KR19990061140A - Pad Placement Method of Semiconductor Chip for Multichip Test - Google Patents

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KR19990061140A
KR19990061140A KR1019970081394A KR19970081394A KR19990061140A KR 19990061140 A KR19990061140 A KR 19990061140A KR 1019970081394 A KR1019970081394 A KR 1019970081394A KR 19970081394 A KR19970081394 A KR 19970081394A KR 19990061140 A KR19990061140 A KR 19990061140A
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KR1019970081394A
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도재익
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김영환
현대전자산업 주식회사
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Abstract

본 발명은 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법에 관한 것이다. 본 발명의 패드 배치 방법은 웨이퍼 테스트용 패드와 본딩용 패드를 일부 분리하여 배치함으로써 웨이퍼 테스트시에 멀티칩 테스트가 가능하도록한다. 이를 위하여, 반도체 칩의 장변 및 단변에 복수개의 패드를 분리 배치하고, 단변에 배치되는 다수개의 패드는 상기 장변에 배치된 패드와 중복하여 배치한다.The present invention relates to a method of arranging pads of a semiconductor chip for a multichip test. The pad arrangement method of the present invention allows the chip test pad and the bonding pad to be separated from each other, thereby enabling multi-chip testing during wafer testing. To this end, a plurality of pads are separately disposed on the long side and the short side of the semiconductor chip, and the plurality of pads disposed on the short side overlap with the pads disposed on the long side.

Description

멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법Pad Placement Method of Semiconductor Chip for Multichip Test

본 발명은 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 테스트용 패드와 본딩용 패드를 일부 분리하여 배치함으로써 웨이퍼 테스트시에 멀티칩 테스트가 가능하도록한 반도체 칩의 패드 배치 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for arranging pads of a semiconductor chip for a multi-chip test. In particular, the method for arranging pads of a semiconductor chip enables multi-chip testing at the time of wafer testing by separately separating wafer pads and bonding pads. It is about.

종래의 경우에는 반도체 소자를 형성하는 칩 사이즈가 충분하였기 때문에 패드를 칩의 장변 (또는 단변) 에만 배열하여도 멀티칩 테스트가 가능하였다. 그러나, 기술의 발달로 인하여 칩 사이즈가 줄어들면서 칩을 패키지하기 위한 리드 프레임의 폭 및 간격도 짧아지게 되었다. 이로 인하여, 칩의 장변 (또는 단변) 에만 패드를 배치하여서는 리드 프레임 설계가 매우 어렵게 되었다.In the conventional case, since the chip size for forming the semiconductor element was sufficient, multi-chip testing was possible even if the pads were arranged only on the long side (or short side) of the chip. However, due to the development of technology, the chip size is reduced, so that the width and spacing of the lead frame for packaging the chip are also shortened. For this reason, the lead frame design becomes very difficult by arranging the pad only on the long side (or short side) of the chip.

이러한 단점을 해결하기 위하여 종래에는 패드 배열을 칩의 장변 및 단변을 모두 이용하여 리드 프레임을 분산하여 배치하였다. 그러나, 이러한 종래의 경우에 있어서, 웨이퍼상에서 칩을 테스트하기 위해 필요한 프로우브 카드 제작시 프로우브 팁 배열상의 어려움으로 인하여 멀티칩용으로의 제작이 어려웠다.In order to solve this disadvantage, conventionally, a pad array is arranged by dispersing lead frames using both long and short sides of a chip. However, in this conventional case, manufacturing for multichip has been difficult due to the difficulty in arranging probe tips in producing a probe card required for testing chips on a wafer.

이하, 도면을 참조하여 이러한 종래의 문제점을 설명하겠다.Hereinafter, this conventional problem will be described with reference to the drawings.

도 1 은 종래의 패드 배치에 의한 프로우브 팁의 구성도이다.1 is a block diagram of a probe tip according to a conventional pad arrangement.

도시된 바와 같이, 프로우브 팁이 상하로 배치되어 있다. 따라서, 멀티칩 테스트는 가로방향으로만 멀티 테스트가 가능하다. 그 이유를 도 2 를 참조하여 설명하겠다.As shown, the probe tips are arranged up and down. Therefore, the multi-chip test can be multi-tested only in the horizontal direction. The reason will be explained with reference to FIG.

도 2 는 종래의 패드 배치를 갖는 복수개의 칩에 대한 멀티 테스트를 위한 프로우브 팁의 구성도이다.2 is a block diagram of a probe tip for multi-testing on a plurality of chips having a conventional pad arrangement.

도시된 바와같이, 가로 및 세로 방향으로 배치하여 테스트하는 경우에, 예를 들어, A 칩의 프로우브 팁 (1) 과 E 칩의 프로우브 팁 (2) 이 단락되어 정상적인 테스트를 수행하기가 어렵다. 이러한 경우, 가로 방향으로의 개수만 증가시키면 더 많은 멀티칩 테스트가 가능하지만 이 경우 신호 라인의 길이가 길어져서 잡음이 과다하게 발생되고 이 때문에 가로 방향의 개수는 그 수가 한정될 수 밖에 없다.As shown, in the case of the test arranged in the horizontal and vertical directions, for example, the probe tip (1) of the A chip and the probe tip (2) of the E chip are shorted, so that it is difficult to perform a normal test. . In this case, increasing the number in the horizontal direction allows more multi-chip tests, but in this case, the length of the signal line becomes longer, resulting in excessive noise, and therefore the number in the horizontal direction is inevitably limited.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 웨이퍼 테스트용 패드와 본딩용 패드를 일부 분리하여 형성하고, 웨이퍼 테스트용 패드는 칩의 대칭되는 두변에만 배치하며, 본딩용 패드는 칩의 장변과 단변에 분산 배치하는 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention is to solve the above problems, the wafer test pad and the bonding pad is formed by separating a part, the wafer test pad is disposed only on two symmetrical sides of the chip, the bonding pad is a long side and a short side of the chip The object of this invention is to provide the method of disperse | distributing and arrange | positioning to the.

도 1 은 종래의 패드 배치를 갖는 칩에 대한 프로우브 팁의 구성도.1 is a block diagram of a probe tip for a chip having a conventional pad arrangement.

도 2 는 종래의 패드 배치를 갖는 복수개의 칩에 대한 멀티 테스트를 위한 프로우브 팁의 구성도.2 is a block diagram of a probe tip for multi-testing on a plurality of chips having a conventional pad arrangement.

도 3 은 본 발명에 의한 패드 배치를 칩에 대한 프로우브 팁의 구성도.3 is a schematic view of a probe tip for a chip arrangement of the pad according to the present invention;

도 4 는 본 발명에 의한 패드 배치를 갖는 복수개의 칩에 대한 멀티 테스트를 위한 프로우브 팁의 구성도.4 is a block diagram of a probe tip for multi-testing on a plurality of chips having a pad arrangement according to the present invention.

도 5 는 본 발명에 의한 패드 배치를 이용하여 실제 본딩을 구현한 칩의 평면도.5 is a plan view of a chip implementing the actual bonding using the pad arrangement according to the present invention.

도 6 은 본 발명에 의한 패드 배치시 본딩용 패드와 테스트용 패드의 연결 관계를 나타내는 회로도.Figure 6 is a circuit diagram showing the connection between the bonding pad and the test pad when the pad arrangement according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1, 2 : 프로우브 팁1, 2: Probe Tips

3 : 웨이퍼 테스트용 패드3: wafer test pad

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 웨이퍼 테스트를 위한 멀티 테스트용 패드와 본딩 결합을 위한 본딩용 패드를 구분하여 배치한 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법은 상기 반도체 칩의 장변 및 단변에 복수개의 패드를 분리 배치하고, 상기 반도체 칩의 단변에는 상기 장변에 배치된 패드중의 일부 패드와 중복되는 상기 본딩용 패드를 배치하는 것을 특징으로하는 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법을 제공한다.In order to achieve the above object of the present invention, a method for arranging a pad of a semiconductor chip for a multichip test in which a pad for multi-test for testing a wafer and a pad for bonding for bonding according to the present invention are divided and arranged. A plurality of pads are separately disposed on the long side and the short side of the chip, and the bonding pads overlapping some of the pads disposed on the long side are disposed on the short side of the semiconductor chip. Provided is a method of arranging pads of chips.

상기 장변과 단변에 중복되어 배치된 패드는 웨이퍼상에서의 멀티 테스트용으로 사용된다. 또한, 상기 단변에 배치된 패드는 본딩용 패드로만 사용된다.The pads overlapped with the long side and the short side are used for multi-test on the wafer. In addition, the pad disposed on the short side is used only as a bonding pad.

상기 장변과 단변에 중복되어 배치된 다수개의 패드중에서 상기 장변에 배치된 패드는 웨이퍼상에서의 멀티 테스트용으로만 사용된다.Of the plurality of pads overlapped with the long side and the short side, the pad disposed on the long side is used only for multi-test on the wafer.

이하에 본 발명에 따른 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a method of arranging pads of a semiconductor chip for a multichip test according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3 은 본 발명에 의한 패드 배치를 칩에 대한 프로우브 팁의 구성도이다.3 is a schematic diagram of a probe tip for a chip according to the present invention.

도시된 바와같이, 칩의 단변에 위치한 좌.상의 3 개 패드는 칩의 장변 위쪽에, 좌.하의 3 개 패드는 장변의 아래쪽에, 우.상의 3 개 패드는 장변의 위쪽에, 위.하의 3 개 패드는 장변의 아래쪽에 배치시킴으로써, 웨이퍼 테스트시에는 장변의 패드만을 사용하고 패키지 본딩시에는 웨이퍼 테스트시에 사용한 복수개의 패드 (3) 를 제외한 나머지 모든 패드를 본딩 패드로 사용한다. 즉, 상기 단변과 장변에 중복되어 배치된 동일 기능의 패드중에서 단변의 패드는 단지 본딩 패드로만 이용된다.As shown, the three pads on the left and right sides of the chip are located above the long side of the chip, the three pads on the left and bottom are below the long side, and the three pads on the top and top and bottom of the top and bottom sides. Since the three pads are arranged under the long side, only the pad on the long side is used for the wafer test, and all the pads are used as the bonding pads except for the plurality of pads 3 used for the wafer test during the package bonding. In other words, among pads of the same function that are overlapped on the short and long sides, the pad on the short side is used only as a bonding pad.

상기 단변의 상변 좌우에 각각 배치된 3 개의 패드와, 단변의 하부 좌우에 각각 배치된 3 개의 패드는 단지 예시적인 경우이다. 따라서, 필요한 경우에는 그 할당되는 패드의 수를 임의로 조절 할 수 있다. 또한, 도 3 의 반도체 칩은 메모리 소자로 가정하여 예시하였지만, 메모리 소자 이외의 모든 집적 회로에의 적용이 가능하다.The three pads respectively disposed on the left and right upper sides of the short sides and the three pads respectively disposed on the lower left and right sides of the short sides are merely exemplary cases. Thus, if necessary, the number of pads to be allocated can be arbitrarily adjusted. In addition, although the semiconductor chip of FIG. 3 is assumed and assumed as a memory element, it can be applied to all integrated circuits other than the memory element.

도 3 의 반도체 칩에 대한 멀티칩 테스트 방법을 도 4 를 참조하여 설명하겠다.A multichip test method for the semiconductor chip of FIG. 3 will be described with reference to FIG. 4.

도 4 는 본 발명에 의한 패드 배치를 갖는 복수개의 칩에 대한 멀티 테스트를 위한 프로우브 팁의 구성도이다.4 is a block diagram of a probe tip for multi-testing a plurality of chips having a pad arrangement according to the present invention.

도시된 바와같이, 종래의 경우와는 달리, 프로우브 카드를 사용하여 도 3 의 칩의 다수개를 테스트하는 경우에, 프로우브 팁 라인간의 단락 문제가 해결될 뿐만 아니라, 가로 및 세로 방향의 멀티 테스트가 가능하게 된다.As shown, unlike the conventional case, when testing a large number of chips of FIG. 3 using a probe card, the shorting problem between the probe tip lines is not only solved, but also the multi in the horizontal and vertical directions. Test is possible.

도 5 는 본 발명에 의한 패드 배치를 이용하여 실제 본딩을 구현한 칩의 평면도이다.5 is a plan view of a chip in which actual bonding is implemented using a pad arrangement according to the present invention.

도시된 바와같이, 패키지 본딩 시에는 도 4 에서 사용하지 않았던 단변의 패드를 사용하고 있다. 이 때문에, 패키지시의 리드 프레임의 선폭 및 선 간격에 대한 충분한 마아진을 가질 수 있다. 또한, 웨이퍼 테스트시 사용되었던 장변의 패드 중에서 단변의 패드와 기능이 중복되는 패드는 본딩 패드로 사용되지 않고 있다.As shown in FIG. 4, a pad of a short side that is not used in FIG. 4 is used during package bonding. For this reason, it is possible to have sufficient margin for the line width and line spacing of the lead frame at the time of packaging. In addition, pads having a function overlapping with the pads on the long side among the pads on the long side used in the wafer test are not used as the bonding pads.

이렇게 장변과 단변에 중복된 패드의 실질적 연결관계를 도 6 을 참조하여 기술하겠다.The actual connection between the pads overlapping the long side and the short side will be described with reference to FIG. 6.

도 6 은 본 발명에 의한 패드 배치시 본딩용 패드와 테스트용 패드의 연결 관계를 나타내는 회로도이다.6 is a circuit diagram illustrating a connection relationship between a bonding pad and a test pad when the pad is disposed according to the present invention.

도시된 바와같이, 테스트용 패드는 휴즈를 통하여 반도체 칩의 내부 회로와 연결되어 있고, 본딩용 패드는 반도체 칩의 내부 회로와 직접 연결되어 있다. 이 휴즈는 멀티칩 테스트가 완료된 후 웨이퍼 리페어 장비에 의하여 절단되게 된다. 따라서, 패키지 내에서는 입력 커패시턴스는 종래의 경우와 차이가 없다. 즉, 외부 입력신호에 대한 전체적인 부하는 종래의 경우와 전혀 차이가 없다.As shown, the test pad is connected to the internal circuit of the semiconductor chip through a fuse, and the bonding pad is directly connected to the internal circuit of the semiconductor chip. The fuse is cut by the wafer repair equipment after the multichip test is completed. Therefore, in the package, the input capacitance is not different from the conventional case. That is, the overall load on the external input signal is no different from the conventional case.

이상에서 설명한 본 발명 방법에 의하면, 웨이퍼 테스트용 패드가 장변에 다수개 배치되어야 함으로 전체 패드의 개수가 증가하게 된다. 그러나, 웨이퍼 테스트용 패드는 단지 테스트만을 위한 것이므로, 예를들어, 반도체 칩의 내부 회로를 보호하기 위한 입력 보호 회로 등을 이 테스트용 패드와 연결시켜 구현할 이유가 없기 때문에 본딩용 패드 정도의 넓은 레이아웃 면적을 필요로 하지 않는다. 또한, 복수개의 연결로 인한 입력 커패시턴스의 증가가 추가로 예상되나 웨이퍼 테스트가 완료되면 레이저 리페어 장비로 도 6 의 휴즈를 절단하기 때문에 실제 패키지 내에서는 입력 커패시턴스의 증가없이 사용할 수 있다. 즉, 전체적인 부하 또는 패드 차지 면적은 사실상 종래의 경우와 전혀 차이가 없다.According to the method of the present invention described above, since the plurality of wafer test pads are arranged on the long side, the total number of pads increases. However, since the wafer test pad is only for testing, there is no reason to implement, for example, an input protection circuit for protecting the internal circuit of the semiconductor chip in connection with the test pad. It does not require area. In addition, an increase in input capacitance due to a plurality of connections is expected, but since the fuse of FIG. 6 is cut by the laser repair equipment when the wafer test is completed, it can be used without increasing the input capacitance in the actual package. That is, the overall load or pad charge area is virtually no difference from the conventional case.

상기한 본 발명은 본딩 패드와 테스트용 패드를 일부 중복 분리함으로써, 웨이퍼상에서의 멀티 테스트가 가능하도록하여 웨이퍼를 테스트 비용을 크게 줄일 수 있으며 전체 생산 원가도 낮출 수 있다.According to the present invention, by partially separating the bonding pads and the test pads, multi-testing can be performed on the wafer, thereby significantly reducing the test cost of the wafer and lowering the overall production cost.

Claims (6)

웨이퍼 테스트를 위한 멀티 테스트용 패드와 본딩 결합을 위한 본딩용 패드를 구분하여 배치한 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법에 있어서,In the pad arrangement method of a semiconductor chip for a multi-chip test in which the test pad for the wafer test and the bonding pad for bonding bonding are arranged separately, 상기 반도체 칩의 장변 및 단변에 복수개의 패드를 분리 배치하고,A plurality of pads are separately arranged on the long side and short side of the semiconductor chip, 상기 반도체 칩의 단변에는 상기 장변에 배치된 패드중의 일부 패드와 중복되는 상기 본딩용 패드를 배치하는 것을 특징으로하는 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법.And a bonding pad overlapping some pads of the pads disposed on the long side at a short side of the semiconductor chip. 제 1 항에 있어서, 상기 칩의 단변에 위치한 좌.상의 패드는 칩의 장변 위쪽에, 좌.하의 패드는 칩의 장변 아래쪽에, 우.상의 패드는 칩의 장변의 위쪽에, 위.하의 패드는 칩의 장변의 아래쪽에 배치시킴으로써, 웨이퍼 테스트시에는 상기 장변의 패드만을 사용하고 패키지 본딩시에는 웨이퍼 테스트시에 상기 단변의 패드와 중복되는 상기 장변의 패드를 제외한 나머지 모든 패드를 본딩 패드로 사용하는 것을 특징으로하는 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법.The upper and lower pads of claim 1, wherein the upper and lower pads are located above the long side of the chip, the upper and lower pads are below the long side of the chip, and the upper and lower pads are above the long side of the chip. The pad is placed under the long side of the chip so that only the pad on the long side is used for wafer testing and all pads except for the pad on the long side overlapping the pad on the short side during wafer testing are used as bonding pads. Pad arrangement method of a semiconductor chip for a multi-chip test, characterized in that. 제 1 항에 있어서, 상기 장변에 배치된 패드는 상기 멀티 테스트용 패드로만 사용되는 것을 특징으로하는 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법.The method of claim 1, wherein the pad disposed on the long side is used only as the multi test pad. 제 1 항에 있어서, 상기 장변과 단변에 중복되어 배치된 패드중에서 상기 장변에 배치된 패드는 웨이퍼상에서의 멀티 테스트용으로만 사용되는 것을 특징으로하는 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법.2. The method of claim 1, wherein the pads disposed on the long side of the pads disposed on the long side and the short side are used only for the multi-test on the wafer. 제 4 항에 있어서, 상기 장변에 배치된 멀티 테스트용 패드와 반도체 칩의 내부 회로는 휴즈로 연결되는 것을 특징으로하는 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법.The method of claim 4, wherein the multi test pad disposed at the long side and the internal circuit of the semiconductor chip are connected to each other by a fuse. 제 5 항에 있어서, 상기 휴즈는 멀티칩 테스트가 완료된 후 절단되는 것을 특징으로하는 멀티칩 테스트를 위한 반도체 칩의 패드 배치 방법.The method of claim 5, wherein the fuse is cut after the multichip test is completed.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100821095B1 (en) * 2005-12-28 2008-04-10 동부일렉트로닉스 주식회사 Test device for the semiconductor and the testing method thereof
US7782688B2 (en) 2007-01-10 2010-08-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory device and test method thereof
US8680524B2 (en) 2010-07-01 2014-03-25 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of arranging pads in semiconductor device, semiconductor memory device using the method, and processing system having mounted therein the semiconductor memory device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100821095B1 (en) * 2005-12-28 2008-04-10 동부일렉트로닉스 주식회사 Test device for the semiconductor and the testing method thereof
US7782688B2 (en) 2007-01-10 2010-08-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory device and test method thereof
US8680524B2 (en) 2010-07-01 2014-03-25 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of arranging pads in semiconductor device, semiconductor memory device using the method, and processing system having mounted therein the semiconductor memory device

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