KR20060075756A - Method for manufacturing organic electroluminescent device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기 EL층이 정확한 위치, 즉 절연막들 사이의 공간에 정확하게 형성되었는지를 판단할 수 있는 유기 전계 발광 소자 제조 방법을 개시한다. The present invention discloses an organic EL layer is the right place, that is, the organic EL device manufacturing method capable of accurately determining whether a space formed between the insulating film. 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조 방법은 기판 표면의 외곽부에 얼라인먼트 키를 형성하는 단계; The organic EL device manufacturing method according to the present invention comprises a step of forming an alignment key to the outside portion of the substrate surface; 기판 표면에 다수의 ITO층을 형성하고, ITO층의 일부 영역을 제외한 전체 영역에 절연막을 형성하는 단계; Forming a plurality of the ITO layer on the substrate surface, forming an insulating film over the entire area except for a part of the ITO layer; ITO층을 가로지르는 형태로 다수의 격벽을 형성하는 단계; Forming a plurality of partition walls in the form across the ITO layer; 마스크를 이용하여 R, G 또는 B 발광 영역에 유기 EL층을 형성하고 동시에 기판 표면의 얼라인먼트 키 상에 부가 유기 EL층을 형성하는 단계; The method comprising using a mask to form an organic EL layer on the R, G or B light emitting region to form an additional organic EL layer on the alignment keys on the substrate surface at the same time; 및 전체 구조 상부에 금속층을 형성하는 단계를 포함한다. And forming a metal layer on the entire upper structure. 기판에 형성된 얼라인먼트 키는 액티브 영역 외곽부의 스캔 라인 형성 영역의 양 외측에 각각 형성된다. An alignment key formed on the substrate is formed on both outer sides of the active area outside the scan line portion forming region.
유기 전계 발광 소자, 유기물층 The organic electroluminescent device, an organic material layer

Description

유기 전계 발광 소자 제조 방법{Method for manufacturing organic electroluminescent device} The organic EL device manufacturing method {Method for manufacturing organic electroluminescent device}

도 1은 유기 전계 발광 소자의 평면도. 1 is a plan view of an organic EL device.

도 2는 도 1의 선 AA를 따라 절취한 상태의 단면도. Figure 2 is a cross-sectional view of the state cut along the line AA of Figure 1;

도 3은 본 발명을 설명하기 위한 유기 전계 발광 소자의 평면도. 3 is a plan view of an organic EL device for explaining the present invention.

본 발명은 유기 전계 발광 소자 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 유기물층이 정확한 영역에 형성되었는지를 체크할 수 있는 유기 전계 발광 소자 제조 방법에 관한 것이다. The present invention relates to, in particular, an organic EL device manufacturing method that can check whether the organic compound layer is formed in the right area relates to an organic EL device manufacturing method.

유기 전계 발광은 유기물(저분자 또는 고분자) 박막에 음극과 양극을 통하여 주입된 전자(electron)와 정공(hole)이 재결합하여 여기자(exciton)를 형성하고, 형성된 여기자로부터의 에너지에 의해 특정한 파장의 빛이 발생되는 현상이다. The organic electroluminescent is organic (low molecular or high molecular) injected through the cathode and the anode to a thin film electron (electron) and a hole (hole) are recombined to form an exciton (exciton), light of a specific wavelength by energy from the formed excitons this is a phenomenon that occurs. 이러한 현상을 이용한 유기 전계 발광 소자의 구조 및 제조 단계를 설명하면 다음과 같다. Turning to the structure and manufacturing steps of an organic EL device using this phenomenon as follows.

도 1은 유기 전계 발광 소자의 평면도, 도 2는 도 1의 선 AA를 따라 절취한 상태의 단면도로서, 유기 전계 발광 소자의 구성을 도시하고 있다. 1 is a cross-sectional view of the state cut along a plane view, Figure 2 is a line AA of Figure 1 of an organic EL device, a block diagram of an organic EL device.

유기 전계 발광 소자는 투명 기판(1) 상에 배열된 ITO층(2), ITO층(2) 상에 형성된 유기 전계 발광층(3; 이하 "유기 EL 층"이라 칭함), 유기 EL 층(3) 상에 형성된 금속층(4)으로 이루어진다. The organic electroluminescent device is an ITO layer disposed on the transparent substrate (1) and (2), an organic electroluminescent layer formed on the ITO layer 2, 3 (hereinafter referred to as "organic EL layer"), an organic EL layer 3 It consists of a metal layer (4) formed on the.

유기 EL 층(3)은 정공 수송층, 발광층 및 전자 수송층이 적층되어 구성되며, 각 금속 전극(4; 유기 EL 층 포함)은 이웃하는 금속 전극과 일정한 간격을 유지한다. The organic EL layer 3 is composed of laminated, a hole transport layer, a light emitting layer and an electron transport layer, each metal electrode (4; containing an organic EL layer) is kept at a fixed interval and a metal electrode adjacent. 여기서 기판(1) 상에 배열된 ITO층(2)은 애노드 전극의 기능을 수행하며, 각 금속층(4)은 캐소드 전극의 기능을 수행한다. Here, the ITO layer 2 is arranged on the substrate 1, and performs the function of an anode electrode, each metal layer (4) performs the function of the cathode electrode.

이웃하는 금속층(4)들 사이에 형성된 공간에는 금속층들(4)을 분리하기 위한 격벽(5)이 형성되며, 각 격벽(5)은 절연막(4a)을 통하여 ITO층(2)과 분리된 상태이다. Separate from any neighboring metal layer 4, the space formed between, the partition wall (5) for separating the metal layer (4) is formed, and each partition wall (5) is an ITO layer 2 through the insulating film (4a) to to be. 한편, 유기 EL 층 형성 공정 및 금속층 형성 공정 진행시 각 격벽(5)의 상부에도 유기 EL 층 및 금속층이 형성되나, 이 금속층은 캐소드 전극으로서의 기능을 수행하지는 않는다. On the other hand, but also the upper part of the organic EL layer forming step and the metal layer forming step, each partition wall (5) during progress of the organic EL layer and a metal layer formed on the metal layer does not perform the function as a cathode electrode.

이상과 같은 구조를 갖는 유기 전계 발광 소자를 제조하는 각 단계를 도면을 통하여 간단히 설명하면 다음과 같다. Briefly the steps of manufacturing an organic electroluminescent device having a structure as described above by the drawings as follows.

먼저, 기판(1) 상에 다수의 ITO층(2)을 형성하고, ITO층(2)의 일부(유기 EL층 및 금속층으로 이루어진 발광 영역)를 제외한 전체 영역에 절연막을 형성한다. First, an insulating film is formed over the entire area to form a plurality of ITO layers (2) on a substrate (1), except for a portion (consisting of a light emitting region in the organic EL layer and metal layer) of the ITO layer 2. 그 후, ITO층(2)을 가로지르는 형태로 다수의 격벽(5)를 형성하며, 이후 격벽(5)을 포함한 전체 구조 상부에 유기 EL층(3)과 금속층(4)을 순차적으로 형성한다. Then, to form a plurality of partition walls (5) in the form across the ITO layer 2, and the entire structure above, including after the partition wall (5) forming the organic EL layer 3 and the metal layer (4) sequentially .

한편, 유기 EL층(3)은 R, G 및 B 발광 영역 별로 서로 다른 종류의 유기물이 증착되어야 한다. On the other hand, the organic EL layer 3 should be a different kind of organic material deposition for each R, G and B light emitting region. 도 2에서는 2개의 격벽(5) 사이에 단일의 유기 EL층(3) 및 금속 층(4)이 도시되어 있으나, 그 양측에도 동일한 구조의 유기 EL층 및 금속 층이 형성되어 R, G 및 B 발광 영역들을 형성함은 물론이다. 2, the two partition walls (5) The organic EL layer 3 and the metal layer 4 of single this are illustrated in between, both sides of the organic EL layer and the metal layer having the same structure are formed in the R, G and B forming the light emitting region as a matter of course. 유기EL층 형성 공정에서, 각 발광 영역에 해당 유기EL층을 형성하기 위하여 마스크를 이용한다. In the organic EL layer forming step, a mask is used to form the organic EL layer in each light-emitting region.

도 2에 도시된 바와 같이, 유기 EL층(3)은 절연막(4a) 사이에 형성되며, 그 양측부 일부는 절연막(4a) 상에 형성된다. 2, the organic EL layer 3 is formed between the insulating film (4a), each side portion part is formed on the insulating film (4a). 즉, 절연막(4a)들 사이의 폭을 "a"라하고 그 사이에 형성된 유기 EL층(3)의 폭을 "A"라고 하면, 유기 EL층(3)은 a/A=0.9의 비율을 갖도록 형성된다. That is, when the width between the insulating film (4a) is called "a" referred to the width of the organic EL layer 3 "A" formed between the organic EL layer 3 has a ratio of a / A = 0.9 It is formed to have.

만일, 마스크와 기판의 미스얼라인먼트(misalignment)로 인하여 유기 EL층(3)의 중심이 절연막(4a)들 사이에 형성된 공간 중심에서 벗어난 상태로 유기 EL층(3)이 형성될 경우, 하부의 ITO층(2)의 일부에 유기 EL층(3)이 형성되지 않으며, 이는 발광 영역의 감소를 야기한다. Information not included in the insulating film (4a) of the organic EL layer 3 in a state out of the area center defined between the center of the organic EL layer 3 is formed due to misalignment (misalignment) of the mask and the substrate, the underlying ITO layer (2) some organic EL layer 3 is not formed on, which causes a reduction in light emitting area.

각 발광 영역의 감소는 소자 전체의 개구율(액티브 영역의 면적대 발광 영역의 면적 비율)을 저하시키는 직접적인 원인이며, 따라서 소자의 개구율을 향상시키기 위하여 유기 EL층을 정확한 위치에 형성하는 것이 요구된다. Reduction in the light emission region is required to form a direct result, therefore, the organic EL layer to improve the aperture ratio of the element in the right place and to lower the aperture ratio of the entire element (Area area ratio of the light emitting region of the active area).

유기 EL층(3)이 절연막(4a) 사이에 정확하게 형성되었는지를 작업자가 육안으로 검사하기 어려우며, 특히 유기 EL층(3) 상에 금속층(4)이 형성되기 때문에 유기 EL층(3) 형성 상태를 알 수 없다. The organic EL layer 3 has a worker has been correctly formed between the insulating film (4a) is difficult to visually inspect, and particularly an organic EL layer (3) onto the metal layer 4, an EL layer (3) Organic are formed forming conditions the unknown.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 유기 EL층이 정확한 위 치, 즉 절연막들 사이의 공간에 정확하게 형성되었는지를 판단할 수 있는 유기 전계 발광 소자 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다. An object of the present invention is to provide serves to solve the above problems, manufacturing the organic EL layer is exact location, that is, the light-emitting organic light capable of determining whether a correctly formed in a space between the insulating element method.

상술한 목적을 실현하기 위한 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조 방법은 기판 표면의 외곽부에 얼라인먼트 키를 형성하는 단계; The organic EL device manufacturing method according to the present invention for realizing the above objects includes the steps of forming the alignment key on the outer portion of the substrate surface; 기판 표면에 다수의 ITO층을 형성하고, ITO층의 일부 영역을 제외한 전체 영역에 절연막을 형성하는 단계; Forming a plurality of the ITO layer on the substrate surface, forming an insulating film over the entire area except for a part of the ITO layer; ITO층을 가로지르는 형태로 다수의 격벽을 형성하는 단계; Forming a plurality of partition walls in the form across the ITO layer; 마스크를 이용하여 R, G 또는 B 발광 영역에 유기 EL층을 형성하고 동시에 기판 표면의 얼라인먼트 키 상에 부가 유기 EL층을 형성하는 단계; The method comprising using a mask to form an organic EL layer on the R, G or B light emitting region to form an additional organic EL layer on the alignment keys on the substrate surface at the same time; 및 전체 구조 상부에 금속층을 형성하는 단계를 포함한다. And forming a metal layer on the entire upper structure. 기판에 형성된 얼라인먼트 키는 액티브 영역 외곽부의 스캔 라인 형성 영역의 양 외측에 각각 형성된다. An alignment key formed on the substrate is formed on both outer sides of the active area outside the scan line portion forming region.

도 3은 본 발명을 설명하기 위한 유기 전계 발광 소자의 평면도로서, 도 1 및 도 2에 도시된 다수의 요소들이 형성된 영역(액티브 영역)을 도면 부호 "A"로 나타내었다. Figure 3 is a plan view of an organic EL device for explaining the present invention, showing a region (active region), the plurality of elements are formed shown in Figs. 1 and 2 by the reference numeral "A".

도 3에서, 액티브 영역(A) 외곽부에는 ITO(2)층과 금속층(4)에 연결된 데이터 라인(2A) 및 스캔 라인(4A)이 형성되며, 그 단부는 기판(1)의 한 부분으로 집중되어 패드부(P)를 형성하게 된다. In Figure 3, the active area (A) the outer frame unit, the ITO (2) layer and a metal layer data lines (2A) and the scan lines (4A) connected to the (4) is formed, the end portion is a part of the substrate (1) It is concentrated to form a pad section (P). 한편, 미설명부호 "S1" 및 "S2"은 캡이 부착되는 캡 부착 영역이다. On the other hand, reference numeral "S1" and "S2" is the region in which the cap is attached cap.

이하, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조 방법을 도 1, 도 2 및 도 3을 참고하여 상세히 설명한다. Hereinafter, referring to FIG. 1, 2 and 3 of the organic EL device manufacturing method according to the present invention will be described in detail.

먼저, 기판(1) 표면의 외곽부에 얼라인먼트 키(1A; alignment key)를 형성한다. First, a substrate (1) the alignment keys on the outer portion of the surface, to form a (1A alignment key). 얼라인먼트 키(1A)는 예정된 액티브 영역의 외곽부 양측, 즉 스캔 라인이 형성될 영역의 외곽부 양측에 각각 형성된다. An alignment key (1A) is formed on both sides of the outer frame section, that the outer portion on both sides of the region to be formed in the scan lines of a predetermined active area.

이후, 기판(1) 표면에 다수의 ITO층(2)을 형성하고, ITO층(2)의 일부 영역(즉, 발광 영역)을 제외한 전체 영역에 절연막(4a)을 형성한다. Then, to form a substrate (1) surface a plurality of ITO layers (2) some areas, the insulating film (4a) over the entire area except for the (i. E., A light emitting region) of the formation, and the ITO layer 2 in.

그 후, ITO층(2)을 가로지르는 형태로 다수의 격벽(5)를 형성하며, 이후 격벽(5)을 포함한 전체 구조 상부에 유기 EL층(3)을 형성한다. Then, to form a plurality of partition walls (5) in the form across the ITO layer 2, and the entire upper structure including partition walls after 5 forming the organic EL layer 3. 이때, 한편, 유기 EL층 형성 단계에서, 마스크를 이용하여 R, G 및 B 발광 영역 별로 서로 다른 종류의 유기물 재료(증기)를 증착한다. At this time, the other hand, the vapor-deposited on the organic EL layer forming step, a different kind of organic material (steam) for each R, G and B light emitting region by using a mask.

한편, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조 방법에서의 가장 큰 특징은 각 발광 영역에 해당 유기 EL층(3)을 형성함과 동시에 기판(1)의 외곽부, 즉 얼라인먼트 키가 형성된 영역에 별도의 부가 유기 EL층(3A)을 형성하는 것이다. Meanwhile, a separate on the outer part, i.e. the area is an alignment key is formed of a larger feature and at the same time in each light emitting region forming the organic EL layer 3, the substrate 1 in the organic EL device manufacturing method according to the invention the addition to form an organic EL layer (3A).

부가 유기 EL층(3A)은 유기 EL층 형성용 마스크에 패턴을 부가적으로 형성하여 유기 EL층 형성 공정을 진행함으로서 형성될 수 있다. Adding an organic EL layer (3A) may be formed by a pattern in a mask for forming an organic EL layer is additionally formed by proceeding the organic EL layer forming step. 마스크에 형성된, 부가 유기 EL층 형성용 패턴은 기판(1) 표면에 형성된 얼라인먼트 키(1A)와 대응되며, 따라서 부가 유기 EL층(3A)은 기판(1)의 얼라인먼트 키(1A) 상에 형성된다. The additional pattern for forming an organic EL layer formed on the mask is compatible with the alignment key (1A) formed on the surface of the substrate 1, thus adding an organic EL layer (3A) is formed on an alignment key (1A) of the substrate (1) do.

한편, 마스크에 형성된 부가 유기 EL층 형성용 패턴과 기판(1) 표면에 형성된 얼라인먼트 키(1A)가 대응함과 동시에 유기 EL층 형성용 패턴이 절연막 사이의 공간과 대응해야 함은 물론이다. On the other hand, the addition should the alignment key (1A) formed on the organic EL layer pattern and the substrate 1 surface and at the same time for forming a corresponding pattern for forming the organic EL layer must correspond to the space between the insulating film is of course formed on the mask.

이후, 유기 EL층(3) 상에 금속층(4)을 형성하고 캡 부착 영역(S1 및 S2)에 캡을 부착함으로서 유기 전계 발광 소자의 제조 공정이 완료된다. Thereafter, the manufacturing process of the organic EL device by forming a metal layer (4) on the organic EL layer 3 and the cap attached to the cap region (S1 and S2) is completed.

유기 EL층 형성 단계 또는 금속층 형성 단계가 종료된 후, 작업자는 부가 유기 EL층(3A)의 형성 상태를 기초로 유기 EL층(3)이 정확한 위치에 형성되었는지를 판별할 수 있다. , The operator can determine whether the addition of organic EL layer (3A) forming the organic EL layer 3 is formed on the basis of the state in the right place and, after the organic EL layer forming step, or the metal layer forming step has ended.

즉, 2개의 부가 유기 EL층(3A) 모두가 기판(1)에 형성된 2개의 얼라인먼트 키(1A)와 각각 일치한다면, 마스크와 기판의 얼라인먼트가 유지되었음을 의미하며, 이와 달리 어느 하나의 부가 유기 EL층(3A)이라도 대응하는 얼라인먼트 키(1A)와 일치하지 않고 어긋나 있다면 마스크와 기판의 얼라인먼트가 맞지 않았음을 의미한다. That is, two pieces of additional if all the organic EL layer (3A) matches each of the two alignment keys (1A) formed on a substrate (1), means that the alignment is maintained in the mask and the substrate and, alternatively any one of the additional organic EL out without matching layer (3A) alignment keys (1A) corresponding, even if it means that you have the right alignment of the mask and the substrate. 즉, 이는 유기 EL층(3)이 절연막(4a) 사이의 공간에 정확하게 형성되지 않고 았음을 나타낸다. That is, it indicates the ateum not be formed precisely to the space between the organic EL layer 3, the insulating film (4a).

작업자는 부가 유기 EL층(3A)과 얼라인먼트 키(1A)의 상호 관계를 고려하여 마스크의 얼라인먼트를 조정한 후, 새로운 기판에 대한 공정을 진행한다. The operator proceeds to then adjust the alignment of the mask in consideration of the correlation between additional organic EL layer (3A) and an alignment key (1A), the process for the new substrate.

위에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 전계 발광 소자 제조 방법은 (예정된) 액티브 영역의 외곽부에 2개의 얼라인먼트 키가 형성된 기판 상에 부가 유기EL층 형성용 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 유기 EL층 형성 공정을 진행함으로서 유기 EL층 형성 공정 후, 얼라인먼트 키와 부가 유기 EL층의 배열 상태를 통하여 유기 EL층이 정확한 위치에 형성되었는지를 용이하게 판별할 수 있다. As described above, the organic EL device manufacturing method according to the invention (scheduled) by using two alignment keys are mask having a portion for forming an organic EL layer pattern on the substrate formed at the outer portion of the active area organic EL layer if a subsequent step to form an organic EL layer forming process by proceeding to the alignment key, and added through an arrangement of an organic EL layer formed on the organic EL layer is the right place and can be easily determined.

위에 설명된 예시적인 실시예는 제한적이기보다는 본 발명의 모든 관점들 내에서 설명적인 것이 되도록 의도되었다. The illustrative embodiments described above are intended to be within the description of all aspects of the invention rather than limiting. 따라서 본 발명은 본 기술 분야의 숙련된 자들에 의하여 본 명세서 내에 포함된 설명으로부터 얻어질 수 있는 많은 변형과 상세한 실행이 가능하다. Accordingly, the present invention is capable of many variations and detailed execution which can be obtained from the description contained in this specification by those skilled in the art. 다음의 청구범위에 의하여 한정된 바와 같이 이러한 모든 변형과 변경은 본 발명의 범위 및 사상 내에 있는 것으로 고려되어야 한다. All such changes and modifications as defined by the following claims should be considered to be within the scope and spirit of the invention.

Claims (3)

  1. 유기 전계 발광 소자 제조 방법에 있어서, In the organic EL device manufacturing method,
    기판 표면의 외곽부에 2개 이상의 얼라인먼트 키를 형성하는 단계; Forming at least two alignment keys on the outer portion of the substrate surface;
    기판 표면에 다수의 ITO층을 형성하고, ITO층의 일부 영역을 제외한 전체 영역에 절연막을 형성하는 단계; Forming a plurality of the ITO layer on the substrate surface, forming an insulating film over the entire area except for a part of the ITO layer;
    ITO층을 가로지르는 형태로 다수의 격벽을 형성하는 단계; Forming a plurality of partition walls in the form across the ITO layer;
    마스크를 이용하여 R, G 또는 B 발광 영역에 유기 EL층을 형성하고 동시에 기판 표면의 얼라인먼트 키 상에 부가 유기 EL층을 형성하는 단계; The method comprising using a mask to form an organic EL layer on the R, G or B light emitting region to form an additional organic EL layer on the alignment keys on the substrate surface at the same time; And
    전체 구조 상부에 금속층을 형성하는 단계를 포함하는 유기 전계 발광 소자 제조 방법. Method of producing an organic electroluminescent device comprising: forming a metal layer on the entire upper structure.
  2. 제 1 항에 있어서, 얼라인먼트 키는 액티브 영역 외곽부의 스캔 라인 형성 영역의 외측에 각각 형성되는 유기 전계 발광 소자 제조 방법. The method of claim 1, wherein the alignment key is a method of manufacturing the organic EL device are respectively formed outside the active area outside the scan line portion forming region.
  3. 제 1 항에 있어서, 마스크에 형성된 부가 유기 EL층 형성용 패턴과 기판 표면에 형성된 얼라인먼트 키가 대응될 때, 마스크의 유기 EL층 형성용 패턴과 절연막 사이의 공간이 대응하는 유기 전계 발광 소자 제조 방법. The method of claim 1, wherein when the alignment key is formed in addition an organic EL layer pattern and the substrate surface for forming a formed in the mask may correspond, the process for producing an organic electroluminescent device space corresponding between the organic EL layer is formed pattern and the insulating film for the mask .
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KR100420935B1 (en) * 2001-10-23 2004-03-02 네오뷰코오롱 주식회사 Apparatus for fabricating flat panel display

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101258259B1 (en) * 2009-09-17 2013-04-25 엘지디스플레이 주식회사 Organic Light Emitting Display Device

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