KR20070052135A - 레이저 열 전사 장치 및 그 장치를 이용한 레이저 열전사법 - Google Patents
레이저 열 전사 장치 및 그 장치를 이용한 레이저 열전사법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (10)
- 레이저 발진기를 이용하여 도너필름의 전사층을 유기 전계 발광소자의 발광층으로 형성하는 레이저 열 전사 장치에 있어서,상기 레이저 열 전사 장치 내에 전자석이 포함된 기판 스테이지와, 상기 기판 스테이지 상부와 소정간격 이격되어 자성체를 포함하는 밀착 프레임이 구비되는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 전자석과 상기 자성체 사이에는 자기력이 작용하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 전자석은 전압을 인가하기 위한 전기배선이 포함되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 자성체는 철, 니켈, 크롬 또는 자성을 갖는 유기물, 무기물 및 자성 나노 입자 중 적어도 하나의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 자성체는 상기 밀착 프레임의 상, 하부 또는 상기 밀착 프레임의 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 자성체는 밀착 프레임 자체인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 밀착 프레임은 상기 도너필름의 전사될 부분에 대응하는 패턴의 개구부가 형성되는 레이저 열 전사 장치.
- 제1 항에 있어서, 상기 기판 스테이지는 소정수의 관통 홀을 통해 상기 기판을 상부 또는 하부로 이동시키는 기판 지지대를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사장치.
- 챔버 내에 전자석이 구비된 기판 스테이지를 상에 기판을 위치시키는 단계와,상기 기판의 상부에 적어도 기재기판, 광-열 변환층 및 전사층이 구비된 도너필름을 위치시키는 단계와,상기 도너필름 상부에 자성체가 구비된 밀착 프레임을 위치시키는 단계와,상기 도너필름을 상기 기판 상에 라미네이션 하는 단계와,상기 도너필름 상에 레이저빔을 조사하여 상기 도너필름의 전사층 일부를 상기 기판 상에 전사시키는 단계를 포함하는 레이저 열 전사 장치를 이용한 레이저 열 전사법.
- 제9 항에 있어서, 상기 챔버는 진공챔버인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치를 이용한 레이저 열 전사법.
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