KR20060040909A - 로드락 챔버용 스토리지 엘리베이터의 상부 커버링 장치 - Google Patents

로드락 챔버용 스토리지 엘리베이터의 상부 커버링 장치 Download PDF

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KR20060040909A
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Abstract

본 발명은 다수의 웨이퍼가 일정 간격으로 적층되는 카세트 인덱서를 갖는 로드락 챔버의 스토리지 엘리베이터에 관한 것으로서, 상기 카세트 인덱서의 최상부에는 적어도 웨이퍼의 상부 면적을 모두 가릴 수 있는 크기의 플레이트형 블로킹 커버를 설치하여, 로드락 챔버내의 파티클 다운에 의한 최상부 웨이퍼의 오염을 미연에 방지하여 전체적인 웨이퍼의 수율을 향상시킬 수 있다.
Figure 112004051446121-PAT00001
로드락 챔버, 스토리지 엘리베이터, 웨이퍼, 블로킹 커버, 카세트 인덱서

Description

로드락 챔버용 스토리지 엘리베이터의 상부 커버링 장치{DEVICE FOR COVERING UPPER PORTION OF STORAGE ELEVATOR IN LOAD LOCK CHAMBER}
도 1은 일반 로드락 챔버의 구성을 개략적으로 도시한 도면;
도 2는 종래 기술에 따른 스토리지 엘리베이터의 구성도;
도 3은 종래 기술에 따른 스토리지 엘리베이터의 최상단부에 위치한 웨이퍼상에 적층되는 파티클을 도시한 도면;
도 4는 본 발명에 따른 스토리지 엘리베이터의 구성도; 및
도 5는 본 발명에 따른 블로킹 커버(blocking cover)를 도시한 사시도.
본 발명은 로드락 챔버(load lock chamber)에서 사용하는 다수의 웨이퍼(wafer)가 적층되는 스토리지 엘리베이터(storage elevator)에 관한 것으로서, 특히 스토리지 엘리베이터 승강 동작시 발생하는 파티클에 의한 최상부 웨이퍼의 오염을 방지하여 수율을 향상시킬 수 있도록 구성되는 로드락 챔버용 스토리지 엘리 베이터의 상부 커버링 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 화학 기상 증착 장비는 반도체 제조 공정을 수행하기 위하여 서로 연동되도록 멀티 챔버를 구비하고 있다. 상기 멀티 챔버는 웨이퍼의 각 공정 처리 조건에 맞도록 선처리를 하거나 일시 보관하기 위한 로드락 챔버(load lock chamber)와 상기 로드락 챔버에 인접하게 위치한 복수의 공정 챔버들을 구비한다. 상기 로드락 챔버는 상압 상태에서 외부로부터 미가공상태의 웨이퍼를 전달받아 이를 공정 챔버에 동일한 진공 분위기에서 공급하게 되고, 공정 챔버에서 가공된 웨이퍼는 다시 반송하여 후속 공정으로 이송되도록 하는 것이다.
도 1은 일반 로드락 챔버의 구성을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2는 종래 기술에 따른 스토리지 엘리베이터의 구성도로써, 로드락 챔버(10)의 내부에는 수직으로(도 1의 ⓛ방향으로) 승강 가능한 스토리지 엘리베이터(storage elevator)(20)를 구비한다. 상기 스토리지 엘리베이터(20)에는 다수의 웨이퍼가 각각 일정 간격으로 이격된 상태에서 적층될 수 있는 다수의 슬롯을 갖는 카세트 인덱서(21)와, 상기 카세트 인덱서(21)의 하부에 설치되어 상기 카세트 인덱서(21)의 승강 안내 역할을 수행하는 승강 샤프트(27) 및 로드락 챔버(10)의 외부에서 상기 승강 샤프트(27)를 통하여 상기 카세트 인덱서(21)를 승강 시키기 위한 소정의 구동수단(28)을 포함한다.
상기 카세트 인덱서(21)에는 일반적으로 29개의 웨이퍼가 하부에서부터 1번 슬롯, 2번 슬롯........29번 슬롯의 순서로 순차적으로 적재되며, 최상단의 29번 슬롯에 위치한 웨이퍼(22)의 순서로 소정의 로봇 암(30)에 의해 공정 챔버(미도시 됨)로 이송되는 것이다. 즉, 상기 로봇 암(30)은 수평 운동(도 1의 ②방향)을 하도록 구성되어 있기 때문에 상기 29번 슬롯에 적재된 웨이퍼(22)가 이송된 후에는 상기 로봇 암(30)의 수평 위치까지 상기 카세트 인덱서(21)가 구동 수단에 의해 상승하도록 구성되는 것이다.
그러나 상술한 바와 같이 구성되는 스토리지 엘리베이터의 카세트 인덱서는 최상부가 개방된 상태이기 때문에 스토리지 엘리베이터의 승강 동작 도중 로드락 챔버의 저부에 위치한 펌핑부에 의해 발생하는 상승 기류에 의해 파티클이 상부로 이동하여 카세트 인덱서의 최상부에 적재된 웨이퍼의 상면에 도 3에 도시한 바와 같은 환형 맵 파티클이 적층되고 이로 인하여 웨이퍼가 오염되어 사용할 수 없으며, 결과적으로 수율 감소의 원인이 되는 문제점이 발생하였다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로써 본 발명의 목적은 웨이퍼의 수율 향상에 기여할 수 있도록 구성되는 로드락 챔버용 스토리지 엘리베이터의 상부 커버링 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 로드락 챔버에서 발생하는 파티클이 카세트 인덱서의 최상부에 적재되는 웨이퍼의 상면에 적층되어 오염되는 것을 미연에 방지하기 위한 로드락 챔버용 스토리지 엘리베이터의 상부 커버링 장치를 제공하는데 있다.
상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명은 다수의 웨이퍼가 일정 간격으로 적층되는 카세트 인덱서를 갖는 로드락 챔버의 스토리지 엘리베이터에 있어서, 상기 카세트 인덱서의 최상부에는 적어도 웨이퍼의 상부 면적을 모두 가릴 수 있는 크기의 플레이트형 블로킹 커버가 설치됨을 특징으로 한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 그리고, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 4는 본 발명에 따른 스토리지 엘리베이터의 구성도로써, 일반적인 로드락 챔버의 구성은 상술한 종래 기술분야에서 설명한 바와 같다. 따라서, 스토리지 엘리베이터의 카세트 인덱서의 부분만 도시하고 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 스토리지 엘리베이터는 다수의 웨이퍼가 일정 간격을 두고 적층될 수 있는 카세트 인덱서(21)를 구비한다. 따라서, 상기 카세트 인덱서(21)는 웨이퍼가 담지될 수 있는 공간을 가지고 있으며, 내측면에는 일정 간격으로 다수의 슬롯(23)이 길이 방향으로 형성된다. 따라서, 상기 슬롯(23)에 상기 웨이퍼(22)의 주연부가 안착됨으로써 카세트 인덱서(21) 내부에 순차적으로 적층이 수행되는 것이다.
그후, 상기 카세트 인덱서(21)의 최상부에 소정의 블로킹 플레이트(25)가 설치된다. 상기 블로킹 플레이트(25)는 적어도 상기 카세트 인덱서(21)에 적층되는 최상부 웨이퍼(22)의 면적보다 크도록 형성시킨다.
도 5는 본 발명에 따른 블로킹 커버(blocking cover)를 도시한 사시도로써, 본 발명에 따른 블로킹 커버(25)는 적어도 상기 최상부 웨이퍼(22)의 면적보다 큰 면적을 갖는 플레이트부(25-1)와, 상기 플레이트부(25-1)에서 적어도 두 부분 이상 연장 형성되는 결합부(25-2)를 포함한다. 상기 결합부(25-2)에는 상기 카세트 인덱서(21)와 스크류(26) 체결을 위한 스크류 관통구멍(25-3)이 형성된다. 본 도면상에서는 두 개의 결합부(25-2)와 각 결합부에 하나의 스크류 관통 구멍(25-3)을 형성시켰으나, 이에 국한되지는 않는다. 예컨대, 상기 결합부에 형성되는 스크류 관통 구멍(25-3)은 각 결합부(25-2)마다 두 개 이상 형성하도록 무방할 것이다. 따라서, 도 4에 도시한 바와 같이, 스토리지 엘리베이터의 카세트 인덱서 상부에 본 발명에 따른 블로킹 커버(25)를 올려놓고 소정의 스크류(26)에 의해 체결하게 된다. 또한, 상기 블로킹 커버(25)는 알루미늄 재질로 형성하는 것이 바람직하다.
분명히, 청구항들의 범위내에 있으면서 이러한 실시예들을 변형할 수 있는 많은 방식들이 있다. 다시 말하면, 이하 청구항들의 범위를 벗어남 없이 본 발명을 실시할 수 있는 많은 다른 방식들이 있을 수 있는 것이다.
본 발명에 따른 스토리지 엘리베이터는 웨이퍼가 적재되는 카세트 인덱서의 최상부에 소정의 블로킹 커버를 설치함으로써, 파티클 다운에 의한 최상부 웨이퍼의 오염을 미연에 방지하여 전체적인 웨이퍼의 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 다수의 웨이퍼가 일정 간격으로 적층되는 카세트 인덱서를 갖는 로드락 챔버의 스토리지 엘리베이터에 있어서,
    상기 카세트 인덱서의 최상부에는 적어도 웨이퍼의 상부 면적을 모두 가릴 수 있는 크기의 플레이트형 블로킹 커버가 설치됨을 특징으로 하는 로드락 챔버용 스토리지 엘리베이터의 상부 커버링 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 블로킹 커버는 적어도 웨이퍼의 면적보다 크도록 형성되는 원형의 플레이브부와 상기 플레이트부에서 적어도 두 곳이상 연장 형성되는 결합부를 포함하되, 상기 결합부에는 소정의 스크로 관통 구멍이 형성되어 상기 인덱서의 최상부에서 소정의 스크류에 의해 나사체결됨을 특징으로 하는 로드락 챔버용 스토리지 엘리베이터의 상부 커버링 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 블로킹 플레이트는 알루미늄 재질로 형성됨을 특징으로 하는 로드락 챔버용 스토리지 엘리베이터의 상부 커버링 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102820245A (zh) * 2012-08-16 2012-12-12 上海华力微电子有限公司 具有存片槽的薄膜工艺系统及其存取片方法

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