KR19990073203A - 초음파세척기용진동자구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 내구성과 출력이 향상된 새로운 구조의 초음파세척기용 진동자구조에 관한 것이다.

본 발명에 따르면, 초음파세척기의 세척액(12)이 담기는 세척조(10)에 투입되도록 구성되며, 진동판(22)과, 상기 진동판(22)의 일측면에 부착되며 전원이 인가되어 진동하도록 된 다수의 진동소자(24)와, 상기 진동소자(24)를 세척액(12)과 차단하도록 상기 진동판(22)에 수밀하게 부착되는 진동자케이스(26)를 포함하는 초음파세척기용 진동자(20)에 있어서, 상기 진동판(22)은 페놀수지, 에폭시글래스 또는 폴리이미드수지의 적층성형판으로 제작된 것을 특징으로 하는 초음파세척기용 진동자구조가 제공된다.

Description

초음파세척기용 진동자구조 {A vibrator of ultrasonic washing machine}

본 발명은 초음파세척기용 진동자구조에 관한 것으로서, 좀 더 상세히는 내구성과 출력이 향상된 새로운 구조의 초음파세척기용 진동자구조에 관한 것이다.

초음파세척기는 크린룸에서 웨이퍼를 세척하는 경우와 같이, 반도체부품이나 기타 정밀부품에 부착된 미크론단위의 미세한 불순물을 세척하기 위해 주로 사용되는 것으로서, 세척액이 담긴 세척조에 초음파진동자를 투입하여, 이 초음파진동자의 진동판을 통해 세척액 속으로 전달된 초음파가 피세척물에 닿아서 피세척물의 표면에 부착된 이물질이나 기타 불순물을 제거하게 된다.

도 1은 이러한 종래의 초음파세척기의 구조를 예시적으로 보여주는 것으로서, 도시된 바와같이, 세척조(10) 내에 세척액(12)이 담기고, 이 세척액(12) 속에는 다수의 진동소자(24)가 저면에 밀착되도록 부착된 진동판(22)과, 이 진동판(22)과 함께 진동소자(24)를 수밀하게 둘러싸는 진동자케이스(26)로 이루어진 진동자(20)가 투입된다. 진동자(20)에는 코드(27)을 통해 초음파발진기(30)가 접속되어 이 초음파발진기(30)의 발진에 따라 진동소자(24)가 진동하면, 진동판(22)이 떨리면서 초음파가 발생되어 세척액(12)을 통해 피세척물(14)에 전달되어 이 피세척물(14)에 부착된 미세한 불순물을 탈락시키게 된다.

그런데, 종래의 이러한 초음파세척기는 피세척물(14)에 부착된 녹이나 기타 이물질에 대한 세척효과를 높이기 위해 세척액(12)을 산성으로 하거나 기타 약품을 혼합하게 되는데, 이러한 산성 또는 약품이 혼합된 세척액은 스텐레스나 기타 금속재로 만든 진동판(22) 또는 진동자케이스(26)를 부식시키게 된다. 이러한 부식이 어느 정도 진행되면 진동판(22)이 불균일하게 부식되어 진동판의 두께나 표면상태로 불균일하게 되어, 발생되는 초음파가 정밀하게 튜닝되지 못하거나 바람직스럽지 않은 파의 간섭현상으로 인해 소망하는 출력을 나타내지 못하는 등의 문제점이 발생되게 된다. 아울러, 이러한 부식으로 인해 쉽게 진동판(22)에 구멍이 뚫리거나 손상되어 진동자(10)의 내구성이 낮아지는 문제점도 있었다.

본 발명은 전술한 바와같은 종래의 초음파세척기의 진동자의 문제점에 착안하여 제안된 것으로서, 진동자의 내구성이나 출력 그리고, 품질을 개선할 수 있는 새로운 구조의 초음파세척기의 진동자를 제공하고자 하는 것이다.

도 1은 종래의 초음파세척기용 진동자의 구성도

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 진동자의 구성도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10. 세척조 12. 세척액

20. 진동자 22. 진동판

24. 진동소자 26. 진동자케이스

본 발명에 따르면, 초음파세척기의 세척액(12)이 담기는 세척조(10)에 투입되도록 구성되며, 진동판(22)과, 상기 진동판(22)의 일측면에 부착되며 전원이 인가되어 진동하도록 된 다수의 진동소자(24)와, 상기 진동소자(24)를 세척액(12)과 차단하도록 상기 진동판(22)에 수밀하게 부착되는 진동자케이스(26)를 포함하는 초음파세척기용 진동자(20)에 있어서, 상기 진동판(22)은 페놀수지, 에폭시글래스 또는 폴리이미드수지의 적층성형판으로 제작된 것을 특징으로 하는 초음파세척기용 진동자구조가 제공된다.

이하에서 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 도 2는 본 발명에 따른 초음파세척기를 보여주는 것으로서, 도시된 바와같이, 세척조(10) 내에 투입되는 진동자(20)의 진동판(24)이 페놀수지, 에폭시글래스 또는 폴리이미드수지의 적층성형판으로 제작된다. 이들 내열성수지의 적층성형판은 높은 경도와 강성, 치수안정성 및 낮은 열변형성을 가지며, 내약품성을 지녀서 초음파세척기의 세척액 속에 장시간 두어도 부식되거나 열화되지 않으며, 초음파진동에 대하여 진동특성이 변하지 않는 우수한 특성을 지닌다. 에폭시수지나 풀리이미드수지 적층판으로는 유리섬유강화플라스틱이 대표적이고, 페놀수지 적층판으로는 종이기재의 적층판이 대표적으로 사용될 수 있다.

상기한 수지의 적층판을 사용한 진동판(24)은 산성을 띠는 세척액 속에서도 표면의 부식이나 열화가 되지 않으므로, 진동전달특성이 균일하게 유지되므로, 정밀한 튜닝과 주파수제어가 가능하게 되고, 진동판 자체 속으로 전달되는 횡파의 간섭으로 인한 출력의 저하를 방지할 수 있다. 따라서, 세척액속에서 쉽게 부식되어 진동특성이 저하되는 종래의 스텐레스제 진동판에 비해서 내구성과 품질이 향상된 새로운 초음파진동자를 제공할 수 있다.

본 발명에서 기대하는 목적을 달성하기 위해서는 초음파진동자의 진동판(24)을 상기한 합성수지의 적층성형판으로 제작하면 되지만, 제작의 편의를 고려하여, 진동판(24)과 진동자케이스(26)를 모두 상기한 수지들의 적층판으로 제작해도 좋다.

이상에서 설명한 본 발명에 따르면, 초음파세척기 진동자의 진동판을 내산성과 내열성 또는 충분한 경도와 강성을 나타내는 페놀수지, 에폭시글래스 또는 폴리이미드수지의 적층성형판으로 제작함으로써, 종래의 스테인레스제 진동판에 비해 내구성과 진동특성 및 출력이 개선된 새로운 초음파진동자를 제공할 수 있게 된다.

Claims (1)

1. 초음파세척기의 세척액(12)이 담기는 세척조(10)에 투입되도록 구성되며, 진동판(22)과, 상기 진동판(22)의 일측면에 부착되며 전원이 인가되어 진동하도록 된 다수의 진동소자(24)와, 상기 진동소자(24)를 세척액(12)과 차단하도록 상기 진동판(22)에 수밀하게 부착되는 진동자케이스(26)를 포함하는 초음파세척기용 진동자(20)에 있어서, 상기 진동판(22)은 페놀수지, 에폭시글래스 또는 폴리이미드수지의 적층성형판으로 제작된 것을 특징으로 하는 초음파세척기용 진동자구조.