KR102896656B1 - 반송 유닛 및 반송 유닛의 제어 방법 - Google Patents

반송 유닛 및 반송 유닛의 제어 방법

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Abstract

본 발명의 실시예는 송 대상물의 이송을 위하여 천장에 설치된 레일을 따라 이동 가능하게 제공되는 반송 유닛; 및 상기 반송 유닛의 동작을 제어하는 제어 모듈을 포함하고, 상기 제어 모듈은, 상기 반송 유닛의 위치를 제어하는 제1슬라이딩 모드 제어기; 및 상기 반송 유닛의 속도를 제어하는 제2슬라이딩 모드 제어기를 포함하는 반송 장치에 관한 것이다.

Description

반송 유닛 및 반송 유닛의 제어 방법{TRANSPORT UNIT AND METHOD CONTROILLING FOR TRANSPORT UNIT}
본 실시예는 반송 유닛 및 반송 유닛의 제어 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물은 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공되거나 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
이때, 대상물이 수납된 카세트는 오버헤드 호이스트 이송장치(Overhead Hoist Transport, OHT)에 의해 이송된다. 오버헤드 호이스트 이송장치는 카세트를 파지한 상태로 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장에 설치되는 주행 레일을 따라 주행하며 카세트를 이송한다.
일반적으로 오버헤드 호이스트 이송장치는 PID 제어기를 통해 위치 및 속도가 제어된다. PID 제어기를 통한 제어는 편차값에 설정 상수를 곱하여 제어값을 산출한다. 이 경우, 제어값이 목표값에 도달하기까지 시간이 오래 걸리고, 제어값의 미세한 조정이 어려운 문제가 있다.
본 발명의 실시예는 반송 대상물을 반송하는 반송 유닛의 제어 정확도를 향상시키는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 실시예는 반송 유닛의 위치를 정밀하게 제어하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예는 반송 장치를 개시한다. 반송 장치는 반송 대상물의 이송을 위하여 천장에 설치된 레일을 따라 이동 가능하게 제공되는 반송 유닛; 및 상기 반송 유닛의 동작을 제어하는 제어 모듈을 포함하고, 상기 제어 모듈은, 상기 반송 유닛의 위치를 제어하는 제1슬라이딩 모드 제어기; 및 상기 반송 유닛의 속도를 제어하는 제2슬라이딩 모드 제어기를 포함할 수 있다.
상기 제1슬라이딩 모드 제어기는, 상기 반송 유닛의 현재 위치 정보, 상기 반송 유닛이 정지되어야 할 정지 위치 정보 및 상기 반송 유닛이 상기 정지 위치로 이동할 때의 상기 반송 유닛의 속도에 대한 제1속도 정보를 전송받아 상기 반송 유닛의 위치 제어를 위한 제1제어값을 결정할 수 있다.
상기 제1슬라이딩 모드 제어기는, 상기 반송 유닛의 상기 현재 위치와 상기 정지 위치의 편차가 0이 되도록 상기 반송 유닛의 위치를 제어할 수 있다.
상기 반송 유닛은 상기 제1슬라이딩 모드 제어기의 상기 제1제어값에 의해 상기 정지 위치에서 정지되도록 제어될 수 있다.
상기 제1슬라이딩 모드 제어기는 상기 제1제어값을 상기 제2슬라이딩 모드 제어기로 전송하되, 상기 제1제어값에는, 상기 제1슬라이딩 모드 제어기에서 생성되며, 상기 반송 유닛이 이동되어 상기 정지 위치에서 정지되는데 필요한 제2속도 정보가 포함될 수 있다.
상기 제2슬라이딩 모드 제어기는, 상기 제1슬라이딩 모드 제어기로부터 상기 제1제어값, 상기 반송 유닛의 현재 속도 정보 및 가속도 정보를 전송받아 상기 반송 유닛의 속도 제어를 위한 제2제어값을 결정할 수 있다.
상기 제2슬라이딩 모드 제어기는, 상기 반송 유닛의 상기 현재 속도 정보와 상기 제1제어값에 포함되는 제2속도 정보의 편차가 0이 되도록 상기 반송 유닛의 속도를 제어할 수 있다.
상기 반송 유닛은 오버헤드 호이스트 이송장치(Overheat Hoist Transport, OHT)로 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예는 반송 대상물의 이송을 위하여 천장에 설치된 레일을 따라 이동 가능하게 제공되는 반송 유닛을 제어하는 방법을 개시한다. 반송 유닛의 제어 방법은 상기 반송 유닛을 목표 위치로 이동시키되, 상기 반송 유닛이 상기 목표 위치에서 정지되도록 상기 반송 유닛의 위치 제어와 상기 반송 유닛이 상기 목표 위치까지 이동되는 속도 제어가 분리되어 제어될 수 있다.
상기 반송 유닛의 속도 제어값은 상기 반송 유닛이 상기 목표 위치에서 정지되도록 결정되는 위치 제어값에 의해 결정될 수 있다.
상기 반송 유닛의 제어는 슬라이딩 모드 제어기(Sliding-Mode Controller, SMC)로 제어하되, 상기 반송 유닛의 상기 위치 제어값은 제1슬라이딩 모드 제어기에 의해 결정되고, 상기 반송 유닛의 상기 속도 제어값은 제2슬라이딩 모드 제어기에 의해 결정될 수 있다.
상기 반송 유닛의 위치 제어값은, 상기 반송 유닛의 현재 위치 정보, 상기 반송 유닛이 정지되어야 할 정지 위치 정보 및 상기 반송 유닛이 상기 정지 위치로 이동시 속도에 대한 제1속도 정보에 의해 결정될 수 있다.
상기 반송 유닛의 속도 제어값은, 상기 제1슬라이딩 모드 제어기에서 결정되는 상기 위치 제어값, 반송 유닛의 현재 속도 정보 및 반송 유닛의 가속도 정보에 의해 결정될 수 있다.
상기 반송 유닛은 오버헤드 호이스트 이송장치(Overheat Hoist Transport, OHT)로 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예는 기판을 처리하는 장치를 개시한다. 기판 처리 장치는 상기 기판을 처리하는 공정 처리부와; 복수 매의 기판을 수납하는 카세트가 적재되는 로드포트와; 상기 공정 처리부와 상기 로드포트 사이에 배치되고, 상기 로드포트에 적재된 상기 카세트에 상기 공정 처리부 간에 상기 기판을 이송하는 인덱스부와; 상기 로드포트로 상기 카세트를 이송하는 반송 장치를 포함하되, 상기 반송 장치는, 반송 대상물의 이송을 위하여 천장에 설치된 레일을 따라 이동 가능하게 제공되는 반송 유닛; 및 상기 반송 유닛의 동작을 제어하는 제어 모듈을 포함하고, 상기 제어 모듈은, 상기 반송 유닛의 위치를 제어하는 제1슬라이딩 모드 제어기; 및 상기 반송 유닛의 속도를 제어하는 제2슬라이딩 모드 제어기를 포함할 수 있다.
상기 제1슬라이딩 모드 제어기는, 상기 반송 유닛의 현재 위치 정보, 상기 반송 유닛이 정지되어야 할 정지 위치 정보 및 상기 반송 유닛이 상기 정지 위치로 이동할 때의 상기 반송 유닛의 속도에 대한 제1속도 정보를 전송받아 상기 반송 유닛의 위치 제어를 위한 제1제어값을 결정하고, 상기 제2슬라이딩 모드 제어기는, 상기 제1슬라이딩 모드 제어기로부터 상기 제1제어값, 상기 반송 유닛의 현재 속도 정보 및 가속도 정보를 전송받아 상기 반송 유닛의 속도 제어를 위한 제2제어값을 결정할 수 있다.
상기 제1제어값에는, 상기 제1슬라이딩 모드 제어기에서 생성되며, 상기 반송 유닛이 이동되어 상기 정지 위치에서 정지되는데 필요한 제2속도 정보가 포함될 수 있다.
상기 반송 유닛은 오버헤드 호이스트 이송장치(Overheat Hoist Transport, OHT)로 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 반송 대상물을 반송하는 반송 유닛을 슬라이딩 모드 제어기를 통해 제어함으로써 제어 정확도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 반송 유닛의 위치 제어와 속도 제어를 분리하여 제어함으로써 반송 유닛의 위치를 정밀하게 제어할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 설비의 일부 구성을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 단면도이다.
도 4는 도 2의 정면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 다른 반송 장치의 제어 모듈의 개략적인 구성도이다.
도 6은 도 5의 제어 모듈이 반송 유닛을 제어하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
본 실시예에서 기판은 반도체 웨이퍼 또는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display)와 같은 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 기판일 수 있다.
이하, 첨부된 도 1 내지 도 6을 참조하며 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 기판 처리 설비의 일부 구성을 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 단면도이고, 도 4는 도 2의 정면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치(10)는 후방에 기판에 대한 공정처리가 이루어지는 공정 처리부(100), 카세트(C)로부터 기판들을 인출하여 공정 처리부(100)로 제공하는 인덱스부(200), 그리고 설비의 최전방에는 카세트 공급부(300)가 구비된다.
공정 처리부(100)는 복수개의 공정 챔버(미도시됨)를 포함할 수 있다. 복수의 공정 챔버는 독립적인 모듈의 형태로 제공될 수 있다. 모듈이라 함은 각 공정 챔버들이 각각의 기판 처리 기능을 수행함에 있어서 독립적인 동작이 가능하도록 관련 파트들이 하나의 독립적인 하우징 내에 설치된 것을 말한다. 모듈의 형태로 제공되는 공정 챔버들은 기판 처리 설비의 레이아웃에 따라 공정 처리부를 구성하게 된다.
인덱스부(200)는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module; EFEM)로 제공될 수 있다. 인덱스부(200)에는 인덱스 로봇(220)이 제공된다. 인덱스 로봇(220)은 기판을 반송할 수 있다. 인덱스 로봇(220)은 회동, 승강 및 하강이 가능하게 제공된다. 인덱스부(200)는 후술하는 로드포트(310)로에서 기판을 인출한다. 인덱스 로봇(220)은 카세트(C)로부터 일회 동작에 적어도 한 장의 기판을 반출하여 공정 처리부(100)로 반입할 수 있다. 인덱스 로봇(220)은 적어도 한 개의 엔드 이펙터(end effector)를 구비한 싱글 암 구조의 로봇이 사용할 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 인덱스 로봇(220)은 싱글 암 구조의 방식 이외에도 통상적인 반도체 제조 공정에서 사용되는 다양한 로봇들이 사용될 수 있다.
인덱스부(200)는 카세트(C)의 도어를 개폐하는 도어 오프너(320)를 포함한다. 도어 오프너(320)는 복수의 로드포트(310) 각각에 대응하여 제공된다. 본 발명의 실시예에 의하면, 도어 오프터(320)는 제1 내지 제4도어 오프너(322, 324, 326, 328)가 설치될 수 있다. 각각의 도어 오프너(322, 324, 326, 328)는 해당 로드 포트(312, 314, 316, 318)에 안착된 카세트(C)의 도어를 개폐한다. 인덱스 로봇(220)은 카세트(C)에 수납된 기판을 공정 처리부(100)로 이송한다. 예를 들어, 인덱스 로봇(220)은 카세트(C)에 수납된 기판을 인출하여 공청 처리부(100)로 제공하고, 공정 처리부(100)에서 공정이 완료된 기판을 인출하여 다시 카세트(C)에 수납한다.
카세트 공급부(300)는 복수의 로드포트(310)를 포함한다. 복수의 로드포트(310)는 제1 내지 제4로드포트(312, 314, 316, 318)를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 4개의 로드포트(312, 314, 316, 318)가 제공되는 것으로 도시하고 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 공정 효율 및 풋 프린트를 고려하여 다양한 개수로 제공될 수 있다.
복수의 로드포트(310) 각각에는 카세트(C)가 로딩된다. 복수의 로드포트(310) 각각에는 하나의 카세트(C)가 적재된다. 카세트(C)에는 복수 매의 기판이 수납된다. 카세트(C)는 풉(Front Opening Unified Pod, FOUP) 또는 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB)로 제공될 수 있다. 카세트(C)에 수납된 기판들은 인덱스 로봇(220)에 의해 공정 처리부(100)로 반입되어 공정 처리된다. 또한, 카세트(C)는 처리가 완료되어 회수된 기판이 수납될 수 있다.
카세트(C)는 반송 장치(400)에 의해 이송된다. 반송 장치(400)는 공정 처리 전의 기판들이 수납된 카세트(C)를 이송하여 비어있는 로드포트(310)에 로딩하고, 공정 처리된 기판들이 수납된 카세트(C)를 로드포트(310)로부터 픽업하여 외부로 반송한다. 즉, 반송 장치(400)는 로드포트(310)로 카세트(C)를 이송 및 로딩하고, 로드포트(310)에 적재된 카세트(C)를 픽업 및 외부로 이송한다. 이때, 로드포트(310)들은 반송 장치(400)의 이동 경로 상에 위치된다. 반송 장치(400)는 카세트 물류 장치의 하나인 오버헤드 호이스트 트랜스포트(Overheat Hoist Transport, OHT)로 제공될 수 있다.
반송 장치(400)는 기판 처리 장치(10)가 설치되는 반도체 라인의 천장에 설치되는 레일(410)과, 레일(410)을 따라 이동하는 반송 유닛(420)과, 이송할 카세트(C)를 착탈 가능하게 결합하는 그립부(420)와, 반송 유닛(420)과 그립부(420)를 연결하고, 그립부(420)의 수직 위치를 조절하는 와이어(424)를 포함한다.
반송 장치(400)는 반송 유닛(420)의 동작을 제어하는 제어 모듈(430)을 포함한다. 앞서 상술한 대로, 반송 유닛(420)은 카세트(C)를 비어있는 로드포트(310)로 이송하여 로딩하거나, 로드포트(310)로 이동하여 로드포트(310)에 로딩된 카세트(C)를 픽업한다. 이를 위해, 제어 모듈(430)은 반송 유닛(420)의 이동 위치와 이동 속도를 제어한다. 카세트(C)를 로드포트(310)에 적재 또는 로드포트(310)로부터 픽업하기 위해서는 반송 유닛(420)이 오차범위 내에서 정확한 위치로 이동되어야 한다. 만약, 위치 제어가 정확하지 않을 경우에는 카세트(C)가 정위치에 안착되지 못하여 인덱스 로봇(220)으로부터 기판의 반입 또는 반출이 불가능하게 되고, 이는 공정 전체가 딜레이되어 공정 효율이 저하되는 문제로 이어진다. 따라서, 제어 모듈(430)의 반송 유닛(420)의 제어는 매우 중요하다. 본 발명의 실시예에서는 제어 모듈(430)이 슬라이딩 모드 제어기(Sliding-Mode Controller, SMC)로 제공된다.
도 5는 본 발명의 실시예에 다른 반송 장치의 제어 모듈의 개략적인 구성도이고, 도 6은 도 5의 제어 모듈이 반송 유닛을 제어하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
본 발명의 실시예에서는 반도체 생산 라인의 천장에 설치되며 반송 대상물(일 예로, 카세트(C))를 이송하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트(420)가 슬라이딩 모드 제어기로 제공된다. 또한, 슬라이딩 모드 제어기로 제공되는 제어 모듈(430)은 반송 유닛(420)의 위치 제어와 속도 제어를 분리하여 제어한다. 도 5를 참조하면, 제어 모듈(430)은 반송 유닛(420)의 위치를 제어하는 제1슬라이딩 모드 제어기(432)와, 반송 유닛(420)의 속도를 제어하는 제2슬라이딩 모드 제어기(434)를 포함한다. 제어 모듈(430)은 반송 유닛(420)의 정지 위치를 먼저 결정하고, 이후에 반송 유닛(420)이 정지 위치까지 이동될 때의 이동 속도를 결정한다.
제1슬라이딩 모드 제어기(432)는 반송 유닛(420)의 위치를 제어한다. 제1슬라이딩 모드 제어기(432)는 반송 유닛(420)이 정지되어야 할 정지 위치에서 정지되도록 반송 유닛의 위치를 제어한다. 일 예로, 정지 위치는 공정 처리되어야 할 기판이 수납된 카세트(C)를 이송하는 경우에는 비어있는 로드포트(310)이 위치를 의미할 수 있다. 또한, 정지 위치는 공정 처리 완료된 기판이 수납된 카세트(C)를 픽업하여야 하는 경우에는 공정 처리 완료된 기판이 수납된 카세트(C)가 적재된 로드포트(310)의 위치일 수 있다.
제1슬라이딩 모드 제어기(432)는 반송 유닛(420)이 정지되어야 할 정지 위치에서 정지되도록 반송 유닛(420)의 위치를 제어한다. 제1슬라디이 모드 제어기(432)는 반송 유닛(420)의 현재 위치 정보와 정지되어야 할 정지 위치 정보(Position Profile)의 편차가 0이 되도록 반송 유닛(420)의 위치를 제어한다. 현재 위치 정보는 반송 장치(400)로부터 제공받는다. 제1슬라이딩 모드 제어기(432)는 반송 유닛(420)이 정지되어야 할 정지 위치 정보(Position Profile)와, 상기 정지 위치로의 이동 속도에 관한 제1속도 정보(Velocity Profile)를 전송받아 반송 유닛(420)이 정지 위치에서 정지되도록 반송 유닛(420)의 위치를 제어한다. 제1슬라이딩 모드 제어기(432)는 반송 유닛(420)의 현재 위치 정보, 반송 유닛(420)의 정지 위치 정보(Position Profile) 및 제1속도 정보(Velocity Profile)를 전송받아 반송 유닛(420)이 상기 정지 위치에서 정지 가능하도록 제1제어값을 생성한다. 제1제어값에는 반송 유닛(420)이 상기 정지 위치에서 정확하게 정지하는데 요구되는 제2속도 정보(Regeneration Velocity Profile)를 포함한다. 제1속도 정보는 기판 처리 장치(10) 전체를 제어하는 통합 제어기 또는 사용자로부터 기 설정된 정보일 수 있다. 제1슬라이딩 모드 제어기(432)는 정지 위치 정보, 제1속도 정보 및 반송 유닛(420)의 현재 위치 정보를 종합하여 제1제어값을 결정한다. 제1슬라이딩 모드 제어기(432)는 반송 유닛(420)의 현재 위치와 반송 유닛(420)의 정지 위치의 편차 거리를 제1속도로 이동할 경우에 반송 유닛(420)이 정지 위치에서 정확히 정지 가능할 지를 판단한다. 제1슬라이딩 모드 제어기(432)는 제1속도 정보에 따라 제1속도로 반송 유닛(420)을 이동할 경우에 반송 유닛(420)이 정지 위치를 벗어난 위치에서 정지될 것으로 판단되는 경우에, 반송 유닛(420)이 정지 위치에서 정지할 수 있는 제2속도 정보를 생성한다. 제1제어값에는 제2속도 정보가 포함된다. 제1슬라이딩 모드 제어기(432)는 제1제어값은 제2슬라이딩 모드 제어기(434)로 전송한다.
제2슬라이딩 모드 제어기(434)는 제1슬라이딩 모드 제어기(432)로부터 제1제어값과, 반송 장치(400)로부터 반송 유닛(420)의 현재 속도 정보를 전송받는다. 을 전송받는다. 제2슬라이딩 모드 제어기(434)는 제1슬라이딩 모드 제어기(432)로부터 새로 생성된 제2속도 정보를 제공받는다.
제2슬라이딩 모드 제어기(432)는 반송 유닛(420)이 정지되어야 할 정지 위치로 이동시 이동 속도를 제어한다. 제2슬라이딩 모드 제어기(432)는 반송 유닛(420)의 현재 속도 정보와 제1제어값에 포함되는 제2속도 정보(Regeneration Velocity Profile)의 편차가 0이 되도록 반송 유닛(420)의 속도를 제어한다. 제2슬라이딩 모드 제어기(434)는 제1슬라이딩 모드 제어기(432)에서 생성된 제1제어값, 반송 유닛(420)의 현재 속도 정보 및 가속도 정보(Acceleration Profile)를 전송받아 반송 유닛(420)의 속도 제어를 위한 제2제어값을 결정한다.
반송 장치(400)는 제어 모듈(430)로부터 제2제어값을 전송받는다. 반송 장치(400)는 제2제어값에 따라 구동된다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (18)

  1. 반송 대상물의 이송을 위하여 천장에 설치된 레일을 따라 이동 가능하게 제공되는 반송 유닛; 및
    상기 반송 유닛의 동작을 제어하는 제어 모듈을 포함하고,
    상기 제어 모듈은,
    상기 반송 유닛의 위치를 제어하는 제1슬라이딩 모드 제어기; 및
    상기 반송 유닛의 속도를 제어하는 제2슬라이딩 모드 제어기를 포함하고,
    상기 제1슬라이딩 모드 제어기는,
    상기 반송 유닛의 현재 위치 정보, 상기 반송 유닛이 정지되어야 할 정지 위치 정보 및 상기 반송 유닛이 상기 정지 위치로 이동할 때의 상기 반송 유닛의 속도에 대한 제1속도 정보를 전송받아 상기 반송 유닛의 위치 제어를 위한 제1제어값을 결정하는 반송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1슬라이딩 모드 제어기는,
    상기 반송 유닛의 상기 현재 위치와 상기 정지 위치의 편차가 0이 되도록 상기 반송 유닛의 위치를 제어하는 반송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 반송 유닛은 상기 제1슬라이딩 모드 제어기의 상기 제1제어값에 의해 상기 정지 위치에서 정지되도록 제어되는 반송 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1슬라이딩 모드 제어기는 상기 제1제어값을 상기 제2슬라이딩 모드 제어기로 전송하되,
    상기 제1제어값에는,
    상기 제1슬라이딩 모드 제어기에서 생성되며, 상기 반송 유닛이 이동되어 상기 정지 위치에서 정지되는데 필요한 제2속도 정보가 포함되는 반송 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2슬라이딩 모드 제어기는,
    상기 제1슬라이딩 모드 제어기로부터 상기 제1제어값, 상기 반송 유닛의 현재 속도 정보 및 가속도 정보를 전송받아 상기 반송 유닛의 속도 제어를 위한 제2제어값을 결정하는 반송 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2슬라이딩 모드 제어기는,
    상기 반송 유닛의 상기 현재 속도 정보와 상기 제1제어값에 포함되는 제2속도 정보의 편차가 0이 되도록 상기 반송 유닛의 속도를 제어하는 반송 장치.
  8. 제1항 및 제3항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 유닛은 오버헤드 호이스트 이송장치(Overheat Hoist Transport, OHT)로 제공되는 반송 장치.
  9. 반송 대상물의 이송을 위하여 천장에 설치된 레일을 따라 이동 가능하게 제공되는 반송 유닛을 제어하는 방법에 있어서,
    상기 반송 유닛을 목표 위치로 이동시키되,
    상기 반송 유닛이 상기 목표 위치에서 정지되도록 상기 반송 유닛의 위치 제어와 상기 반송 유닛이 상기 목표 위치까지 이동되는 속도 제어가 분리되어 제어되고,
    상기 반송 유닛의 속도 제어값은 상기 반송 유닛이 상기 목표 위치에서 정지되도록 결정되는 위치 제어값에 의해 결정되고,
    상기 반송 유닛의 제어는 슬라이딩 모드 제어기(Sliding-Mode Controller, SMC)로 제어하되,
    상기 반송 유닛의 상기 위치 제어값은 제1슬라이딩 모드 제어기에 의해 결정되고,
    상기 반송 유닛의 상기 속도 제어값은 제2슬라이딩 모드 제어기에 의해 결정되고,
    상기 반송 유닛의 상기 위치 제어값은,
    상기 반송 유닛의 현재 위치 정보, 상기 반송 유닛이 정지되어야 할 정지 위치 정보 및 상기 반송 유닛이 상기 정지 위치로 이동시 속도에 대한 제1속도 정보에 의해 결정되는 반송 유닛의 제어 방법.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 제9항에 있어서,
    상기 반송 유닛의 속도 제어값은,
    상기 제1슬라이딩 모드 제어기에서 결정되는 상기 위치 제어값, 반송 유닛의 현재 속도 정보 및 반송 유닛의 가속도 정보에 의해 결정되는 반송 유닛의 제어 방법.
  14. 제9항 및 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 유닛은 오버헤드 호이스트 이송장치(Overheat Hoist Transport, OHT)로 제공되는 반송 유닛의 제어 방법.
  15. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    상기 기판을 처리하는 공정 처리부와;
    복수 매의 기판을 수납하는 카세트가 적재되는 로드포트와;
    상기 공정 처리부와 상기 로드포트 사이에 배치되고, 상기 로드포트에 적재된 상기 카세트에 상기 공정 처리부 간에 상기 기판을 이송하는 인덱스부와;
    상기 로드포트로 상기 카세트를 이송하는 반송 장치를 포함하되,
    상기 반송 장치는,
    반송 대상물의 이송을 위하여 천장에 설치된 레일을 따라 이동 가능하게 제공되는 반송 유닛; 및
    상기 반송 유닛의 동작을 제어하는 제어 모듈을 포함하고,
    상기 제어 모듈은,
    상기 반송 유닛의 위치를 제어하는 제1슬라이딩 모드 제어기; 및
    상기 반송 유닛의 속도를 제어하는 제2슬라이딩 모드 제어기를 포함하고,
    상기 제1슬라이딩 모드 제어기는,
    상기 반송 유닛의 현재 위치 정보, 상기 반송 유닛이 정지되어야 할 정지 위치 정보 및 상기 반송 유닛이 상기 정지 위치로 이동할 때의 상기 반송 유닛의 속도에 대한 제1속도 정보를 전송받아 상기 반송 유닛의 위치 제어를 위한 제1제어값을 결정하는 기판 처리 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제2슬라이딩 모드 제어기는,
    상기 제1슬라이딩 모드 제어기로부터 상기 제1제어값, 상기 반송 유닛의 현재 속도 정보 및 가속도 정보를 전송받아 상기 반송 유닛의 속도 제어를 위한 제2제어값을 결정하는 기판 처리 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 제1제어값에는,
    상기 제1슬라이딩 모드 제어기에서 생성되며, 상기 반송 유닛이 이동되어 상기 정지 위치에서 정지되는데 필요한 제2속도 정보가 포함되는 기판 처리 장치.
  18. 제15항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 유닛은 오버헤드 호이스트 이송장치(Overheat Hoist Transport, OHT)로 제공되는 기판 처리 장치.

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