KR20000035302A - Manufacturing method and apparatus of liquid crystal display - Google Patents

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KR20000035302A
KR20000035302A KR19990049241A KR19990049241A KR20000035302A KR 20000035302 A KR20000035302 A KR 20000035302A KR 19990049241 A KR19990049241 A KR 19990049241A KR 19990049241 A KR19990049241 A KR 19990049241A KR 20000035302 A KR20000035302 A KR 20000035302A
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KR
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sprinkling
spray
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KR19990049241A
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Korean (ko)
Inventor
후지에다요시히로
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마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: An apparatus for fabricating a liquid crystal display device is provided to prevent a variation of a sprinkling density of a spacer corpuscle so as to have a uniform cell cap. CONSTITUTION: An apparatus for fabricating a liquid crystal display device comprises an amount sensing unit(16) which is installed at a container(4) of putting a sprinkling solution. The amount sensing unit(16) senses the amount of the sprinkling solution(1) which is varied according to a spray sprinkling. A controller(11) is connected to the amount sensing unit(16), and a spray time control part(17) is embedded in the controller(11). The amount sensing unit(16) calculates the amount of the sprinkling solution(1) in the container(4), sends amount information to the spray time control part(17). The spray time control part(17) calculates spray time to be sprinkled next from the amount information. The spray time control part(17) changes a setting of a timer to control electronic valves(10a,10b) so that the same sprinkling density as a previous sprinkling process is obtained.

Description

액정 표시 소자의 제조 방법 및 제조 장치, 및 액정 표시 소자{MANUFACTURING METHOD AND APPARATUS OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY} Method for manufacturing a liquid crystal display device and a manufacturing apparatus, and a liquid crystal display element {MANUFACTURING METHOD AND APPARATUS OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY}

본 발명은, 스페이서를 세미 드라이 스프레이 살포법에 의해 살포하는 액정 표시 소자의 제조 방법 및 제조 장치, 및 액정 표시 소자에 관한 것이다. The present invention relates to a spacer in the method for manufacturing a liquid crystal display device and a manufacturing apparatus, and a liquid crystal display element by spraying semi-dry spray dispersion method.

일반적으로, 액정 표시 소자는, 적어도 한쪽의 기판의 외주 연부에 밀봉재를 도포한 한 쌍의 기판을 스페이서를 거쳐서 대향 밀착시켜, 밀봉재에 의해 접합하여 액정 셀을 형성하고, 이 액정 셀에 액정을 주입, 충전하는 것에 의해 구성된다. In general, the liquid crystal display element, at least by via a pair of substrates coated with a sealing material to the outer peripheral portion of the substrate on one side spacers contact the counter, by joining a sealing material to form a liquid crystal cell, and injecting a liquid crystal in the liquid crystal cell and it is configured by charging. 액정 표시 소자의 한 쌍의 기판 간격이 액정층의 두께(이하「셀 두께」라 칭함)로 된다. A pair of substrate gap of the liquid crystal display element is a thickness (hereinafter referred to as "cell thickness" hereinafter) of the liquid crystal layer.

액정 표시 소자의 셀 두께는, 표시 소자로서의 광학 특성을 정하는 중요한 요소이고, 표시 영역이 균일한 셀 두께로 되도록 스페이서로 되는 수 ㎛ 정도 크기의 미립자를 기판 사이에 부설하고 있다. Cell thickness of the liquid crystal display element is an important factor determining the optical characteristics of the display element, the display area and the number of laying ㎛-sized fine particles in which a spacer such that a uniform cell thickness between the substrates.

스페이서로 되는 미립자를 기판 사이에 부설하는 데에는, 예컨대, 접합하기 전의 기판에 대하여 미립자를 대전시켜 분산, 살포하는 건식 정전 살포법이나, 기판 위를 이동하는 살포 노즐에 의해 미립자를 살포하는 이동 노즐 살포법이나, 휘발성액체에 미립자를 분산하여 스프레이 살포하는 세미 드라이 스프레이 살포법 등을 들 수 있다. There for laying the fine particles as a spacer between the substrates, for example, by charging the particles to the substrate prior to bonding dispersion, spraying the fine particles by moving a dry electrostatic spraying method and the substrate above the spraying spray nozzle moves the nozzle spray by dispersing the fine particles in the method and the, volatile liquids, and the like semi-dry spray spraying method of spraying a spray. 그 중에서도 특히 세미 드라이 스프레이 살포법을 적합하게 사용할 수 있다. Among them may be particularly suitable for use with semi-dry spray spraying method.

세미 드라이 스프레이 살포법을 실행하는 때에는, 우선 알콜 등의 휘발성 액체에 미립자를 분산시켜 살포액을 작성한다. When running a semi-dry spray spraying method, at first by dispersing the fine particles in a volatile liquid such as alcohol to create a liquid spray. 이 살포액에 분산시키는 미립자의 크기는, 입자 지름이 수 ㎛ 정도의 것이기 때문에, 균일하게 분산시키기 위해서 스터러(stirrer)나 초음파로 교반한다. The size of fine particles dispersed in the dispersion liquid, the particle size is stirred in, because this will be the degree of ㎛, stirrer (stirrer) or ultrasound in order to uniformly disperse.

도 9는, 종래의 세미 드라이 스프레이 살포법을 실행하는 스페이서 살포 장치를 나타낸다. Figure 9 shows a spacer spraying apparatus which executes the conventional semi-dry spray dispersion method.

살포액(1)은, 펌프(6)에 의해 용기(4)로부터 액순환 호스(5a)를 통해 화살표 A 방향으로 보내어지고, 살포실(7)의 상부에 마련된 스프레이 노즐(8)을 통과하며, 또한, 액순환 호스(5b)를 통해 화살표 B 방향으로 보내여져서 용기(4)로 되돌아가 순환하도록 구성되어 있다. Dispersion liquid (1), is sent through the liquid circulating hose (5a) from the tank 4 by the pump 6 in the direction of arrow A, passes through the spray nozzle (8) provided in the upper part of the spraying chamber (7) Further, through the liquid circulating hose (5b) so bonaeyeo in the direction of the arrow B and is configured to circulate back to the container 4.

스프레이 노즐(8)의 내부에는, 도시하지 않은 액순환 경로에 니들 밸브가 마련되어 있고, 레귤레이터(도시하지 않음)에 의해 압력 제어된 고압 공기(24)가 전자(電磁) 밸브(10a)를 거쳐서 배관(9a)을 통해 화살표 C 방향으로 보내어지고 스프레이 노즐(8)에 공급되면, 이 공기압에서 니들 밸브가 열리도록 구성되어 있다. Inside the spray nozzle 8, a not-shown fluid circulating path provided with a needle valve and a regulator (not shown) via a pressure control of high pressure air 24 is e (電磁) valve (10a) by a pipe Once through (9a) sends the direction of arrow C is supplied to the spray nozzle (8), is constructed to from the air pressure opens the needle valve.

또한, 레귤레이터(도시하지 않음)에 의해 압력 제어된 고압 질소 가스(25)가 전자 밸브(10b)를 거쳐서 배관(9b)을 통해 화살표 D 방향으로 보내어지면, 이 질소 가스에 의해 살포액(1)이 분무되도록 구성되어 있다. In addition, a regulator (not shown), a pressure controlled pressure nitrogen gas (25) through a solenoid-operated valve (10b) when sending through a pipe (9b) in the arrow D direction, the spray liquid (1) by a nitrogen gas by this is configured to spray.

전자 밸브(10a, 10b)는, 살포 제어부(3)에 의해 그 개폐가 제어되고, 또한, 그 개폐 시간은, 살포 제어부(3)에 마련된 타이머(2)와 이것에 연결하는 조작 패널(12)에 의해 제어된다. Solenoid valves (10a, 10b) has its opening and closing is controlled by the spray control unit (3), also, the opening and closing times, the control panel 12 for connection to a timer (2) and this provided the spray control section 3 It is controlled by the. 그리고, 전자 밸브(10a, 10b)가 양쪽으로 열려진 때에 살포액(l)이 스프레이 살포된다. Then, the dispersion liquid (l) when the solenoid valve (10a, 10b) open to both sides are sprayed spray.

살포실(7)의 기판(13)에 살포액(1)을 스프레이 살포하는 때에는, 미리 소정의 분무 시간을 조작 패널(12)에 설정한다. When spraying the spray spraying solution 1 to the substrate 13 of the spray chamber (7), the preset predetermined time of the spray on the operation panel 12. 이 설정된 살포 시간에 따라 살포 제어부(3)에 내장한 타이머(2)가 작동하여, 전자 밸브(10a, 10b)가 열리고, 스프레이 노즐(8)에 고압의 공기와 질소가 공급되어 살포액(1)이 스프레이 살포된다. By a timer (2) embedded in the spray controller 3 according to the set spray time operation, the solenoid valve (10a, 10b) is opened, the supply of air and nitrogen of high pressure to the spray nozzle 8 spraying liquid (1 ) it is sprayed spray.

살포실(7)의 내부 아래쪽에는 기판(13)이 설치되어 있고, 분무된 살포액(1)은,살포실(7)에서 파선으로 도시하는 바와 같이 천천히 강하하여, 그 사이에 휘발성 액체가 증발하여 미립자(14)가 기판(13)에 부착한다. Spray chamber inside the bottom part are provided a substrate 13, the atomized spray solution 1 of 7, it was slowly drop as shown by the broken line in the spray chamber (7), the volatile liquid evaporates in the meantime and the fine particles 14 is adhered to the substrate 13.

미립자(14)가 살포된 기판(13)은, 살포실(7)로부터 화살표 E로 도시하는 바와 같이 반출되고, 입자 카운터(15a)에서 기판(13) 위의 미립자(14)의 수가 계측된다. Fine particles 14 are sprayed substrate 13, is taken out as shown by the arrow E from the spraying chamber (7), is the number of measurement of the substrate 13, the fine particles 14 in place in the particle counter (15a). 입자 카운터(15a)는, 기판 표면의 일부분을 전기적으로 촬상하여 화상 신호로부터 미립자의 수를 계측하는 방법이 일반적으로 취해지고 있다. Particle counter (15a), the method to an electrical image pickup in a portion of the substrate surface from the image signal measuring the number of fine particles is usually taken as.

미립자(14)가 살포된 기판(13)의 표면에는, 미리 밀봉제가 도포되어 있고, 이 기판(13)의 스프레이 살포를 받은 면을 내측으로 해서 한 장의 기판과 접합하여 셀갭을 형성하고, 가열 또는 자외선 조사를 실행하는 것에 의해 밀봉제를 경화시켜 액정 셀이 형성된다. Fine particles 14 on the surface of the dispersion board 13, and is pre-sealing agent is applied, to a surface receiving the spray dispersion of the substrate 13 to the inside by a sheet of the substrate and bonded to form a cell gap, heat or curing the sealant by executing an irradiation with ultraviolet light the liquid crystal cell is formed.

마지막으로 액정 셀에 액정을 주입, 충전하는 것에 의해 액정 표시 소자가 완성된다. Finally, injecting liquid crystal into the liquid crystal cell is a liquid crystal display device completed by charging.

상기한 바와 같이 구성된 액정 표시 소자는, 액정의 전기 광학적 특성을 이용한 표시 소자이고, 셀 두께는 표시 특성을 정하는 중요한 요소의 하나이다. A liquid crystal display element constructed as described above, a display device using the electro-optical properties of the liquid crystal, the cell thickness is one of the key factors defining the display characteristics.

이 셀 두께를 소정의 값으로 하기 위해서 스페이서로 되는 미립자(14)를 살포하지만, 액정 셀내의 미립자(14)의 밀도가 변하면 그에 따라 셀 두께도 변화한다. The cell thickness spraying the fine particles 14 to be a spacer to a predetermined value, but the density of the fine particles 14 in the liquid crystal cell changes, the cell thickness is also changed accordingly. 따라서 액정 표시 소자의 양산시에는, 미립자(14)의 살포 공정에서, 기판(13) 위의 미립자(14)의 밀도(이하,「살포 밀도」라고 칭함)가 균일하고 또한 안정하게 되도록 살포하는 것이 요구된다. Therefore, to spray such that a has mass production of liquid crystal display device (hereinafter referred to as "spray density") in the spraying step of the fine particles 14, the substrate 13 is the density of the fine particles (14) on the uniform and stable demand do.

그러나, 상기 종래의 살포 장치에서는, 이하의 이유에 의해 살포 회수가 증가할 때마다 살포 밀도가 감소하여, 안정한 셀 두께를 얻을 수 없다고 하는 문제가 있다. However, the conventional spray apparatus, each time the number is increased by spraying the following reasons spray density is reduced, there is a problem that it is impossible to obtain a stable cell thickness. 즉, 상기 종래의 살포 장치에서는, 스프레이 살포를 실행하기 전에 용기(4)에 덩어리로 된 양의 살포액(1)을 설치하여, 순차적으로 보내어져 오는 기판(13)에 대하여 스프레이 살포를 실행한다. That is, the conventional spray apparatus, by installing a spray liquid (1) of the agglomerate in a container (4) prior to running the spray spray amount, and executes the spray sprayed against the substrate 13 comes is sent sequentially . 그 때문에, 시간 경과와 동시에 용기(4)에 들어 간 살포액(1)은 감소되어 간다. Therefore, at the same time as the time elapsed between the spray into the container 4 solution 1 goes is reduced.

살포액(1)의 양이 감소하면 살포액(1)의 액면이 내려가기 때문에, 액순환 호스(5a, 5b)나 스프레이 노즐(8)중에 있는 살포액(1)에 관한 액압력이 저하한다. When the amount of spray liquid (1) reduced due to descend the liquid level of the dispersion liquid (1), the liquid pressure of the spray liquid (1) in the liquid circulating hose (5a, 5b) or spray nozzles 8 is reduced .

살포액(1)의 스프레이 살포는, 고압 질소 가스(25)가 스프레이 노즐(8)의 선단으로부터 분사되었을 때에 스프레이 노즐(8)의 선단 내부가 부(負)압으로 되어, 이 압력에서 살포액(1)이 스프레이 노즐(8)의 선단에 흡인되어 고압 질소 가스(25)와 동시에 분사되는 것에 의해 실행된다. Spray spray, high-pressure nitrogen gas 25 of the spray liquid (1) is inside the front end of the spray nozzle (8) is a part (負) pressure when it is injected from the tip of the spray nozzle (8), the spray liquid in the pressure (1) is sucked to the tip of the spray nozzle (8) is executed by being injected at the same time as the high-pressure nitrogen gas 25.

그러나, 상술한 바와 같이 살포액(1)의 감소에 따라 액압력이 저하하면, 스프레이 노즐(8)로부터 나가는 살포액(1)의 액량이 감소하여, 기판(13)의 표면에 살포되는 미립자(14)의 살포 밀도가 감소하게 된다. However, the fine particles to be sprayed on the surface of when the fluid pressure decreases according to the decrease of the spraying solution 1, to reduce the volume of spray liquid (1) out from the spray nozzle 8 and the substrate 13 as described above ( the spray density of 14) is reduced.

상기 종래의 살포 장치에서는, 살포 밀도가 감소하더라도 이것을 보상하는 방법을 갖지 않기 때문에, 살포 밀도가 목표 범위로부터 벗어나는 것과 같은 경우에는, 생산 도중에 오퍼레이터가 살포 시간을 변경하는 등의 대응이 부득이하게 있었다. In the conventional spray apparatus, since it does not have a way to compensate for this, even if the dispersion density decreases, when the spray density as a departure from the target range, it was inevitable correspondence, such as the operator changes the spraying time during production.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 것으로, 세미 드라이 스프레이 살포법에 의한 액정 표시 소자의 제조 방법에서, 기판상에 부설하는 스페이서 미립자의 살포 밀도의 저하를 방지하여, 균일한 셀 두께를 갖고 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자를 얻을 수 있는 액정 표시 소자의 제조 방법 및 제조 장치, 및 액정 표시 소자를 제공하는 것이다. The present invention for solving the above problems, a semi-dry spray from the spray method method for manufacturing a liquid crystal display device according to, to prevent a decrease in spraying density of the spacers fine particles provided on the substrate, a display having a uniform cell thickness elegance It is to provide a manufacturing method and manufacturing apparatus, and a liquid crystal display element of the liquid crystal display device which can obtain a satisfactory liquid crystal display element.

도 1은 실시예 1에 있어서의 액정 표시 소자의 제조 장치의 측면도, 1 is a side view of apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the embodiment 1,

도 2는 실시예 1에 있어서의 액정 표시 소자의 제조 장치 구성의 부분 측면도, Figure 2 is a side view of part of the apparatus for producing the configuration of the liquid crystal display device according to the embodiment 1,

도 3의 (a), (b)는 살포 회수에 대한 살포 밀도의 변화를 도시한 도면, Of Figure 3 (a), (b) is a view showing the change in the spray density for spray recovered,

도 4는 실시예 2에 있어서의 액정 표시 소자의 제조 장치 구성의 부분 측면도, Figure 4 is a side view of part of the apparatus for producing the structure of the liquid crystal display element according to the second embodiment,

도 5의 (a), (b)는 실시예 2에 있어서의 살포 액량과 살포 시간의 관계도, Figure (a), (b) of Figure 5 is the relationship of the amount of liquid spray and spraying time in accordance with the second embodiment,

도 6은 실시예 2에 있어서의 액정 표시 소자의 제조 장치의 측면도, Figure 6 is a side view of the apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the second embodiment,

도 7은 실시예 3에 있어서의 액정 표시 소자의 제조 장치 구성의 부분 측면도, 7 is a side view of part of the apparatus for producing the configuration of the liquid crystal display element according to Example 3,

도 8은 실시예 3에 있어서의 살포 밀도의 목표값과 실측값의 차와 살포 시간의 관계도, Figure 8 is a relationship between the dispersion density target value and the actual measurement value and the difference of the spraying time in Example 3,

도 9는 종래의 액정 표시 소자의 스페이서 살포 장치의 구성도. 9 is a configuration of a spacer spraying apparatus of a conventional liquid crystal display device Fig.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 Description of the Related Art

1 : 살포액 4 : 용기 1: Spray the liquid 4: Containers

7 : 살포실 8 : 스프레이 노즐 7: spraying chamber 8: Spray Nozzle

11 : 제어 장치 13 : 기판 11: control device 13: substrate

14 : 미립자 15a, 15b : 입자 카운터 14: fine particles 15a, 15b: Particle Counter

16 : 액량 검지 장치 17 : 분무 시간 제어부 16: liquid level detection unit 17: time control the spray

17a : 타이머 A 17b : 타이머 B 17a: 17b A Timer: Timer B

17c : 기입가능 타이머 17d : 수치 변환부 17c: writable timer 17d: value conversion unit

18 : 광원 19 : 광전 센서 18: light source 19: photoelectric sensor

20 : 레이저 주사형 광원 21 : 광전 센서 20: Laser scanning light source 21: photoelectric sensor

22 : 센서 제어부 23a : 화상 처리 계측부 22: sensor control unit 23a: image processing measurement

23b : 광학계 23b: an optical system

본 발명의 액정 표시 소자의 제조 방법은, 스페이서로 되는 미립자를 액체에 분산시켜 용기에 수용한 살포액의 액량과 중량중 적어도 1개를 검지하는 공정과, 검지된 상기 액량과 상기 중량중 적어도 1개에 근거하여, 분무 시간, 분무 압력, 스프레이 노즐 내부의 니들 밸브의 개방도, 또는 스프레이 노즐과 기판의 거리의 값을 결정하는 공정과, 결정된 상기 값에 근거한 분무 시간, 분무 압력, 스프레이 노즐 내부의 니들 밸브의 개방도, 또는 스프레이 노즐과 기판의 거리를 제어하여 상기 살포액을 상기 기판에 분무 살포하는 공정으로 구성되며, 상기 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도를 소정의 목표값에 근접하도록 제어를 실행하는 것을 특징으로 한다. Method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, by dispersing the fine particles as a spacer for the liquid at least during a perfusion liquid volume and at least one step of detecting the one and, the detecting the liquid volume and the weight of the weight of the contained in the container 1 based on the dog, and the spraying time, the inner spray pressure, spray nozzle opening of the needle valve within the diagram, or a step of determining a distance value of the spray nozzle and the substrate, and the spraying time based on the determined value, the spray pressure, spray nozzle opening of the needle valve of FIG., or by controlling the distance between the spray nozzle and the substrate consists of the spray liquid in the step of spraying the spray to the substrate, so as to be closer to the density of the fine particles in the substrate surface to a predetermined target value, It characterized in that the running control.

이러한 구성에 의해, 공정중에서 편차가 발생하기 쉬운 각 요소를 제어할 수 있어, 살포 밀도의 편차를 억제하고, 셀갭의 편차를 방지하며, 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자를 얻을 수 있다. With this arrangement, it is possible to control the elements, easy to deviations are generated in the process to suppress the variation in the dispersion density, and to prevent a variation in the cell gap and can provide the liquid crystal display element the display quality satisfactory.

또한 본 발명의 액정 표시 소자의 제조 방법은, 스페이서로 되는 미립자를 액체에 분산시켜 용기에 수용한 살포액을 기판에 분무 살포하는 공정과, 상기 살포액의 액량을 검지하는 공정과, 검지된 상기 액량에 대응시켜 분무 시간을 제어하면서 분무 살포하여, 상기 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도를 소정의 목표값에 근접하도록 제어하는 공정으로 구성된다. In addition, the method of manufacturing the liquid crystal display device of the invention, by dispersing the fine particles as a spacer for liquid and a step of spraying spray the spray liquid substrate was accommodated in a container, comprising the steps of: detecting the liquid level of the dispersion liquid, detecting the by spraying spray to correspond to the amount of liquid while controlling the spray time, it consists of the density of the fine particles in the substrate surface as a step of controlling so as to be closer to the predetermined target value.

이 구성에 의하면, 살포액의 액량에 대응시켜 분무 시간을 제어함으로써, 살포 밀도의 감소를 억제하여, 셀갭의 저하를 방지하고 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자가 얻어진다. According to this configuration, in correspondence with the volume of spray liquid by controlling the spraying time, to suppress a reduction in the spray density, it is prevent the deterioration of the cell gap to obtain a liquid crystal display element the display quality satisfactory.

또한 본 발명의 액정 표시 소자의 제조 방법은, 스페이서로 되는 미립자를 액체에 분산시킨 살포액을 기판에 분무 살포하는 공정과, 상기 기판상에 살포된 상기 미립자의 수를 계수하는 공정과, 그 계수값에 대응시켜 후속 공정에서 처리하는 기판으로의 살포액의 분무 시간을 제어하여, 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도를 소정의 목표값에 근접하도록 제어하는 공정으로 구성된다. In addition, the manufacturing method of the liquid crystal display device of the present invention, the step of spraying spray was sprayed liquid dispersing the fine particles in liquid to be a spacer to the substrate, and a step of counting the number of said fine particles sprayed on the substrate, the coefficient to correspond to the value to control the spraying time of the sprayed solution to the substrate for processing in a subsequent process, it consists of the density of the fine particles in the substrate surface as a step of controlling so as to be closer to the predetermined target value.

이 구성에 의하면, 기판상에 살포된 미립자의 수를 직접 계수하고, 이 계수값에 근거하여 다음번의 분무 시간을 제어하기 때문에, 살포 액량의 감소에 따른 살포 밀도의 감소를 억제하여, 셀갭의 저하를 방지하고 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자가 얻어진다. According to this structure, and directly counting the number of the particles sprayed on the substrate, because controlling the spraying time of the next time based on the count value, to suppress a decrease in spraying density of the reduction of the spraying liquid volume, reduction in the cell gap prevent and to obtain a liquid crystal display element the display quality satisfactory.

또한 본 발명의 액정 표시 소자의 제조 장치는, 살포액을 수용하는 용기와, 상기 용기에 수용한 살포액을 기판에 살포하는 분무 기능을 갖는 살포 장치와, 상기 살포액의 액량을 검지하는 액량 검지 수단과, 상기 액량 검지 수단이 검지한 액량에 대응시켜 상기 기판면에 있어서의 미립자의 밀도를 소정의 목표값에 근접하도록 분무 시간을 제어하는 분무 시간 제어 수단으로 구성된다. In addition, the manufacturing apparatus of the liquid crystal display of the present invention comprises a spray device having a container for accommodating the spray solution, atomizing the ability to spray a spray liquid accommodated in the container to the substrate, the liquid level detection for detecting the liquid amount of the spray solution consists of the means, the spray time control means for controlling the spraying time so that in correspondence with the amount of liquid which the liquid amount detecting means is detected close to the density of the fine particles in the surface of the substrate to a predetermined target value.

이 구성에 의하면, 스프레이 살포를 실행할 때에 살포 밀도의 안정화가 용이하게 실현된다. According to this configuration, it is realized to facilitate the stabilization of the dispersion density when performing the spray sprayed.

또한 본 발명의 액정 표시 소자의 제조 장치는, 살포액을 수용하는 용기와, 상기 용기에 수용한 살포액을 기판에 살포하는 분무 기능을 갖는 살포 장치와, 상기 기판상에 살포된 미립자의 수를 계측하는 수단과, 계측된 상기 미립자의 수에 대응시켜 상기 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도가 소정의 목표값에 근접하도록 분무 시간을 제어하는 분무 시간 제어 수단으로 구성된다. In addition, the manufacturing apparatus of the liquid crystal display device of the present invention includes a container for containing the spray liquid, and a spray device having a spray function to spray a spray liquid accommodated in the container to the substrate, the number of particles sprayed onto the substrate in association with the measurement means for the number of the measurement of the fine particles is composed of spray time control means for controlling the spray time the density of the fine particles in the surface of the substrate so as to be closer to the predetermined target value.

이 구성에 의해서도, 스프레이 살포를 실행할 때에 살포 밀도의 안정화가 용이하게 실현된다. By this configuration, it is realized to facilitate the stabilization of the dispersion density when performing the spray sprayed.

또한 본 발명의 액정 표시 소자는, 이상과 같은 액정 표시 소자의 제조 방법에 의해 제조된 것을 특징으로 한다. In addition, the liquid crystal display device of the present invention is characterized in that is manufactured by the manufacturing method of the liquid crystal display device as described above.

이 구성에 의하면, 셀갭의 변동이 없고, 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자가 얻어진다. According to this configuration, there is no variation in the cell gap, a liquid crystal display device has good display quality is obtained.

이하, 본 발명의 각 실시예에 대하여, 도 1∼도 8을 이용하여 설명한다. Or less, with respect to each of the embodiments of the present invention will be described with use of FIG. 1 to FIG.

또, 상기 종래 예를 나타내는 도 9와 마찬가지의 기능을 하는 것에는 동일한 부호를 붙여 설명한다. In addition, turning on the function similar to that of Figure 9 showing the prior art example will be described by the same reference numerals.

본 발명의 실시예 1에 있어서의 액정 표시 소자의 제조 방법 및 제조 장치를, 도 1∼도 3의 (b)를 이용하여 설명한다. The manufacturing method and manufacturing of the liquid crystal display apparatus according to the embodiment 1 of the present invention will be described with reference to (b) of FIGS. 1 to 3.

도 1은 실시예 1에 있어서의 살포 장치의 구성도를 나타내고, 도 2는 그 구체예인 실시예 1에서 사용한 살포 장치의 주요부를, 도 3의 (a), (b)는 실시예 1에서의 측정 결과를 나타낸 것이다. (A), (b) of Figure 1 in Example 1 shows a block diagram of the spray apparatus according to, Figure 2 is the specific example embodiment the main part of the spraying device used in Example 1, Figure 3 in Example 1, It shows the measurement result.

이 실시예 1에서는, 종래의 살포 장치보다도 살포 밀도를 안정하게 하기 위해서, 살포액의 액량을 검지하는 액량 검지 장치와, 이 액량 검지 장치가 검지한 액량에 대응시켜 살포 밀도를 목표값에 근접하도록 분무 시간을 제어하는 분무 시간 제어 장치를 마련한 점이 신규한 점이고, 그 이외의 기본적인 구성은 상기 종래 예를 나타내는 도 9와 거의 마찬가지이다. In this embodiment 1, in order to stabilize the dispersion density than the conventional spray apparatus, and the liquid amount detection device for detecting a liquid level of the dispersion liquid, in correspondence with the amount of liquid by the liquid level detection device detects as close the spray density of the target value a point provided with a spraying time control device for controlling the spraying time of new jeomyigo, the basic configuration other than that is substantially the same as Figure 9 showing the prior art.

상세하게는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 살포액(1)이 들어간 용기(4)에는, 스프레이 살포에 따라 변화하는 살포액(1)의 액량을 검지하는 액량 검지 장치(16)가 설치된다. Specifically, as shown, in the spray liquid (1) into the container 4, the liquid amount detecting device 16 for detecting the liquid level of the dispersion liquid (1) which change according to the spray dispersion is provided as shown in Fig. 1 . 또한, 상기 종래 예를 나타내는 도 9에서, 타이머(2)를 내장하여 조작 패널(12)과 연결되어 있던 살포 제어부(3) 대신에, 이 실시예 1에서는, 상기 액량 검지 장치(16)와 연결한 분무 시간 제어부(17)를 내장하는 제어 장치(11)가 마련되어 있다. Further, instead of the in Figure 9 showing the prior art example, a built-in timer (2) The operation panel 12 is connected to the spray control unit (3) that, in the first embodiment, connected to the liquid level detection device (16) It is provided with a control device 11 which incorporates a spray time control unit 17.

이와 같이 구성된 살포 장치에서는, 살포 회수가 증대하는 것에 따라서 용기(4)에 들어간 액량이 적어지면, 액량 검지 장치(16)에 의해 용기(4)에 들어간 살포액(1)의 양이 계산되고, 이 액량 정보가 신호로서 제어 장치(11)를 구성하는 분무 시간 제어부(17)에 송신된다. In this way spraying device configured, when the thus less amount of liquid into the container (4) to spraying number is increased, the amount of the spraying solution 1 into the vessel 4 by the liquid level detection device (16) is calculated, the liquid amount information is transmitted to the spray time the control unit 17 constituting the control device 11 as a signal.

액량 정보를 얻은 분무 시간 제어부(17)는, 그 정보로부터 다음에 분무 살포하는 분무 시간을 산출하고, 전회의 살포 공정과 마찬가지의 살포 밀도가 얻어지도록 타이머의 설정을 변경하여, 전자 밸브(10a, 10b)를 제어한다. Spray time, the control unit 17 obtained the liquid amount information, and from that information calculating and then spray time for spraying the spray on and so as to obtain a dispersion density of the last spraying step and the like to change the setting of the timer, the solenoid valve (10a, controls 10b).

이러한 구성으로 함으로써, 살포 회수가 증대해도 기판(13)으로의 살포 밀도는 항상 일정하게 되기 때문에, 안정한 셀갭을 얻을 수 있어, 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자가 얻어진다. Thanks to this structure, even if the number of spraying sprays increase the density of the substrate 13 is always constant, since, it is possible to obtain a stable cell gap can be attained by a liquid crystal display element the display quality satisfactory.

이하에 (실시예 1)에 있어서의 구체예를 나타낸다. It shows an embodiment in Example 1 below.

(실시예 1) (Example 1)

상기 실시예 1에 있어서의 살포 장치에서, 이 실시예 1에서는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 액량 검지 장치(16)로서 광원(18)과 광전 센서(19)를 이용하였다. In the spraying apparatus according to the first embodiment, in this embodiment 1, it was used as a liquid amount detecting device 16, the light source 18 and the photoelectric sensor 19 as shown in Fig. 제어 장치(11)를 구성하는 분무 시간 제어부(17)로서 타이머 A(17a)와 타이머 B(l7b)를 이용하였다. A timer (17a) and timer B (l7b) was used as a spray time the control unit 17 constituting the control device 11.

그리고, 살포액(1)을 넣는 용기(4)로서 투명의 유리 용기를 사용하여, 광원(18)으로부터 발생한 빛이 용기(4)를 투과하여 광전 센서(19)에 도달하도록 미리 설치하였다. Then, by using the transparent glass of the container as the container 4 into the dispersion liquid (1), the light passes through the container 4 generated from the light source 18 was preset so as to reach the photoelectric sensor 19.

살포액(1)으로서는, 예컨대 이소프로필알콜과 순수한 물을 5 : 5의 비율로 혼합한 수용액에, 스페이서로 되는 직경 5㎛의 미립자를 100 ml 당 1g의 농도로 되도록 혼합하여 분산한 것을 이용하였다. Was used and mixed with the dispersion such that the aqueous solution are mixed in a ratio of 5, a concentration of 1g per 100 ml for particles having a diameter of 5㎛ is a spacer: spray liquid (1) include, for example, isopropyl alcohol and pure water for 5 .

이러한 살포액(1)은, 미립자(14)가 혼합되어 있기 때문에 빛을 투과하기 어렵고, 광원(18)과 광전 센서(19) 사이의 광로에 살포액(1)이 존재하는 경우로 하지 않은 경우에, 광전 센서(19)의 수광량이 크게 변하게 된다. The spray liquid (1), the fine particles 14 is less likely to transmit light because they are mixed, are not as if the spray liquid (1) present in the optical path between the light source 18 and the photoelectric sensor 19 on, the received light amount of the photoelectric sensor 19 is changed greatly.

그래서, 이 실시예 1에서는, 한 쌍의 광원(18)과 광전 센서(19)를 이용하여 용기(4)중의 살포액(1)의 액면이 소정의 액량 검지 위치보다도 위에 있는 것인지 아래에 있는 것인지를 판단하여, 그 정보를 전기 신호로서, 광전 센서(19)로부터 제어 장치(11)에 마련된 분무 시간 제어부(17)로 전달한다. Thus, in this first embodiment, whether at the bottom of the liquid level of the pair of light source 18 and the spray liquid (1) in using the photoelectric sensor 19, the container (4) whether the top than the predetermined liquid level detection position the determination by, and delivers the information to an electric signal, a photoelectric sensor 19, the spray time, the control unit 17 provided in the control device 11 from the.

분무 시간 제어부(17)는, 타이머 A(17a)와 타이머 B(17b)의 2개의 타이머를 갖고 있으며, 살포액(1)의 액면이 소정의 액량 검지위치 보다도 위에 있는 경우의 분무 시간을 타이머 A(17a)에 설정하고, 살포액(1)의 액면이 소정의 액량 검지 위치보다도 아래에 있는 경우의 분무 시간을 타이머 B(17b)에 설정하도록 구성되어 있다. Spray time, the control unit 17, the timer A (17a) and a timer, and has two timer B (17b), the timer of the spray time when the liquid level of the dispersion liquid (1) in the upper than the predetermined liquid level detection position A set to (17a) and is configured to set the spraying time in the case where the liquid level of the dispersion liquid (1) in the lower than the predetermined liquid level detection position in a timer B (17b).

따라서, 기판(13)으로의 살포 개시시에는 살포액(1)의 액면이 소정의 액량 검지 위치보다도 위에 있고 살포 개시 후에 광전 센서(19)를 설치한 소정의 살포 액량까지의 사이는, 타이머 A(17a)에서 설정한 시간으로 분무 살포가 행하여지고, 점차로 살포액(1)의 소비가 진행되어, 소정의 살포 액량으로부터는 타이머 B(17b)에서 설정한 시간으로 분무 살포가 행하여진다. Thus, between the substrate 13 as by a spray at the start of, the spray liquid (1) the liquid surface with a predetermined spraying liquid volume installing the photoelectric sensor 19 after the start of the spraying is on than the predetermined liquid level detection position of a timer A the spraying is carried out by spraying the time specified in (17a), the consumption of spraying liquid gradually (1) advances, from a given amount of liquid is sprayed into the time set in the timer B (17b) is sprayed spraying is carried out.

이와 같이 구성된 장치를 이용하여, 타이머 A(17a)의 분무 시간을 5.0초로 하고, 타이머 B(17b)의 분무 시간을 5.5초로 설정해서 분무 살포를 실행하여 살포 회수와 살포 밀도의 상대값의 관계를 측정하였다. Thus, by using the composed unit, the timer A (17a) and second 5.0 of the spray time, and setting the spray time of the timer B (17b) 5.5 seconds to execute the spray spraying the relationship of the relative values ​​of the spray frequency and spray density It was measured.

또, 액량 검지 위치, 즉 광전 센서(19)의 위치는, 용기(4)의 용량 절반의 위치로 하였다. The liquid level detection position, i.e. the position of the photoelectric sensor 19, and a position of a half dose of the container (4). 또한, 살포 밀도의 상대값이란, 목표로 하는 살포 밀도를 100%로 하였을 때의 실제 측정값의 상대값이고, 살포 밀도는, 입자 카운터에서 기판상의 18 군데를 측정하여, 그 평균치를 구한 것이다. Also, is the relative value of the dispersion density, and the relative value of the actual measurement value at the time when a dispersion density of the target to be 100% and the dispersion density, by measuring the 18 places on the substrate in a particle counter, is calculated and the average value.

얻어진 측정 결과를 도 3의 (a)에 나타낸다. It shows the measurement result obtained in (a) of FIG.

(비교예 1) (Comparative Example 1)

상기 실시예 1와 비교 검토하기 위해서, 상기 종래 예를 나타내는 도 9에 있어서의 살포 장치를 이용한 측정 결과를 도 3의 (b)에 나타낸다. In order to compared with Example 1, are shown in (b) of the measurement result using the spray apparatus of Fig 9 showing the prior art FIG. 이 때의 분무 시간은 5.0초로 고정되어 있다. Spray time at that time is fixed to 5.0 sec.

도 3의 (a)에 도시하는 바와 같이, 살포 회수의 증가에 따른 살포 밀도는 약간 감소 경향에 있지만, 분무 시간 전환이 행하여진 것을 경계로 살포 밀도가 증가하고, 미립자수가 감소하여 지나침이 해소되어 있다. As shown in Figure 3 (a), spray density with increasing spray recovered, but the slightly reduced tendency, increased spray density as a boundary that the spraying time transition binary performed, and the excess is eliminated by reducing the number of fine particles have.

또한, 도 3의 (b)에 나타낸 바와 같이, 종래의 살포 장치에서는, 살포 회수의 증가에 따라 살포 밀도가 감소하고 있다. Further, in the conventional spray apparatus as shown in Figure 3 (b), so that the spray density decreases with the increase of the number of spray.

이와 같이 살포액의 액면의 높이, 즉 액량에 대응시켜 분무 시간을 제어함으로써, 살포 액량의 감소에 따른 기판상에 살포되는 미립자수의 감소를 방지할 수 있어, 안정 균일한 셀 두께를 갖는 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자를 얻을 수 있다. As described above in association with the height, i.e. liquid volume of perfusion liquid level control of the spray time, it is possible to prevent a decrease in the number of fine particles to be sprayed on a substrate according to the reduction of spraying liquid volume, display quality that has a stable uniform cell thickness it is possible to obtain a satisfactory liquid crystal display element.

또 본 실시예에서는 한 쌍의 광원(18)과 광전 센서(19)를 이용한 예를 설명하였지만, 복수쌍의 광원과 광전 센서를 이용하는 것에 의해 소정의 액량 검지 위치가 복수로 되어, 살포액의 액면 높이가 복수의 소정의 액면 높이중 어느 범위에 있는지에 따라 각각 분무 시간을 결정하는 것에 의해 더욱 정밀도가 높은 제어가 가능해진다. Further although the present embodiment describes the example of using the light source 18 and the photoelectric sensor 19 of the pair, a predetermined liquid level detection position is in plurality by using a light source and a photoelectric sensor of the plurality of pairs, the liquid level of the dispersion liquid as a further high precision by controlling the height of each crystal of the spray time, depending on whether the extent of a plurality of predetermined height of the liquid level can be realized.

(실시예 2) (Example 2)

도 4는, 본 발명의 실시예 2를 나타낸다. Figure 4 shows a second embodiment of the present invention.

이 실시예 2에서는, 액량 검지 장치(16)로서 레이저 주사형 광원(20)과 광전 센서(21)를 이용하고, 제어 장치(11)를 구성하는 분무 시간 제어부(17)로서 기입가능 타이머(17c)와 수치 변환부(17d)를 이용하며, 센서 제어부(22)를 거쳐서 광전 센서(21)와 수치 변환부(17d)를 접속한 점이 상기 실시예 1와 다르고, 그 이외의 기본적인 구성은 상기 실시예 1와 거의 마찬가지이다. The second embodiment, can be written as the liquid amount detecting device 16, a laser scanning light source 20 and the spray time, the control unit 17 to use a photoelectric sensor 21, and configure the control device 11, the timer (17c ) and the value and use of the conversion unit (17d), the sensor controller 22, a point different from the embodiment 1 connected to the photoelectric sensor 21 and the value conversion unit (17d) via the basic configuration other than the above-described example 1 and is substantially the same.

액량 검지 장치(16)로서의 레이저 주사형 광원(20)과 광원 센서(21)는, 레이저 주사형 광원(20)으로부터 발생되는 스포트광이 측정 범위내를 도시하는 화살표 F로부터 화살표 G와 같이 시간적으로 주사하면, 이 레이저 광을 광전 센서(21)에서 수광하여, 센서 제어부(22)에서 액면 위치를 수치화하도록 구성되어 있다. Laser scanning light source 20 and light sensor 21 as liquid level sensing device (16), spot light generated from the laser scanning light source 20 is from the arrow F showing the measurement range in terms of time as shown by the arrow G When scanning, to receive the laser light from the photoelectric sensor 21, so as to quantify the surface position from the sensor control section 22. 살포액의 액면 위치로부터 살포액의 액량이 산출된다. This volume of spray liquid is calculated from the surface position of the liquid spray.

이러한 액량 검지 장치(16)를 이용하면, 1회의 살포에 의한 약간의 액면 위치의 변화를 상시 레이저 주사형 센서로 파악하여 살포액의 액량을 수치 정보로서 분무 시간 제어부(17)에 보낼 수 있다. With such a liquid amount detecting device 16, to identify in some laser scanning sensors at all times the change in the liquid level position due to the spraying one time may be sent to the spray time the control unit 17 as numerical information, the volume of spray solution. 따라서, 소정의 범위를 주사하는 레이저 주사형 센서(20)를 이용하면, 상기 실시예 1보다도 용기(4)에 들어간 살포액(1)의 액량을 정밀히 측량할 수 있다. Thus, using a laser scanning sensor 20 which scans a predetermined range, the first embodiment than can be accurately measured the volume of spray liquid (1) into the container (4).

또한, 상기의 소정의 범위를 주사하는 레이저 주사형 센서(20)에 의해 측정된 액면 위치는, 센서 제어부(22)에서 수치화되고, 분무 시간 제어부(17)에 송신된다. Further, the surface position measured by the laser scanning sensors (20) for scanning a predetermined range of the above, and digitized in the sensor control unit 22, is sent to the spray-time control unit 17. 분무 시간 제어 장치(17)는, 송신된 신호에 따라 다단층의 제어를 할 수 있도록 구성되어 있다. Spray time, the controller 17 is configured to allow the control of the single layer depending on the transmitted signal.

상세하게는, 분무 시간 제어부(17)는, 센서 제어부(22)로부터 송신된 액면 위치의 정보, 즉 살포액의 액량 정보에 따라서, 수치 변환부(17d)를 이용하여 미리 설정해 놓은 분무 시간을 기입가능 타이머(17c)에 설정한다. Specifically, the spray time, the control unit 17, according to the information of the surface position transmitted from the sensor control unit 22, i.e., liquid amount information of the spray liquid, fill in the spray-time pre-set by using a value conversion unit (17d) set the timers (17c).

살포액의 액량에 대한 분무 시간의 관계는, 예컨대 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 액량의 수치 정보를 다단층의 살포 시간에 대응하도록 설정한다. Relationship of the spray time for a volume of spray liquid is, for example, as illustrated in Figure 5 (a), is set so as to correspond to the numerical information of the liquid volume in the spray time of the fault.

이 실시예 2에서는, 살포액의 액량 300ml까지를 7단계로 분할하여, 각각의 단계에서 분무 시간을 도면과 같이 설정하였다. In this second embodiment, by dividing the liquid volume to 300ml of liquid spray to step 7, the spraying time was set as shown in the drawing in each step. 예컨대, 최초 액량이 300ml에서 분무 시간 5.0초로 살포를 개시하고, 이윽고 살포 회수가 진행하여, 액량이 240m1이 되면 분무 시간은 5.4초로 전환된다. For example, when the first liquid volume to initiate a spray time 5.0 seconds, sprayed at 300ml, and before long the spray proceeds collected, the liquid volume is 240m1 spraying time is switched 5.4 seconds.

이와 같이 살포액의 액량과 살포 시간을 다단층으로 제어하여, 살포 회수와 살포 밀도의 관계를 조사하였다. In this way, the control of a single layer of liquid volume and the spray time of the spray liquid was investigated the relationship between spray frequency and spray density.

얻어진 측정 결과를 도 5의 (b)에 나타낸다. The obtained measurement results are shown in 5 (b).

도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 살포 회수가 증대해도 살포 밀도의 감소가 거의 없고, 또한, 상기 실시예 1를 도시한 도면 3a, 및 비교예 1를 도시한 도 3의 (b)의 측정 결과에 비해 살포 밀도의 안정을 도모한 것임을 알 수 있다. As shown in (b) of Figure 5, the spray recovery is the reduction of the spraying density hardly be increased, and also, in the embodiments 1 shows a figure 3a, and Comparative Examples 1 to the one shown in Fig 3 (b) it can be seen that a plan to stabilize the dispersion density compared to measured results.

이와 같이, 다단층의 시간 제어를 실행하는 것에 따라, 보다 정밀도가 높은 제어가 가능해져, 안정 균일한 셀갭을 갖는 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자를 얻을 수 있다. In this way, it is possible to obtain a, becomes a more highly accurate controllable, reliable liquid crystal display quality having a uniform cell gap good display device by executing the time control of a single layer.

또한 고정밀도의 제어를 실행하는 경우에는, 분무 시간의 단계수를 늘리면 좋고, 또한 다른 방법으로서는, 액면 위치의 정보를 아날로그의 전기 신호로서 분무 시간 제어부(17)에 보내고, 분무 시간 제어부(17)에서는 액면 위치 정보를 분무 시간에 연속량으로 관계를 맺는 등의 방법을 채용하더라도 무방하다. In addition, in the case of performing control with high precision, as well increasing the number of steps in the spray time, and the other way, having the spray time the control unit 17 the information on the surface position as an electric signal of the analog, and the spraying time, the control unit 17 in but it may be employed a method such as to relate the surface position information as a continuous quantity in atomizing time.

또, 본 실시예에서는 살포액의 액량 혹은 액면을 검지하는 방법에 관해서 상세히 서술하였다. Further, in the present embodiment it was described in detail as to how to detect a liquid level or the liquid level of the dispersion liquid. 그러나 살포액의 중량을 측정하는 장치를 마련하고, 중량에 근거하거나 혹은 중량과 액량의 양자에 근거하여, 살포액의 분무 시간을 변화시킴으로써, 분무된 미립자의 밀도를 제어하더라도 됨은 말할 필요도 없다. However, providing a device for measuring the weight of the spray solution, and on the basis of both of the base, or the weight and liquid volume to weight, not to mention doemeun by varying the spraying times of the spray solution, and even control the density of the sprayed particles. 또 살포액의 중량 측정 장치는 살포액의 용기(4)(도시하지 않음)의 아래에 놓으면 좋다. Also the weight measuring device of the spray solution may release the bottom of the container 4 (not shown) of the spray liquid.

도 6은, 본 발명의 실시예 2에 있어서의 액정 표시 소자의 제조 방법 및 제조 장치를 나타낸다. 6 shows a manufacturing method and manufacturing of the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention.

상기 실시예 1에서는, 후속 공정과 이전 공정에서의 살포 밀도를 일정하게 하기 위해서 액량 검지 장치(16)와 분무 시간 제어부(17)를 마련하였지만, 이 실시예 2에서는, 액량 검지 장치(16)의 대신에 살포 밀도를 계측하는 장치를 특수한 구성으로 한 점에서 다르다. Of the above embodiment 1, the subsequent steps as before but provide a liquid level detection device 16 and the spray time, the control unit 17 to a constant spray density in the process, in the second embodiment, liquid level detecting device 16 instead, the device that measures the density of the spray in a special configuration differs from the one point.

즉, 상기 실시예 1에서는, 액량 검지 장치(16)와 분무 시간 제어부(17)를 연결하고, 살포 밀도를 계측하는 입자 카운터(15a)는 종래와 마찬가지의 것을 이용하였지만, 이 실시예 2에서는, 액량 검지 장치(16)는 마련하지 않고서, 입자 카운터(15b)의 구성을 특수하게 하여, 이 입자 카운터(15b)와 분무 시간 제어부(17)를 연결하고, 입자 카운터(15b)에서 계측된 미립자(14)의 수에 대응시켜 분무 시간 제어부(17)에 의해 살포 밀도가 목표값에 근접하도록 분무 시간을 제어하도록 구성한 점에서 다르다. That is, in the above embodiment 1, connect the liquid amount detection device 16 and the spray time, the control unit 17 and the particle counter (15a) for measuring the spray density is used, but that of the prior art and similar to, the embodiment 2, the liquid amount detecting device 16, without providing, in the special configuration of the particle counter (15b), connected to a particle counter (15b) and the spray time, the control unit 17, and measured by the particle counter (15b) microparticles ( in correspondence with the number of 14) it is different in that it is configured to control the spraying time, the spray density by spraying time control unit 17 so as to be closer to the target value.

상세하게는, 살포액(1)이 분무된 후의 기판(13)이 입자 카운터(15b)에 반입되면, 입자 카운터(15b)가 기판(13)상의 미립자수를 계측하여, 그 살포 밀도 정보를 분무 시간 제어부(17)에 송신한다. Specifically, when the substrate 13 after the spraying solution 1 spray is carried into the particle counter (15b), the particle counter (15b) is measuring the number of fine particles on the substrate (13), spraying the dispersion density information and it transmits it to the time control unit 17.

살포 밀도 정보를 얻은 분무 시간 제어부(17)는, 그 정보로부터 다음에 분무 살포하는 때의 분무 시간을 타이머에 재설정하여, 전자 밸브(10a, 10b)를 제어한다. Spray time, the control unit 17 obtained the spray density information, by resetting the timer at the time of the spraying time, and then sprayed from the spray on that information, it controls the solenoid-operated valve (10a, 10b).

따라서, 이전 공정과 후속 공정에 있어서의 분무 밀도를 안정하게 유지할 수 있어, 셀갭이 균일한 액정 표시 장치를 얻을 수 있다. Therefore, it is possible to maintain a steady spray density at a previous step and the subsequent step, it is possible to obtain a liquid crystal display device cell gap is uniform.

이하에 실시예 2에 있어서의 구체예를 나타낸다. It shows an embodiment in accordance with the second embodiment below.

(실시예 3) (Example 3)

도 7은, 본 발명의 실시예 3에 있어서의 살포 장치의 주요부를 나타낸다. 7 shows the main part of the spray apparatus according to the embodiment 3 of the present invention.

입자 카운터(15b)는, 광학계(23b)로서 촬상 영역에 있어서의 미립자에 그림자가 생길 수 없도록 링 조명을 부설한 CCD 카메라와, 이 카메라로 촬상된 화상으로부터 입자수를 계측하는 컴퓨터를 내장한 화상 처리 계측 장치(23a)로 구성되어 있다. Particle counter (15b), the image with a built-in computer for measuring the number of particles from the CCD camera laying the ring light so may cause a shadow to the fine particles in the image pickup area as an optical system (23b), the image picked up by the camera, It consists of a process measuring device (23a).

살포실(7)에서 미립자(14)의 살포를 받은 기판(13)은, 스테이지(도시하지 않음)에서 받아들여져서 입자 카운터(15b)의 내부로 반입된다. The substrate 13 receiving the spray of particles 14 in the spraying chamber 7 has been accepted on the stage (not shown) is brought into the interior of the particle counter (15b).

입자 카운터(15b)가 계측을 개시하면, 스테이지는 미리 계측 프로그램으로 지정된 위치에 이동하여, 기판(13)의 복수개를 CCD 카메라로 촬상한다. When the particle counter (15b) starting the measurement, the stage is moved to the position specified by the pre-measurement program, the image pick-up a plurality of the substrate 13 by a CCD camera. 촬상된 화상은 화상 처리 계측 장치(23a)에서 미립자수가 계측되고, 살포 밀도 데이터로서 측정 조건 등의 정보와 함께 기억 장치에 보존된다. The captured image is stored in the storage device along with information such as the image processing measuring device (23a) is measured in the number of fine particles, spraying density data as a measurement condition.

이렇게 하여 계측한 미립자(14)의 수와 목표로 하는 미립자(14)의 수를 비교하는 것에 의해, 분무 시간을 제어하는 정보가 얻어진다. Thus there was, the obtained information to control the spraying time by comparing the number of fine particles 14 to a number of target and the measuring particles (14).

이 정보로부터 분무 시간 제어부(17)가 다음에 분무할 때의 분무 시간을 변경하여, 미립자(14)의 수의 과부족을 보상하도록 동작한다. By the time the spray control unit 17 changes the time of the spray when spraying on and then from this information, it operates to compensate for the excess or deficiency of the number of fine particles (14).

일반적으로, 입자 카운터(15b)에는, 화상 처리 계측 장치(23a)로서, 또한 기계 제어나 데이터 처리 장치로서 범용 컴퓨터를 갖고 있고, 시간 제어의 판단을 이 컴퓨터로 실행하면, 분무 시간 제어부(17)의 구성을 간소하게 할 수 있다. Generally, the particle counter (15b), an image processing measuring device (23a), also have to have a general-purpose computer as a machine control and data processor, when executing the determination of the time controlled by the computer, and the spraying time, the control unit 17 the configuration can be simplified.

이 실시예 3에서는, 목표의 살포 밀도와 실제로 계측한 살포 밀도의 차를 Δn으로 하고, 화상 처리 계측 장치(23a)의 컴퓨터로 이 Δn에 대하여 미리 설정한 분무 시간을 결정하여, 이 분무 시간을 분무 시간 제어부(17)에 보낸다. In this third embodiment, the difference of actually measured spray density and dispersion density of the target as Δn, and a computer of an image processing measuring device (23a) determines the spray time set in advance with respect to Δn, the spray time It sends the spray time, the control unit 17.

분무 시간 제어부(17)는, 기입가능 타이머(17c)를 갖고, 컴퓨터로부터 인가된 수치를 전자 밸브의 개방 시간에 설정하는 만큼의 구성으로도 무방하다. Spray time, the control unit 17 is also the configuration of the mubang so as to have a write enable timer (17c), setting the applied value from the computer to the opening time of the solenoid valve.

도 8은, 살포 밀도의 목표값과 실측값의 차 Δn과 살포 시간의 관계의 일례를 나타낸다. 8 shows an example of the relationship between the difference Δn and the spraying time of the target value and the actually measured value of the spray density.

이 경우에는, Δn을 ±35개/mm 2 의 범위에서 5개/mm 2 피치로, 분무 시간을 14 단계로 설정하고 있다. In this case, in the range of ± 35 to Δn pieces / mm 2 in 5 / mm 2 pitch, the spraying time is set to 14 steps:

이렇게 하여 살포를 실행하면, 상기 실시예 2에 있어서의 측정 결과인 도 5의 (b)와 마찬가지로, 살포 회수에 대하여 안정한 살포 밀도를 실현할 수 있다. In this way Running the spraying, as in (b) of the measurement results of FIG. 5 in the above second embodiment, it is possible to achieve a stable spray density for spray recovered.

또한, 상기한 바와 같이 구성된 살포 장치이면, 컴퓨터에 의한 복잡한 연산 처리가 가능하기 때문, Δn과 살포 시간을 임의의 대응표나 계산식으로 관계를 맺는 것이 가능하다. Further, if the spray device structured as described above, it is possible because it can be complicated arithmetic processing by a computer, the Δn and the spraying time in any correspondence table or calculation, to relate.

또한, 상기 실시예 3에서는, 입자 카운터(15b)에 컴퓨터를 이용하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 컴퓨터의 대신에, 분무 시간 제어부(17)에 분무 시간을 정하는 연산 기능이나, 조건이나 데이터를 입출력하는 기능을 갖게 하여, 입자 카운터(15b)로부터는 단지 살포 밀도의 데이터만을 출력하도록 하더라도 무방하다. Further, in the above Example 3, but using the computer to the particle counter (15b), the present invention is not limited to this, and instead of the computer, the operation to set the spraying time in the spray time, the control unit 17 functions or conditions or to have a function for inputting and outputting data, and may even be the only from particle counter (15b) output only the data of the spraying density.

이와 같이, 실제로 기판(13)의 위에 살포된 미립자(14)의 수를 분무 시간에 대응시켜 제어함으로써, 미립자(14)의 수의 감소뿐만 아니라, 분무 압력 변동(이 경우, 압력 상승) 등의 다른 불량에 의한 미립자(14)의 수의 증가에도 대응하여 제어할 수 있다. In this way, such as by practice to correspond the number of fine particles (14) sprayed on top of the substrate 13, the spray time control, as well as a reduction in the number of fine particles 14, and the spraying pressure variations (in this case, pressure increase) of in response to an increase in the number of fine particles 14 by the other defects it can be controlled. 따라서, 안정하고 균일한 셀갭을 갖는 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자를 얻을 수 있다. Therefore, the display quality with a stable, uniform cell gap can be obtained a satisfactory liquid crystal display element.

또, 본 발명의 실시예에서는 검지된 액량 또는 살포된 미립자의 계수값에 근거하여, 분무 시간을 결정하는 예에 대하여 상세히 서술하였다. Further, in the embodiment of the present invention based on the coefficient values ​​of the detected amount of liquid or spray fine particles, and detailed description will be given of an example of determining the spraying time. 그러나, 분무 압력이 변동하면 살포 밀도도 변동한다. However, if the spray pressure fluctuations and also varies spray density. 분무 압력의 변동에 대한 살포 밀도를 안정시키기 위해서, 미립자를 분무하는 분무 압력을 측정하는 장치를 마련하여, 검지된 액량 및 분무 압력의 측정값에 근거하여 분무 시간을 결정하는 것에 의해, 더욱 편차가 적은 미립자의 밀도를 실현하는 것이 가능해진다. In order to stabilize the dispersion density of the fluctuation of the spray pressure, by by providing a device for measuring the spray pressure for spraying the particles, determining the spraying time based on the measured value of the detected amount of liquid and the spray pressure, the more deviation thus it is possible to achieve the density of the small particles. 분무 압력 측정 장치는, 예컨대 스프레이 노즐(8)과 전자 밸브(10b)의 사이(도시하지 않음)에 마련될 수 있다. Spray pressure measuring device can, for example, be provided between the spray nozzle 8 and the solenoid-operated valve (10b) (not shown).

또한, 살포액의 액량, 살포액의 중량, 살포된 미립자의 계수값, 혹은 이들의 조합에 근거하여, 분무 시간을 변화시킬 뿐만 아니라, 분무 압력을 제어하거나, 스프레이 노즐 내부의 니들 밸브의 개방도를 제어하거나, 스프레이 노즐과 기판의 거리를 제어하거나, 혹은 이들을 조합하여 제어하는 등에 의해, 분무된 미립자의 밀도를 더욱 정밀도 양호하게 소정의 목표값에 근접하도록 제어할 수 있음은 말할 필요도 없다. In addition, the volume of sprayed liquid, the spray liquid by weight, the coefficient value of the dispersion particles, or on the basis of a combination thereof, as well as to change the spray time, controlling the spray pressure or the opening of the internal spray nozzle needle valve also a control, or can that is not to say, by controlling by controlling the distance of the spray nozzle and the substrate, or combination thereof, the density of the sprayed particles preferably more precision control as close to the predetermined target value.

이상과 같이 본 발명의 액정 표시 소자의 제조 방법에 의하면, 미립자를 균일히 분산시킨 살포액을 세미 드라이 스프레이법에 의해 기판에 분무 살포할 때에, 살포액의 액량에 대응시켜 분무 시간을 제어하면서 기판에 분무 살포하여, 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도를 목표값에 근접하도록 제어함으로써, 살포 밀도의 감소를 억제하여, 셀갭의 저하를 방지하고 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자를 얻을 수 있다. According to the production process of the liquid crystal display device of the present invention as described above, the particulates when sprayed dispersion to a substrate by a spray solution was uniformly dispersed in the semi-dry spray method, to correspond to the volume of spray liquid while controlling the spray time the substrate by spraying the spray, by controlling so as to be closer to the density of the fine particles in the substrate surface to the target value, suppresses a reduction in the spray density, it can prevent the deterioration of the cell gap to obtain a liquid crystal display element the display quality satisfactory.

혹은, 기판상에 살포된 미립자의 수에 대응시켜 후속 공정의 분무 시간을 제어하면서 기판에 미립자를 분무 살포하여, 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도를 목표값에 근접하도록 제어하더라도, 상기와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다. Or, in correspondence to the number of particles sprayed onto the substrate while controlling the spraying time of the next step the spray sprayed particles to the substrate, even when controlled to be close to the density of the fine particles in the substrate surface to the target value, and the Like the effect can be obtained.

본 발명에 의하면, 공정중에서 편차가 발생하기 쉬운 각 요소를 제어할 수 있어, 살포 밀도의 편차를 억제하고, 셀갭의 편차를 방지하며, 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자를 얻을 수 있다. According to the present invention, it is possible to control the elements, easy to deviations are generated in the process to suppress the variation in the dispersion density, and to prevent a variation in the cell gap, and the display is refined to obtain a good liquid crystal display.

또한, 살포액의 액량에 대응시켜 분무 시간을 제어함으로써, 살포 밀도의 감소를 억제하여, 셀갭의 저하를 방지하고 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자가 얻어진다. Further, in association with the volume of spray liquid by controlling the spraying time, to suppress a reduction in the spray density, it is prevent the deterioration of the cell gap to obtain a liquid crystal display element the display quality satisfactory.

또한, 기판상에 살포된 미립자의 수를 직접 계수하고, 이 계수값에 근거하여 다음번의 분무 시간을 제어하기 때문에, 살포 액량의 감소에 따른 살포 밀도의 감소를 억제하여, 셀갭의 저하를 방지하고 표시 품위가 양호한 액정 표시 소자가 얻어진다. In addition, and directly counting the number of the particles sprayed on the substrate, because controlling the spraying time of the next time based on the count value, to suppress a decrease in spraying density of the reduction of the spraying liquid volume, and prevent the deterioration of the cell gap the liquid crystal display device has good display quality is obtained.

Claims (16)

  1. 스페이서로 되는 미립자를 액체에 분산시켜 용기에 수용한 살포액의 액량과 중량중 적어도 1개를 검지하는 공정과, And a step of dispersing the fine particles as a spacer for the liquid detecting at least one of the liquid volume and weight of the dispersion liquid accommodated in the container,
    검지된 상기 액량과 상기 중량중 적어도 1개에 근거하여, 분무 시간, 분무 압력, 스프레이 노즐 내부의 니들 밸브의 개방도, 또는 스프레이 노즐과 기판의 거리의 값을 결정하는 공정과, For determining the spray time, the spray pressure, the opening, or the distance values ​​of the spray nozzle and the substrate of a spray nozzle inside of the needle valve on the basis of at least one of the detecting the amount of liquid and the weight of one step,
    결정된 상기 값에 근거한 분무 시간, 분무 압력, 스프레이 노즐 내부의 니들 밸브의 개방도, 또는 스프레이 노즐과 기판의 거리를 제어하여 상기 살포액을 상기 기판에 분무 살포하는 공정으로 구성되며, Determined by controlling the opening, or the distance between the spray nozzle and the substrate of the spray time, the spray pressure, spray nozzle inside of the needle valve based on the value and configuration of the spray solution was sprayed to the spraying step for the substrate,
    상기 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도를 소정의 목표값에 근접하도록 제어하는 액정 표시 소자의 제조 방법. Method for manufacturing a liquid crystal display device for controlling to approach the density of the fine particles in the substrate surface to a predetermined target value.
  2. 스페이서로 되는 미립자를 액체에 분산시켜 용기에 수용한 살포액의 액량을 검지하는 공정과, By dispersing the fine particles as a spacer for the liquid and a step of detecting the liquid level of the dispersion liquid accommodated in the container,
    검지된 상기 액량에 근거하여 분무 시간을 결정하는 공정과, And for determining the spray time the amount of liquid on the basis of the detection process,
    결정된 상기 분무 시간만큼 상기 살포액을 상기 기판에 분무 살포하는 공정으로 구성되며, Determined by the time the spray is composed of a step of spraying a spray liquid of the spray to the substrate,
    상기 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도를 소정의 목표값에 근접하도록 제어하는 액정 표시 소자의 제조 방법. Method for manufacturing a liquid crystal display device for controlling to approach the density of the fine particles in the substrate surface to a predetermined target value.
  3. 제 2 항에 있어서, 3. The method of claim 2,
    상기 미립자를 분무하는 분무 압력을 측정하는 공정을 더 포함하며, Further comprising the step of measuring the spray pressure for spraying the fine particles,
    검지된 상기 액량 및 상기 분무 압력의 측정값에 근거하여 분무 시간을 결정하는 액정 표시 소자의 제조 방법. The detecting the liquid amount and method of manufacturing a liquid crystal display device to determine the spraying time based on the measured value of the spray pressure.
  4. 스페이서로 되는 미립자를 액체에 분산시켜 용기에 수용한 살포액을 기판에 분무 살포하는 공정과, A step of dispersing the fine particles as a spacer for the liquid spray spraying a spraying liquid contained in the container to the substrate;
    상기 살포액의 액량을 검지하는 공정과, A step of detecting the liquid level of the dispersion liquid,
    검지된 상기 액량에 대응시켜 분무 시간을 제어하면서 분무 살포하여, 상기 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도를 소정의 목표값에 근접하도록 제어하는 공정으로 구성되는 And in association with the detected amount of liquid spray atomization while controlling the spray time, consisting of the density of the fine particles in the substrate surface as a step of controlling so as to be closer to the predetermined target value,
    액정 표시 소자의 제조 방법. Method for manufacturing a liquid crystal display device.
  5. 제 4 항에 있어서, 5. The method of claim 4,
    상기 살포액의 액량의 검지는, 상기 용기에 수용된 살포액의 액면의 높이를 검지하는 것에 의해 실행되는 액정 표시 소자의 제조 방법. Detecting the liquid level of the dispersion liquid, the method for manufacturing a liquid crystal display element executed by detecting the height of the liquid level of the dispersion liquid accommodated in the container.
  6. 제 4 항에 있어서, 5. The method of claim 4,
    상기 살포액의 검지되는 액면의 높이는 복수이고, 상기 액면의 높이가 복수의 소정의 액면 높이중 어느 범위에 있는지에 따라 각각 분무 시간을 결정하는 액정 표시 소자의 제조 방법. A plurality of the liquid level height is detected in the dispersion liquid The method of producing a liquid crystal display element, the height of the liquid surface each determine the spray time, depending on whether the extent of a plurality of predetermined height of the liquid level.
  7. 스페이서로 되는 미립자를 액체에 분산시킨 살포액이 살포된 기판상의 상기 미립자의 수를 계수하는 공정과, A step of counting the number of the fine particles on the which the sprayed liquid fine particles to be dispersed as a spacer for the liquid sprayed substrate,
    계수된 상기 미립자의 계수값에 근거하여 분무 시간을 결정하는 공정과, A step of determining the spraying time based on the coefficient values ​​of the coefficient of the fine particles,
    결정된 상기 분무 시간만큼 상기 살포액을 상기 기판에 분무 살포하는 공정으로 구성되며, Determined by the time the spray is composed of a step of spraying a spray liquid of the spray to the substrate,
    상기 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도를 소정의 목표값에 근접하도록 제어하는 액정 표시 소자의 제조 방법. Method for manufacturing a liquid crystal display device for controlling to approach the density of the fine particles in the substrate surface to a predetermined target value.
  8. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7,
    상기 분무 시간은 상기 미립자의 계수값에 근거하여, 상기 미립자의 계수값과 상기 분무 시간의 관계를 맺는 대응표 또는 계산식을 이용하고 결정되는 액정 표시 소자의 제조 방법. The spray time is method of producing a liquid crystal display device that is based on the coefficients of the fine particles, used to determine a count value and a correspondence table or calculation, to relate the time of spraying the fine particles.
  9. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7,
    상기 미립자를 분무하는 분무 압력을 측정하는 공정을 더 구비하며, Further comprising the step of measuring the spray pressure for spraying the fine particles,
    상기 미립자의 계수값 및 상기 분무 압력의 측정값에 근거하여 분무 시간을 결정하는 액정 표시 소자의 제조 방법. Method for manufacturing a liquid crystal display device to determine the spraying time based on the measured value of the coefficient value and the spray pressure of the particle.
  10. 스페이서로 되는 미립자를 액체에 분산시킨 살포액을 기판에 분무 살포하는 공정과, A step of spraying a spray liquid sprayed by dispersing the fine particles as a spacer for a liquid to the substrate and,
    상기 기판상에 살포된 상기 미립자의 수를 계수하는 공정과, A step of counting the number of said fine particles sprayed on the substrate and,
    그 계수값에 대응시켜 후속 공정에서 처리하는 기판으로의 살포액의 분무 시간을 제어하여, 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도를 소정의 목표값에 근접하도록 제어하는 공정으로 구성되는 In correspondence with the coefficient value by controlling the spraying time of the sprayed solution to the substrate for processing in a subsequent step, constituting the density of the fine particles in the substrate surface as a step of controlling so as to be closer to the predetermined target value,
    액정 표시 소자의 제조 방법. Method for manufacturing a liquid crystal display device.
  11. 살포액을 수용하는 용기와, And a vessel containing a liquid spray,
    상기 용기에 수용한 살포액을 기판에 살포하는 분무 기능을 갖는 살포 장치와, And a spray device having a spray function to spray a spray liquid accommodated in the container to the substrate,
    상기 살포액의 액량을 검지하는 액량 검지 수단과, And a liquid amount detection means for detecting the liquid amount of the liquid spray,
    상기 액량 검지 수단이 검지한 액량에 대응시켜 상기 기판면에 있어서의 미립자의 밀도를 소정의 목표값에 근접하도록 분무 시간을 제어하는 분무 시간 제어 수단을 마련한 In correspondence with the liquid level above liquid level detecting means are provided detecting a spray time control means for controlling the spraying time so as to be closer to the density of the fine particles in the surface of the substrate to a predetermined target value,
    액정 표시 소자의 제조 장치. Apparatus for manufacturing a liquid crystal display device.
  12. 제 11 항에 있어서, 12. The method of claim 11,
    상기 액량 검지 수단을, 상기 살포액의 액면 위치를 검지하는 액면 검지 수단으로 구성한 액정 표시 소자의 제조 장치. Apparatus for manufacturing a liquid crystal display element composed of a liquid surface detecting means for detecting a surface position of the spray liquid to the liquid level detecting means.
  13. 제 11 항에 있어서, 12. The method of claim 11,
    상기 미립자를 분무하는 분무 압력을 측정하는 장치를 더 포함한 액정 표시 소자의 제조 장치. Apparatus for manufacturing a liquid crystal display device including a device for measuring the spray pressure for spraying the fine particles further.
  14. 살포액을 수용하는 용기와, And a vessel containing a liquid spray,
    상기 용기에 수용한 살포액을 기판에 살포하는 분무 기능을 갖는 살포 장치와, And a spray device having a spray function to spray a spray liquid accommodated in the container to the substrate,
    상기 기판상에 살포된 미립자의 수를 계측하는 수단과, And it means for measuring the number of particles sprayed onto the substrate,
    계측된 상기 미립자의 수에 대응시켜 상기 기판면에 있어서의 상기 미립자의 밀도가 소정의 목표값에 근접하도록 분무 시간을 제어하는 분무 시간 제어 수단을 마련한 In correspondence to the number of measurement of the fine particles prepared by a spray-time control means for controlling the density of the fine particles of the spray time so as to be closer to the predetermined target value of the surface of the substrate
    액정 표시 소자의 제조 장치. Apparatus for manufacturing a liquid crystal display device.
  15. 제 12 항에 있어서, 13. The method of claim 12,
    상기 미립자를 분무하는 분무 압력을 측정하는 장치를 더 포함한 액정 표시 소자의 제조 장치. Apparatus for manufacturing a liquid crystal display device including a device for measuring the spray pressure for spraying the fine particles further.
  16. 청구항 1, 4, 또는 10의 어느 한 항에 기재된 액정 표시 소자의 제조 방법에 의해 제조된 액정 표시 소자. The liquid crystal display device manufactured by the manufacturing method of the liquid crystal display element according to any one of claims 1, 4, or 10.
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