KR19990012932A - 접촉플러그 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판 상에 형성된 도전 영역을 배선층과 전기적으로 연결하는 접촉플러그에 관한 것으로, 접촉플러그의 직경에 배선층보다 넓게 형성된다.
따라서, 본 발명에서는 접촉홀의 종횡비가 작으며 플러그의 접촉 저항이 감소된다.
Description
본 발명은 접촉플러그(contact plug)에 관한 것으로, 특히, 상부에 형성되는 배선층과 접촉 저항이 증가되지 않도록 배선층과의 접촉 면적이 감소되는 것을 방지할 수 있는 접촉플러그에 관한 것이다.
도 1a 는 종래기술에 따른 접촉플러그 및 그를 덮는 상부배선층을 도시한 평면도이고, 도 1b 는 도 1a 의 A-A'선에 따른 단면도이고, 도 1c 는 도 1a 의 B-B'선에 따른 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
종래의 접촉플러그(112)는 도 1a 내지 도 1c 를 참조하면, 기판(100) 상에 형성된 배선층 또는 확산영역(도면에 도시되지 않음)과 배선층(110)과 전기적으로 연결시킨다. 상기에서, 접촉플러그(112)는 기판(100) 상에 형성된 층간절연막(120)에 상기 배선층 또는 확산영역을 노출시키도록 형성된 접촉홀(H) 내에 금속이 채워져 형성된다.
그리고, 층간절연막(120) 상에 접촉플러그(112)와 접촉되도록 배선층(110)이 형성된다. 상기에서, 배선층(110)은 반도체소자의 고집적화를 위해 좁은 폭으로 형성된다. 접촉플러그(112)와 배선층(110)은 면적이 작으므로 오정렬되기 쉬워 접촉 면적이 감소되므로 접촉플러그(112)와 배선층(110) 사이의 접촉 저항이 증가될 수 있다. 그러므로, 배선층(110)의 접촉플러그(112)와 접촉되는 부분은 접촉플러그(112)의 면적보다 넓게 형성하여 오정렬시에도 접촉 면적이 감소되지 않도록 하여 접촉 저항이 증가되는 것을 방지한다.
그러나, 상술한 종래의 접촉플러그는 직경이 작은 접촉홀 내에 형성되는데, 직경이 작은 접촉홀은 종횡비(aspect ratio)가 크므로 접촉플러그의 형성이 어렵고, 또한, 이 접촉플러그의 저항을 감소시키는 데 한계가 있는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 작은 종횡비를 갖는 접촉플러그를 제공하려는 것이다.
그리고 본 발명의 다른 목적은 저항을 감소시킬 수 있는 접촉플러그를 제공함에 있다.
상기 목적들을 달성하기 위한 본 발명은 기판 상에 형성된 도전 영역을 배선층과 전기적으로 연결하는 접촉플러그에 있어서, 접촉플러그의 직경이 배선층보다 넓게 형성된 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하겠다.
도 1a 는 종래기술에 따른 접촉플러그 및 그를 덮는 상부배선층을 도시한 평면도이고,
도 1b 는 도 1a 의 A-A'선에 따른 단면도이고,
도 1c 는 도 1a 의 B-B'선에 따른 단면도이다.
도 2a 는 본 발명에 따른 접촉플러그 및 그를 덮는 상부배선층을 도시한 평면도이고,
도 2b 는 도 2a 의 C-C'선에 따른 단면도이고,
도 2c 는 도 2a 의 D-D'선에 따른 단면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100, 200 : 기판110, 220 : 상부배선층
112, 212 : 접촉플러그H, H-1 : 접촉홀
도 2a 는 본 발명에 따른 접촉플러그 및 접촉플러그를 덮고 있는 상부배선층을 도시한 평면도이고, 도 2b 는 도 2a 의 C-C'선에 따른 단면도이고, 도 2c 는 도 2a 의 D-D'선에 따른 단면도이다.
본 발명의 접촉플러그(212)는 도 2a 내지 도 2c 를 참조하면, 기판(200) 상에 형성된 배선층 또는 확산영역(도면에 도시되지 않음)과 배선층(210)과 전기적으로 연결시킨다.
상기에서, 접촉플러그(212)는 기판(200) 상에 형성된 층간절연막(220)에 상기 배선층 또는 확산영역을 노출시키도록 형성된 접촉홀(H-1) 내에 금속이 채워져 형성된다.
그리고, 층간절연막(220) 상에 접촉플러그(212)와 접촉되도록 배선층(210)이 형성된다.
상기에서 배선층(210)은 반도체소자의 고집적화를 위해 서브미크론 단위의 좁은 폭으로 형성된다. 그리고, 접촉플러그(212)는 배선층(210)의 선폭보다 넓은 직경을 갖는 접촉구(H-1) 내에 형성된다.
그러므로, 도 2c 와 같이, 접촉플러그(212)의 직경은 배선층(210)의 선폭보다 넓게 형성된다.
상기에서, 접촉구(H-1)가 배선층(210)의 선폭보다 넓으므로 이 접촉구(H-1) 내에 형성된 접촉플러그(212) 상에 배선층(210)을 접촉시킬 때 이 배선층(210)이 소정 정도의 오정렬이 발생되어도 접촉플러그(212)와 접촉 면적이 감소되지 않는다.
그러므로, 접촉플러그(212)와 배선층(210)의 접촉 면적이 감소되지 않으므로 접촉 저항이 증가되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 접촉구(H-1)의 직경이 증가되므로 이 접촉구(H-1)의 종횡비가 감소되어 접촉플러그(212)의 형성이 용이하다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 접촉플러그(212)는 층간절연막(220) 상에 배선층(210)의 폭보다 넓은 직경을 가져 작은 종횡비를 갖는 접촉구(H-1) 내에 형성한다.
따라서, 본 발명은 접촉구의 종횡비가 작으므로 접촉플러그의 형성이 용이하며, 또한, 이 접촉플러그의 직경이 증가되므로 접촉 저항이 감소되는 이점이 있다.
Claims (1)
- 기판 상에 형성된 도전 영역을 배선층과 전기적으로 연결하는 접촉플러그에 있어서,상기 접촉플러그의 직경이 배선층보다 넓게 형성된 접촉플러그.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970036511A KR19990012932A (ko) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | 접촉플러그 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970036511A KR19990012932A (ko) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | 접촉플러그 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990012932A true KR19990012932A (ko) | 1999-02-25 |
Family
ID=66000654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970036511A KR19990012932A (ko) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | 접촉플러그 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR19990012932A (ko) |
-
1997
- 1997-07-31 KR KR1019970036511A patent/KR19990012932A/ko not_active Application Discontinuation
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