KR20070043744A - 검사용 광원 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사용 광원 장치에 관한 것으로, 다음과 같은 점을 특징으로 한다.

피검사 수광 소자에 소정의 광을 조사하는 검사용 광원 장치에 있어서, 발광부로부터의 출사광을 동일한 조도 분포로 하여 대상으로 하는 조사 범위를 분할하여 조사하는 복수개의 광학계를 구비함으로써, 분광 분포에 누락이 없고, 균일한 조도 분포를 가지고, 고속으로 광량이나 색의 전환이 가능하며, 유지보수가 불필요하고 수명이 긴, 소형화된 검사용 광원 장치를 실현할 수 있다.

피검사 수광 소자, 광원 장치, 발광부, 광학계, 유리 기둥, 미러, 지지부, 공동, 발광 다이오드

Description

검사용 광원 장치{LIGHT SOURCE FOR INSPECTION}

도 1은 종래의 할로겐 램프를 이용한 검사용 광원 장치의 일예를 나타내는 구성도이다.

도 2는 종래의 LED 램프를 이용한 검사용 광원의 일예를 나타내는 구성도이다.

도 3은 종래의 LED 램프를 이용한 광원 장치의 발광 분광 분포를 나타내는 설명도이다.

도 4는 본 발명의 검사용 광원 장치의 일실시예를 나타내는 구성도이다.

도 5는 본 발명에 있어서의 LED 램프의 발광 분광 분포를 나타내는 설명도이다.

도 6은 조도 균일화 소자에 있어서의 입사면의 대각선 길이와 전체 길이의 관계를 설명하는 설명도이다.

도 7은 본 발명의 검사용 광원 장치의 다른 실시예를 나타내는 구성도이다.

도 8은 본 발명의 제3 실시예를 나타낸 구성도이다.

* 도면의 주요 부호의 설명 *

1: LED 램프군 1a 내지 1e: 발광 소자군

2: 렌즈 A 3, 3a 내지 3e: 조도 균일화 소자

3f 내지 3k: 유리 로드 5: 빔 분리기

7: 광량 검출 소자 9: 피검사 촬상 소자

51a 내지 51p: 와이어 52: 고정 부재

53a 내지 53f: 지지부

본 발명은 수광 소자의 검사용 광원 장치에 관한 것으로서, 상세하게는, 검사용 광원의 수명의 개선과 소형 경량화 및 색과 광량의 고속 전환을 위한 개량에 관한 것이다.

종래에, 수광 소자의 검사에서는 소정의 광원을 이용하여 검사 대상인 수광 소자에 기존의 색이나 광량의 광을 조사하고, 수광 소자로부터 출력된 전기 신호를 모니터링하는 구성이 이용되고 있다.

종래에, 이와 같은 수광 소자의 검사에 이용되는 검사용 광원 장치에는 다음과 같은 것이 있다.

도 1은 종래의 할로겐 램프를 이용한 검사용 광원 장치의 일예를 나타내는 구성도이다.

도 1에 있어서, 할로겐 램프(31)는, 전류가 일정하게 되도록 제어되어 소정량의 발산광을 출사한다. 렌즈 A(32)는, 할로겐 램프(31)로부터 출사된 광속(光 束)을 대략 평행광으로 하고, 조리개(33)는 렌즈 A(32)의 광속을 제한하여 광량의 조정을 행한다. 조도 균일화 소자(42)는 조리개(33)를 통과하여 입사한 광의 조도 분포를 균일하게 하여 출사하고, 렌즈 B(40)는 조도 균일화 소자(42)의 출사광을 소정의 조사 면적으로 되도록 집광하여 피검사 촬상 소자(41)에 조사한다.

이와 같은 구성에 있어서, 조리개(33)와 조도 균일화 소자(42) 사이의 광로 상에는, ND(뉴트럴 밀도) 필터 A(35)와 컬러 필터(37)가 배치되고, 조도 균일화 소자(42)와 렌즈 B(40) 사이의 광로 상에는 ND 필터 B(39)가 배치된다. ND 필터 A(35)는, 원반 상에 회전 대칭으로 투과율이 상이한 ND 필터가 장착되어 있어, 모터 A(34)에 의해 원반을 회전시켜 투과율을 변화시킨다. 컬러 필터(37)는, 원반 상에 회전 대칭으로 투과하는 색이 상이한 필터가 장착되어 있어, 모터 B(36)에 의하여, 원반을 회전시켜 투과하는 광원의 색을 변화시킨다. ND 필터 B(39)의 구조는, ND 필터 A(35)와 동일하여, 모터 C(38)에 의해 원반을 회전시켜 투과율을 변화시킨다.

이 외에, 발광원으로서 LED(발광 다이오드) 램프를 이용한 촬상 소자 검사 장치가 있다(예를 들면 일본국 특개평 2-90645호 공보).

도 2는 종래의 LED 램프를 이용한 검사용 광원 장치의 일예를 나타내는 구성도이다.

도 2에 있어서, LED 램프 R(43), LED 램프 G(44), LED 램프 B(45)는, 대략 광량이 같은 것이며, 각각 동일 개수가 평면 상에 대칭으로 배치된다. 투과 확산판(46)은, 젖빛 유리 또는 유백색의 아크릴 등으로 되어 있고, LED 램프의 광축 상 에 배치된다. 각 LED 램프의 광속은, 이 투과 확산판(46)에 입사하고, 피검사 촬상 소자(41)에 조사된다. 이로써, 피검사 촬상 소자(41)에 대하여, 투과 확산판(46)이 확산 광원에 상당하게 된다.

그러나, 종래의 할로겐 램프를 이용한 검사용 광원 장치에서는, 이하와 같은 문제점이 있다.

할로겐 램프는 구동 전류를 변화시키면 광속과 동시에 색온도가 변화한다. 따라서 광량만 변경시키는 데에는 필터를 이용하지 않으면 안 된다. 도 1의 검사용 광원 장치에서는, ND 필터 A(35)와 ND 필터 B(39)를 각각 모터 A(34)와 모터 C(38)를 이용하여 회전시켜 광량을 변화시키지만, 기계적인 동작을 위한 전환 시간은 100msec 정도가 한계이다. 색온도의 전환의 경우에도 같은 시간이 필요하다. 검사의 고속화가 요구되는 용도에서는 이 전환 시간은 허용되지 않는다.

또, 할로겐 램프(1)의 수명(램프가 점등하지 않게 될 때까지의 시간)은 2000 시간 정도이지만, 통상적으로는 그 시간까지 도달하기 전에 광속이 저하되고, 색온도가 변화되어 버리기 때문에 2주간 내지 1개월 정도에 램프 교환을 행하는 것이 현재의 실정이다. 교환할 때에는, 검사 장치가 정지되어야 하므로 검사 작업이 중지된다.

또한, 피검사 촬상 소자(41)에 조사되는 광량의 확인을 위하여, 정기적으로 피검사 촬상 소자의 위치에 조도계를 두어 조도를 확인할 필요가 있다.

종래의 LED 램프를 이용한 검사용 광원 장치에서는, 이하와 같은 문제점이 있다.

R(적), G(녹), B(청) 3색의 LED로부터의 광속을 투과 확산판을 이용하여 공간적으로 합성하여 의사 백색광으로 하는 간이적인 광원이다. 따라서 분광 분포는 도 3에 나타낸 바와 같이 각각 국부적(R, G, B의 파장역)으로 밖에 존재하지 않는다. 그러므로 분광 분포가 누락된 파장 부분에서 일어나는 피검사 촬상 소자의 문제를 검출할 수 없다.

도 3은 종래의 LED 램프를 이용한 광원 장치의 발광 분광 분포를 나타내는 설명도이다.

도 3에 있어서, 가로축은 파장, 세로축은 상대 분광 방사 휘도를 나타내고 있다. 분광 분포의 피크가 파장 420nm 부근에 있는 LED 램프 B, 파장 540nm 부근에 있는 LED 램프 G, 파장 650nm 부근에 있는 LED 램프 R이 국부적으로 존재하고 있는 모양을 나타낸 것이다.

또, 도 2에 있어서 투과 확산판(46)을 이용하여 광속을 공간적으로 합성하고 있지만, 조도 분포나 색의 얼룩을 적게 하기 위해서는 투과 확산판(46)과 각 LED 램프의 거리나 투과 확산판(46)과 피검사 촬상 소자(41)의 거리를 충분히 확보할 필요가 있다. 그러나, 그러면 광량이 너무 저하되기 때문에, 실제적으로, 조도 분포를 어느 정도 희생하지 않으면 안 되고, 대형화도 감수해야 한다.

또한, 조도 분포를 대칭으로 하기 위해 LED 램프 R, LED 램프 G, LED 램프 B를 각각 동일 개수, 대칭으로 배치할 필요가 있고, 각각의 광도도 동일 정도의 것을 선정해야 한다.

더욱이, 피검사 촬상 소자에 조사되는 광량을 확인하기 위하여, 정기적으로 피검사 촬상 소자의 위치에 조도계를 두어, 조도를 확인할 필요가 있다.

본 발명의 목적은, 상기와 같은 종래의 검사용 광원 장치가 가지고 있던 문제를 해결하여, 분광 분포에 누락이 없고, 균일한 조도 분포를 가지며, 고속으로 광량이나 색의 전환이 가능하고, 유지보수가 불필요한 긴 수명을 가지며, 소형화된 검사용 광원 장치를 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 검사용 광원 장치는 다음과 같이 구성된다.

(1) 피검사 수광 소자에 소정의 광을 조사하는 검사용 광원 장치에 있어서, 발광부로부터의 출사광을 동일 조도 분포로 하는 동시에 대상으로 하는 조사 범위를 분할하여 조사하는 복수개의 광학계를 구비하는 것을 특징으로 한다.

(2) 상기 (1)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 광학계는 유리 기둥이며, 상기 유리 기둥의 한쪽의 저면에 상기 발광부의 광속이 입사하는 것을 특징으로 한다.

(3) 상기 (1)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 광학계는 내면에서 전반사시키는 미러를 조합한 공동의 기둥이며, 상기 기둥의 한쪽의 저면에 상기 발광부의 광속이 입사하는 것을 특징으로 한다.

(4) 상기 (2)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 유리 기둥의 측면에 금속이 부착되어 있는 것을 특징으로 한다.

(5) 상기 (2) 또는 (4)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 복수개의 상기 유리 기둥이 서로 측면에서 접착되어 있는 것을 특징으로 한다.

(6) 상기 (3)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 복수개의 상기 공동의 기둥이 서로 측면에서 접착되어 있는 것을 특징으로 한다.

(7) 상기 (2) 또는 (4)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 유리 기둥은 상기 한쪽의 저면에 상기 발광부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

(8) 상기 (3) 또는 (6)에 기재된 겸용 광원 장치에 있어서, 상기 공동의 기둥은 상기 한쪽의 저면에 상기 발광부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

(9) 상기 (1) 내지 (4) 및 (6) 중 어느 하나에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 발광부는 발광의 분광 분포가 상이한 복수개의 발광 소자를 포함하는 것을 특징으로 한다.

(10) 상기 (9)에 기재된 광원 장치에 있어서, 상기 발광 소자의 분광 분포가 필요한 파장 범위에서 서로 중첩되는 것을 특징으로 한다.

(11) 상기 (9)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 발광 소자는 발광 다이오드인 것을 특징으로 한다.

(12) 피검사 수광 소자에 소정의 광을 조사하는 검사용 광원 장치에 있어서, 발광부로부터의 출사광을 동일 조도 분포로 하는 동시에 대상으로 하는 조사 범위를 분할하여 조사하는 복수개의 광학계, 상기 복수개의 광학계를 고정하는 고정 수단, 및 상기 복수개의 광학계의 사이 및 상기 복수개의 광학계와 상기 고정 수단 사이에 공간을 생성하는 공간 생성 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

(13) 상기 (12)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 광학계는 유리 기둥이며, 상기 유리 기둥의 한쪽의 저면에 상기 발광부의 광속이 입사하는 것을 특징으로 한다.

(14) 상기 (12) 또는 상기(13)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 복수개의 광학계는 출사단에서 상기 공간이 없어지도록 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.

(15) 상기 (12) 또는 (13)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 공간 생성 수단은 와이어인 것을 특징으로 한다.

(16) 상기 (12) 또는 (13)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 광학계에 지지부가 설치되어 있고, 상기 지지부가 상기 고정 부재와 결합되어 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.

(17) 상기 (12) 또는 (13)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 복수개의 광학계와 상기 고정 수단의 사이에 공간을 생성하는 공간 생성 수단은 상기 고정 수단에 설치된 돌기부이며, 상기 돌기부에 의해 상기 광학계에 압력을 가하여 상기 복수개의 광학계가 고정되어 있는 것을 특징으로 한다.

(18) 상기 (12) 또는 (13)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 발광부는 발광의 분광 분포가 상이한 복수개의 발광 소자를 포함하는 것을 특징으로 한다.

(19) 상기 (18)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 발광 소자의 분광 분포가 필요한 파장 범위에서 서로 중첩되는 것을 특징으로 한다.

(20) 상기 (18)에 기재된 검사용 광원 장치에 있어서, 상기 발광 소자는 발 광 다이오드인 것을 특징으로 한다.

상기 (1) 내지 (3)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 유리 기둥이나 내면에서 전반사시키는 미러를 조합한 공동의 기둥 등의 조도 균일화 소자를 배열하여 조사 영역을 형성하면, 단일의 유리 각기둥 등으로 구성되는 조도 균일화 소자로 실현되는 경우보다 유리 기둥의 전체 길이는 짧아진다.

따라서, 한번에 검사할 수 있는 피검사 수광 소자의 수를 늘리기 위해서, 조사 면적을 크게 하더라도, 조도 균일화 소자의 전체 길이를 짧게 억제할 수 있으므로, 조도 균일화 소자의 가격을 싸게 하고, 검사용 광원 장치 전체의 크기나 무게를 감소시키는 것이 가능해진다.

상기 (4)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 유리 기둥의 측면에 예를 들면 알루미늄 등 금속의 증착을 행함으로써, 측면으로부터 광이 누출되지 않도록 된다.

상기 (5) 및(6)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 조도 균일화 소자를 서로 측면에서 접착시킴으로써, 나란히 배치된 복수개의 피검사 대상과 같은 광범위에 걸쳐 조사광을 조사할 수 있으므로, 한번에 많은 피검사 대상을 검사할 수 있다.

또, 이와 같이 조사 면적을 확대시키고 싶은 경우에도 조도 균일화 소자의 전체 길이를 늘리지 않고 실현할 수 있다.

상기 (7) 및 (8)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 조도 균일화 소자의 한쪽의 저면에 발광부를 구비함으로써, 각각의 조도 균일화 소자에 많은 광속을 입 사 시킬 수 있다.

상기 (9) 및 (10)에 기재된 발명에 의하면, 발광부가 발광의 분광 분포가 상이한 복수개의 발광 소자로 구성되고 가시광선 범위에서 서로의 분광 분포가 중첩되도록 함으로써, 분광 분포에 누락이 없고, 균일한 조도 분포를 가지고, 고속으로 광량이나 색의 전환이 가능해진다.

상기 (11)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 발광 소자로서 LED 램프를 이용함으로써, 유지보수가 불필요한 긴 수명을 실현할 수 있다.

상기 (12) 및 (13)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 유리 기둥 등의 조도 균일화 소자의 각각의 사이 및 조도 균일화 소자와 고정 부재 사이에는 접촉 면적을 최소한으로 하여 공간이 만들어져 조도 균일화 소자와 공기와의 경계에서의 전반사(반사율 100%)를 이용할 수 있다.

상기 (14)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 각 조도 균일화 소자 사이 및 조도 균일화 소자와 고정 부재 사이에는 접촉 면적을 최소한으로 하여 공간이 만들어져 조도 균일화 소자와 공기와의 경계에서의 전반사(반사율 100%)를 이용할 수 있다. 또, 조도 균일화 소자의 선단을 밀착시킴으로써, 하나로 집합한 균일한 조도의 광을 출사할 수 있다.

상기 (15)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 각 조도 균일화 소자 사이 및 조도 균일화 소자와 고정 부재 사이에 와이어를 끼움으로써, 접촉 면적을 최소한으로 하여 용이하게 공간이 만들어진다.

상기 (16)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 각 조도 균일화 소자에 지 지부를 설치하고, 이 지지부를 고정 부재와 결합시켜 고정함으로써, 위치 결정 정밀도를 향샹시키는 동시에 견고한 고정을 실현한다.

상기 (17)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 돌기부에 의해 광학계와 고정 수단의 사이에 공간을 생성하고, 이 돌기부에 의해 광학계에 압력을 가하여 고정함으로써, 와이어의 장착 공수를 삭감할 수 있다.

상기 (18) 및 (19)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 발광 소부가 발광의 분광 분포가 상이한 복수개의 발광 소자로 구성되며, 가시광선 범위에서 서로의 분광 분포가 중첩되도록 함으로써, 분광 분포에 누락이 없고, 균일한 조도분 분포를 가지고, 고속으로 광량이나 색의 전환이 가능해진다.

상기 (20)에 기재된 검사용 광원 장치에 의하면, 발광 소자로서 LED 램프를 이용함으로써, 유지보수가 불필요한 긴 수명을 실현할 수 있다.

이하 도면을 이용하여 본 발명을 상세하게 설명한다. 도 4는 본 발명의 검사용 광원 장치의 일실시예를 나타내는 구성도이다.

도 4에 있어서, LED 램프군(1)은 상이한 발광 분광 분포를 가지는 상이한 종류의 LED 램프를 동일 평면상에 복수개 배치한 것이다. LED 램프는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 분광 분포의 조합에 의해 가시광선의 파장 범위를 빈 틈 없이 메우도록 한 발광 파장의 것이 선택된다.

도 5는, 본 발명에 있어서의 LED 램프의 발광 분광 분포를 나타내는 설명도이다.

도 5에 있어서, 가로축은 파장, 세로축은 상대 분광 방사 휘도를 나타내고 있다. 도 5에서는 본 발명에서 이용되는 LED 램프의 조합의 일예로서, 분광 방사 휘도의 피크 파장의 간격이 약 40nm이 되도록 한 9종류의 LED 램프의 발광 분광 분포를 나타내고 있다. 이들 LED 램프의 분광 휘도 분포가 중첩되어 가시광선의 전파장 범위에서 연속된 광을 발생하게 된다.

도 4로 돌아가면, LED 램프군(1)은, 모든 LED가 점등했을 때의 분광 방사 휘도가 균형되도록 저휘도의 LED 램프가 다수 배치되고, 고휘도의 LED 램프가 소수 배치된다. 그리고, 공간적인 LED 램프의 발광 휘도 분포가 최대로 되는 방향(광축)이 평행으로 되도록 배치된다.

렌즈 A(2)는, LED 램프군(1)의 광축 상에 배치되어, LED 램프가 발광했을 때의 광속을 집광하고, 조도 균일화 소자(3)에 입사시킨다.

조도 균일화 소자(3)는, 예를 들면 전체 면을 연마한 유리의 원기둥이나 각기둥과 같은 이른바 라이트 파이프(light pipe) 등이다. 조도 균일화 소자(3)에 들어간 광속은, 기둥의 측면에서 반사를 반복하여, 출사면에서는 광속의 분포가 공간적으로 균일하게 된다.

렌즈 B(4)는, 조도 균일화 소자(3)로부터 출사된 광속을, 필요로 하는 확대 각을 가지는 광속으로 하여, 피검사 촬상 소자(9)에 조사한다. 피검사 촬상 소자(9)는 예를 들면 CCD(전하 결합 소자) 등의 고체 촬상 소자이다. 이로써 피검사 촬상 소자에 소정의 광량이나 상관 색온도 등의 광신호가 조사된다.

이와 같은 구성에 있어서, 렌즈 B(4)와 피검사 촬상 소자(9) 사이에는 빔 분 리기(5)를 배치한다. 빔 분리기(5)는, 예를 들면 연마된 유리판에 하프 미러(half mirror) 막을 부착시킨 것으로서, 일정한 광량을 통과시켜 나머지의 광량을 반사한다. 이로써, 렌즈 B(4)의 출사광의 일정한 광량을 소정의 방향으로 반사시킨다. 이것이 광속 분할 수단이다.

렌즈 C(6)는 빔 분리기(5)가 반사한 광을 집광하고, 광량 검출 소자(7)에 입사시킨다. 광량 검출 소자(7)는 입사된 광량에 따른 전기 신호를 출력하는 것이며 예를 들면 광다이오드가다. 이것이 광량 검출 수단이다.

조절 수단(8)은, 광량 검출 소자(7)의 출력 신호가 입력되는 동시에, LED 램프군(1)의 각 LED 램프를 발광시키기 위해, LED 램프의 종류에 대응한 채널수의 구동 전류를 출력한다. 이상의 빔 분리기(5), 렌즈 C(6), 광량 검출 소자(7), 조절 수단(8)이 제어 수단에 상당한다.

조절 수단(8)은, 예를 들면, 도시하지 않은 프로세서, 드라이버, 메모리 등으로 구성된다. 메모리에는, 같은 종류의 LED 램프를 일괄적으로, 종류마다 구동 전류치와 피검사 촬상 소자(9)에 조사되는 조사 광양의 관계식을 미리 구하여 기억해 둔다. 프로세서는 광량 검출 소자(7)가 검출한 광량과 메모리의 관계식에 의해 각 종류의 LED 램프의 조사 광양이 일정하게 되도록 구동 전류치를 계산한다. 드라이버는 이들 전류치의 전류를 출력한다. 이들 전류로 각 종류의 LED 램프가 발광함으로써, 각 파장 성분이 균일한 백색광을 출력할 수 있다.

전술한 관계식은, 다음과 같이 구해진다. 피검사 대상의 위치에 광다이오드 등의 광 센서를 설치하여 조사 광양을 실측하고, 이 때의 구동 전류를 구한다. 이 것을 LED 램프의 동작 기준점으로 하여, 기존의 경사를 가진 조사 광양의 변화량과 구동 전류의 변화량의 관계에 의해 결정된다.

광량을 변화시키는 경우에는, 각 종류의 LED 램프의 조사 광양 비율이 일정하게 되어, 절대치가 일정량 변화하도록 각 구동 전류를 변경하면 된다. 이렇게 함으로써, 분광 분포를 바꾸지 않고 광량만 바꿀 수 있다.

조사광의 상관 색온도는, 분광적인 방사 휘도 분포의 차이로 간주할 수 있다. 상관 색온도를 변경하는 데에는, 각 종류의 LED 램프의 구동 전류를 바꾸어 방사 광량의 밸런스를 바꾸면 된다. 전술한 바와 같이, 조사 광양과 전류의 관계는 이미 알려진 것이므로, 전류량을 조정함으로써, 상관 색온도도 변경할 수 있다.

LED 램프는, 구동 전류의 변화에 대하여 광량은 순간적(msec 이하)으로 바뀌기 때문에, 모터 제어에 의해 필터가 장착된 원반을 돌려 광량을 바꾸는 방식에 비해 전환 시간은 거의 무시할 수 있다.

상이한 분광 분포를 가지는 각 종류의 LED 램프의 출사 광양의 측정은, 같은 분광 분포를 가지는 동일한 종류의 LED 램프만 점등시켜, 그 때의 광량 검출 소자(7)의 출력 신호를 측정한다. 이 작업을 LED 램프의 모든 종류에 대하여 행하면 된다. 이로써, 광량의 시간에 따른 변화에도 대응할 수 있다. 촬상 소자의 검사 시에는 검사 완료된 촬상 소자를 다음에 검사하는 것과 교체하는 인덱스 타임이 반드시 필요하기 때문에, 그 사이에 시간에 따른 변화의 보정을 행하면 자동화도 가능하다.

이상에 의하여, LED 램프의 수명은 할로겐 램프의 100배 이상, 이론적으로는 10년 정도이므로 실질적으로 램프 교환은 불필요하게 되어, 광량, 색온도의 전환 시간이 필터 전환의 시간에 대하여 1/1000 이하로 되었다.

또, 가시광선 영역에서 분광 휘도 분포에 누락이 없기 때문에, 특정한 파장에 발생하는 결함을 간과하는 일이 없고, 상이한 분광 분포를 가지는 LED 램프의 개수나 방사 휘도가 동일하지 않은 경우에도, 피검사 촬상 소자의 표면에서 균일한 조도 분포를 얻을 수 있다.

또한, 인덱스 타임에 각 LED의 광량을 모니터링하고, 광량에 변화가 있을 경우에는, 곧바로 피드백하는 것이 가능하고, 램프의 누락도 검출할 수 있다.

실시예에서는, 조도 균일화 소자를 투과한 후의 광속을 직접, 피검사 촬상 소자에 입사하고 있지만, 예를 들면 조도 균일화 소자의 후단 등의 광학계의 도중에 섬유 다발(fiber bundle) 등의 라이트 가이드를 삽입함으로써, 광속을 필요한 부분에 안내할 수 있다. 특히, 피검사 촬상 소자의 주변에 공간이 없고 광원 장치 전체를 설치할 수 없는 경우에 유효하다.

또, 광량 검출 소자로 보내기 위한 광속의 분할은 평행 유리판의 빔 분리기를 이용하고 있지만, 섬유 다발의 일부의 섬유를 분리하고, 그 앞에 광량 검출 소자를 설치하여도 된다.

또한, 피검사 촬상 소자가 1개인 경우에 대하여 설명하고 있지만, 검사 시간을 단축하기 위하여, 조사 영역을 확대하여, 복수개의 촬상 소자를 한번에 검사할 수도 있다.

또한, 대략 평행광으로 피검사 촬상 소자에 광을 보내는 예를 나타냈으나, 조사광은 평행광에 한정되지 않고 확산광이나 수속광이라도 된다.

또, 촬상 소자의 검사용 광원 장치를 예로서 나타냈으나, 광량이나 색온도를 자유롭게 변경할 수 있는 특성을 살려, 일반적인 화상 처리용의 광원에 적용할 수도 있다.

본 발명을 이용하여 피검사 촬상 소자 상에 패턴을 투영하여 검사하는 경우에는, 도 4의 조도 균일화 소자(3)의 출사면 부근에 패턴이 그려진 마스크를 설치하면 된다.

본 발명을 렌즈가 일체화된 촬상 소자의 검사에 이용하는 경우에는, 도 4의 피검사 촬상 소자(9)의 부분에 투과 확산판을 설치하고, 그 확산판을 투과한 광을 확산 광원으로서 하여 검사할 수도 있다.

그리고, 본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 본질로부터 벗어나지 않는 범위에서 여러가지 변경, 변형도 포함하는 것이다. 예를 들면 이하와 같다.

전술한 실시예(도 4)의 검사용 광원 장치에서는, 다수의 상이한 각도로 상이한 위치에 입사하는 발광 소자로부터의 광속을 조사부에서 균일하게 해야 하기 때문에, 조도 균일화 소자(3)가 필요하다. 조도 균일화 소자로서는 유리의 사각기둥 등을 생각할 수 있다.

이 경우에, 유리 사각기둥의 한쪽의 저면으로부터 입사한 광속은 사각기둥의 측면에서 반사를 반복하여, 그 결과 다른 한쪽의 저면에서는 균일한 조도 분포를 얻을 수 있는 것이다. 이 경우에, 충분한 확산 성능을 얻기 위해서는 일반적으로 측면 반사 회수를 3회 이상으로 할 필요가 있다.

예를 들면, 도 6에 나타낸 바와 같이 유리의 사각기둥에 입사 후의 확산각이 20도인 광의 경우에, 1/tan(20)×3=8.24로 입사 저면의 대각선에 대하여, 8.24배의 길이를 취할 필요가 있다. 저면을 정방형으로 하면 대각선의 길이는 1변의 1.414배이므로, 저변의 길이의 11.65배의 길이가 필요하게 된다.

한편, 촬상 소자 등의 수광 소자의 검사용 광원에서는, 한번에 검사할 수 있는 수광 소자의 수를 증가시키는 것이 바람직하기 때문에, 조사 범위의 면적을 가능한 한 크게 하여야 한다.

이하에 기재된 발명은, 이와 같은 문제를 해결하는 것으로서, 조도 균일화 소자를 대형화하지 않고, 조사 범위를 확대할 수 있는 광원 장치를 실현한다.

도 7은, 본 발명의 다른 실시예이다. 그리고, 도 7에서는, 검사용 광원 장치에 있어서의 발광 소자(LED)와 조도 균일화 소자에 대하여 도시하는 동시에 그 구성에 대하여 설명한다. LED의 광량의 제어에 따른 구성 요소 등 이외의 구성 요소는 전술한 실시예와 같으므로 여기서는 도시하지 않는다.

도 7에 있어서, 발광부인 발광 소자군(1a~1e)은 각각 복수개의 발광 소자의 집합으로서, 예를 들면 표면 실장용 LED나 소형 LED 램프 등의 발광 소자이다. 이들 발광 소자군(1a~1e)은, 각각 상이한 발광 분광 휘도 분포를 가지는 상이한 종류의 발광 소자를 복수 종류 설치하고, 전술한 실시예와 마찬가지로, LED 램프의 분광 휘도 분포가 중첩되어 가시광선의 전체 파장 범위에서 연속된 광을 발생하도록 하여도 된다.

조도 균일화 소자(3a~3e)는, 예를 들면 유리 사각기둥이며, 이들 조도 균일 화 소자(3a~3e)의 한쪽의 저면으로부터 많은 광속이 입사할 수 있도록 배치된다. 본 실시예에서는, 발광 소자를 유리 사각기둥의 저면에 접착하거나, 도시하지 않은 장착 부재에 의해 바로 옆에 설치하고 있다. 발광 소자로부터 방사되는 광이 유리 사각기둥(3a~3e)의 내부에 입사하여 확산하는 확산각을 θ로 하고, 유리 사각기둥의 저면의 직사각형의 변의 길이를 각각 c, d, 사각기둥의 높이를 L로 한 경우에, 다음의 식에 나타내는 조건을 만족시키도록 사각기둥의 높이 L을 설정한다.

그리고, 유리 사각기둥(3a~3e)의 측면에는 각각 알루미늄 등의 증착을 행하고, 측면으로부터 광이 유출되지 않도록 하고, 각각 뿔뿔이 분산되지 않도록 접착 등에 의해 접합하여도 된다.

발광 소자군(1a)으로부터 방사된 광속은 유리 사각기둥(3a)의 한쪽의 저면(도 7에 나타낸 본 실시예에서는 상면)으로부터 입사하고, 측면에서 다중 반사한 후, 다른 한쪽의 저면(도 7에 나타낸 본 실시예에서는 하면)으로부터 방사된다. 이 때, 하면으로부터 방사되는 광속은 조도가 균일하게 되어 있다.

예를 들면, 한 변이 5mm인 횡방향으로 일렬로 늘어선 8개의 수광 소자를 한번에 검사하는 전술한 예의 경우에, 다음과 같은 구성을 생각할 수 있다. 단면이 정방형인 유리 기둥을 5개 배열하여 조사 영역을 형성하는 것으로 가정하면 정방형의 저면의 한 변은 c=d=8mm이며, 로드(rod)(각기둥)의 길이 L≥(8×1.414/tan(20)×3)= 93.24mm로 된다. 단일의 유리 각 기둥으로 이루어지는 조도 균일화 소자로 실현되는 경우에는 로드의 길이 L은 466mm이기 때문에, 1/5이 된다.

이 경우에, 상이한 유리 기둥으로부터의 조사광을 동일한 조사 범위에 이용하기 때문에, 발광 소자군(1a, 1b, 1c, 1d, 1e)의 각 발광 소자군의 광량과 색을 조정하도록 광학적인 제어를 행하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 각 유리기둥으로부터의 출사광마다 전술한 도 4와 같은 빔 분리기, 광량 검출 소자 및 조정 수단을 설치하고, 광량이나 색의 피드백 제어를 행하면 된다.

이상 설명한 바와 같이, 복수개의 조도 균일화 소자의 출사광으로 조사하고자 하는 대상 부분 전체를 분할하여 조사하기 때문에, 각 조도 균일화 소자의 조사 범위는 좁아도 되고, 조도 균일화 소자의 전체 길이를 늘릴 필요가 없다.

즉, 전술한 바와 같이 한 변이 5mm인 횡방향으로 일렬로 늘어선 8개의 수광 소자를 한번에 검사하는 경우에, 유리의 단면이 정방형이라고 하면 C=D= 8mm이며, 로드의 길이 L≥(8×1.414/tan(20)×3)= 93.24mm가 된다.

따라서, 단일의 유리 각기둥으로 이루어지는 조도 균일화 소자로 실현되는 경우에는 로드의 길이 L은 466mm이기 때문에, 1/5로 된다.

이로써, 조도 균일화 소자의 가격을 싸게 하고, 검사용 광원 장치 전체의 크기나 무게를 저하시키는 것이 가능하다. 그리고, 유리의 체적비는 8×8×93.24×5/40×40×466=1/25이다.

또, 본 실시예에서는 조도 균일화 소자를 유리 기둥으로 하였으나, 주위를 전반사 미러로 형성한 공동이라도 된다.

또한, 본 실시예에서는 발광 소자로부터의 방사광을 직접 조도 균일화 소자 에 입사시켰지만, 발광 소자로부터의 방사광의 확산각을 제한하기 위하여, 광학계를 이용해도 된다. 방사광의 확산을 제한하는 광학계로서는, 렌즈와 조리개를 조합하는 방법, NA(개구수)가 정해진 광섬유를 통하는 구성 등이 있다.

또한, 도 7에서는 조도 균일화 소자가 5개 일렬로 배열된 예를 나타냈으나, 늘어놓는 수를 제한하는 것은 아니다. 또, 열의 수도 1열이 아니고, 2열 이상의 복수개의 열로 늘어놓는 경우도 가능하다.

또, 본 실시예의 경우에, 조도 균일화 소자로부터의 방사광은, 발광 소자의 방사광과 같은 각도 분포를 가진다. 확산광을 방사하는 발광 소자를 이용하면, 유리 기둥의 단면과 같은 면적을 가지는 확산 광원을 형성하게 된다. 또 다른 조사 조건이 필요한 경우에는, 이 광원과 피검사물 사이에 렌즈 등의 광학 소자를 설치하여, 다른 조사 조건을 만들 수도 있다.

전술한 실시예에서는, 복수개의 유리 기둥으로부터의 출사광을 하나의 균일 면 광원으로서 이용하는 경우에, 유리 기둥끼리 밀착시킬 필요가 있다. 완전히 밀착시키면 전체가 하나의 굵은 유리 기둥으로 되어버려 상기의 단면적과 길이의 관계를 유지할 수 없게 되어버린다.

그러므로, 유리 기둥 사이를 분리하기 위해 유리 기둥의 주위에 금속 박막을 증착한 로드를 이용하였다.

그러나, 반사율은 예를 들면 알루미늄 코트에서는 85% 정도이지만, 3회의 반사에서는 (0.85×3=0.614) 61%가 되어 버린다. 유리 로드의 중심을 직접 전파해 오는 광과 측면에서 반사된 광의 강도가 40% 가깝게 상이하면 조도 분포의 균일화 가 불충분하게 된다.

이와 같은 현상을 피하기 위해서는 유리 로드의 측면에는 증착을 하지 않고, 유리 로드와 공기와 경계에서의 전반사(반사율 100%)를 이용하는 것이 바람직하다. 그러나, 이 경우 유리 로드가 접촉하지 않게 공간을 비울 필요가 있다. 공간을 비우면 로트 개구단(광의 조사단)에서 로드 사이에 틈새가 있을 수 있어 조도 분포가 불균일하게 된다.

이와 같은 문제를 해결하기 위한 구성으로서, 이하에서 유리 로드 사이에 공간을 유지하면서 조도 분포도 균일하게 유지하는 구조에 대하여 설명한다.

도 8은, 본 발명의 제3 실시예를 나타낸 구성도이다.

도 8에는, 조도 균일화 소자의 구성에 대하여 도시하고, LED 및 LED의 광량의 제어에 관한 구성 요소 등 이외의 구성 요소는 전술한 실시예와 같기 때문에 여기에서는 도시하지 않는다.

도 8의 (a)는, 6개의 조도 균일화 소자를 배열한 상태의 상면(광의 입사면 측)을 나타낸 평면도이다.

조도 균일화 소자의 일예인 유리로 된 사각기둥의 유리 로드(3f 내지 3k)는, 고정 부재(52)로 고정된다. 고정 부재(52)는, 예를 들면, 4개의 알루미늄 등의 금속판으로 이루어지고, 이들 금속판을 나사 고정함으로써 사각형의 중공 부재를 형성한다. 이 중공부에 유리 로드(3f 내지 3k)가 2행 3열로 배열된다.

조립 순서의 일예로서, 최초에 2개의 금속판에 의해 L자 모양의 받침대를 형성하고, 여기에 각 유리 로드를 배열하여 간다. L자 모양에 의해, 유리 로드의 배 치가 효율적으로 되고. 유리 로드를 늘어놓을 때, 각 유리 로드 및 각 유리 로드와 금속판 사이에 금속제의 와이어(51a 내지 51p)를 삽입하여 간다. 그리고, 와이어(51h 내지 51p)는 도 8의 (b) 또는 (c)로 나타내고 있다.

그리고, 유리 로드(3f 내지 3k) 및 와이어(51a 내지 51p)의 배치가 종료되면 나머지 2개의 금속판으로 유리 로드(3f 내지 3k)를 에워싸도록 하여 L자 모양의 금속판에 2개의 금속판을 나사 고정한다. 이로써, 고정 부재(52)에 의해 유리 로드가 고정된다.

그리고, 각 금속판에는, 와이어용의 관통공이 설치되어 있어, 각 와이어에 대응하는 위치의 관통공으로 통하여, 와이어의 위치 결정을 행한다. 여기서, 고정 부재가 고정 수단, 와이어가 공간 생성 수단에 상당한다.

도 8의 (b)는, 도 8의 (a)의 A－A′부분을 화살표 방향으로부터 본 단면도이다. 유리 로드(3f, 3g, 3h)의 각각의 사이에 와이어(51b, 51c, 51j, 51k)를 사이에 낀다. 와이어(51b, 51c)는, 예를 들면 0.수 mm 정도의 직경으로서 광의 입사단 측에 끼워진다. 이로써, 유리 로드(3f, 3g, 3h) 사이에 공기의 층이 만들어진다. 그리고, 광의 입사 효율을 고려하여, 유리 로드(3f, 3g, 3h)의 확대를 가능한 한 좁게 하기 위하여, 와이어의 직경은 유리 로드(3f, 3g, 3h) 사이의 공간을 유지하면서 가능한 한 작게 한다.

와이어(51j, 51k)는, 와이어(51b, 51c)보다 작은 직경의 와이어로서, 출사단 측에 끼워진다. 이로써, 각 유리 로드 사이의 틈새를 출사단으로 향해 감소시켜 가고 출사단에서는 틈새가 없는 상태가 구성된다.

그리고, 와이어(51j, 51k)는, 각 유리 로드의 틈새를 출사단으로 향해 좁게 하기 위한 것이기 때문에, 유리 로드의 출사단이 각각 밀착하는 구성이면 반드시 필요하지 않다.

또, 유리 로드(3f, 3h)와 고정 부재(52)의 사이에는, 와이어(51a, 51d, 51i, 51l)를 사이에 끼어, 유리 로드(3f, 3h)와 고정 부재(52) 사이에 공간을 만든다. 와이어(51a, 51d)는 입사단 측에 끼워지고, 와이어(51i, 51l)는 출사단 측에 끼워진다.

유리 로드군의 선단이 가늘게 되어 있어, 유리 로드(3f, 3h)와 고정 부재(52) 사이의 틈새가 출사단 쪽에서 넓기 때문에, 와이어(51i, 51l)는, 와이어(51a, 51d)에 비해 직경을 크게 함으로써, 유리 로드 전체의 측면에 압력을 가하여 유지한다.

도 8의 (c)는, 도 8의 (a)의 B－B′부분을 화살표 방향으로부터 본 단면도이다.

유리 로드(3j, 3g)의 사이에 와이어(51f, 51h)를 끼운다. 와이어(51f)는, 광의 입사단 측에 끼워지고, 예를 들면 0.수 mm 정도의 직경이다. 이 와이어(51f)를 유리 로드 사이에 끼움으로써, 유리 로드 사이에 공기의 층을 만든다. 그리고, 광의 입사 효율을 고려하여, 유리 로드의 확대를 가능한 한 작게 한다.

와이어(51h)는, 와이어(51f)보다 작은 직경의 와이어로서, 출사단 측에 끼워진다. 이로써, 각 유리 로드 사이의 틈새를 출사단으로 향해 감소시켜 가서 출사단에서는 틈새가 없는 상태로 된다.

그리고, 와이어(51h)는, 유리 로드의 틈새를 출사단으로 향해 좁게 하기 위한 것이기 때문에, 유리 로드의 출사단이 각각 밀착하는 구성이면 반드시 필요하지 않다.

유리 로드(3j, 3g)와 고정 부재(52) 사이에는, 와이어(51g, 51e, 51o, 51p)를 끼워, 유리 로드와 고정 부재(52) 사이에 공간을 만든다. 와이어(51g, 51e)는 입사단 측에 끼워지고, 와이어(51o, 51p)는, 출사단 측에 끼워진다.

유리 로드군의 선단이 가늘게 되어 있어, 유리 로드와 고정 부재(52) 사이의 틈새가 출사단 측에서 넓기 때문에, 와이어(51o, 51p)는, 와이어(51g, 51e)에 비해 직경을 크게 함으로써, 유리 로드 전체의 측면에 압력을 가하여 유지한다.

이상에 의하여, 각 유리 로드 사이 및 유리 로드와 고정 부재 사이에는 접촉 면적을 최소한으로 하여 공간이 만들어져, 유리와 공기의 경계에서의 전반사(반사율 100%)를 이용할 수 있다. 또, 유리 로드의 선단을 밀착시킴으로써, 하나로 집합한 균일한 조도의 광을 출사할 수 있다.

또, 지지부(53a 내지 53f)는 유리 로드에 설치된 볼록부로서, 고정 부재(52)에 설치된 오목부와 각각 결합하여, 가압판(54a, 54b)에 고정된다. 그리고, 이 지지부는, 다른 유리 로드에도 설치된다(도 8의 (b)에서는 53d, 53e, 53f가 상당한다).

유리 로드의 지지부(53a, 53b)는, 예를 들면 금속편을 광의 입사단 부근의 위치에 양호한 정밀도로 접착한다. 입사단 부근의 부분에서는 아직 조도가 균일화되어 있지 않기 때문에 금속편을 접착해도 영향이 적다. 접착된 금속편을 고정 부 재에 결합시켜, 위로부터 가압판(54a, 54b)을 고정 부재에 나사 고정 또는 접착시켜 유지하여, 유리 로드의 광의 출사단의 상하 방향의 위치를 맞춘다.

이로써 위치 결정 정밀도가 향상됨과 함께 견고한 고정이 실현될 수 있다.

그리고, 본 실시예에서는, 유리 로드 6개의 구성에 대하여 설명하였으나, 유리 로드의 수는 이것에 한정되는 것은 아니다.

또, 각 유리 로드의 사이나 유리 로드와 고정 부재의 사이에 끼우는 부재로서 와이어를 이용하였지만 안정된 형상이면 와이어에 한정되는 것은 아니다. 이용하는 와이어의 수도 본 실시예에 한정하는 것이 아니고, 1개 또는 2개 이상이라도 된다.

또한, 유리 로드와 고정 부재 사이에 공간을 생성하는 와이어 대신에, 고정 부재에 돌기부를 설치하여, 이 돌기부에 의해 유리 로드에 압력을 가하여 고정하도록 해도 된다.

본 발명에 의하면, 아래와 같은 효과가 있다.

유리 기둥이나 내면에서 전반사시키는 미러를 조합한 공동의 기둥 등의 조도 균일화 소자를 배열하여 조사 영역을 형성하면, 단일의 유리 각기둥 등으로 되는 조도 균일화 소자로 실현되는 경우보다 유리 기둥의 전체 길이는 짧아진다.

따라서, 한번에 검사할 수 있는 피검사 수광 소자의 수를 증가시키기 위해서 조사 면적을 크게 하더라도, 조도 균일화 소자의 전체 길이를 짧게 억제할 수 있기 때문에, 조도 균일화 소자의 가격을 싸게 하고, 검사용 광원 장치 전체의 크기나 무게를 감소시키는 것이 가능해진다.

유리 기둥의 측면에 예를 들면 알루미늄 등 금속의 증착을 행함으로써, 측면으로부터 광이 누출되지 않게 된다.

조도 균일화 소자를 서로 측면에 접착시킴으로써, 나란히 배치된 복수개의 피검사 대상과 같이 광범위에 걸쳐 조사광을 조사할 수 있기 때문에, 한번에 많은 피검사 대상을 검사할 수 있다.

또, 이와 같이 조사 면적을 확대시키고 싶은 경우에도 조도 균일화 소자의 전체 길이를 증가시키지 않고 실현할 수 있다.

조도 균일화 소자의 한쪽의 저면에 발광부를 구비함으로써, 각각의 조도 균일화 소자에 많은 광속을 입사시킬 수 있다.

발광부가 발광의 분광 분포가 상이한 복수개의 발광 소자로 구성됨으로써, 분광 분포에 누락이 없고, 균일한 조도 분포를 가지고, 고속으로 광량이나 색의 전환이 가능하게 된다.

발광 소자로서 LED 램프를 이용함으로써, 유지보수가 불필요한 긴 수명을 실현할 수 있다.

유리 기둥 등의 조도 균일화 소자의 각각의 사이 및 조도 균일화 소자와 고정 부재 사이에는 접촉 면적을 최소한으로 하여 공간이 만들어져, 조도 균일화 소자와 공기의 경계에서의 전반사(반사율 100%)를 이용할 수 있다.

또, 조도 균일화 소자의 선단을 밀착시킴으로써, 하나로 집합한 균일한 조도의 광을 출사할 수 있다.

각 조도 균일화 소자 사이 및 조도 균일화 소자와 고정 부재 사이에 와이어를 끼움으로써, 접촉 면적을 최소한으로 하여 용이하게 공간이 만들어진다.

각 조도 균일화 소자에 지지부를 설치하고, 이 지지부를 고정 부재와 결합시켜 고정함으로써, 위치 결정 정밀도를 향샹시킴과 동시에 견고한 고정을 실현한다.

돌기부에 의해 광학계와 고정 수단 사이에 공간을 생성하고, 이 돌기부에 의해 광학계에 압력을 가하여 고정함으로써, 와이어의 장착 공수를 삭감할 수 있다.

발광부가 발광의 분광 분포가 상이한 복수개의 발광 소자로 구성됨으로써, 분광 분포에 누락이 없고, 균일한 조도 분포를 가지고, 고속으로 광량이나 색의 전환이 가능해진다.

발광 소자로서 LED 램프를 이용함으로써, 유지보수가 불필요한 긴 수명을 실현할 수 있다.

Claims (6)

1. 피검사 수광 소자에 소정의 광을 조사하는 검사용 광원 장치에 있어서,

   발광부로부터의 출사광을 동일한 조도 분포로 하여, 조사 범위를 분할하여 조사하는 복수개의 광학계를 구비하고,

   상기 광학계는 내면에 전반사시키는 미러를 조합한 공동의 기둥이며, 상기 기둥의 한쪽의 저면으로 상기 발광부의 광속이 입사하는 것을 특징으로 하는 검사용 광원 장치.
2. 제1항에 있어서,

   복수개의 상기 공동의 기둥이 서로 측면에서 접착되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 광원 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 공동의 기둥은 상기 한쪽의 저면에 상기 발광부를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사용 광원 장치.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 발광부는 발광의 분광 분포가 상이한 복수개의 발광 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 광원 장치.
5. 제4항에 있어서,

   상기 발광 소자의 분광 분포가 가시광선 파장 범위에서 서로 중첩되는 것을 특징으로 하는 검사용 광원 장치.
6. 제4항에 있어서,

   상기 발광 소자는 발광 다이오드인 것을 특징으로 하는 검사용 광원 장치.

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