KR20020026815A - A method of producing brittle sheets and apparatus therefor - Google Patents

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KR20020026815A
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Abstract

PURPOSE: A method for breaking a fragile substrate is provided to solve such a problem that the fragile substrate must be inverted when breaking the scribed fragile substrate in a conventional machining system. CONSTITUTION: A closed space covering a region including a scribe line formed on an upper face of a fragile substrate(3) at the center and having a predetermined width is formed. Then, a pressure in the closed space is reduced to break the fragile substrate(3) by curving it slightly into a reverse V shape.

Description

취성기판의 제조방법 및 그 제조장치{A METHOD OF PRODUCING BRITTLE SHEETS AND APPARATUS THEREFOR}A method of manufacturing a brittle substrate and a manufacturing apparatus therefor {A METHOD OF PRODUCING BRITTLE SHEETS AND APPARATUS THEREFOR}
본 발명은, 스크라이브 라인이 형성된 취성기판을 그 스크라이브 라인을 따라 절단하기 위한 브레이크 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a brake device for cutting a brittle substrate on which a scribe line is formed along the scribe line.
취성기판으로서는 반도체 웨이퍼, 글래스 기판, 접합 글래스 기판이나 세라믹 기판 등이 포함된다.The brittle substrate includes a semiconductor wafer, a glass wafer, a bonded glass substrate and a ceramic substrate.
도1에 한 장의 취성기판에 대한 절단 시스템을 나타내고 있다. 스크라이브 장치1로 테이블2 상의 취성기판3에 대하여 소정의 절개(切開) 압력을 부가한 상태에서 커터휠팁4을 굴림으로써 취성기판 표면에 스크라이브 라인S를 형성한다.1 shows a cutting system for a single sheet of brittle substrate. A scribe line S is formed on the surface of the brittle substrate by rolling the cutter wheel tip 4 with a predetermined cutting pressure applied to the brittle substrate 3 on the table 2 by the scribe device 1.
그 취성기판3을 반전시킨 상태에서 브레이크 장치5의 테이블6 상에 쿠션시트7를 사이에 세트한다. 취성기판 밑면에 있는 스크라이브 라인S의 상방에는 스크라이브 라인 방향으로 연장하는 막대모양의 브레이크바8가 위치하고 있어, 이 브레이크바8를 실린더9의 구동에 의하여 하강시켜 취성기판3을 상방으로부터 가압하여 취성기판3을 탄성체의 쿠션시트7 상에서 V자 모양으로 약간 휘게 함으로써 스크라이브 라인S의 크랙(절단에 기여하는 수직성분의 크랙)을 신장시켜 취성기판3을 스크라이브 라인S을 따라 절단한다.In the state in which the brittle substrate 3 is inverted, the cushion seat 7 is set between the table 6 of the brake device 5. A rod-shaped brake bar 8 extending in the scribe line direction is located above the scribe line S on the bottom of the brittle substrate. The brake bar 8 is lowered by driving the cylinder 9 to press the brittle substrate 3 from above to form a brittle substrate. The curvature substrate 3 is cut along the scribe line S by extending the crack of the scribe line S (the crack of the vertical component contributing to the cutting) by bending 3 to a V shape on the cushion sheet 7 of the elastic body.
도2는 액정패널과 같은 접합 글래스 기판에 대한 브레이크 방법을나타내고 있다.2 shows a braking method for a bonded glass substrate such as a liquid crystal panel.
1. 스크라이브 장치를 사용하여 접합 글래스 기판3'의 A면(이 도면에서는 A면이 상측의 글래스 기판)에 대하여 스크라이브를 한다.1. Using a scribing apparatus, scribe the A surface of the bonded glass substrate 3 '(in this drawing, the A surface is the upper glass substrate).
2. 다음에 브레이크 장치에 있어서, 반전시킨 접합 글래스 기판의 B면에 대하여 브레이크바8를 가압하여 하측의 A면을 브레이크 한다.2. Next, in the brake apparatus, the brake bar 8 is pressed against the B surface of the inverted bonded glass substrate to brake the lower A surface.
3. 그 접합 글래스 기판3'을 제2의 스크라이브 장치로 이송하고(또는 상기 스크라이브 장치로 되돌리고), B면에 대하여 스크라이브를 한다(액정패널에서는 글래스 변의 일단에 단자를 형성하는 관계로 A면과 B면의 스크라이브 위치가 서로 어긋나 있다).3. The bonded glass substrate 3 'is transferred to the second scribe device (or returned to the scribe device) and scribed to the B surface (in the liquid crystal panel, the terminal is formed at one end of the glass edge in relation to the surface A). The scribe positions on the B side are shifted from each other).
4. 다음에 제2의 브레이크 장치(또는 상기 브레이크 장치)에 있어서, 다시 반전시킨 접합 글래스 기판3'의 A면에 대하여 브레이크바8를 가압하여 하측의 B면을 브레이크 한다.4. Next, in the second brake device (or the brake device), the brake bar 8 is pressed against the A surface of the bonded glass substrate 3 'which has been inverted again to brake the lower B surface.
그러나, 상기한 바와 같이 스크라이브가 끝난 취성기판3을 스크라이브 장치로부터 브레이크 장치로 반송할 때에, 취성기판3의 반전공정이 꼭 필요했다. 그 반전을 하기 위하여는 도3과 같이 스크라이브가 끝난 취성기판을 로봇암10 등으로 별도의 설치대11 등에 일단 놓아 두고, 그 취성기판3을 이번에는 상기 로봇암10으로 밑에서부터 들어 올려(즉 바꾸어 들어) 브레이크 장치의 테이블6에 세트하고 있다. 그 때문에 이러한 반전기구가 필요할 뿐만 아니라 작업효율도 낮았다.However, when conveying the scribed brittle substrate 3 from the scribe device to the brake device as described above, an inversion step of the brittle substrate 3 was necessary. In order to reverse the same, the scribed brittle substrate is once placed on a separate mounting table 11, such as a robot arm 10, as shown in FIG. 3, and the brittle substrate 3 is then lifted up from the bottom by the robot arm 10 (that is, changed and lifted up). ) Table 6 of the brake unit is set. This not only requires such a reversal mechanism but also has low work efficiency.
또한, 종래에는 스크라이브 및 브레이크를 위하여 각각 전용의 반전장치를 필요로 하기 때문에 시스템이 대형화하여 코스트도 비싸게 되었다.In addition, conventionally, since a dedicated inverting device is required for scribing and brakes, the system is enlarged and the cost is high.
본 발명은 상기한 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 스크라이브 후에 하는 취성기판의 반전공정을 없애고, 또한 취성기판의 스크라이브 및 브레이크를 하나의 테이블 상에서 할 수 있는 브레이크 방법 및 브레이크 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a brake method and a brake device capable of eliminating the inversion process of the brittle substrate after scribing and enabling scribe and brake of the brittle substrate on one table. do.
도1은 한 장의 취성기판에 대한 종래의 스크라이브 및 브레이크를 나타내는 도면,1 is a view showing a conventional scribe and a brake for a single sheet of brittle substrate;
도2는 접합 글래스기판에 대한 종래의 스크라이브 및 브레이크를 나타내는 도면,2 is a view showing a conventional scribe and a brake for a bonded glass substrate;
도3은 취성기판의 표리를 반전시키는 반전공정을 나타내는 도면,3 is a view showing an inversion process of inverting the front and back of a brittle substrate;
도4는 본 발명에 관한 브레이크바의 조립도4 is an assembly view of a brake bar according to the present invention;
도5는 도4의 브레이크바의 브레이크시의 모양을 나타내는 도면,FIG. 5 is a view showing a state of brake of the brake bar of FIG. 4; FIG.
도6은 취성기판의 사이즈가 작은 경우의 브레이크 모양을 나타내는 도면,6 is a view showing a brake shape when the size of the brittle substrate is small;
도7은 도5의 플러그에 있어서의 종단면도,FIG. 7 is a longitudinal sectional view of the plug of FIG. 5; FIG.
도8은 도5에 있어서의 브레이크시의 모양을 나타내는 도면,Fig. 8 is a diagram showing the state at the time of break in Fig. 5;
도9는 상기 브레이크바를 채용한 브레이크 장치의 한 실시예를 나타내는 사시도,9 is a perspective view showing one embodiment of a brake device employing the brake bar;
도10은 상기 브레이크 장치를 사용하여 구성한 취성기판의 가공 시스템 도면,10 is a drawing of a machining system of a brittle substrate constructed using the brake device;
도11은 종래의 스크라이브 장치에 도9의 브레이크 기구를 구비한 스크라이브 겸 브레이크 장치의 한 실시예를 나타낸 사시도,FIG. 11 is a perspective view showing one embodiment of a scribe and brake device provided with the brake mechanism of FIG. 9 in a conventional scribe device; FIG.
도12는 상기 스크라이브 겸 브레이크 장치를 사용하여 구성한 취성기판의 가공의 시스템 도면이다.Fig. 12 is a system diagram of processing of a brittle substrate constructed using the scribe and brake device.
*도면의 주요부분에 대한 설명** Description of the main parts of the drawings *
3 : 취성기판 6 : 테이블3: brittle substrate 6: table
21a : 홈 22 : 경계편(境界片)21a: groove 22: boundary piece
23 : 흡인구멍 24 : 흡인시트23: suction hole 24: suction sheet
24a : 가는 홈 25 : 브레이크바(break bar)24a: thin groove 25: break bar
26 : 플러그 30 : 브레이크 장치26: plug 30: brake device
31 : 브릿지 32 : 에어 실린더31: bridge 32: air cylinder
33 : 실린더축 34 : 결합편33: cylinder shaft 34: coupling piece
35 : 스톱퍼 36 : 나사35: stopper 36: screw
37 : 스톱퍼 기구 40 : 스크라이브 겸 브레이크 장치37: stopper mechanism 40: scribe and brake device
41 : 브릿지 42 : 가이드바(guide bar)41: bridge 42: guide bar
43 : 스크라이브 헤드 44 : 홀더 지지체43: scribe head 44: holder support
45 : 커터휠팁 46 : 팁홀더45: cutter wheel tip 46: tip holder
S : 스크라이브 라인S: scribe line
본 발명은, 취성기판의 윗면에 형성된 스크라이브 라인에 대하여, 그 스크라이브 라인을 중앙에 포함하도록 하고 소정의 폭의 영역을 덮는 폐쇄공간을 만들고, 그 폐쇄공간을 감압함으로써 취성기판을 역V자 모양으로 활처럼 약간 휘게 하여 브레이크를 하는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, the scribe line formed on the upper surface of the brittle substrate includes the scribe line at the center, creates a closed space covering a predetermined width area, and decompresses the closed space to form an inverted V shape. It is characterized by braking by slightly bending it like a bow.
(실시예)(Example)
도4는 본 발명의 브레이크 방법에 사용되는 브레이크바25의 조립도를 나타내고 있다. 윗 도면에 나타나 있는 바와 같이 알루미늄으로 만든 기둥 모양의 직방체21를 사용한다. 그 치수는 가공대상에 따라, 길이 300mm ∼ 1000mm, 폭  10mm ∼ 30mm, 두께  10mm ∼ 50mm 이다. 그 기둥 모양 직방체21의 윗면 중앙에 폭 6mm, 깊이 0.5mm의 홈21a를 기둥방향으로 형성한다.4 shows an assembly view of a brake bar 25 used in the brake method of the present invention. As shown in the figure above, a columnar cuboid 21 made of aluminum is used. The dimensions are from length 300 mm to 1000 mm, width 10 mm to 30 mm and thickness 10 mm to 50 mm, depending on the object. A groove 6a having a width of 6 mm and a depth of 0.5 mm is formed in the center of the top surface of the columnar rectangular parallelepiped 21 in the column direction.
다음에 도면에도 나타나 있는 바와 같이, 그 홈21a의 양단과, 각각의 양단으로부터 소정의 길이 만큼 안쪽에 모두 4개의 탄성체의 경계편(境界片)22를 설치한다. 이들 각 경계편22의 두께는 상기 홈21a의 깊이와 같게 한다. 이들의 경계편22에 의하여 홈21a는 기둥방향으로 3개의 구간으로 구분된다. 이들 각 구간에서 홈의 바닥면으로부터 당해 기둥 모양 직방체21의 밑면까지 관통하는 흡인구멍23을 각각 형성한다.Next, as shown in the figure, the boundary pieces 22 of four elastic bodies are provided at both ends of the groove 21a and inside each of the ends by a predetermined length. The thickness of each of these boundary pieces 22 is equal to the depth of the groove 21a. The grooves 21a are divided into three sections in the column direction by these boundary pieces 22. In each of these sections, suction holes 23 penetrating from the bottom face of the groove to the bottom face of the columnar rectangular parallelepiped 21 are formed.
그리고 맨 아래 도면에 나타나 있는 바와 같이, 기둥 모양 직방체21의 윗면을 탄성체로 만들어진 5mm 두께의 흡인시트24를 접합한다. 이에 따라 상기 한 홈21a에 3개의 폐쇄공간이 형성된다. 그리고 이들 3개의 폐쇄공간에 대응하여 흡인시트24에 밑면으로 관통하는 가는 홈24a를 각각 형성한다. 이렇게 하여 브레이크바25를 만든다. 여기에서는 가는 홈24a를 상기 3개의 폐쇄공간에 대응하여 3개로 나누어 형성했지만, 1개의 연속하는 가는 홈으로 하여도 지장이 없다.As shown in the bottom figure, a 5 mm thick suction sheet 24 made of an elastic body is bonded to the upper surface of the columnar rectangular parallelepiped 21. Accordingly, three closed spaces are formed in the groove 21a. In response to these three closed spaces, thin grooves 24a penetrating to the underside are formed in the suction sheet 24, respectively. This makes the brake bar 25. Here, the thin grooves 24a are formed by dividing them into three corresponding to the three closed spaces, but there is no problem even if one continuous thin groove is used.
흡인시트24 및 경계편22으로서는 경시적(經時的)인 열화(劣化)가 적고, 고발포(高發泡) 실리콘 스펀지 시트(스프링 경도 시험(일본고무협회 표준규격 : SRIS 0101-1968)에 의한 시험치가 5∼30의 것)를 사용하지만, 적당한 탄성계수를 구비하는 재질이라면 무방하다.As the suction sheet 24 and the boundary piece 22, there is little deterioration with time and high foaming silicone sponge sheet (spring hardness test (Japan Rubber Association standard standard: SRIS 0101-1968)) Test values of 5 to 30) are used, but any material having an appropriate modulus of elasticity may be used.
브레이크시에는 도5에 나타나 있는 바와 같이, 흡인시트24의 면을 취성기판3에 접촉시켜 사용한다. 상기 흡인구멍23의 개구부에 설치한 플러그26에 진공처리를 하기 위한 튜브가 접속된다.At the time of brake, as shown in Fig. 5, the surface of the suction sheet 24 is brought into contact with the brittle substrate 3 to be used. A tube for vacuum treatment is connected to the plug 26 provided in the opening of the suction hole 23.
도5는, 브레이크바의 길이가 취성기판3의 스크라이브 라인S의 길이와 거의 같은 경우로서, 이 때는 3개의 플러그26로부터 동시에 진공처리를 하지만, 도6와 같이 취성기판3"의 스크라이브 라인의 길이가 브레이크바 길이보다 짧을 때에는 중앙의 플러그26에 의하여만 진공처리를 한다.Fig. 5 shows the case where the length of the brake bar is substantially the same as the length of the scribe line S of the brittle substrate 3. At this time, the scribe lines of the brittle substrate 3 " Is shorter than the length of the brake bar, vacuum is applied only by the central plug 26.
도4에서는 브레이크바의 폐쇄공간이 3개인 경우를 설명했지만, 폐쇄공간을 4 ∼ 20개로 하여 취성재료의 절단조건에 맞추어 개개의 구간의 진공압(眞空壓)을 개별적으로 제어하는 것이 바람직하다.In FIG. 4, the case where the closed space of the brake bar is three was described, but it is preferable to control the vacuum pressures of the individual sections individually in accordance with the cutting conditions of the brittle material with the closed spaces of 4 to 20.
도7은, 도5(도6에서도 동일)의 플러그26에 있어서의 수직 단면도를 나타내고 있다. 취성기판3의 스크라이브 라인S에 상기 가는 홈24a의 라인을 거의 일치시킨다. 여기에서 주목해야 할 것은, 스크라이브 라인S는 취성기판3의 밑면이 아니라 윗면에 있고, 또한 취성기판3과 테이블6과의 사이에 쿠션시트가 불필요하다는 것이다.FIG. 7 shows a vertical cross sectional view of the plug 26 in FIG. 5 (the same applies to FIG. 6). The lines of the thin grooves 24a almost coincide with the scribe lines S of the brittle substrate 3. It should be noted here that the scribe line S is located on the upper surface rather than the bottom of the brittle substrate 3, and a cushion sheet is unnecessary between the brittle substrate 3 and the table 6.
다음에 도8에 나타나 있는 바와 같이, 플러그26로부터 진공처리를 하면 흡인시트24는 역V자 모양으로 약간 변형하여 그에 따라 취성기판3도 변형하고, 이 변형에 의하여 스크라이브 라인S의 크랙이 하방으로 성장하여 취성기판3이 절단된다. 흡인시트24에 가는 홈24a를 형성함으로써 도7과 같이 브레이크바25를 그 자체 중량으로 취성기판3에 접촉하고 있는 상태에서 양자의 접합면에서 아주 좁은 틈에 남아 있는 공기를 빨아드림으로써 양자 사이의 흡인력이 증대된다. 가는 홈24a 대신에 작은 구멍을 일렬에 형성하더라도 좋고, 또한 취성기판3과 흡인시트24의 밀착성이 좋은 경우에는 이러한 가느 홈을 갖추지 않아도 기대할 수 있는 흡인력이 얻어진다.Next, as shown in Fig. 8, when the vacuum treatment is performed from the plug 26, the suction sheet 24 slightly deforms into an inverted V-shape, thereby deforming the brittle substrate 3, and by this deformation, the crack of the scribe line S moves downward. Growing up, the brittle substrate 3 is cut. By forming a groove 24a in the suction sheet 24, the brake bar 25, as shown in Fig. 7, in contact with the brittle substrate 3 by its own weight, sucks the air remaining in a very narrow gap in the joint surface between the two. The attraction force is increased. Small holes may be formed in a line instead of the thin grooves 24a, and in the case where the adhesiveness between the brittle substrate 3 and the suction sheet 24 is good, the expected suction force can be obtained even without these narrow grooves.
도9는 상기한 브레이크바25를 사용하는 브레이크 장치30의 한 실시예를 나타내는 사시도이다. 테이블6은 Y방향으로 이동함과 동시에 90도 및 θ회전이 가능하고, 그 테이블 면에는 취성기판3이 흡인, 고정된다. 브릿지31는 테이블6상에 걸쳐서 설치된 것으로서, 양측의 지지판과 그에 지지되고 수평X방향으로 연장하는 천판(天板)31a로 이루어진다.Fig. 9 is a perspective view showing one embodiment of the brake device 30 using the brake bar 25 described above. The table 6 moves in the Y direction and can be rotated 90 degrees and?, And the brittle substrate 3 is sucked and fixed to the table surface. The bridge 31 is provided over the table 6, and is composed of support plates on both sides and a top plate 31a supported therein and extending in the horizontal X direction.
그 천판31a의 중앙에 에어 실린더32가 설치되고, 그 에어 실린더32로부터 하방으로 향하는 실린더축33의 하단부가 브레이크바25를 윗면 중앙부에서 지지하고 있다. 그 에어 실린더32의 구동에 의하여 브레이크바25는 상하로 이동하지만, 하강시에 브레이크바25가 취성기판3에 충돌하지 않도록, 부분 확대도와 같이 실린더축33에 고정되는 결합편34과, 일단이 천판31a에 고정되는 L자형의 스톱퍼35와, 결합편34에 형성되는 나사구멍에 나사 결합하고 하단부가 스톱퍼35의 수평부의 상방과 접촉하는 나사36로 이루어지는 스톱퍼 기구37를 갖춘다. 그 나사36를, 천판31a에 형성되는 구멍Q을 관통시켜 나사 체결함으로써 브레이크바25의 하강위치를 글래스 기판3의 두께에 따라서 조정한다. 또한 이 스톱퍼 기구37 대신에 브레이크바25가 부드럽게 하강할 수 있도록 적당한 제동기구를 갖추도록 하여도 좋다.An air cylinder 32 is provided in the center of the top plate 31a, and the lower end portion of the cylinder shaft 33 facing downward from the air cylinder 32 supports the brake bar 25 at the upper center portion. The brake bar 25 is moved up and down by driving the air cylinder 32. However, the engaging piece 34 fixed to the cylinder shaft 33 as shown in the enlarged view of the brake bar 25 does not collide with the brittle substrate 3 when descending, and one end of the top plate. A stopper mechanism 37 is composed of an L-shaped stopper 35 fixed to 31a, and a screw 36 screwed into a screw hole formed in the engaging piece 34, and a lower end of which contacts the upper portion of the horizontal portion of the stopper 35. The screw 36 is screwed through the hole Q formed in the top plate 31a to adjust the lowering position of the brake bar 25 in accordance with the thickness of the glass substrate 3. Instead of the stopper mechanism 37, an appropriate braking mechanism may be provided so that the brake bar 25 can be lowered smoothly.
브레이크바25는, 그 승강시에 평행으로 이동시키기 위한 가이드막대38가 설치되어 있다. 3개가 형성된 플러그26 중에서 중앙의 플러그는밸브V1를 통하여 진공펌프에 연결되고, 양단의 2개의 플러그26는 밸브V2를 통하여 진공펌프에 연결된다. 도5와 같은 브레이크의 경우에는 밸브V1, V2가 모두 열리고, 도6과 같은 브레이크의 경우에는 밸브V1 만이 열린다.The brake bar 25 is provided with a guide bar 38 for moving in parallel when the brake bar 25 is elevated. The central plug of the three plugs 26 is connected to the vacuum pump via valve V1, and the two plugs 26 at both ends are connected to the vacuum pump through valve V2. In the case of the brake as shown in Fig. 5, both valves V1 and V2 are opened, and in the case of the brake as shown in Fig. 6, only valve V1 is opened.
진공흡인시의 진공압은 게이지압으로 -1.33 × 102Pa(-1 mmHg) ∼ -8.64 × 104Pa(-650 mmHg)의 범위에서 조절이 가능하고, 한편 취성기판31을 테이블6에 흡인, 고정하기 위한 진공압은 게이지압으로 -1.33 × 102Pa(-1 mmHg) 이하이고, 테이블6에 형성되는 흡인구멍은 φ 2mm 이다. 이 글래스 기판 고정용의 진공압을 브레이크용의 진공압보다 작게(대기압에 보다 가깝게) 하여 두면, 스크라이브 라인의 바로 아래에 흡인구멍이 위치하고 있더라도 브레이크에 지장이 없다.The vacuum pressure at the time of vacuum suction can be adjusted in the range of -1.33 × 10 2 Pa (-1 mmHg) to -8.64 × 10 4 Pa (-650 mmHg) as the gauge pressure, while sucking the brittle substrate 31 onto the table 6. , The vacuum pressure for fixing is the gauge pressure -1.33 × 10 2 Pa (-1 mmHg) or less, the suction hole formed in the table 6 is φ 2mm. If the vacuum pressure for fixing the glass substrate is made smaller (closer to the atmospheric pressure) than the vacuum pressure for the brake, the brake is not disturbed even if the suction hole is located directly under the scribe line.
도10은 상기 브레이크 장치30를 채용한 취성기판 가공의 시스템 도면을 나타낸다. 반입 반송기 등에 의하여 접합 글래스 기판3'은 스크라이브 장치S1의 테이블에 세트되고, 상측의 A면에 대하여 스크라이브가 이루어진다. 스크라이브 장치의 기구에 관하여는 도11로 설명한다.Fig. 10 shows a system diagram of the brittle substrate machining employing the brake device 30 above. The bonded glass substrate 3 'is set on the table of the scribing apparatus S1 by a carry-on conveyer etc., and scribe is performed with respect to the upper surface A side. The mechanism of the scribe device will be described with reference to FIG.
A면이 스크라이브된 접합 글래스 기판3'은, 반송기에 의하여 A면 브레이크 장치B1(도9에 나타낸 브레이크 장치)의 테이블에 A면을 상측으로 한 채로 세트되어 본 발명의 브레이크 방법에 따라 A면이 브레이크 된다.The bonded glass substrate 3 'on which the A surface is scribed is set on the table of the A surface brake apparatus B1 (brake apparatus shown in Fig. 9) by the conveyer with the A surface facing up, and according to the brake method of the present invention, the A surface is Brakes.
그 접합 글래스 기판은 반전기에 의하여 표리가 반전되고 나서 제2의 B면 스크라이브 장치S2의 테이블에 세트된다(시스템을 스크라이브 장치S1 및 브레이크 장치B1 만으로 구성하는 때에는 그 스크라이브 장치S1로 되돌린다). 그리고 상측에 위치하는 B면에 대하여 스크라이브가 이루어진다.The bonded glass substrate is set on the table of the second B surface scribe device S2 after the front and back are reversed by the inverter (when the system is composed of only the scribe device S1 and the brake device B1, the scribe device S1 is returned). And a scribe is made with respect to B surface located in the upper side.
B면이 스크라이브된 접합 글래스 기판은, 반송기에 의하여 제2의 B면 브레이크 장치B2(또는 상기 브레이크 장치B1)의 테이블에 B면을 상측으로 한 채로 세트되어 B면이 브레이크 된다. 이렇게 함으로써 접합 글래스 기판의 가공은 종료하고 반출 반송기에 의하여 다음 공정으로 반출된다.The bonded glass substrate on which the B surface is scribed is set on the table of the second B surface brake device B2 (or the brake device B1) with the B surface facing upward by the conveyer, and the B surface is braked. By doing in this way, the process of a bonded glass substrate is complete | finished, and it is carried out to the next process by an unloading conveyer.
도11은 취성기판의 스크라이버 장치로 브레이크도 할 수 있도록 한 스크라이브 겸 브레이크 장치40의 한 실시예를 나타내고 있다. 테이블6상에 걸쳐서 설치되는 브릿지41는, 양측의 지지기둥과 X방향으로 연장하는 가이드바42로 이루어지고, 그 가이드바42에는 가이드바의 방향으로 가이드42a가 설치되어 있다. 스크라이브 헤드43는 홀더 지지체44를 사이에 두고 상기 가이드42a을 따라 이동하도록 설치되고, 그 스크라이브 헤드43의 하부에는 커터휠팁45이 회전하도록 그것을 지지하는 팁홀더46가 설치되어 있다.Fig. 11 shows an embodiment of a scribe / brake device 40 in which a scriber device of a brittle substrate can also be braked. The bridge 41 provided over the table 6 consists of support pillars on both sides and guide bars 42 extending in the X direction, and the guide bars 42 are provided with guides 42a in the direction of the guide bars. The scribe head 43 is installed to move along the guide 42a with the holder support 44 interposed therebetween, and a tip holder 46 for supporting it so that the cutter wheel tip 45 rotates is provided below the scribe head 43.
이상의 요소로 이루어지는 스크라이브 기구의 배후에는 도9에서 설명한 브릿지31를 포함하는 브레이크 기구가 위치한다.The brake mechanism including the bridge 31 described in Fig. 9 is located behind the scribe mechanism composed of the above elements.
그 브레이크 기구의 배후에는, 취성기판3에 기재되어 있는 얼라인먼트 마크를 인식하기 위하여 한 쌍의 카메라51, 52를 구비하여, 그 카메라로 잡은 화상은 모니터53, 54에 표시되는 동시에, 화상인식장치에 의하여 얼라인먼트 마크가 화상인식되고, 그에 따라 위치 데이터가 연산된다.Behind the brake mechanism, a pair of cameras 51 and 52 is provided for recognizing the alignment marks described on the brittle substrate 3, and the images captured by the cameras are displayed on the monitors 53 and 54, and the image recognition device The alignment mark is image recognized by this, and the position data is calculated accordingly.
전술한 바와 같이, 본 발명에 의하면 스크라이브 후에 취성기판을 반전시키지 않고도 브레이크를 할 수 있고, 또한 그 브레이크 장치에 있어서는 도1에 나타낸 것과 같은 쿠션시트7가 불필요하게 되기 때문에 스크라이브가 이루어진 테이블에서 브레이크도 할 수 있다. 그리고 테이블 상은 에어(air) 또는 브러시를 사용하여 절분(切粉)인 부스러기를 치우도록 한다.As described above, according to the present invention, the brake can be applied after the scribing without reversing the brittle substrate, and the brake device also eliminates the need for a brake on the scribed table because the cushion seat 7 as shown in Fig. 1 becomes unnecessary. can do. And on the table to remove the debris that is cut by using air (air) or brush.
도12는 상기한 스크라이브 겸 브레이크 장치40를 채용한 접합 글래스 기판의 가공 시스템 도면을 나타낸다. 반입 반송기 등에 의하여 접합 글래스 기판3'은 스크라이브 겸 브레이크 장치SB1의 테이블에 세트되고, 상측의 A면에 대하여 스크라이브가 이루어진 후에, 계속해서 브레이크도 이루어진다.Fig. 12 shows a processing system diagram of the bonded glass substrate employing the scribe and brake device 40 described above. The bonded glass substrate 3 'is set on the table of the scribe / brake device SB1 by a carry-on conveyer or the like, and after the scribe is performed on the upper side A surface, the braking is continued.
A면이 스크라이브 및 브레이크 된 접합 글래스 기판3'은, 표리를 반전시키고 나서 제2의 스크라이브 겸 브레이크 장치SB2의 테이블에 세트된다(시스템을 스크라이브 겸 브레이크 장치SB1 만으로 구성할 때에는 그 스크라이브 겸 브레이크 장치SB1로 되돌린다). 그리고 상측에 위치하고 있는 B면에 대하여 스크라이브 및 브레이크가 이루어지고 다음 공정으로 반출된다.The bonded glass substrate 3 'on which the A surface is scribed and braked is set on the table of the second scribe and brake device SB2 after inverting the front and back (when constituting the system with only the scribe and brake device SB1, the scribe and brake device SB1). Return to). Then, a scribe and a brake are made with respect to the B surface located above and carried out to the next process.
한 장의 취성기판 및 접합 취성기판을 완전히 절단시키기 위하여는, 절단조건 및 다음 공정의 생산방식에 의한 조건에 따라서 복수의 브레이크 장치가 필요하게 된다. 예를 들면, 한 장의 취성기판의 브레이크에있어서는, 제1방향의 브레이크와 제1방향과 90도의 각도를 이루는 제2방향의 브레이크에 각각 별개로 본 발명의 브레이크 장치를 사용한다. 또한 접합 취성기판을 갸름한 직4각형으로 절단하여 다음 공정으로 보내는 경우에는, 다음 공정으로 보낼 때까지 취성기판의 표리 각 면에 대하여 각각 별개의 본 발명의 브레이크 장치를 사용한다.In order to completely cut one sheet of the brittle substrate and the bonded brittle substrate, a plurality of brake devices are required depending on the cutting conditions and the conditions by the production method of the next step. For example, in the brake of a single brittle substrate, the brake device of the present invention is used separately for the brake in the first direction and the brake in the second direction that forms an angle of 90 degrees with the first direction. In the case where the bonded brittle substrate is cut into a thin rectangular shape and sent to the next step, a separate brake device of the present invention is used for each of the front and back surfaces of the brittle substrate until it is sent to the next step.
또한, 본 실시예에서 채용한 홈21a나 흡인시트24(도4)의 치수는 단순한 일례로서, 본 발명의 실시에 적합한 치수는 다음와 같다.Incidentally, the dimensions of the groove 21a and the suction sheet 24 (Fig. 4) employed in this embodiment are merely examples, and the dimensions suitable for the practice of the present invention are as follows.
홈의 폭 : 3mm ∼ 10mmSlot Width: 3mm ~ 10mm
홈의 깊이 : 0.1mm ∼ lmmDepth of groove: 0.1mm to lmm
시트의 두께 : 1mm ∼ 8mmSheet Thickness: 1mm to 8mm
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 스크라이브 후의 취성기판을 반전시키지 않고서(즉 스크라이브 라인을 상측으로 하여) 브레이크를 할 수 있으므로 취성기판의 가공 시스템 형태를 작게 할 수 있고, 또한 반전공정이 불필요하게 됨으로써 전 가공에 필요한 택트 타임(tack time)을 단축시킬 수 있다. 또한, 브레이크시에 취성기판과 테이블과의 사이의 쿠션부재가 불필요하기 때문에 스크라이브 장치의 테이블 상에서 브레이크도 아울러 할 수 있고, 그 경우에는 스크라이브가 끝난 취성기판을 스크라이브 장치로부터 브레이크 장치로 반송하는 기구도 불필요하게 되어 시스템 사이즈 및 가공 택트 타임을 줄일 수 있다.As described above, in the present invention, since the brake can be applied without inverting the brittle substrate after scribing (that is, the scribe line is upward), the shape of the processing system of the brittle substrate can be reduced, and the inversion step is unnecessary. The tack time required for premachining can be shortened. In addition, since the cushion member between the brittle substrate and the table is not necessary at the time of brake, the brake can also be braked on the table of the scribe device, and in this case, the mechanism for conveying the scribed brittle substrate from the scribe device to the brake device is also used. This eliminates the need for reduced system size and machining tact time.

Claims (12)

  1. 취성기판에 형성되는 스크라이브 라인을 거의 중앙에 포함하는 소정의 폭의 영역을 덮는 폐쇄공간을 형성하고, 그 폐쇄공간을 감압함으로써 취성기판을 활처럼 휘게 하여 브레이크를 함으로써 복수의 취성기판을 제조하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 제조방법.Producing a plurality of brittle substrates by forming a closed space covering a region of a predetermined width including a scribe line formed in the brittle substrate in the center, and depressurizing the closed space to make the brittle substrate bend like a bow to brake. A method for producing a brittle substrate, characterized in that.
  2. 취성기판에 형성되는 스크라이브 라인을 거의 중앙에 포함하는 소정의 폭의 영역을 덮는 폐쇄공간을 형성하는 폐쇄공간 형성수단과, 상기 폐쇄공간을 감압하는 감압수단을 구비하는 취성기판의 제조장치에 있어서,In the apparatus for manufacturing a brittle substrate comprising a closed space forming means for forming a closed space covering a region of a predetermined width including a scribe line formed in the brittle substrate in the center, and a pressure reducing means for reducing the closed space,
    상기 폐쇄공간을 감압함으로써 취성기판을 활처럼 휘게 하여 브레이크를 함으로써 복수의 취성기판을 제조하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 제조장치.And a plurality of brittle substrates are manufactured by braking the brittle substrate by depressing the closed space and performing a brake.
  3. 제2항에 있어서,The method of claim 2,
    상기 폐쇄공간 형성수단은, 스크라이브 방향으로 오목모양의 홈을 구비하는 밀봉부재(密封部材)인 것을 특징으로 하는 취성기판의 제조장치.And said closed space forming means is a sealing member having a concave groove in the scribe direction.
  4. 제3항에 있어서,The method of claim 3,
    상기 홈은 개별적으로 감압이 가능한 복수의 영역을 구비하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 제조장치.The groove is a device for producing a brittle substrate, characterized in that it comprises a plurality of areas that can be decompressed individually.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서,The method according to claim 3 or 4,
    상기 밀봉부재에 있어서 취성기판과 닿는 접촉면에 기밀유지(氣密維持)를 위한 흡인시트(吸引sheet)를 한 면에 붙인 것을 특징으로 하는 취성기판의 제조장치.An apparatus for manufacturing a brittle substrate, characterized in that a suction sheet for hermetic holding is attached to one surface of the sealing member in contact with the brittle substrate.
  6. 제5항에 있어서,The method of claim 5,
    상기 흡인시트에, 그 흡인시트의 두께방향으로 관통하는 가는 홈을 스크라이브 라인 방향으로 형성하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 제조장치.And a thin groove penetrating the suction sheet in the thickness direction of the suction sheet in the scribe line direction.
  7. 적어도 Y방향 및 θ방향으로 이동하는 테이블과,A table moving in at least the Y direction and the θ direction,
    상기 테이블의 상방에서 X방향으로 연장하는 가이드바와,A guide bar extending in the X direction from above the table;
    상기 가이드바을 따라 이동할 수 있게 설치되는 스크라이브 헤드와,A scribe head installed to move along the guide bar;
    상기 스크라이브 헤드의 하부에서 상하로 이동할 수 있고 또한 좌우로 회전할 수 있도록 설치되는 팁홀더를 구비하는 스크라이브 수단을 구비하고,It is provided with a scribe means having a tip holder which is installed to be able to move up and down and rotate left and right at the bottom of the scribe head,
    상기 스크라이브 수단으로 스크라이브 하고 상기 폐쇄공간 형성수단과 상기 감압수단을 사용하여 취성기판을 활처럼 휘게 하여 브레이크를 함으로써, 복수의 취성기판을 제조하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 제조장치.And a plurality of brittle substrates are manufactured by scribing with the scribe means and by braking the brittle substrate using the closed space forming means and the decompression means.
  8. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein
    취성기판을 반전시켜 반송하는 반전반송수단을 더 구비하고,Further comprising a reverse transfer means for inverting and conveying the brittle substrate,
    상기 테이블 상에 재치되는 취성기판이 접합 취성기판이고,The brittle substrate mounted on the table is a bonded brittle substrate,
    상기 접합 취성기판의 상측의 제1취성기판에 대하여 스크라이브 및 브레이크를 하고,Scribe and brake the first brittle substrate above the bonded brittle substrate;
    상기 반전반송수단으로 상기 접합 취성기판의 표리(表裏)를 반전시켜 상기 테이블상에 재치하고,Inverting the front and back of the bonded brittle substrate by the inversion conveying means is placed on the table,
    상기 접합 취성기판의 상측의 제2취성기판에 대하여 스크라이브 및브레이크를 하여,Scribe and brake the second brittle substrate above the bonded brittle substrate,
    복수의 접합 취성기판을 제조하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 제조장치.An apparatus for producing a brittle substrate, comprising producing a plurality of bonded brittle substrates.
  9. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    적어도 Y방향 및 θ방향으로 이동하는 테이블과,A table moving in at least the Y direction and the θ direction,
    상기 테이블의 상방에서 X방향으로 연장하는 가이드바와,A guide bar extending in the X direction from above the table;
    상기 가이드바을 따라 이동할 수 있게 설치되는 스크라이브 헤드와,A scribe head installed to move along the guide bar;
    상기 스크라이브 헤드의 하부에서 상하로 이동하고 또한 좌우로 회전할 수 있도록 설치되는 팁홀더를 구비하는 스크라이브 수단을 구비하고,It is provided with a scribe means having a tip holder which is installed to move up and down and rotate left and right at the bottom of the scribe head,
    상기 스크라이브 수단으로 상기 테이블 상에 재치되는 취성기판의 스크라이브를 하는 공정과,Scribing a brittle substrate mounted on the table by the scribing means;
    상기 폐쇄공간 형성수단과 상기 감압수단을 사용하여 상기 폐쇄공간을 감압함으로써 브레이크를 하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 복수의 취성기판의 제조방법.And braking by depressurizing the closed space using the closed space forming means and the decompression means.
  10. 제9항에 있어서,The method of claim 9,
    취성기판을 반전시켜 반송하는 반전반송수단을 더 구비하고,Further comprising a reverse transfer means for inverting and conveying the brittle substrate,
    상기 테이블 상에 재치되는 취성기판은 접합 취성기판이고,The brittle substrate mounted on the table is a bonded brittle substrate,
    상기 접합 취성기판의 상측의 제1취성기판에 대하여 스크라이브 및 브레이크를 하는 공정과,Scribing and braking the first brittle substrate above the bonded brittle substrate;
    상기 반전반송수단으로 상기 접합 취성기판의 표리를 반전시켜 상기 테이블 상에 재치하는 공정과,Inverting the front and back of the bonded brittle substrate by the reverse transfer means and placing the same on the table;
    상기 접합 취성기판의 상측의 제2취성기판에 대하여 스크라이브 및 브레이크를 하는 공정,Scribe and brake the second brittle substrate above the bonded brittle substrate;
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 복수의 접합 취성기판의 제조방법.Method for producing a plurality of bonded brittle substrate characterized in that it comprises a.
  11. 제7항에 있어서The method of claim 7,
    취성기판을 반전시켜 반송하는 반전반송수단, 적어도 1대의 상기 스크라이브 수단 및 적어도 1대의 브레이크수단을 더 구비하고,A reverse transfer means for inverting and conveying the brittle substrate, at least one scribe means and at least one brake means,
    상기 스크라이브 수단의 상기 테이블 상에 재치되는 취성기판은 접합 취성기판이고,The brittle substrate mounted on the table of the scribe means is a bonded brittle substrate,
    상기 접합 취성기판의 상측의 제1취성기판에 대하여 스크라이브 및 브레이크를 하는 공정과,Scribing and braking the first brittle substrate above the bonded brittle substrate;
    상기 반전반송수단으로 상기 접합 취성기판의 표리를 반전시켜 상기 스크라이브 수단의 상기 테이블 상에 재치하는 공정과,Inverting the front and back of the bonded brittle substrate by the inverting and transporting means and placing it on the table of the scribe means;
    상기 접합 취성기판의 상측의 제2취성기판에 대하여 스크라이브 및브레이크를 하는 공정,Scribing and braking the second brittle substrate above the bonded brittle substrate;
    를 구비함으로써 복수의 접합 취성기판을 제조하는 것을 특징으로 하는 취성기판의 제조장치.Apparatus for producing a brittle substrate, characterized in that for producing a plurality of bonded brittle substrate by providing.
  12. 제9항에 있어서,The method of claim 9,
    취성기판을 반전시켜 반송하는 반전반송수단, 적어도 1대의 상기 스크라이브 수단 및 적어도 1대의 브레이크수단을 더 구비하고,A reverse transfer means for inverting and conveying the brittle substrate, at least one scribe means and at least one brake means,
    상기 스크라이브 수단의 상기 테이블 상에 재치되는 취성기판이 접합 취성기판이고,The brittle substrate mounted on the table of the scribe means is a bonded brittle substrate,
    상기 접합 취성기판의 상측의 제1취성기판에 대하여 스크라이브 및 브레이크를 하는 공정과,Scribing and braking the first brittle substrate above the bonded brittle substrate;
    상기 반전반송수단으로 상기 접합 취성기판의 표리를 반전시켜 상기 스크라이브 수단의 상기 테이블 상에 재치하는 공정과,Inverting the front and back of the bonded brittle substrate by the inverting and transporting means and placing it on the table of the scribe means;
    상기 접합 취성기판의 상측의 제2취성기판에 대하여 스크라이브 및 브레이크를 하는 공정,Scribe and brake the second brittle substrate above the bonded brittle substrate;
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