 위해 이용되는 재료가 기판 캐리어(100, 200)에 저장된 기판을 탈가스 및 오염시키는 것을 방지하는 역할을 한다. 부가적으로, 라이닝(116, 216)은 예를 들어, 기판으로부터 방출 또는 탈가스화된 반응성 종들이 기판 캐리어 재료를 공격하는 것을 방지하는 보호 라이닝으로서의 역할을 한다. 라이닝(116, 216)은 기판 캐리어가 변경되도록 구성되는 방법 및/또는 재료를 허용할 수 있다. 예를 들어, 비용이 적은 및/또는 보다 용이하게 제조가능한 재료는 라이닝이 없이 허용되지 않을 수 있는 기판 캐리어에 대해 이용될 수 있다(예를 들어, 라이닝은 기판(들) 및 기판 캐리어 재료 사이에 필요한 배리어 또는 절연을 제공한다).In some embodiments, the linings 116, 216 may be formed of the substrate carriers 100, 200 with the material used to form the body or shell of the substrate carriers 100, 200 and / or the doors 114, 212. Serves to prevent degassing and contamination of the substrate stored in the substrate. Additionally, linings 116 and 216 serve as protective linings, for example, to prevent reactive species released or degassed from the substrate attacking the substrate carrier material. Linings 116 and 216 may allow for methods and / or materials in which the substrate carrier is configured to be altered. For example, less expensive and / or more readily manufacturable materials may be used for substrate carriers that may not be acceptable without lining (eg, lining may be used between the substrate (s) and the substrate carrier material). Provide the necessary barrier or insulation).

본 발명은 다양한 예시적 실시예로 개시 및 도시되었지만, 이러한 설명은 단지 본 발명을 표현하기 위한 것으로, 본 발명의 범주를 제한하지는 않는다. 이와 관련하여, 본 발명은 하기 특허청구범위로만 제한되는 본 발명의 범주내에서 임의의 다양한 변형, 변경 및/또는 변조 실시예들을 포함한다.While the present invention has been disclosed and illustrated in various exemplary embodiments, this description is for illustrative purposes only and does not limit the scope of the invention. In this regard, the present invention includes any of a variety of variations, modifications, and / or modulation embodiments within the scope of the invention, which are limited only by the following claims.

본 발명에 따라 기판이 잠재적인 오염 입자들에 노출되지 않으면서 기판을 액세스하는 방법 및 시스템 및 밀폐가능한 콘테이너에서 기판을 이송하는 방법 및 장치가 달성된다. According to the present invention, a method and system for accessing a substrate without exposing the substrate to potential contaminating particles and a method and apparatus for transporting the substrate in a sealable container are achieved.

Claims (32)

내부 상부벽, 내부 하부벽 및 다수의 내부 측벽들에 의해 제한되는 내부 영역을 한정하는 기판 캐리어 바디;A substrate carrier body defining an interior region defined by an interior top wall, an interior bottom wall and a plurality of interior sidewalls; 상기 기판 캐리어 바디에 결합되며, 상기 내부 영역을 보다 한정하는 내부벽을 가지는 기판 캐리어 도어; 및A substrate carrier door coupled to the substrate carrier body, the substrate carrier door having an inner wall further defining the inner region; And 상기 기판 캐리어의 내부 영역 안팎으로의 가스 침투를 방지하도록 구성된 상기 기판 캐리어 도어의 상기 내부벽 및 상기 기판 캐리어 바디의 상기 내부벽의 적어도 일부를 따르는 라이닝Lining along at least a portion of the inner wall of the substrate carrier door and the inner wall of the substrate carrier body configured to prevent gas penetration into and out of the inner region of the substrate carrier 을 포함하는 기판 캐리어.Substrate carrier comprising a. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 라이닝은 실리콘 질화물 및 실리콘 이산화물 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the lining comprises at least one of silicon nitride and silicon dioxide. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 라이닝은 약 1 미크론 내지 약 50 미크론 범위의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the lining has a thickness in a range from about 1 micron to about 50 microns. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 라이닝은 상기 기판 캐리어의 내부 영역으로부터의 탈가스를 방지하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the lining is configured to prevent outgassing from an interior region of the substrate carrier. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 라이닝은 주변 환경으로부터 상기 기판 캐리어 속으로 그리고 상기 기판 캐리어로의 내부 영역으로부터 상기 주변 환경으로 입자들이 전달되는 것을 방지하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the lining is configured to prevent particles from transferring from the surrounding environment into the substrate carrier and from the interior region to the substrate carrier to the surrounding environment. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 라이닝은 불침투성 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the lining is formed of an impermeable material. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 라이닝은 글래스 시트 또는 글래스 코팅인 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the lining is a glass sheet or glass coating. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 라이닝은 유전체 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the lining is formed of a dielectric material. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 라이닝은 상기 기판 캐리어의 내부 영역으로부터 또는 상기 주변 환경 으로부터의 입자들을 흡수하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the lining is configured to absorb particles from the interior region of the substrate carrier or from the surrounding environment. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 라이닝은 제습 재료 또는 제습형 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the lining is formed of a dehumidifying material or a dehumidifying material. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 라이닝은 적어도 개조, 재적용 및 교체되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the lining is configured to at least be adapted, reapplied and replaced. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 캐리어는 하나의 기판을 저장하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the substrate carrier is configured to store one substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 캐리어는 하나 이상의 기판들을 저장하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어.And the substrate carrier is configured to store one or more substrates. 기판 캐리어 라이닝으로서,As a substrate carrier lining, 판 캐리어 바디에 의해 한정된 기판 캐리어의 내부 상부벽을 따라 위치되도 록 구성된 상부 부분;An upper portion configured to be positioned along an inner top wall of the substrate carrier defined by the plate carrier body; 상기 기판 캐리어 바디에 의해 한정된 기판 캐리어의 하부벽을 따라 위치되도록 구성된 하부 부분;A lower portion configured to be positioned along a lower wall of the substrate carrier defined by the substrate carrier body; 상기 기판 캐리어 바디에 의해 한정된 기판 캐리어의 해당 내부 측벽들을 따라 위치되도록 구성된 다수의 측면 부분들; 및A plurality of side portions configured to be positioned along corresponding inner sidewalls of the substrate carrier defined by the substrate carrier body; And 상기 기판 캐리어의 도어의 내부벽을 따라 위치되도록 구성된 추가의 부분An additional portion configured to be located along an inner wall of the door of the substrate carrier 을 포함하며, 상기 라이닝의 부분들은 상기 기판 캐리어의 내부 영역 안팎으로 가스의 침투를 방지하도록 구성된 기판 캐리어 라이닝.Wherein the portions of the lining are configured to prevent the ingress of gas into and out of the interior region of the substrate carrier. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 라이닝의 하나 이상의 부분들은 실리콘 질화물 및 실리콘 이산화물중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 라이닝.One or more portions of the lining include at least one of silicon nitride and silicon dioxide. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 라이닝의 하나 이상의 부분들은 약 1 미크론 내지 약 50 미크론 범위의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 라이닝.One or more portions of the lining have a thickness in the range of about 1 micron to about 50 microns. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 라이닝의 하나 이상의 부분들은 상기 기판 캐리어의 내부 영역으로부터의 탈가스를 방지하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 라이닝.One or more portions of the lining are configured to prevent outgassing from an interior region of the substrate carrier. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 라이닝의 하나 이상의 부분들은 주변 환경으로부터 상기 기판 캐리어로의 입자들의 이송 및 상기 기판의 내부 영역으로부터 상기 주변 환경으로의 입자들의 이송을 방지하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 라이닝.One or more portions of the lining are configured to prevent transfer of particles from an ambient environment to the substrate carrier and transfer of particles from an interior region of the substrate to the ambient environment. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 라이닝의 하나 이상의 부분들은 불침투성 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 라이닝.One or more portions of the lining are formed of an impermeable material. 제 19 항에 있어서,The method of claim 19, 상기 라이닝의 하나 이상의 부분들은 글래스 시트 또는 글래스 코팅인 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 라이닝.Substrate carrier lining, wherein at least one portion of the lining is a glass sheet or glass coating. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 라이닝의 하나 이상의 부분들은 유전체 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 라이닝.One or more portions of the lining are formed of a dielectric material. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 라이닝의 하나 이상의 부분들은 상기 기판 캐리어의 내부 영역으로부터 또는 상기 주변 환경으로부터 입자들을 흡수하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 라이닝.One or more portions of the lining are configured to absorb particles from an interior region of the substrate carrier or from the surrounding environment. 제 22 항에 있어서,The method of claim 22, 상기 라이닝의 하나 이상의 부분들은 제습 재료 또는 제습형 재료로 형성되는 것을 특징으로 하판 캐리어 라이닝.One or more portions of the lining are formed of a dehumidifying material or a dehumidifying material. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 라이닝의 하나 이상의 부분들은 적어도 개조, 재적용 및 교체되도록 구성되는 것을 특징으로 하판 캐리어 라이닝.One or more portions of the lining are configured to be at least adapted, reapplied and replaced. 기판 캐리어 제조 방법으로서,As a substrate carrier manufacturing method, 기판 캐리어 바디를 형성하는 단계 - 상기 기판 캐리어 바디는 내부 상부벽, 내부 하부벽 및 다수의 내부 측벽들을 한정함 - ;Forming a substrate carrier body, the substrate carrier body defining an inner top wall, an inner bottom wall and a plurality of interior sidewalls; 기판 캐리어 도어를 형성하는 단계 - 상기 기판 캐리어 도어는 내부 영역을 보다 한정하는 내부벽을 포함함 - ; 및Forming a substrate carrier door, the substrate carrier door including an interior wall that further defines an interior region; And 적어도 상기 기판 캐리어 내부벽들의 일부 및 상기 기판 캐리어 도어의 내부벽을 따르는 라이닝을 형성하는 단계 Forming a lining along at least some of the substrate carrier inner walls and the inner wall of the substrate carrier door 를 포함하며, 상기 라이닝은 상기 기판 캐리어의 내부 영역 안팎으로 가스 침투를 방지하도록 구성되는 기판 캐리어 제조 방법.Wherein the lining is configured to prevent gas penetration into and out of an interior region of the substrate carrier. 제 25 항에 있어서,The method of claim 25, 상기 기판 캐리어 바디를 형성하는 단계는 종래의 기판 캐리어 바디에 대해 이용되는 것보다 값싸거나 또는 보다 제조가능성있는 재료로 상기 기판 캐리어 바디를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 제조 방법.Forming the substrate carrier body comprises forming the substrate carrier body from a material that is cheaper or more manufacturable than that used for a conventional substrate carrier body. 제 25 항에 있어서,The method of claim 25, 적어도 상기 내부벽들의 일부 및 상기 기판 캐리어 도어의 내부벽을 따르는 라이닝을 형성하는 단계는 적어도 상기 기판 캐리어 바디의 내부벽들의 일부 및 상기 기판 캐리어 도어의 내부벽을 따르는 라이닝을 아교접착, 스프레이 또는 기상 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 캐리어 제조 방법.Forming a lining along at least a portion of the inner walls and the inner wall of the substrate carrier door may comprise gluing, spraying or vapor depositing at least a portion of the inner walls of the substrate carrier body and the lining along the inner wall of the substrate carrier door. Substrate carrier manufacturing method comprising a. 기판 캐리어; 및Substrate carrier; And 상기 기판 캐리어 내부 공간을 둘러싸고 상기 둘러싸인 공간에 가스가 도달하는 것을 방지하는 라이너A liner surrounding the substrate carrier internal space and preventing gas from reaching the enclosed space 를 포함하는 장치.Device comprising a. 제 28 항에 있어서,The method of claim 28, 상기 라이너는 상기 기판 캐리어로부터 제거가능한 것을 특징으로 하는 장치.And the liner is removable from the substrate carrier. 제 28 항에 있어서,The method of claim 28, 상기 라이너는 자체-지지체인 것을 특징으로 하는 장치.And the liner is a self-support. 제 28 항에 있어서,The method of claim 28, 상기 라이너는 상기 기판 캐리어의 내부 벽들에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 장치.And the liner is supported by inner walls of the substrate carrier. 제 28 항에 있어서,The method of claim 28, 상기 라이너는 상기 기판 캐리어에 저장된 기판들의 오염을 방지하도록 입자들을 흡수하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.And the liner is configured to absorb particles to prevent contamination of the substrates stored in the substrate carrier.
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