KR20050054214A - The printing device for the liquid crystal display device - Google Patents

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KR20050054214A
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김종담
백명기
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 인쇄패턴의 오정렬을 방지할 수 있는 액정표시장치용 인쇄장치에 관한 것으로, 인쇄물질이 선택적으로 삽입되어 인쇄패턴이 형성되는 클리체와; 상기 인쇄패턴이 형성될 기판이 놓이게 되는 스테이지와; 상기 클리체로부터 인쇄패턴을 전달받아 스테이지상의 기판으로 옮기기 위한 롤러와; 상기 롤러의 외주면에 부착되며, 내부에 다수개의 압전소자가 형성된 탄성부재와; 상기 기판에 형성된 얼라인 키 사이의 거리를 센싱하여 상기 기판의 크기변화를 측정하여 변위신호를 출력하는 변위측정부와; 상기 변위측정부로부터 출력된 변위신호를 입력받아 상기 탄성부재에 내장된 다수개의 압전소자에 전압을 인가하여 상기 탄성부재를 상기 기판의 크기 변화에 따라 X축, Y축 또는 X축과 Y축의 사이각 방향으로 수축 및 팽창시키기 위한 제어부를 포함하여 구성되는 것이다.The present invention relates to a printing apparatus for a liquid crystal display device capable of preventing misalignment of a printing pattern, comprising: a cliché in which a printing material is selectively inserted to form a printing pattern; A stage on which a substrate on which the printed pattern is to be formed is placed; A roller for receiving a printing pattern from the cliché and transferring the printed pattern to a substrate on a stage; An elastic member attached to an outer circumferential surface of the roller and having a plurality of piezoelectric elements formed therein; A displacement measuring unit which senses a distance between the alignment keys formed on the substrate and measures a change in the size of the substrate to output a displacement signal; In response to the displacement signal output from the displacement measuring unit, a voltage is applied to a plurality of piezoelectric elements embedded in the elastic member, and the elastic member is disposed between the X axis, the Y axis, or between the X axis and the Y axis according to the size change of the substrate. It is configured to include a control unit for contracting and expanding in each direction.

Description

액정표시장치용 인쇄장치{The printing device for the liquid crystal display device}The printing device for the liquid crystal display device}

본 발명은 액정표시장치의 제조장비에 관한 것으로, 특히 기판의 변형에 따른 인쇄패턴의 오정렬을 방지할 수 있는 액정표시장치용 인쇄장치에 대한 것이다.The present invention relates to a manufacturing apparatus for a liquid crystal display device, and more particularly, to a printing device for a liquid crystal display device capable of preventing misalignment of a printing pattern due to deformation of a substrate.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms, and in recent years, liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), electro luminescent displays (ELDs), and vacuum fluorescent displays (VFDs) have been developed. Various flat panel display devices have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as a substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for the use of mobile image display device because of the excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption, and mobile type such as monitor of notebook computer. In addition, it is being developed in various ways, such as a television for receiving and displaying broadcast signals, and a monitor of a computer.

이와 같이 액정표시장치가 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 장점과 배치되는 면이 많이 있다.As described above, although various technical advances have been made in order for the liquid crystal display device to serve as a screen display device in various fields, the task of improving the image quality as the screen display device has many advantages and disadvantages.

따라서, 액정표시장치가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.Therefore, in order to use a liquid crystal display device in various parts as a general screen display device, the key to development is how much high definition images such as high definition, high brightness, and large area can be realized while maintaining the characteristics of light weight, thinness, and low power consumption. It can be said.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정표시패널과 상기 액정표시패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정표시패널은 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 기판과, 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다. Such a liquid crystal display device may be classified into a liquid crystal display panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal display panel, wherein the liquid crystal display panel has a space and is bonded to the first and second substrates. And a liquid crystal layer injected between the first and second substrates.

여기서, 상기 제 1 기판(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소 영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있다. The first substrate (TFT array substrate) may include a plurality of gate lines arranged in one direction at a predetermined interval, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and the respective gates. A plurality of thin film transistors which are switched by signals of the gate line and a plurality of pixel electrodes formed in a matrix form in each pixel region defined by crossing a line and a data line, transmit a signal of the data line to each pixel electrode. Formed.

그리고, 제 2 기판(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙매트릭스층과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다.In addition, the second substrate (color filter substrate) includes a black matrix layer for blocking light in portions other than the pixel region, R, G, and B color filter layers for expressing color colors, and a common electrode for implementing an image. Is formed.

이와 같은 상기 제 1, 제 2 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 시일재(sealant)에 의해 합착되고 상기 두 기판 사이에 액정층이 형성된다.The first and second substrates have a predetermined space by spacers, are bonded by a sealant, and a liquid crystal layer is formed between the two substrates.

한편, 상기 제 1 기판과 제 2 기판의 마주보는 면에는 각각 배향막이 형성되고 상기 액정층을 배향시키기 위하여 러빙처리된다.On the other hand, an alignment layer is formed on the facing surfaces of the first substrate and the second substrate, respectively, and is rubbed to align the liquid crystal layer.

상기 액정표시장치를 제작하기 위해서는 여러 번의 박막 증착 공정(thin film deposition process)과, 포토리소그래피 공정(photolithography process)과, 식각 공정(etching process)을 거쳐야 한다. 특히, 박막트랜지스터와 칼라필터층 및 블랙매트랙스층을 제작하기 위해서는 포토레지스트를 증착하고 마스크를 이용한 노광 및 현상 공정에 의해 포토레지스트의 패턴을 형성한 후, 상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 이용하여 식각 공정을 거쳐야 하지만, 이러한 포토레지스트 패턴 형성 공정은 마스크를 정렬(Align) 시켜야 하는 등의 제조 공정이 복잡하고 대면적 표시소자에는 적합하지 않다는 문제점이 있었다. In order to manufacture the liquid crystal display, a plurality of thin film deposition processes, a photolithography process, and an etching process must be performed. In particular, in order to fabricate a thin film transistor, a color filter layer, and a black matrix layer, a photoresist is deposited, a photoresist pattern is formed by an exposure and development process using a mask, and then an etching process is performed using the photoresist pattern as a mask. However, such a photoresist pattern forming process has a problem in that a manufacturing process such as aligning a mask is complicated and not suitable for a large area display device.

따라서, 근래에는 노광 공정 없이도 패터닝된 포토레지스트 패턴을 간단하게 형성할 수 있는 인쇄법이 제시되고 있다. Therefore, in recent years, a printing method capable of easily forming a patterned photoresist pattern without an exposure process has been proposed.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 상기의 인쇄 방법에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the printing method will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 인쇄장치에 대한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a conventional printing apparatus.

종래의 인쇄장치는, 도 1에 도시한 바와 같이, 인쇄물질이 삽입되어 인쇄패턴(R)이 형성되는 클리체(cliche)(1)와, 상기 인쇄패턴(R)을 형성할 기판(3)이 놓이게 되는 스테이지(2)와, 상기 클리체(1)로부터 상기 인쇄패턴(R)을 전달받아 스테이지(2)상의 기판(3)으로 옮겨 상기 기판(3)상에 인쇄패턴(R)을 형성하기 위한 롤러(4)로 구성되어 있다.In the conventional printing apparatus, as illustrated in FIG. 1, a cliché 1 into which a printing material is inserted to form a printing pattern R, and a substrate 3 on which the printing pattern R is to be formed. And the print pattern R received from the stage 2 and the cliché 1 and transferred to the substrate 3 on the stage 2 to form the print pattern R on the substrate 3. It consists of the roller 4 for doing so.

여기서, 상기 클리체(1)에는 레지스트와 같은 인쇄물질이 삽입되는 다수개의 오목한 홈(H)이 형성되어 있고, 상기 기판(3)이 올려진 스테이지(2)는 상기 클리체(1)와 서로 연결되어 있으며, 상기 스테이지(2) 위에는 롤러(4)가 위치될 수 있다.Here, the clit body 1 is formed with a plurality of concave grooves H into which a printing material such as a resist is inserted, and the stage 2 on which the substrate 3 is placed is mutually different from the clit body 1. It is connected and a roller 4 can be positioned on the stage 2.

즉, 상기 롤러(4)는 상기 스테이지(2)와 클리체(1) 사이를 이동하면서 클리체(1)의 오목한 홈(H)에 채워지는 인쇄패턴(R)을 상기 기판(3) 위로 옮겨 붙이는 역할을 한다. That is, the roller 4 moves the printing pattern R filled in the concave groove H of the cliché 1 onto the substrate 3 while moving between the stage 2 and the cliché 1. It is attached.

이와 같이 구성된 종래의 인쇄장비를 이용한 인쇄패턴의 인쇄방법을 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the printing method of the printing pattern using a conventional printing device configured as described above in detail.

도 2a 및 도 2c는 종래의 인쇄장비를 이용한 인쇄 공정단면도이다.2A and 2C are cross-sectional views of a printing process using a conventional printing equipment.

종래의 인쇄공정은, 크게 인쇄물질을 인쇄패턴(R)에 대한 모양이 형성된 홈(H)에 삽입하는 단계와, 상기 인쇄패턴(R)을 롤러(4)에 묻히는 단계와, 상기 인쇄패턴(R)이 묻은 롤러(4)를 기판(3) 위에 굴림으로써 상기 기판(3) 위에 인쇄패턴(R)을 형성하는 단계로 이루어진다.The conventional printing process includes a step of inserting a printing material into a groove (H) in which a shape for the printing pattern (R) is largely formed, embedding the printing pattern (R) on the roller (4), and Rolling the roller (4) on the substrate (3) is formed on the substrate (3) to form a printing pattern (R) on the substrate (3).

구체적으로, 도 2a에 도시한 바와 같이, 다수개의 홈(H)이 형성된 클리체(1) 위에 인쇄물질을 도포한 후, 닥터 블레이드(doctor blade)(10)를 사용하여 상기 인쇄물질이 도포된 클리체(1) 위를 평평하게 밀어준다. In detail, as shown in FIG. 2A, after the printing material is coated on the cliché 1 in which the plurality of grooves H are formed, the printing material is coated using a doctor blade 10. Push flat on the cliché (1).

이때, 상기 클리체(1)의 움푹 패인 홈(H)에만 상기 인쇄물질이 삽입되며, 그 이외의 곳은 인쇄물질이 제거되어 인쇄패턴(R)이 형성된다.In this case, the printing material is inserted only into the recessed grooves H of the cliché 1, and the printing material is removed in other places, whereby the printing pattern R is formed.

이어서, 도 2b에 도시한 바와 같이, 롤러(4)를 클리체(1) 위에 굴리면서 상기 클리체(1)의 홈(H)에 형성되어 있던 인쇄패턴(R)을 상기 롤러(4)에 묻힌다. 상기 롤러(4)에 묻은 인쇄패턴(R)은 상기 클리체(1)에 형성된 인쇄패턴(R)을 그대로 따라간다. Subsequently, as shown in FIG. 2B, the printing pattern R formed in the groove H of the cliché 1 is buried in the roller 4 while rolling the roller 4 over the cliché 1. . The printing pattern R on the roller 4 follows the printing pattern R formed on the cliché 1 as it is.

이후, 도 2c에 도시한 바와 같이, 상기 인쇄패턴(R)이 형성된 롤러(4)를 기판(3)상에서 굴려 상기 인쇄패턴(R)을 기판(3) 위에 그대로 전사시킨다. Thereafter, as shown in FIG. 2C, the roller 4 on which the printing pattern R is formed is rolled on the substrate 3 to transfer the printing pattern R onto the substrate 3 as it is.

이렇게 하여 상기 기판(3)에는 상기 클리체(1)에 형성된 인쇄패턴(R)이 그대로 인쇄된다.In this way, the printed pattern R formed in the said cliché 1 is printed on the said board | substrate as it is.

그러나, 종래의 액정표시장치용 인쇄장치에는 다음과 같은 문제점이 있었다.However, the conventional printing apparatus for liquid crystal display devices has the following problems.

종래의 액정표시장치용 인쇄장치는 단지 클리체에 형성된 인쇄패턴을 그대로 기판상에 전사하기 때문에, 상기 기판이 열처리 공정등을 거쳐 변형되게 되면 상기 인쇄패턴은 상기 기판의 원하지 않는 위치에 형성되는 문제점이 있었다.In the conventional printing apparatus for liquid crystal display devices, since the printed pattern formed on the cliché is simply transferred onto the substrate as it is, the printed pattern is formed at an undesired position of the substrate when the substrate is deformed through a heat treatment process or the like. There was this.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 롤러의 외주면에 탄성부재를 형성하고, 상기 탄성부재에 인가되는 전압의 크기에 따라 늘어나거나 줄어드는 압전소자를 내장하여 상기 탄성부재를 기판의 변화정도에 따라 팽창시키거나 수축시킴으로써, 상기 탄성부재에 묻은 인쇄패턴의 위치를 상기 기판의 변화정도에 따라 변화시킬 수 있는 액정표시장치용 인쇄장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, forming an elastic member on the outer circumferential surface of the roller, built-in a piezoelectric element that increases or decreases according to the magnitude of the voltage applied to the elastic member to the elastic member of the substrate It is an object of the present invention to provide a printing apparatus for a liquid crystal display device which can change the position of a printing pattern on the elastic member according to the degree of change of the substrate by expanding or contracting according to the degree of change.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치용 인쇄장치는, 인쇄물질이 선택적으로 삽입되어 인쇄패턴이 형성되는 클리체와; 상기 인쇄패턴이 형성될 기판이 놓이게 되는 스테이지와; 상기 클리체로부터 인쇄패턴을 전달받아 스테이지상의 기판으로 옮기기 위한 롤러와; 상기 롤러의 외주면에 부착되며, 내부에 다수개의 압전소자가 형성된 탄성부재와; 상기 기판에 형성된 얼라인 키 사이의 거리를 센싱하여 상기 기판의 크기변화를 측정하여 변위신호를 출력하는 변위측정부와; 상기 변위측정부로부터 출력된 변위신호를 입력받아 상기 탄성부재에 내장된 다수개의 압전소자에 전압을 인가하여 상기 탄성부재를 상기 기판의 크기 변화에 따라 X축, Y축 또는 X축과 Y축의 사이각 방향으로 수축 및 팽창시키기 위한 제어부를 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.The printing apparatus for a liquid crystal display device according to the present invention for achieving the above object comprises a cliché and the printing material is selectively inserted to form a printing pattern; A stage on which a substrate on which the printed pattern is to be formed is placed; A roller for receiving a printing pattern from the cliché and transferring the printed pattern to a substrate on a stage; An elastic member attached to an outer circumferential surface of the roller and having a plurality of piezoelectric elements formed therein; A displacement measuring unit which senses a distance between the alignment keys formed on the substrate and measures a change in the size of the substrate to output a displacement signal; In response to the displacement signal output from the displacement measuring unit, a voltage is applied to a plurality of piezoelectric elements embedded in the elastic member, and the elastic member is disposed between the X axis, the Y axis, or between the X axis and the Y axis according to the size change of the substrate. It characterized in that it comprises a control unit for contracting and expanding in each direction.

여기서, 상기 탄성부재는 실리콘 고무 또는 우레탄과 같은 탄성물질을 사용하는 것을 특징으로 한다.Here, the elastic member is characterized by using an elastic material such as silicone rubber or urethane.

상기 탄성부재는 상기 압전소자의 크기변화를 감지 및 측정하여 상기 제어부로 피드백 신호를 출력하는 변위센서를 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 한다.The elastic member may further include a displacement sensor that detects and measures the size change of the piezoelectric element and outputs a feedback signal to the controller.

상기 변위측정부는 액정표시장치의 합착공정에 사용되는 얼라인 키 확인용 카메라를 사용하는 것을 특징으로 한다.The displacement measuring unit may use an alignment key checking camera used in the bonding process of the liquid crystal display.

상기 압전소자는 상기 탄성부재의 내부에서 X축 및 Y축 방향으로 서로 수직하게 다수개 형성되는 것을 특징으로 한다.The piezoelectric element is characterized in that formed in the plurality of perpendicular to each other in the X-axis and Y-axis direction inside the elastic member.

상기 탄성부재는 상기 롤러의 외주면을 완전히 감싸지 않도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The elastic member is characterized in that it is formed so as not to completely surround the outer peripheral surface of the roller.

상기 인쇄 물질은 레지스트를 사용하는 것을 특징으로 한다.The printing material is characterized by using a resist.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장용 인쇄장치를 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a liquid crystal display printing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 인쇄장치의 개략적인 구성도이고, 도 4는 도 3의 탄성부재에 대한 개략적인 구성도이며, 도 5는 압전소자의 크기변화에 의한 탄성부재의 변화 및 인쇄패턴의 변화를 설명하기 위한 롤러의 단면도이다.3 is a schematic configuration diagram of a printing apparatus for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 4 is a schematic configuration diagram of the elastic member of FIG. 3, and FIG. 5 is elastic due to a change in size of a piezoelectric element. It is sectional drawing of the roller for demonstrating the change of a member and the change of a printing pattern.

본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 인쇄장치는, 도 3에 도시된 바와 같이, 인쇄물질이 삽입되어 인쇄패턴(R)이 형성되는 클리체(101)와; 상기 인쇄패턴(R)을 형성할 기판(300)이 놓이게 되는 스테이지(102)와; 상기 클리체(101)로부터 인쇄패턴(R)을 전달받아 상기 스테이지(102)상의 기판(300)으로 옮기기 위한 롤러(400)와; 상기 롤러(400)의 외주면에 부착되며 내부에 다수개의 압전소자(400b)가 내장되는 탄성부재(400a)와; 상기 기판(300)에 형성된 얼라인(Align) 키 사이의 거리를 센싱하여 상기 기판(300)의 크기변화를 측정하여 변위신호를 출력하는 변위측정부(202)와; 상기 변위측정부(202)로부터 출력된 변위신호를 입력받아 상기 탄성부재(400a)에 내장된 다수개의 압전소자(400b)에 전압을 인가하여 상기 압전소자(400b)가 늘어나거나 줄어들도록하여 상기 탄성부재(400a)를 상기 기판(300)의 크기 변화에 따라 X축, Y축 또는 X축과 Y축의 사이각 방향으로 수축 및 팽창시키기 위한 제어부(201)로 구성되어 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, a printing apparatus for a liquid crystal display device includes: a cliché 101 into which a printing material is inserted to form a printing pattern R as shown in FIG. 3; A stage 102 on which a substrate 300 on which the printed pattern R is to be formed is placed; A roller 400 for receiving a printing pattern R from the cliché 101 and transferring the printed pattern R to the substrate 300 on the stage 102; An elastic member 400a attached to an outer circumferential surface of the roller 400 and having a plurality of piezoelectric elements 400b embedded therein; A displacement measuring unit 202 which senses a distance between the alignment keys formed on the substrate 300 and measures a change in size of the substrate 300 to output a displacement signal; Receiving the displacement signal output from the displacement measuring unit 202 to apply a voltage to a plurality of piezoelectric elements (400b) built in the elastic member (400a) to increase or decrease the piezoelectric element (400b) to the elastic The member 400a is configured as a control unit 201 for contracting and expanding the X-axis, the Y-axis, or the direction between the X-axis and the Y-axis in accordance with the size change of the substrate 300.

한편, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 스테이지(102)의 하부에는 상기 스테이지(102)를 상기 X축과 Y축의 사이각 방향으로 움직이기 위한 구동축 및 상기 구동축을 구동하기 위한 구동모터가 더 포함되어 있다.Although not shown in the drawings, a lower portion of the stage 102 further includes a driving shaft for moving the stage 102 in the direction between the X and Y axes, and a driving motor for driving the driving shaft. .

여기서, 상기 클리체(101)에는 다수개의 홈(H)이 형성되어 있으며 상기 홈(H)에는 레지스트와 같은 인쇄물질이 넣어지게 된다. Here, a plurality of grooves H are formed in the cliché 101, and a printing material such as a resist is inserted into the grooves H.

그리고, 상기 스테이지(102)는 상기 클리체(101)에 연결되어 있어서, 상기 인쇄패턴(R)이 묻은 롤러(400)가 상기 클레체(101)를 굴러 지나가면서 상기 인쇄패턴(R)을 바로 상기 기판(300)상에 연속적으로 인쇄할 수 있도록 한다.In addition, the stage 102 is connected to the cliché 101, so that the roller 400 on which the print pattern R is buried rolls through the clece 101 and immediately passes the print pattern R. It is possible to continuously print on the substrate 300.

즉, 상기 롤러(400)는 상기 스테이지(102)와 클리체(101) 사이를 이동하면서 클리체(101)의 오목한 홈(H)에 채워지는 인쇄패턴(R)을 상기 기판(102)상에 옮겨 붙이는 역할을 한다. That is, the roller 400 moves between the stage 102 and the cliché 101 while printing patterns R filled in the concave grooves H of the cliché 101 on the substrate 102. It acts as a paste.

그리고, 상기 롤러(400)는 원기둥의 형상을 가지며, 상기 롤러(400)의 외주면의 둘레를 따라 탄성부재(400a)가 형성되는데, 상기 인쇄패턴(R)은 상기 탄성부재(400a)의 표면에 붙게 된다.In addition, the roller 400 has a cylindrical shape, and an elastic member 400a is formed along the circumference of the outer circumferential surface of the roller 400, and the printing pattern R is formed on the surface of the elastic member 400a. Stuck.

여기서, 상기 탄성부재(400a)는 상기 롤러(400)의 외주면의 둘레를 완전하게 둘러싸지 않고 약간의 여유공간(400c)을 두고 둘러싸도록 형성된다.Here, the elastic member 400a is formed so as not to completely surround the circumference of the outer circumferential surface of the roller 400 with some clearance 400c.

이것은, 상기 탄성부재(400a)가 상기 롤러(400)의 둘레를 따라 팽창할 경우 상기 탄성부재(400a)의 끝단이 서로의 팽창방향을 방해할 수 있기 때문이다.This is because when the elastic member 400a expands along the circumference of the roller 400, the ends of the elastic member 400a may interfere with each other in the expansion direction.

한편, 상기 롤러(400)는 상기 클레체(101)의 길이에 비해 훨씬 큰 지름을 가지므로 상기 롤러(400)가 상기 클리체(101)의 전체면을 굴러가는 동안에도 한 바퀴의 회전을 다 하지 못하므로, 상기 여유공간(400c)은 상기 클리체(101)의 인쇄패턴(R)과 접촉하지 않는다.On the other hand, since the roller 400 has a much larger diameter than the length of the clece 101, the roller 400 makes one rotation while the roller 400 rolls over the entire surface of the clece 101. As a result, the free space 400c does not contact the print pattern R of the cliché 101.

한편, 상기 기판(300)은 표시 영역과 비표시 영역으로 구분되며, 상기 표시 영역에는 서로 수직교차하여 배열되는 다수개의 게이트 라인 및 다수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인 및 데이터 라인이 교차되는 부분에 형성되는 박막트랜지스터 등이 구비될 영역이고, 상기 비표시 영역은 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 구동신호를 인가하기 위한 패드가 형성될 영역이다. 그리고, 상기 표시 영역(22)은 실제 화상이 표시되는 액티브 영역과, 상기 액티브 영역의 외곽부 둘레를 둘러싸는 액정마진 영역으로 구분된다.The substrate 300 is divided into a display area and a non-display area, and the display area includes a plurality of gate lines and a plurality of data lines arranged perpendicularly to each other, and a portion at which the gate lines and the data lines cross each other. A thin film transistor and the like are formed in the non-display area, and the non-display area is a region in which a pad for applying a driving signal to the gate line and the data line is formed. The display area 22 is divided into an active area in which an actual image is displayed, and a liquid crystal margin area surrounding a periphery of the active area.

이와 같은 기판(300)의 상기 비표시 영역의 가장자리에는 얼라인 키가 형성되어 있는데, 상기 변위측정부(202)는 상기 얼라인 키의 위치를 확인하여 상기 기판(300)의 크기변화를 감지 및 측정하여 변위신호를 출력하게 된다.An alignment key is formed at an edge of the non-display area of the substrate 300, and the displacement measuring unit 202 detects a change in the size of the substrate 300 by checking the position of the alignment key. The measurement outputs the displacement signal.

여기서, 상기 얼라인 키는 상기 기판(300)을 또 다른 대향 기판(도시되지 않음)과 정확하게 합착시키기 위해 형성되는 것이다.Here, the alignment key is formed to accurately bond the substrate 300 to another opposite substrate (not shown).

여기서, 상기 얼라인 키는 상기 기판(300)의 비표시 영역의 네 개의 모서리에 형성되는데, 상기 기판(300)이 증착공정시 가해지는 열처리에 의해서 수축 또는 팽창하게 되면 상기 기판(300)의 비표시 영역에 형성된 얼라인 키간의 거리도 서로 가까워지거나 서로 멀어지게 된다.Here, the align key is formed at four corners of the non-display area of the substrate 300. When the substrate 300 is contracted or expanded by heat treatment applied during the deposition process, the ratio of the substrate 300 is increased. The distances between the alignment keys formed in the display area also become close to each other or far from each other.

그러므로, 상기 변위측정부(202)는 상기 얼라인 키간의 거리를 측정함으로써 상기 기판(300)이 X축, Y축 또는 상기 X축 및 Y축의 사이각 방향으로 얼마만큼 변화하였는지를 측정하게 된다.Therefore, the displacement measuring unit 202 measures how much the substrate 300 has changed in the X-axis, the Y-axis, or between the X-axis and the Y-axis by measuring the distance between the alignment keys.

여기서, 상기 변위측정부(202)는 종래의 액정표시장치의 합착공정시 얼라인 키의 위치를 확인하기 위한 카메라를 사용하여 대신할 수 있다.Here, the displacement measuring unit 202 may be replaced by using a camera for checking the position of the alignment key in the conventional bonding process of the liquid crystal display.

그리고, 상기 제어부(201)는 상기 기판(300)의 X축, Y축 또는 X축과 Y축의 사이각 방향으로의 변화량과 상기 변화량에 대하여 상기 압전소자(400b)에 가해질 전압의 크기에 대한 정보가 담긴 룩업테이블을 구비하고 있어서, 상기 변위측정부(202)로부터 출력된 변위신호를 입력받아 상기 룩업테이블로부터 상기 기판(300)의 X축, Y축 또는 X축과 Y축의 사이각 방향에 대한 크기변화량을 읽어들여서 이에 해당하는 전압을 출력한다.In addition, the control unit 201 is information on the magnitude of the voltage to be applied to the piezoelectric element 400b with respect to the amount of change in the X-axis, the Y-axis or the direction between the X-axis and the Y-axis of the substrate 300. And a lookup table containing a, and receiving a displacement signal output from the displacement measuring unit 202 to the X-axis, the Y-axis or the X-axis and the Y-axis of the substrate 300 from the look-up table. Read the magnitude change and output the corresponding voltage.

여기서, 상기 제어부(201)에서 출력되는 전압은 상기 롤러(400)의 중심부를 통해 상기 각 압전소자(400b)에 연결되는 배선에 의해서 전달될 수 있다.Here, the voltage output from the control unit 201 may be transmitted by a wire connected to each of the piezoelectric elements 400b through the center of the roller 400.

또한, 상기 탄성부재(400a)의 내부에는 다수개의 압전소자(400b)가 X축 방향 및 Y축 방향으로 배열되어 있으며, 상기 압전소자(400b)는 상기 제어부(201)에서 출력된 전압에 따라 그의 크기가 늘어나거나 줄어든다.In addition, a plurality of piezoelectric elements 400b are arranged in the X-axis direction and the Y-axis direction in the elastic member 400a, and the piezoelectric elements 400b may be formed according to the voltage output from the controller 201. Increases or decreases in size

구체적으로, 상기 X축 방향으로 배열된 압전소자(400b)는 X축 방향으로 늘어나거나 줄어들게 되고, 상기 Y축 방향으로 배열된 압전소자(400b)는 Y축 방향으로 늘어나거나 줄어들게되어, 상기와 같은 압전소자(400b)의 크기 변화에 의해 상기 압전소자(400b)가 내장된 탄성부재(400a) 또한 그의 크기가 X축, Y축 또는 X축과 Y축의 사이각 방향으로 수축되거나 팽창되게 된다.Specifically, the piezoelectric elements 400b arranged in the X-axis direction are stretched or reduced in the X-axis direction, and the piezoelectric elements 400b arranged in the Y-axis direction are stretched or reduced in the Y-axis direction, as described above. Due to the size change of the piezoelectric element 400b, the elastic member 400a in which the piezoelectric element 400b is embedded also has its size contracted or expanded in the X-axis, Y-axis, or each direction between the X-axis and the Y-axis.

여기서, 상기 각 압전소자(400b)의 일측에는 상기 압전소자(400b)의 크기 변화를 감지 및 측정하여 상기 제어부(201)로 피드백 신호를 출력하는 변위센서(500)가 형성되어 있다.Here, a displacement sensor 500 is formed at one side of each piezoelectric element 400b to detect and measure a change in the size of the piezoelectric element 400b and output a feedback signal to the controller 201.

상기 변위센서(500)는 상기 제어부(201)에서 출력된 전압에 의해 한번에 원하는 크기로 변화되기가 어려운 압전소자(400b)의 특성을 보완하기 위한 장치이다.The displacement sensor 500 is a device for compensating for the characteristics of the piezoelectric element 400b which is difficult to change to a desired size at a time by the voltage output from the controller 201.

즉, 상기 변위센서(500)는 상기 제어부(201)에서 출력된 전압에 의해서 상기 압전소자(400b)의 크기가 얼마나 변화하였는지를 감지 및 측정하여 상기 제어부(201)로 피드백 신호를 보내게 되고, 상기 제어부(201)는 상기 피드백 신호를 입력받아 상기 압전소자(400b)를 원하는 크기로 변화시키기 위해서 상기 압전소자(400b)에 얼마만큼의 전압을 가해야 하는지를 계산하여 다시 상기 압전소자(400b)에 전압을 인가하게 된다.That is, the displacement sensor 500 detects and measures how much the size of the piezoelectric element 400b is changed by the voltage output from the controller 201 and sends a feedback signal to the controller 201. The control unit 201 receives the feedback signal and calculates how much voltage should be applied to the piezoelectric element 400b in order to change the piezoelectric element 400b to a desired size. Will be applied.

여기서, 상기 각 변위센서(500)에서 출력되는 피드백 신호는 상기 롤러(400)의 중심부를 통해 상기 제어부(201)에 연결되는 배선에 의해서 전달될 수 있다.Here, the feedback signal output from each displacement sensor 500 may be transmitted by a wire connected to the control unit 201 through the center of the roller 400.

이와 같이 상기 탄성부재(400a)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 내부에 형성된 압전소자(400b)의 크기 변화에 동기되어 X축, Y축 또는 X축과 Y축의 사이각 방향으로 팽창하거나 수축되므로, 상기 탄성부재(400a)에 형성된 인쇄패턴(R)은 X축, Y축 또는 X축과 Y축의 사이각 방향으로 이동될 수 있다. As described above, the elastic member 400a expands or contracts in the X-axis, Y-axis, or each direction between the X-axis and the Y-axis in synchronization with the size change of the piezoelectric element 400b formed therein. Therefore, the printing pattern R formed on the elastic member 400a may be moved in an X-axis, a Y-axis, or an angle between the X-axis and the Y-axis.

여기서, 상기 탄성부재(400a)는 상기 압전소자(400b)의 크기 변화에 쉽게 반응하여 변화될 수 있도록 실리콘 고무 또는 우레탄과 같은 탄성물질을 사용하는 것이 바람직하다. Here, it is preferable that the elastic member 400a uses an elastic material such as silicone rubber or urethane so that the elastic member 400a can be easily changed in response to the size change of the piezoelectric element 400b.

한편, 상기 탄성부재(400a)는 상기 압전소자(400b)를 중심으로 하였을 때, 상기 롤러(400)의 외주면에 단단하게 부착된 하부 탄성부재(400a)와, 상기 인쇄패턴(R)이 묻혀지는 상부 탄성부재(400a)로 구분할 수 있는데, 상기 탄성부재(400a)의 내부에 형성된 압전소자(400b)의 크기가 변화하였을 때, 상기 하부 탄성부재(400a)는 상기 롤러(400)의 표면에 단단하게 고정되어 있으므로 변화량이 적은 반면, 상기 상부 단성부재(400a)는 상기 압전소자(400b)에만 고정되게 되므로 상기 압전소자(400b)의 크기 변화에 따라 쉽게 변화된다.On the other hand, when the elastic member 400a is centered on the piezoelectric element 400b, the lower elastic member 400a firmly attached to the outer circumferential surface of the roller 400 and the printing pattern R are buried. The upper elastic member 400a may be classified. When the size of the piezoelectric element 400b formed inside the elastic member 400a is changed, the lower elastic member 400a is firmly formed on the surface of the roller 400. Since the change amount is small, the upper single member 400a is fixed only to the piezoelectric element 400b, and thus is easily changed according to the size change of the piezoelectric element 400b.

따라서, 상기 탄성부재(400a)는 상기 롤러(400)에 단단하게 부착되어야 하는 요건과 또한 상기 압전소자(400b)의 크기변화에 따라 쉽게 변화되어야 하는 요건을 동시에 만족한다.Therefore, the elastic member 400a simultaneously satisfies the requirement to be firmly attached to the roller 400 and also to be easily changed according to the size change of the piezoelectric element 400b.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 액정표시장치용 인쇄장치의 동작을 상세히 설명하면 다음과 같다.The operation of the printing apparatus for a liquid crystal display according to the present invention configured as described above will be described in detail as follows.

도 6a 및 도 6f는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 인쇄장치를 이용한 인쇄공정단면도이다.6A and 6F are cross-sectional views of a printing process using the printing apparatus for a liquid crystal display according to the embodiment of the present invention.

먼저, 반도체 물질이 전면에 증착된 기판(300a)을 상기 스테이지(102)에 안착 및 고정시킨다.First, the substrate 300a having the semiconductor material deposited on the front surface is seated and fixed to the stage 102.

이후, 도 6a에 도시한 바와 같이, 반도체층에 대한 패턴이 형성된 제 1 클리체(101a)의 표면에 인쇄물질을 도포한 후, 닥터 블레이드(doctor blade)(800)를 사용하여 상기 인쇄물질이 도포된 제 1 클리체(101a) 위를 평평하게 밀어준다.Thereafter, as shown in FIG. 6A, after the printing material is applied to the surface of the first cliché 101a on which the pattern for the semiconductor layer is formed, the printing material is removed using a doctor blade 800. The applied first cleece 101a is pushed flat.

이때, 상기 제 1 클리체(101a)의 움푹 패인 홈(H)에만 상기 인쇄물질이 삽입되게 되고, 나머지 부분에 형성된 인쇄물질은 제거되어, 상기 제 1 클리체(101)에는 반도체층에 대한 인쇄패턴(R)이 형성된다.In this case, the printing material is inserted only into the recessed grooves H of the first cliché 101a, and the printing material formed in the remaining part is removed, and the first cliché 101 is printed on the semiconductor layer. The pattern R is formed.

이어서, 도 6b에 도시한 바와 같이, 상기 롤러(400)를 상기 제 1 클리체(101a) 위에 굴리면서 상기 제 1 클리체(101a)의 홈(H)에 형성되어 있던 제 1 인쇄패턴(R1)을 롤러(400)의 탄성부재(400a)에 묻힌다. Subsequently, as shown in FIG. 6B, the roller 400 is rolled on the first body 101a while the first printing pattern R1 is formed in the groove H of the first body 101a. Is buried in the elastic member 400a of the roller 400.

그러면, 상기 탄성부재(400a)의 표면에는 상기 제 1 클리체(101a)에 형성된 제 1 인쇄패턴(R1)이 그대로 묻혀진다.Then, the first printed pattern R1 formed on the first cleavage 101a is directly buried on the surface of the elastic member 400a.

이후, 상기 제 1 인쇄패턴(R1)이 형성된 롤러(400)를 기판(300a)위로 가져가 굴려가게 됨에 따라, 상기 롤러(400)의 탄성부재(400a)에 묻어 있던 제 1 인쇄패턴(R1)이 상기 기판(300a)의 반도체 물질(500)위에 형성되어, 상기 기판(300a)에는, 도 6c에 도시된 바와 같이, 제 1 인쇄패턴(R1)이 형성된다.Subsequently, as the roller 400 having the first printed pattern R1 formed thereon is rolled onto the substrate 300a, the first printed pattern R1 buried in the elastic member 400a of the roller 400 is rolled. The first printed pattern R1 is formed on the semiconductor material 500 of the substrate 300a and is formed on the substrate 300a as shown in FIG. 6C.

이와 동시에, 변위측정부(202)는 상기 기판(300a)의 가장자리에 형성된 얼라인 키의 위치를 확인하고 상기 기판(300a)의 X축 방향의 얼라인 키간의 초기 거리 및 기판(300a)의 Y축 방향의 얼라인 키간의 초기 거리를 측정하여 상기 X축, Y축 또는 X축과 Y축의 사이각 방향에 따른 얼라인 키간의 초기거리에 대한 정보를 임시 저장한다.At the same time, the displacement measuring unit 202 checks the position of the alignment key formed at the edge of the substrate 300a, and the initial distance between the alignment keys in the X-axis direction of the substrate 300a and the Y of the substrate 300a. The initial distance between the alignment keys in the axial direction is measured to temporarily store information about the initial distance between the alignment keys in the X, Y or Y directions.

이어서, 도 6d에 도시된 바와 같이, 상기 기판(300a)을 상기 스테이지(102)로부터 탈착시키고, 상기 제 1 인쇄패턴(R1)을 마스크로 하여 상기 반도체 물질(500)을 패터닝하여 반도체층(500a)을 형성한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 6D, the substrate 300a is detached from the stage 102, and the semiconductor material 500 is patterned by using the first printed pattern R1 as a mask. ).

이후, 상기 기판(300a)을 챔버로 옮기고, 상기 반도체층(500a)을 포함한 기판(300a)의 전면에 실리콘질화막(SiNx), 실리콘산화막(SiOx) 등과 같은 물질을 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)공정으로 증착하여 게이트 절연막(600)을 형성하고, 다시 상기 게이트 절연막(600)의 전면에 게이트 물질(700)을 차례로 증착한다.Subsequently, the substrate 300a is transferred to a chamber, and a material such as a silicon enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is deposited on the entire surface of the substrate 300a including the semiconductor layer 500a. In the process, the gate insulating film 600 is formed by depositing, and the gate material 700 is sequentially deposited on the entire surface of the gate insulating film 600.

이후, 상기 게이트 절연막(600) 및 게이트 물질(700)이 전면에 증착된 기판(300a)에 게이트 전극 및 스토리지 전극을 형성하기 위해 상기 기판(300a)을 다시 상기 인쇄장치의 스테이지(102)에 안착 및 고정시킨다.Subsequently, the substrate 300a is mounted on the stage 102 of the printing apparatus again to form the gate electrode and the storage electrode on the substrate 300a on which the gate insulating film 600 and the gate material 700 are deposited. And fix.

다음으로, 도 6e에 도시된 바와 같이, 게이트 전극 및 스토리지 전극에 대한 패턴이 형성되어 있는 제 2 클리체(101b)를 준비하고, 상술한 바와 같이, 상기 홈(H)에만 선택적으로 인쇄물질을 삽입하여 상기 게이트 전극 및 스토리지 전극에 대한 제 2 인쇄패턴(R2)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 6E, a second clincher 101b having a pattern for the gate electrode and the storage electrode is prepared, and as described above, a printing material is selectively added to only the groove H. By inserting the second printed pattern (R2) for the gate electrode and the storage electrode is formed.

그리고, 상기 롤러(400)가 상기 제 2 클리체(101b)에 굴러가도록 하여 상기 롤러(400)의 탄성부재(400a)의 표면에 제 2 인쇄패턴(R2)이 형성되도록 한다.In addition, the roller 400 rolls on the second cleaving body 101b so that the second printing pattern R2 is formed on the surface of the elastic member 400a of the roller 400.

이때, 상기 제 2 인쇄패턴(R2)이 형성된 롤러(400)의 움직임을 중단시키고, 상기 변위측정부(202)를 사용하여 상기 스테이지(102)에 안착 및 고정된 기판(300a)의 얼라인 키를 측정하여 현재 측정된 얼라인 키간의 거리와 이전에 측정되어 저장되었던 초기 얼라인 키간의 거리를 비교한다.At this time, the movement of the roller 400 on which the second printed pattern R2 is formed is stopped, and the alignment key of the substrate 300a seated and fixed to the stage 102 by using the displacement measuring unit 202. Measure and compare the distance between the currently measured alignment key and the initial alignment key previously measured and stored.

물론, 상기 기판(300a)의 X축 방향의 얼라인 키간의 거리 및 Y축 방향의 얼라인 키간의 거리를 모두 비교하게 된다.Of course, the distance between the alignment keys in the X-axis direction and the alignment keys in the Y-axis direction of the substrate 300a are compared.

그 결과, 현재 측정된 얼라인 키간의 거리와 이전에 측정된 얼라인 키간의 거리에 차이가 발생하면, 상기 변위측정부(202)는 이전 얼라인 키간의 거리와 현재 얼라인 키간의 거리의 차에 해당하는 정보가 담긴 변위신호를 출력한다.As a result, when there is a difference in the distance between the currently measured alignment key and the previously measured alignment key, the displacement measuring unit 202 determines the difference between the distance between the previous alignment key and the current alignment key. Outputs a displacement signal containing information corresponding to

여기서, 상기 기판(300a)이 Y축 방향으로만 팽창하여 상기 Y축 방향의 얼라인 키간의 거리만 증가되었다고 가정하기로 하자.Here, it is assumed that the substrate 300a expands only in the Y-axis direction so that only the distance between the alignment keys in the Y-axis direction is increased.

그러면, 상기 제어부(201)는 상기 변위신호를 입력받아 룩업테이블(도시되지 않음)에 저장된 상기 거리차에 해당하는 전압을 읽어들이고, 상기 전압을 상기 탄성부재(400a)의 내부에 형성된 Y축 방향으로 배열된 압전소자(400b)에 인가한다.Then, the control unit 201 receives the displacement signal and reads a voltage corresponding to the distance difference stored in a look-up table (not shown), and sets the voltage in the Y-axis direction formed in the elastic member 400a. It is applied to the piezoelectric elements 400b arranged in this manner.

여기서, 상기 제어부(201)는 상기 현재 얼라인 키간의 거리가 이전 얼라인 키간의 거리보다 늘어났을 경우에는 정극성(+)의 전압을 출력하며, 상기 현재 얼라인 키간의 거리가 이전 얼라인 키간의 거리보다 줄어들었을 경우에는 부극성(-)의 전압을 출력하게 된다.Here, the controller 201 outputs a voltage of positive polarity (+) when the distance between the current alignment keys is greater than the distance between the previous alignment keys, and the distance between the current alignment keys is the previous alignment key. If the distance is smaller than the distance between the negative (-) voltage is output.

여기서, 상기 기판(300a)의 현재 얼라인 키간의 거리가 이전 얼라인 키간의 거리보다 증가하였고, 또한, Y축 방향의 얼라인 키간의 거리만이 증가되었다고 가정하였으므로, 상기 제어부(201)에서 출력되는 전압은 정극성의 전압이며, 상기 정극성의 전압은 상기 압전소자(400b) 중 Y축 방향으로 배열된 압전소자(400b)에만 인가된다.Here, since it is assumed that the distance between the current alignment keys of the substrate 300a is greater than the distance between the previous alignment keys, and only the distance between the alignment keys in the Y-axis direction is increased, the control unit 201 outputs the distance. The voltage being a positive voltage is applied to the piezoelectric element 400b arranged in the Y-axis direction among the piezoelectric elements 400b.

그러면, 상기 Y축 방향의 압전소자(400b)는 상기 인가된 정극성의 전압에 따라 Y축 방향으로 늘어나게 되며, 이에 따라 상기 Y축 방향의 압전소자(400b)를 내장하고 있는 탄성부재(400a)도 Y축 방향으로 팽창하게 된다.Then, the piezoelectric element 400b in the Y-axis direction extends in the Y-axis direction according to the applied positive voltage, and thus the elastic member 400a containing the piezoelectric element 400b in the Y-axis direction is also included. It expands in the Y-axis direction.

여기서, 상기 압전소자(400b)의 일측에는 변위센서(500)가 형성되어 있는데, 상술한 바와 같아. 상기 변위센서(500)는 상기 제어부(201)에서 출력된 전압에 의해 한번에 원하는 크기로 변화되기가 어려운 압전소자(400b)의 특성을 보완하기 위한 장치이다.Here, the displacement sensor 500 is formed on one side of the piezoelectric element 400b, as described above. The displacement sensor 500 is a device for compensating for the characteristics of the piezoelectric element 400b which is difficult to change to a desired size at a time by the voltage output from the controller 201.

즉, 상기 변위센서(500)는 상기 제어부(201)에서 출력된 전압에 의해서 상기 압전소자(400b)의 크기가 얼마나 변화하였는지를 감지 및 측정하여 상기 제어부(201)로 피드백 신호를 보내게 되고, 상기 제어부(201)는 상기 피드백 신호를 입력받아 상기 압전소자(400b)를 원하는 크기로 변화시키기 위해서 상기 압전소자(400b)에 얼마만큼의 전압을 가해야 하는지를 계산하여 다시 상기 압전소자(400b)에 전압을 인가하여 상기 압전소자(400b)가 원하는 크기만큼 변화되도록 한다.That is, the displacement sensor 500 detects and measures how much the size of the piezoelectric element 400b is changed by the voltage output from the controller 201 and sends a feedback signal to the controller 201. The control unit 201 receives the feedback signal and calculates how much voltage should be applied to the piezoelectric element 400b in order to change the piezoelectric element 400b to a desired size. Is applied to change the piezoelectric element 400b by a desired size.

따라서, 상기 Y축 방향으로 배열된 압전소자(400b)의 크기 변화에 의해서 상기 압전소자(400b)를 내장하고 있는 탄성부재(400a)도 Y축 방향으로 팽창하게 되며, 상기 탄성부재(400a)의 표면에 형성된 제 2 인쇄패턴(R2)간의 거리도 Y축 방향으로 늘어나게 된다.Therefore, the elastic member 400a incorporating the piezoelectric element 400b also expands in the Y-axis direction due to the size change of the piezoelectric elements 400b arranged in the Y-axis direction. The distance between the second print patterns R2 formed on the surface also increases in the Y-axis direction.

따라서, 도 6f의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 인쇄패턴(R)은 상기 팽창된 기판(300a)의 정확한 위치에 형성되게 된다.Thus, as shown in (b) of FIG. 6F, the printing pattern R is formed at the correct position of the expanded substrate 300a.

여기서, 도 6f의 (a)는 팽창되지 않은 정상상태의 기판(300b)을 나타낸 것으로, 상기 기판(300b)에는 팽창되지 않은 정상상태의 탄성부재(400a)에 형성된 인쇄패턴(R`)이 인쇄된 것이고, 도 6f의 (b)는 Y축 방향으로 팽창한 기판(300a)을 나타낸 것으로, 상기 기판(300a)에는 Y축 방향으로 팽창한 탄성부재(400a)에 형성된 제 2 인쇄패턴(R2)이 인쇄된 것이다.6F illustrates a non-expanded steady state substrate 300b, and the printed pattern R` formed on the unexpanded steady state elastic member 400a is printed on the substrate 300b. 6F (b) shows a substrate 300a expanded in the Y-axis direction, and the second printed pattern R2 formed on the elastic member 400a expanded in the Y-axis direction on the substrate 300a. Is printed.

상기 도 6f의 (b)에 형성된 점선으로 표시된 인쇄패턴(R`)를 보면 알 수 있듯이, 상기 Y축으로 팽창된 기판(300a)에 정상상태의 탄성부재(400a)에 형성된 인쇄패턴(R`)이 인쇄된다면, 상기 인쇄패턴(R`)은 반도체층(500a)을 완전히 벗어나서 형성되게 되므로 이후 형성되는 게이트 전극도 상기 반도체층(500a)을 완전히 벗어나게 된다. As can be seen from the printing pattern R ′ indicated by the dotted line formed in (b) of FIG. 6F, the printing pattern R ′ formed on the elastic member 400a in the steady state on the substrate 300a expanded on the Y axis. ) Is printed, the printed pattern (R`) is formed completely out of the semiconductor layer 500a, so that the gate electrode formed thereafter also completely leaves the semiconductor layer 500a.

따라서, 이와 같이 상기 기판(300a)이 팽창한 방향으로 상기 탄성부재(400a)도 팽창시킴으로써, 상기 제 2 인쇄패턴(R2)을 원하는 곳에 정확하게 인쇄할 수 있다.Thus, by expanding the elastic member 400a in the direction in which the substrate 300a is expanded, the second printing pattern R2 can be printed exactly where desired.

이후, 상기 제 2 인쇄패턴(R2)을 마스크로 하여 상기 게이트 물질을 식각하여 게이트 전극 및 스토리지 전극을 형성한다.Thereafter, the gate material is etched using the second printed pattern R2 as a mask to form a gate electrode and a storage electrode.

그리고, 게이트 전극 및 스토리지 전극을 마스크로 하여 불순물을 주입하여 상기 반도체층(500a)의 양쪽에 각각 소스 영역 및 드레인 영역을 형성하고, 상기 소스 영역 및 드레인 영역 그리고, 스토리지 전극을 포함한 기판의 전면에 제 1 층간 절연막 및 도전층을 차례로 형성한다.Impurities are implanted using the gate electrode and the storage electrode as masks to form source and drain regions on both sides of the semiconductor layer 500a, and are formed on the entire surface of the substrate including the source and drain regions and the storage electrode. The first interlayer insulating film and the conductive layer are sequentially formed.

이어서, 상기 제 1 층간 절연막 및 도전층이 형성된 기판의 변화 여부를 전술한 바와 같은 과정을 거쳐 확인하고, 이에 따라 상기 인쇄패턴간의 거리를 늘리거나 줄여 상기 도전층의 상부에 화소전극에 대한 인쇄패턴을 형성하고, 상기 인쇄패턴을 마스크로 상기 도전층을 선택적으로 제거하여 상기 스토리지 전극을 오버랩하는 화소전극을 형성한다.Subsequently, it is checked whether the first interlayer insulating film and the substrate on which the conductive layer is formed are changed through the above-described process, and accordingly, the printing pattern of the pixel electrode on the upper portion of the conductive layer is increased or decreased. And selectively remove the conductive layer using the printed pattern as a mask to form a pixel electrode overlapping the storage electrode.

다음으로, 상기 화소전극을 포함한 기판의 전면에 제 2 층간 절연막 및 보호층을 차례로 형성한다.Next, a second interlayer insulating film and a protective layer are sequentially formed on the entire surface of the substrate including the pixel electrode.

이어서, 상기 제 2 층간 절연막 및 보호층이 형성된 기판의 변화 여부를 전술한 바와 같은 과정을 거쳐 확인하고, 이에 따라 상기 인쇄패턴간의 거리를 늘리거나 줄여 상기 반도체층(500a)의 소스 영역 및 드레인 영역 그리고, 상기 화소전극의 일부에 상응하는 상기 보호층상에 소스 콘택홀, 드레인 콘택홀 및 화소 콘택홀에 대한 인쇄패턴을 형성한 후, 상기 인쇄패턴을 마스크로 하여 상기 제 1 층간 절연막, 제 2 층간 절연막 및 보호층을 제거하여 상기 반도체층(500a)의 소스 영역 및 드레인 영역 그리고, 상기 화소전극의 일부는 노출시키는 소스 콘택홀 및 드레인 콘택홀 그리고, 화소 콘택홀을 형성한다.Subsequently, it is checked whether the substrate on which the second interlayer insulating film and the protective layer are formed is changed through the above-described process, and accordingly, the source region and the drain region of the semiconductor layer 500a are increased or decreased. After forming a printing pattern for a source contact hole, a drain contact hole and a pixel contact hole on the passivation layer corresponding to a part of the pixel electrode, the first interlayer insulating film and the second interlayer using the printing pattern as a mask. The insulating layer and the protective layer are removed to form a source region and a drain region of the semiconductor layer 500a, a source contact hole and a drain contact hole exposing a portion of the pixel electrode, and a pixel contact hole.

다음으로, 상기 소스 콘택홀 및 드레인 콘택홀 그리고, 화소 콘택홀이 형성된 기판의 전면에 금속층을 증착한다.Next, a metal layer is deposited on the entire surface of the substrate on which the source contact hole, the drain contact hole, and the pixel contact hole are formed.

이후, 상기 금속층이 형성된 기판의 변화 여부를 전술한 바와 같은 과정을 거쳐 확인하고, 이에 따라 롤러에 형성되는 인쇄패턴간의 거리를 늘리거나 줄여 상기 금속층상에 제 1 전극 및 제 2 전극에 대한 인쇄패턴을 형성하고, 상기 인쇄패턴을 마스크로 하여 상기 금속층을 선택적으로 제거하여 소스 영역과 상기 드레인 영역을 연결하는 제 1 전극 및 상기 드레인 영역과 상기 화소전극을 연결하는 제 2 전극을 형성한다.Subsequently, it is checked whether the substrate on which the metal layer is formed is changed through the above-described process, and accordingly, the printing pattern of the first electrode and the second electrode on the metal layer is increased or decreased by increasing or decreasing the distance between the printing patterns formed on the roller. The metal layer is selectively removed using the printed pattern as a mask to form a first electrode connecting the source region and the drain region and a second electrode connecting the drain region and the pixel electrode.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 액정표시장치용 인쇄장치에는 다음과 같은 효과가 있다.The printing apparatus for a liquid crystal display device according to the present invention described above has the following effects.

본 발명에 따른 액정표시장치용 인쇄기판은 롤러의 외주면에 탄성부재가 형성되어 있으며, 상기 탄성부재에 인가되는 전압의 크기에 따라 늘어나거나 줄어드는 압전소자가 내장되어 상기 탄성부재를 기판의 변화정도에 따라 팽창시키거나 수축시킴으로써, 상기 탄성부재에 묻은 레지스트의 위치를 상기 기판의 변화정도에 따라 변화시킬 수 있다.In the printed circuit board for a liquid crystal display device according to the present invention, an elastic member is formed on an outer circumferential surface of a roller, and a piezoelectric element that is increased or decreased according to the magnitude of the voltage applied to the elastic member is built in the printed circuit board. By expanding or contracting accordingly, the position of the resist buried in the elastic member can be changed according to the degree of change of the substrate.

따라서, 기판의 크기가 변화하더라도 상기 기판의 원하는 위치에 정확하게 인쇄패턴을 형성할 수 있으므로, 레지스트의 오정렬에 의한 레이어의 부정확한 패터닝을 방지할 수 있다.Therefore, even if the size of the substrate changes, the printed pattern can be formed accurately at the desired position of the substrate, thereby preventing the incorrect patterning of the layer due to misalignment of the resist.

도 1은 종래의 인쇄장치에 대한 개략적인 구성도1 is a schematic configuration diagram of a conventional printing apparatus

도 2a 및 도 2c는 종래의 인쇄장비를 이용한 인쇄 공정단면도2a and 2c is a cross-sectional view of the printing process using a conventional printing equipment

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 인쇄장치의 개략적인 구성도 3 is a schematic configuration diagram of a printing apparatus for a liquid crystal display according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 탄성부재에 대한 개략적인 구성도 4 is a schematic configuration diagram of the elastic member of FIG.

도 5는 압전소자의 크기변화에 의한 탄성부재의 변화 및 인쇄패턴의 변화를 설명하기 위한 롤러의 단면도5 is a cross-sectional view of the roller for explaining the change of the elastic member and the change of the printing pattern by the size change of the piezoelectric element;

도 6a 및 도 6f는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치용 인쇄장치를 이용한 인쇄공정단면도6A and 6F are cross-sectional views of a printing process using a printing apparatus for a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.

*도면의 주요부에 대한 부호 설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawings

101 : 클리체 102 : 스테이지101: cliché 102: stage

201 : 제어부 202 : 변위측정부201: control unit 202: displacement measuring unit

300 : 기판 400 : 롤러300: substrate 400: roller

400a : 탄성부재 400b : 압전소자400a: elastic member 400b: piezoelectric element

H : 홈 R : 인쇄패턴H: Groove R: Print Pattern

Claims (7)

인쇄물질이 선택적으로 삽입되어 인쇄패턴이 형성되는 클리체와;A clit body in which printing material is selectively inserted to form a printing pattern; 상기 인쇄패턴이 형성될 기판이 놓이게 되는 스테이지와;A stage on which a substrate on which the printed pattern is to be formed is placed; 상기 클리체로부터 인쇄패턴을 전달받아 스테이지상의 기판으로 옮기기 위한 롤러와;A roller for receiving a printing pattern from the cliché and transferring the printed pattern to a substrate on a stage; 상기 롤러의 외주면에 부착되며, 내부에 다수개의 압전소자가 형성된 탄성부재와;An elastic member attached to an outer circumferential surface of the roller and having a plurality of piezoelectric elements formed therein; 상기 기판에 형성된 얼라인 키 사이의 거리를 센싱하여 상기 기판의 크기변화를 측정하여 변위신호를 출력하는 변위측정부와;A displacement measuring unit which senses a distance between the alignment keys formed on the substrate and measures a change in the size of the substrate to output a displacement signal; 상기 변위측정부로부터 출력된 변위신호를 입력받아 상기 탄성부재에 내장된 다수개의 압전소자에 전압을 인가하여 상기 탄성부재를 상기 기판의 크기 변화에 따라 X축, Y축 또는 X축과 Y축의 사이각 방향으로 수축 및 팽창시키기 위한 제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 인쇄장치.In response to the displacement signal output from the displacement measuring unit, a voltage is applied to a plurality of piezoelectric elements embedded in the elastic member, and the elastic member is disposed between the X axis, the Y axis, or between the X axis and the Y axis according to the size change of the substrate. A printing apparatus for a liquid crystal display device, comprising a control unit for contracting and expanding in each direction. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 탄성부재는 실리콘 고무 또는 우레탄과 같은 탄성물질을 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 인쇄장치.The elastic member is a printing apparatus for a liquid crystal display device, characterized in that using an elastic material such as silicone rubber or urethane. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 탄성부재는 상기 압전소자의 크기변화를 감지 및 측정하여 상기 제어부로 피드백 신호를 출력하는 변위센서를 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 인쇄장치.And the elastic member further comprises a displacement sensor for sensing and measuring a change in the size of the piezoelectric element and outputting a feedback signal to the controller. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 변위측정부는 액정표시장치의 합착공정에 사용되는 얼라인 키 확인용 카메라를 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 카메라.And the displacement measuring unit uses an alignment key checking camera used in the bonding process of the liquid crystal display. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 압전소자는 상기 탄성부재의 내부에서 X축 및 Y축 방향으로 서로 수직하게 다수개 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 인쇄장치.And a plurality of piezoelectric elements are formed perpendicular to each other in the X-axis and Y-axis directions within the elastic member. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 탄성부재는 상기 롤러의 외주면을 완전히 감싸지 않도록 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 인쇄장치.The elastic member is a printing apparatus for a liquid crystal display device, characterized in that formed so as not to completely surround the outer peripheral surface of the roller. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 인쇄 물질은 레지스트를 사용하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 인쇄장치.The printing material is a printing apparatus for a liquid crystal display device, characterized in that using a resist.
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