KR102941724B1 - 실습장치 분리체결용 하우징 및 이를 포함하는 진공플라즈마 실습 시스템 - Google Patents

실습장치 분리체결용 하우징 및 이를 포함하는 진공플라즈마 실습 시스템

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KR102941724B1 KR1020250127035A KR20250127035A KR102941724B1 KR 102941724 B1 KR102941724 B1 KR 102941724B1 KR 1020250127035 A KR1020250127035 A KR 1020250127035A KR 20250127035 A KR20250127035 A KR 20250127035A KR 102941724 B1 KR102941724 B1 KR 102941724B1
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Abstract

본 발명은 밸브, 배관 또는 압력조절기 등의 부품을 파지하여 진공플라즈마 교육용 실습장치의 포트와 밀착시키거나 인접하게 위치시킴으로서 조립 및 분해에 소요되는 시간을 줄임과 동시에 부품들의 배치 및 연결, 설치에 대한 지식과 작동원리를 실질적이고 반복적인 행동 체험을 통하여 효과적으로 제공할 수 있는 실습 장치 분리체결용 하우징에 관한 것이다.

Description

실습장치 분리체결용 하우징 및 이를 포함하는 진공플라즈마 실습 시스템 {Housing for Detachable Assembly of Training Apparatus and Vacuum Plasma Training System Including the Same }
본 발명은 실습 장치 분리체결용 하우징에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 밸브, 배관 또는 압력조절기 등의 부품을 파지하여 진공플라즈마 교육용 실습장치(200)의 포트와 밀착시키거나 인접하게 위치시킴으로서 조립 및 분해에 소요되는 시간을 줄임과 동시에 부품들의 배치 및 연결, 설치에 대한 지식과 작동원리를 실질적이고 반복적인 행동 체험을 통하여 효과적으로 제공할 수 있는 실습 장치 분리체결용 하우징에 관한 것이다.
반도체 장비는 반도체 소자의 제조 공정에 사용되는 각종 장치로서, 웨이퍼의 세정, 식각, 증착, 이온 주입, 포토리소그래피, 검사, 패키징 등 다양한 공정을 지원한다. 이러한 장비는 고도의 정밀성과 청정성을 요구하며, 특히 플라즈마(Plasma)를 활용한 식각(Etching) 및 증착(Deposition) 장비는 반도체 미세화 공정에서 핵심적인 역할을 담당한다.
플라즈마 장치는 기체에 고주파(RF) 전력을 가하여 이온화 상태로 만든 플라즈마를 발생시키고, 이를 이용해 웨이퍼 표면의 물질을 화학적 또는 물리적으로 제거하거나 박막을 형성하는 장치이다. 플라즈마는 높은 에너지 상태에서 반응성이 매우 뛰어난 이온, 전자, 라디칼, 중성입자 등으로 구성되며, 이를 정밀하게 제어함으로써 나노미터 수준의 공정이 가능해진다. 따라서 플라즈마 장치는 반도체 제조라인에서 없어서는 안 될 핵심 장비로 평가받는다.
그러나 최근 반도체 산업의 급격한 성장과 4차 산업혁명 관련 시장(예: 인공지능, 자율주행자동차, IoT, AR/VR, 지능형 로봇, 센서, 스마트팩토리 등)의 확대에 따라, 반도체 장비 설치 및 운용에 필요한 숙련된 인력의 부족이 심각한 문제로 대두되고 있다. 특히, 플라즈마 진공장치의 경우 고가의 장비로, 실제 생산라인에서 사용 중인 장비를 교육 목적으로 사용하는 데에는 많은 제약이 따른다. 이로 인해 신입 엔지니어나 설치·A/S 인력은 입사 후 현장 투입 직전까지도 장비 운용을 실습할 기회가 부족하여, 납품 및 가동 일정이 지연되는 문제로 이어지곤 한다.
정부는 이러한 문제를 해결하고자 교육기관에 대한 반도체 장비 투자를 확대하고 있으나, 현장 실습에 적합한 장비와 학습 도구가 충분히 개발·보급되지 않아 여전히 현장 중심의 교육이 어려운 실정이다. 대부분의 반도체 관련 교육은 이론 중심에 머물러 있으며, 학생들이 플라즈마 장치의 분해, 분리, 조립, 설치 과정을 직접 보고 배우며 경험할 기회가 제한적이다.
또한, 고가의 플라즈마 진공장치를 실습용으로 사용한다고 하여도 분해와 조립에 상당한 시간이 소요되어 교육 효과가 상당히 낮고, 고가 장치/부품의 손상 이나 부품 분실 우려로 인해 반복적인 분해 조립 작업 교육을 진행하는 것에 한계가 있었다.
본 발명은 실습장치와 부품들과의 조립과 분해를 빠르게 반복적으로 수행 수 있는 실습 보조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 반복적인 분해 조립에도 실습장치와 부품의 손상이나 분실 우려를 최소화할 수 있는 실습 보조 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은 플라즈마 장치의 분해, 조립 및 설치 과정을 실질적이고 반복적으로 제공할 수 있는 장치를 제공하는 것이다.
하나의 양상에서 본 발명은
복수 개의 수직 프레임(11) 및 수직 프레임 상하단에서 연결 조립된 수평 프레임(12)으로 이루어진 고정 프레임(10) ;
상기 상부측 수평 프레임(12) 사이에 위치하는 하나 이상의 제 1 파이프(20) ;
상기 파이프(20)에 고정되는 제 1 조립부(31), 일단이 상기 조립부에 고정되는 제 1 현수바(32), 상기 제 1 현수바의 하단에 결합되는 클램프(33)을 포함하는 하나 이상의 거치부(30) ;
상기 고정 프레임(10)의 공간 내측에 위치하고, 상부에 교육용 실습 장치(200)가 위치하는 테이블(40)을 포함하고,
상기 거치부(30)는 상기 교육용 실습장치(200) 후방의 포트(211)에 연결수단(220)으로 조립되는 부픔(230a)을 상기 클램프(33)로 파지하여 상기 파이프에 매달아 고정하거나, 또는
상기 거치부(30)는 상기 교육용 실습장치(200)와의 연결수단(220)이 해제된 상기 부픔(230a)을 상기 클램프(33)로 파지 및 상기 파이프에 매달아 상기 교육용 실습장치(200)의 포트(211)와 밀착시키거나 인접하게 위치시키는 것을 특징으로 하는 실습장치 분리 체결용 하우징(실습 보조장치)에 관련된다.
본 발명의 실습장치 분리 체결용 하우징(실습 보조장치)은 밸브(230b), 배관(230c) 또는 압력조절기(230a) 등의 부품을 클램프로 매달아 실습장치(200)의 포트(211)와 밀착시키거나 인접하게 위치시키는 거치부를 구비함으로서 여러 부품이 (실습장치로부터) 분리된 상태에서도 실습장치와 부품들의 전체적인 결합 형상이 그대로 유지될 수 있다.
본 발명의 실습장치 분리 체결용 하우징(실습 보조장치)은 실습장치에 연결되는 부품들이 해당 포트와 밀착되도록 매달아 위치됨으로서 플랜지 등의 연결부위에 대한 볼트 조립 및 분리 등의 과정을 일부 생략할 수 있어 조립 및 분해에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 또한, 본 발명의 하우징(실습 보조장치)은 조립과 해체시 과도하게 부품이나 실습장치에 외력을 가할 필요가 없으므로 실습 작업 중 사고 예방은 물론, 실습 효율을 최대로 높일 수 있고, 부품 손상도 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 하우징(실습 보조장치)은 부품과 인접하게 위치하는 받침부에 분리 조립시 필요한 결합수단(볼트)이나 각종 부품(플랜지, 가스켓 등)을 올려 보관함으로서 분실을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일구현인 실습장치 분리 체결용 하우징(실습 보조장치)의 일예이다.
도 2는 수평 프레임(12)에 제 1 파이프(20)가 결합되는 확대도이다.
도 3과 도 4는 거치부(30)에 부품(압력 조절기, 배관)이 파지 및 고정된 것을 보여준다.
도 5는 선반부(60)의 일예이다.
도 6은 도 1의 하우징(실습 보조장치)에 교육용 실습장치가 설치된 진공플라즈마 실습 시스템을 보여준다.
도 7은 도 6의 측면도이다.
도 8과 도 9는 이동식 부품받침대(70)가 구비된 진공플라즈마 실습 시스템의 일예이다.
이하에서, 본 발명의 바람직한 실시 태양을 도면을 들어 설명한다. 그러나 본 발명의 범위는 하기 실시 태양에 대한 설명 또는 도면에 제한되지 아니한다. 즉, 본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한, 본 명세서에서 기술되는 "포함 한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 명세서에 기재된 "부", "기", "모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일구현인 실습장치 분리 체결용 하우징(실습 보조장치)의 일예이고, 도 2는 수평 프레임(12)에 제 1 파이프(20)가 결합되는 확대도이고, 도 3과 도 4는 거치부(30)에 부품(압력 조절기, 배관)이 파지 및 고정된 것을 보여주고, 도 5는 선반부(60)의 일예이고, 도 6은 도 1의 하우징(실습 보조장치)에 교육용 실습장치가 설치된 진공플라즈마 실습 시스템을 보여주고, 도 7은 도 6의 측면도이고, 도 8과 도 9는 이동식 부품받침대(70)가 구비된 진공플라즈마 실습 시스템의 일예이다.
도 1 내지 도 9를 참고하면, 본 발명의 실습용 하우징(실습보조장치)(100)은 고정프레임(10), 제 1 파이프(20), 거치부(30), 테이블(40)을 포함한다. 상기 실습용 하우징(실습보조장치)(100)은 제 2 파이프(50) 또는 선반부(60)를 추가로 구비할 수 있다.
상기 고정 프레임(10)은 복수 개의 수직 프레임(11)과 상기 수직 프레임 상하단에서 연결 조립된 수평 프레임(12)으로 형성된다.
상기 고정 프레임(10)은 철이나 알루미늄 파이프를 용접 또는 나사로 조립한 3차원 구조물이다. 상기 고정 프레임(10)은 공지된 “H”, “ㄷ”, “ㅁ” 형상의 금속빔이다. 금속빔은 알루미늄, 강철, 스테인레스 등의 재질로 만들어질 수 있다.
상기 고정 프레임(10)은 뼈대를 이루는 수직 프레임(기둥을 형성)과 수직 프레임 사이를 소정 거리로 이격시켜 위치시킴으로서 플라즈마 진공장치와 같은 실습 장치나 유틸리티를 구성하는 부품들을 이들 프레임 사이에 배치할 수 있다.
상기 고정 프레임은 사방이 개방되는 것이 바람직하다.
상기 고정 프레임은 이동이 용이하도록 하부 바닥에 바퀴(13)를 구비할 수 있다.
상기 제 1 파이프(20)는 상기 상부측 수평 프레임(12) 사이에 위치하는 하나 이상의 막대(프레임, 파이프 등)이다. 상기 제 1 파이프는 상기 수직프레임이나 수평 프레임과 동일한 재질이나 형상일 수 있다.
도 2를 참고하면, 상기 제 1 파이프(20)는 상기 수평 프레임(12)에 용접이나 볼트 너트 등으로 조립 고정될 수 있다.
상기 제 1 파이프(20)는 상기 수평 프레임을 따라 이동될 수도 있다. 이때, 상기 제 1 파이프가 소정 거리 이동 후에 결합수단(122)(볼트 너트 등)을 통해 상기 수평 파이프에 고정될 수 있다. 상기 제 1 파이프(20)와 수평 프레임(12)에는 각각 결합홀(21, 121)이 형성될 수 있다.
상기 제 2 파이프(50)는 두 개의 제 1 파이프(20) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 파이프는 제 1 파이프와 동일한 재질이나 형상일 수 있다. 상기 제 2 파이프(50)는 상기 제 1 파이프(20)에 용접이나 볼트 너트 등으로 조립 고정될 수 있다. 상기 제 2 파이프(50)는 상기 제 1 파이프(20)를 따라 소정 위치로 이동된 후 볼트 등으로 고정될 수 있다.
도 3과 도 4를 참고하면, 상기 거치부(30)는 제 1 조립부(31), 현수바(32) 및 클램프(33)를 포함한다.
상기 제 1 조립부(31)는 상기 현수바(32)를 상기 제 1 파이프(20) 또는 제 2 파이프(50)에 고정되는 결합수단일 수 있다. 예를 들면, 도 2와 같이, 상기 제 1 조립부는 결합편과 볼트나 피스를 포함하는 결합수단일 수 있다. 결합편은 “ㄷ”형, 평판형 등과 같이 상기 제 1 파이프나 제 2 파이프의 상면에 거치되어 조립될 수 있는 형상이나 구조이면 충분하다. 상기 제 1 조립부의 하단에 상기 현수바가 결합될 수 있다.
상기 현수바(32)는 상기 제 1 조립부에서 바닥을 향해 매달려 있는 금속봉일 수 있다. 상기 현수바(32)는 외부에서 일정 힘을 가하더라도 흔들리지 않는(즉, 진자운동 없는) 금속봉이 바람직하다.
상기 클램프(33)는 상기 현수바(32)의 말단과 고정수단을 통해 결합된다. 상기 고정수단은 공지된 고정수단인 용접이나 볼트, 너트 등일 수 있으나 이에 반드시 제한되는 것은 아니다.
상기 클램프(33)의 내면 형상구조는 원이나 다각형일 수 있다.
상기 클램프(33)는 공지된 클램프, 예를 들면, 볼트형 클램프, U볼트 클램프, C형 클램프, 레버 클램프 등이 제한없이 사용될 수 있다.
도 4를 참고하면, 상기 현수바(32)는 상기 클램프(33)의 상면에 용접(a)될 수 있다.
도 3과 도 5를 참고하면, 상기 제 1 현수바(32)는 상기 클램프(33)에 형성된 타공홀에 상기 제 1 현수바가 삽입되어 고정수단으로 결합될 수 있다. 상기 제 1 현수바의 말단(나사산 형성)을 너트로 조여 결합할 수도 있다.
또한, 상기 클램프 상에 브라켓 등의 보조 기구가 설치되고, 상기 보조기구와 상기 현수바(32)가 결합될 수 있다.
상기 테이블(40)은 상기 고정 프레임(10)의 공간 내측에 위치하고, 상부에 교육용 실습 장치(200)가 놓여질 수 있다.
상기 테이블(40)은 그 위에 교육용 실습장치 또는 부품이 위치될 수 있는 공지된 형상이나 구조일 수 있으며, 이에 대해 특별한 제한이 있는 것은 아니다. 예를 들면, 도 1과 같이, 상기 테이블(40)은 하부측 수평프레임(12) 상에 설치되는 금속의 받침판(41)일 수 있다. 또는, 상기 테이블(40)은 상기 받침판(41) 상부에 위치하는 소정 높이의 거치대(42)일 수 있다.
도 5를 참고하면, 상기 선반부(60)는 상기 파이프(20. 50)에 고정되는 제 2 조립부(61), 일단이 상기 제 2 조립부에 고정되는 제 2 현수바(62), 상기 현수바의 타단에 결합되는 받침대(63)를 구비할 수 있다.
상기 선반부(60)는 상기 고정 프레임(10)에 고정될 수 있다.
상기 선반부(60)의 제 2 조립부(61)와 제 2 현수바(62)는 상기 거치부(30)의 제 1 조립부(31)와 제 1 현수바(32)를 참고할 수 있다.
상기 선반부(60)는 상기 파이프(20. 50)를 따라 이동된 후 고정될 수 있다.
상기 받침대(63)는 분리된 부품이나 각종 조립/분리용 설비나 기구 등이 위치될 수 있는 금속판 또는 상면이 개방된 박스 형상 구조물일 수 있다.
도 1과 도 6을 참고하면, 본 발명은 선반부 60의 다른 구현예로서 선반부 60‘을 구비할 수 있다. 선반부 60’는 조립부(61’), 연결대(62‘) 및 받침대(63‘)를 구비하여 수직 프레임(11)을 따라 상하 이동될 수 있다.
상기 선반부 60‘는 선반부 60과 같이 분리된 부품이나 각종 조립/분리용 설비나 기구를 보관할 수 있다.
상기 선반부 60‘는 선반부 60을 참고할 수 있다.
상기 실습장치(200)는 진공플라즈마 발생장치, 미세패턴 식각장치, 노광기, 증착장치, 이온주입기 등일 수 있다. 상기 실습장치는 진공챔버와 같은 제 1 설비(210), 상기 제 1 설비에 연결수단(220)으로 결합되는 부속설비(230), 상기 부속설비와 연결수단으로 결합되는 제 2 설비(240)을 포함할 수 있다.
상기 제 1 설비는 상기 실습장치의 본체로서, 진공플라즈마 발생장치인 경우는 진공챔버일 수 있다.
상기 연결수단(220)은 플랜지, 클램프와 이를 조일 수 있는 볼트 너트 등일 수 있다.
상기 부속설비(230)는 상기 진공챔버의 포트(211)와 상기 연결수단으로 결합되는 설비로서 밸브(230b), 배관(230c), 압력조절기(230a), 유량제어기(230d) 또는 스테인리스 튜브 등일 수 있다.
또한, 상기 부속설비(230)는 상기 진공챔버의 포트와 결합되는 투시창(231), 전극(232), 진공게이지(233) 둥일 수 있다.
상기 제 2 설비(240)는 상기 부속설비를 통해 상기 제 1 설비와 연결되는 설비로서, 상기 제 1 설비가 진공챔버인 경우, 상기 제 2 설비(240)는 진공펌프(240a), 로터리펌프(240b)일 수 있다.
상기 거치부(30)는 제 1 조립부(31), 현수바(32)에 결합된 클램프(33)를 구비함으로서 교육용 실습장치(200)에 연결되는 상기 부속설비(230)를 파지하여 고정 프레임(10)에 매달아 고정할 수 있다.
또한, 여러 부품과 실습장치의 조립이 해제(분리)된 상태에서도, 상기 거치부(30)는 상기 클램프(33)로 부속설비를 파지하여 실습장치 또는 부품에 밀착시킴으로서 전체 실습장치의 결합 형상이 여전히 유지될 수 있도록 한다.
다른 양상에서, 본 발명은 진공플라즈마 실습 시스템에 관련된다. 본 발명의 진공플라즈마 실습 시스템은 실습장치 분리 체결용 하우징(100)과 진공플라즈마 교육용 실습장치(200)를 포함한다.
도 6과 도 7을 참고하면, 상기 실습장치 분리체결용 하우징(100)은 복수 개의 수직 프레임(11) 및 수직 프레임 상하단에서 연결 조립된 수평 프레임(12)으로 이루어진 고정 프레임(10),
상기 상부측 수평 프레임(12) 사이에 위치하는 하나 이상의 제 1 파이프(20),
상기 파이프(20)에 고정되는 제 1 조립부(31), 일단이 상기 조립부에 고정되는 제 1 현수바(32), 상기 제 1 현수바의 타단에 결합되는 클램프(33)을 포함하는 하나 이상의 거치부(30) 및
상기 고정 프레임(10)의 공간 내측에 위치하는 테이블(40)을 포함한다.
상기 고정프레임(10), 제 1 파이프(20), 거치부(30), 테이블(40),제 파이프(50) 및 선반부(60)을 포함한 실습장치 분리체결용 하우징(100)은 앞에서 상술한 내용을 그대로 참고할 수 있다.
상기 진공플라즈마 교육용 실습장치(200)는
상기 테이블(40)의 상부에 위치하는 진공챔버(210),
상기 진공챔버 후방의 포트(211)에 연결수단(220)으로 조립되는 압력조절기(230a)와 상기 압력조절기 후단에 결합되는 밸브(230b),
상기 밸브(230b)와 결합되는 진공펌프(240a), 상기 진공펌프와 직접 연결되는 로터리 펌프(240b)를 구비할 수 있다.
상기 진공챔버(210)는 밀폐된 용기로써 알미늄이나 스테인레스 스틸의 재질로 제작되며, 내부에 일정한 용적을 포함하여 고진공상태에서 투입된 반응개스가 전기에너지에 의해서 플라즈마화되고, 상기 플라즈마를 가두어두고 유지하는 역할을 한다.
진공챔버(210)는 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생장치의 중심이 되는 제 1 설비로서, 표면에 투시창 연결포트, 전극포트, 가스투입구 연결포트, 밸브 포트, 1개 이상의 진공게이지 포트, 자동압력조절기 포트가 형성된다.
상기 다수의 포트(211)를 통해 투시창(231), 전극(232), 밸브(230b) 등이 결합될 수 있다. 즉, 포트(211)는 진공챔버에 부착되고, 반대 쪽에 플랜지를 보유한 파이프형태의 입구일 수 있다.
상기 부속설비(230)는 상기 진공챔버의 포트와 결합되는 투시창(231), 전극(232), 진공게이지(233) 등일 수 있다.
상기 투시창(231)은 진공챔버의 내부를 관찰하기 위하여 투명유리를 부착하여 구성한다.
상기 전극(232)은 챔버 내부의 플라즈마 상태에 전기에너지를 지속적으로 공급하기 위해서 진공챔버의 외부에 구성하며, 여기에 양극 또는 음극의 전극을 설치한다.
가스투입구는 외부에서 진공챔버의 내부로 반응 가스를 투입하는 입구이며, 1개 이상의 가스 유량 조절기(230d)를 통하여 공정 개스가 상기 진공챔버로 공급된다.
상기 자동 압력조절기(230a)는 상기 진공챔버의 포트(211)에 플랜지(220)로 조립될 수 있다. 상기 자동압력조절기는 진공챔버의 내부압력을 자동으로 조절한다.
상기 밸브(230b)는 상기 압력조절기 후단에 설치되어 진공챔버와 외부를 차단할 수 있다. 상기 밸브를 통해 로터리 펌프(240b) 및 고진공펌프(240a)가 상기 진공챔버와 연결된다.
진공게이지(233)는 진공도를 측정하는 설비로서, 진공챔버의 표면에 형성된 진공게이지 포트와 결합될 수 있다.
본 발명의 진공플라즈마 실습 시스템은 상기 거치부(30)를 구비함으로서, 상기 실습장치(200)를 구성하는 부속설비(230a, 230b, 230c)를 상기 클램프(33)로 파지함으로서 상기 연결수단이 제거된 경우에도 상기 실습장치(200)의 형상이 유지될 수 있다. 즉, 상기 거치부(30)는 연결수단이 해제된 상기 부속설비(230)를 상기 클램프(33)로 파지 및 상기 파이프에 매달아 상기 부품(210)과 밀착시키거나 인접하게 위치시킬 수 있다.
상기 연결수단의 제거는, 예를 들면, 플랜지로 조립되는 경우, 양단의 플랜지를 조여주는 볼트/너트가 제거된 경우일 수 있다. 또한, 상기 연결수단의 제거는, 볼트 너트 제거뿐만 아니라 플랜지의 일측이나 양측 모두가 부속설비로부터 분리된 경우일 수 있다.
도 8과 도 9는 이동식 부품받침대(70)가 구비된 진공플라즈마 실습 시스템의 일예로서, 이동식 부품 받침대(70)는 테이블(40) 상에 형성된 슬라이딩부(72)와 상기 슬라이딩부(72)를 따라 전진 및 후진 가능한 받침대(71)를 포함할 수 있다.
상기 슬라이딩부(72)는 공지된 이동수단이 제한없이 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 슬리이딩부(72)는 레일 위를 직선 운동할 수 있는 LM가이드(리니어 모션 가이드), 리니어 슬라이드 등이 사용될 수 있다.
‘ 도 8을 참고하면, 상기 진공펌프(240a)가 상기 받침대(71) 상에 설치되면, 진공펌프(240a)와 밸브(230b)가 정렬된 상태에서 진공 플라즈마 장치의 교육이 이루어질 수 있다. 이때, 진공펌프(240a)와 밸브(230b)가 플랜지 등의 연결수단에 의해 견고히 결합되지 않더라도 상기 받침대로 인해 두 개의 부품이 정렬될 수 있다.
또한, 도 9를 참고하면, 상기 이동식 부품 받침대가 작동되어 상기 진공펌프(240a)가 상기 밸브로부터 쉽고 간편하게 분리될 수 있다. 즉, 도 8과 도 9를 참고하면, 상기 이동식 부품 받침대를 이용하여 부품A(예를 들면, 진공펌프 240a)와 부품B(예를 들면 밸브 230b)를 정렬하거나 신속히 이동할 수 있다.
본 명세서와 도면에 개시된 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 본 발명의 이해를 돕기 위해 특정 예를 제시한 것뿐이며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
10 : 고정 프레임 20 : 제 1 파이프
30 : 거치부 40 : 테이블
50 : 제 2 파이프 60 : 선반부
100 : 실습장치 분리 체결용 하우징
210 : 제 1 설비(진공챔버) 220 : 연결수단(플랜지)
230 : 부속설비 240 : 제 2 설비
200 : 진공플라즈마 교육용 실습장치

Claims (8)

  1. 복수 개의 수직 프레임(11) 및 수직 프레임 상하단에서 연결 조립된 수평 프레임(12)으로 이루어진 고정 프레임(10),
    상기 상부측 수평 프레임(12) 사이에 위치하는 하나 이상의 제 1 파이프(20),
    상기 파이프(20)에 고정되는 제 1 조립부(31), 일단이 상기 조립부에 고정되는 제 1 현수바(32), 상기 제 1 현수바의 타단에 결합되는 클램프(33)을 포함하는 하나 이상의 거치부(30),
    상기 고정 프레임(10)의 공간 내측에 위치하는 테이블(40) 및
    상기 테이블(40) 상에 형성된 슬라이딩부(72)와 상기 슬라이딩부(72)를 따라 전진 및 후진 가능한 받침대(71)를 구비하는 이동식 부품 받침대(70)를 포함하는 실습장치 분리 체결용 하우징(100)과
    상기 테이블(40)의 상부에 위치하는 진공챔버(210), 상기 진공챔버의 후방에 위치한 포트(211)에 연결수단(220)으로 조립되는 압력조절기(230a), 상기 압력조절기 후단에 결합되는 밸브(230b), 상기 밸브와 결합되는 진공펌프(240a), 상기 진공펌프와 연결되는 로터리 펌프(240b)를 구비하는 진공플라즈마 교육용 실습장치(200)를 포함하는 진공플라즈마 실습 시스템으로서,
    상기 제 1 현수바(32)는 상기 클램프(33)의 상면에 용접되거나, 상기 클램프(33)에 형성된 타공홀에 삽입되어 조립되고,
    상기 제 1 현수바(32)는 상기 제 1 조립부(31)에서 바닥을 향해 매달려 있는 금속봉이고,
    상기 거치부(30)는 상기 실습장치(200)를 구성하는 상기 압력조절기(230a), 밸브(230b) 및 배관(230c) 중 하나 이상을 상기 클램프(33)로 파지하고,
    상기 진공펌프(240a)가 전진 후진 가능한 상기 받침대(71) 상에 설치되고,
    상기 진공플라즈마 실습 시스템은 상기 연결수단이 제거된 경우에도 상기 실습장치(200)의 형상을 유지하거나, 상기 진공펌프(240a)와 상기 밸브(230b)의 정렬 상태를 유지할 수 있는 것을 특징으로 하는 진공플라즈마 실습 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102658759B1 (ko) * 2023-01-31 2024-04-17 울산과학대학교 산학협력단 웨이퍼 플라즈마공정 교육용 교부재

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