KR20050050215A - 멀티-존 타입의 ｌｃｄ 기판용 베이크 히터 및 이를구비한 베이크 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터 및 이를 구비한 베이크 장치에 관한 것으로, 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 상부면의 외연으로부터 중심 방향으로 임의 폭을 갖으며 각기 이격된 적어도 2 이상으로 구분된 영역부와; 상기 각 영역부들의 내측부에 각기 대응되어 형성된 열선부을 포함한 베이크 히터와 이를 구비한 베이킹 장치를 구성함으로써, LCD 기판의 베이킹 공정시 온도를 균일하게 유지함으로써 고품질의 LCD 기판을 제조할 수 있도록 함은 물론, LCD 기판의 고수율을 구현할 수 있는 특징이 있다.

Description

멀티-존 타입의 ＬＣＤ 기판용 베이크 히터 및 이를 구비한 베이크 장치 {A MULTI-ZONE TYPED HEAT PLATE FOR LCD SUBSTRATE AND A BAKE APPARATUS WITH IT}
본 발명은 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터 및 이를 구비한 베이크 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD의 베이크 공정시 LCD 기판의 전 표면을 균일한 온도로 유지할 수 있어 고수율 및 고품질의 LCD 기판을 제조할 수 있는 베이크 히터 및 이를 구비한 베이크 장치에 관한 것이다.
액정(Liquid Crystal)은 액체의 유동성과 고체의 결정과 같은 규칙적인 분자 배열을 동시에 갖는다. 또한, 광학적 이방성을 가지면서 전압이 가해지면 전계의 방향을 따라 액정의 분자 배열이 바뀌는 특성을 가지는 바, 이러한 액정의 성질을 이용하여 도형, 문자 또는 그림을 표시하는 장치를 LCD(Liquid Crystal Display)라 한다.
현재, LCD는 노트북 컴퓨터, LCD 모니터, LCD TV, 디지털 카메라, 화상전화기, 게임기, PDA와 같이 다양한 분야에서 폭 넓게 응용되고 있으며, 특히 IMT-2000의 핵심 디스플레이 방식으로 부상하고 있는 등 인간 생활을 보다 편리하게 영유토록 하는 첨단 디스플레이 장치이다.
이상과 같은 LCD는 크게 PEP LINE, CELL LINE 및 모듈 공정을 거쳐 제조된다. 통상적으로, PEP 라인은 LCD 품질 및 수율에 매우 중요한 공정으로 [세정 -> 감광제 도포 -> 노광 -> 현상 -> 식각 -> 박리] 공정으로 세분된다.
여기서, 베이크 장치는 감광제와 LCD 기판간의 접착성을 향상, 세정 공정시 수분이나 유기 유제 제거, 감광제 도포후 용제를 제거하는 데 주로 사용된다. 이러한 베이크 장치는 히터 플레이트 상에 감광제가 도포된 LCD 기판을 장착하여 소정의 온도로 감광제를 베이크한다.
최근 들어, LCD는 대형ㆍ고집적화되는 실정으로 베이크 히터와 이를 구비한 베이크 장치의 베이크 공정시 온도 균일성이 수율 및 품질에 보다 커다란 영향을 미치게 되었다.
도 1 및 도 2는 종래 기술에 의한 단일-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 나타내는 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래 기술에 의한 LCD 기판용 베이크 히터는 지그 재그 형상으로 하나의 열선으로 형성한 단일-존 타입이다. 그러나, 이러한 단일-존 타입의 베이크 히터는 소형 LCD 기판을 제조하는 데는 바람직한 온도 균일성을 유지할 수 있으나, 인접된 열선 상호간의 영향으로 인하여 대형 LCD 기판에는 적절한 온도 균일성을 유지할 수 없는 단점이 있다.
도 3은 종래 기술에 의한 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 나타내는 평면도이다.
도 3을 참조하면, 전술된 단일-존 타입의 베이크 히터의 단점을 해소하고자 제안된 멀티-존 타입의 베이크 히터(10)는 베이스 플레이트(11)의 상부면을 복수의 영역(12)(14)(16)(18)으로 분할하여 각기 열선(12a)(14a)(16a)(18a)을 형성한 것이다. 그러나, 이러한 멀티-존 타입의 베이크 히터(10)는 각기 분할된 열선(12a) (14a)(16a)(18a)의 저항치를 모두 동일하게 구성한 것으로 각기 분할된 영역(12) (14)(16)(18)의 온도 균일성은 유지할 수 있으나, 인접된 영역의 경계 부분에서는 바람직하는 온도 균일성을 유지할 수 없는 단점이 있다.
따라서, 이러한 베이크 히터 및 이를 구비한 베이크 장치는 대형 LCD 기판 제조에 바람직한 못한 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 창출된 본 발명의 목적은, LCD 기판의 크기에 무관하게 베이크 공정시 LCD 기판의 전 표면의 온도를 균일하게 유지할 수 있어 고품질 LCD 제조 및 고수율을 구현할 수 있도록 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터 및 이를 구비한 베이크 장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 임의로 분할된 베이크 히터의 각 영역부의 열량을 개별적으로 계산하여 이를 토대로 전체의 온도 균일성을 유지하도록 함으로써 임의의 크기를 갖는 LCD 기판에 대한 최적 설계를 용이하게 구현할 수 있는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터 및 이를 구비한 베이크 장치를 제공함에 있다.
이러한 본 발명의 목적은, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상부면의 외연으로부터 중심 방향으로 임의 폭을 갖으며 각기 이격된 적어도 2 이상으로 구분된 영역부와, 상기 각 영역부들의 내측부에 각기 대응되어 형성된 열선부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터에 의해 달성될 수 있다.
바람직하게는, 본 발명의 베이스 플레이트는 사각 형상으로 각기 이격된 복수 개의 관통공이 형성된다.
바람직하게는, 본 발명의 열선부는 각기 대응된 상기 영역부의 외연으로부터 상기 베이스 플레이트의 중심을 향하여 나선 형상으로 형성된다.
바람직하게는, 본 발명에 의한 열선부의 상호 인접된 열선의 간격은 임의로 증감되도록 형성된다.
보다 바람직하게는, 본 발명에 의한 열선의 간격은 상기 각 열선부가 형성된 상기 각 영역부의 체적당 필요한 단위 열량의 계산치와, 상기 계산된 단위열량의 계산치에 의해 계산된 열용량에 의하여 결정되어 임의로 증감되도록 형성된다.
보다 바람직하게는, 본 발명에 의한 열선의 간격은 상기 계산된 열용량에 의하여 요구되는 각 열선의 저항치에 의하여 결정되어 임의로 증감되도록 형성된다.
본 발명의 다른 목적은, 하부 케이싱과, 상측부에 다수의 포크 핀이 설치되어 있으며 제 1 승강 부재와 연결되어 상기 하부 케이싱에 내장된 지지 부재와, 상기 포크 핀에 대응 삽입되어 있으며 적어도 일측부가 지지되도록 상기 하부 케이싱에 내장된 히터 어셈블리와, 제 2 승강 부재와 연결되어 상기 하부 케이싱과 개폐 가능하도록 결합되어 있으며 일측부에 배기 포트가 형성된 상부 케이싱을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 구비한 베이크 장치에 의해 달성될 수 있다.
바람직하게는, 본 발명의 히터 어셈블리는 제 1 플레이트, 제 1 단열재, 히터 플레이트, 제 2 단열재, 제 2 플레이트가 순차 적층되어 조립되어 있되, 상기 히터 플레이트는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상부면의 외연으로부터 중심 방향으로 임의 폭을 갖으며 각기 이격된 적어도 2 이상으로 구분된 영역부와, 상기 각 영역부들의 내측부에 각기 대응되어 각기 나선 형상으로 형성된 열선부를 포함하여 구성된다.
보다 바람직하게는, 본 발명의 열선부의 상호 인접된 열선의 간격은 임의로 증감되도록 형성된다.
보다 바람직하게는, 본 발명에 의한 열선의 간격은 상기 각 열선부가 형성된 상기 각 영역부의 체적당 필요한 단위 열량의 계산치와, 상기 계산된 단위열량의 계산치에 의해 계산된 열용량에 의하여 결정되어 임의로 증감되도록 형성된다.
보다 바람직하게는, 본 발명에 의한 열선의 간격은 상기 계산된 열용량에 의하여 요구되는 각 열선의 저항치에 의하여 결정되어 임의로 증감되도록 형성된다.
보다 바람직하게는, 본 발명의 히터 어셈블리는 적어도 하나 이상의 온도 측정용 센서를 더 포함하여 구성된다.
바람직하게는, 본 발명은 상기 하부 케이싱의 바닥면과 상기 지지 부재 사이에 개재된 지지 판재를 더 포함하여 구성하되, 상기 지지 판재는 지주 부재에 의해 상기 히터 어셈블리와 이격되도록 체결된다.
바람직하게는, 본 발명의 상부 케이싱은 다수의 관통공이 형성되어 있으며, 내측부에 취부된 배기 패널을 더 포함하여 구성된다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명에 의한 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 나타내는 평면도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명에 의한 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터(100)는 베이스 플레이트(110)와, 베이스 플레이트(110)의 상부면이 복수 개로 분할된 영역부(122)(124)(126)(128)와, 각기 대응된 영역부(122)(124)(126)(128)의 내측부에 나선 형상으로 각기 형성된 열선부(122a)(124a)(126a)(128a)를 포함하여 구성된다.
베이스 플레이트(110)는 임의 두께를 갖는 사각 형상의 절연성 재질로 제작되어 있다. 여기서, 본 발명의 베이스 플레이트(110)는 복수 개의 관통공이 형성되어 있다.
관통공은 베이크 히터(100)를 중심으로 상, 하측으로 상판 및 하판(도시 안됨)을 조립하기 위한 조립 관통공(112), 온도 센서(도시 안됨) 조립용 관통공 (114) 그리고, 포크 핀(folk pin)용 관통공(116)으로 구분된다.
영역부(122)(124)(126)(128)는 베이스 플레이트(110)의 상부면을 복수 개, 예컨대 4 분할하여 구분된 영역이다. 여기서, 영역부(122)(124)(126)(128)는 베이스 플레이트(110)의 외연으로부터 중심 방향으로 임의의 폭을 갖는 면적(사각 띠 형상)을 갖으며 각기 이격되어 형성된다.
열선부(122a)(124a)(126a)(128a)는 각기 대응된 영역부(122)(124)(126) (128)의 내측부에 나선 형상으로 각기 형성되어 있다. 여기서, 열선부(122a) (124a)(126a)(128a)는 모두 동일한 중심으로 갖으며, 보다 상세하게는 베이스 플레이트(110)의 중심으로 수렴되도록 나선 형상으로 형성되어 있다.
표 1을 참조하면, 도 3 및 도 4의 베이크 히터(10)(100)를 330㎜(세로) X 450㎜(가로)의 크기로 동일하게 구성하여 영역별로 실제 저항치를 측정한 결과를 살펴 보면, 종래 기술에 의한 비교예는 모두 동일한 저항치를 갖는 반면, 본 실시예는 베이스 플레이트(110)의 중심으로 갈수록 저항치가 감소하는 것을 알 수 있다.
여기서, 본 발명의 베이크 히터(100)는 각기 분할된 영역이 동일한 저항치를 갖도록 하는 종래의 비교예와는 달리, 단면적 계산법 또는 히터용량 계산법 등에 의하여 베이크 히터(100)의 총 열량과 LCD 기판 (도시 안됨)의 열용량(Heat Capacity)을 상호 비교하여 온도의 균일성을 유지하도록 구성되어 있다.
예컨대, 본 발명의 기술적 사상은 임의로 분할된 영역부(122)(124)(126) (128)를 각기 개별적으로 열량을 계산하고, 이를 토대로 총 열량을 합산하도록 함으로써 임의의 크기를 갖는 LCD 기판의 온도 균일성을 유지시키기 위한 최적화 설계가 용이한 특징이 있다. 즉, 본 발명은 각각의 영역부별로 제어가 용이한 이점이 있다.
즉, 본 발명에 의한 열선의 간격은 각 열선부가 형성된 상기 각 영역부의 체적당 필요한 단위 열량의 계산치와, 상기 계산된 단위열량의 계산치에 의해 계산된 열용량에 의하여 결정되어 임의로 증감되도록 형성되는 것이 바람직하다. 더욱이, 본 발명에 의한 열선의 간격은 계산된 열용량에 의하여 요구되는 각 열선의 저항치에 의하여 결정되어 임의로 증감되도록 형성되는 것이 바람직하다.
도 6 내지 도 11은 전술된 크기 및 열선의 구조를 갖는 본 발명의 베이크 히터(100)를 100℃, 120℃ 및 140℃에서 온도를 각기 측정한 모식도이다
먼저, 본 측정에 사용된 측정 장비는 미국 센서어레이사 (SensArray Corporation)의 PROCESS PROBE 1840이며, 본 실시예 및 비교예 모두 일반적인 베이크 장치에 설치되어 측정되었음을 미리 밝혀 둔다.
그리고, 측정 장비의 영역부별 오프 셋(OFF-SET) 값은 각기 -0.19, -0.10, -0.05 및 -0.08이다.
이 측정 장치의 사양을 간단히 설명하면 다음과 같다.
측정 가능 직경 : 50㎜(2in) ~ 300㎜(12in)
온도 측정 범위 : 0℃ ~ 250℃
정밀도 : ±0.03℃
따라서, 본 실시예는 300㎜까지 측정이 가능한 측정 장비를 도 5에 도시된 바와 같이 제 1 및 제 2 측정 영역(DZ1)(DZ2)으로 구분하여 측정하였다.
표 2는 도 6 내지 도 11의 결과를 정리한 것으로, 본 발명의 베이크 히터의 온도 편차가 매우 적음을 보여주고 있다.
일반적인 LCD 기판용 베이크 히터는 각 측정 온도에 대하여 ±5％℃ 정도의 정밀도를 갖는 반면, 본 발명의 실시예에서는 최소 0.18℃에서 최대 0.55℃ 정도의 매우 우수한 온도 균일성을 유지하는 것으로 확인되었다.
도 12는 본 발명에 의한 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 구비한 베이크 장치를 나타내는 단면도이고, 본 발명에 의한 베이크 장치의 작동 관계를 나타내는 요부 확대 단면도이고, 도 14는 히터 어셈블리를 나타내는 결합 사시도이다.
도 12 내지 도 14를 참조하면, 본 발명에 의한 베이크 장치는 하부 케이싱(210)과, 복수 개의 포크 핀(222)이 형성되어 있으며 승강 가능하도록 하부 케이싱(210)에 내장된 지지 부재(220)와, 포크 핀(222)에 대응 삽입되어 있으며 하부면이 지지되도록 하부 케이싱(210)에 내장된 히터 어셈블리(230)와, 배기 포트(242)가 형성되어 있으며 하부 케이싱(210)과 개폐 가능하도록 결합된 상부 케이싱(240)을 포함하여 구성되어 있다.
하부 케이싱(210)은 상측부가 개방된 중공 구조이다.
지지 부재(220)는 복수 개의 포크 핀(222)이 상측부에 결합되어 있으며, 하부면은 제 1 승강 부재(310)와 연결되어 있다.
히터 어셈블리(230)는 제 1 플레이트(231), 제 1 단열재(233), 히터 플레이트(235), 제 2 단열재(237), 제 2 플레이트(239)가 순차 적층되어 조립되어 있으며, 온도 측정용 센서(232)가 내장되어 있다. 여기서, 제 1 플레이트, 제 2 단열재(233), 제 2 단열재(237) 및 제 2 플레이트(239)에는 다수의 관통공이 형성되어 있으며, 이 관통공들은 각기 조립 관통공, 온도 센서(232) 조립용 관통공 그리고, 포크 핀(222)용 관통공이나, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
또한, 히터 어셈블리(230)의 히터 플레이트(235)는 전술된 본 발명의 베이크 히터(100)와 동일한 구성을 갖기 때문에 이에 대한 상세한 생략하기로 한다.
그리고, 지지 판재(260)가 하부 케이싱(210)의 바닥면과 지지 부재(220) 사이에 개재되어 있으며, 지주 부재(270)에 의해 상기 히터 어셈블리(230)와 이격되도록 체결되어 있다.
상부 케이싱(240)은 제 2 승강 부재(320)와 연결되어 하부 케이싱과 개폐 가능하도록 결합되어 있으며, 상측부에 배기 포트(242)가 형성되어 있다. 그리고, 상부 케이싱(240)은 다수의 관통공(244a)이 형성되어 있으며 내측부에 취부된 배기 패널(244)를 더 포함하여 구성된다.
여기서, 배기 패널(244)은 챔버 내부에서 야기되는 대류 현상을 통하여 가열된 공기가 외부로 유출되지 않도록 하여 온도의 균일성을 유지하는 필터링 기능을 수행한다. 그리고, 배기 포트(242)는 LCD 기판(400)의 표면에 뭍어있던 감광제의 습기 또는 솔벤트 등을 베이킹 공정시 외기로 배기하도록 상부 케이싱(240)의 일측부와 연통된 것이다.
LCD 기판(400)의 승강은 본 발명에 의한 제 1 승강 부재(310)의 가동에 의해 지지 부재(220)가 승강됨으로써 구현된다. 여기서, 실린더 타입의 제 1 승강 부재(310)가 신장되면 연결된 지지 부재(220)가 상승하게 되어 포크 핀(222)이 히터 어셈블리(230)의 포크 핀용 관통공을 관통하여 LCD 기판(400)의 하부면을 들어올려 LCD 기판(400)은 어셈블리(230)의 상부면으로부터 이격된다. 또한, 실린더 타입의 제 1 승강 부재(310)가 수축하게 되면 연결된 지지 부재(220)가 하강하게 되어 LCD 기판(400)의 하부면과 접촉되어 있던 포크 핀(222)이 하강되면서 LCD 기판 (400)의 하부면은 히터 어셈블리(230)의 상부면에 밀착된다.
챔버의 개폐(외기의 차단)는 본 발명에 의한 제 2 승강 부재(320)의 가동에 의해 상부 케이싱(240)이 승강됨으로써 구현된다. 여기서, 실린더 타입의 제 2 승강 부재 (320)가 신장되면 상부 케이싱(240)이 하부 케이싱(210)과 분리되고, 이와는 반대로 제 2 승강 부재(320)가 수축되면 상부 케이싱(240)은 다시 하부 케이싱(210)과 결합된다.
여기서, 본 발명에 의한 베이크 장치의 작동 관계를 간단히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제 2 승강 부재(320)가 상승되면, 하부 케이싱(210)과 연결되어 있던 상부 케이싱(240)이 연동 상승하게 되어 챔버가 개방된다.
그런 다음, 제 1 승강 부재(310)가 상승되어 포크 핀(222)을 구비한 지지 부재(220)가 임의 높이로 상승된다. 이 때, 포크 핀(222)의 상단부는 대응된 히터 어셈블리(230)을 관통하여 상측부로 돌출된다.
이어서, 로보트와 같은 LCD 기판용 피딩 장비(도시 안됨)가 전술된 포크 핀(222)의 상단부에 LCD 기판(400)을 안착시킨다.
계속해서, 제 1 승강 부재(310)가 하강되면서 지지 부재(220)가 원 위치로 하강됨으로써 포크 핀(222)의 상단부에 안착되어 있던 LCD 기판(400)의 하부면은 히터 어셈블리(230)의 상부면에 안착된다.
마지막으로, 제 2 승강 부재(320)의 하강과 함께 상부 케이싱(240)가 연동 하강되어 하부 케이싱과 결합됨으로써 외부의 외기를 차단한다. 여기서, 본 발명은 상부 케이싱(240)이 하부 케이싱(210)과 결합되어 외기를 차단함과 아울러 배기 패널(244)의 하부면과 LCD 기판(400)의 상부면 사이에 일정한 간격을 유지하도록 함으로써 LCD 기판(400)과 배기 패널(244) 사이의 단면적(공간)을 감소시켜 단면적 내부에서 발생되는 대류 현상을 최소화할 수 있어 온도 균일성을 개선할 수 있는 특징이 있다.
이렇게 LCD 기판(400)의 로딩이 완료되면 베이크 공정이 수행되고, 베이크 공정이 완료된 다음에는 전술된 LCD 기판(400)의 로딩 수순에 역순으로 LCD 기판(400)이 언로딩되어 작업이 완료된다.
이상에서 설명된 본 발명은 일실시예에 한정되어 설명되었지만, 이에 한정되지 않고 본 발명이 속하는 분야의 통상적인 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있는 정도의 변형은 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것임은 자명하다.
이상의 구성을 갖는 본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 본 발명은 각기 분할된 영역부 단위로 열량을 계산하여 이를 토대로 전체 영역의 온도 균일성을 유지토록 함으로써 임의 크기를 갖는 LCD 기판에 대한 최적화 설계가 용이하다.
둘째, 본 발명은 배기 패널을 탑재될 LCD 기판에 근접 배치되도록 하여 베이크 공정시 대류 현상을 최소화함으로써 온도 균일성을 향상할 수 있다.
셋째, 본 발명은 베이크 공정시 LCD 기판의 온도 균일성을 개선함으로써 고품질의 LCD 기판 제조 및 LCD의 고수율을 구현할 수 있다.
도 1 및 도 2는 종래 기술에 의한 단일-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 나타내는 평면도이다.
도 3은 종래 기술에 의한 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명에 의한 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 4의 측정 영역을 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명에 의한 베이크 히터의 100℃, 제 1 측정 영역에서의 온도 편차를 나타내는 모식도이다.
도 7은 도 6의 제 2 측정 영역에서의 온도 편차를 나타내는 모식도이다.
도 8은 본 발명에 의한 베이크 히터의 120℃, 제 1 측정 영역에서의 온도 편차를 나타내는 모식도이다.
도 9는 도 8의 제 2 측정 영역에서의 온도 편차를 나타내는 모식도이다.
도 10은 본 발명에 의한 베이크 히터의 140℃, 제 1 측정 영역에서의 온도 편차를 나타내는 모식도이다.
도 11은 도 10의 제 2 측정 영역에서의 온도 편차를 나타내는 모식도이다.
도 12는 본 발명에 의한 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 구비한 베이크 장치를 나타내는 단면도이다.
도 13은 본 발명에 의한 베이크 장치의 작동 관계를 나타내는 요부 확대 단면도이다.
도 14는 히터 어셈블리를 나타내는 결합 사시도이다.
<< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >>
100 : 베이크 히터 110 : 베이스 플레이트
112, 114, 116 : 관통공 122, 124, 126, 128 : 영역부
122a, 124a, 126a, 128a : 열선부 210 : 하부 케이싱
220 : 지지 부재 222 : 포크 핀(folk pin)
231, 239 : 플레이트 232 : 온도 측정용 센서
233, 237 : 단열재 240 : 상부 케이싱
242 : 배기 포트 244 : 배기 패널
244a : 관통공 260 : 지지 판재
270 : 지주 부재 310, 320 : 승강 부재
400 : LCD 기판

Claims (14)

  1. 베이스 플레이트와;
    상기 베이스 플레이트의 상부면의 외연으로부터 중심 방향으로 임의 폭을 갖으며 각기 이격된 적어도 2 이상으로 구분된 영역부와;
    상기 각 영역부들의 내측부에 각기 대응되어 형성된 열선부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트는 사각 형상으로 각기 이격된 복수 개의 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 열선부는 각기 대응된 상기 영역부의 외연으로부터 상기 베이스 플레이트의 중심을 향하여 나선 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 열선부의 상호 인접된 열선의 간격은 임의로 증감되도록 형성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 열선의 간격은 상기 각 열선부가 형성된 상기 각 영역부의 체적당 필요한 단위 열량의 계산치와, 상기 계산된 단위열량의 계산치에 의해 계산된 열용량에 의하여 결정되어 임의로 증감되도록 형성된 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 열선의 간격은 상기 계산된 열용량에 의하여 요구되는 각 열선의 저항치에 의하여 결정되어 임의로 증감되도록 형성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터.
  7. 하부 케이싱과;
    상측부에 다수의 포크 핀이 설치되어 있으며, 제 1 승강 부재와 연결되어 상기 하부 케이싱에 내장된 지지 부재와;
    상기 포크 핀에 대응 삽입되어 있으며 적어도 일측부가 지지되도록 상기 하부 케이싱에 내장된 히터 어셈블리와;
    제 2 승강 부재와 연결되어 상기 하부 케이싱과 개폐 가능하도록 결합되어 있으며, 일측부에 배기 포트가 형성된 상부 케이싱을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 구비한 베이크 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 히터 어셈블리는 제 1 플레이트, 제 1 단열재, 히터 플레이트, 제 2 단열재, 제 2 플레이트가 순차 적층되어 조립되어 있되,
    상기 히터 플레이트는,
    베이스 플레이트와;
    상기 베이스 플레이트의 상부면의 외연으로부터 중심 방향으로 임의 폭을 갖으며 각기 이격된 적어도 2 이상으로 구분된 영역부와;
    상기 각 영역부들의 내측부에 각기 대응되어 각기 나선 형상으로 형성된 열선부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 구비한 베이크 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 열선부의 상호 인접된 열선의 간격은 임의로 증감되도록 형성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 구비한 베이크 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 열선의 간격은 상기 각 열선부가 형성된 상기 각 영역부의 체적당 필요한 단위 열량의 계산치와, 상기 계산된 단위열량의 계산치에 의해 계산된 열용량에 의하여 결정되어 임의로 증감되도록 형성된 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 구비한 베이크 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 열선의 간격은 상기 계산된 열용량에 의하여 요구되는 각 열선의 저항치에 의하여 결정되어 임의로 증감되도록 형성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 구비한 베이크 장치.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 히터 어셈블리는 적어도 하나 이상의 온도 측정용 센서를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 구비한 베이크 장치.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 하부 케이싱의 바닥면과 상기 지지 부재 사이에 개재된 지지 판재를 더 포함하여 구성하되,
    상기 지지 판재는 지주 부재에 의해 상기 히터 어셈블리와 이격되도록 체결된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 구비한 베이크 장치.
  14. 제 7 항에 있어서,
    상기 상부 케이싱은 다수의 관통공이 형성되어 있으며, 내측부에 취부된 배기 패널을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 멀티-존 타입의 LCD 기판용 베이크 히터를 구비한 베이크 장치.
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CN103207467A (zh) * 2012-09-26 2013-07-17 中国电子科技集团公司第五十五研究所 提高液晶显示器加热层低温加热温度均匀性的方法及装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100850440B1 (ko) * 2007-03-12 2008-08-07 (주)머시인앤드시스템인테그레이션코리아 Ｌｃｄ 기판용 히터
CN103207467A (zh) * 2012-09-26 2013-07-17 中国电子科技集团公司第五十五研究所 提高液晶显示器加热层低温加热温度均匀性的方法及装置
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