KR20060120655A - Substrate carrying apparatus, substrate carrying method, exposure apparatus, exposure method, and method for producing device - Google Patents

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KR20060120655A
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가부시키가이샤 니콘
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Abstract

A substrate carrying apparatus for conveying a substrate which is exposed using a pattern image through a projection optical system and a liquid is characterized by comprising a liquid sensor for sensing the liquid adhered to the substrate. A substrate carrying method for conveying a substrate which is exposed using a pattern image through a projection optical system and a liquid is characterized by sensing the liquid adhered to the substrate along the conveying route of the substrate.

Description

기판 반송 장치 및 기판 반송 방법, 노광 장치 및 노광 방법, 디바이스 제조 방법{SUBSTRATE CARRYING APPARATUS, SUBSTRATE CARRYING METHOD, EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING DEVICE}Substrate conveying apparatus and substrate conveying method, exposure apparatus and exposure method, device manufacturing method {SUBSTRATE CARRYING APPARATUS, SUBSTRATE CARRYING METHOD, EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING DEVICE}

기술분야Technical Field

본 발명은, 액침법에 의해 노광된 기판을 반송하는 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법, 노광 장치 및 노광 방법, 디바이스 제조 방법에 관한 것이다. This invention relates to the board | substrate conveying apparatus and board | substrate conveying method, the exposure apparatus, the exposure method, and the device manufacturing method which convey the board | substrate exposed by the liquid immersion method.

본원은, 2003년 10월 8일에 출원된 일본 특허출원 제2003-349550호에 대해 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다. This application claims priority with respect to Japanese Patent Application No. 2003-349550 for which it applied on October 8, 2003, and uses the content here.

배경기술Background

반도체 디바이스나 액정 표시 디바이스는, 마스크 상에 형성된 패턴을 감광성의 기판 상에 전사하는, 이른바 포토리소그래피의 수법에 의해 제조된다. 이 포토리소그래피 공정에서 사용되는 노광 장치는, 마스크를 지지하는 마스크 스테이지와 기판을 지지하는 기판 스테이지를 갖고, 마스크 스테이지 및 기판 스테이지를 차례로 이동하면서 마스크의 패턴을 투영 광학계를 통해 기판에 전사하는 것이다. 최근, 디바이스 패턴의 더 한층의 고집적화에 대응하기 위해 투영 광학계의 고해상도화가 한층 더 요구되고 있다. 투영 광학계의 해상도는, 사용하는 노광 파장이 짧아질수록, 또한 투영 광학계의 개구수가 클수록 높아진다. 그 때문에, 노광 장치에서 사용되는 노광 파장은 해마다 단파장화되고 있고, 투영 광학계의 개구 수도 증대되고 있다. 그리고, 현재 주류를 이루는 노광 파장은, KrF 엑시머 레이저의 248nm 이지만, 추가로 단파장인 ArF 엑시머 레이저의 193nm 도 실용화되고 있다. 또한, 노광을 실시할 때에는 해상도와 동일하게 초점 심도 (DOF) 도 중요해진다. 해상도 R, 및 초점 심도 δ 는 각각 이하의 식으로 나타난다. A semiconductor device and a liquid crystal display device are manufactured by the so-called photolithography method which transfers the pattern formed on the mask on the photosensitive board | substrate. An exposure apparatus used in this photolithography step has a mask stage for supporting a mask and a substrate stage for supporting a substrate, and transfers the pattern of the mask to the substrate through the projection optical system while sequentially moving the mask stage and the substrate stage. In recent years, in order to cope with further higher integration of a device pattern, higher resolution of a projection optical system is calculated | required further. The resolution of the projection optical system increases as the exposure wavelength used is shorter and as the numerical aperture of the projection optical system is larger. Therefore, the exposure wavelength used by an exposure apparatus is shortening year by year, and the opening number of a projection optical system is also increasing. And although the exposure wavelength which is mainstream is 248 nm of KrF excimer laser, 193 nm of ArF excimer laser of short wavelength is further practically used. In addition, when performing exposure, the depth of focus (DOF) also becomes important similarly to the resolution. The resolution R and the depth of focus δ are each represented by the following equation.

R=k1ㆍλ/NA … (1)R = k 1 .lambda / NA... (One)

δ=±k2ㆍλ/NA2 … (2)? = ± k 2 ? / NA 2 ... (2)

여기에서, λ 는 노광 파장, NA 는 투영 광학계의 개구수, k1, k2 는 프로세스 계수이다. (1) 식, (2) 식으로부터 해상도 R 을 높이기 위해, 노광 파장 λ 를 짧게 하여 개구수 NA 를 크게 하면, 초점 심도 δ 가 좁아지는 것을 알 수 있다. Is the exposure wavelength, NA is the numerical aperture of the projection optical system, k 1 , k 2 Is the process coefficient. It can be seen from the equations (1) and (2) that the depth of focus δ becomes narrower when the exposure wavelength λ is shortened to increase the numerical aperture NA in order to increase the resolution R.

초점 심도 δ 가 지나치게 좁아지면, 투영 광학계의 이미지면에 대해 기판 표면을 합치시키는 것이 곤란해지고, 노광 동작시의 포커스 마진이 부족할 우려가 있다. 그래서, 실질적으로 노광 파장을 짧게 하고, 또한 초점 심도를 넓히는 방법으로서, 예를 들어, 하기 특허 문헌 1 에 개시되어 있는 액침법이 제안되어 있다. 이 액침법은 투영 광학계의 하면 (下面) 과 기판 표면 사이를 물이나 유기 용매 등의 액체로 채우고, 액체 중에서의 노광광의 파장이 공기 중의 1/n (n 은 액체의 굴절률로서 통상 1.2∼1.6 정도) 이 되는 것을 이용하여 해상도를 향상시킴과 함께, 초점 심도를 약 n 배로 확대한다는 것이다. If the depth of focus δ becomes too narrow, it is difficult to match the substrate surface with the image plane of the projection optical system, and there is a fear that the focus margin during the exposure operation may be insufficient. Then, as a method of substantially shortening an exposure wavelength and extending focal depth, the immersion method disclosed by the following patent document 1 is proposed, for example. The liquid immersion method fills a gap between the lower surface of the projection optical system and the surface of the substrate with a liquid such as water or an organic solvent, and the wavelength of exposure light in the liquid is 1 / n in air (n is usually about 1.2 to 1.6 as the refractive index of the liquid). ) To improve the resolution and to increase the depth of focus by about n times.

특허 문헌 1 : 국제공개 제99/49504호 팜플렛Patent Document 1: International Publication No. 99/49504 Pamphlet

발명이 해결하고자 하는 과제Problems to be Solved by the Invention

그런데, 액침 노광 후의 기판 상에 액체가 잔류되어 있으면, 여러 가지 문제가 발생할 가능성이 있다. 예를 들어, 액체가 부착된 상태인 채로 기판을 현상 처리하면 현상 얼룩을 야기시키거나, 잔류되어 있던 액체가 기화한 후에 기판 상에 잔존하는 부착 자국 (이른바 워터 마크) 에 의해서 현상 얼룩을 야기시킨다. 이와 같이 액침 노광 후의 기판 상에 잔류하는 액체를 방치해두면 디바이스의 결함을 초래하지만, 이러한 결함은 최종적인 디바이스가 된 후 불량품으로서 발견되어, 디바이스 생산성의 저하를 초래할 우려가 있다. By the way, when a liquid remains on the board | substrate after liquid immersion exposure, various problems may arise. For example, developing a substrate with a liquid attached may cause developing spots, or developing spots due to adhesion marks (so-called watermarks) remaining on the substrate after the remaining liquid has evaporated. . In this way, leaving the liquid remaining on the substrate after the liquid immersion exposure causes a defect in the device. However, such a defect is found as a defective product after the final device, which may cause a decrease in device productivity.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 액침 노광된 기판 상에 잔류하는 액체에 기인하는 디바이스의 열화를 방지할 수 있는 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법, 노광 장치 및 노광 방법, 디바이스 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. This invention is made | formed in view of such a situation, and provides the board | substrate conveying apparatus and substrate conveyance method, the exposure apparatus, the exposure method, and the device manufacturing method which can prevent deterioration of the device resulting from the liquid which remains on the liquid immersion-exposed board | substrate. It aims to do it.

과제를 해결하기 위한 수단Means to solve the problem

상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 실시 형태에 나타내는 도 1 ∼ 도 10 에 대응시킨 이하의 구성을 채용하고 있다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve said subject, this invention employ | adopts the following structures corresponding to FIGS. 1-10 shown in embodiment.

본 발명의 기판 반송 장치 (H) 는, 투영 광학계 (PL) 와 액체 (LQ) 를 통한 패턴의 이미지에 의해서 노광된 기판 (P) 을 반송하는 기판 반송 장치에 있어서, 기판 (P) 에 부착된 액체 (LQ) 를 검출하는 액체 검출기 (80, 90) 를 구비한 것을 특징으로 한다. The board | substrate conveying apparatus H of this invention is a board | substrate conveying apparatus which conveys the board | substrate P exposed by the image of the pattern through the projection optical system PL and the liquid LQ, and is attached to the board | substrate P. It is characterized by including the liquid detectors 80 and 90 for detecting the liquid LQ.

또한 본 발명의 기판 반송 방법은, 투영 광학계 (PL) 와 액체 (LQ) 를 통한 패턴의 이미지에 의해서 노광된 기판 (P) 을 반송하는 기판 반송 방법에 있어서, 기판 (P) 의 반송 경로 도중에, 기판 (P) 에 부착된 액체 (LQ) 를 검출하는 것을 특징으로 한다. Moreover, the board | substrate conveyance method of this invention is a board | substrate conveyance method which conveys the board | substrate P exposed by the image of the pattern through the projection optical system PL and the liquid LQ, In the middle of the conveyance path of the board | substrate P, The liquid LQ attached to the substrate P is detected.

본 발명에 의하면, 액침 노광 후의 기판을 반송할 때, 기판에 부착된 액체를 검출할 수 있다. 그리고, 그 검출 결과에 기초하여, 예를 들어 기판에 액체가 부착되에 있는 경우에는 액체 제거를 실시한 후, 그 기판을 현상 처리 등의 노광 후의 프로세스 처리로 보낼 수 있다. 따라서, 그 노광 후의 프로세스 처리에서는 액체의 영향을 받지 않고 원하는 성능을 갖는 디바이스를 제조할 수 있다. 또한, 기판에 액체가 부착되어 있지 않다고 검출된 경우에는 액체 제거를 생략할 수 있어, 작업 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 액체 제거를 실시한 후에 다시 기판 상의 액체를 검출함으로써, 액체 제거가 양호하게 실시되었는지 아닌지를 검출할 수 있다. 이와 같이, 액체 검출기의 검출 결과에 기초하여, 높은 디바이스 생산성을 유지하기 위한 적절한 처치를 행할 수 있다. According to this invention, when conveying the board | substrate after liquid immersion exposure, the liquid adhered to a board | substrate can be detected. And based on the detection result, for example, when liquid adheres to a board | substrate, after removing a liquid, the board | substrate can be sent to post-exposure process processes, such as image development. Therefore, in the process process after the exposure, a device having a desired performance can be manufactured without being affected by the liquid. In addition, when it is detected that no liquid adheres to the substrate, the liquid removal can be omitted, and the working efficiency can be improved. In addition, by detecting the liquid on the substrate again after performing the liquid removal, it is possible to detect whether or not the liquid removal is performed well. In this manner, based on the detection result of the liquid detector, appropriate treatment for maintaining high device productivity can be performed.

본 발명의 노광 장치 (EX-SYS, EX) 는, 기판 스테이지 (PST) 에 유지된 기판 (P) 에, 투영 광학계 (PL) 와 액체 (LQ) 를 통하여 패턴의 이미지를 투영하고, 기판 (P) 을 노광하는 노광 장치에 있어서, 상기 기재된 기판 반송 장치 (H) 를 사용하여, 기판 스테이지 (PST) 로부터 기판 (P) 을 반송하는 것을 특징으로 한다. The exposure apparatus EX-SYS and EX of this invention project the image of a pattern on the board | substrate P hold | maintained at the board | substrate stage PST via the projection optical system PL and the liquid LQ, and the board | substrate P In the exposure apparatus which exposes), the board | substrate P is conveyed from the board | substrate stage PST using the board | substrate conveyance apparatus H described above. It is characterized by the above-mentioned.

또한 본 발명의 노광 방법은, 기판 스테이지 (PST) 에 유지된 기판 (P) 에, 투영 광학계 (PL) 와 액체 (LQ) 를 통하여 패턴의 이미지를 투영하고, 기판 (P) 을 노광하는 노광 방법에 있어서, 상기 기재의 기판 반송 방법을 사용하여, 기판 스테 이지 (PST) 로부터 기판 (P) 을 반송하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다. Moreover, the exposure method of this invention projects the image of a pattern on the board | substrate P hold | maintained at the board | substrate stage PST through the projection optical system PL and the liquid LQ, and exposes the board | substrate P. It characterized by having the process of conveying the board | substrate P from the board | substrate stage PST using the board | substrate conveyance method of the said description.

또한 본 발명의 디바이스 제조 방법은, 상기 기재된 노광 방법을 사용하는 것을 특징으로 한다. Moreover, the device manufacturing method of this invention uses the exposure method described above, It is characterized by the above-mentioned.

본 발명에 의하면, 액체 검출기의 검출 결과에 기초하여 높은 디바이스 생산성을 유지하기 위한 적절한 처치를 행할 수 있고, 원하는 성능을 갖는 디바이스를 제조할 수 있다. According to the present invention, an appropriate procedure for maintaining high device productivity can be performed based on the detection result of the liquid detector, and a device having desired performance can be manufactured.

발명의 효과Effects of the Invention

본 발명에 의하면, 액체 검출기의 검출 결과에 기초하여 높은 디바이스 생산성을 유지하기 위한 적절한 처치를 행할 수 있고, 원하는 성능을 갖는 디바이스를 제조할 수 있다. According to the present invention, an appropriate procedure for maintaining high device productivity can be performed based on the detection result of the liquid detector, and a device having desired performance can be manufactured.

도면의 간단한 설명Brief description of the drawings

도 1 은 본 발명의 노광 장치를 구비한 디바이스 제조 시스템의 일 실시 형태를 나타내는 개략 구성도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic block diagram which shows one Embodiment of the device manufacturing system provided with the exposure apparatus of this invention.

도 2 는 도 1 을 상방에서 본 도면이다. FIG. 2 is a view of FIG. 1 viewed from above. FIG.

도 3 은 노광 처리를 실시하는 노광 장치 본체의 일 실시 형태를 나타내는 개략 구성도이다. It is a schematic block diagram which shows one Embodiment of the exposure apparatus main body which performs an exposure process.

도 4 는 공급 노즐 및 회수 노즐의 배치예를 나타내는 도면이다. 4 is a diagram illustrating an arrangement example of a supply nozzle and a recovery nozzle.

도 5 는 액체 제거 시스템의 일 실시 형태를 나타내는 도면이다. 5 shows an embodiment of a liquid removal system.

도 6 은 본 발명의 노광 방법의 일 실시 형태를 나타내는 플로우 차트도이다. 6 is a flowchart illustrating an embodiment of an exposure method of the present invention.

도 7 은 본 발명에 관련된 액체 검출기의 별도의 실시 형태를 나타내는 측면도이다. 7 is a side view showing another embodiment of the liquid detector according to the present invention.

도 8 은 도 7 의 평면도이다. 8 is a plan view of FIG. 7.

도 9a 는 기판 상에 액체 검출용의 검출광이 조사되어 있는 모양을 나타내는 도면이다. It is a figure which shows the state in which the detection light for liquid detection was irradiated on the board | substrate.

도 9b 는 기판 상에 액체 검출용의 검출광이 조사되어 있는 모양을 나타내는 도면이다. It is a figure which shows the state in which the detection light for liquid detection was irradiated on the board | substrate.

도 10 은 반도체 디바이스의 제조 공정의 일례를 나타내는 플로우 차트도이다. 10 is a flowchart illustrating an example of a manufacturing process of a semiconductor device.

부호의 설명Explanation of the sign

80, 80' … 액체 검출기 (촬상 장치), 90 … 액체 검출기, 91 … 조사계 (조사부), 92 … 수광계 (수광부), CONT … 제어 장치 (판정 장치), EX…노광 장치 본체, EX-SYS … 노광 장치, H … 반송 시스템, LQ … 액체, P … 기판, PL … 투영 광학계, PST … 기판 스테이지80, 80 '... Liquid detector (imaging device), 90. Liquid detector, 91... Survey system (irradiation unit), 92. Receiver (Receiver), CONT… Control device (judgment device), EX... Exposure apparatus main body, EX-SYS... Exposure apparatus, H... Conveying system, LQ... Liquid, P... Substrate, PL... Projection optical system, PST. Board stage

발명을 실시하기To practice the invention 위한 최선의 형태 Best form for

이하, 본 발명의 기판 반송 장치 및 노광 장치에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1 은 본 발명의 노광 장치를 구비한 디바이스 제조 시스템의 일 실시 형태를 나타내는 도면으로서 측방에서 본 개략 구성도, 도 2 는 도 1 을 상방에서 본 도면이다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the board | substrate conveyance apparatus and exposure apparatus of this invention are demonstrated, referring drawings. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows one Embodiment of the device manufacturing system provided with the exposure apparatus of this invention, and is a schematic block diagram which looked at from the side, FIG.

도 1, 도 2 에 있어서 디바이스 제조 시스템 (SYS) 은, 노광 장치 (EX-SYS) 와 코터ㆍ디벨로퍼 장치 (C/D-SYS, 도 2 참조) 를 구비하고 있다. 노광 장치 (EX-SYS) 는, 코터ㆍ디벨로퍼 장치 (C/D-SYS) 와의 접속부를 형성하는 인터페이스부 (IF, 도 2 참조) 와, 투영 광학계 (PL) 와 기판 (P) 사이를 액체 (LQ) 로 채우고, 투영 광학계 (PL) 와 액체 (LQ) 를 통해, 마스크에 형성된 패턴을 기판 (P) 상에 투영하여 기판 (P) 을 노광하는 노광 장치 본체 (EX) 와, 인터페이스부 (IF) 와 노광 장치 본체 (EX) 사이에서 기판 (P) 을 반송하는 반송 시스템 (H) 과, 반송 시스템 (H) 의 반송 경로 도중에 형성되어, 기판 (P) 표면에 부착된 액체 (LQ) 를 제거하는 액체 제거 시스템 (100) 과, 반송 시스템 (H) 의 반송 경로 도중에 형성되고, 기판 (P) 에 부착된 액체 (LQ) 를 검출하는 액체 검출기를 구성하는 촬상 장치 (80) 와, 노광 장치 (EX-SYS) 전체의 동작을 통괄 제어하는 제어 장치 (CONT) 를 구비하고 있다. 코터ㆍ디벨로퍼 장치 (C/D-SYS) 는, 노광 처리되기 전인 기판 (P) 의 기재에 대해 포토레지스트 (감광제) 를 도포하는 도포 장치 (C) 와, 노광 장치 본체 (EX) 에 있어서 노광 처리된 후의 기판 (P) 을 현상 처리하는 현상 장치 (처리 장치, D) 를 구비하고 있다. 노광 장치 본체 (EX) 는 클린도가 관리된 제 1 챔버 장치 (CH1) 내부에 배치되어 있다. 한편, 도포 장치 (C) 및 현상 장치 (D) 는 제 1 챔버 장치 (CH1) 와는 별도의 제 2 챔버 장치 (CH2) 내부에 배치되어 있다. 그리고, 노광 장치 본체 (EX) 를 수용하는 제 1 챔버 장치 (CH1) 와, 도포 장치 (C) 및 현상 장치 (D) 를 수용하는 제 2 챔버 장치 (CH2) 란, 인터페이스부 (IF) 를 통해 접속되어 있다. 여기에서, 이하의 설명에 있어서, 제 2 챔버 장치 (CH2) 내부에 수용되어 있는 도포 장치 (C) 및 현상 장치 (D) 를 합쳐서 「코터ㆍ디벨로퍼 본체 (C/D)」 로 적절히 표현한다. In FIG. 1, FIG. 2, the device manufacturing system SYS is equipped with the exposure apparatus EX-SYS and the coater developer apparatus C / D-SYS (refer FIG. 2). The exposure apparatus EX-SYS includes an interface portion IF (see FIG. 2) for forming a connection portion with the coater developer device C / D-SYS, and a liquid (between the projection optical system PL and the substrate P). LQ), the exposure apparatus main body EX which exposes the board | substrate P by projecting the pattern formed in the mask on the board | substrate P through the projection optical system PL and the liquid LQ, and the interface part IF ) And the liquid system L which conveys the board | substrate P between the exposure apparatus main body EX, and the conveyance path of the conveyance system H, and adhere | attach on the surface of the board | substrate P are removed. An imaging device 80 and an exposure apparatus, which are formed in the middle of the conveyance path of the conveying system H and constitute a liquid detector for detecting the liquid LQ attached to the substrate P, The control apparatus CONT which collectively controls the operation | movement of the whole EX-SYS is provided. The coater developer device (C / D-SYS) is an exposure process in a coating device (C) for applying a photoresist (photosensitive agent) to a substrate of a substrate (P) before exposure processing, and an exposure apparatus main body (EX). The developing apparatus (processing apparatus, D) which develops and processes the board | substrate P after being used is provided. The exposure apparatus main body EX is disposed inside the first chamber apparatus CH1 in which the cleanliness is managed. On the other hand, the coating apparatus C and the developing apparatus D are arrange | positioned inside 2nd chamber apparatus CH2 separate from 1st chamber apparatus CH1. And the 1st chamber apparatus CH1 which accommodates exposure apparatus main body EX, and the 2nd chamber apparatus CH2 which accommodates the coating apparatus C and the developing apparatus D are the interface part IF. Connected. Here, in the following description, the coating device (C) and the developing device (D) accommodated in the 2nd chamber apparatus CH2 are combined suitably, as a "coater developer main body (C / D)."

도 1 에 나타내는 바와 같이, 노광 장치 본체 (EX) 는, 노광광 (EL) 에 의해 마스크 스테이지 (MST) 에 지지되어 있는 마스크 (M) 를 조명하는 조명 광학계 (IL) 와, 노광광 (EL) 에 의해 조명된 마스크 (M) 패턴의 이미지를 기판 (P) 상에 투영하는 투영 광학계 (PL) 와, 기판 (P) 을 지지하는 기판 스테이지 (PST) 를 구비하고 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서의 노광 장치 본체 (EX) 는, 마스크 (M) 와 기판 (P) 을 주사 방향에 있어서의 서로 다른 방향 (역방향) 으로 동기 이동하면서, 마스크 (M) 에 형성된 패턴을 기판 (P) 에 노광하는 주사형 노광 장치 (이른바, 스캐닝 스테퍼) 이다. 이하의 설명에 있어서, 수평면 내에 있어서 마스크 (M) 와 기판 (P) 의 동기 이동 방향 (주사 방향) 을 X 축 방향, 수평면 내에서 X 축 방향과 직교하는 방향을 Y 축 방향 (비주사 방향), X 축 및 Y 축 방향에 수직이고 투영 광학계 (PL) 의 광축 (AX) 과 일치하는 방향을 Z 축 방향으로 한다. 또한, X 축, Y 축, 및 Z 축 주위의 회전 (경사) 방향을 각각, θX, θY, 및 θZ 방향이라고 한다. 또, 여기에서 말하는 「기판」은 반도체 웨이퍼 상에 레지스트를 도포한 것을 포함하고, 「마스크」는 기판 상에 축소 투영되는 디바이스 패턴이 형성된 레티클을 포함한다. As shown in FIG. 1, the exposure apparatus main body EX is the illumination optical system IL which illuminates the mask M supported by the mask stage MST by exposure light EL, and exposure light EL. The projection optical system PL which projects the image of the mask M pattern illuminated by the light on the board | substrate P, and the board | substrate stage PST which support the board | substrate P are provided. Moreover, the exposure apparatus main body EX in this embodiment moves the mask M and the board | substrate P to the pattern formed in the mask M, moving synchronously in the different direction (reverse direction) in a scanning direction. It is a scanning exposure apparatus (so-called scanning stepper) which exposes to the board | substrate P. In the following description, the synchronous movement direction (scanning direction) of the mask M and the substrate P in the horizontal plane is the X axis direction, and the direction orthogonal to the X axis direction in the horizontal plane is the Y axis direction (non-scanning direction). , Z-axis direction is perpendicular to the X-axis and Y-axis directions and coincides with the optical axis AX of the projection optical system PL. In addition, the rotation (tilting) directions around the X, Y, and Z axes are referred to as θX, θY, and θZ directions, respectively. In addition, the term "substrate" as used herein includes a coating of a resist on a semiconductor wafer, and the term "mask" includes a reticle in which a device pattern is reduced and projected onto the substrate.

반송 시스템 (H) 은, 노광 처리되기 전의 기판 (P) 을 기판 스테이지 (PST) 에 반입 (로드) 하는 제 1 아암 부재 (H1) 와, 노광 처리된 후의 기판 (P) 을 기판 스테이지 (PST) 로부터 반출 (언로드) 하는 제 2 아암 부재 (H2) 를 구비하고 있다. 도포 장치 (C) 로부터 반송된 노광 처리 전의 기판 (P) 은 인터페이스부 (IF) 를 통해 제 3 아암 부재 (H3) 로 넘겨진다. 제 3 아암 부재 (H3) 는, 기판 (P) 을 프리 얼라이먼트부 (PAL) 로 넘긴다. 프리 얼라이먼트부 (PAL) 는, 기판 스테이지 (PST) 에 대해 기판 (P) 의 대략적인 위치 맞춤을 행한다. 촬상 장치 (80) 는 프리 얼라이먼트부 (PAL) 의 상방에 형성되어 있고, 프리 얼라이먼트부 (PAL) 는 촬상 장치 (80) 의 촬상 영역 (촬상 시야) 내에 배치된다. 또한, 촬상 장치 (80') 는, 기판 스테이지 (PST) 와 유지 테이블 (HT) 사이에 있어서의 노광 처리 후의 기판 (P) 의 반송 경로의 상방에 형성된다. 프리 얼라이먼트부 (PAL) 에서 위치 맞춤된 기판 (P) 은 제 1 아암 부재 (H1) 에 의해서 기판 스테이지 (PST) 에 로드된다. 노광 처리를 끝낸 기판 (P) 은 제 2 아암 부재 (H2) 에 의해서 기판 스테이지 (PST) 로부터 언로드된다. 제 2 아암 부재 (H2) 는 노광 처리 후의 기판 (P) 을, 그 기판 (P) 의 반송 경로 도중에 형성된 유지 테이블 (HT) 으로 넘긴다. 유지 테이블 (HT) 은, 액체 제거 시스템 (100) 의 일부를 구성하는 것으로, 넘겨받은 기판 (P) 을 일시 유지한다. 유지 테이블 (HT) 은 커버 부재 (70) 내부에 배치되어 있고, 커버 부재 (70) 에는 반송되는 기판 (P) 을 통과시키기 위한 개구부 (71, 72) 가 형성되어 있다. 개구부 (71, 72) 에는 셔터부 (71A, 72A) 가 형성되어 있고, 개구부 (71, 72) 를 개폐한다. 유지 테이블 (HT) 은 기판 (P) 을 유지하여 회전 가능하고, 그 유지 테이블 (HT) 의 회전에 의해서 방향이 바뀐 기판 (P) 은, 제 4 아암 부재 (H4) 에 유지되어, 인터페이스부 (IF) 까지 반송된다. 인터페이스부 (IF) 에 반송된 기판 (P) 은 현상 장치 (D) 로 넘겨진다. 현상 장치 (D) 는 넘겨진 기판 (P) 에 대하여 현상 처리를 행한 다. The conveyance system H carries out the 1st arm member H1 which carries in (loads) the board | substrate P before exposure process to the board | substrate stage PST, and the board | substrate P after exposure process is carried out by the board | substrate stage PST. The 2nd arm member H2 carried out (unloaded) is provided. The board | substrate P before the exposure process conveyed from the coating device C is turned over to the 3rd arm member H3 via the interface part IF. The 3rd arm member H3 turns over the board | substrate P to the pre-alignment part PAL. The prealignment part PAL performs the rough alignment of the board | substrate P with respect to the board | substrate stage PST. The imaging device 80 is formed above the prealignment part PAL, and the prealignment part PAL is arrange | positioned in the imaging area (imaging visual field) of the imaging device 80. Moreover, the imaging device 80 'is formed above the conveyance path | route of the board | substrate P after the exposure process between the board | substrate stage PST and the holding table HT. The substrate P positioned in the prealignment portion PAL is loaded into the substrate stage PST by the first arm member H1. The board | substrate P which completed the exposure process is unloaded from the substrate stage PST by the 2nd arm member H2. The 2nd arm member H2 turns over the board | substrate P after an exposure process to the holding table HT formed in the middle of the conveyance path of the board | substrate P. As shown in FIG. The holding table HT constitutes a part of the liquid removing system 100, and temporarily holds the substrate P passed over. The holding table HT is arrange | positioned inside the cover member 70, and the cover member 70 is provided with the opening parts 71 and 72 for passing the board | substrate P to be conveyed. Shutter parts 71A and 72A are formed in the openings 71 and 72 to open and close the openings 71 and 72. The holding table HT is rotatable while holding the substrate P, and the substrate P whose direction is changed by the rotation of the holding table HT is held by the fourth arm member H4, and the interface portion ( Returned to IF). The board | substrate P conveyed to the interface part IF is turned over to the developing apparatus D. FIG. The developing apparatus D performs the developing process with respect to the board | substrate P which was turned over.

그리고, 제 1 ∼ 제 4 아암 부재 (H1 ∼ H4), 프리 얼라이먼트부 (PAL), 촬상 장치 (80), 및 유지 테이블 (HT) 도 제 1 챔버 장치 (CH1) 내부에 배치되어 있다. 여기서, 제 1, 제 2 챔버 장치 (CH1, CH2) 각각의 인터페이스부 (IF) 와 대면하는 부분에는 개구부 및 이 개구부를 개폐하는 셔터가 형성되어 있다. 기판 (P) 의 인터페이스부 (IF) 에 대한 반송 동작 중에는 셔터가 개방된다. The first to fourth arm members H1 to H4, the prealignment unit PAL, the imaging device 80, and the holding table HT are also disposed inside the first chamber device CH1. Here, the opening part and the shutter which opens and closes this opening part are formed in the part facing the interface part IF of each of the 1st, 2nd chamber apparatus CH1, CH2. The shutter is opened during the conveyance operation with respect to the interface part IF of the board | substrate P.

촬상 장치 (80) 는, 프리 얼라이먼트부 (PAL) 에 유지된 기판 (P) 표면을 촬상하는 것이다. 촬상 장치 (80) 의 촬상 결과는 제어 장치 (CONT) 에 출력되고 제어 장치 (CONT) 는 촬상 장치 (80) 의 촬상 결과에 기초하여 기판 (P) 표면 정보를 구한다. The imaging device 80 images the surface of the substrate P held by the prealignment part PAL. The imaging result of the imaging device 80 is output to the control apparatus CONT, and the control apparatus CONT obtains the board | substrate P surface information based on the imaging result of the imaging apparatus 80.

촬상 장치 (80') 는, 유지 테이블 (HT) 에 반송되기 전에, 노광 처리 후의 기판 (P) 표면을 촬상하는 것이다. 촬상 장치 (80') 의 촬상 결과는 제어 장치 (CONT) 에 출력되고, 제어 장치 (CONT) 는 촬상 장치 (80') 의 촬상 결과에 기초하여 기판 (P) 표면 정보를 구한다. The imaging device 80 'captures the surface of the substrate P after the exposure process before being conveyed to the holding table HT. The imaging result of the imaging device 80 'is output to the control apparatus CONT, and the control apparatus CONT obtains the board | substrate P surface information based on the imaging result of the imaging apparatus 80'.

제 1 아암 부재 (H1) 는 노광 처리되기 전의 액체 (LQ) 가 부착되어 있지 않은 기판 (P) 을 유지하여 기판 스테이지 (PST) 에 로드한다. 한편, 제 2 아암 부재 (H2) 는 액침 노광 처리된 후의 액체 (LQ) 가 부착되어 있을 가능성이 있는 기판 (P) 을 유지하여 기판 스테이지 (PST) 로부터 언로드한다. 이와 같이, 액체 (LQ) 가 부착되어 있지 않은 기판 (P) 을 반송하는 제 1 아암 부재 (H1) 와, 액체 (LQ) 가 부착되어 있을 가능성이 있는 기판 (P) 을 반송하는 제 2 아암 부재 (H2) 를 구별하여 사용하고 있기 때문에, 제 1 아암 부재 (H1) 에는 액체 (LQ) 가 부착되지 않고, 기판 스테이지 (PST) 에 로드되는 기판 (P) 의 이면 등으로의 액체 (LQ) 의 부착을 방지할 수 있다. 따라서, 기판 스테이지 (PST) 의 기판 홀더가 기판 (P) 을 진공 흡착 유지하는 구성이어도, 기판 홀더의 흡착 구멍을 통하여 진공 펌프 등의 진공계에 액체 (LQ) 가 침입하는 문제의 발생을 방지할 수 있다. 도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 2 아암 부재 (H2) 의 반송 경로는, 제 1 아암 부재 (H1) 의 반송 경로의 하방에 형성되어 있기 때문에, 기판 (P) 표면이나 이면에 부착된 액체 (LQ) 가, 제 1 아암 부재 (H1) 가 유지하는 노광 전의 기판 (P) 에 부착될 가능성이 적다. The first arm member H1 holds the substrate P to which the liquid LQ before the exposure treatment is not attached, and loads it onto the substrate stage PST. On the other hand, the second arm member H2 unloads from the substrate stage PST while holding the substrate P on which the liquid LQ after the liquid immersion exposure treatment has adhered. Thus, the 1st arm member H1 which conveys the board | substrate P with which the liquid LQ is not attached, and the 2nd arm member which conveys the board | substrate P with which the liquid LQ may be attached. Since H2 is used separately, the liquid LQ is not attached to the first arm member H1, and the liquid LQ on the back surface or the like of the substrate P loaded on the substrate stage PST is used. The adhesion can be prevented. Therefore, even if the substrate holder of the substrate stage PST is configured to suck and hold the substrate P in vacuum, the occurrence of a problem that the liquid LQ enters into a vacuum system such as a vacuum pump through the suction hole of the substrate holder can be prevented. have. As shown in FIG. 1, since the conveyance path | route of the 2nd arm member H2 is formed below the conveyance path | route of the 1st arm member H1, the liquid LQ adhered to the board | substrate P surface or back surface. ) Is less likely to be attached to the substrate P before the exposure held by the first arm member H1.

도 3 은, 노광 장치 본체 (EX) 의 개략 구성도이다. 조명 광학계 (IL) 는, 마스크 스테이지 (MST) 에 지지되어 있는 마스크 (M) 를 노광광 (EL) 에 의해 조명하는 것이고, 노광용 광원, 노광용 광원으로부터 사출된 광속의 조도를 균일화하는 옵티컬 인터그레이터, 옵티컬 인터그레이터로부터의 노광광 (EL) 을 집광하는 콘덴서 렌즈, 릴레이 렌즈계, 노광광 (EL) 에 의한 마스크 (M) 상의 조명 영역을 슬릿 형태로 설정하는 가변 시야 조리개 등을 갖고 있다. 마스크 (M) 상의 소정의 조명 영역은 조명 광학계 (IL) 에 의해 균일한 조도 분포의 노광광 (EL) 으로 조명된다. 조명 광학계 (IL) 로부터 사출되는 노광광 (EL) 으로서는, 예를 들어, 수은 램프로부터 사출되는 자외역의 휘선 (g 선, h 선, i 선) 및 KrF 엑시머 레이저광 (파장 248mm 등의 원자외광 (DUV광) 이나, ArF 엑시머 레이저광 (파장 193mm) 및 F2 레이저광 (파장 157mm) 등의 진공자 외광 (VUV광) 등이 사용된다. 본 실시 형태에서는, ArF 엑시머 레이저광을 사용한 경우를 예로 들어 설명한다. 3 is a schematic configuration diagram of the exposure apparatus main body EX. The illumination optical system IL illuminates the mask M supported by the mask stage MST with the exposure light EL, and the optical integrator which equalizes the illuminance of the light source emitted from the exposure light source and the exposure light source, And a condenser lens for condensing the exposure light EL from the optical integrator, a relay lens system, and a variable field stop for setting the illumination region on the mask M by the exposure light EL in a slit form. The predetermined illumination area on the mask M is illuminated by the exposure light EL having a uniform illuminance distribution by the illumination optical system IL. As the exposure light EL emitted from the illumination optical system IL, for example, the ultraviolet rays (g-line, h-line, i-line) and KrF excimer laser light (wavelength 248 mm) of ultraviolet rays emitted from the mercury lamp are emitted. Ultraviolet light (DUV light), and vacuum ultraviolet light (VUV light) such as ArF excimer laser light (wavelength 193 mm) and F 2 laser light (wavelength 157 mm) are used. In this embodiment, the case where ArF excimer laser beam is used is demonstrated as an example.

마스크 스테이지 (MST) 는, 마스크 (M) 를 지지하는 것으로, 투영 광학계 (PL) 의 광축 (AX) 에 수직인 평면 내, 즉, XY 평면 내에서 2차원 이동 가능 및 θZ 방향으로 미소 회전 가능하다. 마스크 스테이지 (MST) 는 리니어 모터 등의 마스크 스테이지 구동 장치 (MSTD) 에 의해 구동된다. 마스크 스테이지 구동 장치 (MSTD) 는 제어 장치 (CONT) 에 의해 제어된다. 마스크 스테이지 (MST) 상에는 이동경 (56) 이 형성되고, 이동경 (56) 에 대향하는 위치에는 레이저 간섭계 (57) 가 형성되어 있다. 마스크 (M) 를 유지한 마스크 스테이지 (MST) 의 2차원 방향의 위치, 및 회전각은 레이저 간섭계에 의해 실시간으로 계측되고, 계측 결과는 제어 장치 (CONT) 에 출력된다. 제어 장치 (CONT) 는 레이저 간섭계의 계측 결과에 따라 마스크 스테이지 구동 장치 (MSTD) 를 구동함으로써 마스크 스테이지 (MST) 에 지지되어 있는 마스크 (M) 의 위치를 결정한다. The mask stage MST supports the mask M, and is capable of two-dimensional movement in the plane perpendicular to the optical axis AX of the projection optical system PL, that is, the XY plane, and micro-rotation in the θZ direction. . The mask stage MST is driven by a mask stage drive device MSTD such as a linear motor. The mask stage drive device MSTD is controlled by the control device CONT. A moving mirror 56 is formed on the mask stage MST, and a laser interferometer 57 is formed at a position facing the moving mirror 56. The position and rotation angle of the mask stage MST holding the mask M are measured in real time by a laser interferometer, and the measurement result is output to the control apparatus CONT. The control apparatus CONT determines the position of the mask M supported by the mask stage MST by driving the mask stage drive apparatus MSTD according to the measurement result of a laser interferometer.

투영 광학계 (PL) 는, 마스크 (M) 의 패턴을 소정의 투영 배율 (β) 로 기판 (P) 에 투영 노광하는 것으로, 복수의 광학 소자 (렌즈나 미러) 에서 구성되어 있고, 이들 광학 소자는 경통 (PK) 내에 수용되어 있다. 본 실시 형태에 있어서, 투영 광학계 (PL) 는, 투영 배율 (β) 이 예를 들어 1/4 혹은 1/5 인 축소계이다. 또, 투영 광학계 (PL) 는 등배계 및 확대계 중 어느 것이어도 된다. 또한, 본 실시 형태의 투영 광학계 (PL) 의 선단측 (기판 (P) 측) 에는, 광학 소자 (렌즈, 2) 가 경통 (PK) 으로부터 노출되어 있다. 이 광학 소자 (2) 는 경통 (PK) 에 대해 착탈 (교환) 가능하게 형성되어 있다. The projection optical system PL projects and exposes the pattern of the mask M onto the substrate P at a predetermined projection magnification β, and is composed of a plurality of optical elements (lens or mirror). Housed in the barrel (PK). In this embodiment, projection optical system PL is a reduction system whose projection magnification (beta) is 1/4 or 1/5, for example. In addition, the projection optical system PL may be either an equal magnification system or an enlargement system. Moreover, the optical element (lens, 2) is exposed from the barrel PK at the front end side (substrate P side) of the projection optical system PL of this embodiment. This optical element 2 is formed so that attachment or detachment (exchange) is possible with respect to the barrel PK.

광학 소자 (2) 는 형석으로 형성되어 있다. 형석은 순수와의 친화성이 높기 때문에, 광학 소자 (2) 의 선단면 (액체 접촉면, 2a) 의 거의 전체면에 액체 (LQ) 를 밀착시킬 수 있다. 즉, 본 실시 형태에서는 광학 소자 (2) 의 액체 접촉면 (2a) 과의 친화성이 높은 액체 (물, LQ) 를 공급하도록 하고 있기 때문에, 광학 소자 (2) 의 액체 접촉면 (2a) 과 액체 (LQ) 의 밀착성이 높다. 또, 광학 소자 (2) 는 물과의 친화성이 높은 석영이어도 된다. 또 광학 소자 (2) 의 액체 접촉면 (2a) 에 친수화 (친액화) 처리를 행하여 액체 (LQ) 와의 친화성을 더욱 높이도록 해도 된다. The optical element 2 is made of fluorite. Since the fluorite has high affinity with pure water, the liquid LQ can be brought into close contact with almost the entire surface of the front end surface (liquid contact surface 2a) of the optical element 2. That is, in this embodiment, since the liquid (water, LQ) which has high affinity with the liquid contact surface 2a of the optical element 2 is supplied, the liquid contact surface 2a of the optical element 2 and the liquid ( LQ) has high adhesiveness. The optical element 2 may be quartz having high affinity with water. The liquid contact surface 2a of the optical element 2 may be subjected to a hydrophilization (lyophilization) treatment to further enhance affinity with the liquid LQ.

기판 스테이지 (PST) 는, 기판 (P) 을 지지하는 것으로, 기판 (P) 을 기판 홀더를 통해 유지하는 Z 스테이지 (51) 와, Z 스테이지 (51) 를 지지하는 XY 스테이지 (52) 와, XY 스테이지 (52) 를 지지하는 베이스 (53) 를 구비하고 있다. 기판 스테이지 (PST) 는 리니어 모터 등의 기판 스테이지 구동 장치 (PSTD) 에 의해 구동된다. 기판 스테이지 구동 장치 (PSTD) 는 제어 장치 (CONT) 에 의해 제어된다. Z 스테이지 (51) 를 구동함으로써, Z 스테이지 (51) 에 유지되어 있는 기판 (P) 의 Z 축 방향에 있어서의 위치 (포커스 위치), 및 θX, θY 방향에 있어서의 위치가 제어된다. 또한 XY 스테이지 (52) 를 구동함으로써, 기판 (P) 의 XY 방향에 있어서의 위치 (투영 광학계 (PL) 의 이미지면과 실질적으로 평행한 방향의 위치) 가 제어된다. 즉, Z 스테이지 (51) 는, 기판 (P) 의 포커스 위치 및 경사각을 제어하여 기판 (P) 표면을 오토 포커스 방식, 및 오토 레벨링 방식으로 투영 광학계 (PL) 의 이미지면에 맞춰 넣고, XY 스테이지 (52) 는 기판 (P) 의 X 축 방향 및 Y 축 방향에 있어서의 위치 결정을 실시한다. 또, Z 스테이지와 XY 스테이지를 일체적으로 형성해도 되는 것은 말할 필요도 없다. The board | substrate stage PST supports the board | substrate P, The Z stage 51 which hold | maintains the board | substrate P through the board | substrate holder, the XY stage 52 which supports the Z stage 51, and XY A base 53 supporting the stage 52 is provided. The substrate stage PST is driven by a substrate stage driving device PSTD such as a linear motor. Substrate stage driving device PSTD is controlled by control device CONT. By driving the Z stage 51, the position (focus position) in the Z axis direction of the substrate P held by the Z stage 51 and the positions in the θX and θY directions are controlled. In addition, by driving the XY stage 52, the position (position in a direction substantially parallel to the image plane of the projection optical system PL) in the XY direction of the substrate P is controlled. That is, the Z stage 51 controls the focus position and the inclination angle of the substrate P to fit the surface of the substrate P to the image plane of the projection optical system PL by the auto focus method and the auto leveling method, and the XY stage 52 performs positioning in the X-axis direction and Y-axis direction of the board | substrate P. FIG. It goes without saying that the Z stage and the XY stage may be formed integrally.

기판 스테이지 (PST, Z 스테이지 (51)) 상에는 이동경 (54) 이 형성되어 있다. 또한, 이동경 (54) 에 대향하는 위치에는 레이저 간섭계 (55) 가 형성되어 있다. 기판 스테이지 (PST) 상의 기판 (P) 의 2차원 방향의 위치, 및 회전각은 레이저 간섭계 (55) 에 의해 실시간으로 계측되고, 계측 결과는 제어 장치 (CONT) 에 출력된다. 제어 장치 (CONT) 는 레이저 간섭계 (55) 의 계측 결과에 따라 기판 스테이지 구동 장치 (PSTD) 를 구동함으로써 기판 스테이지 (PST) 에 지지되어 있는 기판 (P) 의 위치 결정을 실시한다. The movable mirror 54 is formed on the substrate stages PST and Z stage 51. Moreover, the laser interferometer 55 is formed in the position which opposes the moving mirror 54. As shown in FIG. The position and rotation angle of the two-dimensional direction of the substrate P on the substrate stage PST are measured in real time by the laser interferometer 55, and the measurement result is output to the control apparatus CONT. The control apparatus CONT drives the board | substrate stage drive apparatus PSTD according to the measurement result of the laser interferometer 55, and performs positioning of the board | substrate P supported by the board | substrate stage PST.

본 실시 형태에서는, 노광 파장을 실질적으로 짧게 하여 해상도를 향상시킴과 함께, 초점 심도를 실질적으로 넓히기 위해서 액침법을 적용한다. 그 때문에, 적어도 마스크 (M) 의 패턴의 이미지를 기판 (P) 상에 전사하고 있는 동안에는, 기판 (P) 표면과 투영 광학계 (PL) 의 광학 소자 (2) 의 선단면 (2a) 사이에 소정의 액체 (LQ) 가 채워진다. 상기 서술한 바와 같이, 투영 광학계 (PL) 의 선단측에는 광학 소자 (2) 가 노출되어 있고, 액체 (LQ) 는 광학 소자 (2) 에만 접촉하도록 구성되어 있다. 이에 의해, 금속으로 이루어지는 경통 (PK) 의 부식 등이 방지되고 있다. 본 실시 형태에서, 액체 (LQ) 에는 순수가 사용된다. 순수는, ArF 엑시머 레이저광 뿐만 아니라, 노광광 (EL) 을 예를 들어 수은 램프로 부터 사출되는 자외역의 휘선 (g 선, h 선, i 선) 및 KrF 엑시머 레이저광 (파장 248nm) 등의 원적외광 (DUV 광) 으로 한 경우에도, 이 노광광 (EL) 을 투과할 수 있다. In this embodiment, an immersion method is applied to substantially shorten the exposure wavelength to improve the resolution and to substantially widen the depth of focus. Therefore, while transferring at least the image of the pattern of the mask M on the board | substrate P, it is predetermined between the surface of the board | substrate P and the front end surface 2a of the optical element 2 of the projection optical system PL. Is filled with the liquid LQ. As described above, the optical element 2 is exposed at the front end side of the projection optical system PL, and the liquid LQ is configured to contact only the optical element 2. Thereby, corrosion etc. of the barrel PK which consists of metals are prevented. In this embodiment, pure water is used for the liquid LQ. Pure water is not only ArF excimer laser light, but also ultraviolet rays (g-ray, h-ray, i-ray) and KrF excimer laser light (wavelength 248 nm) emitted from the mercury lamp, for example, the exposure light EL. Even when it is made into far-infrared light (DUV light), this exposure light EL can be transmitted.

노광 장치 본체 (EX) 는, 투영 광학계 (PL) 의 광학 소자 (2) 의 선단면 (2a) 과 기판 (P) 사이에 액체 (LQ) 를 공급하는 액체 공급 기구 (10) 와, 기판 (P) 상의 액체 (LQ) 를 회수하는 액체 회수 기구 (20) 를 구비하고 있다. 액체 공급 기구 (10) 는, 기판 (P) 상에 액침 영역 (AR2) 을 형성하기 위해서 소정의 액체 (LQ) 를 공급하는 것으로, 액체 (LQ) 를 송출 가능한 액체 공급 장치 (11) 와, 액체 공급 장치 (11) 에 공급관 (12) 을 통해 접속되고, 이 액체 공급 장치 (11) 로부터 송출된 액체 (LQ) 를 기판 (P) 상에 공급하는 공급구를 갖는 공급 노즐 (13) 을 구비하고 있다. 공급 노즐 (13) 은 기판 (P) 표면에 근접하여 배치되어 있다. The exposure apparatus main body EX includes a liquid supply mechanism 10 and a substrate P for supplying a liquid LQ between the front end surface 2a of the optical element 2 of the projection optical system PL and the substrate P. The liquid recovery mechanism 20 which collect | recovers the liquid LQ of phase) is provided. The liquid supply mechanism 10 supplies the predetermined liquid LQ in order to form the liquid immersion region AR2 on the substrate P. The liquid supply mechanism 11 capable of sending the liquid LQ and the liquid It is provided with the supply nozzle 13 which is connected to the supply apparatus 11 through the supply pipe 12, and has a supply port which supplies the liquid LQ sent out from this liquid supply apparatus 11 on the board | substrate P, have. The supply nozzle 13 is arrange | positioned adjacent to the board | substrate P surface.

액체 공급 장치 (11) 는, 액체 (LQ) 를 수용하는 탱크, 및 가압 펌프 등을 구비하고 있고, 공급관 (12) 및 공급 노즐 (13) 을 통해 기판 (P) 상에 액체 (LQ) 를 공급한다. 또한, 액체 공급 장치 (11) 의 액체 공급 동작은 제어 장치 (CONT) 에 의해 제어되고, 제어 장치 (CONT) 는 액체 공급 장치 (11) 에 의한 기판 (P) 상에 대한 단위 시간당 액체 공급량을 제어할 수 있다. 또한, 액체 공급 장치 (11) 는 액체 (LQ) 의 온도 조정 기구를 갖고 있고, 장치가 수용되는 챔버 내의 온도와 거의 동일한 온도 (예를 들어, 23℃) 의 액체 (LQ) 를 기판 (P) 상에 공급하도록 되어 있다. The liquid supply apparatus 11 is equipped with the tank which accommodates the liquid LQ, a pressurizing pump, etc., and supplies the liquid LQ on the board | substrate P via the supply pipe 12 and the supply nozzle 13. do. Further, the liquid supply operation of the liquid supply device 11 is controlled by the control device CONT, and the control device CONT controls the liquid supply amount per unit time to the substrate P by the liquid supply device 11. can do. Further, the liquid supply device 11 has a temperature adjusting mechanism of the liquid LQ, and the liquid LQ at a temperature (for example, 23 ° C.) which is almost the same as the temperature in the chamber in which the device is accommodated is supplied to the substrate P. It is supposed to supply a phase.

액체 회수 기구 (20) 는 기판 (P) 상의 액체 (LQ) 를 회수하는 것으로, 기판 (P) 표면에 접촉하지 않고, 근접하여 배치된 회수 노즐 (23) 과, 이 회수 노즐 (23) 에 회수관 (22) 을 통해 접속된 액체 회수 장치 (21) 를 구비하고 있다. 액체 회수 장치 (21) 는 예를 들어 진공 펌프 등의 진공계 (흡인 장치) 및 회수한 액체 (LQ) 를 수용하는 탱크 등을 구비하고 있고, 기판 (P) 상의 액체 (LQ) 를 회수 노즐 (23) 및 회수관 (22) 을 통해 회수한다. 액체 회수 장치 (21) 의 액체 회수 동작은 제어 장치 (CONT) 에 의해 제어되고, 제어 장치 (CONT) 는 액체 회수 장치 (21) 에 의한 단위 시간당 액체 회수량을 제어할 수 있다. The liquid recovery mechanism 20 recovers the liquid LQ on the substrate P. The liquid recovery mechanism 20 recovers the recovery nozzle 23 disposed in close proximity to the recovery nozzle 23 without contacting the surface of the substrate P. The liquid recovery apparatus 21 connected through the pipe 22 is provided. The liquid recovery device 21 includes, for example, a vacuum system such as a vacuum pump (suction device) and a tank for accommodating the recovered liquid LQ. The liquid recovery device 23 collects the liquid LQ on the substrate P. ) And through the recovery pipe (22). The liquid recovery operation of the liquid recovery device 21 is controlled by the control device CONT, and the control device CONT can control the liquid recovery amount per unit time by the liquid recovery device 21.

주사 노광시에는, 투영 광학계 (PL) 선단의 광학 소자 (2) 의 바로 아래의 투영 영역 (AR1) 에 마스크 (M) 의 일부의 패턴 이미지가 투영되고, 투영 광학계 (PL) 에 대해, 마스크 (M) 이 -X 방향 (또는 +X 방향) 에 속도 V 로 이동하는데 동기하여, XY 스테이지 (52) 를 통해 기판 (P) 이 +X 방향 (또는 -X 방향) 으로 속도 βㆍV (β는 투영 배율) 로 이동한다. 그리고, 1 개의 쇼트 영역에의 노광 종료 후에, 기판 (P) 의 스테핑에 의해 다음의 쇼트 영역이 주사 개시 위치로 이동하고, 이하, 스텝ㆍ앤드ㆍ스캔 방식으로 각 쇼트 영역에 대한 노광 처리가 차례로 실시된다. 본 실시 형태에서는, 기판 (P) 의 이동 방향을 따라 액체 (LQ) 를 흐르게 하도록 설정되어 있다. At the time of scanning exposure, the pattern image of a part of the mask M is projected on the projection area | region AR1 just under the optical element 2 of the front end of the projection optical system PL, and, with respect to the projection optical system PL, M) in synchronization with the movement of the speed V in the -X direction (or + X direction), the substrate P is moved in the + X direction (or -X direction) via the XY stage 52, Projection scale). After the exposure to one shot region is finished, the next shot region moves to the scanning start position by stepping the substrate P, and the exposure processing to each shot region is sequentially performed in a step-and-scan manner. Is carried out. In this embodiment, it is set so that the liquid LQ may flow along the moving direction of the board | substrate P. FIG.

도 4 는, 투영 광학계 (PL) 의 투영 영역 (AR1) 과, 액체 (LQ) 를 X 축 방향에 공급하는 공급 노즐 (13, 13A ∼ 13C) 과, 액체 (LQ) 를 회수하는 회수 노즐 (23, 23A, 23B) 과의 위치 관계를 나타내는 도면이다. 도 4 에 있어서, 투영 광학계 (PL) 의 투영 영역 (AR1) 의 형상은 Y 축 방향으로 가늘고 긴 직사각형으로 되어 있고, 그 투영 영역 (AR1) 을 X 축 방향으로 사이에 끼우도록, +X 방향 측에 3 개의 공급 노즐 (13A ∼ 13C) 이 배치되고, -X 방향 측에 2 개의 회수 노즐 (23A, 23B) 이 배치되어 있다. 그리고, 공급 노즐 (13A ∼ 13C) 은 공급관 (12) 을 통하여 액체 공급 장치 (11) 에 접속되고, 회수 노즐 (23A, 23B) 은 회수관 (22) 을 통하여 액체 회수 장치 (21) 에 접속되어 있다. 또한, 공급 노즐 (13A ∼ 13C) 과 회수 노즐 (23A, 23B) 을 거의 180° 회전시킨 위치 관계에서, 공급 노즐 (15A ∼ 15C) 과, 회수 노즐 (25A, 25B) 이 배치되어 있다. 공급 노즐 (13A ∼ 13C) 과 회수 노즐 (25A, 25B) 은 Y 축 방향으로 교대로 배열되고, 공급 노즐 (15A ∼ 15C) 과 회수 노즐 (23A, 23B) 은 Y 축 방향으로 교대로 배열되며, 공급 노즐 (15A ∼ 15C) 은 공급관 (14) 을 통하여 액체 공급 장치 (11) 에 접속되어, 회수 노즐 (25A, 25B) 은 회수관 (24) 을 통하여 액체 회수 장치 (21) 에 접속되어 있다.  4 shows the projection area AR1 of the projection optical system PL, the supply nozzles 13, 13A to 13C for supplying the liquid LQ in the X axis direction, and the recovery nozzle 23 for recovering the liquid LQ. , 23A and 23B). In FIG. 4, the shape of the projection area | region AR1 of the projection optical system PL becomes a thin elongate rectangle in the Y-axis direction, and + X direction side so that the projection area | region AR1 may be interposed between it in the X-axis direction. Three supply nozzles 13A-13C are arrange | positioned at this, and two collection nozzles 23A, 23B are arrange | positioned at the -X direction side. And supply nozzle 13A-13C is connected to the liquid supply apparatus 11 through the supply pipe 12, and recovery nozzle 23A, 23B is connected to the liquid recovery apparatus 21 through the recovery pipe 22, have. In addition, the supply nozzles 15A-15C and the recovery nozzles 25A, 25B are arrange | positioned at the positional relationship which rotated the supply nozzles 13A-13C and the recovery nozzles 23A, 23B nearly 180 degrees. The supply nozzles 13A to 13C and the recovery nozzles 25A and 25B are alternately arranged in the Y axis direction, and the supply nozzles 15A to 15C and the recovery nozzles 23A and 23B are alternately arranged in the Y axis direction, The supply nozzles 15A to 15C are connected to the liquid supply device 11 via the supply pipe 14, and the recovery nozzles 25A and 25B are connected to the liquid recovery device 21 through the recovery pipe 24.

그리고, 화살표 (Xa) 로 나타내는 주사 방향 (-X 방향) 으로 기판 (P) 을 이동시켜 주사 노광을 실시하는 경우에는, 공급관 (12), 공급 노즐 (13A ∼ 13C), 회수관 (22), 및 회수 노즐 (23A, 23B) 을 사용하여, 액체 공급 장치 (11) 및 액체 회수 장치 (21) 에 의해 액체 (LQ) 의 공급 및 회수가 실시된다. 즉, 기판 (P) 이 -X 방향으로 이동할 때는, 공급관 (12) 및 공급 노즐 (13: 13A ∼ 13C) 을 통해 액체 공급 장치 (11) 로부터 액체 (LQ) 가 기판 (P) 상에 공급됨과 함께, 회수 노즐 (23: 23A, 23B) 및 회수관 (22) 을 통해 액체 (LQ) 가 액체 회수 장치 (21) 로 회수되고, 투영 광학계 (PL) 와 기판 (P) 사이를 채우도록 -X 방향으로 액체 (LQ) 가 흐른다. 한편, 화살표 (Xb) 로 나타내는 주사 방향 (+X 방향) 으로 기판 (P) 을 이동시켜서 주사 노광을 실시하는 경우에는, 공급관 (14), 공급 노즐 (15A ∼ 15C), 회수관 (24), 및 회수 노즐 (25A, 25B) 을 사용하여, 액체 공급 장치 (11) 및 액체 회수 장치 (21) 에 의해 액체 (LQ) 의 공급 및 회수가 실시된다. 즉, 기판 (P) 이 +X 방향으로 이동할 때에는, 공급관 (14) 및 공급 노즐 (15: 15A∼15C) 을 통해 액체 공급 장치 (11) 로부터 액체 (LQ) 가 기판 (P) 상에 공급됨과 함께, 회수 노즐 (25: 25A, 25B) 및 회수관 (24) 을 통해 액체 (LQ) 가 액체 회수 장치 (21) 에 회수되고, 투영 광학계 (PL) 와 기판 (P) 사이를 채우도록 +X 방향으로 액체 (LQ) 가 흐른다. 이와 같이, 제어 장치 (CONT) 는, 액체 공급 장치 (11) 및 액체 회수 장치 (21) 를 사용하여, 기판 (P) 의 이동 방향을 따라 기판 (P) 의 이동 방향과 동일 방향으로 액체 (LQ) 를 흐르게 한다. 이 경우, 예를 들어 액체 공급 장치 (11) 로부터 공급 노즐 (13) 를 통해 공급되는 액체 (LQ) 는 기판 (P) 의 -X 방향에의 이동에 수반하여 투영 광학계 (PL) 와 기판 (P) 사이에 끌어들이듯이 하여 흐르기 때문에, 액체 공급 장치 (11) 의 공급 에너지가 작아도 액체 (LQ) 를 투영 광학계 (PL) 와 기판 (P) 사이에 용이하게 공급할 수 있다. 그리고, 주사 방향을 따라 액체 (LQ) 를 흐르게 하는 방향을 전환함으로써, +X 방향, 또는 -X 방향의 어느 방향으로 기판 (P) 을 주사하는 경우에도, 투영 광학계 (PL) 와 기판 (P) 사이를 액체 (LQ) 로 채울 수 있고, 높은 해상도 및 넓은 초점 심도를 얻을 수 있다. And when scanning exposure is performed by moving the board | substrate P to the scanning direction (-X direction) shown by arrow Xa, supply pipe 12, supply nozzles 13A-13C, recovery pipe 22, And supply and recovery of the liquid LQ by the liquid supply device 11 and the liquid recovery device 21 using the recovery nozzles 23A and 23B. That is, when the substrate P moves in the -X direction, the liquid LQ is supplied onto the substrate P from the liquid supply device 11 through the supply pipe 12 and the supply nozzles 13: 13A to 13C. Together, the liquid LQ is recovered to the liquid recovery device 21 through the recovery nozzles 23: 23A, 23B and the recovery pipe 22, and -X to fill between the projection optical system PL and the substrate P. The liquid LQ flows in the direction. On the other hand, when scanning exposure is performed by moving the board | substrate P to the scanning direction (+ X direction) shown by the arrow Xb, the supply pipe 14, supply nozzles 15A-15C, the recovery pipe 24, And supply and recovery of the liquid LQ by the liquid supply device 11 and the liquid recovery device 21 using the recovery nozzles 25A and 25B. That is, when the substrate P moves in the + X direction, the liquid LQ is supplied onto the substrate P from the liquid supply device 11 through the supply pipe 14 and the supply nozzles 15: 15A to 15C. Together, the liquid LQ is recovered to the liquid recovery apparatus 21 through the recovery nozzles 25: 25A and 25B and the recovery tube 24, and + X to fill between the projection optical system PL and the substrate P. The liquid LQ flows in the direction. Thus, the control apparatus CONT uses the liquid supply apparatus 11 and the liquid collection | recovery apparatus 21, and the liquid LQ in the same direction as the movement direction of the board | substrate P along the movement direction of the board | substrate P. ) To flow. In this case, for example, the liquid LQ supplied from the liquid supply device 11 through the supply nozzle 13 is accompanied by the projection optical system PL and the substrate P with the movement of the substrate P in the -X direction. Since the liquid flows in the gap between the liquid crystals, the liquid LQ can be easily supplied between the projection optical system PL and the substrate P even if the supply energy of the liquid supply device 11 is small. Then, even when the substrate P is scanned in either the + X direction or the -X direction by switching the direction in which the liquid LQ flows along the scanning direction, the projection optical system PL and the substrate P Can be filled with liquid (LQ), and high resolution and wide depth of focus can be obtained.

도 5 는, 액체 제거 시스템 (100) 을 나타내는 도면이다. 액침 노광 후의 기판 (P) 을 유지한 제 2 아암 부재 (H2) 는, 유지 테이블 (HT) 을 수용한 커버 부재 (70) 의 내부에 개구부 (71) 로부터 진입한다. 이 때, 제어 장치 (CONT) 는 셔터부 (71A) 를 구동하여 개구부 (71) 를 개방하고 있다. 한편, 개구부 (72) 는 셔터부 (72A) 에 의해 닫혀져 있다. 그리고, 유지 테이블 (HT) 에 기판 (P) 을 넘기기 전에, 도시하지 않은 분무 노즐이 기판 (P) 의 이면에 기체를 분무하여, 그 기판 (P) 의 이면에 부착되어 있는 액체를 제거한다. 이어서, 제 2 아암 부재 (H2) 는 기판 (P) 을 유지 테이블 (HT) 에 넘긴다. 유지 테이블 (HT) 은 넘겨진 기판 (P) 을 진공 흡착 유지한다. 5 is a diagram illustrating the liquid removal system 100. The 2nd arm member H2 which hold | maintained the board | substrate P after liquid immersion exposure enters from the opening part 71 inside the cover member 70 which accommodated the holding table HT. At this time, the control device CONT drives the shutter unit 71A to open the opening 71. On the other hand, the opening portion 72 is closed by the shutter portion 72A. And before handing over the board | substrate P to the holding table HT, the spray nozzle which is not shown in figure sprays gas on the back surface of the board | substrate P, and removes the liquid adhering to the back surface of the board | substrate P. As shown in FIG. Next, the second arm member H2 turns over the substrate P to the holding table HT. The holding table HT carries out vacuum suction holding of the board | substrate P which was turned over.

커버 부재 (70) 내부에는, 액체 제거 시스템 (100) 의 일부를 구성하는 분무 노즐 (103) 이 배치되어 있고, 분무 노즐 (103) 에는 유로 (105) 를 통해 기체 공급계 (104) 가 접속되어 있다. 유로 (105) 에는, 기판 (P) 에 대해 분무하는 기체 중의 이물 (쓰레기나 오일 미스트 (oil mist)) 를 제거하는 필터가 형성되어 있다. 그리고, 기체 공급계 (104) 가 구동함으로써, 유로 (105) 를 통해 분무 노즐 (103) 에 의해 소정의 기체가 기판 (P) 표면에 분무되고, 기판 (P) 표면에 부착되어 있는 액체 (LQ) 는 분무된 기체에 의해 비산되어 제거된다. The spray nozzle 103 which comprises a part of the liquid removal system 100 is arrange | positioned inside the cover member 70, The gas supply system 104 is connected to the spray nozzle 103 via the flow path 105, have. The flow path 105 is provided with a filter for removing foreign matter (garbage and oil mist) in the gas sprayed onto the substrate P. As shown in FIG. Then, by driving the gas supply system 104, a predetermined gas is sprayed onto the surface of the substrate P by the spray nozzle 103 via the flow path 105, and the liquid LQ adhered to the substrate P surface. ) Is scattered and removed by the sprayed gas.

커버 부재 (70) 에는, 액체 회수부 (80) 가 회수관 (81) 을 통해 접속되어 있다. 회수관 (81) 에는 그 회수관 (81) 의 유로를 개폐하는 밸브 (82) 가 형성되어 있다. 기판 (P) 으로부터 비산된 액체 (LQ) 는 커버 부재 (70) 에 접속되어 있는 액체 회수부 (80) 에 의해 회수된다. 액체 회수부 (80) 는 커버 부 재 (70) 내부의 기체를 비산된 액체 (LQ) 와 함께 흡인함으로써, 기판 (P) 으로부터 비산된 액체 (LQ) 를 회수한다. 여기에서, 액체 회수부 (80) 는, 커버 부재 (70) 내부의 기체 및 비산된 액체 (LQ) 의 흡인 동작을 계속적으로 실시한다. 이에 의해, 커버 부재 (70) 의 내벽이나 바닥 등의 커버 부재 (70) 내부에 액체 (LQ) 가 머물러 있지 않기 때문에, 커버 부재 (70) 내부의 습도가 크게 변동하는 경우는 없다. 또한, 셔터부 (71A, 72A) 가 개방되었을 때에도, 커버 부재 (70) 내의 습한 기체가 커버 부재 (70) 의 외부로 흘러나오는 경우도 없다.The liquid recovery part 80 is connected to the cover member 70 via a recovery pipe 81. The recovery pipe 81 is provided with a valve 82 that opens and closes the flow path of the recovery pipe 81. The liquid LQ scattered from the substrate P is recovered by the liquid recovery part 80 connected to the cover member 70. The liquid recovery part 80 collects the liquid LQ scattered from the substrate P by sucking the gas inside the cover member 70 together with the scattered liquid LQ. Here, the liquid recovery part 80 continuously performs the suction operation of the gas inside the cover member 70 and the scattered liquid LQ. Thereby, since the liquid LQ does not remain in the cover member 70, such as the inner wall and the bottom of the cover member 70, the humidity inside the cover member 70 does not fluctuate greatly. In addition, even when the shutter portions 71A and 72A are opened, the wet gas in the cover member 70 does not flow out of the cover member 70.

또, 본 실시 형태에 있어서, 액체 제거 시스템 (100) 은 기판 (P) 에 대하여 기체를 분무함으로써 액체 (LQ) 를 제거하지만, 예를 들어 기판 (P) 에 부착되어 있는 액체 (LQ) 를 흡인하거나, 건조 기체 (드라이 에어) 를 공급함으로써 액체 (LQ) 를 건조시키거나, 기판 (P) 을 회전하여 부착되어 있는 액체 (LQ) 를 비산시킴으로써도, 기판 (P) 에 부착된 액체 (LQ) 를 제거할 수 있다. 또는 기판 (P) 에 흡습재를 대어 부착되어 있는 액체 (LQ) 를 흡습함으로써도 제거할 수 있다. In addition, in this embodiment, although the liquid removal system 100 removes the liquid LQ by spraying gas with respect to the board | substrate P, it sucks the liquid LQ adhering to the board | substrate P, for example. Or by drying the liquid LQ by supplying a drying gas (dry air), or by scattering the liquid LQ attached by rotating the substrate P, the liquid LQ adhered to the substrate P. Can be removed. Alternatively, the liquid LQ adhering to the substrate P by adhering the moisture absorbent can also be removed.

다음으로, 상기 서술한 노광 장치 본체 (EX) 및 반송 시스템 (H) 의 동작에 관해서 도 6 의 플로우 차트도를 참조하면서 설명한다. Next, operation | movement of the exposure apparatus main body EX and conveyance system H mentioned above is demonstrated, referring a flowchart of FIG.

도포 장치 (C) 로부터 노광 전의 기판 (P) 이 제 3 아암 부재 (H3) 에 의해서 프리 얼라이먼트부 (PAL) 로 넘겨진다. 프리 얼라이먼트부 (PAL) 는 노광 전의 기판 (P) 이 대략적인 위치 맞춤을 행한다. 이어서, 촬상 장치 (80) 가 위치 맞춤된 노광 전의 기판 (P) 표면을 촬상한다. 이렇게 해서, 노광 전의 기판 (P) 표면에 관한 제 1 정보 (촬상 정보) 가 취득된다 (단계 S1). 취득된 기 판 (P) 표면에 관한 제 1 정보는 제어 장치 (CONT) 에 기억된다. The board | substrate P before exposure from the coating device C is handed over to the prealignment part PAL by the 3rd arm member H3. The pre-alignment part PAL performs rough alignment of the board | substrate P before exposure. Next, the imaging device 80 images the surface of the substrate P before the exposure. In this way, 1st information (imaging information) regarding the surface of the board | substrate P before exposure is acquired (step S1). The first information about the obtained substrate P surface is stored in the control device CONT.

이어서, 프리 얼라이먼트부 (PAL) 에서 위치 맞춤된 기판 (P) 은 제 1 아암 부재 (H1) 에 의해서 노광 장치 본체 (EX) 의 기판 스테이지 (PST) 에 로드된다. 기판 스테이지 (PST) 에 유지된 기판 (P) 은, 액침법에 의해 노광 처리된다 (단계 S2). Subsequently, the substrate P positioned in the prealignment portion PAL is loaded into the substrate stage PST of the exposure apparatus main body EX by the first arm member H1. The substrate P held by the substrate stage PST is exposed to light by a liquid immersion method (step S2).

기판 (P) 상에 설정된 복수의 쇼트 영역 각각 대한 액침 노광 처리가 종료된 후, 제어 장치 (CONT) 는 액체 공급 기구 (10) 에 의한 기판 (P) 상으로의 액체 공급을 정지한다. 한편으로, 제어 장치 (CONT) 는, 액체 공급 기구 (10) 에 의한 액체 공급 동작을 정지한 후에도 소정 시간만큼 액체 회수 기구 (20) 의 구동을 계속한다. 이것에 의해, 기판 (P) 상의 액체 (LQ) 는 충분히 회수된다. After the liquid immersion exposure process for each of the plurality of shot regions set on the substrate P is finished, the control device CONT stops the liquid supply onto the substrate P by the liquid supply mechanism 10. On the other hand, the control apparatus CONT continues the drive of the liquid recovery mechanism 20 for a predetermined time even after the liquid supply operation by the liquid supply mechanism 10 is stopped. Thereby, the liquid LQ on the board | substrate P is fully collect | recovered.

노광 후의 기판 (P) 은 제 2 아암 부재 (H2) 에 의해서 기판 스테이지 (PST) 로부터 언로드된다. 제 2 아암 부재 (H2) 는 유지한 기판 (P) 을 액체 제거 시스템 (100) 의 유지 테이블 (HT) 을 향하여 반송한다. The substrate P after exposure is unloaded from the substrate stage PST by the second arm member H2. The second arm member H2 conveys the held substrate P toward the holding table HT of the liquid removing system 100.

여기서, 기판 (P) 표면이나, 기판 (P) 의 이면 중 제 2 아암 부재 (H2) 에 지지되어 있는 것 이외의 영역에 액체 (LQ) 가 부착되어 있을 가능성이 있다. 그러나, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 기판 (P) 의 반송 경로 중, 기판 스테이지 (PST) 와 유지 테이블 (HT) 사이에는, 노광 후의 기판 (P) 으로부터 낙하한 액체 (LQ) 를 회수하는 회수 기구 (60) 가 배치되어 있기 때문에, 비록 액체 (LQ) 가 부착된 상태에서 기판 (P) 을 반송하더라도, 반송 경로 상의 주변 장치ㆍ부재에 기판 (P) 상의 액체 (LQ) 가 부착ㆍ비산되는 것을 방지할 수 있다. 여기서, 회수 기 구 (60) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 2 아암 부재 (H2) 의 반송 경로하에 배치된 홈통 부재 (61) 와, 홈통 부재 (61) 를 통하여 회수된 액체 (LQ) 를 홈통 부재 (61) 로부터 배출하는 액체 흡인 장치 (62) 를 구비하고 있다. 홈통 부재 (61) 는 제 1 챔버 장치 (CH1) 내부에 형성되고, 액체 흡인 장치 (62) 는 제 1 챔버 장치 (CH1) 외부에 형성되어 있다. 홈통 부재 (61) 와 액체 흡인 장치 (62) 는 관로 (63) 를 통하여 접속되어 있고, 관로 (63) 에는, 이 관로 (63) 의 유로를 개폐하는 밸브 (63A) 가 형성되어 있다. Here, the liquid LQ may adhere to the area | region other than what is supported by the 2nd arm member H2 among the surface of the board | substrate P and the back surface of the board | substrate P. However, as shown in FIG. 1, in the conveyance path | route of the board | substrate P, the recovery mechanism which collect | recovers the liquid LQ which fell from the board | substrate P after exposure between the board | substrate stage PST and the holding table HT. Since the 60 is disposed, even if the substrate P is conveyed in the state where the liquid LQ is attached, the liquid LQ on the substrate P adheres and scatters to the peripheral device / member on the conveyance path. It can prevent. Here, as shown in FIG. 1, the recovery mechanism 60 includes the trough member 61 disposed under the conveyance path of the second arm member H2 and the liquid LQ recovered through the trough member 61. The liquid suction device 62 which discharges | releases from the trough member 61 is provided. The trough member 61 is formed inside the first chamber device CH1, and the liquid suction device 62 is formed outside the first chamber device CH1. The trough member 61 and the liquid suction device 62 are connected via a conduit 63, and a valve 63A for opening and closing the flow path of the conduit 63 is formed in the conduit 63.

노광 후의 액체 (LQ) 가 부착되어 있는 기판 (P) 을 제 2 아암 부재 (H2) 로 반송하는 도중에, 기판 (P) 상으로부터 액체 (LQ) 가 낙하할 가능성이 있지만, 그 낙하한 액체 (LQ) 는 홈통 부재 (61) 에서 회수할 수 있다. 낙하한 액체 (LQ) 를 홈통 부재 (61) 에서 회수함으로써, 반송 경로 주위에 액체 (LQ) 가 비산하는 등의 문제를 방지할 수 있다. 그리고, 액체 흡인 장치 (62) 는 챔버 장치 (CH1) 내부에 형성된 홈통 부재 (61) 상의 액체 (LQ) 를 흡인함으로써 챔버 장치 (CH1) 외부로 배출하고, 챔버 장치 (CH1) 내부의 홈통 부재 (61) 에 액체 (LQ) 가 머무르지 않게 할 수 있어, 챔버 장치 (CH1) 내부에 습도 변동 (환경 변동) 이 발생하는 문제를 방지할 수 있다. 여기서, 액체 흡인 장치 (62) 는, 홈통 부재 (61) 에 회수된 액체 (LQ) 의 흡인 동작을 연속적으로 실시할 수 있고, 미리 설정된 소정 기간에 있어서만 흡인 동작을 단속적으로 실시할 수도 있다. 흡인 동작을 연속적으로 실시함으로써, 홈통 부재 (61) 에는 액체 (LQ) 가 머무르지 않기 때문에, 챔버 장치 (CH1) 내부의 습도 변동을 한층 더 방지할 수 있다. 한편, 예를 들어, 노광 장치 본체 (EX) 에서의 기판 (P) 의 노광 중에는, 액체 흡인 장치 (62) 에 의한 흡인 동작 (배출 동작) 을 실시하지 않고, 노광 이외의 기간에 있어서만 흡인 동작을 실시함으로써, 흡인 동작에 의해서 발생되는 진동이 노광 정밀도에 영향을 준다는 문제를 방지할 수 있다. Although liquid LQ may fall from the board | substrate P on the way to convey the board | substrate P with the liquid LQ after exposure to the 2nd arm member H2, the liquid LQ which fell. ) Can be recovered from the trough member 61. By recovering the dropped liquid LQ from the trough member 61, problems such as the liquid LQ scattering around the conveying path can be prevented. The liquid suction device 62 discharges the liquid LQ on the trough member 61 formed in the chamber device CH1 to the outside of the chamber device CH1, and discharges the trough member inside the chamber device CH1. It is possible to prevent the liquid LQ from remaining in the 61), thereby preventing the problem of humidity fluctuations (environmental fluctuations) occurring in the chamber apparatus CH1. Here, the liquid suction apparatus 62 can perform the suction operation | movement of the liquid LQ collect | recovered to the trough member 61 continuously, and can also perform the suction operation intermittently only in predetermined predetermined period. By continuously performing the suction operation, since the liquid LQ does not stay in the trough member 61, it is possible to further prevent the humidity fluctuation inside the chamber apparatus CH1. On the other hand, for example, during the exposure of the substrate P in the exposure apparatus main body EX, the suction operation (draining operation) by the liquid suction device 62 is not performed, and the suction operation is performed only in a period other than the exposure. By implementing this, the problem that the vibration generated by the suction operation affects the exposure accuracy can be prevented.

노광 처리 후의 기판 (P) 이 액체 제거 시스템 (100) 의 유지 테이블 (HT) 에 반송되기 전에, 촬상 장치 (80') 하에 배치된다. 그리고, 촬상 장치 (80') 는, 노광 처리 후의 기판 (P) 표면에 관한 제 2 정보 (촬상 정보) 를 취득한다 (단계 S3). Before the board | substrate P after an exposure process is conveyed to the holding table HT of the liquid removal system 100, it is arrange | positioned under the imaging device 80 '. And the imaging device 80 'acquires 2nd information (imaging information) regarding the surface of the board | substrate P after an exposure process (step S3).

노광 처리 후의 기판 (P) 표면에 관한 제 2 정보를 취득한 후, 노광 처리 후의 기판 (P) 을 유지한 제 2 아암 부재 (H2) 는, 커버 부재 (70) 의 내부에 개구부 (71) 로부터 진입하여, 노광 처리 후의 기판 (P) 을 유지 테이블 (HT) 에 반송한다. After acquiring the second information about the surface of the substrate P after the exposure treatment, the second arm member H2 holding the substrate P after the exposure treatment enters from the opening 71 inside the cover member 70. And the board | substrate P after an exposure process is conveyed to the holding table HT.

제어 장치 (CONT) 는, 단계 S1 에서 취득한 촬상 정보와, 단계 S3 에서 취득한 촬상 정보를 비교하여, 노광 처리 후의 기판 (P) 에 액체가 부착되어 있는지 아닌지를 검출한다 (단계 S4). The control apparatus CONT compares the imaging information acquired in step S1 with the imaging information acquired in step S3, and detects whether or not liquid adheres to the substrate P after the exposure process (step S4).

기판 (P) 표면에 액체 (LQ) 가 부착되어 있을 때의 촬상 상태와, 부착되어 있지 않을 때의 촬상 상태는 서로 상이하기 때문에, 제어 장치 (CONT) 는 노광 전의 기판 (P) 표면의 촬상 정보와 노광 후의 기판 (P) 표면의 촬상 정보를 비교함으로써, 액체 (LQ) 가 부착되어 있는지 아닌지를 검출할 수 있다. 또한, 단계 S1 의 촬상 시의 기판 (P) 의 위치와 단계 S3 의 촬상시의 기판 (P) 의 위치가 합치되 어 있으면, 제어 장치 (CONT) 는 기판 (P) 에 부착되어 있는 액체 (액적) 의 위치에 관한 정보나, 그 액적의 크기에 관한 정보도 구할 수 있다. Since the imaging state when the liquid LQ is attached to the surface of the substrate P and the imaging state when it is not attached are different from each other, the control device CONT is configured to capture imaging information of the surface of the substrate P before exposure. By comparing the imaging information on the surface of the substrate P after exposure with the liquid LQ, it is possible to detect whether or not the liquid LQ is attached. In addition, if the position of the board | substrate P at the time of imaging of step S1, and the position of the board | substrate P at the time of imaging of step S3 match, the control apparatus CONT will attach the liquid (droplets attached to the board | substrate P). Information about the position of the c) and information about the size of the droplets can also be obtained.

또, 단계 S1 의 촬상시의 기판 (P) 의 위치와 단계 S3 의 촬상시의 기판 (P) 의 위치가 합치되어 있지 않더라도, 기판 (P) 의 둘레 가장자리부에는, 기판 (P) 의 위치를 검출하기 위한 절결 (오리엔테이션 플랫 (orientation flat) 또는 노치) 이 형성되어 있기 때문에, 제어 장치 (CONT) 는, 이 절결을 기준으로 하여, 단계 S1 의 촬상 정보와 단계 S3 의 촬상 정보를 데이터 상에서 일치시키는 것이 가능하다. Moreover, even if the position of the board | substrate P at the time of imaging of step S1, and the position of the board | substrate P at the time of imaging of step S3 do not correspond, the position of the board | substrate P is attached to the circumferential edge part of the board | substrate P. Since the notation (orientation flat or notch) for detection is formed, the control apparatus CONT makes the imaging information of step S1 and the imaging information of step S3 match on data based on this notation. It is possible.

제어 장치 (CONT) 는, 검출한 기판 (P) 상의 액체 (LQ) 의 양이, 미리 설정되어 있는 임계값 이상인지 아닌지를 판단한다. 그리고, 제어 장치 (CONT) 는 그 판단 결과에 기초하여, 기판 (P) 에 부착된 액체 (LQ) 의 제거 동작을 실시하는지 아닌지를 판정한다 (단계 S5). The control apparatus CONT determines whether the quantity of the liquid LQ on the detected board | substrate P is more than the preset threshold value. And the control apparatus CONT determines whether the removal operation | movement of the liquid LQ adhering to the board | substrate P is performed based on the determination result (step S5).

단계 S5 에 있어서 임계값 이하라고 판단한 경우, 제어 장치 (CONT) 는 액체 제거 동작은 불필요하고 판단하여, 제 4 아암 부재 (H4) 등을 사용하여 유지 테이블 (HT) 으로부터 기판 (P) 을 인터페이스부 (IF) 를 통하여 현상 장치 (D) 로 반송한다. 요컨대, 기판 (P) 상에 부착되어 있는 액체 (LQ) 의 양이 약간 (임계값 이하) 이고, 디바이스 성능이나 프로세스 처리 (현상 처리) 에 영향을 주지 않는 정도이면, 제어 장치 (CONT) 는 액체 제거 동작이 불필요하다고 판단한다. 이것에 의해, 기판 (P) 에 액체 (LQ) 가 부착되어 있지 않음에도 불구하고 액체 제거 시스템 (100) 을 사용하여 다시 액체 제거 동작을 실시하는 것을 방지하여, 작 업 효율을 향상시킬 수 있다. 또, 상기 임계값은 미리 실험 등에 의해서 요청되고, 제어 장치 (CONT) 에 기억되어 있다. If it is determined in step S5 that it is less than or equal to the threshold value, the control device CONT determines that the liquid removal operation is unnecessary and determines the interface portion from the holding table HT by using the fourth arm member H4 or the like. It conveys to the developing apparatus D via (IF). In short, as long as the amount of liquid LQ adhering on the substrate P is slightly (less than the threshold value) and does not affect device performance or process processing (development processing), the controller CONT is a liquid. It is determined that the removal operation is unnecessary. Thereby, even if the liquid LQ is not affixed to the board | substrate P, the liquid removal operation | movement is prevented again using the liquid removal system 100, and working efficiency can be improved. The threshold value is requested in advance by an experiment or the like and stored in the control apparatus CONT.

한편, 단계 S5 에 있어서 임계값 이상이라고 판단한 경우, 제어 장치 (CONT) 는 액체 제거 시스템 (100) 을 작동시킨다. 그 때, 제어 장치 (CONT) 는, 검출한 액체 정보에 기초하여, 액체 (LQ) 가 부착된 기판 (P) 에 대한 액체 제거를 실시하기 위한 액체 제거 동작 조건을 설정한다 (단계 S6). On the other hand, when it determines with being more than a threshold value in step S5, the control apparatus CONT operates the liquid removal system 100. FIG. At that time, the control apparatus CONT sets the liquid removal operation conditions for performing liquid removal with respect to the board | substrate P with liquid LQ based on the detected liquid information (step S6).

단계 S4 에 있어서, 기판 (P) 상에 부착되어 있는 액체 (LQ) 의 양 (액적의 크기) 이나 위치 정보가 검출되어 있기 때문에, 제어 장치 (CONT) 는, 예를 들어 부착되어 있는 액체 (LQ) 의 양 (액적의 크기) 에 기초하여, 분무 노즐 (103) 로부터 분무하는 기체의 유속 (단위 시간당 분무 기체량) 이나 분무 시간을 설정한다. 또는, 기판 (P) 에 부착되어 있는 액체 (LQ) 의 위치 정보에 기초하여, 분무 노즐 (103) 에서 기체를 분무하는 기판 (P) 상의 위치를 설정한다. 이렇게 함에 따라, 예를 들어 부착되어 있는 액체량이 적은 경우에는, 액체 제거 동작 시간 (기체 분무 시간) 을 단시간으로 설정하여 작업 시간을 단축할 수 있고, 한편, 부착되어 있는 액체량이 많은 경우에는, 액체 제거 동작 시간 (기체 분무 시간) 을 장시간으로 설정하여 액체 (LQ) 를 확실히 제거할 수 있다. In step S4, since the amount (droplet size) and the positional information of the liquid LQ attached on the substrate P are detected, the control device CONT is, for example, attached liquid LQ. ), The flow rate (amount of spray gas per unit time) of the gas sprayed from the spray nozzle 103 or the spray time is set based on the amount (droplet size). Or based on the positional information of the liquid LQ adhering to the board | substrate P, the position on the board | substrate P which sprays gas from the spray nozzle 103 is set. By doing so, for example, when the amount of liquid attached is small, the working time can be shortened by setting the liquid removal operation time (gas spray time) to a short time, and, on the other hand, when the amount of liquid attached is large, The liquid LQ can be reliably removed by setting the removal operation time (gas spray time) to a long time.

또는, 기판 (P) 의 레지스트 조건이나 액체 (LQ) 의 물성 등을 포함하는 액체 조건에 따라 액체 제거 동작 조건을 설정해도 된다. 요컨대, 레지스트나 액체 (LQ) 의 물성에 따라, 그 액체 (LQ) 를 기판 (P) 상으로부터 비산시키기 용이함이 변할 가능성이 있기 때문에, 예를 들어, 비산시키기 용이한 경우에는 기체를 분 무하는 시간을 단축하고, 한편 비산시키기 어려운 조건의 경우에는 기체를 분무하는 시간을 길게 하거나 분무하는 기체의 유속을 높이기도 하는 것이 가능하다. Alternatively, the liquid removal operation conditions may be set in accordance with the liquid conditions including the resist condition of the substrate P, the physical properties of the liquid LQ, and the like. In other words, the ease of scattering the liquid LQ from the substrate P may vary depending on the physical properties of the resist or the liquid LQ. It is possible to shorten the time and increase the flow rate of the gas to be sprayed or to extend the time for spraying the gas in the case of a condition that is difficult to scatter.

또한, 복수의 기판 (P) 에 관한 액체 검출 결과의 이력을 구하여, 그 이력 정보에 기초하여, 액체 제거 동작 조건을 설정해도 된다. 즉, 상기 서술한 바와 같이, 레지스트 조건이나 액체 조건에 따라 액체 (LQ) 의 제거 용이성이 변할 가능성이 있기 때문에, 레지스트 조건이나 액체 조건에 대응하여 기판 (P) 상에 잔존하는 액체량의 이력을 구함으로써, 그 구한 결과에 기초하여 최적은 액체 제거 동작 조건을 설정할 수 있다. In addition, the history of the liquid detection result regarding the some board | substrate P may be calculated | required, and liquid removal operation conditions may be set based on the history information. That is, as described above, since the ease of removal of the liquid LQ may change depending on the resist condition or the liquid condition, the history of the amount of liquid remaining on the substrate P in correspondence with the resist condition or the liquid condition is recorded. By this, the optimum liquid removal operation conditions can be set based on the obtained result.

제어 장치 (CONT) 는, 액체 제거 동작 조건을 설정한 후, 기판 (P) 에 분무 노즐 (103) 로부터 기체를 분무하여 부착되어 있는 액체 (LQ) 를 제거한다 (단계 S7). After setting the liquid removal operation conditions, the control apparatus CONT sprays gas to the board | substrate P from the spray nozzle 103, and removes the adhered liquid LQ (step S7).

그리고, 액체 제거 동작을 실시한 후, 제어 장치 (CONT) 는, 제 4 아암 부재 (H4) 등을 사용하여 기판 (P) 을 다시 촬상 장치 (80') 의 촬상 영역 내에 반송하고, 촬상 장치 (80') 에 의해서 기판 (P) 표면을 촬상한다. 그리고, 부착되어 있는 액체 (LQ) 가 임계값 이하가 될 때까지 상기 처리를 되풀이한다. And after performing a liquid removal operation | movement, the control apparatus CONT conveys the board | substrate P again in the imaging area of the imaging device 80 'using the 4th arm member H4 etc., and the imaging device 80 The surface of the substrate P is imaged by '). Then, the above process is repeated until the adhered liquid LQ is below the threshold.

이상 설명한 바와 같이, 액침 노광 후의 기판 (P) 을 반송할 때, 기판 (P) 에 부착된 액체 (LQ) 를 촬상 장치 (80') 를 사용하여 검출함으로써, 예를 들어, 기판 (P) 에 액체 (LQ) 가 부착되는 경우에는 액체 제거 시스템 (100) 에서 액체 제거를 실시한 후, 그 기판 (P) 을 현상 장치 (D) 등의 소정의 프로세스 장치로 보낼 수 있다. 따라서, 그 현상 처리 등을 액체 (LQ) 의 영향을 받지 않고 사용 할 수 있어, 원하는 성능을 갖는 디바이스를 제조할 수 있다. 또한, 액체 검출 결과에 기초하여, 기판 (P) 에 액체 (LQ) 가 부착되어 있지 않다고 검출된 경우에는 액체 제거 동작을 생략할 수 있고, 작업 효율을 향상할 수 있다. 또한, 액체 제거 동작을 실시한 후에 다시 기판 (P) 상의 액체 검출을 실시함으로써, 액체 제거가 양호하게 실시되었는지 아닌지를 검출할 수 있다. 또한, 액체검출 결과에 기초하여 액체 제거 동작을 실시함으로써, 반송되는 기판 (P) 에서 액체 (LQ) 가 반송 경로 상에 낙하되는 등의 문제의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 반송 시스템 (H) 의 아암 부재가 기판 (P) 을 진공 흡착 유지하는 구성인 경우, 기판 (P) 에 부착된 액체 (LQ) 를 제거함으로써, 진공계에 액체 (LQ) 가 침입하여 그 진공계가 고장나는 등의 문제의 발생을 방지할 수 있다. As explained above, when conveying the board | substrate P after immersion exposure, the liquid LQ adhering to the board | substrate P is detected using the imaging device 80 ', for example, to the board | substrate P, for example. When the liquid LQ is attached, after the liquid removal is performed in the liquid removal system 100, the substrate P can be sent to a predetermined process device such as the developing device D. Therefore, the development treatment and the like can be used without being affected by the liquid LQ, and a device having desired performance can be manufactured. Moreover, based on the liquid detection result, when it is detected that the liquid LQ is not attached to the board | substrate P, a liquid removal operation can be skipped and work efficiency can be improved. In addition, by performing the liquid detection on the substrate P again after performing the liquid removal operation, it is possible to detect whether or not the liquid removal is performed well. In addition, by performing the liquid removal operation based on the liquid detection result, it is possible to prevent the occurrence of a problem such that the liquid LQ falls on the conveyance path from the substrate P to be conveyed. In addition, when the arm member of the conveyance system H is the structure which vacuum-suctions and hold | maintains the board | substrate P, the liquid LQ intrudes into a vacuum system by removing the liquid LQ adhering to the board | substrate P, and the vacuum system It is possible to prevent the occurrence of a problem such as a failure.

또한, 본 실시 형태에서는 1 개의 기판 (P) 에 대하여 노광 전의 표면 정보와, 노광 후 또한 현상 전의 표면 정보를 비교하는 구성이기 때문에, 기판 (P) 에 부착된 액체 정보를 정밀도 높게 구할 수 있다. In addition, in this embodiment, since the surface information before exposure and the surface information after exposure and before image development are compared with respect to one board | substrate P, the liquid information attached to the board | substrate P can be calculated | required with high precision.

또, 촬상 장치 (80') 는, 기판 스테이지 (PST) 와 유지 테이블 (HT) 사이에 있어서의 노광 처리 후의 기판 (P) 의 반송 경로의 상방이면, 기판 스테이지 (PST) 근방, 또는 액체 제거 시스템 (100) 의 근방에 형성해도 된다. 또, 기판 스테이지 (PST) 와 유지 테이블 (HT) 사이의 반송 경로 상에, 촬상 장치 (80) 를 이동 가능하게 형성함으로써, 촬상 장치 (80') 를 생략하는 것도 가능하다. 또한, 촬상 장치 (80') 를 커버 부재 (70) 의 내부에 형성하는 구성이어도 된다.Moreover, if the imaging device 80 'is above the conveyance path | route of the board | substrate P after the exposure process between the board | substrate stage PST and the holding table HT, it will be near the board | substrate stage PST or a liquid removal system. You may form in the vicinity of (100). Moreover, it is also possible to omit the imaging device 80 'by forming the imaging device 80 so that a movement is possible on the conveyance path | route between the board | substrate stage PST and the holding table HT. In addition, the structure which forms the imaging device 80 'inside the cover member 70 may be sufficient.

또, 기판 (P) 표면에 부착된 액체 (LQ) 를 검출하기 위해서, 노광 전의 기판 (P) 표면에 검출광을 조사하여 그 기판 (P) 표면에서 반사한 검출광을 촬상 장치나 소정의 수광기에서 수광하여 기판 (P) 표면의 제 1 광반사율 정보를 구하고, 노광 후의 기판 (P) 표면에 상기 검출광을 조사하여 그 기판 (P) 표면에서 반사한 검출광을 수광하여 기판 (P) 표면의 제 2 광반사율 정보를 구하고, 제 1, 제 2 광반사율 정보에 기초하여, 기판 (P) 에 액체 (LQ) 가 부착되어 있는지 아닌지를 검출할 수 있다. 액체 (LQ) 의 광반사율과 기판 (P) 표면 (레지스트) 의 광반사율은 서로 상이하기 때문에, 액체 (LQ) 가 부착되어 있는 경우와 부착되어 있지 않은 경우에서는 기판 (P) 표면의 광반사율은 서로 상이하다. 따라서, 상기 제 1, 제 2 광반사율 정보를 구함으로써, 액체 (LQ) 를 검출할 수 있다. 또, 제 2 광반사율 정보는, 노광 후의 기판 (P) 표면의 광반사율 정보와 액체 (LQ) 의 광반사율 정보를 포함한다. Moreover, in order to detect the liquid LQ adhering to the surface of the board | substrate P, the detection light which irradiated the detection light to the surface of the board | substrate P before exposure, and reflected off the surface of the board | substrate P was taken into an imaging device or a predetermined | prescribed number. The first light reflectance information on the surface of the substrate P is obtained by receiving light from the madness, and the detection light reflected on the surface of the substrate P is received by irradiating the detected light onto the surface of the substrate P after exposure, and the substrate P The second light reflectance information on the surface is obtained, and it is possible to detect whether or not the liquid LQ is attached to the substrate P based on the first and second light reflectance information. Since the light reflectance of the liquid LQ and the light reflectance of the surface (resist) of the substrate P are different from each other, the light reflectance of the surface of the substrate P is different in the case where the liquid LQ is attached and when it is not. Different from each other. Therefore, the liquid LQ can be detected by obtaining the first and second light reflectance information. The second light reflectance information includes light reflectance information on the surface of the substrate P after exposure and light reflectance information of the liquid LQ.

또, 1 개의 기판 (P) 의 노광 전의 기판 (P) 표면의 광반사율 정보를 검출한 후, 노광 후의 기판 (P) 표면의 광반사율 정보를 검출하는 구성 외에, 예를 들어, 액체 (LQ) 가 부착된 상태에서의 기판 (P) 표면의 광반사율 정보와, 부착되어 있지 않은 상태에서의 기판 (P) 의 광반사율 정보를 예를 들어, 실험이나 시뮬레이션에 의해서 미리 구하여 제어 장치 (CONT) 에 기억해 두고, 노광 후의 기판 (P) 표면의 광반사율을 검출한 검출 결과와, 상기 기억 정보에 기초하여, 액체 (LQ) 가 부착되어 있는지 아닌지를 판정해도 된다. Moreover, after detecting the light reflectance information of the surface of the board | substrate P before exposure of one board | substrate P, after detecting the light reflectance information of the surface of the board | substrate P after exposure, for example, liquid LQ The light reflectance information of the surface of the substrate P in the state where the is attached and the light reflectance information of the substrate P in the state that is not attached are obtained in advance by, for example, experiment or simulation, to the control device CONT. It may memorize | store, and you may determine whether the liquid LQ is affixed based on the detection result which detected the light reflectance of the surface of the board | substrate P after exposure, and the said storage information.

또, 기판 (P) 표면을 촬상 장치로 촬상하고, 그 촬상 결과를 모니터에 출력하여 오퍼레이터에 의해 액체 (LQ) 가 부착되어 있는지 아닌지를 판단하도록 해도 된다. 또는, 기판 (P) 에 광 (단색광) 을 조사하고, 그 기판 (P) 을 촬상하여 얻어진 화상을 화상 처리하여, 그 화상 처리 결과에 기초하여 액체 (LQ) 가 부착되어 있는지 아닌지를 판단해도 된다. 또, 촬상 장치로 촬상하기 전에, 기판 (P) 을 경사시키거나, 회전시켜도 된다. Moreover, you may image the surface of the board | substrate P with an imaging device, and output the imaging result to a monitor so that an operator may determine whether the liquid LQ has adhered. Or you may irradiate light (monochromatic light) to the board | substrate P, image-process the image obtained by imaging the board | substrate P, and judge whether the liquid LQ is affixed based on the image processing result. . Moreover, you may incline or rotate the board | substrate P before imaging with an imaging device.

또 본 실시 형태에서는, 기판 (P) 표면 (노광면) 에 액체 (LQ) 가 부착되어 있는지 아닌지를 검출하고 있지만, 아암 부재 등의 소정의 지지 부재에 대한 피지지면인 기판 (P) 의 이면에 액체가 부착되어 있는지 아닌지를 검출할 수도 있다. 그리고, 그 검출 결과에 기초하여, 기판 (P) 의 이면에 부착되어 있는 액체 제거 작업을 실시할 수 있다. Moreover, in this embodiment, it is detecting whether the liquid LQ is affixed on the surface (exposure surface) of the board | substrate P, but on the back surface of the board | substrate P which is a sebum surface with respect to predetermined | prescribed support members, such as an arm member. It may also detect whether or not liquid is attached. And based on the detection result, the liquid removal work adhering to the back surface of the board | substrate P can be performed.

도 7 및 도 8 은 액체 검출기의 별도의 실시 형태를 나타내는 도면이고, 도 7 은 측면도, 도 8 은 평면도이다. 7 and 8 show another embodiment of the liquid detector, FIG. 7 is a side view, and FIG. 8 is a plan view.

액체 검출기 (90) 는, 기판 (P) 표면에 부착되어 있는 액체 (LQ) 를 광학적으로 검출하는 것으로, 노광 후의 기판 (P) 표면에 대하여 검출광을 조사하는 조사계 (91) 와, 기판 (P) 표면에서 반사한 검출광을 수광하는 수광계 (92) 를 구비하고 있다. 또 여기서는, 기판 (P) 을 프리 얼라이먼트부 (PAL) 에서 유지한 상태에서 그 기판 (P) 에 검출광을 조사하지만, 기판 (P) 의 반송 경로 중 프리 얼라이먼트부 (PAL) 와는 별도의 위치에 형성된 소정의 유지 부재에 유지된 상태에서 검출광을 조사해도 된다. The liquid detector 90 optically detects the liquid LQ adhering to the surface of the substrate P. The liquid detector 90 irradiates detection light onto the surface of the substrate P after exposure, and the substrate P A light receiving system 92 for receiving detection light reflected from the surface. In addition, although the detection light is irradiated to the board | substrate P in the state which hold | maintained the board | substrate P in the pre-alignment part PAL here, in the conveyance path | route of the board | substrate P, in the position separate from the pre-alignment part PAL. You may irradiate detection light in the state hold | maintained at the predetermined | prescribed holding member formed.

조사계 (91) 는 검출광을 기판 (P) 표면에 대하여 경사 방향에서 조사한다. 조사계 (91) 는, 소정 방향 (여기서는 Y 축 방향) 으로 배열되는 복수의 조사부 (91A) 를 갖고 있고, 조사부 (91A) 의 각각으로부터 기판 (P) 에 대하여 검출광이 조사된다. 복수의 조사부 (91A) 에서 조사되는 검출광의 기판 (P) 표면에 대한 입사 각도는 각각 동일한 각도로 설정되어 있다. 수광계 (92) 는, 조사계 (91) 의 조사부 (91A) 에 대응하는 복수의 수광부 (92A) 를 갖고 있다. 조사부 (91A) 의 각각으로부터 투사된 검출광은, 기판 (P) 상에 액체 (LQ) 가 없으면 기판 (P) 표면에서 반사하고, 수광부 (92A) 에 수광된다. The irradiation system 91 irradiates the detection light with respect to the surface of the board | substrate P in the diagonal direction. The irradiation system 91 has a plurality of irradiation sections 91A arranged in a predetermined direction (here, the Y axis direction), and detection light is irradiated onto the substrate P from each of the irradiation sections 91A. Incident angles of the detection light irradiated from the plurality of irradiation portions 91A with respect to the surface of the substrate P are set to the same angle, respectively. The light receiving system 92 has a plurality of light receiving units 92A corresponding to the irradiation unit 91A of the irradiation system 91. The detection light projected from each of the irradiation parts 91A reflects on the surface of the board | substrate P, when there is no liquid LQ on the board | substrate P, and is received by the light receiving part 92A.

또한, 수광계 (92) 는, 조사계 (91) 로부터의 검출광이 직접 입사하지 않는 위치에 배치된 수광부 (92B, 92C) 를 갖고 있고, 조사계 (91) 로부터의 검출광이 기판 (P) 표면의 액체 (LQ) 에 닿아 반사하는 산란광은, 그 수광부 (92B, 92C) 에서 수광된다. 또, 액체 검출기 (90) 를 사용하여, 기판 (P) 표면의 액체 (LQ) 를 검출하는 경우에는, 액체 검출기 (90) 와 기판 (P) 을 상대적으로 이동시켜서 기판 (P) 표면에 검출광을 조사해도 된다. In addition, the light receiving system 92 has light receiving units 92B and 92C arranged at positions where the detection light from the irradiation system 91 does not directly enter, and the detection light from the irradiation system 91 is formed on the substrate P surface. The scattered light that hits and reflects the liquid LQ of the light is received by the light receiving sections 92B and 92C. Moreover, when detecting the liquid LQ on the surface of the board | substrate P using the liquid detector 90, the liquid detector 90 and the board | substrate P will be moved relatively, and the detection light will be detected on the board | substrate P surface. You may investigate.

예를 들어, 도 9a 에 나타내는 바와 같이, 검출광이 스폿광이고 그 광속의 직경이 D1 인 경우, 검출광을 기판 (P) 에 대하여 경사 방향으로부터 투사함으로써, 기판 (P) 상에 있어서의 검출광은, 도 9b 에 나타내는 바와 같이, X 축 방향 (주사 방향) 을 길이 방향으로 하는 타원형이 된다. 검출광의 기판 (P) 상에 있어서의 타원형의 검출 영역의 길이 방향의 크기 D2 는 상기 직경 D1 보다 크다. 즉, 예를 들어, 검출광을 기판 (P) 표면에 대하여 수직 방향에서 조사한 경우에는 검출광의 검출 영역의 X 축 방향에 있어서의 크기는 D1 이 되지만, 경사 방향에서 검출광을 조사함으로써, X 축 방향에서 D1 보다 큰 D2 의 검출 영역에서 액체 (LQ) 의 액적을 검출할 수 있다. 따라서, 액체 검출기 (90) 와 기판 (P) 을 상대적으로 이동시켜, 기판 (P) 상의 액체 (LQ) 의 액적을 검출할 때, 액적은 직경 D1 의 검출 영역과 비교하여 보다 넓은 검출 영역에서 검출되게 되어, 액체 검출기 (90) 는 액적의 검출 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또, 여기서는 검출광을 스폿광으로서 설명하였지만, 검출광이 슬릿광이어도 동일한 효과가 얻어진다. For example, as shown in FIG. 9A, when the detection light is a spot light and the diameter of the light beam is D1, the detection light on the substrate P is projected by projecting the detection light from the oblique direction with respect to the substrate P. FIG. As shown to FIG. 9B, light becomes an ellipse which makes X axis direction (scanning direction) a longitudinal direction. The magnitude | size D2 of the longitudinal direction of the elliptical detection area | region on the board | substrate P of detection light is larger than the said diameter D1. That is, for example, when the detection light is irradiated in the vertical direction with respect to the surface of the substrate P, the size of the detection light in the X axis direction of the detection area becomes D1, but the X axis is irradiated by irradiating the detection light in the oblique direction. The droplet of the liquid LQ can be detected in the detection area of D2 larger than D1 in the direction. Therefore, when the liquid detector 90 and the substrate P are relatively moved to detect droplets of the liquid LQ on the substrate P, the droplets are detected in a wider detection region compared with the detection region having a diameter D1. Thus, the liquid detector 90 can improve the detection accuracy of the droplets. In addition, although the detection light was demonstrated as spot light here, the same effect is acquired even if a detection light is slit light.

조사계 (91) 로부터 기판 (P) 에 조사된 검출광은 기판 (P) 표면에 조사된다. 여기서, 기판 (P) 표면에 액체 (LQ) 가 존재 (부착) 하고 있는 경우, 액체 (LQ) 에 조사된 검출광은 산란한다. 액체 (LQ) 에 조사된 검출광의 일부가 산란함으로써, 통상은 검출되지 않는 강한 광이 수광부 (92B, 92C) 에 입사하여, 이 검출광에 대응하는 수광부 (92A) 에 수광되는 광 강도가 저하된다. 수광부 (92A, 92B, 92C) 의 검출 결과는 제어 장치 (CONT) 에 출력되고, 제어 장치 (CONT) 는 이 수광계 (92) 로 검출되는 광의 강도에 기초하여, 기판 (P) 표면에 액체 (LQ) 가 부착되어 있는지 아닌지를 검출할 수 있다. The detection light irradiated to the board | substrate P from the irradiation system 91 is irradiated to the board | substrate P surface. Here, when the liquid LQ exists (attached) to the surface of the board | substrate P, the detection light irradiated to the liquid LQ will scatter. By scattering a part of the detection light irradiated to the liquid LQ, the strong light which is not normally detected enters the light receiving parts 92B and 92C, and the light intensity received by the light receiving part 92A corresponding to the detection light is lowered. . The detection results of the light receiving units 92A, 92B, 92C are output to the control device CONT, and the control device CONT is based on the intensity of light detected by the light receiving system 92, and the liquid ( It is possible to detect whether or not LQ) is attached.

여기서, 제어 장치 (CONT) 는, 수광부 (92B, 92C) 에서 검출되는 광의 강도에 기초하여 액체 (LQ, 액적) 의 크기나 양을 구할 수 있다. 예를 들어, 액적의 크기에 따라 산란하는 광의 각도가 변화하기 때문에, 제어 장치 (CONT) 는, 수광부 (92B, 92C) 의 검출 결과에 기초하여, 액체 (LQ, 액적) 로부터의 산란광의 방향을 구함으로써, 액체 (LQ, 액적) 의 크기를 구할 수 있다. 또한, 수광한 광의 강도를 검출함으로써 기판 (P) 표면의 단위 면적당 액체 (LQ, 액적) 의 양을 구할 수도 있다. Here, the control apparatus CONT can calculate | require the magnitude | size and quantity of the liquid LQ (droplet) based on the intensity of the light detected by the light receiving parts 92B and 92C. For example, since the angle of scattered light changes depending on the size of the droplet, the control device CONT adjusts the direction of the scattered light from the liquid LQ (droplet) based on the detection result of the light receiving sections 92B and 92C. By calculating | requiring, the magnitude | size of a liquid (LQ, droplet) can be calculated | required. In addition, the amount of liquid LQ (droplet) per unit area of the surface of the substrate P can be obtained by detecting the intensity of the received light.

이 때, 기판 (P) 을 유지하는 프리 얼라이먼트부 (PAL) 의 유지 부재와, 액체 검출기 (90) 와의 XY 방향의 상대 위치를 검출하는 위치 검출 장치를 형성함으로써, 상기 위치 검출 장치의 검출 결과에 기초하여, 그 기판 (P) 의 위치가 특정된다. 또한, 액체 (LQ, 액적) 에 조사된 검출광을 수광한 수광부 (92A) 의 Y 축 방향에서의 위치 관계가 설계값에 기초하여 특정된다. 따라서, 제어 장치 (CONT) 는, 상기 위치 검출 장치의 검출 결과 및 수광하는 광의 강도가 저하된 수광부 (92A) 의 설치 위치에 관한 정보에 기초하여, 기판 (P) 상에 있어서 액체 (LQ, 액적) 가 존재하는 위치를 특정할 수 있다. At this time, by forming the holding member of the pre-alignment portion PAL holding the substrate P and the position detecting device for detecting the relative position in the XY direction with the liquid detector 90, the detection result of the position detecting device On the basis of this, the position of the substrate P is specified. Moreover, the positional relationship in the Y-axis direction of the light receiving part 92A which received the detection light irradiated to the liquid LQ (droplet) is specified based on the design value. Therefore, the control apparatus CONT is based on the detection result of the said position detection apparatus, and the information regarding the installation position of the light receiving part 92A in which the intensity | strength of the light which received light fell, the liquid LQ, the droplet on the board | substrate P. ) Can specify the location where it exists.

또 기판 (P) 에 조사하는 검출광으로서는, 레지스트를 감광시키지 않는 파장을 갖는 광으로, 자외광, 가시광, 및 적외광 등을 사용할 수 있다. 적외광을 사용하는 경우, 액체 (물) 는 적외광을 흡수하기 때문에, 적외광을 사용함으로써, 수광계 (92) 에서의 수광 상태가 크게 변화하기 때문에, 액체 (LQ) 가 부착되어 있는지 아닌지를 고정밀도로 검출할 수 있다. As the detection light irradiated onto the substrate P, ultraviolet light, visible light, infrared light, or the like can be used as light having a wavelength that does not expose the resist. In the case of using infrared light, since the liquid (water) absorbs infrared light, since the light reception state in the light receiving system 92 is greatly changed by using infrared light, it is determined whether or not the liquid LQ is attached. It can detect with high precision.

상기 서술한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 액체 (LQ) 는 순수에 의해 구성되어 있다. 순수는, 반도체 제조 공장 등에서 용이하게 대량으로 입수할 수 있음과 함께, 기판 (P) 상의 포토레지스트나 광학 소자 (렌즈) 등에 대한 악영향이 없다는 이점이 있다. 또한, 순수는 환경에 대한 악영향이 없음과 함께, 불순물의 함유량이 매우 낮아, 기판 (P) 표면, 및 투영 광학계 (PL) 의 선단면에 형성되어 있는 광학 소자의 표면을 세정하는 작용도 기대할 수 있다. As mentioned above, the liquid LQ in this embodiment is comprised with pure water. Pure water can be easily obtained in large quantities in semiconductor manufacturing plants and the like, and has the advantage that there is no adverse effect on the photoresist on the substrate P, the optical element (lens), and the like. In addition, pure water has no adverse effect on the environment, and the content of impurities is very low, and the action of cleaning the surface of the substrate P and the surface of the optical element formed on the front end surface of the projection optical system PL can also be expected. have.

그리고, 파장이 193nm 정도인 노광광 (EL) 에 대한 순수 (물) 의 굴절률 n 은 거의 1.44 로 되어 있으며, 노광광 (EL) 의 광원으로서 ArF 엑시머 레이저광 (파장 193nm) 을 사용한 경우, 기판 (P) 상에서는 1/n, 즉 약 134nm 로 단파장화되어 고해상도가 얻어진다. 또한, 초점 심도는 공기 중과 비교하여 약 n 배, 즉 약 1.44 배로 확대되기 때문에, 공기 중에서 사용하는 경우와 동일한 정도의 초점 심도가 확보되면 되는 경우에는, 투영 광학계 (PL) 의 개구수를 보다 증가시킬 수 있어, 이런 점에서도 해상도가 향상된다. The refractive index n of pure water (water) with respect to the exposure light EL having a wavelength of about 193 nm is approximately 1.44. When ArF excimer laser light (wavelength 193 nm) is used as the light source of the exposure light EL, the substrate ( On P), the wavelength is shortened to 1 / n, that is, about 134 nm, to obtain a high resolution. In addition, since the depth of focus is increased by about n times, or about 1.44 times, compared with the air, when the depth of focus that is about the same as that used in air is secured, the numerical aperture of the projection optical system PL is further increased. In this respect, the resolution is improved.

본 실시 형태에서는, 투영 광학계 (PL) 의 선단에 렌즈 (2) 가 장착되어 있지만, 투영 광학계 (PL) 의 선단에 장착되는 광학 소자는, 투영 광학계 (PL) 의 광학 특성, 예를 들어 수차 (구면 수차, 코마 수차 등) 의 조정에 사용하는 광학 플레이트여도 된다. 또는, 노광광 (EL) 을 투과 가능한 평행 평면판이어도 된다. In the present embodiment, the lens 2 is attached to the tip of the projection optical system PL, but the optical element attached to the tip of the projection optical system PL is an optical characteristic of the projection optical system PL, for example, aberration ( The optical plate used for adjustment of spherical aberration, coma aberration, etc.) may be sufficient. Alternatively, a parallel plane plate capable of transmitting the exposure light EL may be used.

또, 액체 (LQ) 의 흐름에 의해서 발생하는 투영 광학계 (PL) 의 선단의 광학 소자와 기판 (P) 사이의 압력이 큰 경우에는, 그 광학 소자를 교환 가능하게 하는 것은 아니고, 그 압력에 의해서 광학 소자가 움직이지 않도록 견고하게 고정해도 된다. In addition, when the pressure between the optical element at the tip of the projection optical system PL and the substrate P generated by the flow of the liquid LQ is large, the optical element is not made replaceable. You may fix firmly so that an optical element may not move.

또, 본 실시 형태에서는, 투영 광학계 (PL) 와 기판 (P) 표면 사이는 액체 (LQ) 로 채워져 있는 구성이지만, 예를 들어, 기판 (P) 표면에 평행 평면판으로 이루어지는 커버 유리를 장착한 상태에서 액체 (LQ) 를 채우는 구성이어도 된다. Moreover, in this embodiment, although it is the structure filled with the liquid LQ between the projection optical system PL and the surface of the board | substrate P, for example, the cover glass which consists of parallel plane plates was attached to the board | substrate P surface. The liquid LQ may be filled in the state.

또, 본 실시 형태의 액체 (LQ) 는 물이지만, 물 이외의 액체여도 된다. 예를 들어, 노광광 (EL) 의 광원이 F2 레이저인 경우, 이 F2 레이저광은 물을 투과 하지 않기 때문에, 액체 (LQ) 로서는 F2 레이저광을 투과 가능한 예를 들어, 과불화폴리에테르 (PFPE) 나 불소계 오일 등의 불소계 유체여도 된다. 또, 액체 (LQ) 로서는, 그 외에도, 노광광 (EL) 에 대한 투과성이 있고, 가능한 한 굴절률이 높고, 투영 광학계 (PL) 나 기판 (P) 표면에 도포되어 있는 포토레지스트에 대하여 안정적인 것 (예를 들어, 시더유 (cedar oil)) 을 사용하는 것도 가능하다. In addition, although the liquid LQ of this embodiment is water, liquids other than water may be sufficient. For example, no case of the light source is F 2 laser with a light (EL), the F 2 laser light does not permeate water, the liquid (LQ) as an F 2 laser light, for permeable example, perfluorinated poly Fluorine fluids, such as ether (PFPE) and fluorine oil, may be sufficient. As the liquid LQ, in addition, it is transparent to the exposure light EL, has as high a refractive index as possible, and is stable to the photoresist applied to the projection optical system PL or the substrate P surface ( For example, it is also possible to use cedar oil.

또, 상기 각 실시 형태의 기판 (P) 으로서는, 반도체 디바이스 제조용의 반도체 웨이퍼 뿐만 아니라, 디스플레이 디바이스용의 유리 기판이나, 박막 자기 헤드용의 세라믹 웨이퍼, 또는 노광 장치에서 사용되는 마스크 또는 레티클의 원판 (합성 석영, 규소 웨이퍼) 등이 적용된다. Moreover, as the board | substrate P of each said embodiment, not only the semiconductor wafer for semiconductor device manufacture but also the glass substrate for display devices, the ceramic wafer for thin film magnetic heads, or the original of the mask or reticle used by the exposure apparatus ( Synthetic quartz, silicon wafers) and the like.

또한, 상기 서술한 실시 형태에 있어서는, 투영 광학계 (PL) 와 기판 (P) 사이를 국소적으로 액체로 채우는 노광 장치를 채용하고 있지만, 일본 공개특허공보 평6-124873호에 개시되어 있는 바와 같은 노광 대상인 기판을 유지한 스테이지를 액조 (液槽) 속에서 이동시키는 액침 노광 장치나, 일본 공개특허공보 평10-303114호에 개시되어 있는 바와 같은 스테이지 상에 소정 깊이의 액체조를 형성하고, 그 속에 기판을 유지하는 액침 노광 장치에도 본 발명을 적용 가능하다. In addition, in the above-mentioned embodiment, although the exposure apparatus which locally fills between the projection optical system PL and the board | substrate P is employ | adopted, it is as disclosed in Unexamined-Japanese-Patent No. 6-124873. A liquid tank of a predetermined depth is formed on a liquid immersion exposure apparatus for moving the stage holding the substrate to be exposed in a liquid tank, or a stage as disclosed in JP-A-10-303114, and the The present invention can also be applied to an immersion exposure apparatus that holds a substrate therein.

노광 장치 (노광 장치 본체, EX) 로서는, 마스크 (M) 와 기판 (P) 을 동기 이동하여 마스크 (M) 의 패턴을 주사 노광하는 스텝 앤드 스캔 방식의 주사형 노광 장치 (스캐닝 스테퍼) 외에, 마스크 (M) 와 기판 (P) 을 정지한 상태에서 마스크 (M) 의 패턴을 일괄 노광하여, 기판 (P) 을 순차 단계 이동시키는 스텝 앤드 리피 트 방식의 투영 노광 장치 (스테퍼) 에도 적용할 수 있다. 또한, 본 발명은 기판 (P) 상에서 적어도 2 개의 패턴을 부분적으로 중복하여 전사하는 스텝 앤드 스티치 방식의 노광 장치에도 적용할 수 있다. As the exposure apparatus (the exposure apparatus main body, EX), in addition to the scanning exposure apparatus (scanning stepper) of the step-and-scan method which scan-exposes the pattern of the mask M by moving the mask M and the board | substrate P synchronously, It is also applicable to the projection exposure apparatus (stepper) of the step-and-repeat method which collectively exposes the pattern of the mask M in the state which stopped M and the board | substrate P, and moves the board | substrate P step by step. . Moreover, this invention is applicable also to the exposure apparatus of the step-and-stitch system which partially overlaps and transfers at least 2 pattern on the board | substrate P. FIG.

노광 장치 (EX) 의 종류는, 기판 (P) 에 반도체 소자 패턴을 노광하는 반도체 소자 제조용의 노광 장치에 한정되지 않고, 액정 표시 소자 제조용 또는 디스플레이 제조용의 노광 장치나, 박막 자기 헤드, 촬상 소자 (CCD) 또는 레티클 또는 마스크 등을 제조하기 위한 노광 장치 등에도 널리 적용할 수 있다. The kind of exposure apparatus EX is not limited to the exposure apparatus for semiconductor element manufacture which exposes a semiconductor element pattern to the board | substrate P, The exposure apparatus for liquid crystal display element manufacture or display manufacture, a thin film magnetic head, and an imaging element ( It is also widely applicable to an exposure apparatus for manufacturing a CCD) or a reticle or a mask.

기판 스테이지 (PST) 나 마스크 스테이지 (MST) 에 리니어 모터 (USP 5,623,853 또는 USP5,528,118 참조) 를 사용하는 경우에는, 에어 베어링을 사용한 에어 부상형 및 로렌츠력 또는 리액턴스력을 사용한 자기 부상형 중 어느 쪽을 사용해도 된다. 또, 각 스테이지 (PST, MST) 는, 가이드를 따라 이동하는 타입이어도 되고, 가이드를 형성하지 않는 가이드리스 (guideless) 타입이어도 된다. When a linear motor (see USP 5,623,853 or USP5,528,118) is used for the substrate stage PST or the mask stage MST, either the air floating type using the air bearing and the magnetic floating type using the Lorentz force or the reactance force You can also use Moreover, each stage PST and MST may be a type which moves along a guide, or may be a guideless type which does not form a guide.

각 스테이지 (PST, MST) 의 구동 기구로서는, 2차원에 자석을 배치한 자석 유닛과, 2차원에 코일을 배치한 전기자 유닛을 대향시켜 전자력에 의해 각 스테이지 (PST, MST) 를 구동하는 평면 모터를 사용해도 된다. 이 경우, 자석 유닛과 전기자 유닛 중 어느 일방을 스테이지 (PST, MST) 에 접속하고, 자석 유닛과 전기자 유닛의 타방을 스테이지 (PST, MST) 의 이동면측에 형성하면 된다. As a drive mechanism of each stage PST and MST, the plane motor which drives each stage PST and MST by an electromagnetic force by opposing the magnet unit which has arrange | positioned the magnet in two dimensions, and the armature unit which arrange | positioned the coil in two dimensions. You can also use In this case, one of the magnet unit and the armature unit may be connected to the stages PST and MST, and the other of the magnet unit and the armature unit may be formed on the moving surface side of the stages PST and MST.

기판 스테이지 (PST) 의 이동에 의해 발생하는 반력 (反力) 은, 투영 광학계 (PL) 에 전해지지 않도록, 일본 공개특허공보 평8-166475호 (USP5,528,118) 에 기재되어 있는 바와 같이, 프레임 부재를 사용하여 기계적으로 바닥 (대지) 으로 빠 져나가게 해도 된다. 마스크 스테이지 (MST) 의 이동에 의해 발생하는 반력은, 투영 광학계 (PL) 에 전해지지 않도록, 일본 공개특허공보 평8-330224호 (US S/N 08/416,558) 에 기재되어 있는 바와 같이, 프레임 부재를 사용하여 기계적으로 바닥 (대지) 으로 빠져나가게 해도 된다. As described in JP-A-8-166475 (USP5,528,118), the reaction force generated by the movement of the substrate stage PST is not transmitted to the projection optical system PL. The member may be used to mechanically escape to the floor (ground). As described in JP-A-8-330224 (US S / N 08 / 416,558), the reaction force generated by the movement of the mask stage MST is not transmitted to the projection optical system PL. The member may be used to mechanically escape to the floor (ground).

이상과 같이, 본원 실시 형태의 노광 장치 (EX) 는, 본원 특허 청구의 범위에 예로 들어진 각 구성 요소를 포함하는 각종 서브 시스템을, 소정의 기계적 정밀도, 전기적 정밀도, 광학적 정밀도를 갖도록 조립함으로써 제조된다. 이들 각종 정밀도를 확보하기 위해서, 이 조립의 전후에는, 각종 광학계에 관해서는 광학적 정밀도를 달성하기 위한 조정, 각종 기계계에 관해서는 기계적 정밀도를 달성하기 위한 조정, 각종 전기계에 관해서는 전기적 정밀도를 달성하기 위한 조정이 이루어진다. 각종 서브 시스템으로부터 노광 장치에의 조립 공정은, 각종 서브시스템 상호의, 기계적 접속, 전기 회로의 배선 접속, 기압 회로의 배관 접속 등이 포함된다. 이 각종 서브 시스템으로부터 노광 장치에의 조립 공정 전에, 각 서브 시스템 개개의 조립 공정이 있는 것은 말할 필요도 없다. 각종 서브 시스템의 노광 장치에의 조립 공정이 종료되면, 종합 조정이 이루어지고, 노광 장치 전체로서의 각종 정밀도가 확보된다. 또, 노광 장치의 제조는 온도 및 클린도 등이 관리된 클린룸에서 실시하는 것이 바람직하다. As described above, the exposure apparatus EX of the present embodiment is manufactured by assembling various subsystems including each component exemplified in the claims of the present application so as to have a predetermined mechanical precision, electrical precision, and optical precision. do. In order to secure these various precisions, before and after this assembly, adjustment for achieving optical precision for various optical systems, adjustment for achieving mechanical precision for various mechanical systems, and electrical precision for various electric systems are performed. Adjustments are made to achieve. The assembling process from the various subsystems to the exposure apparatus includes mechanical connection, wiring connection of an electric circuit, piping connection of an air pressure circuit, and the like among various subsystems. It goes without saying that there is an assembling process for each subsystem before the assembling process from these various subsystems to an exposure apparatus. When the assembly process to the exposure apparatus of various subsystems is complete | finished, comprehensive adjustment is made and various precision as the whole exposure apparatus is ensured. Moreover, it is preferable to perform manufacture of exposure apparatus in the clean room where temperature, a clean degree, etc. were managed.

반도체 디바이스 등의 마이크로 디바이스는, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 마이크로 디바이스의 기능ㆍ성능 설계를 실시하는 단계 201, 이 설계 단계에 따른 마스크 (레티클) 를 제작하는 단계 202, 디바이스의 기재인 기판을 제조하는 단계 203, 상기 서술한 실시 형태의 노광 장치 (EX) 에 의해 마스크의 패턴을 기판에 노광하는 노광 처리 단계 204, 디바이스 조립 단계 (다이싱 공정, 본딩 공정, 패키지 공정을 포함한다) 205, 검사 단계 206 등을 거쳐 제조된다. As shown in FIG. 10, a microdevice such as a semiconductor device manufactures a substrate which is a substrate of a device, in step 201 of performing a function / performance design of a microdevice, a step 202 of manufacturing a mask (reticle) according to this design step. Step 203, exposure processing step 204 for exposing the pattern of the mask to the substrate by the exposure apparatus EX of the above-described embodiment, device assembling step (including dicing step, bonding step, and package step) 205, inspection And step 206 or the like.

Claims (18)

투영 광학계와 액체를 통한 패턴의 이미지에 의해서 노광된 기판을 반송하는 기판 반송 장치로서, A substrate conveying apparatus for conveying a substrate exposed by an image of a pattern through a projection optical system and a liquid, 상기 기판에 부착된 상기 액체를 검출하는 액체 검출기를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. And a liquid detector for detecting the liquid attached to the substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 액체 검출기의 검출 결과에 기초하여, 상기 기판에 부착된 액체를 제거하는지 아닌지를 판정하는 판정 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. And a judging device for judging whether or not to remove the liquid adhering to the substrate, based on the detection result of the liquid detector. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 판정 장치의 판정 결과에 기초하여, 상기 기판에 부착된 액체를 제거하는 제거 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. And a removal device for removing the liquid adhered to the substrate, based on the determination result of the determination device. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제거 장치는 상기 액체 검출기의 검출 결과에 기초하여, 상기 기판에 부착된 액체를 제거하는 제거 조건을 설정하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.And said removal apparatus sets a removal condition for removing the liquid adhered to said substrate based on the detection result of said liquid detector. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제거 조건은 상기 액체를 제거하기 위해서 필요한 시간을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. The said removal condition includes the time required in order to remove the said liquid, The board | substrate conveying apparatus characterized by the above-mentioned. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 액체 검출기는 상기 기판의 노광 전에 있어서의 기판 표면에 관한 제 1 정보와, 상기 기판의 노광 후에 있어서의 기판 표면에 관한 제 2 정보를 비교하여, 상기 액체를 검출하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. The said liquid detector compares the 1st information about the surface of a board | substrate before exposure of the said board | substrate, and the 2nd information about the surface of the board | substrate after exposure of the said board | substrate, and detects the said liquid, The board | substrate conveying apparatus characterized by the above-mentioned. . 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 1 정보는 상기 기판의 노광 전에 있어서의 상기 기판 표면을 촬상한 촬상 정보이고, 상기 제 2 정보는 상기 기판의 노광 후에 있어서의 상기 기판 표면을 촬상한 촬상 정보인 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. The said 1st information is the imaging information which image | photographed the said substrate surface before exposure of the said board | substrate, The said 2nd information is the imaging information which imaged the said substrate surface after exposure of the said board | substrate, The board | substrate conveying apparatus characterized by the above-mentioned. . 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,The method according to claim 6 or 7, 상기 제 1 정보는 상기 기판 표면의 반사율 정보를 포함하고, 상기 제 2 정보는 상기 기판 표면의 반사율 정보와 상기 액체의 반사율 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. And the first information includes reflectance information of the surface of the substrate, and the second information includes reflectance information of the surface of the substrate and reflectance information of the liquid. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 액체 검출기는 상기 기판의 노광 후에 있어서의 상기 기판 표면에 대하여 검출광을 조사하는 조사부와, 상기 기판 표면에서 반사된 상기 검출광을 수광하는 수광부를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. And the liquid detector has an irradiation unit for irradiating detection light to the surface of the substrate after exposure of the substrate and a light receiving unit for receiving the detection light reflected from the surface of the substrate. 기판 스테이지에 유지된 기판에, 투영 광학계와 액체를 통하여 패턴의 이미지를 투영하고, 상기 기판을 노광하는 노광 장치로서, An exposure apparatus for projecting an image of a pattern onto a substrate held on a substrate stage through a projection optical system and a liquid, and exposing the substrate, 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 반송 장치를 사용하여, 상기 기판 스테이지에서 상기 기판을 반송하는 것을 특징으로 하는 노광 장치. The said board | substrate is conveyed by the said board | substrate stage using the board | substrate conveyance apparatus in any one of Claims 1-9, The exposure apparatus characterized by the above-mentioned. 투영 광학계와 액체를 통한 패턴의 이미지에 의해서 노광된 기판을 반송하는 기판 반송 방법으로서, As a substrate conveyance method which conveys the board | substrate exposed by the image of the pattern through a projection optical system and a liquid, 상기 기판의 반송 경로 도중에, 상기 기판에 부착된 상기 액체를 검출하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법. The substrate conveyance method characterized by detecting the said liquid adhered to the said board | substrate in the conveyance path | route of the said board | substrate. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 액체의 검출 결과에 기초하여, 상기 기판에 부착된 액체를 제거하는지 아닌지를 판정하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법. And determining whether or not the liquid attached to the substrate is removed based on the detection result of the liquid. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 판정 결과에 기초하여, 상기 기판에 부착된 액체를 제거하는 것을 특징 으로 하는 기판 반송 방법. Based on the determination result, the liquid attached to the substrate is removed. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 액체의 검출 결과에 기초하여, 상기 기판에 부착된 액체를 제거하는 제거 조건을 설정하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법. And a removal condition for removing the liquid attached to the substrate based on the detection result of the liquid. 제 11 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 11 to 14, 상기 액체의 검출은 상기 기판의 노광 전에 있어서의 상기 기판 표면과, 상기 기판의 노광 후에 있어서의 상기 기판 표면을 비교하여 실시하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법. The detection of the liquid is performed by comparing the substrate surface before exposure of the substrate with the substrate surface after exposure of the substrate. 제 11 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 11 to 15, 상기 액체의 검출은 상기 기판의 노광 후에 있어서의 상기 기판 표면에 대하여 검출광을 조사함과 함께, 상기 기판 표면에서 반사된 상기 검출광을 수광하고, 상기 수광 결과에 기초하여 실시하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법. The detection of the liquid is carried out on the basis of the light reception result while irradiating the detection light to the surface of the substrate after exposure of the substrate, receiving the detection light reflected from the surface of the substrate. Substrate conveying method. 기판 스테이지에 유지된 기판에, 투영 광학계와 액체를 통하여 패턴의 이미지를 투영하고, 상기 기판을 노광하는 노광 방법으로서,An exposure method for projecting an image of a pattern onto a substrate held on a substrate stage through a projection optical system and a liquid, and exposing the substrate, 제 11 항 내지 제 16 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 반송 방법을 사용하여, 상기 기판 스테이지에서 상기 기판을 반송하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하 는 노광 방법. The exposure method characterized by having the process of conveying the said board | substrate in the said board | substrate stage using the board | substrate conveyance method of any one of Claims 11-16. 제 17 항에 기재된 노광 방법을 사용하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조 방법. The exposure method of Claim 17 is used, The device manufacturing method characterized by the above-mentioned.
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