KR19980061511A

KR19980061511A - Field emission display device

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Publication number: KR19980061511A
Application number: KR1019960080882A
Authority: KR
Inventors: 오재열; 조영래; 정효수; 하창식
Original assignee: 이우복; 사단법인 고등기술연구원연구조합
Priority date: 1996-12-31
Filing date: 1996-12-31
Publication date: 1998-10-07

Abstract

본 발명은 전계방출 표시소자에 관한 것으로, 특히 전계방출 표시소자 내부공간을 게터를 이용하여 진공도를 향상시키기 위하여 각기 다른 온도에서 활성화되는 두가지의 게터를 설치한 전계방출 표시소자에 관한 것이다. 상기 전계방출 표시소자에 설치된 두가지 게터는 배기관에 연결된 진공펌프를 이용하여 배기공정 실시중에 하나의 게터를 활성화시키고, 진공펌프에 의한 배기공정을 마친 후 배기관을 실링한 후, 다른 게터를 활성화시켜 전계방출 표시소자 내부의 잔류기체를 제거함으로써 고진공의 전계방출 표시소자를 제공한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field emission display device, and more particularly, to a field emission display device having two getters activated at different temperatures in order to improve vacuum degree using a getter in a space inside the field emission display device. The two getters installed in the field emission display device activate one getter during the exhaust process using a vacuum pump connected to the exhaust pipe, seal the exhaust pipe after completing the exhaust process by the vacuum pump, and activate the other getter to activate the electric field. A high vacuum field emission display device is provided by removing residual gas inside the emission display device.

Description

Field emission display device

본 발명은 배기공정의 효율을 높여 고진공의 전계방출 표시소자를 제조하기 위하여 활성화 온도가 다른 두가지의 게터를 설치한 전계방출 표시소자에 관한 것으로, 특히 전계방출 표시소자의 배면에 별도의 보조공간을 설치하고 그 보조공간 내부에 저온에서 활성화되는 게터와 고온에서 활성화되는 게터를 다수개 설치한 전계방출 표시소자에 관한 것이다.The present invention relates to a field emission display device in which two getters having different activation temperatures are installed in order to manufacture a high vacuum field emission display device by increasing the efficiency of the exhaust process. In particular, a separate auxiliary space is provided on the back of the field emission display device. The present invention relates to a field emission display device having a plurality of getters activated at a low temperature and a getter activated at a high temperature inside the auxiliary space.

일반적으로 전계방출 표시소자의 배기방법은 애노드 전극과 형광체가 형성되어 있는 상부기판과, 필드 에미터와 일측면에 배기구가 형성되어 있는 하부기판을 스페이서를 매개로 정렬 접합 시킨 후, 밀봉제를 테두리에 발른다. 이때 내부공간에 한가지 종류의 게터를 설치한다. 다음에 하부기판의 배기구에 배기관을 연결하고 배기관에 진공 펌프를 연결하여 1차적으로 내부공간의 공기를 배기시키고, 배기관을 실링하여 내부공간을 완전 밀폐시킨 후, 내부공간에 설치된 게터를 활성화시켜 2차적으로 내부공기를 제거함으로써 전계방출 표시소자 내부의 공기를 배기시켰다. 즉, 게터에 의한 2차배기는 전계방출 표시소자 내부를 좀더 고진공으로 만들기 위한 수단으로 사용된 것이다. 이때 설치되는 게터는 한가지 종류의 게터를 사용하되 형상이나 개수를 달리하는 방법은 여러 가지로 시도되고 있다.In general, the field emission display device has an anode electrode and an upper substrate on which phosphors are formed, and a field emitter and a lower substrate having exhaust ports formed on one side thereof are aligned and bonded to each other through spacers, and then the sealing agent is rimmed. Apply on At this time, one kind of getter is installed in the internal space. Next, the exhaust pipe is connected to the exhaust port of the lower substrate, and a vacuum pump is connected to the exhaust pipe to primarily exhaust the air in the internal space, seal the exhaust pipe to completely seal the internal space, and then activate a getter installed in the internal space. By removing the internal air, the air inside the field emission display device was exhausted. That is, the secondary exhaust by the getter is used as a means for making the inside of the field emission display device more high vacuum. At this time, the getter is installed using one kind of getter, but various ways of changing the shape or number have been tried.

최근들어서는 여러 가지 게터기술의 발달로 게터의 활성화 시기를 달리하는 시도가 있다. 즉 고온에서 활성화하는 게터를 사용해서 배기관의 실링 후 게터를 활성화 시키는 방법과, 저온에서 활성화되는 게터를 사용함으로써 배기관을 통해 가열배기 중에 게터를 활성화시키는 방법들이 사용되고 있다.Recently, there are attempts to change the getter activation timing with the development of various getter technologies. That is, a method of activating the getter after sealing the exhaust pipe using a getter activated at a high temperature and a method of activating the getter in a heated exhaust through the exhaust pipe by using a getter activated at a low temperature.

상술한 바와 같이 한가지의 게터를 사용하게 되면 다음과 같은 문제점들이 발생한다.As described above, when one getter is used, the following problems occur.

먼저 배기관을 통해 1차적인 배기공정을 수행한 후 게터를 활성화 시켜 2차배기를 실시하는 경우에는 우선적으로 전계방출 표시소자의 공간이 높이 약 200μm정도로 매우 작기 때문에 1차배기시간이 많이 걸린다. 그런데 경제적인 측면에서 볼 때 1개의 전계방출 표시소자를 만들기 위하여 많은 시간동안 1차배기공정을 실시할 수 없다. 이런 경우에 단시간 동안 배기관을 통해 1차배기를 실시한 소자 내부의 진공도가 좋지 않기 때문에 게터를 활성화시켜 2차배기를 실시한다 하더라도 소자의 진공도를 10^-5torr 이상으로 올리기 힘들다는 문제점이 발생한다.First of all, when performing the first exhaust process through the exhaust pipe and then performing the second exhaust by activating the getter, the first exhaust time takes a lot because the space of the field emission display device is very small, about 200 μm in height. However, from an economic point of view, the primary exhaust process cannot be performed for many hours to make one field emission display device. In this case, since the degree of vacuum inside the device subjected to the first exhaust through the exhaust pipe for a short time is not good, even if the second exhaust is performed by activating the getter, it is difficult to raise the vacuum of the device to 10 ^-5 torr or more.

다음에 배기관을 통해 1차배기를 실시하면서 동시에 게터를 활성화시켜서 2차배기를 실시할 경우는 1차배기와 2차배기를 동시에 실시함으로 인하여 배기시간을 단축할 수 있다는 장점은 있으나 1차배기공정과 동시에 게터의 많은 부분이 활성화 되면서 2차 배기공정을 실시하기 때문에 배기관 실링 후 게터를 더 이상 활성화 시키지 못하여 추가적인 진공도의 향상을 얻기 힘들다는 문제점이 있다.Next, if the secondary exhaust is carried out by activating the getter while simultaneously activating the getter through the exhaust pipe, the exhaust time can be shortened by simultaneously executing the primary exhaust and the secondary exhaust, but the primary exhaust process At the same time, since the secondary exhaust process is performed while a large portion of the getter is activated, it is difficult to further activate the getter after sealing the exhaust pipe and thus it is difficult to obtain an additional vacuum improvement.

따라서 본 발명은 전계방출 표시소자의 하부기판 배면에 별도의 보조공간을 설치하고, 그 보조공간의 내부에 각기 다른 온도에서 활성화되는 두가지의 게터를 다수개 설치한 전계방출 표시소자를 제조하여, 진공펌프에 의한 배기공정 중에 한가지의 게터를 활성화시켜 배기시간을 단축하고, 배기관을 실링 후 다른 게터를 활성화시켜 잔류가스를 제거함으로써 고진공의 전계방출 표시소자를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, the present invention provides a field emission display device in which a separate auxiliary space is provided on the bottom of the lower substrate of the field emission display device, and a plurality of getters which are activated at different temperatures in the auxiliary space are manufactured, and vacuum is produced. It is an object of the present invention to provide a high vacuum field emission display device by activating one getter during the exhausting process by a pump to shorten the exhaust time, and activating another getter after sealing the exhaust pipe to remove residual gas.

도1은 본 발명에 따른 각기 다른 온도에서 활성화되는 두가지의 게터를 보조공간에 설치한 전계방출 표시소자의 한 실시예를 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a field emission display device having two getters activated at different temperatures in an auxiliary space according to the present invention;

도2A는 본 발명에 따른 각기 다른 온도에서 활성화되는 두가지의 게터를 보조공간에 설치한 전계방출 표시소자의 다른 실시예를 나타낸 단면도2A is a cross-sectional view showing another embodiment of a field emission display device having two getters activated in different temperatures according to the present invention installed in an auxiliary space;

도2B는 도2A의 보조공간을 나타낸 평면도.Figure 2B is a plan view showing the auxiliary space of Figure 2A.

도면의주요부분에대한부호의설명Explanation of symbols on the main parts of the drawing

11,21 : 애노드 전극과 형광체가 형성된 상부기판11,21: upper substrate with anode electrode and phosphor formed

12,22 : 필드 에미터가 형성된 하부기판12,22: Lower substrate with field emitter

13,23 : 밀봉제 14,24 : 주공간13,23 sealant 14,24 main space

15,25 : 제1배기구 16,26 : 보조용기15,25: 1st vent 16,26: auxiliary container

17,27 : 제2배기구 18,28 : 배기관17,27: second exhaust pipe 18,28: exhaust pipe

19,29 : 보조공간 100 : 저온 활성게터19,29: auxiliary space 100: low temperature active getter

200 : 고온 활성게터200: high temperature active getter

본 발명은 전계방출 표시소자의 하부기판 배면에 별도의 보조공간을 설치하고, 그 보조공간에 활성화 온도가 다른 두가지의 게터를 설치하고, 그 게터의 활성화시기를 달리하여 배기공정을 실시함으로서 고진공의 공간을 얻을 수 있는 전계방출 표시소자에 관한 것이다.According to the present invention, a separate auxiliary space is provided on the bottom of the lower substrate of the field emission display device, two getters having different activation temperatures are installed in the auxiliary space, and the evacuation process is performed by varying the activation time of the getter. A field emission display device having a space can be obtained.

이하, 첨부된 도면을 참조로하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저 도1은 본 발명에 따른 활성화온도가 다른 두가지의 게터가 설치된 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자의 한 실시예를 나타낸 것이다. 먼저 애노드 전극과 형광체가 형성되어 있는 상부기판(11, 이하; 상부기판)과, 필드 에미터가 형성되어 있고 일정부분에 제1배기구(15)가 형성되어 있는 하부기판(12, 이하; 하부기판)을 스페이서(도시되지 않음)를 매개로하여 정렬접합시킨 후, 테두리에 밀봉제(13)를 발라 소성시킨다. 다음에 하부기판(12)의 테두리와 같은 크기를 갖는 일정한 높이의 보조용기(16)를 실런트를 이용하여 하부기판(12)의 배면에 접합시킨다. 이때 보조용기(16)의 밑면 중앙에는 제2배기구(18)가 형성되어 있으며, 보조공간(19)에는 저온에서 활성화되는 게터(100)와 고온에서 활성화되는 게터(200)등 두가지의 게터가 다수개 설치되어 있다. 상기 게터(100,200)들 중 저온에서 활성화되는 게터(100)는 주성분이 Ti 혹은 Zr과 V이며 450℃이하에서 활성화되고, 고온에서 활성화되는 게터(200)는 주성분이 Ba이며 500℃이상에서 활성화 된다. 또한, 상기 게터들은 게터지지대에 의해 보조용기(16)의 밑면으로부터 이격되어 있으며, 배기구(18)에는 배기관(17)이 연결되어 있다.1 shows an embodiment of a field emission display device having an auxiliary space in which two getters having different activation temperatures according to the present invention are installed. First, an upper substrate 11 (hereinafter referred to as an upper substrate) on which an anode electrode and phosphors are formed, and a lower substrate 12 (hereinafter referred to as a lower substrate) on which a field emitter is formed and a first exhaust port 15 is formed at a predetermined portion thereof. ) Is bonded through a spacer (not shown) and then fired by applying a sealant 13 to the edge. Next, the auxiliary container 16 having a constant height having the same size as the edge of the lower substrate 12 is bonded to the rear surface of the lower substrate 12 using a sealant. At this time, the second exhaust port 18 is formed in the center of the bottom surface of the auxiliary container 16, and there are two getters in the auxiliary space 19 such as a getter 100 activated at a low temperature and a getter 200 activated at a high temperature. Are installed. Among the getters 100 and 200, the getter 100 activated at low temperature has Ti or Zr and V and is activated at 450 ° C. or lower, and the getter 200 activated at high temperature is Ba and is activated at 500 ° C. or higher. . In addition, the getters are spaced apart from the bottom surface of the auxiliary container 16 by a getter support, and an exhaust pipe 17 is connected to the exhaust port 18.

다음에 도2A 및 도2B는 각기 다른 온도에서 활성화되는 두가지의 게터가 설치된 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자를 나타낸 것으로, 상부기판(21)과 스페이서(도시되지 않음)와 밀봉제(23)에 의해 정렬접합되어 있는 하부기판(22)에는 제2배기구(28)와, 설치될 보조공간(29)과 연결되는 일정한 길이를 갖는 제1배기구(25)가 형성되어 있다. 또한 상기 제1배기구(25)의 하부에는 제1배기구(25)를 충분히 덮을 정도의 크기를 가지면서 하부기판(22) 보다 작은 보조용기(26)가 실런트에 의해 접합되어 보조공간(29)을 이루고 있다. 이때, 상기 보조공간(29)에는 저온에서 활성화되는 게터(100)와 고온에서 활성화되는 게터(200)가 설치되어 있다.2A and 2B show a field emission display device having an auxiliary space in which two getters are activated at different temperatures, and the upper substrate 21 and the spacer (not shown) and the sealant 23 are shown. The lower substrate 22, which is aligned and bonded to each other, is formed with a second exhaust port 28 and a first exhaust port 25 having a predetermined length connected to the auxiliary space 29 to be installed. In addition, an auxiliary container 26 smaller than the lower substrate 22 is attached to the lower portion of the first exhaust port 25 to cover the first exhaust port 25 by a sealant to form the auxiliary space 29. It is coming true. In this case, the auxiliary space 29 is provided with a getter 100 activated at a low temperature and a getter 200 activated at a high temperature.

상술한 바와 같이 각기 다른 온도에서 활성화 되는 게터가 설치된 보조공간을 갖는 전계방출 표시소자의 배기방법은 먼저 제2배기구(18,28)에 설치되어 있는 배기관(17,27)에 진공펌프를 연결하고, 진공펌프를 작동시켜 주공간(14,24)과 보조공간(19,29)의 기체를 배기시키면서 보조공간(19,29)을 450℃이하로 가열하여 저온활성게터(100)를 활성화 시킨다. 결국 저온 활성게터(100)와 근접해 있는 기체는 활성화된 저온 활성 게터(100)에 의해 제거되고, 그 이외의 기체는 진공펌프에 의해 배기되어 배기시간을 단축 할 수 있다. 상기와 같은 1차적인 배기공정이 종료되면 배기관(17,27)을 용융접합시키고 다시 보조공간(19,29)에 설치되어 있는 고온활성게터(200)를 활성화시킴으로써 주공간(14,24)과 보조공간(19,29)에 남아있는 배기되지 않은 잔류기체를 제거함으로써 전계방출 표시소자 내부의 공간을 고진공으로 만들 수 있다.As described above, in the method of evacuating the field emission display device having the auxiliary space having the getter activated at different temperatures, the vacuum pump is first connected to the exhaust pipes 17 and 27 installed in the second exhaust pipes 18 and 28. In addition, by operating the vacuum pump to exhaust the gas in the main space (14, 24) and the auxiliary space (19, 29) while heating the auxiliary space (19, 29) below 450 ℃ to activate the low temperature active getter (100). As a result, the gas in close proximity to the low temperature active getter 100 is removed by the activated low temperature active getter 100, and other gases are exhausted by the vacuum pump to shorten the exhaust time. When the primary exhaust process is completed, the exhaust pipes 17 and 27 are melt-bonded and the main spaces 14 and 24 are activated by activating the high temperature active getter 200 installed in the auxiliary spaces 19 and 29 again. By removing the remaining unexhausted gas remaining in the auxiliary spaces 19 and 29, the space inside the field emission display device can be made high vacuum.

상술한 바와 같이 활성화 온도가 다른 두가지의 게터를 사용한 전계방출 표시소자의 배기방법은 저온에서 활성화 되는 게터를 진공펌프에 의한 배기공정 실시중 화성화 시킴으로써 배기시간을 단축시킬 수 있고, 고온에서 활성화되는 게터를 배기관을 실링한 후 활성화시켜 잔류기체를 2차배기시킴으로써 진공도가 향상된 전계방출 표시소자를 제공할 수 있다.As described above, the method of evacuating the field emission display device using two getters having different activation temperatures can shorten the exhaust time by converting the getter activated at a low temperature during the evacuation process by a vacuum pump. The getter may be activated by sealing the exhaust pipe and then activating the residual gas to provide a field emission display device having an improved degree of vacuum.

Claims

An upper substrate on which an anode electrode and a phosphor are formed;

A lower substrate having a field emitter and a first exhaust port aligned and bonded through the upper substrate and a spacer;

A sealant applied to an edge of the upper and lower substrates to seal the outside with the outside;

An auxiliary container bonded to the rear surface of the lower substrate by a sealant and having a second exhaust mechanism formed on a side thereof;

Two getters having different activation temperatures installed in the auxiliary space of the auxiliary container;

And an exhaust pipe provided in said second exhaust port.

The method of claim 1,

The auxiliary container is a field emission display device, characterized in that the auxiliary container having a size and a constant height similar to the lower substrate.

The method of claim 1,

The auxiliary container is large enough to cover the first exhaust port, the second exhaust port is a field emission display device, characterized in that formed on the lower substrate.

The method of claim 1,

One of the getters installed in the auxiliary space is a getter activated at 450 ° C. or lower and the other is a getter activated at 500 ° C. or higher.

The method of claim 4, wherein

The getter activated below 450 ° C. is a field emission display device comprising Ti or Zr and V as main components.

The method of claim 4, wherein

The getter activated at 500 ° C. or higher is a field emission display device, wherein Ba is a main component.