KR200280457Y1

KR200280457Y1 - Voltage checking device for the stepper

Info

Publication number: KR200280457Y1
Application number: KR2020020010185U
Authority: KR
Inventors: 이현길
Original assignee: 아남반도체 주식회사
Priority date: 2002-04-04
Filing date: 2002-04-04
Publication date: 2002-07-02

Abstract

본 고안은 스텝퍼의 전압확인 장치를 개시한 것으로, 패널 전면에 디지털 전압 표시부가 설치되고, 스텝퍼에 설치된 모터류의 전압을 확인하기 위한 제 1 버튼이 패널 전면에 설치되고, 스텝퍼에 설치된 PCB에 공급되는 구동전압을 확인하기 위한 제 2 버튼이 패널 전면에 설치되며, PCB에 공급되는 구동전압을 조절하기 위한 가변저항 노브가 패널 전면에 설치되는 노광 장비의 전압확인 장치인 것을 특징으로 한다.The present invention discloses a voltage check device for a stepper, wherein a digital voltage display is installed on the front of the panel, a first button for checking the voltage of motors installed on the stepper is installed on the front of the panel, and is supplied to the PCB installed on the stepper. The second button for checking the driving voltage is installed on the front panel, characterized in that the variable resistance knob for adjusting the driving voltage supplied to the PCB is a voltage checking device of the exposure equipment is installed on the front panel.

본 고안에 따르면 스텝퍼에 설치된 구동모터류와 PCB에 공급되는 구동전압을 필요한 경우 언제든지 수치적으로 확인할 수 있도록 하여 스텝퍼에 공급되는 구동전압을 안정적으로 제어할 수 있다.According to the present invention, the driving motors installed in the stepper and the driving voltage supplied to the PCB can be numerically checked whenever necessary, so that the driving voltage supplied to the stepper can be stably controlled.

Description

Voltage checking device of exposure equipment {VOLTAGE CHECKING DEVICE FOR THE STEPPER}

본 고안은 반도체 소자를 제조하기 위해 광 리소그래피 공정에 사용되는 스텝퍼의 전압확인 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 스텝퍼에 설치된 구동모터류와 PCB에 공급되는 구동전압을 필요한 경우 언제든지 수치적으로 확인할 수 있도록 한 스텝퍼의 전압확인 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stepper voltage checking device used in an optical lithography process for manufacturing a semiconductor device, and more particularly, the driving motors installed in the stepper and the driving voltage supplied to the PCB can be numerically checked whenever necessary. It relates to a voltage check device of a stepper.

반도체 소자를 제조하는 공정에서 마스크 상의 패턴을 웨이퍼 위에 옮기는 공정을 광 리소그래피 공정(optical lithography process)이라고 한다. 이러한 광 리소그래피 공정을 수회 내지 수십회 반복함으로써 반도체 소자의 회로가 완성된다.In the process of manufacturing a semiconductor device, the process of transferring a pattern on a mask onto a wafer is called an optical lithography process. The circuit of the semiconductor device is completed by repeating this optical lithography process several times to several tens of times.

광 리소그래피 공정을 하기 위해서는 크롬이나 산화철 같은 물질에 의해 투명 또는 불투명 패턴이 형성된 래티클(reticle) 또는 마스크를 준비한다.In order to perform the photolithography process, a reticle or mask in which a transparent or opaque pattern is formed by a material such as chromium or iron oxide is prepared.

한편, 웨이퍼 위에 감광막을 얇게 입히고, 미리 제작한 마스크를 웨이퍼 위에 올려놓고 빛을 쪼인다. 마스크 패턴에 따라 빛을 받은 부분과 받지 않은 부분이 생기고 현상액(developer)으로 처리하면 감광액의 특성에 따라, 즉, 양성(positive-type)이면 감광된 부분이 음성이면 감광되지 않은 부분이 제거된다. 이처럼 감광막으로 마스크의 패턴이 옮겨지면 이 감광막 패턴을 이용하여 식각이나 불순물 도핑을 선택적으로 할 수 있게 된다.On the other hand, a thin photosensitive film is coated on the wafer, and a mask prepared in advance is placed on the wafer to emit light. According to the mask pattern, the lighted part and the unreceived part are generated and treated with a developer, and according to the characteristics of the photoreceptor, that is, the positive part is positive and the negative part is removed. When the pattern of the mask is transferred to the photoresist as described above, etching or impurity doping can be selectively performed using the photoresist pattern.

도 1은 종래기술에 따른 스텝퍼의 전압공급장치의 구성을 도시한 개략도로서, 일반적으로 스텝퍼의 콘트롤 박스 뒷부분에 설치되어 있다. 통상적으로 스텝퍼 내부에 장착된 다수의 모터류는 15볼트의 전압을 사용하고, 스텝퍼 내부의 동작을 제어하기 위한 PCB(인쇄회로기판; 5)은 5볼트의 전압을 사용한다. 한편, 전압공급장치 패널(1) 전면에는 이와 같은 모터류에 공급된 전압의 이상유무를 체크하기 위한 LED(2)와 PCB에 공급된 전압의 이상유무를 체크하기 위한 LED(3)가 설치되어 있다. 즉, 전원 공급 측에 문제가 발생되는 경우, LED(2, 3)가 오프(off)되거나 램프의 밝기 차이로 작업자가 육안으로 이상 유무를 판단하여 전압 조정용 가변저항 노브(4)를 이용하여 전압을 조절하여 조치할 수 있도록 되어 있다.1 is a schematic diagram showing the configuration of a voltage supply device for a stepper according to the prior art, and is generally provided at the rear of the control box of the stepper. Typically, many motors mounted inside the stepper use a voltage of 15 volts, and a PCB (printed circuit board) 5 for controlling the operation inside the stepper uses a voltage of 5 volts. On the other hand, the front of the voltage supply panel (1) is provided with an LED (2) for checking the abnormality of the voltage supplied to such motors, and an LED (3) for checking the abnormality of the voltage supplied to the PCB is installed have. That is, when a problem occurs on the power supply side, the LED (2, 3) is turned off (off) or the operator visually determines whether there is an abnormality due to the difference in the brightness of the lamp, the voltage using the variable resistor knob (4) for voltage adjustment It can be adjusted by adjusting.

한편, PCB(5)에 공급되는 구동 전압은 미세한 전압차에 의해서도 노광 공정 상에 영향을 미치므로 정확한 전압제어가 필요하지만 종래기술에 따른 LED(3)는PCB(5)에 공급되는 구동전압을 LED(3)의 상태만으로 파악해야 하므로 주관적일뿐만 아니라 정량적으로 측정할 수 없어 구동전압을 적절하게 조절하기에 적합하지 않은 단점이 있었다.On the other hand, since the driving voltage supplied to the PCB 5 affects the exposure process even by a minute voltage difference, accurate voltage control is required, but the LED 3 according to the prior art uses the driving voltage supplied to the PCB 5. Since only the state of the LED (3) needs to be understood, it is not only subjective but also cannot be measured quantitatively, which is not suitable for appropriately adjusting the driving voltage.

따라서, 본 고안은 이와 같은 종래의 단점을 해소하기 위한 것으로, 스텝퍼에 설치된 구동모터류와 PCB에 공급되는 구동전압을 필요한 경우 언제든지 수치적으로 확인할 수 있도록 하여 스텝퍼에 공급되는 구동전압을 안정적으로 제어할 수 있도록 하는 스텝퍼의 전압확인 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention is to solve the above-mentioned disadvantages, and the drive motors installed in the stepper and the drive voltage supplied to the PCB can be numerically checked at any time if necessary, thereby stably controlling the drive voltage supplied to the stepper. It is an object of the present invention to provide a stepper voltage checking device.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안은 패널 전면에 디지털 전압 표시부가 설치되고, 스텝퍼에 설치된 모터류의 전압을 확인하기 위한 제 1 버튼이 패널 전면에 설치되고, 스텝퍼에 설치된 PCB에 공급되는 구동전압을 확인하기 위한 제 2 버튼이 패널 전면에 설치되며, PCB에 공급되는 구동전압을 조절하기 위한 가변저항 노브가 패널 전면에 설치되는 노광 장비의 전압확인 장치인 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a digital voltage display unit is installed on the front panel, the first button for checking the voltage of the motor installed in the stepper is installed on the front panel, the drive voltage supplied to the PCB installed on the stepper A second button for confirming is installed on the front panel, characterized in that the variable resistance knob for adjusting the driving voltage supplied to the PCB is a voltage confirmation device of the exposure equipment is installed on the front panel.

본 고안의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 고안의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above object and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.

도 1은 종래기술에 따른 스텝퍼의 전압공급장치의 구성을 도시한 개략도,1 is a schematic diagram showing the configuration of a voltage supply device for a stepper according to the prior art;

도 2는 본 고안에 따른 스텝퍼의 전압공급장치의 구성을 도시한 개략도.Figure 2 is a schematic diagram showing the configuration of a voltage supply device for a stepper according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

11 ; 패널 12 ; 디지털 전압 표시부11; Panel 12; Digital voltage display

13 ; 제 1 버튼 14 ; 제 2 버튼13; First button 14; 2nd button

15 ; 가변저항 노브15; Variable resistance knob

도 2는 본 고안에 따른 스텝퍼의 전압확인 장치의 구성을 도시한 개략도로서, 본 고안에 따른 전압확인 장치는 패널(11) 전면에 설치된 디지털 전압 표시부(12), 스텝퍼에 설치된 모터류의 전압을 확인하기 위한 제 1 버튼(13), 스텝퍼에 설치된 PCB에 공급되는 구동전압을 확인하기 위한 제 2 버튼(14) 및 PCB에 공급되는 구동전압을 조절하기 위한 가변저항 노브(15)로 구성된다.Figure 2 is a schematic diagram showing the configuration of the voltage check device of the stepper according to the present invention, the voltage checking device according to the present invention is a digital voltage display unit 12 provided on the front panel 11, the voltage of the motors installed in the stepper The first button 13 for checking, the second button 14 for checking the driving voltage supplied to the PCB installed in the stepper and the variable resistance knob 15 for adjusting the driving voltage supplied to the PCB.

본 고안에 따른 디지털 전압 표시부(12)는 모터류 또는 PCB에 공급되는 전압을 측정하여 수치로 표시한다. 예를 들어 PCB 구동전압은 5.00과 같이 정수 한자리와 소수점 두자리로 표시되며, 모터류인 경우에는 15. 0과 같이 표시된다.The digital voltage display unit 12 according to the present invention measures the voltage supplied to motors or PCBs and displays them in numerical values. For example, PCB driving voltage is displayed as one integer and two decimal places, such as 5.00, and 15. 0 for motors.

본 고안에 따른 제 1 버튼(13)은 모터류의 전압을 확인하기 위한 것으로, 정방향으로 회전시키기 위해 공급되는 +15 볼트의 전압과, 역방향으로 회전시키기 위해 공급되는 -15볼트의 전압을 각각 측정할 수 있도록 분리되어 있다.The first button 13 according to the present invention is for checking the voltage of the motor, measuring the voltage of +15 volts supplied to rotate in the forward direction, and the voltage of -15 volts supplied to rotate in the reverse direction, respectively. It is separated so that it can be done.

본 고안에 따른 제 2 버튼(14)은 PCB에 공급되는 5볼트의 구동전압을 확인하기 위한 것으로, 누르면 해당 전압을 확인할 수 있다.The second button 14 according to the present invention is for checking the driving voltage of 5 volts supplied to the PCB, and when pressed, the corresponding voltage can be checked.

본 고안에 따른 가변저항 노브(15)는 PCB에 공급되는 5볼트의 구동저압을 조절하기 위한 것으로 일자 드라이버 등을 이용하여 회전시킴으로서 구동전압을 조절할 수 있다.The variable resistance knob 15 according to the present invention is to adjust the driving low pressure of 5 volts supplied to the PCB, and can rotate the driving voltage by using a flathead screwdriver or the like.

이와 같이 구성된 본 고안에 따르면, 스텝퍼에 설치된 모터류 및 PCB 구동전압을 특별한 계측장비의 설치 없이 단지, 버튼을 누름으로서 바로 현재의 구동전압을 확인할 수 있으며, 특히 PCB 구동전압은 확인 후 조정할 수 있다. 또한, 종래에는 개별 PCB의 구동전압을 측정하기 위해 이웃하는 PCB에 손상을 가하거나 쇼트를 발생시키는 경우가 종종 있었으나 본 고안에 따르면 이와 같은 위험요소가 근본적으로 해결된다.According to the present invention configured as described above, the motor and the PCB driving voltage installed in the stepper can be checked immediately by pressing a button without installing special measuring equipment, and in particular, the PCB driving voltage can be adjusted after checking. . In addition, in the related art, in order to measure driving voltages of individual PCBs, the neighboring PCBs are often damaged or short. However, according to the present invention, such a risk factor is fundamentally solved.

이상, 상기 내용은 본 고안의 바람직한 일실시예를 단지 예시한 것으로 본고안의 당업자는 본 고안의 요지를 변경시킴이 없이 본 고안에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.As described above, the above description merely illustrates a preferred embodiment of the present invention, and those skilled in the art should recognize that the present invention can be modified and changed without changing the gist of the present invention.

상술한 바와 같이, 본 고안에 따르면 스텝퍼에 설치된 구동모터와 PCB에 공급되는 구동전압을 필요한 경우 언제든지 수치적으로 확인할 수 있도록 하여 스텝퍼에 공급되는 구동전압을 안정적으로 제어할 수 있다.As described above, according to the present invention, the driving voltage supplied to the stepper and the driving voltage supplied to the PCB can be numerically checked whenever necessary, so that the driving voltage supplied to the stepper can be stably controlled.

Claims

A digital voltage display is installed on the front of the panel, and a first button for checking the voltage of motors installed in the stepper is installed on the front of the panel, and a second button for checking the driving voltage supplied to the PCB installed on the stepper is provided on the front of the panel. It is installed in the, the voltage confirmation device of the exposure equipment is installed on the front panel of the variable resistance knob for adjusting the driving voltage supplied to the PCB.