KR20000018721U

KR20000018721U - 인덱스 ｓｍｉｆ를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치

Info

Publication number: KR20000018721U
Application number: KR2019990004883U
Authority: KR
Inventors: 신현수
Original assignee: 황인길; 아남반도체 주식회사
Priority date: 1999-03-26
Filing date: 1999-03-26
Publication date: 2000-10-25
Also published as: KR200372551Y1

Abstract

본 고안은 인덱스 SMIF를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치를 개시한다.

즉, 본 고안은 다수개의 인덱스 SMIF를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치에 있어서, 인덱스 SMIF를 좌우로 이동시키는 레일과; 레일의 동작에 따라 좌우로 이동되는 인덱스 SMIF에 탑재되는 파드를 소정 처리 장치내로 이송하는 웨이퍼 이송 로봇을 구비한다. 따라서, 본 고안은 인덱스 SMIF를 사용하여, 장비와 SMIF간의 이송시 발생하는 잦은 고장과 정렬 상태 불일치로 인한 에러를 사전에 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

인덱스 ＳＭＩＦ를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치{INDEXER TYPE STANDARD MECHANICAL INTERFACE}

본 고안은 웨이퍼 카세트 이송 장치에 관한 것으로, 특히, 인덱스 SMIF(index Standard Mechanical InterFace)를 이용하는 웨이퍼 카세트 이송 장치에 관한 것이다.

다수의 반도체 제조 공정, 예컨대, 증착 공정(deposition process), 어닐링 공정(annealing process), 산화 공정(oxidation process), 확산 공정(diffusion process)은 퍼니스(furnace)에서 수행되는데, 이러한 퍼니스에서는 보트(boat)내에 다수개의 웨이퍼가 탑재되어 다수개의 웨이퍼에 대해서 동시에 공정이 진행된다.

이러한 공정을 수행하기 위해서 다수개의 웨이퍼를 탑재한 보트를 퍼니스에 이송하는 과정은 통상적으로 자동화되어 있는 웨이퍼 카세트 이송 장치, 즉, SMIF에 의해서 이루어진다. 특히, 대부분의 이온 주입 장비에서는 부착형(attached) SMIF를 사용하는데, 이러한 대부분의 장비의 엔드 스테이션(end station)에서는 도 1에 도시한 바와 같이, 1개의 부착형 SMIF(100)와, 레일(104)위에서 좌우로 이동하는 소정 개수, 예컨대, 4개의 테이블(106)을 사용하여 웨이퍼 핸들링 시스템(wafer handling system)을 구성하고 있다. 즉, 종래의 웨이퍼 카세트 이송 장치는 내부에 아암(arm;도시생략)이 장착된 SMIF(100)를 이용함으로써, 사람이 파드(pod)(102)를 SMIF(100)에 위치시키면 SMIF(100)가 아암을 이용하여 이러한 파드(102)를 각 테이블(106)로 이송시키는 것이다. 또한, 각 테이블(106)로 이송된 파드(102)는 웨이퍼 이송 로봇(108)의 동작에 의해 별도의 공정 장치내로 이송된다. 즉, 레일(104)의 동작에 따라 각 테이블(테이블 1, 2, 3, 4)(106)이 좌우로 이동되면서 웨이퍼 이송 로봇(108)에 위치하는 테이블(106)위의 해당 파드(102)가 웨이퍼 이송 로봇(108)의 동작에 의해 소정 공정 장치내로 이송되는 것이다.

그런데, 이러한 부착형 SMIF를 사용하는 종래의 웨이퍼 카세트 이송 장치에서는 몇가지 문제점이 대두된다. 즉, 부착형 SMIF를 사용하면 장비와 SMIF간의 이송에 잦은 고장이 발생하고 정렬 상태가 틀어져 자주 에러가 발생하게 된다. 즉, 호스트, 장비, SMIF간의 3개체 온라인 이송 방식으로 인해 이송 에러 발생이 증가하게 된 것이다.

따라서, 본 고안은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 인덱스 SMIF를 이용하여 SMIF내의 아암을 삭제함으로써 장비와 SMIF간의 에러를 방지하도록 한 인덱스 SMIF를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

즉, 본 고안은 다수개의 인덱스 SMIF를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치에 있어서, 인덱스 SMIF를 좌우로 이동시키는 레일과; 레일의 동작에 따라 좌우로 이동되는 인덱스 SMIF에 탑재되는 파드를 소정 처리 장치내로 이송하는 웨이퍼 이송 로봇을 구비하는 것을 특징으로 하는 인덱스 SMIF를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치를 제공한다.

도 1은 종래의 부착형 SMIF를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치의 구성도,

도 2는 본 고안에 따른 인덱스 SMIF를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치의 구성도.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

100 : 부착형 SMIF 102 : 파드

104 : 레일 106 : 테이블

108 : 웨이퍼 이송 로봇 110 : 인덱스 SMIF

본 고안의 상기 및 기타 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 하기에 기술되는 본 고안의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 고안에 따른 인덱스 SMIF를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치의 개략적인 구성도로서, 레일(104), 웨이퍼 이송 로봇(108) 및 다수개의 인덱스 SMIF(110)를 포함한다.

도시한 바와 같이, 레일(104)은 공정 순서에 따라 좌우로 이동이 가능하므로, 레일(104)위에 장착된 소정 개수, 예컨대, 4개의 인덱스 SMIF(110)를 좌우로 이동시킬 수 있다.

본 실시예에 따른 인덱스 SMIF(110)는 상술한 레일(104)위에 형성되어 있으며, 수작업에 의해 소정 파드가 탑재된다.

웨이퍼 이송 로봇(108)은 레일(104)의 동작에 따라 좌우로 이동되는 인덱스 SMIF(110)에 탑재되는 파드를 소정 처리 장치내로 이송시킨다. 즉, 레일(104)의 동작에 따라 파드가 실린 4개의 인덱스 SMIF(110)가 좌우로 이동하므로, 웨이퍼 이송 로봇(108)에 위치하는 해당 인덱스 SMIF(110)내의 소정 파드가 처리 장치내로 이송되는 것이다.

즉, 본 고안에 따른 웨이퍼 카세트 이송 장치는 사람이 파드를 인덱스 SMIF(110)에 위치시키기만 하면 인덱스 SMIF(110)의 추가적인 공정, 즉, 아암을 사용하여 파드를 테이블로 이송하는 공정과정 없이 파드를 처리 장치내로 이송시킬 수 있도록 구성하였다.

따라서, 본 고안은 파드를 이송시키기 위한 테이블과, SMIF내의 아암이 필요치 않으므로, 호스트, 장비간의 2 개체 온라인 이송 방식으로도 구성이 가능할 것이다.

이상과 같이, 본 고안은 인덱스 SMIF를 사용하여, 장비와 SMIF간의 이송시 발생하는 잦은 고장과 정렬 상태 불일치로 인한 에러를 사전에 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims

다수개의 인덱스 SMIF를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치에 있어서,

상기 인덱스 SMIF를 좌우로 이동시키는 레일;

상기 레일의 동작에 따라 좌우로 이동되는 상기 인덱스 SMIF에 탑재되는 파드를 소정 처리 장치내로 이송하는 웨이퍼 이송 로봇을 구비하는 것을 특징으로 하는 인덱스 SMIF를 이용한 웨이퍼 카세트 이송 장치.