KR20030069684A - Device for fixing mask and Ultraviolet irradiating device using the same - Google Patents

Device for fixing mask and Ultraviolet irradiating device using the same Download PDF

Info

Publication number
KR20030069684A
KR20030069684A KR1020020009613A KR20020009613A KR20030069684A KR 20030069684 A KR20030069684 A KR 20030069684A KR 1020020009613 A KR1020020009613 A KR 1020020009613A KR 20020009613 A KR20020009613 A KR 20020009613A KR 20030069684 A KR20030069684 A KR 20030069684A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
mask
uv
holding device
uv irradiation
characterized
Prior art date
Application number
KR1020020009613A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100595310B1 (en
Inventor
변용상
박무열
정성수
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020020009613A priority Critical patent/KR100595310B1/en
Priority claimed from US10/245,498 external-priority patent/US7006202B2/en
Publication of KR20030069684A publication Critical patent/KR20030069684A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100595310B1 publication Critical patent/KR100595310B1/en

Links

Images

Abstract

PURPOSE: An apparatus for fixing a mask and an apparatus for applying UV(Ultraviolet) using the same are provided to harden a sealant without having a bad influence upon characteristics of an alignment film formed on a bonded substrate and thin film transistors, and efficiently fix a mask. CONSTITUTION: An apparatus for fixing a mask is made up of an upper mechanism(510), a lower mechanism(400), and a plurality of joining screws(600). The lower mechanism is made up of a square frame(410), a plurality of protruded structures(420) formed on an inner surface of the square frame, and a support bar(460) connected to the protruded structures. The plurality of protruded structures are main mask support parts supporting a mask(300) and have first joining parts(450). The support bar is an auxiliary mask support part. The upper mechanism has second joining parts(550) corresponding to the first joining parts of the protruded structures. The mask is put on the protruded structures of the lower mechanism and the upper mechanism is put on the lower mechanism. The plurality of joining screws join the upper mechanism with the lower mechanism for fixing the mask.

Description

마스크 고정장치 및 그를 이용한 UV조사장치{Device for fixing mask and Ultraviolet irradiating device using the same} Mask holding device and using the same UV irradiation device {Device for fixing mask and Ultraviolet irradiating device using the same}

본 발명은 액정표시소자(Liquid Crystal Display : LCD)의 제조장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 UV(Ultraviolet)경화형 씨일재를 경화시키기 위한 UV조사장치에 관한 것이다. The present invention is a liquid crystal display element: relates to a UV irradiation apparatus for curing, more particularly UV (Ultraviolet) curing said iljae relates to a manufacturing apparatus of (Liquid Crystal Display LCD).

표시화면의 두께가 수 센치미터(cm)에 불과한 초박형의 평판표시소자(Flat Panel Display), 그 중에서도 액정표시소자는 동작 전압이 낮아 소비 전력이 적고 휴대용으로 쓰일 수 있는 등의 이점으로 노트북 컴퓨터, 모니터, 우주선, 항공기 등에 이르기까지 응용분야가 넓고 다양하다. Of the thickness of the display screen, only a number of centimeters (cm) the ultra-thin flat panel display devices (Flat Panel Display), a liquid crystal display element among them is a laptop with advantages such that low power consumption operation voltage lowered used as a portable computer, the applications are wide and varied, ranging from monitors, spacecraft, aircraft and so on.

이와 같은 액정표시소자는 일반적으로 도 1과 같이, 박막트랜지스터 (미도시), 화소전극(3), 및 배향막(미도시)이 형성되어 있는 하부기판(1)과, 차광막(4), 칼라필터층(6), 공통전극(8), 및 배향막(미도시)이 차례로 형성되어 있는 상부기판(2)과, 그리고 상기 양 기판(1, 2) 사이에 형성되어 있는 액정층(5)으로 구성되어 있으며, 상기 화소전극(5)과 공통전극(8)에 의해 양 기판(1, 2) 사이에 전기장이 형성되어 액정층(5)이 구동되고, 그 구동되는 액정층(5)을 통해서 광투과도가 조절되어 화상이 디스플레이되게 된다. Such a liquid crystal display device is generally as shown in Figure 1, a thin film transistor (not shown), pixel electrodes 3, and an alignment film (not shown) is formed on the lower substrate (1) and a light-shielding film (4), a color filter layer consists of 6, the common electrode 8, and an alignment film (not shown), the liquid crystal layer 5 is the top board (2) and, and the formation that is formed between the two substrates (1, 2) in this order and the pixel electrode 5 and the common electrode 8, the liquid crystal layer 5, the electric field is formed between the two substrates (1, 2) by being driven, the light transmission through the driven liquid crystal layer 5 is It has been adjusted and the image is presented is displayed.

또한, 상기 양 기판(1, 2) 사이에는 액정(5)이 바깥으로 새는 것을 방지하고양 기판을 접착하기 위해서 씨일재(10)가 형성되어 있다. In addition, a seed iljae 10 is formed to the liquid crystal between the two substrates (1, 2), (5) preventing the leakage to the outside, and adhering the two substrates.

상기 씨일재(10)는 상기 하부기판(1) 또는 상부기판(2) 위에 도포된 후 양 기판(1, 2)의 합착 공정을 거쳐 경화공정을 통해 경화되는데, 열에 의해 경화되는 열경화형 씨일재와 UV에 의해 경화되는 UV경화형 씨일재로 나뉜다. The seed iljae 10 is thermosetting seed iljae that there is cured through a curing process after the laminating step of the two substrates (1, 2) after the coating on the lower substrate 1 or the top board (2), and cured with heat divided into the said UV curable iljae which is cured by UV.

한편, 이와 같은 열경화형 또는 UV경화형 씨일재는 액정표시소자의 제조방식에 따라 변경하여 선택될 수 있다. On the other hand, it may be selected to change according to such a heat-curable or UV curable seal material manufacturing method of a liquid crystal display element.

즉, 하부기판과 상부기판을 제조한 후 양 기판을 합착하고 그 후에 모세관현상과 압력차를 이용하여 합착기판에 액정을 주입시키는 소위 진공주입방식에 있어서는, 양 기판을 합착한 후 액정을 주입하기 전에 씨일재의 경화공정을 수행하므로 일반적으로 씨일재가 가열되는 동안 흘러나온다 하더라도 액정을 오염시킬 염려가 없으므로 열경화형 씨일재를 주로 사용한다. That is, after preparing the lower substrate and the upper substrate coalesced to the substrates, and then using a capillary phenomenon and pressure difference to inject In the liquid crystal after the cementation of the substrates to a so-called vacuum injection method for injecting liquid crystal to the cemented substrate even so before performing the seal material flows out the curing step while the seal material is generally heated to use because there is no fear of contaminating the liquid crystal thermosetting seed iljae mainly.

그러나, 하부기판과 상부기판을 제조한 후 양 기판 중 어느 하나의 기판에 액정을 적하하고 양 기판을 합착하는 소위 액정적하방식에 있어서는, 액정층이 형성된 후에 씨일재의 경화공정을 수행하므로 열경화형 씨일재를 사용하면 씨일재가 가열되는 동안 흘러나와 액정을 오염시키게 된다. However, after preparing the lower substrate and the upper substrate amount which was added dropwise to the liquid crystal in a substrate of the substrate and in the so-called liquid crystal dropping method of laminating the two substrates, after the liquid crystal layer is formed to perform the curing process material seal so thermosetting seed the iljae that flows while the heat seal material, thereby contaminating the liquid crystal. 따라서, 이와 같은 액정적하방식에 의해 액정표시소자를 제조하는 경우에는 UV경화형 씨일재를 주로 사용하게 된다. Therefore, in the case of manufacturing a liquid crystal display device by this liquid crystal dropping method, the same will use seed UV curable iljae mainly.

도 2는 이와 같이 종래의 액정적하방식에 의한 액정표시소자에서 UV경화형 씨일재를 경화시키기 위한 UV조사장치의 개략도로서, 종래의 UV조사장치는 도 2와 같이 기판 스테이지(20)와 상기 기판 스테이지(20) 상측에 위치되며 UV램프(32)가구비된 UV광원부(30)로 이루어져 있다. 2 is thus a schematic view of the UV irradiation unit for curing the UV-curing it said iljae the liquid crystal display device according to the conventional liquid crystal dropping method, a conventional UV irradiation apparatus includes a substrate stage 20 as shown in Figure 2 and the substrate stage located at 20 and the upper side consists of a UV lamp 32, the UV light source non-household 30. the

이와 같은 종래의 UV조사장치를 이용한 씨일재의 경화공정은 상기 UV조사장치의 기판 스테이지(20)에 UV경화형 씨일재(10)가 형성되어 있는 합착기판(1,2)을 안착한 후 상기 UV광원부(30)에서 UV를 조사하여 수행하게 된다. The seal material after curing process using a conventional UV irradiation apparatus is such anchakhan a substrate attached to each other (1, 2) with a UV-curable iljae seed 10 is formed on the substrate stage (20) of the UV irradiation device and the UV light source ( 30) is carried out by UV irradiation at.

한편, 종래의 UV조사장치는 UV광원부(30)에서 조사되는 UV가 합착기판이 안착되는 기판 스테이지(20)의 전면에 조사되도록 되어 있어, 결과적으로 합착기판의 전면에 UV가 조사되게 된다. On the other hand, a conventional UV irradiation apparatus is UV irradiated in a UV light source 30, it is to be irradiated on the entire surface of substrate stage 20 which is cemented substrate loading, and so as a result the UV irradiated to the entire surface of the substrate attached to each other.

그러나, 이와 같이 합착기판의 전면에 UV가 조사되게 되면, 기판 상에 형성된 박막트랜지스터 등의 소자 특성에 악영향이 미치게 되고, 액정의 초기배향을 위해 형성된 배향막의 프리틸트각(pretilt angle)이 변하게 되는 문제점이 발생된다. However, this way when the front of the seated board UV is irradiated, the adverse effects and have on the device characteristics such as thin film transistors formed on a substrate, the pre-tilt angle (pretilt angle) of the alignment film formed for the initial alignment of the liquid crystal is changed this issue occurs.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 배향막 및 박막트랜지스터 등의 특성에 악영향을 미치지 않고 UV경화형 씨일재를 경화시킬 수 있도록, 씨일재 형성영역 이외의 영역으로의 UV조사를 차단하는 마스크를 구비한 UV조사장치를 제공하는 것이다. The present invention is conceived to solve the above problems, it is an object of this invention to the area other than the seed iljae formation region so as to cure the said UV curable iljae without adversely affecting the properties such as orientation film and a thin film transistor UV to provide a UV irradiation apparatus equipped with a mask for blocking the irradiation.

본 발명의 다른 목적은 상기 마스크를 효과적으로 고정시키기 위한 마스크 고정장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a mask holding apparatus for effectively fixing the mask.

도 1은 일반적인 액정표시소자의 개략적 단면도이다. 1 is a schematic cross-sectional view of a general liquid crystal display element.

도 2는 종래의 UV경화형 씨일재를 경화시키기 위한 UV조사장치의 개략적 사시도이다. Figure 2 is a schematic perspective view of the UV irradiation unit for curing the conventional UV-curing said iljae.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 UV조사장치의 개략적 사시도이다. Figure 3 is a schematic perspective view of the UV irradiation device according to one embodiment of the present invention.

도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도이다. Figure 4a is a perspective view of the mask holding device according to one embodiment of the present invention.

도 4b는 도 4a의 마스크 고정장치에 고정된 마스크를 위에서 본 평면도이다. Figure 4b is a plan view from above a mask fixed to the mask holding apparatus of Figure 4a.

도 4c는 도 4b의 AA라인을 자른 단면도이다. Figure 4c is a cross-sectional view taken the line AA of Figure 4b.

도 4d는 도 4b의 BB라인을 자른 단면도이다. Figure 4d is a sectional view taken the line BB of Figure 4b.

도 5 내지 도 10은 각각 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 UV조사장치용 마스크 고정장치의 사시도이다. Figures 5 to 10 is a perspective view of a mask holding device for UV irradiation device according to another embodiment one of the present invention.

<도면의 주요부에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for main part of the figure>

100 : 기판 스테이지 200 : UV광원부 100: substrate stage 200: UV light source

300 : 마스크 400 : 하부기구물 300: mask 400: lower Enclosures

410 : 사각프레임 420 : 돌출구조물 410: rectangular frame 420: projecting structure

430 : 플레이트 형상물 450 : 제1체결부 430: Plate-like materials 450: first coupling part

460 : 지지바 500, 510, 520 : 상부기구물 460: support bar 500, 510, 520: upper Enclosures

550 : 제2체결부 600 : 체결구 550: second connection portion 600: fastener

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 기판 스테이지; In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate stage; UV광원부; UV light source; 상기 기판 스테이지 및 UV광원부 사이에 형성된 마스크; A mask disposed between the substrate stage and the UV light source; 및 상기 마스크를 고정하는 마스크 고정장치로 이루어진 UV조사장치를 제공한다. And it provides a UV irradiation device made of a mask holding device for fixing the mask.

또한, 본 발명은 사각프레임, 상기 사각프레임의 안쪽 면에 형성되며 제1체결부가 구비된 주 마스크 지지부, 및 상기 주 마스크 지지부에 연결되며 UV투과물질로 이루어진 보조 마스크 지지부로 구성된 하부 기구물; The present invention is a rectangular frame, the rectangular frame is formed on the inner surface of the mask is connected to the main support, and wherein the main mask supporting portion having the first fastening portion consisting of the lower auxiliary mask support made of a UV transmitting material Enclosures; 및 상기 주 마스크 지지부의 제1체결부에 대응하는 제2체결부가 구비된 상부 기구물을 포함하는 UV조사장치용 마스크 고정장치를 제공한다. And it provides a mask holding device for UV irradiation device comprising a second fastening portion having a top Enclosures corresponding to the first fastening portion of the mask main support.

또한, 본 발명은 사각프레임, 상기 사각프레임의 안쪽 면에 형성되며 제1체결부가 구비된 주 마스크 지지부, 및 상기 사각프레임의 안쪽 면에 연결되며 UV투과물질로 이루어진 보조 마스크 지지부로 구성된 하부 기구물; In addition, the present invention is formed on the inner surface of the rectangular frame, the rectangular frame is connected to the inner surface of the main mask the support, and wherein the rectangular frame comprises a first fastening portion bottom is configured as a secondary mask support made of a UV transmitting material Enclosures; 및 상기 주 마스크 지지부의 제1체결부에 대응하는 제2체결부가 구비된 상부 기구물을 포함하는 UV조사장치용 마스크 고정장치를 제공한다. And it provides a mask holding device for UV irradiation device comprising a second fastening portion having a top Enclosures corresponding to the first fastening portion of the mask main support.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. It will be described below, the preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings in detail.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 UV조사장치의 개략도로서, 도 3과 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 UV조사장치는 기판 스테이지(100); Figure 3 is a UV irradiation device according to one embodiment of the present invention as a schematic view of the UV irradiation device according to one embodiment of the invention, and Figure 3 includes a substrate stage 100; UV광원부(200); UV light source portion 200; 상기 기판 스테이지(100) 및 UV광원부(200) 사이에 형성된 마스크(300); Mask 300 is formed between the substrate stage 100 and the UV light source (200); 및 상기 마스크(300)를 고정하는 하부기구물(400) 및 상부기구물(500)로 구성된 마스크 고정장치로 이루어져 있다. And it consists of a mask holding device consisting of a lower Enclosures 400 and the upper Enclosures 500 for securing the mask 300.

상기 기판 스테이지(100)는 씨일재(750)가 형성된 합착기판(700)이 안착되는 곳으로서, 대량 생산을 위해서 컨베이어 벨트 등을 이용하여 이동가능 하도록 형성될 수 있다. The substrate stage 100 is a place where seeds iljae 750 is cemented a substrate 700 is seated is formed, it may be formed to mass production so as to be movable by using a conveyor belt or the like.

상기 UV광원부(200)에는 UV램프(210)가 형성되어 있는데, 도면에는 하나의 UV램프만이 도시되어 있으나, 기판이 대면적화 됨에 따라 복수개의 UV램프가 형성될 수 있다. There is a UV light source 200 is a UV lamp 210 is formed, the drawing has a plurality of UV lamps can be formed as a single UV lamp only and are illustrated, the large area substrate.

상기 마스크(300)는 합착기판(700)의 씨일재(750) 형성 영역으로만 UV가 조사되도록 상기 씨일재(750) 패턴과 동일한 패턴(310)이 형성되어 있다. The mask 300 has the same pattern (310) and the seed iljae 750 pattern is formed so that only UV irradiation to said iljae 750 forming area of ​​the substrate attached to each other (700). 따라서, 액정표시소자의 모델이 변경되어 씨일재(750) 패턴이 변경되면 상기 마스크 패턴(310)도 변경하여 형성된다. Thus, the model of a liquid crystal display element is changed when said iljae 750, the pattern is changed is formed in the mask pattern 310 is also changed.

이와 같은 마스크(300)는 상기 하부기구물(400)과 상부기구물(500) 사이에 위치되어 고정되는데, 상기 하부기구물(400)과 상부기구물(500)의 구조, 및 상기 마스크(300)가 마스크 고정장치에 고정되는 모습을 이하에 설명한다. Such a mask 300 is fixed there is fixed is positioned between the lower Enclosures 400 and the upper Enclosures 500, a structure, and the mask 300 of the lower Enclosures 400 and the upper Enclosures 500, the mask It will be described a state fixed to the device in the following.

도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도이고, 도 4b는 도 4a의 마스크 고정장치에 고정된 마스크를 위에서 본 평면도이고, 도 4c 및 도 4d는 각각 도 4b의 AA라인 및 BB라인을 자른 단면도이다. Figure 4a is a perspective view of the mask holding device according to one embodiment of the invention, Figure 4b is a plan view seen from above the mask holding a mask holding apparatus of Figure 4a, in Fig. 4c and 4b Figure 4d are each AA line and a cross-sectional view taken a line BB.

도 4a와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 고정장치는 하부기구물(400), 상부기구물(510), 그리고 상기 하부기구물(400)에 상부기구물(510)을 체결하기 위한 체결구(600)로 이루어져 있다. As shown in Figure 4a, the mask holding device in accordance with one embodiment of the present invention, fastening for fastening an upper Enclosures 510 to the lower Enclosures 400, the upper Enclosures 510, and the lower Enclosures 400 port (600 ) it made up.

이때, 상기 하부기구물(400)은 사각프레임(410), 및 상기 사각프레임(410)의 안쪽 면에 형성된 복수개의 돌출구조물(420), 상기 돌출구조물(420)에 연결된 지지바(460)로 이루어져 있고, 상기 사각프레임(410)의 모서리부에 있는 돌출구조물에는 제1체결부(450)가 형성되어 있다. At this time, the lower Enclosures 400 is made up of a rectangular frame 410, and the support bar 460 is connected to the plurality of protruding structure 420, the protruding structure 420 is formed on the inside surface of the square frame 410 and, a first coupling portion 450 is formed in the protruding structure at the corner portion of the rectangular frame 410.

상기 돌출구조물(420)은 마스크를 지지하는 주 마스크 지지부이고, 상기 지지바(460)는 보조 마스크 지지부이다. The protruding structure 420 is the primary mask support for supporting a mask, the support bar 460 is an auxiliary mask support. 즉, 기판이 대면적화됨에 따라 마스크의 크기가 증가되어 상기 돌출구조물(420)만으로 마스크를 지지하게 되면 마스크의 중앙부가 쳐지게 될 우려가 있다. That is, if as the substrate is large area is increased, the size of the mask supporting the mask with only the protruding structure 420, there is a fear that a central portion of the mask that will be ruined. 따라서, 상기 지지바(460)를 형성하여 마스크의 처짐을 방지하는 것이다. Therefore, to prevent the sagging of the mask to form the support bar (460).

이때, 합착기판의 씨일재에 UV가 조사되는 영역인 마스크(300)의 패턴(310) 중 일부가 상기 보조 마스크 지지부인 지지바(460)와 겹쳐지게 되므로, 상기 지지바(460)는 아크릴, 석영 등과 같은 UV가 투과가 가능한 물질로 형성된다. At this time, since the portion of the pattern 310 of the mask 300, regions that UV irradiation in the seeds, cemented substrate iljae the overlap and the side mask support denied support bar 460. The support bar 460 is acrylic, the UV, such as quartz, is formed in the permeable material.

상기 돌출구조물(420) 및 지지바(460)는 도면과 같이 상기 사각프레임(410)의 좌우 면에 형성될 수도 있고, 사각프레임(410)의 상하면에 형성될 수도 있다. The protruding structure 420 and the support bar 460 as shown in the drawing may be formed on the right and left sides of the rectangular frame 410, it may be formed on upper and lower surfaces of the rectangular frame 410. 또한, 상기 돌출구조물(420) 및 지지바(460)의 폭은 다양하게 변경될 수 있고, 상기 지지바(460)는 2개 이상의 복수개로 형성될 수도 있다. In addition, the width can be changed in various ways in the protruding structure 420 and the support bar 460, the support bar 460 may be formed from two or more plural.

상기 상부기구물(510)은 한 쌍의 일자형 기구물의 형상으로, 상기 상부기구물(510)에는 상기 돌출구조물(420)의 제1체결부(450)에 대응하도록 제2체결부(550)가 형성되어 있다. The upper Enclosures 510 is formed in the shape of a line-type Enclosures of the pair, the upper Enclosures 510, the first fastening part 450 and the second fastening part 550 to correspond to the protruding structure 420 have.

이와 같은 상부기구물(510)은 하부기구물(400)의 사각프레임(410) 안쪽에 형성된 돌출구조물(420)에 체결되는 것으로 그에 대응하는 크기로 형성된다. This upper Enclosures 510 is to be fastened to the protruding structure 420 formed inside the rectangular frame 410 of the lower Enclosures 400 is formed to a size corresponding thereto.

상기 구성의 마스크 고정장치에 마스크를 고정하는 방법은 도 4b, 도 4c, 및 도 4d에서 알 수 있듯이, 상기 하부기구물(400)의 돌출구조물(420)에 마스크(300)를 위치시키고, 그 위에 상기 상부기구물(510)을 위치시킨 후, 상기돌출구조물(420)의 제1체결부(450)와 상기 상부기구물(510)의 제2체결부(550)에 체결구(600)를 형성함으로써, 결국 마스크(300)를 고정시키게 된다. As methods for fixing the mask to the mask holding device of the above structure can be seen in Figure 4b, Figure 4c, and 4d, to position the mask 300, the protruding structure 420 of the lower Enclosures 400 and thereon by forming the first connection part 450 and the second fastening unit 550, the fastener 600 to the upper Enclosures 510 of the protrusion structure 420. after placing the upper Enclosures 510, After all, thereby securing the mask 300.

한편, 전술한 바와 같이 마스크(300)는 제품 모델에 따라 그 패턴이 변경되어 교체되어야 한다. On the other hand, as described above, the mask 300 is to be replaced is that the pattern is changed depending on the model. 따라서, 상기 체결구(600)는 상기 하부기구물(400)에 상부기구물(510)을 영구적으로 체결하는 것이 아니라, 볼트 등과 같이 탈착이 가능한 것이 바람직하다. Thus, the fastener 600 is not to enter into a top Enclosures 510 to the lower Enclosures 400 permanently, it is preferably a removable, such as a bolt.

또한, 상기 마스크(300)의 패턴(310)은 UV가 통과되어 합착기판의 씨일재에 UV가 조사되는 영역이므로, 상기 마스크(300)의 패턴(310)이 상기 마스크 고정장치 내부까지 침입한 경우는 결과적으로 합착기판의 씨일재에 UV가 조사되지 않게 된다. In addition, in the case where because it is a pattern 310 of the mask 300 is a region to which UV is passed through UV irradiation to seeds, cemented substrate iljae pattern 310 of the mask 300 from entering the interior of the mask holding device is the result of UV Mr. iljae cemented board does not investigate. 따라서, 상기 마스크(300)를 고정하고 있는 하부기구물의 돌출구조물(420)과 상부기구물(510)은 아크릴, 석영 등과 같은 UV가 투과가 가능한 물질로 형성되는 것이 바람직하다. Therefore, it is preferred that the UV, such as projecting formations 420 and the upper Enclosures 510 of the lower Enclosures that secure the mask 300 is acrylic, quartz is formed in the permeable material.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도로서, 지지바(460)가 돌출구조물(420)에 연결된 것이 아니라, 사각프레임(410)의 안쪽면에 연결된 것을 제외하고 전술한 도 4에 따른 실시예와 동일하다. Figures 5a and 5b is a perspective view of a mask holding apparatus in accordance with another embodiment of the invention, the support bar 460 is not connected to the protruding structure 420, except that associated with the inside face of the square frame 410 and it is equal to the embodiment according to FIG. 4. 따라서, 동일한 도면부호를 부여하였다. Thus, it assigned the same reference numerals.

이때, 도 5a는 지지바(460)가 복수개의 돌출구조물(420) 사이의 사각프레임(410)의 안쪽면에 연결된 것에 관한 것이고, 도 5b는 지지바(460)가 돌출구조물(420)이 형성되지 않은 사각프레임(410)의 안쪽면에 연결된 것에 관한 것이다. In this case, Fig. 5a is a support bar 460 that relates to the connected on the inside of the rectangular frame 410 between the plurality of protruding structure 420, Fig. 5b shows the support bar 460. The protruding structure 420 is formed non relates connected to the inner surface of the rectangular frame 410. the

한편, 도면에 도시하지 않았으나, 도 4a, 도 5a, 및 도 5b에 도시된 지지바(460)를 조합하여 복수개 형성하는 것도 가능하다. On the other hand, although not shown in the figures, a combination of a support bar 460, shown in Figure 4a, Figure 5a, and 5b it is possible to form a plurality.

도 6은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도로서, 도 6에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치는 복수개의 돌출구조물(420)을 사각프레임(410)의 상하 또는 좌우 안쪽 면에 형성시킨 것이 아니라, 상하 및 좌우의 네면 모두에 형성시켜 보다 안정적으로 마스크를 지지할 수 있도록 한 것이다. Figure 6 As can be seen a perspective view of the mask holding device in accordance with another embodiment of the present invention, in Figure 6, the mask holding device in accordance with another embodiment of the present invention includes a plurality of projecting structures 420 the top and bottom or left and right, rather than that formed on the inner surface of the rectangular frame 410, so as to form both the upper and lower and right and left nemyeon to one so as to support the mask more stably.

한편, 도 6에는 지지바(460)가 돌출구조물(420)에 연결되어 있으나, 도 5b와 같이 복수개의 돌출구조물(420) 사이의 사각프레임(410)의 안쪽면에 연결될 수도 있다. On the other hand, FIG. 6 may be connected to the inner surface of the rectangular frame 410 between the support bar 460 with a plurality of projecting structures as, but is connected to the protruding structure 420, and Figure 5b (420).

도 7a 및 도 7b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도로서, 본 발명의 또 다른 일 실시예는 상부기구물로서 한 쌍의 일자형 기구물을 사용한 것이 아니라, 사각형 기구물(520)을 사용한 것에 관한 것이다. Figure 7a and Figure 7b is a perspective view of a mask holding apparatus in accordance with another embodiment of the present invention, another embodiment of the present invention is not using a line-type Enclosures of the pair as upper Enclosures, square Enclosures 520 the present invention relates to the use. 이와 같이, 사각형 기구물(520)을 상부기구물로서 사용함으로써 보다 안정적으로 마스크를 고정시킬 수 있다. In this way, it is possible to secure the mask more stably by using a square Enclosures 520 as the upper Enclosures.

이때, 도 7a에 도시된 마스크 고정장치는 돌출구조물(420)이 사각프레임(410)의 좌우 또는 상하 안쪽 면에 형성된 것에 관한 것이고, 도 7b에 도시된 마스크 고정장치는 돌출구조물(420)이 사각프레임(410)의 좌우 및 상하 안쪽 네 면에 형성된 것에 관한 것이다. At this time, also the mask holding device shown in 7a is protruded structure 420 relates to formed in the right and left or upper and lower inner surfaces of the rectangular frame 410, the mask holding device projecting structure 420 shown in Figure 7b is rectangular the left and right of the frame 410 and directed towards the inside is formed on the upper and lower four sides.

또한, 지지바(460)는 도 4a, 도 5a, 및 도 5b에 도시된 바와 같이 다양하게연결되어 형성될 수 있다. In addition, support bar 460 may be formed by a variety of connection as shown in Figure 4a, Figure 5a, and 5b.

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도로서, 본 발명의 또 다른 일 실시예는 마스크를 지지하는 주 지지부로서 돌출구조물이 아니라 플레이트 형상물(430)을 사각프레임(410)의 좌우 또는 상하 안쪽 면에 형성한 것에 관한 것이다. Figures 8a and 8b is a perspective view of a mask holding apparatus in accordance with another embodiment of the present invention, another embodiment of the present invention is square to the plate shaped material 430, not protruding structure as the primary support for supporting the mask It relates to the formation of the left and right or up and down the inner surface of the frame 410.

이때, 보조 지지부인 지지바(460)는 도 8a와 같이 플레이트 형상물(430)에 연결될 수도 있고, 도 8b와 같이 사각프레임(410)에 연결될 수도 있으며, 도 8a 및 도 8b의 지지바(460)가 조합되어 형성될 수도 있다. At this time, the auxiliary supporting deny the support bar 460 as shown in FIG. 8a may be connected to the plate shaped material 430, may be connected to the rectangular frame 410 as shown in Figure 8b, the support bar 460 of FIG. 8a and 8b the combination may be formed. 또한 지지바(460)를 복수개 형성하는 것도 가능하다. It is also possible to form the support bar 460 is a plurality. 그 외의 부분은 전술한 실시예를 통해 충분히 이해할 수 있을 것이다. The other portion will be understood fully by the above-described embodiments.

도 9는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도로서, 플레이트 형상물(430)을 사각프레임(410)의 좌우 또는 상하 안쪽면에 형성한 것이 아니라, 좌우 및 상하 안쪽 네면에 형성한 것을 제외하고 전술한 도 8에 따른 마스크 고정장치와 동일하다. 9 is formed in addition a perspective view of another exemplary mask holding device according to the embodiment, the inside rather than the formation of the plate shaped material 430 to the right and left or upper and lower inner surfaces of the rectangular frame 410, left and right and up and down nemyeon of the invention and one is equal to the mask holding device according to the above-described FIG. 8, except that.

도 10a 및 도 10b는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 고정장치의 사시도로서, 본 발명의 또 다른 일 실시예는 하부기구물의 주 마스크 지지부로서 플레이트 형상물(430)을 사용하고, 상부기구물로서 한 쌍의 일자형 기구물을 사용한 것이 아니라, 사각형 기구물(520)을 사용한 것에 관한 것이다. Figure 10a and Figure 10b is a perspective view of a mask holding apparatus in accordance with another embodiment of the present invention, another embodiment of the present invention using a plate shaped material 430 as a main mask supporting part of the lower Enclosures upper Enclosures rather than used as a pair of line-type Enclosures, it relates to the use of square Enclosures 520.

이때, 도 10a에 도시된 마스크 고정장치는 돌출구조물(420)이 사각프레임(410)의 좌우 또는 상하 안쪽 면에 형성된 것에 관한 것이고, 도 10b에도시된 마스크 고정장치는 돌출구조물(420)이 사각프레임(410)의 좌우 및 상하 안쪽 네 면에 형성된 것에 관한 것이다. At this time, the mask holding device shown in Figure 10a projecting structures 420 are left and right, or relates to formed on the upper and lower inner surface, the mask holding device projecting structure 420 when in FIG. 10b of the rectangular frame 410 is rectangular the left and right of the frame 410 and directed towards the inside is formed on the upper and lower four sides.

또한, 지지바(460)는 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이 다양하게 연결되어 형성될 수 있다. In addition, support bar 460 may be formed by a variety of connection as shown in Figure 8a and 8b.

이상, 본 발명에 따른 다양한 형태의 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 범위내에서 변경 실시될 수 있을 것이다. Or more, has been described the embodiment of the various forms in accordance with the invention, the invention is not limited to the above embodiment, the change may be practiced within the scope apparent to those having ordinary skill in the art There will be.

본 발명에 따르면 UV경화형 씨일재 형성 영역 이외의 영역을 마스크로 가리고 UV조사를 수행할 수 있어 합착기판 상에 형성된 배향막 및 박막트랜지스터 등의 특성에 악영향을 미치지 않고 UV경화형 씨일재를 경화시킬 수 있다. According to the invention the UV curable seed covered by a region other than iljae forming region as a mask, it is possible to perform the UV irradiation can be cured to said UV curable iljae without adversely affecting the properties such as orientation film and a thin film transistor formed on a cemented substrate .

또한, 본 발명에 따른 마스크 고정장치는 상기 마스크의 처짐을 방지하며 마스크를 보다 효율적으로 고정시킬 수 있으며, 합착기판의 씨일재 패턴이 변경되어 마스크 패턴이 변경된다 하더라도 다양하게 적용 가능하다. In addition, the mask holding device in accordance with the present invention prevents sagging of the mask and may be efficiently fixed to than the mask, the seed is changed iljae pattern of the substrate can be attached to each other in several different ways, even if the mask pattern is changed.

Claims (14)

  1. 사각프레임, 상기 사각프레임의 안쪽 면에 형성되며 제1체결부가 구비된 주 마스크 지지부, 및 상기 주 마스크 지지부에 연결되며 UV투과물질로 이루어진 보조 마스크 지지부로 구성된 하부 기구물; Rectangular frame, formed on the inner surface of the rectangular frame is connected to the main support part a mask, and the mask main support portion having the first fastening portion consisting of the lower auxiliary mask support made of a UV transmitting material Enclosures; And
    상기 주 마스크 지지부의 제1체결부에 대응하는 제2체결부가 구비된 상부 기구물을 포함하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. Mask holding device for UV irradiation device comprising a second fastening portion having a top Enclosures corresponding to the first fastening portion of the mask main support.
  2. 사각프레임, 상기 사각프레임의 안쪽 면에 형성되며 제1체결부가 구비된 주 마스크 지지부, 및 상기 사각프레임의 안쪽 면에 연결되며 UV투과물질로 이루어진 보조 마스크 지지부로 구성된 하부 기구물; Rectangular frame, formed on the inner surface of the square frame are connected to the inner surface of the first fastening part provided with the mask main support part, and the rectangular frame and consisting of a lower auxiliary mask support made of a UV transmitting material Enclosures; And
    상기 주 마스크 지지부의 제1체결부에 대응하는 제2체결부가 구비된 상부 기구물을 포함하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. Mask holding device for UV irradiation device comprising a second fastening portion having a top Enclosures corresponding to the first fastening portion of the mask main support.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, According to claim 1 or 2,
    상기 주 마스크 지지부는 복수개의 돌출 구조물로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. The primary support portion is a mask mask holding device for UV irradiation device according to claim consisting of a plurality of projecting structures.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, According to claim 1 or 2,
    상기 주 마스크 지지부는 플레이트 형상물로 이루어진 것을 특징으로 하는UV조사장치용 마스크 고정장치. Mask holding device for supporting the main mask is UV irradiation apparatus, it characterized in that the plate-like materials made of.
  5. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, According to claim 1 or 2,
    상기 주 마스크 지지부는 상기 사각프레임의 좌우 또는 상하의 마주보는 한 쌍의 면에 형성된 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. The primary support portion is a mask mask holding device for UV irradiation apparatus, characterized in that formed on the surface of the pair of right and left or upper and lower viewing face of the rectangular frame.
  6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, According to claim 1 or 2,
    상기 주 마스크 지지부는 상기 사각프레임의 좌우 및 상하의 네 면에 형성된 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. The primary support portion is a mask mask holding device for UV irradiation apparatus, characterized in that formed on the left and right and above and below the four sides of the rectangular frame.
  7. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, According to claim 1 or 2,
    상기 보조 마스크 지지부는 UV투과가 가능한 아크릴 또는 석영으로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. Mask holding device for UV irradiation apparatus, it characterized in that the auxiliary mask support is made of acrylic or a UV permeable quartz.
  8. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, According to claim 1 or 2,
    상기 주 마스크 지지부는 UV투과물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. Mask holding device for supporting the main mask is UV irradiation apparatus, characterized in that consisting of UV-transparent material.
  9. 제 8항에 있어서, The method of claim 8,
    상기 주 마스크 지지부는 UV투과가 가능한 아크릴 또는 석영으로 이루어진것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. Mask holding device for supporting the main mask is UV irradiation apparatus is characterized by being a acrylic or quartz is UV permeable.
  10. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, According to claim 1 or 2,
    상기 상부기구물은 한 쌍의 일자형 기구물로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. Mask holding device for the upper unauthorized devices may UV irradiation apparatus, characterized in that made up of a pair of line-type Enclosures.
  11. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, According to claim 1 or 2,
    상기 상부기구물은 사각형 기구물로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. Mask holding device for the upper unauthorized devices may UV irradiation apparatus, characterized in that made in a square Enclosures.
  12. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, According to claim 1 or 2,
    상기 상부기구물은 UV투과물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. Mask holding device for the upper unauthorized devices may UV irradiation apparatus, characterized in that consisting of UV-transparent material.
  13. 제 12항에 있어서, 13. The method of claim 12,
    상기 상부기구물은 UV투과가 가능한 아크릴 또는 석영으로 이루어진 것을 특징으로 하는 UV조사장치용 마스크 고정장치. Mask holding device for the upper unauthorized devices may UV irradiation apparatus is characterized by being a acrylic or quartz is UV permeable.
  14. 기판 스테이지; A substrate stage;
    UV광원부; UV light source;
    상기 기판 스테이지 및 UV광원부 사이에 형성된 마스크; A mask disposed between the substrate stage and the UV light source; And
    상기 제 1항 내지 제 13항 중 어느 한 항의 마스크 고정장치로 이루어진 UV조사장치. Wherein any one of claims 1 to 13 UV irradiation device consisting of any one of the mask holding apparatus of the claims.
KR1020020009613A 2002-02-22 2002-02-22 Device for fixing mask and Ultraviolet irradiating device using the same KR100595310B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020009613A KR100595310B1 (en) 2002-02-22 2002-02-22 Device for fixing mask and Ultraviolet irradiating device using the same

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020009613A KR100595310B1 (en) 2002-02-22 2002-02-22 Device for fixing mask and Ultraviolet irradiating device using the same
US10/245,498 US7006202B2 (en) 2002-02-21 2002-09-18 Mask holder for irradiating UV-rays
JP2003017315A JP4101669B2 (en) 2002-02-21 2003-01-27 Mask fixing device and, uv irradiation apparatus using the same
CN 03103033 CN100440039C (en) 2002-02-21 2003-01-28 Mask stand for ultraviolet exposure
US11/318,444 US8189167B2 (en) 2002-02-21 2005-12-28 Mask holder for irradiating UV-rays

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030069684A true KR20030069684A (en) 2003-08-27
KR100595310B1 KR100595310B1 (en) 2006-07-03

Family

ID=32222299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020009613A KR100595310B1 (en) 2002-02-22 2002-02-22 Device for fixing mask and Ultraviolet irradiating device using the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100595310B1 (en)

Cited By (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8631761B2 (en) 2011-06-21 2014-01-21 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin-film deposition
US8707889B2 (en) 2011-05-25 2014-04-29 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8833294B2 (en) 2010-07-30 2014-09-16 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including patterning slit sheet and method of manufacturing organic light-emitting display device with the same
US8852687B2 (en) 2010-12-13 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8859325B2 (en) 2010-01-14 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8859043B2 (en) 2011-05-25 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8865252B2 (en) 2010-04-06 2014-10-21 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8871542B2 (en) 2010-10-22 2014-10-28 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882920B2 (en) 2009-06-05 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882922B2 (en) 2010-11-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8882921B2 (en) 2009-06-08 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882556B2 (en) 2010-02-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8894458B2 (en) 2010-04-28 2014-11-25 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8906731B2 (en) 2011-05-27 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8916237B2 (en) 2009-05-22 2014-12-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film
US8951610B2 (en) 2011-07-04 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8968829B2 (en) 2009-08-25 2015-03-03 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8973525B2 (en) 2010-03-11 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8993360B2 (en) 2013-03-29 2015-03-31 Samsung Display Co., Ltd. Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus
US9040330B2 (en) 2013-04-18 2015-05-26 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus
US9121095B2 (en) 2009-05-22 2015-09-01 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9249493B2 (en) 2011-05-25 2016-02-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
US9279177B2 (en) 2010-07-07 2016-03-08 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9388488B2 (en) 2010-10-22 2016-07-12 Samsung Display Co., Ltd. Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9450140B2 (en) 2009-08-27 2016-09-20 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
US9593408B2 (en) 2009-08-10 2017-03-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including deposition blade
US9624580B2 (en) 2009-09-01 2017-04-18 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9748483B2 (en) 2011-01-12 2017-08-29 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same
US10246769B2 (en) 2010-01-11 2019-04-02 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05216215A (en) * 1992-02-04 1993-08-27 Ibiden Co Ltd Mask panel for exposure
JPH08190206A (en) * 1994-11-09 1996-07-23 Ibiden Co Ltd Photomask fixing tool for aligner
KR200187016Y1 (en) * 1997-12-29 2000-08-01 유무성 Mask moving apparatus for exposure two faces
JP2001356312A (en) 2000-06-13 2001-12-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Manufacturing method of liquid crystal display element and uv irradiation device used for the manufacturing method

Cited By (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8916237B2 (en) 2009-05-22 2014-12-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film
US9121095B2 (en) 2009-05-22 2015-09-01 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9873937B2 (en) 2009-05-22 2018-01-23 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882920B2 (en) 2009-06-05 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8882921B2 (en) 2009-06-08 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9593408B2 (en) 2009-08-10 2017-03-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including deposition blade
US8968829B2 (en) 2009-08-25 2015-03-03 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9450140B2 (en) 2009-08-27 2016-09-20 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same
US9624580B2 (en) 2009-09-01 2017-04-18 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8876975B2 (en) 2009-10-19 2014-11-04 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US9224591B2 (en) 2009-10-19 2015-12-29 Samsung Display Co., Ltd. Method of depositing a thin film
US10287671B2 (en) 2010-01-11 2019-05-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US10246769B2 (en) 2010-01-11 2019-04-02 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8859325B2 (en) 2010-01-14 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8882556B2 (en) 2010-02-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9453282B2 (en) 2010-03-11 2016-09-27 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8973525B2 (en) 2010-03-11 2015-03-10 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus
US8865252B2 (en) 2010-04-06 2014-10-21 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US9136310B2 (en) 2010-04-28 2015-09-15 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8894458B2 (en) 2010-04-28 2014-11-25 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US9279177B2 (en) 2010-07-07 2016-03-08 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method
US8833294B2 (en) 2010-07-30 2014-09-16 Samsung Display Co., Ltd. Thin film deposition apparatus including patterning slit sheet and method of manufacturing organic light-emitting display device with the same
US8871542B2 (en) 2010-10-22 2014-10-28 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method
US9388488B2 (en) 2010-10-22 2016-07-12 Samsung Display Co., Ltd. Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8882922B2 (en) 2010-11-01 2014-11-11 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8852687B2 (en) 2010-12-13 2014-10-07 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US9748483B2 (en) 2011-01-12 2017-08-29 Samsung Display Co., Ltd. Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same
US9249493B2 (en) 2011-05-25 2016-02-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same
US9076982B2 (en) 2011-05-25 2015-07-07 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8707889B2 (en) 2011-05-25 2014-04-29 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8859043B2 (en) 2011-05-25 2014-10-14 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same
US8906731B2 (en) 2011-05-27 2014-12-09 Samsung Display Co., Ltd. Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus
US8631761B2 (en) 2011-06-21 2014-01-21 Samsung Display Co., Ltd. Mask frame assembly for thin-film deposition
US8951610B2 (en) 2011-07-04 2015-02-10 Samsung Display Co., Ltd. Organic layer deposition apparatus
US8993360B2 (en) 2013-03-29 2015-03-31 Samsung Display Co., Ltd. Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus
US9040330B2 (en) 2013-04-18 2015-05-26 Samsung Display Co., Ltd. Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR100595310B1 (en) 2006-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6705584B2 (en) Liquid crystal display device
CN1230705C (en) Liquid crystal display panel and method for mfg. same
KR100597141B1 (en) Liquid crystal display panel with fluid control wall
CN1230706C (en) Liquid crystal display board and method for making same
CN100401169C (en) Method for manufacturing liquid-crystal display device
US7391493B2 (en) Liquid crystal display device having column spacers and method of fabricating the same
KR100720414B1 (en) Method for manufacturing liquid crystal display device
US6373547B2 (en) Liquid crystal display device having pole spacers formed over optical shield film
KR100785147B1 (en) Method of manufacturing liquid crystal display device
KR100662496B1 (en) Liquid Crystal Display Device and Method of manufacturing the same
KR100382586B1 (en) A liquid crystal display device and a method of manufacturing the same
KR100685949B1 (en) A Liquid Crystal Display Device And The Method For Manufacturing The Same
JP2006189842A (en) Liquid crystal display device and manufacturing method thereof
KR19990068245A (en) Method of manufacturing liquid crystal display device
JPH08271871A (en) Display device
JPH11109388A (en) Production of liquid crystal display device
KR20050096806A (en) Liquid crystal display device and method of manufacturing liquid crystal display device
KR100652045B1 (en) A Liquid Crystal Display Device And The Method For Manufacturing The Same
JP2006301575A (en) Liquid crystal display device and method for fabricating same
JPH10319430A (en) Liquid crystal display device
CN102902086A (en) Display device and method of fabricating the same
CN1439916A (en) Mask stand for ultraviolet exposure
CN1325980C (en) Method for mfg. liquid crystal display device
JP5123078B2 (en) The liquid crystal display device and manufacturing method
KR20020036121A (en) Method for manufacturing liquid crystal display panel

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120330

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130329

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150528

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160530

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180515

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190515

Year of fee payment: 14