KR20030025205A

KR20030025205A - 광학 소자의 검사 장치 및 광학 소자의 검사 방법

Info

Publication number: KR20030025205A
Application number: KR1020020056869A
Authority: KR
Inventors: 기타바야시마사시; 다카도유지
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2001-09-19
Filing date: 2002-09-18
Publication date: 2003-03-28
Anticipated expiration: 2022-09-18
Also published as: TW544544B; US6885465B2; KR100485562B1; US20030063293A1; JP2003090781A; CN1405601A; JP3931605B2; CN1220905C

Abstract

본 발명의 과제는 광학 소자에 있어서의 각 반사면의 상대 위치를 검사할 수 있는 광학 소자의 검사 장치 및 광학 소자의 검사 방법을 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 광학 소자의 검사 장치는, 크로스 다이크로익 프리즘(45)을 설치하는 스탠드(610)와, 4개의 반사면 중 어느 것에 대하여, 입사각 45도로 측정광을 도입하는 동시에, 그 복귀광을 검출하는 오토콜리메이터(620)와, 좌측 영역 및 우측 영역 중 어느 한쪽 영역에만 측정광을 도입하는 전환 장치(630)를 구비한다. 전환 장치(630)에 의해, 색 반사면에 있어서의 어느 한쪽 영역의 반사면에만 측정광을 도입하여, 각 색 반사면에서의 2개의 반사면 사이의 상대 위치를 간단히 검사할 수 있다.

Description

광학 소자의 검사 장치 및 광학 소자의 검사 방법{INSPECTION APPARATUS AND METHOD FOR AN OPTICAL ELEMENT}

본 발명은 광학 소자의 검사 장치 및 광학 소자의 검사 방법에 관한 것이다.

종래, 복수의 색광을 화상 정보에 따라 각 색광마다 변조하는 복수의 액정 패널과, 각 액정 패널로 변조된 색광을 합성하는 광학 소자로서의 크로스 다이크로익 프리즘과, 이 크로스 다이크로익 프리즘으로 합성된 광속을 확대 투사하여 투사 화상을 형성하는 투사 렌즈를 구비한 프로젝터가 이용되고 있다. 이러한 프로젝터는, 예컨대 광원으로부터 사출된 광속을 다이크로익 미러에 의해 RGB의 삼색의 색광으로 분리하고, 3장의 액정 패널에 의해 각 색광마다 화상 정보에 따라 변조하며, 변조 후의 광속을 크로스 다이크로익 프리즘으로 합성하여, 투사 렌즈를 거쳐 컬러 화상을 확대 투사하고 있다.

이러한 크로스다이크로익 프리즘은 4개의 직각 프리즘을 각 계면을 따라 형성한 대략 입방체 형상의 프리즘이다. 또한, 4개의 접합면에 있어서, 연장 방향에 따른 2개의 반사면쌍에는 소정 파장 영역을 갖는 적색광을 반사하는 유전체 다층막이 설치되고, 또한 연장 방향에 따른 다른 2개의 반사면쌍에는, 상술한 바와는 상이한 파장 영역을 갖는 청색광을 반사하는 유전체 다층막이 설치되어 있다. 즉, 크로스 다이크로익 프리즘의 내부에는 4개의 반사면이 X자 형상으로 배치되어 있다.

따라서, 선명한 투사 화상을 얻기 위해서는, X자 형상의 각 반사면이 각 액정 패널에 대하여 소정의 방향을 확실히 향하고 있을 필요가 있다. 이 때문에, 종래에는 크로스 다이크로익 프리즘의 외형 크기와, 각 직각 프리즘의 단부끼리를 맞대어 형성되는 교선, 즉 적색광을 반사하는 반사면과 청색광을 반사하는 반사면과의 교선을 기초로 하여, 크로스 다이크로익 프리즘을 고정 부재에 고정밀도로 고정하여 유닛화하고, 이 유닛마다 프로젝터내에 저장하여 각 반사면의 방향을 특정하고 있었다.

그러나, 이러한 방법으로는 각 액정 패널에 대한 크로스 다이크로익 프리즘의 위치를 조정할 수 있지만, 어디까지나 크로스 다이크로익 프리즘을 외형 기준으로 조정하고 있는 것에 지나지 않기 때문에, 크로스 다이크로익 프리즘 내부에 있어서의 각 반사면간의 상대 변위를 검사할 수 없다는 문제가 있었다.

또한, 이러한 문제는 상술한 크로스 다이크로익 프리즘에 한정되지 않고, 4개의 반사면을 갖는 접합 미러 등의 그 밖의 광학 소자에 있어서도 동일했다.

본 발명의 목적은, 광학 소자에 있어서의 각 반사면의 상대 위치를 검사할 수 있는 광학 소자의 검사 장치 및 광학 소자의 검사 방법을 제공하는 것에 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 광학 소자의 검사 장치로 검사되는 광학 소자로서의 크로스 다이크로익 프리즘을 포함하는 프로젝터의 구조를 도시하는 모식도,

도 2는 상기 프로젝터의 구조를 도시하는 외관 사시도,

도 3은 상기 크로스 다이크로익 프리즘을 도시하는 분해 평면도,

도 4는 상기 실시 형태에 있어서의 광학 부품의 구조를 도시하는 사시도,

도 5는 상기 실시 형태에 있어서의 고정판을 도시하는 평면도,

도 6은 상기 실시 형태에 있어서의 크로스 다이크로익 프리즘 및 고정판을 도시하는 측면도,

도 7은 상기 광학 소자의 검사 장치를 도시하는 정면도,

도 8은 상기 광학 소자의 검사 장치를 도시하는 평면도,

도 9는 상기 광학 소자의 검사 장치를 도시하는 측면도,

도 10은 상기 실시 형태에 있어서의 오토콜리메이터를 도시하는 도면,

도 11은 상기 오토콜리메이터에 있어서의 3 CCD 카메라의 주요부를 도시하는도면,

도 12는 상기 실시 형태에 있어서의 처리부를 도시하는 블록도,

도 13은 상기 광학 소자의 검사 장치에 있어서의 전환 장치를 도시하는 정면도,

도 14는 상기 전환 장치를 도시하는 측면도,

도 15는 상기 실시 형태에 있어서의 컴퓨터를 도시하는 블록도,

도 16은 상기 검사 장치에 의한 검사 공정을 도시하는 흐름도,

도 17은 상기 실시 형태에 있어서의 오토콜리메이터의 조정 공정을 설명하기 위한 흐름도,

도 18은 상기 실시 형태에 있어서의 반사 미러의 조정 공정을 설명하기 위한 흐름도,

도 19는 상기 실시 형태에 있어서의 CCD 카메라의 조정 공정을 설명하기 위한 흐름도,

도 20은 상기 실시 형태에 있어서의 CCD 카메라의 조정 공정을 설명하기 위한 도면,

도 21은 상기 실시 형태에 있어서의 각 반사면의 편차량을 검사하는 공정을 설명하기 위한 흐름도,

도 22는 상기 실시 형태에 있어서의 디스플레이상의 복귀광을 도시하는 도면,

도 23은 상기 크로스 다이크로익 프리즘에 있어서의 반사면의 편차를 도시하는 도면,

도 24는 상기 크로스 다이크로익 프리즘에 있어서의 반사면의 편차를 도시하는 도면,

도 25는 상기 실시 형태에 있어서의 각 반사면의 상대 위치를 검사하는 공정을 설명하기 위한 흐름도,

도 26은 상기 실시 형태에 있어서의 디스플레이상의 각 반사면의 복귀광을 도시하는 도면,

도 27은 상기 크로스 다이크로익 프리즘에 있어서의 반사면 사이의 편차를 도시하는 도면,

도 28은 상기 크로스 다이크로익 프리즘의 반사면의 접합 상태를 검사하기 위한 흐름도,

도 29는 상기 크로스 다이크로익 프리즘의 반사면의 접합 상태를 도시하는 도면.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

45 : 광학 소자로서의 크로스 다이크로익 프리즘

50 : 프리즘 유닛447 : 고정판

500 : 1쌍의 반사면으로서의 적색 반사면

501, 502 : 연장되는 2개의 반사면으로서의 적색 반사면

510 : 1쌍의 반사면으로서의 청색 반사면

511, 512 : 연장되는 2개의 반사면으로서의 청색 반사면

520 : 교선

600 : 광학 소자의 검사 장치로서의 프리즘 검사 장치

610 : 스탠드620 : 오토콜리메이터

622 : 측정광 도입부로서의 광원 유닛

625 : 복귀광 검출부로서의 3 CCD 카메라

626 : 색 분리 광학계로서의 색 분리 다이크로익 프리즘

627R, 627G, 627B : 촬상 소자

628A : 화상 입력부로서의 비디오 캡처 보드

628B : 화상 처리부628C : 반사면 각도차 측정부

630 : 측정광 전환부로서의 전환 장치

641, 651 : 반사 부재로서의 반사 미러

660, 670 : 교선 촬상부를 포함하는 CCD 카메라

681D : 접합 상태 판정부 LA : 좌측 영역

RA : 우측 영역 X : 측정광

Y : 복귀광

본 발명의 광학 소자의 검사 장치는, 입사 광속의 광축과 직교하는 방향에서 보아, 입사각 45도로 되도록 X자 형상으로 배치되는 4개의 반사면을 갖고, X자의 한쪽 연장 방향에 따른 한 쌍의 반사면이, 다른 한 쌍의 반사면과 다른 파장 영역의 광속을 반사하도록 구성된 광학 소자의 각 반사면의 상대 위치를 검사하는 광학 소자의 검사 장치로서, 검사 대상이 되는 광학 소자를 설치하는 스탠드와, 상기 4개의 반사면 중 어느 하나에 대하여, 입사각 45도로 측정광을 도입하는 측정광 도입부와, 이 측정광 도입부로부터 상기 광학 소자에 도입된 측정광의 복귀광을 검출하는 복귀광 검출부와, 상기 측정광의 도입 방향에서 보아, 한 쌍의 반사면 및 다른 한 쌍의 반사면의 교선으로 구획되는 2개의 영역 중 어느 한쪽 영역에만 상기 측정광을 도입하는 측정광 전환부를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.

이와 같은 발명에는, 예컨대 이하와 같은 공정으로 검사가 실행된다.

즉, 우선, 검사 대상이 되는 광학 소자를 스탠드에 설치하고, 측정광 도입부로부터 입사각 45도로 상기 교선으로 구획되는 2개의 영역 중 어느 한쪽 영역의 반사면에만 측정광을 도입한다. 그 후, 복귀광 검출부에 의해, 이 측정광 도입부로부터 한쪽 영역의 반사면에 도입된 측정광의 복귀광을 검출한다. 다음에, 측정광 전환부에 의해, 상기 교선으로 구획된 2개의 영역 중 다른쪽 영역에만 측정광을 도입하고, 상술한 바와 같이, 복귀광 검출부에 의해, 이 측정광 도입부로부터 다른쪽 영역의 반사면에 도입된 측정광의 복귀광을 검출한다.

그 후, 연장 방향에 따른 한 쌍의 반사면에 있어서, 각 반사면으로부터의 복귀광의 검출 결과끼리를 대비하여, 그 편차량을 취득함으로써, 상기 한 쌍에 있어서의 2개의 반사면간의 상대 위치를 검사한다. 또한, 연장 방향에 따른 다른 한 쌍의 반사면에 있어서도 동일하게 편차량을 취득하고, 다른 한 쌍에 있어서의 2개의 반사면간의 상대 위치도 검사한다.

이와 같이 검사하기 때문에, 각 쌍에 있어서의 2개의 반사면간의 상대 위치를 간단히 검사할 수 있다. 따라서, 광학 소자의 양부(良否) 판정 정밀도를 높일수 있다. 또한, 이와 같은 검사로 양품으로 된 광학 소자를 프로젝터 등에 내장함으로써, 프로젝터의 투사 화상의 선명화를 도모할 수 있다.

이러한 광학 소자의 검사 장치에 있어서, 상기 측정광 도입부 및 복귀광 검출부는 오토콜리메이터(autocollimator)로서 일체적으로 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 측정광 도입부와 복귀광 검출부가 일체적으로 구성된 오토콜리메이터로서 한개의 기기로 되기 때문에, 측정 도입부와 복귀광 검출부를 별개로 배치하는 경우에 비해, 광학 소자의 검사 장치의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 상기 광학 소자의 검사 장치는, 상기 반사면에 의해 반사된 광속을 반사하여 복귀광으로서 상기 복귀광 검출부에 도입하는 반사 부재를 구비하는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 반사 부재로 확실히 반사시킨 광속을 복귀광으로 하기 때문에, 예컨대 프리즘 등의 단면(端面)으로 반사한 광속을 복귀광으로 하는 경우에 비해, 복귀광을 밝게 할 수 있어, 복귀광 검출부로의 검출을 용이하게 할 수 있다.

또한, 상기 복귀광 검출부는 복귀광을 복수의 색광으로 분리하는 색 분리 광학계와, 이 색 분리 광학계에 의해 분리된 각 색광에 따른 복수의 촬상 소자를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.

여기서, 촬상 소자로서 CCD(Charge Coupled Device) 등을 채용할 수 있다.

이러한 경우에는, 광 분리 광학계에 의해 복귀광을 각 색광으로 분리하여, 이 분리된 각 색광마다 각각의 촬상 소자를 촬상함으로써, 다른 파장 영역의 광속을 포함하는 복귀광을 대략 동일 시기에 자동적으로 검출한다.

이와 같이 검출하기 때문에, 예컨대 복귀광을 육안으로 검출하는 경우에 비해, 확실하고 또한 자동적으로 검출할 수 있어, 작업자의 부담을 경감할 수 있다.

또한, 이러한 구성 대신에, 각 색(소정 파장 영역)으로 구성되는 복수의 컬러 필터를 준비하고, 이들 컬러 필터에 순차적으로, 광학 소자로부터의 복귀광을 통과시켜서, 각 색광마다 복귀광 검출부로 복귀광을 검출하는 구성도 고려되지만, 상술한 바와 같이 색 분리 광학계 및 촬상 소자를 채용하는 편이 컬러 필터의 교체 등의 작업이 필요하지 않기 때문에, 복귀광의 검출이 간단해진다.

여기서, 상기 색 분리 광학계 및 촬상 소자를 포함하여 구성되는 광학 소자의 검사 장치는, 상기 촬상 소자로 검출된 신호를 받아들이는 화상 수용부와, 이 화상 수용부에 의해 받아들여진 화상 신호의 화상 처리를 실행하여, 상기 한 쌍의 반사면 또는 다른 한 쌍의 반사면에서의 상호 이루는 각도를 측정하는 반사면 각도차 측정부를 구비하는 것이 바람직하다.

이러한 경우에는, 촬상 소자가 복귀광을 검출하고, 이 검출한 신호를 화상 수용부가 받아들이고, 이 받아들여진 화상 신호의 화상 처리를 화상 처리부가 실행한다. 이 다음, 각 한 쌍에서의 2개의 반사면에 있어서, 화상 처리된 각 복귀광의 위치에 따라, 각 한 쌍에 있어서의 2개의 반사면 사이의 이루는 각도를 반사면 각도차 측정부가 측정하기 때문에, 미리 양품으로 되는 이루는 각도의 범위를 설정해 두기만 함으로써, 각 한 쌍에 있어서의 2개의 반사면 사이의 각도 어긋남을 간단히 자동 검사할 수 있다.

이상과 같은 광학 소자의 검사 장치는, 상기 1쌍의 반사면 및 다른 한 쌍의 반사면의 교선을 촬상하는 교선 찰상부와, 이 교선 촬상부로 검출된 신호에 따라, 상기 교선의 폭 및 경사로부터 각 반사면의 접합 상태를 판정하는 접합 상태 판정부를 구비하는 것이 바람직하다.

여기서, 각 반사면의 접합 상태란 2개의 반사면이 연장 방향과 직교하는 방향으로 어느 정도 평행하게 엇갈려 있거나, 또한 2개의 반대면이 광축에 수직한 방향으로부터 어느 정도 기울어져 있거나 하는 등이 포함되어, 각 반사면간의 상대 위치의 상태를 나타낸다.

이와 같이, 교선 촬상부로 교선의 폭을 측정하기 때문에, 각 한 쌍에서의 2개의 반사면이 평행 이동하여 어긋나 있는 경우에도, 이 평행 이동분의 편차량을 간단히 검사할 수 있다. 또한, 교선 촬상부로 교선의 경사를 측정하기 때문에, 각 한 쌍에서의 2개의 반사면이 입사 광속의 광축에 수직하고 기준이 되는 축으로부터 경사져서 어긋나 있는 경우에도, 이 경사분의 편차량을 간단히 검사할 수 있다. 이 때, 양품이 되는 폭 및 경사의 범위를 미리 설정해 두기만 함으로써, 간단히 자동 검사할 수 있다.

본 발명의 광학 소자의 검사 방법은 입사 광속의 광축과 직교하는 방향에서 보아, 입사각이 45도로 되도록 X자 형상으로 배치되는 4개의 반사면을 갖고, X자 한쪽의 연장 방향에 따른 한 쌍의 반사면이, 다른 한 쌍의 반사면과 다른 파장 영역의 광속을 반사하도록 구성된 광학 소자의 각 반사면의 상대 위치를 검사하는 광학 소자의 검사 방법에 있어서, 검사 대상이 되는 광학 소자 중 어느 하나의 반사면에 입사각 45도로 측정광을 도입하는 측정광 도입 공정과, 이 측정광 도입 공정에 의해 상기 광학 소자에 도입된 측정광의 복귀광을 검출하는 복귀광 검출 공정과, 측정광을 상기 어느 하나의 반사면에 따른 다른 반사면으로 전환하여 도입하는 측정광 전환 공정과, 전환된 측정광의 복귀광을 검출하여, 상기 어느 하나의 반사면에 대한 다른 반사면의 편차를 검출하는 편차 검출 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

이러한 발명에는, 이하와 같은 공정으로 검사가 실행된다.

즉, 우선, 검사 대상이 되는 광학 소자를 설치하고 나서, 측정광 도입 공정에 의해, 입사각 45도로 어느 하나의 반사면에만 측정광을 도입한다. 그 후, 복귀광 검출 공정에 의해, 어느 하나의 반사면에 도입된 측정광의 복귀광을 검출한다. 다음에, 측정광 전환 공정에 의해, 상기 어느 하나의 반사면에 따른 다른 반사면에만 측정광을 도입한다. 다음에, 편차 검출 공정에 의해, 전환된 후의 측정광의 복귀광을 검출한 결과와, 상술한 복귀광 검출 공정에 의한 검출 결과에 따라, 어느 하나의 반사면에 대한 다른 반사면의 편차를 검출한다.

이와 같이 검사하기 때문에, 연장 방향에 따른 2개의 반사면간의 상대 위치를 간단히 검사할 수 있고, 광학 소자의 양부 판정을 정밀도를 높여 실시할 수 있다. 또한, 이러한 검사로 양품으로 된 광학 소자를 프로젝터 등에 내장함으로써, 프로젝터의 투사 화상의 선명화를 도모할 수 있다.

이상과 같은 광학 소자의 검사 방법에 있어서, 상기 한 쌍의 반사면 및 다른 한 쌍의 반사면의 교선 화상을 취득하는 교선 화상 취득 공정과, 상기 교선의 폭및 경사로부터 각 반사면의 접합 상태를 판정하는 접합 상태 판정 공정을 구비하는 것이 바람직하다.

이와 같은 경우에는, 미리 양품이 되는 폭 및 경사의 범위를 설정한 다음, 교선 화상 취득 공정에 의해 반사면의 교선 화상을 취득하고, 접합 상태 판정 공정에 의해, 이 취득한 교선 화상의 폭 및 경사가 설정된 양품범위에 들어가 있는지 어떤지를 판정하도록 함으로써, 간단히 자동 검사할 수 있다.

발명의 실시 형태

이하에 본 발명의 일 실시 형태를 도면에 따라 설명한다.

[1.프로젝터의 구조]

도 1, 2는 검사 대상이 되는 광학 소자로서의 크로스 다이크로익 프리즘(45)을 구비하는 프로젝터(1)를 도시하는 도면이다.

프로젝터(1)는 도 1, 2에 도시한 바와 같이 외장 케이스내에 수용된 전원 유닛(3)과, 동일하게 외장 케이스 내에 배치된 평면 U자형의 광학 유닛(4)을 구비하여, 전체적으로 대략 직방체 형상으로 되어 있다.

전원 유닛(3)은 전원(31)과 이 전원(31)의 측방에 배치된 램프 구동회로(ballast)(32)를 구비한다.

전원(31)은 전원 케이블을 통해 공급된 전력을 램프 구동 회로(32)나 도시하지 않은 드라이버 보드 등에 공급하는 것으로, 상기 전원 케이블이 삽입되는 입구커넥터(33)를 구비한다. 램프 구동 회로(32)는 전력을 광학 유닛(4)의 광원 램프(411)에 공급하는 것이다.

광학 유닛(4)은 광원 램프(411)로부터 사출된 광속을 광학적으로 처리하여 화상 정보에 대응한 광학상을 형성하는 유닛으로, 적분기 조명 광학계(41)와 색 분리 광학계(42)와 릴레이 광학계(43)와 전기 광학 장치(44)와, 광학 소자로서의 크로스 다이크로익 프리즘(45)과 투사 렌즈(46)를 구비한다.

[2.광학계의 구성]

적분기 조명 광학계(41)는 전기 광학 장치(44)를 구성하는 3장의 액정 패널(441)(적색, 녹색, 청색의 색광마다 각각 액정 패널(441R, 441G, 441B로 도시함)의 화상 형성 영역을 거의 균일하게 조명하기 위한 광학계로서, 광원 장치(413)와 제 1 렌즈 어레이(418)와 UV 필터를 포함하는 제 2 렌즈 어레이(414)와 편광 변환 소자(415)와 제 1 콘덴서 렌즈(416)와 반사 미러(424)와 제 2 콘덴서 렌즈(419)를 구비한다.

광원 장치(413)는 방사상의 광선을 사출하는 방사 광원으로서의 광원 램프(411)와, 이 광원 램프(411)로부터 사출된 방사광을 반사하는 반사재(412)를 구비한다. 광원 램프(411)로는 할로겐 램프나 메탈할라이드 램프, 또는 고압 수은 램프가 사용되는 경우가 많다. 반사재(412)로는 포물면 거울을 사용하고 있다. 또한, 포물면 거울 외에 평행화 렌즈(오목 렌즈)와 같이 타원면 거울을 사용할 수도 있다.

제 1 렌즈 어레이(418)는 광축 방향에서 보아 거의 구형상의 윤곽을 갖는 소형 렌즈가 매트릭스 형상으로 배열된 구성을 갖는다. 각 소형 렌즈는 광원 램프(411)로부터 사출되는 광속을 복수의 부분 광속으로 분할한다. 각 소형 렌즈의 윤곽 형상은 액정 패널(441)의 화상 형성 영역의 형상과 대략 상이한 모양을 이루도록 설정되어 있다. 예컨대, 액정 패널(441)의 화상 형성 영역의 애스펙트비(가로와 세로의 치수 비율)가 4:3이면, 각 소형 렌즈의 애스펙트비도 4:3으로 설정한다.

제 2 렌즈 어레이(414)는 제 1 렌즈 어레이(418)와 대략 동일한 구성을 갖고, 소형 렌즈가 매트릭스 형상으로 배열된다. 제 2 렌즈 어레이(414)는 제 1 콘덴서 렌즈(416) 및 제 2 콘덴서 렌즈(419)와 함께, 제 1 렌즈 어레이(418)의 각 소형 렌즈의 상을 액정 패널(441)상에 결상시키는 기능을 갖는다.

편광 변환 소자(415)는 제 2 렌즈 어레이(414)와 제 1 콘덴서 렌즈(416)의 사이에 배치되는 동시에, 제 2 렌즈 어레이(414)와 단일 유닛화되어 있다. 이 편광 변환 소자(415)는 제 2 렌즈 어레이(414)로부터의 광을 1종류의 편광광으로 변환하는 것으로, 이에 의해 전기 광학 장치(44)에서의 광의 이용 효율이 향상되고 있다.

구체적으로, 편광 변환 소자(415)에 의해 1종류의 편광광으로 변환된 각 부분광은, 제 1 콘덴서 렌즈(416) 및 제 2 콘덴서 렌즈(419)에 의해 최종적으로 전기 광학 장치(44)의 액정 패널(441R, 441G, 441B)상에 거의 중첩된다. 편광광을 변조하는 형태의 액정 패널(441)을 사용한 프로젝터(1)에서는, 1종류의 편광광밖에 이용할 수 없기 때문에, 다른 종류의 랜덤한 편광광을 발하는 광원 램프(411)로부터의 광의 거의 절반이 이용되지 않는다. 그래서, 편광 변환 소자(415)를 사용함으로써, 광원 램프(411)로부터의 사출광을 모두 1종류의 편광광으로 변환하여, 전기 광학 장치(44)에서의 광의 이용 효율을 높이고 있다.

색 분리 광학계(42)는 2장의 다이크로익 미러(421, 422)와 반사 미러(423)를 구비하고, 다이크로익 미러(421, 422)에 의해 적분기 조명 광학계(41)로부터 사출된 복수의 부분 광속을 적색, 녹색, 청색의 3색 색광으로 분리하는 기능을 갖고 있다.

릴레이 광학계(43)는 입사측 렌즈(431), 릴레이 렌즈(433) 및 반사 미러(432, 434)를 구비하고, 색 분리 광학계(42)로 분리된 색광, 청색광을 액정 패널(441B)까지 유도하는 기능을 갖고 있다.

이 때, 색 분리 광학계(42)의 다이크로익 미러(421)에는 적분기 조명 광학계(41)로부터 사출된 광속의 청색광 성분과, 녹색광 성분이 투과하는 동시에, 적색광 성분이 반사한다. 다이크로익 미러(421)에 의해 반사된 적색광은 반사 미러(423)에 의해 반사되어, 필드 렌즈(417)를 통해 적색용 액정패널(441R)에 이른다. 이 필드 렌즈(417)는 제 2 렌즈 어레이(414)로부터 사출된 각 부분 광속을 그 중심축(주광선)에 대하여 평행한 광속으로 변환한다. 다른 액정 패널(441G, 441B)의 광 입사측에 설치된 필드 렌즈(417)도 마찬가지다.

다이크로익 미러(421)를 투과한 청색광과 녹색광 중에 녹색광은 다이크로익 미러(422)에 의해 반사되고, 필드 렌즈(417)를 통해 녹색용 액정패널(441G)에 이른다. 한편, 청색광은 다이크로익 미러(422)를 투과하여 릴레이 광학계(43)를 통과하고, 또한 필드 렌즈(417)를 통해 청색광용 액정 패널(441B)에 이른다. 또한, 청색광에 릴레이 광학계(43)가 사용되고 있는 것은, 청색광의 광로의 길이가 다른 색광의 광로 길이보다도 길기 때문에, 광의 확산 등에 의한 광의 이용 효율의 저하를 방지하기 위해서이다. 즉, 입사측 렌즈(431)에 입사한 부분 광속을 그 상태로 필드 렌즈(417)에 전달하기 위해서이다.

전기 광학 장치(44)는 3장의 광 변조 장치로서의 액정 패널(441R, 441G, 441B)을 구비하고, 이것들은 예컨대, 폴리실리콘 TFT를 스위칭 소자로서 사용한 것으로, 색 분리 광학계(42)에 의해 분리된 각 색광은 이들 3장의 액정 패널(441R, 441G, 441B)에 의해, 화상 정보에 따라 변조되어 광학상을 형성한다.

크로스 다이크로익 프리즘(45)은 3장의 액정 패널(441R, 441G, 441B)에서 사출된 각 색광마다 변조된 화상을 합성하여 컬러　화상을 형성하는 것이다. 　또한, 크로스 다이크로익 프리즘(45)은 도 3에 도시하는 바와 같이, 4개의 직각 프리즘(451)을 각 계면을 따라 접합하여 형성된 대략 입방체 형상의 프리즘이다. 이들 계면에 있어서, 연장 방향에 따른 2개의 면(501, 502)의 한 쌍인 적색 반사면(500)에는, 소정 파장 영역을 갖는 적색광을 반사하는 도시하지 않은 유전체 다층막이 설치되어 있다. 또한, 연장 방향에 따른 다른 2개의 반사면(511, 512)의 한 쌍인 청색 반사면(510)에는, 상술한 바와는 다른 파장 영역을 갖는 청색광을 반사하는 유전체 다층막이 설치되어 있다. 따라서, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 내부에는, 4개의 반사면(501, 502, 511, 512)이 서로 90도의 직각인 X자 형상으로배치되게 된다. 또한, 2개의 색 반사면(500, 510)의 교선(520)은 크로스 다이크로익 프리즘(45)에 있어서의 중심 위치를 나타내는 선이다. 크로스 다이크로익 프리즘(45)으로 합성된 컬러 화상은 투사 렌즈(46)로부터 사출되어 스크린상에 확대 투사된다.

또한, 본 실시 형태의 크로스 다이크로익 프리즘(45)과는 별개로 적색 반사면(500)과 청색 반사면(510)이 반대 위치로 된 크로스 다이크로익 프리즘도 채용할 수 있다. 단, 이하의 설명에는, 상술한 크로스 다이크로익 프리즘(45)으로 설명한다.

이상 설명한 각 광학계(41~45)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 합성 수지 제품인 라이트 가이드(47)내에 수용된다. 라이트 가이드(47)는 각 광학 부품(414~419, 421~423, 431~434)을 상측으로부터 슬라이딩식으로 끼워 넣는 홈부가 각각 설치된 하부 라이트 가이드(471)와, 하부 라이트 가이드(471) 상부의 개구측을 밀폐하는 커버 형상의 상부 라이트 가이드(도시 생략)를 구비한다.

또한, 라이트 가이드(47)의 광 사출측에는 헤드부(49)가 형성되어 있다. 헤드부(49)의 전방측에 투사 렌즈(46)가 고정되고, 후방측에 액정 패널(441R, 441G, 441B)이 장착된 크로스 다이크로익 프리즘(45)이 고정된다.

〔3.광학 부품의 구조〕

이하에는, 도 4 내지 6을 참조하여, 광학 부품의 구조에 대하여 설명한다.

또한, 광학 부품이란 서로 일체로 된 크로스 다이크로익 프리즘(45) 및 액정패널(441R, 441G, 441B)이다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 각 액정 패널(441R, 441G, 441B)은 유지 프레임(443)내에 수납되어, 이 유지 프레임(443)의 네 모서리 부분에 형성되는 홀(443A)에 투명 수지 제품인 핀(445)을 자외선 경화형 접착제와 함께 삽입함으로써, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 측면인 광속 입사면측에 금속제의 고정용 플레이트(446)를 거쳐 접착되어 있다[소위 POP(Panel On　Prism) 구조에 의한 크로스 다이크로익 프리즘(45)으로의 고정].

여기서, 유지 프레임(443)에는 직사각형 형상의 개구부(443B)가 형성되고, 각 액정 패널(441R, 441G, 441B)은 이 개구부(443B)에서 노출하여, 이 부분이 화상 형성 영역으로 된다. 즉, 각 액정 패널(441R, 441G, 441B)의 이 부분에 각 색광(R, G, B)이 도입되어, 화상 정보에 따라 광학상이 형성된다. 일체화된 액정 패널(441R, 441G, 441B) 및 크로스 다이크로익 프리즘(45)으로 구성되는 광학 부품은, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 표면(45A)(광속 입사면에 대하여 직교하는 면)에 접착된 고정판(447)을 거쳐 하부 라이트 가이드(471)에 고정된다.

고정판(447)은 도 4에 도시하는 바와 같이, 평면시에 있어서, 연장된 4개의 아암부(447A)를 구비하고, 각 아암부(447A)에 설치된 원홀(447B) 중 대략 대각선상에 있는 두개의 원홀(447B)은 대응하는 장착부에 설치된 위치 설정용 돌출부(474)에 결합되고, 나머지 두개의 홀(447B)에는 대응한 설치부(473)에 나사 결합되는 나사가 삽입된다. 또한, 고정판(447)은, 도 5에 도시하는 바와 같이, 중앙 부분에 구 형상의 팽출부(447C)를 갖는다. 또한, 고정판(447)의 하면에는, 팽출부(447C)의 정상 부분(447C1)에서 교차하는 대략 X자 형상의 기준선(447D)이 형성되어 있다. 또한, 크로스 다이크로익 프리즘(45)과 고정판(447)을 접착 고정한 것을 프리즘 유닛(50)으로 한다.

도 5 및 도 6의 모식도를 참조하여, 프리즘 유닛(50)의 제조 방법에 대하여 설명한다. 또한, 접착 고정시에는 크로스 다이크로익 프리즘(45) 및 고정판(447)을 상하 역으로 한 상태로 실행되기 때문에, 도 6에도 크로스 다이크로익 프리즘(45) 및 고정판(447)을 상하 역으로 하여 도시하고 있다.

우선, 상측으로부터 관찰하면서, 고정판(447)의 팽출부(447C)의 정상 부분(447C1)에 내부의 4개의 반사면(501, 502, 511, 512)의 교선(520)이 중첩되도록 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 표면(45A)(도 6에서는 하면)을 접합시킨다. 그 후, 크로스 다이크로익 프리즘(45)과 고정판(447)의 사이에 미경화의 자외선 경화형 접착제를 충전한다. 다음에, 고정판(447)의 기준선(447D)에 4개의 반사면(501, 502, 511, 512)의 위치를 맞추는 동시에, 고정판(447)과 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 상면(45A)이 대략 평행한 상태, 바꾸어 말하면 고정판(447)에 대하여 크로스 다이크로익 프리즘(45)이 경사되지 않는 상태로 자세를 조정한다. 이렇게 하여, 고정판(447)에 대한 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 위치를 조정한 후에, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 하면(도 6에서는 상면)으로부터 상면(45A)을 향해 자외선을 조사하여 자외선 경화형 접착제를 경화시킨다.

[4.광학 소자의 검사 장치의 구조]

도 7은 광학 소자의 검사 장치로서의 프리즘 검사 장치(600)를 도시하는 정면도이고, 도 8은 그 평면도, 도 9는 그 우측 도면이다.

프리즘 검사 장치(600)는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 4개의 반사면(501, 502, 511, 512) 사이의 상대 위치의 검사와 프리즘 유닛(50)의 제조 정밀도의 검사를 실시하는 장치로서, 하측에 캐스터(601A)가 설치되어 이동 가능하게 된 검사대(601)와, 이 검사대(601)상에 설치되는 검사 장치 본체(602)를 구비한다.

검사 장치 본체(602)는 검사 대상으로서의 크로스 다이크로익 프리즘(45)을 포함하는 프리즘 유닛(50)을 소정의 지그(611)를 거쳐, 설치하기 위한 스탠드(610)와, 이 스탠드(610)에 설치된 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 출사 단면(45E)에 대향 배치되는 오토콜리메이터(620)를 구비한다. 또한, 검사 장치 본체(602)는 오토콜리메이터(620) 및 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 사이에 배치되는 측정광 전환부로서의 전환 장치(630)와, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 입사 단면(45B, 45R)에 각각 대향 배치되는 2대의 반사 장치(640, 650)와, 반사 장치(650)의 배면측에 배치되는 전후 측정 CCD 카메라(660)와, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 입사 단면(45G)에 대향 배치되는 좌우 측정 CCD 카메라(670)와, 이들 2대의 CCD 카메라(660, 670)로 검출한 화상을 처리하여, 모니터(682)에 표시하는 컴퓨터(680)와 각 반사 장치(640, 650)의 구동을 제어하는 도시하지 않는 구동 본체를 고용할 수 있다.

또한, 프리즘 검사 장치(600)에 있어서, 후술하는 오토콜리메이터(620)에서보아, 좌측을 좌측 방향, 우측을 우측 방향, 전방측을 전측 방향, 안측을 후측 방향으로 설정한다.

스탠드(610)는 각 광학 부품의 형상 등에 대응한 각 지그(611)를 거쳐, 프리즘 유닛(50) 외에 도시하지 않은 그 밖의 다른 광학 부품을 설치·고정하는 부재이며, 상면에는 기준선이 형성되어 있다. 프리즘 유닛 고정용 지그(611)에는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 상기 고정판(447)의 아암부(447A)의 원형구멍(447B)에 대응하는 위치에, 4개의 기둥(611A)이 세워져 있다. 이들 4개의 기둥(611A)의 상단부에 걸치도록 하여, 프리즘 유닛(50)이 설치·고정된다.

오토콜리메이터(620)는, 도 10에 도시하는 바와 같이, 상기 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 출사 단면(45E)에 수직으로 측정광 X를 도입하는 동시에, 이 도입한 측정광(X)의 복귀광(Y)을 검출하는 장치로서, 상기 프리즘 유닛(50)에 대한 위치를 조정 가능하게 구성되고, 오토콜리메이터 본체(621)와 3 CCD 카메라(625)를 구비한다. 즉, 오토콜리메이터(620)는, 본 발명에 있어서의 측정광 도입부 및 복귀광 검출부가 일체적으로 구성된 것이다. 또한, 상기 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 출사 단면(45E)에 수직하게 측정광(X)을 도입하기 때문에, 상기 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 4개의 반사면(501, 502, 511, 512)에 대하여, 입사각 45도로 측정광(X)을 도입하게 된다.

오토콜리메이터 본체(621)는 측정광(X)을 사출하는 광원 유닛(622)과, 광원 유닛(622)으로부터 사출된 측정광(X)을 평행 광선으로서 사출하는 대물 렌즈(623)와, 광원 유닛(622)으로부터 사출된 측정광(X) 및 이 측정광(X)의 복귀광(Y)을 도광(導光)하는 도광부(624)를 구비한다.

광원 유닛(622)은 대물 렌즈(623)의 백 포커스 위치에 배치되는 동시에, 할로겐광인 측정광(X)을 사출하는 광원(622A)과 「+」형상의 투과 구멍이 형성된 차트(622B)를 구비한다. 광원(622A)으로부터 사출된 측정광(X)은 차트(622B)를 통과함으로써, 「+」형상을 갖는 측정광(X)으로서 도광부(624)로 사출된다.

도광부(624)는 광원 유닛(622)의 차트(622B)에 대하여, 약 45도로 배치된 하프 미러(624A)를 구비하고, 광원 유닛(622)으로부터 사출된 측정광(X)은 하프 미러(624A)에 의해 반사된 후, 대물 렌즈(623)에 의해 평행 광속이 된다.

3 CCD 카메라(625)는, 도 11에 도시한 바와 같이, 「+」형상을 갖는 복귀광(Y)을 검출하는 장치로서, 색 분리 광학계로서의 색 분리 다이크로익 프리즘(626)과, 이 색 분리 다이크로익 프리즘(626)의 각 광 출사 단면(626R, 626G, 626B)에 배치되는 적색용 촬상 소자(R-CCD)(627R), 녹색용 촬상 소자(G-CCD)(627G), 청색용 촬상 소자(B-CCD)(627B)와, 상기 컴퓨터(680)와는 별개의 컴퓨터에 포함되는 처리부(628)를 구비한다.

색 분리 다이크로익 프리즘(626)은 소정 형상의 3장의 프리즘을 접합하여 구성되고, 이로써 「+」형상을 갖는 복귀광(Y)을 적색광(R), 녹색광 (G), 청색광(B)의 3색광으로 분리하고 있다.

각 촬상 소자(627R, 627G, 627B)는 처리부(628)와 전기적으로 접속되어 있고, 각 촬상 소자(627R, 627G, 627B)로 검출된 화상 신호는 처리부(628)로 출력된다.

처리부(628)는, 도 12에 도시하는 바와 같이, 상기 각 촬상 소자(627R, 627G, 627B)로 검출된 화상 신호를 받아들이는 화상 수용부로서의 비디오 캡처 보드(628A)와, 이 비디오 캡처 보드(628A)에 의해 받아들여진 화상 신호의 화상 처리를 실행하는 화상 처리부(628B)와, 이 처리된 화상 신호에 따라, 적색 반사면(500)에 있어서의 2개의 반사면 사이(501, 502)의 이루는 각도, 및 청색 반사면(510)에 있어서의 2개의 반사면 사이(511, 512)의 이루는 각도를 측정하는 반사면 각도차 측정부(628C)를 구비한다. 상세한 내용은 후술한다.

또한, 도시를 생략하지만, 3 CCD 카메라(625) 대신에 복귀광(Y)을 확대하는 접안 렌즈를 배치하여, 이 접안 렌즈를 개재하여 육안으로 복귀광(Y)을 검출하는 구성일 수도 있다.

전환 장치(630)는 오토콜리메이터(620)로부터 사출되는 측정광(X)의 도입 방향에서 보아, 도 3도 참조하면, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 교선(520)에 의해 구획되는 2개의 영역으로서의 좌측 영역(LA) 및 우측 영역 (RA) 중 어느 한쪽 영역(LA, RA)에만 측정광(X)을 도입한다, 바꾸어 말하면, 어느 한쪽 영역(LA, RA)에만 측정광(X)을 도입시키지 않는 장치이다. 또한, 전환 장치(630)는, 도 13, 14에 도시한 바와 같이, 스탠드(610)의 전면에 설치되어 있고, 측정광(X)을 차폐하는 금속 제품으로 직사각형 형상의 차광판(631)과, 이 차광판(631)의 하측에 고정되며, 스탠드(610)에 대하여 좌우 방향으로 슬라이딩 가능한 슬라이딩부(632)와, 이 슬라이딩부(632)의 전면에 고정된 조작부(633)를 구비한다.

슬라이딩부(632)는, 도 13에 도시한 바와 같이, 스탠드(610)의 전면에 설치되어, 좌우 방향으로 연장되는 레일(632A)과, 차광판(631)의 하측에 고정되는 동시에, 레일(632)에 슬라이딩 가능하게 설치되는 슬라이딩 본체(632B)를 구비하며, 이로써 슬라이딩부 본체(632B)는 레일(632A)을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩 가능하게 되어 있다. 또한, 슬라이딩부(632)는 차광판(631)이 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 좌측 영역(LA) 및 우측 영역(RA)중, 한쪽 영역(LA, RA)만 덮도록 설계되어 있다.

조작부(633)는 슬라이딩부 본체(632B)의 전면에 나사 고정된 장척 형상의 조작부 본체(633A)와, 이 조작부 본체(633A)의 상단부에 고정된 핸들(633B)과, 조작부 본체(633A)의 하단부 및 스탠드(610)의 전면 고정된 축 부재(633C)를 구비하고, 이로써 핸들(633B)은 축 부재(633C)를 축으로 하여 회동 가능하게 되어 있다.

따라서, 핸들(633B)의 회동에 따라, 슬라이딩부 본체(632B)가 레일(632A)을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩하기 때문에, 슬라이딩부 본체(632B)에 고정된 차광판(631)도 좌우 방향으로 이동하고, 결과적으로 핸들(633B)의 조작에 의해, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 좌측 영역(LA) 및 우측 영역(RA) 중 한쪽 영역(LA, RA)만을 덮을 수 있도록 되어 있다.

반사 장치(640)는, 오토콜리메이터(620)로부터 크로스 다이크로익 프리즘(45)으로 도입되고, 적색 반사면(500)에 의해 반사된 측정광(X)을 반사하여, 복귀광(Y)으로서 오토콜리메이터(620)로 복귀시키는 장치이다. 반사 장치(640)는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 입사 단면(45R)에 대향 배치된 직사각형 형상의 반사 미러(641)와, 이 반사 미러(641)를 지지하는 지지판(642)을 거쳐, 반사 미러(641)의 수평면 회전 방향 및 수직면 경사 방향의 위치를, 상기 구동 본체의 모터 등의 구동을 제어하여 조정하는 2축 조정부(643)를 구비한다.

반사 장치(650)는 오토콜리메이터(620)로부터 크로스다이크로익 프리즘(45)으로 도입되고, 청색 반사면(510)에 의해 반사된 측정광(X)을 반사하여, 복귀광(Y)으로서 오토콜리메이터(620)로 복귀시키는 장치이다. 반사 장치(650)는 도 9에 도시하는 바와 같이, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 입사단면(45B)에 대향 배치된 반사 미러(651)와, 이 반사 미러(651)를 우측으로 지지하는 동시에, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 교선(520)에 대응하는 위치에 개구부(652A)(도 8)가 형성된 지지판(652)과, 이 지지판(652)의 삼차원 위치를 상기 구동 본체의 모터 등의 구동을 제어하여 조정함으로써, 반사 미러(651)의 수평면 회전 방향 및 수직면 경사 방향의 위치를 조정하는 2축 조정부(653)를 구비한다. 또한, 반사 미러(641, 651)는 동일한 것이며, 2축 조정부(643, 653)도 동일한 것이다.

전후 측정 CCD 카메라(660)는 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 교선(520)을 반사 장치(650)의 우측(배면측)에서 검출하는 것으로, 컴퓨터(680)와 전기적으로 접속되어 있다. 이 전후 측정 CCD 카메라(660)는, 도 8, 9에 도시하는 바와 같이, 교선(520)을 촬상하는 교선 촬상부로서의 CCD 카메라 본체(661)와, 이 CCD 카메라 본체(661)를 전후 방향 및 좌우 방향 중 어느 방향으로 이동 가능하게 구성된 소정의 마이크로미터(662)를 구비한다.

좌우 측정 CCD 카메라(670)는 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 교선(520)을크로스 다이크로익 프리즘(45)의 후방측에서 검출하는 것으로, 상기 전후 측정 CCD 카메라(660)와 동일한 구성이다. 좌우 측정 CCD 카메라(670)는 소정의 마이크로미터(662)에 의해, CCD 카메라 본체(661)를 좌우 방향 및 전후 방향 중 어느 방향으로도 이동 가능하게 구성되어 있다.

따라서, 마이크로미터(662)에 의해, CCD 카메라(660, 670)를 전후 방향 및 좌우 방향으로 위치 조정함으로써, CCD 카메라(660, 670)로 촬상되는 교선 화상에 있어서의 포커스 조정 및 기준 위치 맞춤이 가능해지고 있다.

컴퓨터(680)는 2대의 CCD 카메라(660, 670)로 검출된 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 교선 화상의 처리, 및 4개의 반사면(501, 502, 511, 512)의 접합 상태의 판정을 실행하는 것으로, 도 8에 도시하는 바와 같이, 각종 프로그램을 실행하는 CPU나 기억 장치 등을 갖는 본체(681)와, 이 본체(681)로 처리 및 판정된 결과를 표시하는 모니터(682)를 구비한다.

본체(681)는, 도 15에 도시한 바와 같이, 2대의 CCD 카메라(660, 670)로 각각 검출된 교선(520)의 화상을 컴퓨터용 화상 신호로 변환하는 비디오 캡처 보드(681A)와, 이 변환된 화상 신호를 처리하는 화상 처리부(681B)와, 처리된 교선 화상에 있어서의 폭 및 기준축으로부터의 경사를 연산하는 교선 연산부(681C)와, 연산된 결과에 따라 양부를 판정하는 접합 상태 판정부(681D)와, CCD 카메라(660, 670)마다 처리된 교선 화상 및 판정 결과를 각각의 모니터(682)에 표시하는 표시부(681E)를 구비한다.

이상과 같은 프리즘 검사 장치(600)에 있어서, 오토콜리메이터(620)로부터측정광(X)을 사출하면, 이 측정광(X)은 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 4개의 반사면(501, 502, 511, 512)에 있어서, 어느 한쪽 영역(LA, RA)에는 차광판(631)에 의해 도입되지 않고, 다른쪽 영역(LA, RA)에만 측정광(X)이 도입된다. 이 도입된 측정광(X)은 각 반사면(501, 502, 511, 512)에서 반사된 후, 반사 미러(641, 651)에 의해 반사되어 복귀광(Y)으로 된다. 이 복귀광(Y)은 다시 크로스 다이크로익 프리즘(45)에 입사되고, 상술한 바와 동일한 반사면(501, 502, 511, 512)에 의해 반사된 후에, 오토콜리메이터(620)내에 도입된다. 이 복귀광(Y)은 오토콜리메이터(620)에 있어서의 3 CCD 카메라(625)로 검출된다.

[5.광학 소자의 검사 방법]

이러한 프리즘 검사 장치(600)에 있어서, 검사 대상이 되는 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 검사는, 도 16에 도시하는 흐름도에 따라 실행된다.

(1) 우선, 크로스 다이크로익 프리즘(45)을 검사하기 전에, 오토콜리메이터(620)의 위치를 고정한다(처리 S1). 구체적으로는, 도 17에 도시하는 흐름도에 따라 실행된다.

(1-1) 스탠드(610)의 소정 위치에, 대응하는 지그(611)를 거쳐, 한 개의 면이 미러면으로 된 대략 정육면체의 기준 미러 블록(도시 생략)을, 그 미러면이 오토콜리메이터(620)와 대향하도록 배치한다(처리 S11).

(1-2) 오토콜리메이터(620)로부터 측정광(X)을 사출하여, 상기 미러면에 의해 반사된 복귀광(Y)을 3 CCD 카메라(625)로 검출한다(처리 S12).

(1-3) 3 CCD 카메라(625)로의 검출 결과를 확인하면서, 측정광(X)의 위치를 나타내는 각 색광마다의 기준 위치에, 복귀광(Y)의 각 색광마다의 「+」형상의 화상이 일치하도록 오토콜리메이터(620)를 조정하여 고정한다(처리 S13).

(2) 다음에, 반사 장치에 있어서의 반사 미러(641, 651)의 위치를 고정한다(처리 S2). 구체적으로는, 도 18에 도시하는 흐름도에 따라 실행된다.

(2-1) 우선, 스탠드(610)의 소정 위치에, 대응하는 지그(611)를 거쳐, 사면이 미러면으로 된 대략 직각 삼각 기둥의 더미 삼각 프리즘(도시 생략)을, 그 미러면이 적색 반사면(500)의 위치로 되도록, 즉 오토콜리메이터(620)및 반사 미러(641)에 대향하도록 배치한다(처리 S21).

(2-2) 오토콜리메이터(620)로부터 측정광(X)을 사출하여, 상기 미러면에 의해 반사된 후, 반사 미러(641)에 의해 반사되고, 다시 상기 미러면에 의해 반사된 복귀광(Y)을 3 CCD 카메라(625)로 검출한다(처리 S22).

(2-3) 3 CCD 카메라(625)로의 검출 결과를 확인하면서, 측정광(X)의 위치를 나타내는 각 색광마다의 기준 위치에 복귀광(Y)의 각 색광마다의 「+」형상의 화상이 일치하도록, 반사 미러(641)의 위치를 4축 조정부(643)에 의해 조정한 후에, 반사 미러(641)를 고정한다(처리 S23).

(2-4) 이번에는, 스탠드(610)의 소정 위치에, 상술한 바와 동일한 지그(611)를 거쳐, 상기 대략 직각 삼각 기둥의 더미 삼각 프리즘(도시 생략)을, 그 미러면이 청색 반사면(510)의 위치로 되도록 교체하여 배치하고, 상술한 바와 같은 공정으로, 반사 미러(651)의 위치를 2축 조정부(653)에 의해 조정한 후, 반사미러(651)를 고정한다(처리 S24).

(3) 다음에, 2대의 CCD 카메라(660, 670)의 위치를 고정한다(처리 S 3). 구체적으로는 도 19에 도시하는 흐름도에 따라 실행된다.

(3-1) 우선, 도 20에 도시한 바와 같이, 금속 또는 유리제로 대략 직방체상의 에지 검출용 블록(701)과, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 절반 두께의 직방체상의 더미 유리(702)를 준비한다. 다음에, 이 블록(701)의 정점(701A)이 지그(611)의 중심 위치(C)로 되는 동시에, 블록(701)의 능선(701B)이 전후 방향 및 좌우 방향에 정확히 위치하도록, 스탠드(610)의 소정 위치에 대응하는 지그(611)를 거쳐 블록(701)을 배치한다. 또한, 블록(701)과 전후 측정 CCD 카메라(660)의 사이에는, 유리 중과 공기 중의 굴절률의 상이에 의한 포커스 차이 방지용의 더미 유리(702)를, 전후 측정 CCD 카메라(660)의 광축에 대하여 수직하게 배치한다(처리 S31).

(3-2) 이 상태에서, 전후 측정 CCD 카메라(660)에 의해 블록(701)의 능선(701B)을 촬상하고, 전후 측정 CCD 카메라(660)를 더미 유리(702) 방향(도면 중의 상하 방향)으로 진퇴시킴으로써, 입력한 화상의 포커스를 조정한다. 이 다음, 블록(701)의 능선(701B)의 화상을 중심 위치(C)를 나타내는 기준 위치에 합치시키도록, 전후 측정 CCD 카메라(660)를 도면 중의 좌우 방향으로 위치 조정한다(처리 S32).

(3-3) 다음에, 블록(701)은 그 상태로 블록(701)과 좌우 측정 CCD 카메라(670)의 사이에, 좌우 측정 CCD 카메라(670)의 광축에 대하여 수직하게 더미유리(702)를 교체하여 배치한다(처리 S33).

(3-4) 이 상태에서, 좌우 측정 CCD 카메라(670)로 블록(701)의 능선(701B)을 촬상하고, 좌우 측정 CCD 카메라(670)를 더미 유리(702) 방향(도면 중 좌우 방향)으로 진퇴시킴으로써, 입력한 화상의 포커스를 조정한다. 이 다음, 블럭(701)의 능선(701B)의 화상을, 중심 위치(C)를 나타내는 기준위치에 합치시키도록, 좌우 측정 CCD 카메라(670)를 도면 중의 상하 방향으로 위치 조정한다(처리 S34). 이렇게 하여, 2대의 CCD 카메라(660, 670)의 위치를 조정하여 고정한다.

(4) 다음에, 스탠드(610)의 소정 위치에 대응하는 지그(611)를 개재하여 검사 대상이 되는 프리즘 유닛(50)을 정확히 설치·고정한다(처리 S4).

(5) 이상으로 검사전의 준비가 완료되고, 이 상태로 프리즘 유닛(50)의 크로스 다이크로익 프리즘(45)에 있어서, 고정판(447)에 대한 청색 반사면(510) 및 적색 반사면(500)의 방향을 검사한다(처리 S5). 구체적으로는, 도 21에 도시하는 흐름도에 따라 실행된다.

(5-1) 오토콜리메이터(620)로부터, 차광판(631)을 넣은 상태에서, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 단면(45E)으로 사출된 측정광(X)은, 청색 반사면(500)에 의해 반사되어 청색 측정광(XB)이 되고, 그 후 반사 미러(651)에 의해 반사되어 복귀광(YB)이 되며, 다시 청색 반사면(500)에 의해 반사된 복귀광(YB)은 오토콜리메이터(620)로 복귀한다. 그 후, 이 복귀광(YB)의 위치를 3 CCD 카메라(625)의 촬상 소자(627B)로 검출하고, 비디오 캡처 보드(628A)로 이 검출 신호를 입력하며, 화상 처리부(628B)로부터 이 검출 신호를 화상 처리한다. 이 처리된 화상을디스플레이(D)(도 22)에 표시하는 동시에, 컴퓨터 내의 메모리 등에 기억한다(처리 S51).

(5-2) 다음에, 미리 설정된 기준 위치와 처리 화상의 위치의, 도 22에 도시하는 디스플레이(D)상의 상하 방향의 편차량(D1)에 따라, 도 23에 도시하는 바와 같이, 기준 위치에 대한 청색 반사면(510)의 회전 편차량(θB1)을 산출한다(처리 S52).

(5-3) 또한, 도 22에 도시하는 좌우 방향의 편차량(D2)에 따라, 도 24에 도시한 바와 같이, 기준 위치에 대한 경사량(θB2), 즉 조명광축에 대한 충격량을 산출한다(처리 S53).

(5-4) 마찬가지로, 오토콜리메이터(620)로부터 사출되어, 적색 반사면(500) 및 반사 미러(641)에 의해 반사된 적색 복귀광(YR)을 3 CCD 카메라(625)로 검출하고, 도 23, 24에 도시하는 회전 편차량(θR1) 및 경사량(θR2)을 산출한다(처리 S54). 또한, 이들의 회전 편차량(θB1, θB2) 및 경사량(θR1, θR2)의 양품 범위는 모두 ±5분이다.

(6) 다음에, 차광판(631)을 세팅한 상태에서, 프리즘 유닛(50)의 크로 스다이크로익 프리즘(45)에 있어서의 각 반사면(501, 502, 511, 512) 사이의 상대 위치를 검사한다(처리 S6). 구체적으로는, 도 25에 도시하는 흐름도에 따라 실행된다.

(6-1) 오토콜리메이터(620)로부터 우측 영역(RA)으로 측정광(X)을 사출하고, 반사 미러(641, 651)에 의해 반사된 복귀광(Y)을 3 CCD 카메라(625)로 검출한다(처리 S61 : 측정광 도입 공정, 복귀광 검출 공정). 보다 구체적으로, 측정광(X) 중청색광(XB)은 청색 반사면(510)에 의해 반사된 후, 반사 미러(651)에 의해 반사되어 청색 복귀광(YB)이 되며, 다시 청색 반사면(510)에 의해 반사되어, 오토콜리메이터(620)로 복귀한다. 그 후, 이 청색 복귀광(YB)의 위치를 3 CCD 카메라(625)의 촬상 소자(627B)로 검출하고, 비디오 캡처 보드(628A)로 이 검출 신호를 입력하며, 화상 처리부(628B)로 이 검출 신호를 화상 처리한다. 이 처리된 화상을 디스플레이(D)로 표시하는 동시에, 컴퓨터 내의 메모리 등에 기억한다.

(6-2) 다음에, 전환 장치(630)의 핸들(633B)을 조작하고, 처리(S61)와 동일하게 하여, 좌측 영역(LA)으로 측정광(X)를 사출하며, 반사 미러(651)에 의해 반사된 청색 복귀광(YB)를 3 CCD 카메라(625)로 검출한다(처리 S62 : 측정광 전환 공정).

(6-3) 도 26에는 우측 영역(RA)의 청색 반사면(510)(512)과 좌측 영역(LA)의 청색 반사면(510)(511)이 어긋나 있는 경우의 검출 결과를 도시한다. 반사면 각도차 측정부(628C)는 상하 방향의 편차량(DB1)에 따라, 도 27에 도시하는 바와 같이, 우측 영역(RA)의 청색 반사면(510)(512)을 기준으로 한 좌측 영역(LA)의 청색 반사면(510)(511)의 수평 편차량(PB), 즉 반사면(511, 512)끼리의 연장 방향으로부터의 편차량(이루는 각도)을 산출한다(처리 S63 : 편차 검출 공정). 또한, 이 수평 편차량(PB)의 양품 범위는 ±15초이다.

(6-4) 다음에, 도 26에 도시하는 좌우 방향의 편차량(DB2)에 따라, 우측 영역(RA)의 청색 반사면(510)(512)을 기준으로 한 좌측 영역(LA)의 청색 반사면(510)(511)이 이루는 각도인 수직 편차량(QB)(도시 생략)을 산출한다(처리S64 : 편차 검출 공정). 또한, 이 수직 편차량(QB)의 양품 범위도 ±15초이다.

(6-5) 상기 청색광의 경우와 같이 하고, 전환 장치(630)의 조작에 의해(처리 S65), 반사면 각도차 측정부(628C)는 우측 영역(RA)의 적색 반사면(500)(502)을 기준으로 하여, 각 편차량(DR1, DR2)에 따라, 도 27에 도시하는 적색 반사면(501, 502) 사이의 수평 편차량(PR) 및 수직 편차량(QR)(도시 생략)을 산출한다(처리 S66).

(7) 다음에, 프리즘 유닛(50)에 있어서의 고정판(447)과 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 접합 상태(접착 고정 정밀도)를 검사한다(처리 S7). 구체적으로는, 도 28에 도시하는 흐름도에 따라 실행된다.

(7-1) 미리 고정된 전후 측정 CCD 카메라(660)에 있어서, CCD 카메라 본체(661)는 교선(520)을 촬상하고, 이 촬상되고 화상 처리된 교선(520)에 따라, 교선 연산부(681C)는 도 29에 도시하는 바와 같이, 기준선에 대한 교선(520)의 전후 방향 편차량(T1)과, 교선(520)의 폭 치수(T2)와, 기준선에 대한 경사(Ф)를 산출한다(처리 S71 : 교선 화상 취득 공정). 교선(520)의 폭 치수(T2)를 측정했기 때문에, 교선(520)의 폭 치수(T2)가 기준보다도 커지는 경우에는, 연장되는 2개의 반사면(501, 502, 511, 512) 사이에 평행 이동 어긋남이 발생하고 있다는 것을 확인할 수 있다.

또한, 전후 방향 편차량(T1)의 양품 범위는 ±O.05㎜이다. 또한, 폭 치수(T2) 및 경사(Φ)의 양품 범위도 적절히 설정되어 있다.

(7-2) 상술과 같이, 좌우 측정 CCD 카메라(670)에서, CCD 카메라 본체(671)로 교선(520)을 촬상함으로써(교선 화상 취득 공정), 기준선에 대한 교선(520)의 좌우 방향 편차량(T1)과, 교선(520)의 폭 치수(T2)와, 기준선에 대한 경사(Φ)을 산출한다(처리 S72).

(8) 이상의 조작이 종료하면, 측정한 각 편차(Tl, T2, Φ)가 전부 양품의 범위에 있는지 어떤지, 접합 상태 판정부(681D)로 판정한다(처리 S8 : 접합 상태 판정 공정). 범위내이면 양품으로 되고, 범위외이면 불량품으로서 판정된다. 또한, 그 밖의 편차량도 자동적으로 양부 판정될 수도 있다.

(9) 마지막으로, 프리즘 유닛(50)을 소정의 지그(611)로부터 분리함으로써(처리 S9), 모든 검사가 종료한다.

[6.효과]

이와 같은 본 실시 형태에 의하면, 이하와 같은 효과가 얻어진다.

(1) 오토콜리메이터(620)로부터 측정광(X)을 사출하고, 이 측정광(X)을 색 반사면(500, 510)에 있어서의 우측 영역(RA) 및 좌측 영역(LA)으로, 전환 장치(630)에 의해 전환하여 검사하기 때문에, 각 색 반사면(500, 510)에 있어서의 2개의 반사면(501, 502, 511, 512)의 상대 위치를 간단히 검사할 수 있다. 따라서, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 양부 판정 정밀도를 높일 수 있다. 또한, 이러한 검사로 양품으로 된 크로스 다이크로익 프리즘(45)을 프로젝터(1)에 내장했기 때문에, 프로젝터(1)의 투사 화상의 선명화를 도모할 수 있다.

(2) 측정 도입부와 복귀광 검출부가 일체적으로 구성된 오토콜리메이터(620)를 채용했기 때문에, 측정 도입부와 복귀광 검출부를 별개로 배치하는 경우에 비해, 검사 장치(600)의 소형화를 도모할 수 있다.

(3) 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 단면(45R, 45B)에 반사 미러(641, 651)를 설정했기 때문에, 밝은 복귀광(Y)을 확실히 도입할 수 있고, 오토콜리메이터(620)로의 검출을 용이하게 할 수 있다.

(4) 복귀광(Y)의 검출용으로 3 CCD 카메라(625)를 채용했기 때문에, 예컨대 복귀광(Y)을 육안으로 검출하는 경우에 비해, 확실하고 또한 자동적으로 검출할 수 있어, 작업자의 부담을 경감할 수 있다. 또한, 각 색으로 되는 복수의 컬러 필터를 준비하고, 이들 컬러 필터에 순차적으로 복귀광(Y)을 통과시켜, 각 색광마다 복귀광 검출부로 복귀광(Y)을 검출하는 구성도 사료되지만, 3 CCD 카메라(625)를 채용하는 편이 컬러 필터의 교체 등의 작업이 필요하지 않으므로, 복귀광(Y)의 검출을 간단히 실행할 수 있다.

(5) 촬상 소자(627R, 627G, 627B)가 복귀광(Y)을 검출하고, 이 검출한 신호를 비디오 캡처 보드(628A)가 받아들이고, 이 받아들여진 화상 신호의 화상 처리를 화상 처리부(628B)가 실행하며, 그 후 각 색 반사면(500, 510)의 2개의 반사면(501, 502, 511, 512)에 있어서, 화상 처리된 각 복귀광(Y)의 위치에 따라, 2개의 반사면(501, 502, 511, 512) 사이가 이루는 각도를 반사면 각도차 측정부(628C)가 산출하기 때문에, 미리 양품이 되는 각도 편차량(PR, PB)의 범위를 설정함으로써, 색 반사면(500, 510)에 있어서의 2개의 반사면(501, 502, 511, 512) 사이의 각도 편차량(PR, PB)을 간단히 자동 검사할 수 있다.

(6) CCD 카메라(660, 670)로 교선(520)의 폭 치수(T2)를 측정하기 때문에, 각 색 반사면(500, 510)에 있어서의 2개의 반사면(501, 502, 511, 512)이 평행 이동하여 어긋나 있는 경우에도, 이 평행 이동분의 편차량을 간단히 검사할 수 있다. 또한, CCD 카메라(660, 670)로 교선(520)의 경사(Φ)를 측정하기 때문에, 각 색 반사면(500, 510)에 있어서의 2개의 반사면(501, 502, 511, 512)이 측정광(X)의 광축에 솔직하고 기준이 되는 축으로부터 경사져서 어긋나 있는 경우에도, 이 경사량(Φ)을 간단히 검사할 수 있다. 마찬가지로 전후 좌우 방향의 편차량(T1)도 간단히 검사할 수 있다. 이 때, 양품이 되는 편차량(T1), 폭 치수(T2) 및 경사(Φ)의 범위를 미리 설정했기 때문에, 간단히 자동 검사할 수 있다.

(7) 전환 장치(630)에 있어서, 핸들(633B)을 조작하기만 하는 비교적 간단한 구조로, 차광판(631)의 전환 조작이 가능하기 때문에, 전환 장치(630)의 비용을 억제할 수 있다.

[7.변형]

또한, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 다른 구성 등을 포함하여, 이하에 개시하는 바와 같은 변형 등도 본 발명에 포함된다.

예컨대, 상기 실시 형태에서는, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 단면(45R, 45B)에 대향하여 반사 장치(640, 650)를 배치했지만, 이에 한정되지 않고, 예컨대 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 단면(45R, 45B)에 반사 미러를 부착하는 구성일수도 있다. 단, 상기 실시 형태쪽이 반사 미러의 위치를 정확히 조정할 수 있는 이점이 있다. 또한, 특히 반사 미러 등을 설치하지 않고, 각 단면으로 반사시킬 수도 있다.

상기 실시 형태에서는, 광학 소자로서 색 합성 광학계의 크로스 다이크로익 프리즘(45)을 검사했지만, 이에 한정되지 않고, 접합 미러를 포함하는 색 분리 광학계 등을 검사할 수도 있다. 또한, 상기 실시 형태에 있어서, 검사 항목의 검사 순서는 상기 순서에는 한정되지 않는다.

상기 실시 형태에서는, CCD 카메라(660, 670)를 수동으로 조정하도록 했지만, 자동 조정하도록 구성할 수도 있다. 또한, 오토콜리메이터(620)도 자동 조정하도록 구성할 수도 있다.

또한, 전환 장치에 있어서, 예컨대 차광판의 단부를 삽입 가능한 홈을 형성해 두고, 이 홈을 따라 차광판을 출입함으로써, 차광 영역을 전환할 수도 있다. 이 경우에는, 비교적 간단한 구성으로 되기 때문에, 전환 장치의 비용을 억제할 수 있다. 또한, 차광판의 소재는 금속에 한정되지 않고, 차광하는 기능이 있으면 수지 제품 등의 그 밖의 소재이어도 무방하다. 이 때, 차광판의 형상도 특별히 한정되지 않는다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서의 전환 장치(630)에서는, 핸들(633B)을 수동으로 조작하고 있었지만, 자동적으로 변경되는 구성일 수도 있다.

상기 실시 형태에 있어서, 오토콜리메이터(620)에 3 CCD 카메라(625)를 채용했지만, 이에 한정되지 않고, 통상의 CCD 카메라나 육안으로 검출하도록 할 수도있다.

상기 실시 형태에서는, 오토콜리메이터(620)를 채용하여 측정광 도입부와 복귀광 검출부를 일체적으로 구성했지만, 측정광 도입부와 복귀광 검출부를 별개의 개체로서 구성할 수도 있다.

상기 실시 형태에 있어서, 크로스 다이크로익 프리즘(45)의 양품 범위는, 상술한 수치에는 한정되지 않는다. 즉, 내장되는 프로젝터 등의 광학 기기의 기종이나 목적에 맞추어 적절히 변경하면 무방하다.

이상에서 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 광학 소자의 검사 장치 및 광학 소자의 검사 방법에 의하면, 광학 소자에 있어서의 각 반사면의 상대 위치를 검사할 수 있다는 효과가 있다.

Claims

입사 광속의 광축과 직교하는 방향에서 보아, 입사각 45도로 되도록 X자 형상으로 배치되는 4개의 반사면을 갖고, X자의 한쪽 연장 방향을 따른 한 쌍의 반사면이, 다른 한 쌍의 반사면과 상이한 파장 영역의 광속을 반사하도록 구성된 광학 소자의 각 반사면의 상대 위치를 검사하는 광학 소자의 검사 장치에 있어서,

검사 대상으로 되는 광학 소자를 설치하는 스탠드와,

상기 4개의 반사면 중 어느 하나에 대하여, 입사각 45도로 측정광을 도입하는 측정광 도입부와,

이 측정광 도입부로부터 상기 광학 소자에 도입된 측정광의 복귀광을 검출하는 복귀광 검출부와,

상기 측정광의 도입 방향에서 보아, 한 쌍의 반사면 및 다른 한 쌍의 반사면의 교선에 의해 구획되는 2개의 영역 중 어느 한쪽 영역에만 상기 측정광을 도입하는 측정광 전환부를 구비하는 것을 특징으로 하는

광학 소자의 검사 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 반사면에 의해 반사된 광속을 반사하여 복귀광으로서 상기 복귀광 검출부에 도입하는 반사 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는

광학 소자의 검사 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 측정광 도입부 및 복귀광 검출부는 오토콜리메이터로서 일체적으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는

광학 소자의 검사 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 복귀광 검출부는 복귀광을 복수의 색광으로 분리하는 색 분리 광학계와, 이 색 분리 광학계에 의해 분리된 각 색광에 따른 복수의 촬상 소자를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는

광학 조사의 검사 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 촬상 소자에 의해 검출된 신호를 받아들이는 화상 수용부와,

이 화상 수용부에 의해 받아들여진 화상 신호의 화상 처리를 실행하고, 상기 한 쌍의 반사면 또는 다른 한 쌍의 반사면에 있어서의 상호 이루는 각도를 측정하는 반사면 각도차 측정부를 구비하는 것을 특징으로 하는

광학 소자의 검사 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 한 쌍의 반사면 및 다른 한 쌍의 반사면의 교선을 촬상하는 교선 찰상부와,

이 교선 촬상부에 의해 검출된 신호에 근거하여, 당해 교선의 폭 및 경사로부터 각 반사면의 접합 상태를 판정하는 접합 상태 판정부를 구비하는 것을 특징으로 하는

광학 소자의 검사 장치.
입사 광속의 광축과 직교하는 방향에서 보아, 입사각이 45도로 되도록 X자 형상으로 배치되는 4개의 반사면을 갖고, X자의 한쪽 연장 방향을 따른 한 쌍의 반사면이, 다른 한 쌍의 반사면과 상이한 파장 영역의 광속을 반사하도록 구성된 광학 소자의 각 반사면의 상대 위치를 검사하는 광학 소자의 검사 방법에 있어서,

검사 대상으로 되는 광학 소자 중 어느 하나의 반사면에 입사각 45도로 측정광을 도입하는 측정광 도입 공정과,

이 측정광 도입 공정에 의해 상기 광학 소자에 도입된 측정광의 복귀광을 검출하는 복귀광 검출 공정과,

측정광을 상기 어느 하나의 반사면에 따른 다른 반사면으로 전환하여 도입하는 측정광 전환 공정과,

전환된 측정광의 복귀광을 검출하여, 상기 어느 하나의 반사면에 대한 다른 반사면의 편차를 검출하는 편차 검출 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는

광학 소자의 검사 방법.
제 7 항에 있어서,

상기 한 쌍의 반사면 및 다른 한 쌍의 반사면의 교선 화상을 취득하는 교선 화상 취득 공정과,

당해 교선의 폭 및 경사로부터 각 반사면의 접합 상태를 판정하는 접합 상태 판정 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는

광학 소자의 검사 방법.