KR102722940B1 - 수냉식 히트싱크 제조 방법 및 이에 의해 제조된 히트싱크 - Google Patents
수냉식 히트싱크 제조 방법 및 이에 의해 제조된 히트싱크 Download PDFInfo
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Abstract
이를 위해 본 발명의 일실시예에 따른 수냉식 히트싱크 제조 방법은, 상부 기판을 가공하는 상부 기판 가공 단계, 하부 기판을 가공하는 하부 기판 가공 단계, 중심 기판을 가공하는 중심 기판 가공 단계, 상부 기판과 하부 기판 사이에 중심 기판을 배치하는 기판 배치 단계, 상부 기판, 하부 기판 및 그 사이에 중심 기판이 배치된 상태에서 접합 부위를 브레이징 접합하는 1차 브레이징 접합 단계 및 1차 브레이징 접합 단계에서 접합된 접합 부위 외측을 감싸도록 브레이징 접합하는 2차 브레이징 접합 단계를 포함한다.
Description
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 수냉식 히트싱크 제조 방법에서 중심 기판 가공 단계를 상세히 나타낸 공정도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 수냉식 히트싱크 제조 방법에서 중심 기판 가공 단계에 의해 제조된 기판들의 분해 사시도
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 수냉식 히트싱크 제조 방법에 의해 제조된 히트 싱크의 결합 상태를 나타낸 사시도
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 수냉식 히트싱크 제조 방법에 의해 제조된 히트 싱크의 접합 부위를 1차 브레이징 접합한 상태와, 2차 브레이징 접합한 상태를 도시한 단면도
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 수냉식 히트싱크 제조 방법에 접합면 평탄화 단계가 더 포함된 공정도
12 : 냉매 배출구 20 : 하부 기판
30 : 중심 기판 31 : 냉매 순환 유로
40 : 내측 접합부 50 : 외측 접합부
Claims (7)
- 상부 기판(10)과, 하부 기판(20) 및 상부 기판(10)과 하부 기판(20) 사이에 구비되는 중심 기판(30)을 포함하고, 상기 중심 기판(30)은 상기 상부 기판(10)과 하부 기판(20)보다 작은 크기로 제조되어 상부 기판(10)과 하부 기판(20)의 내측으로 단차지게 접합되고, 상기 상부 기판(10)과 하부 기판(20) 및 중심 기판(30)의 접합 부위에는 서로 접합되는 부분에 내측 접합부(40)와, 상기 내측 접합부(40)의 외측으로 상기 내측 접합부(40) 전체를 감싸는 형태의 외측 접합부(50)가 형성되는 수냉식 히트 싱크의 제조 방법에 있어서,
상부로부터 냉매가 유입되는 냉매유입구(11) 및 열교환에 사용된 냉매가 배출되는 냉매배출구(21)가 형성된 상기 상부 기판(10)을 가공하는 상부 기판 가공 단계(S10);
상기 하부 기판(20)을 가공하는 하부 기판 가공 단계(S20);
레이저 가공에 의해 상기 냉매 유입구(11)로 유입된 냉매가 기판 면적을 따라 지그 재그 형태로 전체적으로 고르게 순환된 후 배출되도록 하는 냉매 순환 유로(31)가 형성된 상기 중심 기판(30)을 가공하는 중심 기판 가공 단계(S30);
상기 상부 기판(10)과 하부 기판(20) 및 중심 기판(30)의 외형을 가공한 후 접합면을 연마하여 평탄화시키는 단계(S40);
상기 상부 기판(10)과 하부 기판(20)에 비해 작은 크기로 가공된 상기 중심 기판(30)을 상기 상부 기판(10)과 하부 기판(20) 사이에 배치하여 상기 중심 기판(30)의 외측에 단차가 유지되도록 배치하는 기판 배치 단계(S50);
상기 상부 기판(10), 하부 기판(20) 및 그 사이에 상기 중심 기판(30)이 배치된 상태에서 접합 부위를 브레이징 접합하는 1차 브레이징 접합 단계(S60); 및
상기 1차 브레이징 접합 단계(S60)에서 접합된 접합 부위 외측을 감싸도록 브레이징 접합하는 2차 브레이징 접합 단계(S70); 를 포함하고,
상기 중심 기판 가공 단계(S30)는
중심 기판(30)의 외형을 상부 기판(10)과 하부 기판(20)보다 작은 크기로 가공하는 외형 가공 단계(S31) 및 중심 기판(30)에서 냉매 순환 유로(31)가 관통되도록 가공하는 유로 가공 단계(S32)를 포함하고,
상기 2차 브레이징 접합 단계(S70)는
모재 및 상기 1차 브레이징 접합시 사용되는 필러 금속에 비하여 용융점이 낮은 필러 금속을 사용하여 1차 브레이징 접합 단계에서 접합된 부분이 용융되지 않도록 유지한 상태에서 외측으로 브레이징 접합층을 형성하는 것; 을 특징으로 하는 수냉식 히트싱크 제조 방법.
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| KR100677617B1 (ko) * | 2005-09-29 | 2007-02-02 | 삼성전자주식회사 | 히트싱크 어셈블리 |
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