KR20050006445A - Cassette Transfer System in the Clean Room - Google Patents
Cassette Transfer System in the Clean Room Download PDFInfo
- Publication number
- KR20050006445A KR20050006445A KR1020030046251A KR20030046251A KR20050006445A KR 20050006445 A KR20050006445 A KR 20050006445A KR 1020030046251 A KR1020030046251 A KR 1020030046251A KR 20030046251 A KR20030046251 A KR 20030046251A KR 20050006445 A KR20050006445 A KR 20050006445A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- cassette
- plate
- lower plate
- driving
- upper plate
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/062—Easels, stands or shelves, e.g. castor-shelves, supporting means on vehicles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 평판디스플레이 제조라인의 카세트 이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판디스플레이 패널 제조공정 중 작업대상물인 카세트를 임시저장되는 스토커 시스템(STOCKER SYSTEM)에서 무인반송대차(AGV) 및 P&P(PICK AND PLACE)장치 등으로 카세트를 이송하는 카세트 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette transport apparatus of a flat panel display manufacturing line, and more particularly, to an unmanned transport truck (AGV) and a P & P (PICK) in a stocker system in which a cassette, which is a work object, is temporarily stored during a flat panel display panel manufacturing process. AND PLACE) The present invention relates to a cassette conveying apparatus for conveying cassettes.
평판디스플레이 제조공정은 다수의 단위공정으로 이루어지며, 작업대상물이 각각의 단위공정을 순차적으로 거치면서 평판디스플레이 패널을 제조하게 된다.The flat panel display manufacturing process is composed of a plurality of unit processes, the workpiece is subjected to each unit process sequentially to manufacture a flat panel display panel.
한편, 하나의 단위공정을 마친 작업대상물은 사각 박스 형상의 카세트에 다수개가 임시 보관되어 후위공정으로 이송하게 된다.On the other hand, the work object that has completed one unit process is temporarily stored in a rectangular box-shaped cassette is transferred to the back-end process.
이와 같이 다수의 작업대상물이 임시보관된 카세트를 후위공정으로 이송하는 이송장치는 통상 카세트가 탑재되는 프레임의 내부에 설치되어 카세트를 일정높이를 들어올린 후 수평방향으로 이동하여 P&P장치에 카세트를 전달하도록 구성되며, 카세트를 들어올리기 위한 메커니즘으로서 종래에는 카세트의 하단부에 위치하는 지지판의 중앙 하단부에 스크류를 연결하고, 이 스크류와 구동모터를 벨트로 연결하는 구동모터의 작동에 의해 카세트를 승하강 시키도록 구성되었다.As such, the transfer device for transferring the cassettes temporarily stored in a plurality of workpieces to a back-end process is usually installed inside a frame on which the cassette is mounted, lifts the cassette to a certain height, and moves the cassette horizontally to transfer the cassette to the P & P apparatus. As a mechanism for lifting the cassette, conventionally, a screw is connected to a central lower end of a support plate positioned at the lower end of the cassette, and the cassette is lifted by an operation of a drive motor that connects the screw and the drive motor to the belt. It is configured to.
한편, 평판디스플레이는 시간이 지날수록 대형화되고 있으며, 그 작업대상물 또한 대형화로 인해 그 중량이 증가하고 있으므로 종래의 이송장치를 이용하여 대화면/고하중의 작업대상물을 승하강시킬 경우 스크류의 기구운동이 불안정한 현상을 나타내는 문제점이 발생되었다.On the other hand, the flat panel display is becoming larger as time passes, and the weight of the workpiece is also increased due to the larger size, so that the mechanism movement of the screw is increased when the workpiece is moved up and down by using a conventional conveying device. There was a problem indicating an unstable phenomenon.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출되는 것으로, 그 목적은 카세트를 승하강하는 기구 메커니즘의 안정으로 이송오차 감소 및 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 작업대상물의 이송에 소요되는 시간을 현저하게 감소시켜 전체적으로 제품의 생산량을 높일 수 있는 카세트 이송장치를 제공함에있다.The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, the object of which is to stabilize the mechanism mechanism for lifting and lowering the cassette can reduce the transfer error and improve the reliability of the product, and The present invention provides a cassette feeder that can significantly reduce time and increase the overall product yield.
도 1 은 본 발명에 따른 카세트 이송장치의 구성을 나타낸 측면도1 is a side view showing the configuration of a cassette transport apparatus according to the present invention;
도 2 는 본 발명에 따른 카세트 이송장치의 승하강 구동부 구성을 나타낸 평면도2 is a plan view showing the configuration of the elevating drive unit of the cassette feeder according to the present invention;
도 3 은 본 발명에 따른 카세트 이송장치의 터닝 구동부 구성을 나타낸 평면도Figure 3 is a plan view showing the configuration of the turning drive of the cassette feeder according to the present invention
도 4 는 본 발명에 따른 카세트 이송장치의 회전축 구조를 나타낸 단면도Figure 4 is a cross-sectional view showing the structure of the rotating shaft of the cassette transport apparatus according to the present invention
도 5 는 본 발명에 따른 카세트 이송장치의 작동 후 상태를 나타낸 측면도Figure 5 is a side view showing a state after the operation of the cassette transport apparatus according to the present invention
도 6 은 본 발명에 따른 카세트 이송장치가 프레임에 설치된 상태를 나타낸 측면도Figure 6 is a side view showing a state in which the cassette transport apparatus installed in the frame according to the present invention
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
(10) : 승하강 구동부 (11) : 승하강용 구동모터(10): up and down drive unit (11): up and down drive motor
(12) : 스크류 (13)(13`) : 가이드(12): Screw 13 (13`): Guide
(14) : 하부 이송블록 (15) : 상부 이송블록(14): lower transfer block (15): upper transfer block
(16)(16`) : 구동바 (20) : 터닝 구동부(16) (16`): drive bar 20: turning drive
(21) : 터닝 구동모터 (22) : 풀리21: turning drive motor 22: pulley
(23) : 터닝 벨트 (30) : 주행 구동부23: turning belt 30: driving drive
(31) : 주행 구동모터 (32) : 주행 벨트31: driving drive motor 32: running belt
(33) : 메인롤러 (34)(34`) : 보조롤러(33): main roller (34) (34`): auxiliary roller
(40) : 하판 (41) : 가이드블록40: lower plate 41: guide block
(50) : 상판 (51) : 회전축50: the top plate 51: rotation axis
(52) : 베어링 하우징 (53) : 베어링52: bearing housing 53: bearing
(60) : 회전판 (70) : 프레임60: turntable 70: frame
(71) : 주행레일 (80) : 카세트(CASSETTE)71: running rail (80): cassette (CASSETTE)
상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명은 가로·세로 프레임 및 수직방향 프레임이 상호 연결되며 하단부에 길이방향으로 한쌍의 주행 레일이 설치된 프레임의 내부에 주행 레일을 따라 이동하여 전 단위공정으로부터 전달된 카세트를 후위 단위공정으로 이송하는 평판디스플레이 제조라인의 카세트 이송장치에 있어서, 상기 주행 레일에 결합되는 다수의 가이드블록이 구비된 하판과, 상기 하판의 상면에 설치되며 승하강용 구동모터에 의해 그 결합 형상이 변화하여 카세트를 승하강시키는 승하강 구동부와, 상기 승하강 구동부의 상부에 설치된 상판과, 상기 상판의 중앙부에 설치된 회전축의 상부에 설치되어 회전하는 회전판과, 상기 상판에 설치되어 회전축을 회전시키는 터닝 구동부와, 상기 하판에 설치되어 카세트를 수평방향으로 이동하는 주행 구동부로 구성된 것을 특징으로 한다.The present invention to achieve the object as described above and to perform the problem for eliminating the conventional drawbacks are run inside the frame in which the horizontal, vertical frame and the vertical frame is interconnected and a pair of traveling rails are installed in the longitudinal direction at the lower end. In the cassette conveying apparatus of the flat-panel display manufacturing line for moving the cassette transferred from the previous unit process to the rear unit process by moving along the rail, the lower plate is provided with a plurality of guide blocks coupled to the traveling rail, the upper surface of the lower plate A lowering driving part installed at the upper and lowering driving parts for changing the coupling shape by a lowering driving motor for raising and lowering the cassette, an upper plate provided at an upper part of the lowering driving part, and an upper part of a rotating shaft provided at the center of the upper plate. A rotating plate, a turning drive unit installed on the upper plate to rotate the rotating shaft; It characterized in that installed on the plate consisting of the traveling driving unit for moving the cassette in the horizontal direction.
상기 승하강 구동부는 하판에 설치된 승하강용 구동모터와, 상기 승하강용 구동모터에 연결된 스크류와, 상기 하판의 상면과 상판의 저면 양측에 설치된 가이드와, 상기 스크류의 회전에 의해 전후로 이송하며 스크류와 직교하는 수평방향으로 길게 연장되어 하판에 설치된 가이드에 연결된 하부 이송블록과, 상기 상판에 설치된 가이드에 결합된 상부 이송블록과, 상기 하판과 상판을 양측에서 연결하되, 일측이 상부 이송블록과 하부 이송블록에 각각 힌지결합되고, 그 타측이 비스듬하게 경사지게 기울어져 하판의 상면과 상판의 저면에 구비된 상·하부 이송블록에 각각 힌지결합되어 "×"형상으로 설치된 한쌍의 구동바로 구성된 것을 특징으로 한다.The elevating driving unit is a lowering driving motor installed on the lower plate, a screw connected to the elevating driving motor, guides provided on both sides of the upper surface of the lower plate and the bottom of the upper plate, and moved back and forth by the rotation of the screw, perpendicular to the screw. A lower conveying block connected to the guide installed on the lower plate extending in the horizontal direction, and an upper conveying block coupled to the guide installed on the upper plate, and connecting the lower plate and the upper plate from both sides, one side of the upper conveying block and the lower conveying block; It is hinged to each other, the other side is inclined obliquely inclined and hinged to the upper and lower transfer blocks provided on the upper surface of the lower plate and the bottom of the upper plate respectively, characterized in that it consists of a pair of drive bars installed in a "x" shape.
상기 터닝 구동부는 상판의 일측에 수직방향으로 설치된 터닝 구동모터와, 상기 터닝 구동모터와 회전축을 연결하는 벨트로 구성된 것을 특징으로 한다.The turning drive unit is characterized by consisting of a turning drive motor installed in a vertical direction on one side of the upper plate, a belt connecting the turning drive motor and the rotating shaft.
상기 주행 구동부는 프레임의 전후단을 연결하는 주행 벨트와, 상기 하판에 설치된 주행 구동모터와, 상기 주행 벨트에 연결되며 주행 구동모터에 의해 회전하는 메인롤러 및 메인롤러의 하단부 양측에 설치된 보조롤러로 구성된 것을 특징으로 한다.The driving drive unit includes a driving belt connecting the front and rear ends of the frame, a driving drive motor installed on the lower plate, a main roller connected to the driving belt and rotated by the driving drive motor, and auxiliary rollers installed at both ends of the lower end of the main roller. Characterized in that configured.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 은 본 발명에 따른 카세트 이송장치의 구성을 나타낸 측면도를, 도 2 는 본 발명에 따른 카세트 이송장치의 승하강 구동부 구성을 나타낸 평면도를, 도 3 은 본 발명에 따른 카세트 이송장치의 터닝 구동부 구성을 나타낸 평면도를, 도 4 는 본 발명에 따른 카세트 이송장치의 회전축 구조를 나타낸 단면도를, 도 5 는 본 발명에 따른 카세트 이송장치의 작동 후 상태를 나타낸 측면도를, 도 6 은 본 발명에 따른 카세트 이송장치가 프레임에 설치된 상태를 나타낸 측면도를 도시한 것으로, 본 발명에 따른 카세트 이송장치는 하판(40),상판(50),회전판(60) 및 카세트를 승하강하는 승하강 구동부(10), 카세트를 수평방향으로 이송하는 주행구동부(30), 카세트를 회전하는 터닝 구동부(20)로 구성된다.1 is a side view showing the configuration of the cassette feeder according to the present invention, Figure 2 is a plan view showing the configuration of the elevating drive unit of the cassette feeder according to the present invention, Figure 3 is a turning drive of the cassette feeder according to the present invention 4 is a cross-sectional view showing a rotating shaft structure of the cassette feeder according to the present invention, FIG. 5 is a side view showing a state after the operation of the cassette feeder according to the present invention, and FIG. The side view showing a state in which the cassette feeder is installed in the frame, the cassette feeder according to the present invention is the lower plate 40, the upper plate 50, the rotating plate 60 and the elevating drive unit 10 for lifting and lowering the cassette The driving drive unit 30 transfers the cassette in the horizontal direction, and the turning drive unit 20 rotates the cassette.
한편, 본 발명의 카세트 이송장치가 설치되는 프레임(70)은 다수의 가로프레임 및 세로프레임과 수직방향 프레임이 상호 연결되어 사각 박스형상으로 형성되는 한편, 그 내측 하단부에 한쌍의 주행레일(71)이 설치되어 카세트 이송장치를 안내하도록 구성된다.On the other hand, the frame 70 in which the cassette transport apparatus of the present invention is installed is formed in a rectangular box shape in which a plurality of horizontal frames and vertical frames and vertical frames are connected to each other, and a pair of running rails 71 at an inner lower end thereof. It is installed and configured to guide the cassette feeder.
상기 하판(40)에는 주행레일(71)에 결합되는 가이드블록(41)이 구비된다.The lower plate 40 is provided with a guide block 41 coupled to the running rail (71).
상기 승하강 구동부(10)는 하판(40)과 상판(50)을 "×"형태로 연결하는 구동바(16,16`)의 일측을 승하강용 구동모터(11)의 구동력을 이용하여 잡아당기거나 밀어 구동바(16,16`)의 결합형상을 변화시킴으로서 카세트를 승하강시키는 것으로, 하판(40)의 중앙부에 승하강용 구동모터(11)가 설치되고, 이 승하강용 구동모터(11)에 스크류(12)가 연결되어 회전하게 된다.The elevating driving unit 10 pulls one side of the driving bars 16 and 16` which connect the lower plate 40 and the upper plate 50 in the form of “×” by using the driving force of the elevating drive motor 11. Or by raising or lowering the cassette by changing the coupling shape of the driving bars 16 and 16 ', the elevating driving motor 11 is installed at the center of the lower plate 40, and the elevating driving motor 11 is mounted on the elevating driving motor 11. The screw 12 is connected and rotated.
상기 스크류(12)에는 스크류(12)의 회전에 의해 전후로 이동하는 하부 이송블록(14)이 설치되고, 이 하부 이송블록(14)은 스크류(12)의 길이방향에 대하여 직교하는 방향으로 길게 연장되어 하판(40)의 상면 양측에 설치된 가이드(13)에 연결된다.The screw 12 is provided with a lower transfer block 14 that moves back and forth by the rotation of the screw 12, the lower transfer block 14 extends in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the screw 12. And connected to guides 13 provided on both sides of the upper surface of the lower plate 40.
한편, 상판(50)의 저면에는 하판(40)에 설치된 가이드(13)의 수직선상에 위치한 또 다른 가이드(13`)가 설치된다.Meanwhile, another guide 13 ′ positioned on a vertical line of the guide 13 installed on the lower plate 40 is installed at the bottom of the upper plate 50.
상기 구동바(16,16`)는 두개의 바가 한조를 이루어 하판(40)과 상판(50)을 양측에서 연결하게 되고, 이 두개의 구동바(16,16`)는 하판(40)에 일측이 힌지 결합된 하나의 바(16`)가 후방으로 기울어져 상판(50)의 가이드(13`)에 결합된 상부이송블록(15)에 힌지결합되며, 하부 이송블록(14)에 일측이 힌지결합된 나머지 한개의 바(16)가 전방으로 기울어져 상판(50)에 힌지결합되는 한편, 두개의 바가 상호 "×"형태로 교차한 형상으로 설치되며, 두개의 구동바(16,16`)가 교차하는 교차점은 회전이 가능하도록 구성된다.The driving bars 16 and 16` form a pair of two bars to connect the lower plate 40 and the upper plate 50 at both sides, and the two driving bars 16 and 16` are at one side to the lower plate 40. The hinged bar 16` is inclined backward and hinged to the upper transfer block 15 coupled to the guide 13` of the upper plate 50, and one side of the lower transfer block 14 is hinged. The other combined bar 16 is inclined forward and hinged to the upper plate 50, while the two bars are installed in a shape in which the two bars cross each other in an "x" shape, and the two driving bars 16 and 16` are installed. The intersection point at which is crossed is configured to enable rotation.
이와 같이 설치된 구동바(16,16`)는 승하강용 구동모터(11)의 작동에 의해 스크류(12)가 회전하면, 스크류(12)에 연결된 하부 이송블록(14)이 스크류(12)의 회전방향에 따라 전방 또는 후방으로 이동하게 되고, 이때 하부 이송블록(14)에 일측이 연결된 구동바(16,16`)가 하부 이송블록(14)의 이동에 따라 그 기울기가 변화됨으로써 구동바(16,16`)의 상부에 설치된 상판(50)을 상하방향으로 움직이게 된다.When the screw 12 is rotated by the operation of the driving motor 11 for elevating and lowering the driving bars 16 and 16 ′, the lower transfer block 14 connected to the screw 12 rotates the screw 12. The driving bar 16, 16` is connected to one side of the lower transfer block 14, the inclination of the drive bar 16 is changed in accordance with the movement of the lower transfer block 14, the drive bar 16 , 16 ') is moved in the up and down direction, the upper plate 50 installed on the top.
상기 터닝 구동부(20)는 상판(50)과 회전판(60)을 연결하는 회전축(51)을 회전시켜 카세트를 받거나 내릴 때 카세트의 방향을 정렬하는 것으로, 베어링 하우징(52)에 내장된 베어링(53)에 의해 회전축(51)이 상판(50)의 중앙부에 설치되어 회전판(60)으로 연결되고, 이 회전축(51)의 하단부에 터닝 벨트(23)가 연결되는 풀리(22)가 설치되는 한편, 이 회전축(51)에 연결된 터닝 벨트(23)와 연결되어 회전축(51)을 회전시키는 터닝 구동모터(21)가 상판(50)에 설치되어 구성된다.The turning drive unit 20 rotates the rotary shaft 51 connecting the upper plate 50 and the rotating plate 60 to align the direction of the cassette when the cassette is received or lowered, and the bearing 53 embedded in the bearing housing 52. Rotating shaft 51 is installed in the center portion of the upper plate 50 by the rotating shaft 51, and the pulley 22 is connected to the lower end of the rotating shaft 51 is connected to the turning belt 23, The turning drive motor 21 connected to the turning belt 23 connected to the rotating shaft 51 to rotate the rotating shaft 51 is installed on the upper plate 50.
상기 주행 구동부(30)는 프레임(70)의 내부에 설치되어 카세트를 들어올린 카세트 이송장치를 프레임(70)의 길이방향으로 이송시키는 것으로, 프레임(70)의 전후단을 연결하도록 주행 벨트(32)가 설치되고, 이 주행 벨트(32)에 연결되는 메인롤러(33)가 구비된 주행 구동모터(31)가 하판(40)에 고정되며, 이 메인롤러(33)의 하부 양측에 보조롤러(34,34`)가 설치되어 카세트 이송장치의 이동시 벨트와 메인롤러의 결합을 원활하게 하도록 구성된다.The driving drive unit 30 is installed inside the frame 70 to transfer the cassette transfer device that lifts the cassette in the longitudinal direction of the frame 70, and the traveling belt 32 to connect the front and rear ends of the frame 70. Is installed, and the driving drive motor 31 with the main roller 33 connected to the traveling belt 32 is fixed to the lower plate 40, and the auxiliary rollers ( 34, 34`) is configured to facilitate the coupling of the belt and the main roller when the cassette feeder is moved.
상기와 같이 구성된 카세트 이송장치는 자동반송대차(AGV)나 수동반송대차(MGV)등을 통해 카세트(80)가 프레임(70)에 위치하면, 승하강용 구동모터(11)가 작동하여 스크류(12)를 회전시켜 하부 이송블록(14)을 잡아당기게 되고, 이때 하부 이송블록(14)에 일측이 연결된 구동바(16,16`)는 도 6과 같이 수직방향으로 세워지듯이 그 결합형상이 변화되어 상판(50) 및 회전판(60)을 상승시킴으로서 프레임(70)에 위치한 카세트를 들어올리게 된다.When the cassette 80 is positioned on the frame 70 through the automatic transport cart (AGV) or the manual transport cart (MGV), the cassette transport device configured as described above operates the driving motor 11 for lifting and lowering the screw 12. Rotating the lower transfer block 14, the drive bar (16, 16`) is connected to one side connected to the lower transfer block 14, as shown in Fig. By raising the upper plate 50 and the rotating plate 60, the cassette located in the frame 70 is lifted.
이처럼 승하강 구동부(10)에 의해 카세트가 들어올려지면, 주행 구동모터(31)가 작동하여 카세트 이송장치를 주행레일(71)을 따라 이동하게 되며, 이동이 완료된 후 필요에 따라 터닝 구동부(20)가 작동하여 카세트의 방향을 정렬한 후, 다시 승하강 구동부(10)의 승하강용 구동모터(11)가 역회전을 하여 카세트를 프레임(70)의 끝단부에 놓아두게 되며, 이후 스토커 시스템에 의해 자동 창고에 카세트를 이송/적재하게 되는 것이다.When the cassette is lifted by the lifting and lowering drive unit 10 as described above, the driving drive motor 31 is operated to move the cassette feeder along the driving rail 71, and the turning drive unit 20 is necessary after the movement is completed. ) Is operated to align the direction of the cassette, and the lifting drive motor 11 for the lifting and lowering drive unit 10 again rotates to place the cassette at the end of the frame 70, and then to the stocker system. The cassette is then transferred / loaded to the automated warehouse.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.
상술한 바와 같이 본 발명은 승하강용 구동모터의 작동에 의해 "×"형태로 교차하여 하판과 상판을 연결하는 구동바의 결합형상을 변화하여 카세트를 들어올리도록 구성되어 차츰 대형화되어 가는 평판디스플레이 카세트 제조 공정중 공정간 반송 및 저장을 위한 작업대상물의 이송시 보다 큰 사이즈의 작업대상물 이송이 가능하고, 또한 기존의 장치보다 기구적인 측면에서 안정적으로 작동하므로 자동화에 따른 위치제어가 보다 용이한 효과가 있는 것이다.As described above, the present invention manufactures a flat-panel display cassette, which is configured to lift the cassette by changing the coupling shape of the driving bar connecting the lower plate and the upper plate by crossing the "×" shape by the operation of the driving motor for raising and lowering. It is possible to transfer the workpiece of larger size when transferring the workpiece for inter-process transfer and storage during the process, and also because it operates more stably in terms of mechanics than existing devices, it is easier to control the position by automation. will be.
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2003-0046251A KR100531568B1 (en) | 2003-07-09 | 2003-07-09 | Cassette Transfer System in the Clean Room |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2003-0046251A KR100531568B1 (en) | 2003-07-09 | 2003-07-09 | Cassette Transfer System in the Clean Room |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR20-2003-0022029U Division KR200328093Y1 (en) | 2003-07-09 | 2003-07-09 | Cassette Transfer System in the Clean Room |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050006445A true KR20050006445A (en) | 2005-01-17 |
KR100531568B1 KR100531568B1 (en) | 2005-11-29 |
Family
ID=37220258
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2003-0046251A KR100531568B1 (en) | 2003-07-09 | 2003-07-09 | Cassette Transfer System in the Clean Room |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100531568B1 (en) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100710070B1 (en) * | 2004-12-10 | 2007-04-23 | 주식회사 아바코 | Cassette Transfer System in the Clean Room |
KR100848489B1 (en) * | 2007-04-26 | 2008-07-28 | 주식회사 아바코 | Cassette transportation system |
US8272830B2 (en) | 2008-10-07 | 2012-09-25 | Applied Materials, Inc. | Scissor lift transfer robot |
US9691650B2 (en) | 2009-09-29 | 2017-06-27 | Applied Materials, Inc. | Substrate transfer robot with chamber and substrate monitoring capability |
KR20190072048A (en) * | 2017-12-15 | 2019-06-25 | 한국항공우주산업 주식회사 | Blade transfer system |
WO2021010641A1 (en) * | 2019-07-17 | 2021-01-21 | 주식회사 한컴로보틱스 | Automated guided vehicle for moving safely |
CN113120620A (en) * | 2021-05-27 | 2021-07-16 | 陕西雷博创新光电科技有限公司 | Transfer device is used in processing of optical glass piece convenient to location |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101241127B1 (en) * | 2006-06-30 | 2013-03-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | cassette transporting system and transporting method using the same |
-
2003
- 2003-07-09 KR KR10-2003-0046251A patent/KR100531568B1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100710070B1 (en) * | 2004-12-10 | 2007-04-23 | 주식회사 아바코 | Cassette Transfer System in the Clean Room |
KR100848489B1 (en) * | 2007-04-26 | 2008-07-28 | 주식회사 아바코 | Cassette transportation system |
US8272830B2 (en) | 2008-10-07 | 2012-09-25 | Applied Materials, Inc. | Scissor lift transfer robot |
US9691650B2 (en) | 2009-09-29 | 2017-06-27 | Applied Materials, Inc. | Substrate transfer robot with chamber and substrate monitoring capability |
KR20190072048A (en) * | 2017-12-15 | 2019-06-25 | 한국항공우주산업 주식회사 | Blade transfer system |
WO2021010641A1 (en) * | 2019-07-17 | 2021-01-21 | 주식회사 한컴로보틱스 | Automated guided vehicle for moving safely |
KR20210009506A (en) * | 2019-07-17 | 2021-01-27 | 주식회사 한컴로보틱스 | Automated-guided vehicle for transferring product safely |
CN113120620A (en) * | 2021-05-27 | 2021-07-16 | 陕西雷博创新光电科技有限公司 | Transfer device is used in processing of optical glass piece convenient to location |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100531568B1 (en) | 2005-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007137599A (en) | Stocker | |
JP2010275059A (en) | Sheet glass carrying direction changing device | |
WO2022095631A1 (en) | Pallet-handling agv applicable in retrieving and placing quadrant-patterned pallet | |
KR100531568B1 (en) | Cassette Transfer System in the Clean Room | |
JP2008100774A (en) | Conveying carrier and method for transferring article to be conveyed by the conveying carrier | |
CN217837342U (en) | Automatic material elevator butt joint machine | |
KR100710070B1 (en) | Cassette Transfer System in the Clean Room | |
KR200328093Y1 (en) | Cassette Transfer System in the Clean Room | |
TWI254695B (en) | Carrying apparatus | |
KR20050025941A (en) | Apparatus for transferring cassette of display device | |
CN219585163U (en) | Material frame stacking and unloading conveyor | |
KR100702220B1 (en) | Conveyor system | |
CN212830794U (en) | Inclined platform and substrate conveying device | |
CN213865199U (en) | Jacking mechanism | |
JP2019120093A (en) | Elevating and conveying device | |
JPH09169408A (en) | Article storage device | |
CN114655614A (en) | Automatic loading and unloading equipment | |
KR100689072B1 (en) | Apparatus for transferring cassette of display device | |
JP3211649U (en) | Polishing device for each corner, edge edge surface and edge edge thread surface of substrate | |
CN217228906U (en) | Trolley layer-changing elevator | |
CN218087859U (en) | Glass feeding and discharging mechanism | |
CN110182505A (en) | A kind of plug-type stereo garage for plate storage | |
JP4631433B2 (en) | Substrate transport apparatus and substrate transport method | |
CN218988115U (en) | Glass substrate buffer memory equipment | |
CN219383774U (en) | Hopper promotes conveyor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |