KR200249178Y1 - 유량계를 이용한 챔버 압력 제어장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 유량계를 이용한 챔버 압력 제어장치에 관한 것으로, 챔버 내부를 진공 상태로 유지시키는 진공 펌프; 진공상태가 완료된 후, 챔버 내부에 질소를 주입시켜 상압 상태로 만드는 밸브; 챔버 내의 질소량이 임의의 압력이 되는지를 감지하는 상압 센서; 상압 센서의 감지 결과, 임의의 압력 이상이 되어 밸브를 개방(open)시켜 질소를 배출할 경우 배출되는 질소량을 일정하게 배출시켜 챔버의 압력에 변화가 없도록 제어하는 유량계를 구비한다. 따라서, 챔버 내의 미세한 진공상태에 따라 개방(open)되는 엘레베이터를 개폐(close)시켜 엘레베이터가 개방되어 공기를 흡입하는 과정에서 공정 웨이퍼 상에 먼지가 쌓이게 되는 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.

Description

유량계를 이용한 챔버 압력 제어장치{APPARATUS FOR CONTROLLING CHAMBER PRESSURE BY USING FLOW METER}

본 고안은 유량계를 이용한 챔버 압력 제어장치에 관한 것으로, 특히 저압 씨브이디(Chemical Vapor Deposition : 이하, CVD라 약칭함) 열처리 챔버 시스템에 있어서, 유량계를 배출 라인에 장착하여 배출되는 질소량을 일정하게 배출시켜 챔버의 압력에 변화가 없도록 제어하는 장치에 관한 것이다.

통상적으로, 저압 CVD 열처리 챔버 시스템은 도 1에 도시된 바와 같이, 진공펌프(1)와, 챔버(2)와, 상압 센서(3)와, 엘레베이터(4)와, 밸브(5)와, 가스정제장치(6)를 구비한다.

진공 펌프(1)는 CVD를 진행하기 전에 진공 라인(S1)을 개방(open)시켜 챔버(2) 내부를 진공 상태로 유지시킨다.

진공상태가 완료되면, 진공 라인(S1)을 개폐(close)시킴과 동시에 밸브(5)를 개방(open)시켜 챔버(2) 내에 질소를 주입시켜 상압 상태로 만든다.

이때, 상압 센서(3)는 챔버(2)내의 질소량을 감지하여 임의의 압력(예로, 760 torr)이 될 경우 밸브(5)를 개폐(close)시켜 질소가 유입되지 않도록 제어하며, 임의의 압력(예로, 760 torr) 이하일 경우 밸브(5)를 개방(open)시켜 질소가 배출 라인(S2)을 통해 유입되도록 제어하며, 임의의 압력(예로, 760 torr) 이상일 경우 밸브(5)를 개방(open)시켜 질소가 배출 라인(S2)을 통해 배출되도록 제어한다.

한편, 상압 센서(3)의 감지 결과, 임의의 압력(예로, 760 torr) 이상이 되어 밸브(5)를 개방(open)시켜 질소를 배출 라인(S2)을 통해 가스정제장치(6)로 배출할 경우, 챔버(2) 내가 미세한 진공상태가 된 상태로 엘레베이터(4)가 개방(open)된다.

즉, 엘레베이터(4)가 개방됨과 동시에 주변 공기를 흡입하게 되는데, 공기를 흡입하는 과정에서 공정 웨이퍼 상에 먼지가 쌓이게 되는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 그 목적은 상압 센서의 감지 결과, 임의의 압력(예로, 760 torr) 이상이 되어 밸브를 개방(open)시켜 질소를 배출 라인을 통해 배출할 경우, 유량계를 배출 라인에 장착하여 배출되는 질소량을 일정하게 배출시켜 챔버의 압력에 변화가 없도록 제어하는 유량계를 이용한 챔버 압력 제어장치를 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 고안에서 유량계를 이용한 챔버 압력 제어장치는 챔버 내부를 진공 상태로 유지시키는 진공 펌프; 진공상태가 완료된 후, 챔버 내부에 질소를 주입시켜 상압 상태로 만드는 밸브; 챔버 내의 질소량이 임의의 압력이 되는지를 감지하는 상압 센서; 상압 센서의 감지 결과, 임의의 압력 이상이 되어 밸브를 개방(open)시켜 질소를 배출할 경우 배출되는 질소량을 일정하게 배출시켜 챔버의 압력에 변화가 없도록 제어하는 유량계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 종래 챔버 압력 제어장치에 대한 도면이며,

도 2는 본 고안에 따른 유량계를 이용한 챔버 압력 제어장치에 대한 도면이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 진공펌프 20 : 챔버

30 : 상압 센서 40 : 엘레베이터

50 : 밸브 60 : 유량계

70 : 가스정제장치

S1 : 진공 라인 S2 : 배출 라인

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 바람직한 실시 예의 동작을 상세하게 설명한다.

도 2는 본 고안에 따른 유량계를 이용한 챔버 압력 제어장치에 대한 도면으로서, 진공펌프(10)와, 챔버(20)와, 상압 센서(30)와, 엘레베이터(40)와, 밸브(50)와, 유량계(60)와, 가스정제장치(70)를 포함한다.

진공 펌프(10)는 CVD를 진행하기 전에 진공 라인(S1)을 개방(open)시켜챔버(20) 내부를 진공 상태로 유지시킨다.

진공상태가 완료되면, 진공 라인(S1)을 개폐(close)시킴과 동시에 밸브(50)를 개방(open)시켜 챔버(20) 내에 질소를 주입시켜 상압 상태로 만든다.

이때, 상압 센서(30)는 챔버(20)내의 질소량을 감지하여 임의의 압력(예로, 760 torr)이 되는지를 판단한다.

상기 판단에서 상압 센서(30)는 임의의 압력(예로, 760 torr)이 될 경우 밸브(50)를 개폐(close)시켜 질소가 유입되지 않도록 제어한다. 상기 판단에서 임의의 압력(예로, 760 torr) 이하일 경우 밸브(50)를 개방(open)시켜 질소가 배출 라인(S2)을 통해 유입되도록 제어한다. 반면에, 상기 판단에서 임의의 압력(예로, 760 torr) 이상일 경우 밸브(50)를 개방(open)시켜 질소가 배출 라인(S2)을 통해 배출되도록 제어한다.

한편, 상압 센서(30)의 감지 결과, 임의의 압력(예로, 760 torr) 이상이 되어 밸브(50)를 개방(open)시켜 질소를 배출 라인(S2)을 통해 유량계(60)로 배출한다.

유량계(60)는 배출 라인(S2)에 장착되어 밸브(50)를 통해 배출되는 질소량을 일정하게 가스정체장치(70)로 배출시켜 챔버(20)의 압력에 변화가 없도록 제어한다.

이에 따라, 챔버(20) 내의 미세한 진공상태에 따라 개방(open)되는 엘레베이터(40)를 개폐(close)시켜 엘레베이터가 개방되어 공기를 흡입하는 과정에서 공정 웨이퍼 상에 먼지가 쌓이게 되는 문제점을 해결할 수 있는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안은 상압 센서의 감지 결과, 임의의 압력(예로, 760 torr) 이상이 되어 밸브를 개방(open)시켜 질소를 배출 라인을 통해 배출할 경우, 유량계를 배출 라인에 장착하여 배출되는 질소량을 일정하게 배출시켜 챔버의 압력에 변화가 없도록 제어함으로써, 챔버 내의 미세한 진공상태에 따라 개방(open)되는 엘레베이터를 개폐(close)시켜 엘레베이터가 개방되어 공기를 흡입하는 과정에서 공정 웨이퍼 상에 먼지가 쌓이게 되는 문제점을 해결할 수 있는 효과가 있다.

Claims (3)

1. 엘레베이터를 구비하는 열처리 챔버 시스템의 압력 제어장치에 있어서,

   상기 챔버 내부를 진공 상태로 유지시키는 진공 펌프;

   상기 진공상태가 완료된 후, 상기 챔버 내부에 질소를 주입시켜 상압 상태로 만드는 밸브;

   상기 챔버 내의 질소량이 임의의 압력이 되는지를 감지하는 상압 센서;

   상기 상압 센서의 감지 결과, 상기 임의의 압력 이상이 되어 상기 밸브를 개방(open)시켜 질소를 배출할 경우 상기 배출되는 질소량을 일정하게 배출시켜 상기 챔버의 압력에 변화가 없도록 제어하는 유량계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유량계를 이용한 챔버 압력 제어장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 유량계를 제어하여 상기 챔버의 압력에 변화가 없도록 함에 따라 상기 챔버 내의 미세한 진공상태에 따라 개방(open)되는 상기 엘레베이터를 개폐(close)시키는 것을 특징으로 하는 유량계를 이용한 챔버 압력 제어장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 임의의 압력은

   상기 챔버 내부의 질소 압력으로 760 torr인 것을 특징으로 하는 유량계를 이용한 챔버 압력 제어장치.