KR20060095304A - 스피너 설비 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 웨이퍼 상에 소정 패턴의 포토레지스트 박막을 형성하는 웨이퍼 처리부;상기 웨이퍼 처리부에 사용될 케미컬이 보관되는 케미컬 캐비넷; 및,상기 웨이퍼 처리부와 상기 케미컬 캐비넷에 각각 연결되며, 상기 웨이퍼 처리부 내부와 상기 케미컬 캐비넷 내부의 온도와 습도를 제어하는 온도/습도 제어부를 포함하는 스피너 설비.
- 제 1항에 있어서, 상기 온도/습도 제어부는공기유입구와 공기유출구가 마련된 본체와, 상기 본체 내부 중 상기 공기유입구가 마련된 부분에 설치되며 공기 중의 습도를 제거하는 제습유닛과, 상기 본체 내부 중 상기 공기유출구가 마련된 부분에 설치되며 상기 본체 내부의 공기를 상기 공기유출구 측으로 송풍하는 송풍기와, 상기 본체 내부에 설치되며 공기 중에 습도가 증대되도록 가습하는 가습유닛과, 상기 본체 내부에 설치되며 공기의 온도를 조절하는 온도조절유닛 및, 상기 본체 내부의 공기가 상기 웨이퍼 처리부와 상기 케미컬 캐비넷에 각각 공급되도록 상기 본체와 상기 웨이퍼 처리부 그리고 상기 본체와 상기 케미컬 캐비넷을 연통시키는 공기덕트를 포함한 것을 특징으로 하는 스피너 설비.
- 제 2항에 있어서, 상기 공기덕트는 상기 본체의 공기유출구에 일단이 연결되 며, 타단은 상기 웨이퍼 처리부에 그 일측이 연결되고 그 타측은 상기 케미컬 캐비넷에 연결되는 T 형상인 것을 특징으로 하는 스피너 설비.
- 제 2항에 있어서, 상기 온도조절유닛은 열전소자나 냉각가스를 이용하여 공기의 온도를 냉각하는 냉각기를 포함한 것을 특징으로 하는 스피너 설비.
- 제 1항에 있어서, 상기 웨이퍼 처리부는 상기 웨이퍼 상에 포토레지스트를 도포하는 코팅유닛과, 상기 웨이퍼를 베이크하는 베이킹유닛과, 상기 코팅유닛에 의해 포토레지스트가 도포된 후 노광된 웨이퍼를 현상하는 현상유닛을 포함하고,상기 케미컬 캐비넷 내부에 보관되는 케미컬은 상기 코팅유닛에서 사용될 포토레지스트와, 상기 현상유닛에서 사용될 현상액을 포함한 것을 특징으로 하는 스피너 설비.
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- 2005-02-28 KR KR1020050016825A patent/KR100678474B1/ko active IP Right Grant
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