KR20030008244A - 드라이 필름을 이용한 컬러필터의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 상부 컬러필터 기판에 포함되어 컬러를 구현하는 컬러필터의 제조방법 중 특히 드라이 필름(dry-film)을 이용한 박막코팅방법에 관한 것으로, 각각 알칼리 용액에 용해되는 바인더(binder), 광 중합개시제, 관능성단량체(functionality monomer)를 포함하는 컬러감광층과, 열가소성 수지인 쿠션(cushion)층과, O2장벽층을 가지는 드라이 필름 감광성 시트를 통하여 기판 상에 컬러필터를 구현함에 있어서, 기판 상에 접착된 쿠션층과, O2장벽층과, 잔류 컬러감광층을 모두 용해하는 현상액을 개시하여 보다 개선된 컬러필터의 구현을 가능하게 한다.

Description

드라이 필름을 이용한 컬러필터의 제조방법{manufacturing method of color filter using dry film}
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는 액정표시장치의 상부 컬러필터 기판에 포함되어, 컬러를 구현하는 컬러필터(color filter)의 제조방법에 관한 것이다.
최근 정보화 사회로 시대가 급 발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었고, 이에 해상도, 컬러표시, 화질 등에서 특히 우수한 액정표시장치(liquid crystal display)가 개발되어, 노트북이나 데스크탑 모니터 등에 활발하게 적용되고 있다.
일반적으로 액정 표시 장치는 일면에 화소전극을 가지는 하부 어레이 기판과, 공통전극을 가지는 상부 컬러필터 기판을 각각 구비하여, 이들 화소전극과 공통전극이 서로 마주보도록 배열된 상태에서 그 사이에 액정을 충진하여 구성되는 바, 상기 두 전극에 인가되는 전압에 의하여 생성되는 전기장에 따라 그 사이에 개재된 액정을 움직이게 하여, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율을 통해 화상을 표현하는 장치이다.
이를 첨부된 도면을 통하여 보다 상세히 설명하면, 도 1은 일반적인 액정표시장치의 일부 단면을 도시한 단면도로서, 특히 하나의 공통전극(58)과 이와 대응하는 하나의 화소전극(26) 및 그 사이에 개재된 액정부분에 한정하여 도시한 단면도이다.
먼저 하부 어레이기판(10)에는 화소전극(26)과, 상기 화소전극(26)에 신호를 인가하는 박막트랜지스터(T)가 일대일 대응되는데 즉, 투명한 제 1 기판(5a) 위에 게이트 전극(12)과, 액티브층(16)과, 옴익콘택층(18a, 18b)과, 소스 및 드레인 전극(20a, 20b)을 포함하는 박막트랜지스터(T)를 형성하고, 이때 도면에 도시되지는 않았지만, 전술한 게이트 전극(12)은 게이트 배선과, 소스전극(20a)은 데이터 배선과 각각 연결된 상태에서, 상기 게이트 배선과 데이터 배선은 서로 직교하여 화소영역을 정의한다. 이러한 화소영역에는 투명 도전물질로 이루어진 화소전극(26)이 설치되어 전술한 박막트랜지스터(T)의 드레인 전극(20b)과 콘택홀(24)을 통하여 전기적으로 연결된다.
이때 미설명 부호 14와 22는 각각 게이트 전극(12)의 절연을 위한 절연층(14)과, 박막트랜지스터의 보호를 위한 보호막(22)을 도시한다.
또한 이러한 하부 어레이기판(10)의 상부로는, 그 사이에 개재되는 액정(30)을 매개로, 서로 대향되는 상부 컬러필터 기판(50)이 위치하는데 즉. 제 1 기판(5a)의 상부에 이와 일정간격을 가지고 이격되는 투명한 제 2 기판(5b)이 배치되고, 이러한 제 2 기판(5b)의 안쪽 면인 하부 어레이 기판(10)방향으로,화소전극(26)과 대응하는 부분에 개구부를 가지고, 기판 전면에 형성된 블랙 매트리스(52)가 상기 박막 트랜지스터(T)와 대응되는 위치에 형성되어, 화소전극(26) 이외의 부분에서 나오는 빛을 차단한다.
또한 블랙 매트리스(52)의 하부에는, 전술한 하부 어레이 기판(10)의 화소전극(26)과 일대일 대응하는 컬러필터(54)가 형성되어 컬러영상을 구현 할 수 있도록 하며, 이의 하부에는 컬러필터의 보호와, 단차를 없애기 위한 오버코트층(overcoat layer)(56)과, 투명한 도전 물질로 이루어진 공통전극(58)이 차례로 구성된다. 특히 이러한 액정 표시 장치에는 자체 발광원이 없기 때문에, 통상 액정 표시 장치의 배면에 위치하는 백라이트(back light)(미도시)를 구비하여, 이를 광원으로 액정의 배열상태에 따라 다양한 화상을 표시하게 된다.
이때 전술한 액정표시장치를 통하여 컬러영상을 구현하기 위한 핵심적 요소인 상부 컬러필터기판(50)에 형성된 컬러필터(54)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 각각 특정 파장대의 빛만을 투과시키는 적(R),녹(G)(G),청(B) 컬러필터 조각을 반복하여 배열하고, 이들을 통하여 구현된 세 종류의 빛의 양을 조절하여 더함으로써 풀 컬러를 구현한다. 이때 도 1과는 달리, 도 2에 도시한 바와 같이 블랙매트리스를 컬러필터의 상부에 형성할 수도 있음은 당업자에게는 자명한 사실이다.
즉, 이들 세 가지 색 각각은 하나의 화소 전극과 대응하면서, 하나의 화소를 이루고 있어, 각 컬러필터 조각을 통과한 빛의 비율에 따라 다양한 컬러를 표현할 수 있다.
이때 이러한 컬러필터를 구현하기 위하여, 통상 안료분산법이나 염색법, 전착법 등의 방법을 사용하는데, 이 중 특히 폴리이미드(polyimide) 계열의 안료가 분산된 재료를 기판 상에 도포하고, 이를 노광하여 패터닝 하는 안료분산법이 널리 이용되는 바, 이는 공정 마진에 있어서 유리하고, 내열, 내광성이 뛰어나면서, 특히 대형화 된 액정표시장치를 구현하는데 용이한 장점을 가지기 때문이다. 그러나 일반적인 안료분산법을 사용하여 적(R), 녹(G), 청(B) 각각의 컬러필터 조각을 구현하기 위해서는, 각각 안료의 분산 및 이의 노광, 패터닝 작업을 되풀이하게 되므로 전체적인 공정프로세스가 복잡하고, 고가의 제조장치를 사용하게 되어 액정표시장치의 가격을 상승시키는 등의 단점을 가지고 있다.
이에 보다 저가의 장비와, 단순한 공정프로세스로 구현 가능한 컬러필터의 제조기술이 요구되었고, 근래에 들어 장치 구성비용 및 신뢰성 등에 있어 혁신적인 개선이 가능한, 드라이 필름(dry-film)을 이용한 박막 코팅 기술이 개발되어 그 응용범위를 점차로 넓혀 가고 있다. 이러한 드라이 필름을 이용한 박막 코팅기술은, 액정표시장치의 제조공정과는 구별되는 공정을 통하여 제조된 감광성 시트를 기판 상에 부착, 처리하여, 적(R), 녹(G), 청(B) 각각의 컬러필터 조각을 구현하는 방법으로, 이때 사용되는 감광성 시트는 통상 도 3에 도시한 바와 같은 구성을 가지고 있다.
감광성 시트(60)는 각각 적(R),녹(G),청(B) 컬러필터용 감광성 시트로 구별되는데, 이들은 모두 커버필름(62)과 베이스 필름(69)의 사이로, 위에서부터 쿠션층(68)과, O2장벽층(66) 및 컬러 감광층(64)이 순서대로 배열되는 구성을 가지고,특히 베이스 필름(69)의 외면에는 정전기로부터 보호를 위한 정전기 방지층(70)이 포함되는 것이 일반적이다. 또한 커버 필름(62)과 베이스 필름(69)은 각각 감광성 시트(60)의 제조공정이나 운반 등의 프로세스에 있어서, 이에 가해지는 물리적 충격으로부터 그 사이에 있는 쿠션층(68)과, O2장벽층(66) 및 컬러 감광층(64)을 보호하기 위한 것으로, 이들은 후술하는 컬러필터의 제조공정 중에 제거되는 부분이며, 상기 커버 필름(62)의 하부에 위치하는 컬러 감광층(64)에 포함되는 안료에 따라, 감광성시트는 각각 적(R), 녹(G), 청(B) 컬러필터용으로 구분된다.
이러한 컬러 감광층(64)은 각각 적(R), 녹(G) 또는 청(B)색을 발현하는 유기안료와, 바인더(binder)와, 광 중합개시제와, 관능성 단량제(functionality monomer) 등의 광 중합형 감광조성물을 포함하는 바, 이는 후술하는 컬러필터의 제조공정 중에 기판과 접촉한 상태에서 선택적인 영역에 인가되는 빛에 의하여, 각각 적(R), 녹(G) 또는 청(B)색의 컬러필터 조각으로 변화되는 부분이며, 쿠션층(68)은 각각 적(R), 녹(G), 청(B) 컬러필터용 감광성 시트를 사용하여 컬러필터를 순차적으로 구성할 경우에, 먼저 증착된 컬러필터 조각이 가지는 단차를 극복하고 후속 접착되는 감광성 시트와 기판과의 용이한 접착을 가능하게 하기 위한 탄력을 가진 투명한 물질이다.
또한 O2장벽층(66)은, 컬러 감광층(64)의 감광 능력을 보존하고 특히 이의 선택적 노광에 있어서 반응의 전이를 억제하는 역할을 하는 것으로, 이들 각 부분에 대하여 후술하는 컬러필터 제조공정을 통해 보다 상세하게 설명한다.
도 4a 내지 도 4h는 도 3의 구성을 가지는 감광성 시트(60)를 사용하여 컬러필터를 구현하는 방법을 순서대로 도시한 도면으로, 먼저 도 4a와 같이 감광성 시트(60)가 가지는 정전기 방지층(70) 및 베이스 필름(69)과, 커버필름(62)을 제거하고, 적(R) 컬러필터용 컬러감광층(64a)이 기판과 접촉되도록 위치시킨다. 이후 도 4b와 같이, 기판 상에 적(R) 컬러필터용 컬러 감광층(64a)이 접촉되고, 그 상부로 O2장벽층(66)과 쿠션층(68)이 놓인 상태에서, 선택된 영역에만 빛을 조사 할 수 있도록 소정의 형상으로 이루어진 제 1 마스크(75a) 등의 수단으로 패터닝 된 빛을 쿠션층(68)의 상부를 통하여 조사한다.
이때 쿠션층(68)은 투명한 열 가소성 수지이고, 그 하부의 O2장벽층(66) 역시 빛을 투과하는 투명한 물질이므로, 이와 같이 패터닝되어 인가된 빛은 그 하부의 적(R) 컬러필터용 컬러감광층(64a)을 선택적으로 인가된다. 이와 같이 선택적인 영역에 빛이 조사된 적(R) 컬러필터용 컬러감광층은 바인더와, 관능성 단량체 및 광중합 개시제 등의 광 중합형 감광조성물과, 적색을 가지는 유기안료로 이루어짐은 전술한 바 있는데, 이러한 광 중합형 감광 조성물 중 광 중합 개시제는 빛을 받아 라디칼(radical)을 발생시키는 화합물로서, 이때 발생된 라디칼은 다관능성 단량체를 중합 반응시켜 용재에 녹지 않는 폴리머의 형태로 변형시킨다.
또한 바인더는 상온에서 액체상태의 다관능성 단량체를 막의 형태로 유지시켜 현상액에 견딜 수 있게 하고, 안료 분산의 안정화 및 컬러필터 패턴의 내열성과 내광성 및 내 약품성을 부여하는 물질로, 이들 물질을 포함하는 적(R) 컬러필터용컬러감광층(64a)은 선택된 영역에만 조사된 빛을 받아, 유기안료와 결합되어 용재에 녹지 않는 폴리머인 적(R) 컬러필터 조각(54a)으로 변형된다.
이와 같이 적(R) 컬러필터 조각이 형성되면, 이후 도 4c와 같이 박리액을 사용하여 쿠션층(68)과, 그 하부의 O2장벽층(66)을 제거함으로써 하부의 적(R) 컬러필터 조각(54a)과, 잔류 컬러감광층(64a)을 노출시키게 되는데, 이 후 기판을 도 4d와 같이 현상액에 노출시킴으로써 잔류 컬러감광층(64a)를 용해시켜, 적(R) 컬러필터 조각(54a)만을 기판 위에 남기게 된다.
이러한 과정을 통하여 도 4e에 도시한 바와 같이 적(R) 컬러필터 조각(54a)이 완성되면, 도 4f와 같이 기판의 상부로 다시 녹(G) 컬러필터용 감광성 시트가 접착되는데, 이때 미리 기판 위에 구성된 적(R) 컬러필터 조각(54a)에 의하여 생긴 단차는, 탄력을 가지는 쿠션층(68)에 의하여 극복되어, 적(R) 컬러필터가 없는 다른 부분에만 기판과 녹(G) 컬러필터용 컬러 감광층(64b)이 접촉된다.
이후 선택적인 영역에만 빛을 조사 할 수 있도록, 소정의 형상을 가지는 제 2 마스크(75b)를 사용하여, 녹(G) 컬러필터용 컬러 감광층(64b)의 일부에만 빛을 조사하여 녹(G) 컬러필터 조각(54b)을 형성하고, 다시 박리액 및 현상액으로 쿠션층(68) 및 장벽층(66)과, 잔류 녹(G) 컬러필터용 컬러 감광층(64b)을 제거하여, 도 4g와 같이 각각 적(R),녹(G) 컬러필터 조각(54a, 54b)을 구성하게 된다.
이후 다시 청(B) 컬러필터용 컬러 감광성 시트를 사용하여, 청(B) 컬러필터 조각(54c)을 패터닝 함으로써 적(R), 녹(G), 청(B) 각각의 컬러필터 조각(54a,54b, 54c)을 완성하게 되고, 이후 블랙매트리스를 증착함으로써 도 2에 도시한 바와 같은 기판이 완성된다. 이때 도면에 도시된 바와 달리 기판(5) 상에 블랙매트리스(52)를 먼저 형성하고, 이후 그 상부에 각각 적(R), 녹(G), 청(B) 컬러필터 조각(54a, 54b, 54c)을 형성할 수 있음은 전술한 바 있다.
이와 같이 감광성 시트를 사용하여 박막코팅기법으로 컬러필터를 구현하는 방법을 일반적인 안료분산법 또는 기타 다른 방법과 비교하면, 공정 프로세스 및 이를 위한 제조장치는 월등하게 단순화되는 장점을 가지고 있다. 그러나 이러한 방법 또한 각각의 컬러필터 조각을 구현하는 과정에 있어서, 기판 상에 잔류하는 쿠션층과 잔류 컬러 감광층의 제거를 의해 서로 다른 화학용액인 박리액과 현상액을 반복하여 사용하게 되므로 공정을 다소 복잡하게 만들과, 미리 형성된 컬러필터 조각에 화학적 충격을 주는 문제점을 가지고 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 감광성 시트를 사용한 박막코팅기법으로 컬러필터 층을 구현함에 있어서, 기(旣) 형성된 컬러필터에 가해지는 화학 또는 물리적 충격을 최소화하면서, 보다 단순한 공정을 통해서 쿠션층 및 잔류 컬러감광층을 제거할 수 있는 방법을 제공하여, 보다 개선된 컬러필터를 구현하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 일반적인 액정표시장치의 일부 단면을 도시한 개략 단면도
도 2는 일반적인 액정표시장치에 포함되는 컬러필터 기판의 단면을 도시한 단면도
도 3은 일반적인 박막 코팅용 드라이 필름인 감광성 시트의 구조를 도시한 단면도
도 4a 내지 도 4h는 일반적인 감광성 시트를 사용하여 컬러필터를 제조하는 방법을 순서대로 도시한 공정단면도
도 5는 본 발명에 따른 컬러필터 구현방법에 적용되는 감광성 시트의 구조를 도시한 단면도
도 6a 내지 도 6g는 도 5의 감광성 시트를 사용하여, 본 발명에 따른 컬러필터의 제조방법을 순서대로 도시한 공정 단면도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
105 : 기판154a :적(R) 컬러필터 조각
164a : 잔류 컬러감광층166 : O2장벽층
168 : 쿠션층
상기와 같은 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 ㄱ)알칼리 용해성 수지로 이루어진 투명한 쿠션층과, ㄴ)상기 쿠션층의 상부에 위치하는 투명한 O2장벽층과, ㄷ)상기 O2장벽층의 상부에 위치하고, 바인더와, 광중합 개시제와, 다관능성 모너모와, 안료를 포함하는 컬러감광층을 가지는 컬러감광성 시트를 사용하여, 기판 상에 컬러필터 조각을 형성하는 방법으로서, 상기 컬러감광성 시트를 구비하여, 상기 기판의 일면에 상기 컬러감광층이 접촉하고 그 상부로 O2장벽층과, 쿠션층이 순서대로 위치하도록 하는 단계와; 상기 쿠션층의 상부로부터 패터닝된 빛을 조사하여 상기 컬러감광층의 선택된 영역을 폴리머로 변화하는 단계와; 상기 쿠션층과, O2장벽층과, 잔류 컬러감광층을 하나의 현상액을 사용하여 동일공정에서 제거하는 단계를 포함하는 컬러필터제조방법를 제공한다.
이때 특히 상기 쿠션층과, O2장벽층과, 잔류 컬러감광층을 하나의 현상액을 사용하여 동일공정에서 제거하는 단계에 있어서, 상기 현상액은 수산화칼륨(KOH) 또는 테트라암모늄하이드록사이드 (tetramethyl ammonium hydroxide : TMAH) 중 선택된 하나인 것을 특징으로 한다.
이하 본 발명에 대한 올바를 실시예를 첨부된 도면을 통하여 보다 상세히 설명한다.
본 발명은 감광성 시트를 사용하여 컬러필터를 구현함에 있어서, 알칼리 용해성 물질을 사용하여 동일 공정에서, 쿠션층 및 잔류 컬러감광층을 모두 제거하는 것을 특징으로 하는 바, 이러한 본 발명에 따른 컬러필터 제조방법에 사용되는 감광성 시트는 도 5에 도시한 바와 같은 구성을 가지고 있다.
즉, 본 발명에 따른 컬러필터 제조방법에 사용되는 감광성 시트(160)는 컬러감광층(164)에 포함되는 안료에 따라 각각 적(R), 녹(G), 청(B) 컬러필터용 감광성 시트로 구분되는 바, 이들은 각각 쿠션층(168)과, O2장벽층(166) 및 컬러감광층(164)을 사이에 두고 서로 이격된 베이스 필름(169)과, 커버필름(162)을 포함하고 있음은 일반적인 경우와 동양(同樣)이다.
이때 베이스 필름(169)의 외면에는, 정전기로부터 감광성 시트(160)의 보호를 위한 정전기 방지층(170)이 포함되는 것이 바람직한데, 상기 쿠션층(168)은 기(旣) 증착된 컬러필터 조각이 가지는 단차를 극복하여 후속 접착되는 감광성 시트와 기판과의 용이한 접착을 가능하게 하기 위한 탄력을 가진 투명한 물질로서, 특히 알칼리 용액에 용해되는 투명한 열 가소성 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한 커버필름(162)의 상부에는, 여기에 포함된 안료의 색깔에 따라각각 적(R), 녹(G), 청(B)으로 구분되는 컬러감광층(164)이 위치하는데, 이는 각각 적(R), 녹(G) 또는 청(B)색을 발현하는 유기안료와, 광 중합형 감광조성물을 포함하는데, 광 중합형 감광조성물은 빛을 받아 라디칼을 발생시키는 광중합 개시제와, 상기 광중합 개시제가 발생시킨 라디칼과 중합반응을 하여 용제에 녹지않는 폴리머의 형태로 변화되는 다관능성 단량체와, 상온에서 액체상태인 다관능성 단량체의막을 유지시켜 현상액에 견딜 수 있게 하고, 안료분산의 안정화 및 컬러필터 패턴의 내열성과 내광성 및 내약품성을 부여하는 바인더를 포함하고 있다.
또한 전술한 쿠션층(168)과 컬러감광층(164)의 사이에는, 컬러감광층(164)의 감광능력을 보존하고, 선택적 노광에 있어서 반응의 전이를 억제하는 O2장벽층(166)이 위치하는데, 이러한 감광성 시트(160)를 사용하여 컬러필터를 구현하는 본 발명에 따른 제조방법을 각각 순서대로 도시한 도 6a 내지 도 6g를 통하여 보다 상세히 설명한다.
먼저 감광성 시트(160)의 정전기 방지층(170) 및 베이스 필름(169)과 커버필름(162)을 제거한 상태에서, 도 6a 같이 적(R) 컬러필터용 컬러감광층(164a)을 기판(105)과 접촉되도록 하여 적(R) 컬러필터용 컬러감광층(164a)과, O2장벽층(166)과, 쿠션층(168)이 순서대로 위치하게 하고, 쿠션층(168)의 상부에서 선택된 영역에만 빛을 조사할 수 있도록, 소정의 형상을 가지는 제 1 마스크(175a) 등의 수단을 사용하여, 도 6b와 같이 선택된 일부영역에만 빛을 조사한다.
이때 쿠션층(168)과 O2장벽층(166)은 각각 빛이 통과할 수 있는 투명한 물질이므로, 빛은 하부의 적(R) 컬러필터용 컬러감광층(164a)에 제 1 마스크의 패턴(175a)을 따라 선택적으로 조사되고, 이와 같이 선택적(R) 빛이 조사된 적(R) 컬러필터용 컬러 감광층은 바인더, 다 관능성 단량체 및 광 중합개시제로 이루어지는 광중합형 감광조성물과, 적색 유기안료를 포함하고 있으므로, 빛에 의하여 적(R) 컬러필터용 컬러감광층(164a)의 일부는 유기안료와 결합되어 착색된 상태에서 용재에 녹지 않는 폴리머 적(R) 컬러필터 조각(154a)으로 변화된다.
이와 같이 적(R) 컬러필터 조각이 형성되면, 이후 도 6c와 같이 본 발명에 따른 현상액을 사용하여 쿠션층(168) 및 O2장벽층(166)과, 잔류 적(R) 컬러필터용 컬러감광층(164a)을 동일공정에서 제거하게 되는데, 이때 사용되는 현상액은 알칼리성을 가진 수산화칼륨(KOH) 또는 테트라메틸암모늄하이드록사이드(tetramethyl ammonium hydroxide : TMAH)를 사용하게 된다.
이와 같은 알칼리성 현상액을 사용하게 되면, 알칼리 용해성 수지로 이루어진 쿠션층(168) 및 O2장벽층(166)과, 그 하부의 잔류 적(R) 컬러필터용 컬러감광층(164a)을 모두 제거하는 것이 가능하게 되는 바, 이를 통하여 제조공정을 보다 단순하게 할 수 있다. 이후 도 6d와 같이 적(R) 컬러필터 조각이 완성되면, 이의 상부로 다시 녹(G) 컬러필터용 감광성 시트가 접착되는데, 이때 기판 상에 기 형성된 적(R) 컬러필터 조각(154a)에 의하여 생긴 단차는, 탄력을 가지는 쿠션층(168)에 의하여 극복되어, 적(R) 컬러필터(154a)가 없는 다른 부분에만 기판(105)과 녹(G) 컬러필터용 컬러감광층(164b)이 접촉된다.
이후 다시 선택적인 영역에만 빛을 조사 할 수 있도록 소정의 형상을 가지는 제 2 마스크(175b)를 사용하여 녹(G) 컬러필터용 컬러감광층(164b)의 일부에만 빛을 조사함으로써, 원하는 위치에 녹(G) 컬러필터 조각(154b)을 형성할 수 있다. 이후 적(R), 녹(G) 컬러필터 조각(154a, 154b)을 제외한 다른 잔류물, 즉 잔류 녹(G) 컬러필터용 컬러감광층(164b)과, O2장벽층(166) 및 쿠션층(168)을 본 발명에 따른현상액인 알칼리성을 가진 수산화칼륨 또는 테트라메틸암모늄하이드록사이드를 사용하여 한번에 제거함으로써 도 6f와 같이 적(R),녹(G) 컬러필터를 구성할 수 있으므로, 기 증착된 적(R) 컬러필터 조각에 가해지는 화학물질의 종류와 양을 최소화 할 수 있는 장점을 가지고 있다.
이후 다시 청(B) 컬러필터용 컬러감광성 시트를 사용하여 도 6g와 같이 청(B) 컬러필터 조각(154c)을 패터닝 함으로써, 적(R), 녹(G), 청(B) 각각의 컬러필터 조각(154a, 154, 154c)을 완성하게 되고, 이후 블랙매트리스를 형성하여 컬러필터기판을 완성하게 된다.
본 발명은 감광성 시트를 사용한 컬러필터의 제조에 있어서, 적(R), 녹(G), 청(B) 각각의 컬러필터 조각을 구현하는 공정에서 되풀이되는 쿠션층 및 O2장벽층의 제거와, 잔류 컬러감광층의 제거를 동일공정에서 가능하게 하는 현상액을 제공하여, 기판 및 기 형성된 컬러필터 조각에 가해지는 물리적 또는 화학적 충격을 최소화 할 수 있는 장점을 가지고 있다. 또한 동일 공정에서 쿠션층 및 O2장벽층의 제거와, 잔류 컬러감광층의 제거를 함에 따라 공정라인을 단순화 할 수 있고, 관리에 용이하며 제조공정에 필요한 시간 및 재료를 절감할 수 있어 보다 개선된 액정표시장치의 구현을 가능하게 한다.

Claims (2)

  1. ㄱ)알칼리 용해성 수지로 이루어진 투명한 쿠션층과,
    ㄴ)상기 쿠션층의 상부에 위치하는 투명한 O2장벽층과,
    ㄷ)상기 O2장벽층의 상부에 위치하고, 바인더와, 광중합 개시제와, 다관능성 모너모와, 안료를 포함하는 컬러감광층을 가지는 컬러감광성 시트를 사용하여, 기판 상에 컬러필터 조각을 형성하는 방법으로서,
    상기 컬러감광성 시트를 구비하여, 상기 기판의 일면에 상기 컬러감광층이 접촉하고 그 상부로 O2장벽층과, 쿠션층이 순서대로 위치하도록 하는 단계와;
    상기 쿠션층의 상부로부터 패터닝된 빛을 조사하여 상기 컬러감광층의 선택된 영역을 폴리머로 변화하는 단계와;
    상기 쿠션층과, O2장벽층과, 잔류 컬러감광층을 하나의 현상액을 사용하여 동일공정에서 제거하는 단계
    를 포함하는 컬러필터제조방법
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 쿠션층과, O2장벽층과, 잔류 컬러감광층을 하나의 현상액을 사용하여동일공정에서 제거하는 단계에 있어서,
    상기 현상액은 수산화칼륨(KOH) 또는 테트라암모늄하이드록사이드 (tetramethyl ammonium hydroxide : TMAH) 중 선택된 하나인 컬러필터 제조방법
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