KR19980085226A - 웨이퍼를 취급하기 위한 진공 트위져 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼 취급용 진공 트위져(vacuum tweezer)에 관한 것이다. 본 발명의 바람직 한 실시예에 따른 진공 트위져는, 외부의 진공발생수단과 연결된 진공라인, 일단이 상기 진공라인과 연결된 손잡이, 일단이 상기 손잡이와 연결된 티(T)자형 트위져 본체, 상기 티(T)자형 트위져 본체의 양팔에 체결수단에 의하여 결합되고, 그 표면에 웨이퍼를 흡착하기 위한 개구부가 구비된 커버, 상기 진공라인으로부터 상기 손잡이의 내부도관 및 상기 티(T)자형 트위져 본체의 내부도관을 통하여 상기 개구부에 공급되는 진공압을 단속하기 위하여 상기 손잡이에 설치된 밸브, 상기 커버의 개구부 주위에, 웨이퍼를 효과적으로 흡착하기 위한 고무판, 상기 티(T)자형 트위져 본체의 양팔에 상기 커버를 결합할 때 그 틈새에서 진공압이 유실되는 것을 방지하기 위하여 상기 티(T)자형 트위져 본체의 양팔과 상기 커버와의 결합부 상에 고무 패킹을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼를 취급하기 위한 진공 트위져(vacuum tweezer)

본 발명은 진공 트위저(vacuum tweezer)에 관한 것으로, 특히 6인치 웨이퍼 이외에 8인치 웨이퍼 이상의 대구경 웨이퍼 모두를 취급할 수 있는 진공 트위저에 관한 것이다.

반도체 소자의 고집적화, 고기능화가 급속히 진행되고 있는 오늘날, 그 제조 장치가 담당하는 역할은 한층 더 중요시되고 있다. 반도체 디바이스의 제조장치는 시대의 흐름과 더불어 날로 변화하는 공정상의 요구를 정확하게 반영하도록 개선되어 왔다.

반도체 소자를 제조하기 위한 작업은 로트(lot) 단위로 웨이퍼 캐리어(wafer carrier)에 담겨서 이동 및 관리되고 있다. 통상적으로, 로트는 20 ∼ 25매의 웨이퍼로 구성되어 있고, 이동, 보관 및 공정 진행의 단위로 관리되고 있다.

그러나, 경우에 따라서는 웨이퍼를 로트 단위로 처리하지 않고 1매의 웨이퍼 만을 낱장으로 분리하여 처리하여야 하는 경우가 있다. 즉, 반도체 제조 공정시 웨이퍼에 대하여 소정의 제조 공정을 수행하는 제조 장치에 문제가 발생하는 경우, 웨이퍼를 수동으로 핸들링하는 경우, 예컨대 완성된 웨이퍼를 검사하거나, 웨이퍼 세정 과정을 수행하거나, 웨이퍼 상에 형성되어 있는 샘플(sample)을 관찰하거나, 웨이퍼를 캐리어에서 캐리어로 이동하는 경우에는 웨이퍼를 핸들링하는 도구로서 트위저를 사용하는 것이 보통이다.

이러한 트위저는 웨이퍼 취급상의 어려움이 매우 클 뿐 만 아니라 웨이퍼를 홀딩(holding) 하는 강도가 낮으며, 웨이퍼 표면에 긁힘(scratch)을 다량 발생시키는 문제가 있어, 최근에는 단위 실험실 정도에서만 이를 사용하고, 생산 라인에서는 진공을 이용한 진공 트위저가 통상적으로 사용되고 있다.

도 1은 종래의 진공 트위저의 문제점을 설명하기 위하여 종래의 진공 트위져의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.

도면부호 10은 공장 내에 기본적으로 설치되어 있는 진공 라인의 본선(main vacuum line)에 연결되는 진공 라인을 나타내고, 20은 진공 트위저의 손잡이를 나타내고, 30은 진공 트위저의 팁(tip)을 나타내고, 40은 상기 팁(30)에 형성되어 웨이퍼(도시생략)에 접촉함으로써 웨이퍼를 흡착하는 진공 홀(vacuum hole), 50은 웨이퍼를 효과적으로 흡착하기 위한 고무판을, 60은 상기 진공 라인(10)으로부터 전달된 진공압의 통과을 단속하는 밸브를 각각 나타낸다.

상기 손잡이(20)에 설치된 밸브(60)를 개방하면, 상기 진공 라인(10)으로부터 상기 팁(30)의 진공 홀(40)에 진공압이 전달되고, 상기 진공압의 흡인력에 의하여 웨이퍼의 취급이 이루어진다.

그런데, 웨이퍼 사이즈가 대구경화 되어감에 따라 도 1에 도시된, 종래 사용되고 있는 진공 트위져는 진공 홀(40)의 면적이 좁기 때문에 8인치 이상의 대구경웨이퍼를 취급하기 어렵다. 즉, 종래의 진공 트위져를 사용하여 8인치 이상의 대구경 웨이퍼를 취급하면, 진공압이 미치는 진공 홀(40)의 면적이 충분하지 못하므로 대구경 웨이퍼가 바닥에 떨어져 대구경 웨이퍼가 파티클 등에 의하여 오염되거나 그 표면이 손상되는 문제점이 빈발할 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 상기 진공 홀(40)의 면적을 증가시키기 위하여는 진공 트위져의 사이즈도 증가하여야 하나 웨이퍼의 사이즈에 따라 진공 트위져의 사이즈가 증가하는 것에는 한계가 있다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 사이즈를 최소화할 수 있으면서, 동시에 6인치 웨이퍼 뿐만 아니라 8인치 이상의 대구경 웨이퍼도 안정적으로 취급할 수 있는 진공 트위져를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래의 진공 트위져의 문제점을 설명하기 위한 개략도이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 트위져를 설명하기 위한 개략도이다.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

100 : 외부의 진공발생수단과 연결된 진공라인

200 : 손잡이

300 : 티(T)자형 트위져 본체

400 : 티(T)자형 트위져 본체에 결합되는 커버

500 : 진공압에 의하여 웨이퍼를 흡착하는 개구부

600 : 웨이퍼와의 밀착력을 강화하기 위한 고무판

700 : 티(T)자형 트위져 본체의 양팔에 상기 커버를 결합시키기 위한 볼트

800 : 진공압을 단속하기 위한 밸브

900 : 진공압이 유실되는 것을 방지하기 위한 고무 패킹

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 외부의 진공발생수단과 연결된 진공라인; 일단이 상기 진공라인과 연결된 손잡이; 일단이 상기 손잡이와 연결된 티(T)자형 트위져 본체; 상기 티(T)자형 트위져 본체의 양팔에 체결수단에 의하여 결합되고, 그 표면에 웨이퍼를 흡착하기 위한 개구부가 구비된 커버; 및 상기 진공라인으로부터 상기 손잡이의 내부도관 및 상기 티(T)자형 트위져 본체의 내부도관을 통하여 상기 개구부에 공급되는 진공압을 단속하기 위하여 상기 손잡이에 설치된 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 트위져(vacuum tweezer)를 제공한다.

본 발명에 있어서, 상기 커버의 개구부 주위에, 웨이퍼를 효과적으로 흡착하기 위한 고무판을 더 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 티(T)자형 트위져 본체의 양팔에 상기 커버를 결합할 때 그 틈새에서 진공압이 유실되는 것을 방지하기 위하여, 상기 티(T)자형 트위져 본체의 양팔과 상기 커버와의 결합부 상에 고무 패킹을 더 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 개구부는 직선(line)형 개구부인 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 진공트위져는 조립식으로 제작되어 있으므로, 웨이퍼의 사이즈에 따라 상기 커버가 상기 티(T)자형 트위져 본체의 양팔에 결합되는 위치를 조정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 진공트위져는 사이즈를 최소화하면서 6인치 웨이퍼 뿐만 아니라 8인치 이상의 대구경 웨이퍼도 안정적으로 취급할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 트위져를 개략적으로 도시한 도면이다.

도 2를 참조하면, 도면부호 100은 외부의 진공발생수단과 연결된 진공라인을, 200은 일단이 상기 진공라인과 연결되고 타단은 티(T)자형 트위져 본체와 연결된 손잡이를, 300'은 상기 티(T)자형 트위져 본체를, 400은 상기 티(T)자형 트위져 본체의 양팔에 결합되고, 그 표면에 웨이퍼(도시생략)를 흡착하기 위한 직선형 개구부(500)가 구비된 커버를, 500은 상기 직선형 개구부를, 600은 웨이퍼를 효과적으로 흡착하기 위하여 상기 직선형 개구부(500) 주위에 설치된 고무판을, 700은 상기 티(T)자형 트위져 본체(300)의 양팔에 상기 커버(400)를 결합시키기 위한 볼트를, 800은 상기 진공라인(100)으로부터 상기 손잡이(200)의 내부도관 및 상기 티(T)자형 트위져 본체(300)의 내부도관을 통하여 상기 개구부(500)에 공급되는 진공압을 단속하기 위하여 상기 손잡이(200)에 설치된 밸브를, 900은 티(T)자형 트위져 본체(300)의 양팔에 상기 커버(400)를 결합할 때 그 틈새에서 진공압이 유실되는 것을 방지하기 위한 고무 패킹을 각각 나타낸다.

상기 진공 트위져의 밸브(800)를 개방(open)하면, 상기 진공라인(100)으로부터 공급된 진공압이 상기 손잡이(800)의 내부도관 및 상기 티(T)자형 트위져 본체(300)의 내부도관을 통하여 상기 직선형 개구부(500)에 전달된다. 따라서, 상기 직선형 개구부(500)를 웨이퍼의 표면에 밀착시켜 웨이퍼를 흡착하게 된다. 웨이퍼를 흡착한 상태로 유지하기 위하여는 상기 밸브(800)를 개방시킨 상태로 유지하여야 한다.

이후, 상기 밸브(800)를 폐쇄(close)시키면 진공압이 차단되어 웨이퍼가 진공 트위져로부터 탈착된다.

본 발명에 의한 진공 트위져에 있어서, 상기 티(T)자형 트위져 본체(300)의 양팔에 조립식으로 결합된 상기 커버(400)는, 상기 볼트(700)를 풀면 상기 티(T)자형 트위져 본체(300)의 양팔에서 이동이 가능하도록 설계되어 있다. 따라서, 취급하는 웨이퍼의 사이즈에 따라 상기 커버(400)가 상기 티(T)자형 트위져 본체(300)의 양팔에 결합되는 위치를 조정하여 진공 트위져의 사이즈를 조절할 수 있으므로 6인치 웨이퍼 뿐만 아니라 8인치 이상의 웨이퍼도 안정적으로 취급할 수 있게 된다. 또한, 본 발명에 의한 진공 트위져는, 티(T)자형 트위져 본체(300)의 양팔과 상기 커버(400)의 결합부에서 진공압이 유실되는 것을 방지하기 위한 고무 패킹(900) 및 상기 직선형 개구부(500)의 주위에 진공 트위져의 커버(400)와 웨이퍼와의 밀착을 강화하기 위한 고무판(600)을 구비하고 있으므로 취급중 웨이퍼가 진공 트위져로부터 탈착되는 사고를 최소화할 수 있다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 진공 트위져는 조립식으로 제작되어 있으므로 웨이퍼의 사이즈에 따라 상기 커버(400)가 상기 티(T)자형 트위져 본체(300)의 양팔에 결합되는 위치를 조정할 수 있다. 또한, 상기 고무패킹(900)이 진공압을 효과적으로 유지하며, 상기 고무판(600)은 웨이퍼와의 밀착력을 강화시킨다. 따라서, 본 발명에 따른 진공트위져는 사이즈를 최소화하면서 6인치 웨이퍼 뿐만 아니라 8인치 이상의 대구경 웨이퍼도 안정적으로 취급할 수 있다.

이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.

Claims (4)

1. 외부의 진공발생수단과 연결된 진공라인;

   일단이 상기 진공라인과 연결된 손잡이;

   일단이 상기 손잡이와 연결된 티(T)자형 트위져 본체;

   상기 티(T)자형 트위져 본체의 양팔에 체결수단에 의하여 결합되고, 그 표면에 웨이퍼를 흡착하기 위한 개구부가 구비된 커버; 및

   상기 진공라인으로부터 상기 손잡이의 내부도관 및 상기 티(T)자형 트위져 본체의 내부도관을 통하여 상기 개구부에 공급되는 진공압을 단속하기 위하여 상기 손잡이에 설치된 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 트위져(vacuum tweezer).
2. 제1항에 있어서, 상기 커버의 개구부 주위에 고무판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 트위져(vacuum tweezer).
3. 제1항에 있어서, 상기 티(T)자형 트위져 본체의 양팔과 상기 커버와의 결합부 상에 고무 패킹을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 트위져(vacuum tweezer).
4. 제1항에 있어서, 상기 개구부는 직선(line)형 개구부인 것을 특징으로 하는

   진공 트위져(vacuum tweezer).