KR102465117B1 - Method for manufacturing printed circuit board - Google Patents

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본 발명은 인쇄회로기판 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 인쇄회로기판 제조방법은, 캐리어부재의 일면에 시드층을 형성하여 전사필름을 제조하는 단계;와, 상기 시드층 상에 제1회로패턴을 형성하는 단계;와, 상기 제1회로패턴 상에 절연코어층 및 금속층을 형성하는 단계;와, 상기 제1회로패턴과 금속층을 전기적으로 연결하는 통전부를 형성하는 단계;와, 상기 금속층을 패터닝하여 제2회로패턴을 형성하는 단계; 및 상기 전사필름을 제거하여 제1회로패턴을 절연코어층에 전사하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a method for manufacturing a printed circuit board, and the method for manufacturing a printed circuit board according to the present invention includes the steps of forming a seed layer on one surface of a carrier member to manufacture a transfer film; and a first circuit on the seed layer. Forming a pattern; Forming an insulating core layer and a metal layer on the first circuit pattern; Forming a conductive part electrically connecting the first circuit pattern and the metal layer; And, the metal layer patterning to form a second circuit pattern; and transferring the first circuit pattern to the insulating core layer by removing the transfer film.

Description

인쇄회로기판 제조방법{METHOD FOR MANUFACTURING PRINTED CIRCUIT BOARD}Printed circuit board manufacturing method {METHOD FOR MANUFACTURING PRINTED CIRCUIT BOARD}

본 발명은 인쇄회로기판 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 시드층이 형성된 전사필름을 이용해 다층 인쇄회로기판을 용이하게 제조할 수 있으며, 정밀한 미세회로패턴을 구현할 수 있는 인쇄회로기판 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a printed circuit board, and more particularly, to a method for manufacturing a printed circuit board capable of easily manufacturing a multilayer printed circuit board using a transfer film having a seed layer and implementing a precise microcircuit pattern. it's about

일반적으로 인쇄회로기판(Printed Circuit Board)은 각종 전자부품들을 탑재하여 전기적으로 연결시켜주는 기판 형태의 전자부품이다.In general, a printed circuit board (Printed Circuit Board) is a board-type electronic component that mounts various electronic components and electrically connects them.

인쇄회로기판은 배선구조의 회로패턴 층에 따라서 단층, 양면, 다층형 등과 같이 여러 종류가 있으며, 인쇄회로기판의 적용초기에는 단면에 인쇄배선이 형성된 것과 같은 비교적 구조가 간단한 제품이 주를 이루었으나, 점차적으로 전자제품의 경량화, 소형화 및 다기능화, 복합기능화에 따라 배선밀도가 높아지고 구조가 복잡해지고 있으며, 양면, 다층형 등과 같이 다층제품으로 진화하는 추세이다.There are several types of printed circuit boards, such as single-layer, double-sided, multi-layer, etc., depending on the circuit pattern layer of the wiring structure. In the early days of the application of printed circuit boards, products with relatively simple structures such as those with printed wiring on one side were the main products. , As electronic products are gradually reduced in weight, miniaturized, multifunctional, and multifunctional, the wiring density is increasing and the structure is becoming more complex.

이와 같은 인쇄회로기판 중에서 양면 인쇄회로기판의 통상적인 제조방법을 양면 연성 인쇄회로기판을 예를 들어 설명하면 다음과 같다. Among such printed circuit boards, a typical manufacturing method of a double-sided printed circuit board will be described by taking a double-sided flexible printed circuit board as an example.

폴리이미드 필름(Polyimide Film) 혹은 폴리에스테르(Polyester)필름과 같은 절연성 필름의 양쪽면에 박막의 구리(Cu)가 각각 적층된 양면 동박적층(CCL; Copper Clad Laminate)필름 원단을 준비한 후, 상기 구리(Cu)층의 회로패턴이 형성될 부분을 전기적으로 연결하기 위하여 CCL필름의 소정의 위치에 드릴 등을 이용하여 비아홀을 형성한 다음, 이 비아홀에 도금을 행하여 구리(Cu)층이 서로 전기적으로 연결되도록 한다. 그 다음, CCL필름의 양측 구리(Cu)층에 감광성 필름을 이용하거나 액을 도포하여 각각의 구리(Cu)층을 노광, 현상, 에칭, 박리공정을 통하여 소정의 회로패턴으로 가공하는 방법으로 양면 연성 회로기판을 제작하게 된다. After preparing a copper clad laminate (CCL) film fabric in which thin copper (Cu) is laminated on both sides of an insulating film such as a polyimide film or a polyester film, the copper In order to electrically connect the part where the circuit pattern of the (Cu) layer is to be formed, a via hole is formed at a predetermined position of the CCL film using a drill or the like, and then plating is performed on the via hole to electrically connect the copper (Cu) layer to each other. make it connect Then, by using a photosensitive film or applying liquid to the copper (Cu) layer on both sides of the CCL film, each copper (Cu) layer is processed into a predetermined circuit pattern through exposure, development, etching, and peeling processes. fabrication of flexible circuit boards.

하지만, 상기와 같은 종래의 제조방법은, 고가의 동박필름을 이용해야 하므로 제조단가가 상승하게 되는 문제가 있다. 특히, 다층 인쇄회로기판의 제조시 회로를 미세하게 형성하기 어려운 문제가 있다.However, the conventional manufacturing method as described above has a problem in that manufacturing cost increases because an expensive copper foil film must be used. In particular, there is a problem in that it is difficult to finely form a circuit when manufacturing a multilayer printed circuit board.

특허문헌 1: 한국 공개특허 제10-2016-0076964호(2016.07.01)Patent Document 1: Korean Patent Publication No. 10-2016-0076964 (2016.07.01)

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 시드층이 형성된 전사필름을 이용해 다층 인쇄회로기판을 용이하게 제조할 수 있으며, 정밀한 미세회로패턴을 구현할 수 있는 인쇄회로기판 제조방법을 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to solve such conventional problems, and to manufacture a printed circuit board capable of easily manufacturing a multi-layer printed circuit board using a transfer film having a seed layer formed thereon and implementing a precise fine circuit pattern. is to provide a way

상기 목적은, 본 발명에 따라, 캐리어부재의 일면에 제1시드층을 형성하여 전사필름을 제조하는 단계; 상기 제1시드층 상에 제1회로패턴을 형성하는 단계; 상기 제1회로패턴 상에 절연코어층 및 금속층을 형성하는 단계; 상기 제1회로패턴과 상기 금속층을 전기적으로 연결하는 통전부를 형성하는 단계; 상기 금속층을 패터닝하여 제2회로패턴을 형성하는 단계; 및 상기 전사필름을 제거하여 상기 제1회로패턴을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법에 의해 달성된다.The above object, according to the present invention, by forming a first seed layer on one surface of the carrier member to prepare a transfer film; forming a first circuit pattern on the first seed layer; forming an insulating core layer and a metal layer on the first circuit pattern; forming a conductive part electrically connecting the first circuit pattern and the metal layer; patterning the metal layer to form a second circuit pattern; and removing the transfer film to transfer the first circuit pattern to the insulating core layer.

상기 전사필름을 제조하는 단계는, 상기 캐리어부재와 상기 제1시드층의 사이에 접합조절층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. The manufacturing of the transfer film may further include forming a bonding control layer between the carrier member and the first seed layer.

상기 전사필름을 제조하는 단계 이후, 제조된 한 쌍의 전사필름의 캐리어부재를 각각 접합층의 양면에 접합하는 접합단계를 더 수행할 수 있다. After the step of manufacturing the transfer film, a bonding step of bonding the carrier members of the pair of transfer films to both sides of the bonding layer may be further performed.

상기 전사필름을 제조하는 단계는, 상기 제1시드층을 형성하는 제1전도성 물질과 상이한 제2시드층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. The manufacturing of the transfer film may further include forming a second seed layer different from the first conductive material forming the first seed layer.

상기 전사필름을 제조하는 단계는, 상기 캐리어부재와 상기 제1시드층의 사이에 접합조절층을 형성하는 단계와, 상기 제1시드층을 형성하는 제1전도성 물질과 상이한 제2시드층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. The manufacturing of the transfer film may include forming a bonding control layer between the carrier member and the first seed layer, and forming a second seed layer different from the first conductive material forming the first seed layer. It may further include steps to do.

상기 전사필름을 제조하는 단계에서, 상기 제1시드층은 에칭속도가 서로 다른 2층 이상으로 형성할 수 있다.In the step of manufacturing the transfer film, the first seed layer may be formed of two or more layers having different etching rates.

상기 캐리어부재와 상기 제1시드층의 결합력은, 상기 제1시드층과 상기 제1회로패턴의 결합력에 비해 상대적으로 낮게 설정될 수 있다. A bonding force between the carrier member and the first seed layer may be set to be relatively low compared to a bonding force between the first seed layer and the first circuit pattern.

상기 제1회로패턴 형성단계는, 상기 제1시드층 상에 감광층을 형성하는 단계와, 상기 감광층 상에 패턴홈을 형성하는 단계와, 상기 패턴홈을 통해 노출된 부위에 도전성물질을 충진하여 상기 제1회로패턴을 형성하는 도전성물질 충진단계와, 상기 감광층을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.The forming of the first circuit pattern may include forming a photosensitive layer on the first seed layer, forming a pattern groove on the photosensitive layer, and filling a portion exposed through the pattern groove with a conductive material. and filling the conductive material to form the first circuit pattern and removing the photoresist layer.

상기 제1회로패턴 상에 절연코어층 및 금속층을 형성하는 단계에서, 상기 금속층을 형성하기 전에, 추가 전사필름을 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 추가 전사필름은, 캐리어부재 및 제1시드층을 포함하는 전사필름 또는 캐리어부재, 제1시드층 및 제2시드층을 포함하는 전사필름을 사용할 수 있다. In the step of forming the insulating core layer and the metal layer on the first circuit pattern, before forming the metal layer, further comprising forming an additional transfer film, wherein the additional transfer film comprises a carrier member and a first seed layer. A transfer film comprising a carrier member, a transfer film comprising a first seed layer and a second seed layer may be used.

상기 추가 전사필름을 형성하는 단계는, 상기 추가 전사필름의 제1시드층이 상기 절연코어층 상에 접촉되도록 상기추가 전사필름을 상기 절연코어층 상에 접합하는 단계와, 상기 추가 전사필름의 캐리어부재를 제거하여 상기 제1시드층을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하며, 상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사된 상기 제1시드층 상에 형성할 수 있다. The forming of the additional transfer film may include bonding the additional transfer film onto the insulating core layer so that the first seed layer of the additional transfer film contacts the insulating core layer, and the carrier of the additional transfer film. and transferring the first seed layer to the insulating core layer by removing the member, and the metal layer may be formed on the first seed layer transferred to the insulating core layer.

상기 추가 전사필름을 형성하는 단계는, 상기 추가 전사필름의 제2시드층이 상기 절연코어층 상에 접촉되도록 상기 추가 전사필름을 상기 절연코어층 상에 접합하는 단계와, 상기 추가 전사필름의 캐리어부재를 제거하여, 상기 절연코어층에 상기 추가 전사필름의 제2시드층이 접하고, 상기 추가 전사필름의 제2시드층에 상기 추가 전사필름의 제1시드층이 접하도록, 상기 추가 전사필름의 제2시드층 및 제1시드층을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하며, 상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사되어 상기 제2시드층과 접하는 상기 제1시드층 상에 형성할 수 있다. The forming of the additional transfer film may include bonding the additional transfer film onto the insulating core layer such that the second seed layer of the additional transfer film contacts the insulating core layer, and the carrier of the additional transfer film. By removing the member, the second seed layer of the additional transfer film is in contact with the insulating core layer, and the first seed layer of the additional transfer film is in contact with the second seed layer of the additional transfer film. And transferring a second seed layer and a first seed layer to the insulating core layer, wherein the metal layer is transferred to the insulating core layer and formed on the first seed layer in contact with the second seed layer. have.

상기 추가 전사필름을 형성하는 단계는, 상기 추가 전사필름의 제2시드층이 상기 절연코어층 상에 접촉되도록 상기 추가 전사필름을 상기 절연코어층 상에 접합하는 단계와, 상기 추가 전사필름의 캐리어부재를 제거하여, 상기 절연코어층에 상기 추가 전사필름의 제2시드층이 접하고, 상기 추가 전사필름의 제2시드층에 상기 추가 전사필름의 제1시드층이 접하도록, 상기 추가 전사필름의 제2시드층 및 제1시드층을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하며, 상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사되어 상기 제2시드층 상에 형성된 상기 제1시드층을 상기 제1시드층만을 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해 선택적으로 에칭 제거한 후, 상기 절연코어층에 전사된 상기 제2시드층 상에 형성할 수 있다. The forming of the additional transfer film may include bonding the additional transfer film onto the insulating core layer such that the second seed layer of the additional transfer film contacts the insulating core layer, and the carrier of the additional transfer film. By removing the member, the second seed layer of the additional transfer film is in contact with the insulating core layer, and the first seed layer of the additional transfer film is in contact with the second seed layer of the additional transfer film. and transferring a second seed layer and a first seed layer to the insulating core layer, wherein the metal layer is transferred to the insulating core layer and transfers the first seed layer formed on the second seed layer to the first seed layer. After selectively etching away using an etching solution capable of dissolving only the seed layer, it may be formed on the second seed layer transferred to the insulating core layer.

상기 제1회로패턴을 상기 절연코어층에 전사하는 단계는, 상기 제1시드층으로부터 상기 캐리어부재를 박리하는 단계와, 상기 제1시드층을 제거하는 단계를 포함할 수 있다. The transferring of the first circuit pattern to the insulating core layer may include separating the carrier member from the first seed layer and removing the first seed layer.

상기 제1시드층은 제1전도성 물질로 이루어지고, 상기 제1회로패턴은 상기 제1전도성 물질과 상이한 제2전도성 물질로 이루어지며, 상기 제1시드층을 제거하는 단계에서는, 상기 제1회로패턴을 제외하고 상기 제1시드층만을 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해 상기 제1시드층만을 선택적으로 제거할 수 있다. The first seed layer is made of a first conductive material, the first circuit pattern is made of a second conductive material different from the first conductive material, and in the step of removing the first seed layer, the first circuit pattern is made of a second conductive material different from the first conductive material. Excluding the pattern, only the first seed layer may be selectively removed using an etching solution capable of dissolving only the first seed layer.

상기 제1회로패턴을 상기 절연코어층에 전사하는 단계에서는,In the step of transferring the first circuit pattern to the insulating core layer,

상기 제1시드층만을 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해, 상기 절연코어층 및 상기 제1회로패턴에 접촉된 상태의 상기 제1시드층만을 선택적으로 에칭 제거하고, 상기 제1시드층만 에칭되면서 상기 제1시드층에 접촉된 상태였던 상기 캐리어부재가 상기 제1시드층으로부터 탈락되어, 상기 전사필름이 제거될 수 있다. Using an etching solution capable of dissolving only the first seed layer, only the first seed layer in contact with the insulating core layer and the first circuit pattern is selectively removed by etching, and only the first seed layer is etched. The carrier member in contact with the first seed layer may come off from the first seed layer, and the transfer film may be removed.

한편, 본 발명의 목적은, 접합층에 제2시드층과 제1시드층이 형성된 캐리어기판을 제조하는 단계; 상기 제1시드층 상에 제1회로패턴을 형성하는 단계; 상기 제1회로패턴 상에 절연코어층 및 금속층을 형성하는 단계; 상기 제1회로패턴과 상기 금속층을 전기적으로 연결하는 통전부를 형성하는 단계; 상기 금속층을 패터닝하여 제2회로패턴을 형성하는 단계; 및 상기 캐리어기판을 박리하는 박리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법의해서도 달성된다. On the other hand, an object of the present invention is to prepare a carrier substrate having a second seed layer and a first seed layer formed on a bonding layer; forming a first circuit pattern on the first seed layer; forming an insulating core layer and a metal layer on the first circuit pattern; forming a conductive part electrically connecting the first circuit pattern and the metal layer; patterning the metal layer to form a second circuit pattern; And it is also achieved by a printed circuit board manufacturing method comprising a peeling step of peeling the carrier substrate.

상기 캐리어기판을 제조하는 단계는, 상기 접합층과 상기 제2시드층의 사이에 접합조절층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. The manufacturing of the carrier substrate may further include forming a bonding control layer between the bonding layer and the second seed layer.

상기 캐리어기판을 제조하는 단계는, 캐리어부재의 일면에 제1시드층과 제2시드층을 형성하여 전사필름을 제조하는 단계와, 상기 전사필름의 제2시드층에 접합층을 접합하는 접합단계와, 상기 캐리어부재를 제거하여 제1시드층과 제2시드층을 접합층에 전사하는 전사단계를 포함할 수 있다. The manufacturing of the carrier substrate may include manufacturing a transfer film by forming a first seed layer and a second seed layer on one surface of a carrier member, and bonding a bonding layer to the second seed layer of the transfer film. and a transfer step of transferring the first seed layer and the second seed layer to the bonding layer by removing the carrier member.

상기 캐리어기판을 제조하는 단계는, 캐리어부재의 일면에 제1시드층과 제2시드층을 형성하여 전사필름을 제조하는 단계와, 상기 전사필름을 제조하는 단계 이후, 한 쌍의 전사필름의 제2시드층을 접합층의 양면에 각각 접합하는 접합단계와, 상기 한 쌍의 전사필름의 캐리어부재를 각각 제거하여, 상기 접합층 양면에 각각 상기 제2시드층이 접하고 상기 제2시드층 각각에 상기 제1시드층이 접하도록, 상기 접합층 양면의 각각에 상기 제1 및 제2시드층을 전사하는 전사단계를 포함할 수 있다.The manufacturing of the carrier substrate may include manufacturing a transfer film by forming a first seed layer and a second seed layer on one surface of a carrier member, and manufacturing a pair of transfer films after the manufacturing of the transfer film. A bonding step of bonding two seed layers to both sides of the bonding layer, respectively, and removing the carrier member of the pair of transfer films, so that the second seed layer is in contact with both sides of the bonding layer, respectively, and each of the second seed layers A transfer step of transferring the first and second seed layers to each of both surfaces of the bonding layer so that the first seed layer is in contact with each other may be included.

상기 캐리어기판을 제조하는 단계는, 캐리어부재 양면의 각각에 제1 및 제2시드층을 형성하여 양면 전사필름을 제조하는 단계와, 복수 마련되는 상기 양면 전사필름 사이 사이에 접합층을 각각 배치한 후 접합하는 접합단계와, 상기 캐리어부재를 각각 제거하여, 상기 접합층 양면에 각각 상기 제2시드층이 접하고 상기 제2시드층 각각에 상기 제1시드층이 접하도록, 상기 접합층 양면의 각각에 상기 제1 및 제2시드층을 전사하는 전사단계를 포함하여, 복수의 캐리어 기판을 제조할 수 있다. In the manufacturing of the carrier substrate, first and second seed layers are formed on both sides of the carrier member to prepare a double-sided transfer film, and a bonding layer is disposed between the plurality of double-sided transfer films, respectively. A bonding step of post-bonding, removing the carrier member, respectively, so that the second seed layer is in contact with both sides of the bonding layer and the first seed layer is in contact with each of the second seed layer, respectively, on both sides of the bonding layer Including a transfer step of transferring the first and second seed layers, a plurality of carrier substrates may be manufactured.

상기 캐리어기판을 제조하는 단계에서, 상기 제1시드층은 에칭속도가 서로 다른 2층 이상으로 형성할 수 있다. In the step of manufacturing the carrier substrate, the first seed layer may be formed of two or more layers having different etching rates.

상기 제1회로패턴 형성단계는, 상기 제1시드층 상에 감광층을 형성하는 단계와, 상기 감광층 상에 패턴홈을 형성하는 단계와, 상기 패턴홈을 통해 노출된 제1시드층을 제거하는 단계와, 상기 패턴홈을 통해 노출된 부위에 도전성물질을 충진하여 제1회로패턴을 형성하는 도전성물질 충진단계와, 상기 감광층을 제거하는 단계 및 상기 감광층의 제거 후 노출된 제1시드층을 제거하는 단계를 포함할 수 있다. The forming of the first circuit pattern may include forming a photoresist layer on the first seed layer, forming a pattern groove on the photoresist layer, and removing the first seed layer exposed through the pattern groove. a conductive material filling step of forming a first circuit pattern by filling a conductive material in a portion exposed through the pattern groove; removing the photoresist layer; and removing the photoresist layer and then exposed first seed It may include removing the layer.

상기 캐리어기판을 박리하는 박리단계는, 상기 제2시드층으로부터 상기 접합층을 박리하는 단계와, 상기 제2시드층을 제거하는 단계를 포함할 수 있다. The peeling step of peeling the carrier substrate may include peeling the bonding layer from the second seed layer and removing the second seed layer.

상기 제1회로패턴 상에 절연코어층 및 금속층을 형성하는 단계에서, 상기 금속층 형성에 앞서, 추가 전사필름을 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 추가 전사필름은, 캐리어부재 및 제1시드층을 포함하는 전사필름 또는 캐리어부재, 제1시드층 및 제2시드층을 포함하는 전사필름을 사용할 수 있다. In the step of forming the insulating core layer and the metal layer on the first circuit pattern, the step of forming an additional transfer film prior to the formation of the metal layer is further included, wherein the additional transfer film comprises a carrier member and a first seed layer. A transfer film including a transfer film or a carrier member, a transfer film including a first seed layer and a second seed layer may be used.

상기 추가 전사필름을 형성하는 단계는, 상기 추가 전사필름의 제 1시드층이 상기 절연코어층 상에 접촉되도록 상기추가 전사필름을 상기 절연코어층 상에 접합하는 단계와, 상기 추가 전사필름의 캐리어부재를 제거하여 상기 제1시드층을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하며, 상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사된 상기 제1시드층 상에 형성할 수 있다. The forming of the additional transfer film may include bonding the additional transfer film onto the insulating core layer such that the first seed layer of the additional transfer film contacts the insulating core layer, and the carrier of the additional transfer film and transferring the first seed layer to the insulating core layer by removing the member, and the metal layer may be formed on the first seed layer transferred to the insulating core layer.

상기 추가 전사필름을 형성하는 단계는, 상기 추가 전사필름의 제 2시드층이 상기 절연코어층 상에 접촉되도록 상기추가 전사필름을 상기 절연코어층 상에 접합하는 단계와, 상기 추가 전사필름의 캐리어부재를 제거하여, 상기 절연코어층에 상기 추가 전사필름의 제2시드층이 접하고, 상기 추가 전사필름의 제2시드층에 상기 추가 전사필름의 제1시드층이 접하도록, 상기 추가 전사필름의 제2시드층 및 제1시드층을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하며, 상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사되어 상기 제2시드층과 접하는 상기 제1시드층 상에 형성할 수 있다. The forming of the additional transfer film may include bonding the additional transfer film onto the insulating core layer such that the second seed layer of the additional transfer film contacts the insulating core layer, and the carrier of the additional transfer film. By removing the member, the second seed layer of the additional transfer film is in contact with the insulating core layer, and the first seed layer of the additional transfer film is in contact with the second seed layer of the additional transfer film. And transferring a second seed layer and a first seed layer to the insulating core layer, wherein the metal layer is transferred to the insulating core layer and formed on the first seed layer in contact with the second seed layer. have.

상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사되어 상기 제2시드층 상에 형성된 상기 제1시드층을 상기 제1시드층만을 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해 선택적으로 에칭 제거한 후, 상기 절연코어층에 전사된 상기 제2시드층 상에 형성할 수 있다. The metal layer is transferred to the insulating core layer and the first seed layer formed on the second seed layer is selectively etched away using an etching solution capable of dissolving only the first seed layer, and then applied to the insulating core layer. It may be formed on the transferred second seed layer.

상기 제1시드층은 제1전도성 물질로 이루어지고, 상기 제1회로패턴 및 상기 제2시드층은 상기 제1전도성 물질과 상이한 제2전도성 물질로 이루어지며, 상기 제1회로패턴 및 상기 제2시드층을 제외하고 상기 제1시드층만을 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해 상기 제1시드층만을 선택적으로 제거할 수 있다. The first seed layer is made of a first conductive material, the first circuit pattern and the second seed layer are made of a second conductive material different from the first conductive material, and the first circuit pattern and the second seed layer are made of a second conductive material. Excluding the seed layer, only the first seed layer may be selectively removed using an etching solution capable of dissolving only the first seed layer.

상기 제1시드층은 은(Ag) 재질로 형성될 수 있다. The first seed layer may be formed of a silver (Ag) material.

상기 제2시드층은 구리 또는 알루미늄으로 형성될 수 있다.The second seed layer may be formed of copper or aluminum.

한편, 본 발명의 목적은, 절연코어층의 양면에 제1시드층이 각각 형성된 코어기판을 준비하는 단계; 상기 코어기판을 관통하는 비아홀을 형성하는 천공단계; 상기 코어기판의 양면에 제1회로패턴과 제2회로패턴을 형성하고, 상기 비아홀에 양면의 제1회로패턴과 제2회로패턴을 전기적으로 연결하는 통전부를 형성하는 회로패턴 형성단계; 및 상기 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 제1시드층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법에 의해서도 달성된다. Meanwhile, an object of the present invention is to prepare a core substrate on which first seed layers are respectively formed on both sides of an insulating core layer; a drilling step of forming a via hole penetrating the core substrate; a circuit pattern forming step of forming a first circuit pattern and a second circuit pattern on both sides of the core substrate, and forming a conductive part electrically connecting the first circuit pattern and the second circuit pattern on both sides to the via hole; and removing the first seed layer exposed through the portion where the first circuit pattern and the second circuit pattern are not formed.

상기 코어기판을 준비하는 단계는 상기 절연코어층의 양면에 상기 제1시드층을 각각 차례로 적층하기 전에, 상기 제1시드층과 접하는 접합조절층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. The preparing of the core substrate may further include forming a bonding control layer in contact with the first seed layer before sequentially stacking the first seed layers on both sides of the insulating core layer.

한편, 본 발명의 목적은, 절연코어층의 양면에 제2시드층 및 제1시드층이 각각 차례로 적층된 코어기판을 준비하는 단계; 상기 코어기판을 관통하는 비아홀을 형성하는 천공단계; 상기 코어기판의 양면에 제1회로패턴과 제2회로패턴을 형성하고, 상기 비아홀에 양면의 제1회로패턴과 제2회로패턴을 전기적으로 연결하는 통전부를 형성하는 회로패턴 형성단계; 상기 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 제1시드층을 제거하는 단계; 및 상기 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 제2시드층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법에 의해서도 달성된다.Meanwhile, an object of the present invention is to prepare a core substrate in which a second seed layer and a first seed layer are sequentially stacked on both sides of an insulating core layer; a drilling step of forming a via hole penetrating the core substrate; a circuit pattern forming step of forming a first circuit pattern and a second circuit pattern on both sides of the core substrate, and forming a conductive part electrically connecting the first circuit pattern and the second circuit pattern on both sides to the via hole; removing the first seed layer exposed through the portion where the first circuit pattern and the second circuit pattern are not formed; and removing the second seed layer exposed through the portion where the first circuit pattern and the second circuit pattern are not formed.

상기 코어기판을 준비하는 단계는 상기 절연코어층의 양면에 제2 및 제1시드층을 각각 차례로 적층하기 전에, 상기 제1시드층과 접하는 접합조절층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. The preparing of the core substrate may further include forming a bonding control layer in contact with the first seed layer before sequentially stacking second and first seed layers on both sides of the insulating core layer, respectively.

한편, 본 발명의 목적은, 절연코어층의 양면에 제2시드층 및 제1시드층이 각각 차례로 적층된 코어기판을 준비하는 단계; 상기 제1시드층을 제거하는 단계; 상기 코어기판을 관통하는 비아홀을 형성하는 천공단계; 상기 코어기판의 양면에 제1회로패턴과 제2회로패턴을 형성하고, 상기 비아홀에 양면의 제1회로패턴과 제2회로패턴을 전기적으로 연결하는 통전부를 형성하는 회로패턴 형성단계; 및 상기 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 제2시드층을 제거하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 제조방법에 의해서도 달성된다. Meanwhile, an object of the present invention is to prepare a core substrate in which a second seed layer and a first seed layer are sequentially stacked on both sides of an insulating core layer; removing the first seed layer; a drilling step of forming a via hole penetrating the core substrate; a circuit pattern forming step of forming a first circuit pattern and a second circuit pattern on both sides of the core substrate, and forming a conductive part electrically connecting the first circuit pattern and the second circuit pattern on both sides to the via hole; and removing the second seed layer exposed through the portion where the first circuit pattern and the second circuit pattern are not formed.

상기 코어기판을 준비하는 단계는 상기 절연코어층의 양면에 제2 및 제1시드층을 각각 차례로 적층하기 전에, 상기 제1시드층과 접하는 접합조절층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. The preparing of the core substrate may further include forming a bonding control layer in contact with the first seed layer before sequentially stacking second and first seed layers on both sides of the insulating core layer, respectively.

상기 코어기판을 준비하는 단계는, 캐리어부재의 일면에 제1시드층과 제2시드층을 형성하여 전사필름을 제조하는 단계와, 상기 전사필름을 제조하는 단계 이후, 한 쌍의 전사필름의 제2시드층을 상기절연코어층의 양면에 각각 접합하는 접합단계와, 상기 한 쌍의 전사필름의 캐리어부재를 각각 제거하여, 상기 절연코어층 양면에 각각 상기 제2시드층이 접하고 상기 제2시드층 각각에 상기 제1시드층이 접하도록, 상기 절연코어층 양면의 각각에 상기 제1 및 제2시드층을 전사하는 전사단계를 포함할 수 있다. The step of preparing the core substrate includes the step of forming a first seed layer and a second seed layer on one surface of a carrier member to prepare a transfer film, and after the step of preparing the transfer film, the step of preparing a pair of transfer films. A bonding step of bonding two seed layers to both sides of the insulating core layer, respectively, and removing the carrier member of the pair of transfer films, so that the second seed layer is in contact with both sides of the insulating core layer, respectively, and the second seed layer A transfer step of transferring the first and second seed layers to each of both surfaces of the insulating core layer so that the first seed layer comes into contact with each layer may be included.

상기 캐리어부재와 제1시드층의 결합력은 상기 제1시드층과 제2시드층의 결합력에 비해 상대적으로 낮게 설정될 수 있다. The bonding strength between the carrier member and the first seed layer may be set to be relatively low compared to the bonding strength between the first seed layer and the second seed layer.

상기 코어기판을 준비하는 단계는, 캐리어부재 양면의 각각에 제1 및 제2시드층을 형성하여 양면 전사필름을 제조하는 단계와, 복수 마련되는 상기 양면 전사필름 사이 사이에 절연코어층을 각각 배치한 후 접합하는 접합단계와, 상기 캐리어부재를 각각 제거하여, 상기 절연코어층 양면에 각각 상기 제2시드층이 접하고 상기 제2시드층 각각에 상기 제1시드층이 접하도록, 상기 절연코어층 양면의 각각에 상기 제1 및 제2시드층을 전사하는 전사단계를 포함하여, 복수의 코어기판을 제조할 수 있다. In the preparing of the core substrate, first and second seed layers are formed on both sides of the carrier member to prepare a double-sided transfer film, and an insulating core layer is disposed between the plurality of double-sided transfer films. and a bonding step of bonding after bonding, removing the carrier member, respectively, so that the second seed layer is in contact with both sides of the insulation core layer and the first seed layer is in contact with each of the second seed layer, the insulation core layer A plurality of core substrates may be manufactured by including a transfer step of transferring the first and second seed layers to each of both surfaces.

상기 캐리어부재와 제1시드층의 결합력은 상기 제1시드층과 제2시드층의 결합력에 비해 상대적으로 낮게 설정될 수 있다. The bonding strength between the carrier member and the first seed layer may be set to be relatively low compared to the bonding strength between the first seed layer and the second seed layer.

상기 코어기판을 제조하는 단계에서, 상기 제1시드층은 에칭속도가 서로 다른 2층 이상으로 형성할 수 있다.In the step of manufacturing the core substrate, the first seed layer may be formed of two or more layers having different etching rates.

상기 제1시드층을 제거하는 단계에서는, 상기 제1시드층만 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해 제1시드층을 용해시킬 수 있다. In the step of removing the first seed layer, the first seed layer may be dissolved using an etching solution capable of dissolving only the first seed layer.

상기 회로패턴 형성단계는, 상기 절연코어층의 양면에 위치한 제1시드층 상에 감광층을 형성하는 감광층 형성단계와, 상기 감광층을 부분적으로 제거하여 상기 비아홀이 형성된 부분과 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성될 부분에 패턴홈을 형성하는 패턴홈 형성단계와, 상기 패턴홈을 통해 노출된 부위에 도전성물질을 충진하여, 상기 절연코어층 양면의 제1시드층에 제1회로패턴과 제2회로패턴을 각각 형성하고, 상기 비아홀의 내벽면에 통전부를 형성하는 도전성물질 충진단계와, 상기 감광층을 제거하는 감광층 제거단계를 포함할 수 있다. The circuit pattern forming step includes a photosensitive layer forming step of forming a photosensitive layer on the first seed layer located on both sides of the insulating core layer, and partially removing the photosensitive layer to form the via hole and the first circuit pattern and a pattern groove forming step of forming a pattern groove in a portion where a second circuit pattern is to be formed, and filling a portion exposed through the pattern groove with a conductive material to form a first circuit in the first seed layer on both sides of the insulating core layer. The method may include forming a pattern and a second circuit pattern, respectively, a conductive material filling step of forming a conductive part on an inner wall surface of the via hole, and a photoresist layer removing step of removing the photoresist layer.

상기 회로패턴 형성단계는, 상기 감광층 형성단계에 앞서, 상기 제1시드층의 외표면 및 비아홀의 내벽면에 도전막을 형성하는 도전막 형성단계를 더 수행할 수 있다. In the circuit pattern forming step, prior to the photoresist layer forming step, a conductive film forming step of forming a conductive film on an outer surface of the first seed layer and an inner wall surface of the via hole may be further performed.

상기 회로패턴 형성단계는, 상기 절연코어층의 양면에 위치한 제2시드층 상에 감광층을 형성하는 단계와, 상기 감광층을 부분적으로 제거하여 상기 비아홀이 형성된 부분과 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성될 부분에 패턴홈을 형성단계와, 상기 패턴홈을 통해 노출된 부위에 도전성 물질을 충진하여, 상기 절연코어층 양면의 제2시드층에 제1회로패턴과 제2회로패턴을 각각 형성하고, 상기 비아홀의 내벽면에 통전부를 형성하는 도전성물질 충진단계와, 상기 감광층을 제거하는 단계를 포함할 수 있다. The circuit pattern forming step may include forming a photosensitive layer on the second seed layer located on both sides of the insulating core layer, and partially removing the photosensitive layer to form the via hole, the first circuit pattern, and the second A first circuit pattern and a second circuit pattern are formed in a second seed layer on both sides of the insulating core layer by forming a pattern groove in a portion where a circuit pattern is to be formed, and filling a portion exposed through the pattern groove with a conductive material. A step of forming each via hole and filling the via hole with a conductive material to form a conducting part on an inner wall surface of the via hole and removing the photoresist layer may be included.

상기 회로패턴 형성단계는, 상기 감광층 형성단계에 앞서, 상기 제2시드층의 외표면 및 비아홀의 내벽면에 도전막을 형성하는 단계를 더 수행할 수 있다. In the circuit pattern forming step, prior to the photoresist layer forming step, a step of forming a conductive film on an outer surface of the second seed layer and an inner wall surface of the via hole may be further performed.

상기 제1회로패턴과 제2회로패턴 상에 빌드업층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. The method may further include forming a build-up layer on the first circuit pattern and the second circuit pattern.

상기 빌드업층을 형성하는 단계는, 상기 제1회로패턴과 제2회로패턴 상에 절연층 및 추가시드층을 형성하는 단계와, 상기 제1회로패턴과 제2회로패턴의 일부가 노출되도록 상기 추가시드층과 절연층을 관통하는 비아홀을 형성하는 단계와, 상기 추가 시드층 상에 감광층을 형성하는 감광층 형성단계와, 상기 감광층 상에 패턴홈을 형성하는 패턴홈 형성단계와, 상기 패턴홈을 통해 노출된 부위에 도전성물질을 충진하여 회로패턴을 형성하는 도전성물질 충진단계와, 상기 감광층을 제거하는 감광층 제거단계와, 상기 회로패턴이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 추가시드층을 제거하는 단계를 포함할 수 있다. The forming of the build-up layer may include forming an insulating layer and an additional seed layer on the first and second circuit patterns, and the addition of the additional seed layer so that portions of the first and second circuit patterns are exposed. Forming a via hole penetrating the seed layer and the insulating layer; Forming a photosensitive layer on the additional seed layer; Forming a pattern groove on the photosensitive layer; Forming a pattern groove on the photosensitive layer; A conductive material filling step of forming a circuit pattern by filling the portion exposed through the groove with a conductive material, a photoresist layer removal step of removing the photoresist layer, and an additional seed layer exposed through the portion where the circuit pattern is not formed. It may include the step of removing.

상기 빌드업층을 형성하는 단계는, 상기 감광층 형성단계에 앞서, 상기 추가시드층의 외표면 및 비아홀의 내벽면에 도전막을 형성하는 단계를 더 수행할 수 있다. In the step of forming the buildup layer, prior to the step of forming the photoresist layer, a step of forming a conductive film on an outer surface of the additional seed layer and an inner wall surface of the via hole may be further performed.

본 발명에 따르면, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 시드층이 형성된 전사필름을 이용해 다층 인쇄회로기판을 용이하게 제조할 수 있으며, 정밀한 미세회로패턴을 구현할 수 있는 인쇄회로기판 제조방법이 제공된다.According to the present invention, an object of the present invention is to solve such conventional problems, and a multilayer printed circuit board can be easily manufactured using a transfer film on which a seed layer is formed, and printing capable of implementing precise microcircuit patterns A method for manufacturing a circuit board is provided.

도 1은 본 발명에 적용되는 전사필름의 다양한 형태를 나타낸 단면도,
도 2 내지 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도,
도 4 내지 도 5는 본 발명의 제1실시예의 제1변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.
도 6 내지 도 7은 본 발명의 제1실시예의 제2변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.
도 8 내지 도 9는 본 발명의 제1실시예의 제3변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도,
도 10 내지 도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도,
도 12 내지 도 13은 본 발명의 제2실시예의 제1변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도,
도 14는 본 발명의 제2실시예의 제2변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도,
도 15 내지 도 16은 본 발명의 제3실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도,
도 17 내지 도 18은 본 발명의 제3실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 빌드업층 형성단계를 나타낸 공정별 단면도,
도 19 내지 도 20은 본 발명의 제3실시예의 제1변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도,
도 21 내지 도 22는 본 발명의 제4실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도,
도 23 내지 도 24는 본 발명의 제4실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 빌드업층 형성단계를 나타낸 공정별 단면도이고,
도 25는 본 발명의 제3 및 제4실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 코어기판을 제조하는 단계를 나타낸 공정별 단면도이다.
1 is a cross-sectional view showing various types of transfer films applied to the present invention;
2 to 3 are cross-sectional views for each process of a method for manufacturing a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention;
4 and 5 are cross-sectional views of each process of a method for manufacturing a printed circuit board according to a first modified example of the first embodiment of the present invention.
6 and 7 are cross-sectional views of each process of a printed circuit board manufacturing method according to a second modified example of the first embodiment of the present invention.
8 to 9 are cross-sectional views for each process of a printed circuit board manufacturing method according to a third modified example of the first embodiment of the present invention;
10 to 11 are cross-sectional views for each process of a method for manufacturing a printed circuit board according to a second embodiment of the present invention;
12 to 13 are cross-sectional views for each process of a printed circuit board manufacturing method according to a first modified example of the second embodiment of the present invention;
14 is a cross-sectional view for each process of a printed circuit board manufacturing method according to a second modified example of the second embodiment of the present invention;
15 to 16 are cross-sectional views for each process of a method for manufacturing a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention;
17 to 18 are cross-sectional views of each process of forming a build-up layer in a method for manufacturing a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention;
19 to 20 are cross-sectional views for each process of a method for manufacturing a printed circuit board according to a first modified example of the third embodiment of the present invention;
21 and 22 are cross-sectional views for each process of a method for manufacturing a printed circuit board according to a fourth embodiment of the present invention;
23 to 24 are cross-sectional views of each process of forming a build-up layer in a method for manufacturing a printed circuit board according to a fourth embodiment of the present invention;
25 is a cross-sectional view of each process of manufacturing a core substrate of the printed circuit board manufacturing method according to the third and fourth embodiments of the present invention.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.Prior to description, in various embodiments, components having the same configuration are typically described in the first embodiment using the same reference numerals, and in other embodiments, components different from those of the first embodiment will be described. do.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a method for manufacturing a printed circuit board according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부도면 중, 도 1은 본 발명에 적용되는 전사필름의 다양한 형태를 나타낸 단면도이고, 도 2 내지 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.Among the accompanying drawings, FIG. 1 is a cross-sectional view showing various forms of a transfer film applied to the present invention, and FIGS. 2 and 3 are cross-sectional views of each process of a printed circuit board manufacturing method according to a first embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법은, 전사필름을 제조하는 단계(S110), 제1회로패턴 형성단계(S120), 절연코어층 및 금속층 형성단계(S130), 통전부 형성단계(S140), 제2회로패턴 형성단계(S150), 전사단계(S160)를 포함한다.As shown in FIGS. 2 and 3, the method for manufacturing a printed circuit board according to the first embodiment of the present invention includes a step of manufacturing a transfer film (S110), a step of forming a first circuit pattern (S120), and an insulating core layer. and forming a metal layer (S130), forming a conducting part (S140), forming a second circuit pattern (S150), and transferring (S160).

상기 전사필름을 제조하는 단계(S110)에 있어서, 전사필름(10)은 도 1의 (a)와 같이 캐리어부재(11) 및 제1시드층(12)으로 구성될 수도 있으며, 상기 캐리어부재(11)는 평활도가 우수하면서도, 제1시드층(12)으로부터 쉽게 박리될 수 있는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.In the step of manufacturing the transfer film (S110), the transfer film 10 may be composed of a carrier member 11 and a first seed layer 12 as shown in (a) of FIG. 1, and the carrier member ( 11) is preferably made of a material that can be easily separated from the first seed layer 12 while having excellent smoothness.

한편, 전사필름(10)의 제1시드층(12)은 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이 1층으로 형성될 수도 있고, 도 1의 (b)에서와 같이, 2층 또는 2층 이상으로 다층 구성할 수도 있다. 여기서, 복수 회 코팅으로 복수 층으로 형성하는 경우 핀홀 형성을 억제할 수도 있다.On the other hand, the first seed layer 12 of the transfer film 10 may be formed of one layer as shown in FIG. 1 (a), or two layers or two layers as shown in FIG. 1 (b). The above multi-layer configuration may also be possible. Here, pinhole formation may be suppressed when forming a plurality of layers by coating a plurality of times.

또한, 도 1의 (b)에서와 같이, 2층으로 형성되는 경우 2층은 서로 다른 특성으로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, as in (b) of FIG. 1, when formed in two layers, it is preferable that the two layers are formed with different characteristics.

캐리어부재(11) 상에 형성되는 하부 제1시드층(12b)은, 캐리어부재(11)와 하부 제1시드층(12b)이 초기에 부착상태를 유지하고 있을 때의 초기 부착 유지력 및 추후 하부 제1시드층(12b)로부터 캐리어부재(11)가 박리될 때의 박리/이형력에 있어서 우수한 특성을 갖는 층으로 구현되는 것이 바람직하다. The lower first seed layer 12b formed on the carrier member 11 has an initial attachment holding force when the carrier member 11 and the lower first seed layer 12b are initially attached, and the lower first seed layer 12b later. It is preferable to implement a layer having excellent characteristics in peeling/release force when the carrier member 11 is peeled from the first seed layer 12b.

이와는 달리, 제1회로패턴(30) 및 절연코어층(40)에 접하는 상부 제1시드층(12a)은, 하부 제1시드층(12b) 보다 빠른 에칭속도와 낮은 저항의 특성을 갖는 층으로 구현되는 것이 바람직하다. 또한 상부 제1시드층(12a)은 하부 제1시드층(12b) 보다 높은 표면반사율의 특성을 갖는 것이 바람직할 수 있다.Unlike this, the upper first seed layer 12a in contact with the first circuit pattern 30 and the insulating core layer 40 is a layer having a faster etching rate and lower resistance than the lower first seed layer 12b. It is desirable to implement Also, the upper first seed layer 12a may preferably have a higher surface reflectance than the lower first seed layer 12b.

이와 같이, 상부 및 하부 제1시드층(12a, 12b)이 서로 다른 특성을 갖도록, 2층의 양자 바인더 수지 함량을 달리하여 층을 달리 형성할 수도 있고, 바인더 수지의 종류를 달리 선택하여 다른 종류의 바인더 수지를 이용하여 층을 형성할 수도 있고, 바인더 수지 없는 순수 은(Ag) 잉크를 사용하여 층을 형성할 수도 있고, 각 층의 경도를 달리할 수도 있고, 두께를 달리할 수도 있다.As such, so that the upper and lower first seed layers 12a and 12b have different characteristics, different layers may be formed by varying the content of both binder resins in the two layers, and different types of binder resins may be selected differently. A layer may be formed using a binder resin of a binder resin, a layer may be formed using pure silver (Ag) ink without a binder resin, and each layer may have different hardness or thickness.

구체적으로는 상부 및 하부 제1시드층(12a, 12b)이 은(Ag) 나노 입자를 바인더 수지에 분산시켜 제조한 은(Ag) 페이스트로 형성하는 경우, 하부 제1시드층(12b) 보다 상부 제1시드층(12a)의 바인더 수지 함량을 최소화하는 것으로 2층을 달리하여 에칭 시 하부 제1시드층(12b) 보다 상부 제1시드층(12a)의 빠른 제거가 가능한 층으로 구성할 수 있다. 또한 이 경우, 바인더 수지의 함량이 적기 때문에 시드층 제거단계(S162, 도 3의 (j) 참조)를 통해 제1시드층(12)을 제거한 후 절연코어층(40)과 제1회로패턴(30)에 바인더 수지 잔사가 남지 않고 깨끗하게 제거되어 제1회로패턴(30)의 오염되는 것을 방지할 수 있게 된다.Specifically, when the upper and lower first seed layers 12a and 12b are formed of silver (Ag) paste prepared by dispersing silver (Ag) nanoparticles in a binder resin, the upper and lower first seed layers 12b By minimizing the binder resin content of the first seed layer 12a, it is possible to configure the upper first seed layer 12a as a layer that can be removed more quickly than the lower first seed layer 12b during etching by differentiating the two layers. . In addition, in this case, since the content of the binder resin is small, after removing the first seed layer 12 through the seed layer removing step (S162, see (j) of FIG. 3), the insulating core layer 40 and the first circuit pattern ( 30), it is possible to prevent contamination of the first circuit pattern 30 by being cleanly removed without leaving any residue of the binder resin.

또는 전술한 바와 같이 각 층의 경도를 달리 하여 핫프레스(Hot press) 등의 기판 제작 공정에서의 상부 및 하부 제1시드층(12a, 12b)의 변형을 최소화 할 수 있고, 각 층의 두께를 달리하여 이형력 개선, 선택적 에칭력 개선 등의 특성을 확보할 수도 있다. Alternatively, as described above, by varying the hardness of each layer, deformation of the upper and lower first seed layers 12a and 12b in a substrate manufacturing process such as hot press can be minimized, and the thickness of each layer can be minimized Alternatively, characteristics such as improved release force and selective etching force may be secured.

한편, 전사필름(10)은, 도 1의 (c)에서와 같이 캐리어부재(11), 접착조절층(14) 및 제1시드층(12)으로 구성될 수 있고, 도 1의 (d)에서와 같이 캐리어부재(11), 제1시드층(12) 및 제2시드층(13)으로 구성될 수 있고, 도 1의 (e)에서와 같이 캐리어부재(11), 접착조절층(14), 제1시드층(12) 및 제2시드층(13)으로 구성될 수 있다.On the other hand, the transfer film 10 may be composed of a carrier member 11, an adhesion control layer 14 and a first seed layer 12, as shown in (c) of FIG. 1, and (d) of FIG. As in, it may be composed of a carrier member 11, a first seed layer 12 and a second seed layer 13, and as shown in (e) of FIG. 1, the carrier member 11 and the adhesion control layer 14 ), it may be composed of a first seed layer 12 and a second seed layer 13.

여기서, 상기 캐리어부재(11)는 폴리이미드(PI; Polyimide), 및/또는 나일론일 수도 있고, 금속 캐리어층으로 이루어질 수 있다. 이러한 금속 캐리어층은, 다양한 종류의 예컨대 구리, 알루미늄 등의 메탈 시트일 수 있으며, 한 예로 구리(Cu)시트인 것이 바람직하나 이로 한정되는 것은 아니며, 두께의 경우 18㎛인 것이 바람직하나 이로 한정되는 것은 아니며, 다양한 두께로 적용 가능할 수 있다. Here, the carrier member 11 may be made of polyimide (PI) and/or nylon, or may be formed of a metal carrier layer. This metal carrier layer may be various types of metal sheets, such as copper and aluminum, for example, preferably a copper (Cu) sheet, but is not limited thereto, and preferably has a thickness of 18 μm, but is limited thereto. It is not, and may be applicable in various thicknesses.

여기서, 접착조절층(14)은 캐리어부재(11)와 제1시드층(12)이 제조 공정이 진행되는 동안에 서로 접착되어 있을 정도의 접착성을 유지하면서도 추후 캐리어부재(11)를 분리하는 단계에서 잘 분리될 수 있는 이형력을 확보하기 위해 형성한 층이다. 이러한 접착조절층(14)은 예컨대 우레탄 수지, 에폭시 수지, 폴리이미드, 에스테르 수지 등의 고분자 수지에, 이형력 조절을 위한 첨가제 및 충진제를 포함하여 형성할 수 있다. 접착 조절층의 이형력(인장 박리강도)은, 0.005kgf/cm~0.5kgf/cm일 수 있으며, 바람직하게는 0.01kgf/cm~0.05 kgf/일 수 있다. Here, the adhesion control layer 14 is a step of separating the carrier member 11 later while maintaining the adhesiveness to the extent that the carrier member 11 and the first seed layer 12 are adhered to each other during the manufacturing process. It is a layer formed to secure the release force that can be well separated from the The adhesion control layer 14 may be formed by including, for example, a polymer resin such as a urethane resin, an epoxy resin, a polyimide resin, an ester resin, and an additive and a filler for controlling a release force. The release force (tensile peel strength) of the adhesion control layer may be 0.005 kgf/cm to 0.5 kgf/cm, preferably 0.01 kgf/cm to 0.05 kgf/cm.

한편, 도 1의 (d), (e)의 제2시드층(13)의 경우, 다양한 금속으로 층을 형성할 수 있으나, 한 예로 구리(Cu)로 형성할 수 있고, 이로 한정되는 것은 아니며, 두께는1~5㎛인 것이 바람직하나, 이로 한정되는 것은 아니며, 다양한 두께로 적용 가능할 수 있다.On the other hand, in the case of the second seed layer 13 in (d) and (e) of FIG. 1, the layer may be formed of various metals, but may be formed of copper (Cu) as an example, and is not limited thereto. , The thickness is preferably 1 to 5 μm, but is not limited thereto, and may be applicable to various thicknesses.

이와 같은 전사필름(10)을 제조하는 단계의 한 예로서, 도 2의 (a)와 같이 전사필름을 제조하는 단계(S110)에서는, 표면평활도가 우수한 캐리어부재(11)에 은(Ag) 재질로 이루어진 제1전도성 물질을 코팅하여 제1시드층(12)을 형성한다.As an example of the step of manufacturing the transfer film 10, in the step of manufacturing the transfer film (S110) as shown in (a) of FIG. 2, the carrier member 11 having excellent surface smoothness is made of silver (Ag) material The first seed layer 12 is formed by coating a first conductive material made of.

상기 제1시드층(12)은 코팅, 스크린인쇄, 스퍼터링, 화학증착법, 전해도금, 무전해도금 등의 방법으로 캐리어부재(11) 상에 형성할 수 있으며, 상기 제1전도성물질은 은(Ag) 나노 입자를 열경화수지에 분산시켜 제조한 은(Ag) 페이스트로 이루어질 수 있다. 여기서, 제1시드층(12)을 은(Ag)으로 형성하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 추후 에칭을 고려하여 제1시드층(12)을 형성하는 금속이 회로패턴을 형성하는 금속과 다른 종류의 금속이라면 다양하게 적용될 수 있다.The first seed layer 12 may be formed on the carrier member 11 by a method such as coating, screen printing, sputtering, chemical vapor deposition, electrolytic plating, or electroless plating, and the first conductive material is silver (Ag). ) may be made of a silver (Ag) paste prepared by dispersing nanoparticles in a thermosetting resin. Here, the first seed layer 12 is formed of silver (Ag), but it is not limited thereto, and the metal forming the first seed layer 12 is of a different type from the metal forming the circuit pattern in consideration of later etching. If it is a metal, it can be applied in various ways.

상기 제1회로패턴 형성단계(S120)에서는, 상기 제1시드층(12) 상에 제1회로패턴(30)을 형성한다.In the first circuit pattern forming step ( S120 ), a first circuit pattern 30 is formed on the first seed layer 12 .

구체적으로, 상기 제1회로패턴 형성단계(S120)는, 상기 제1시드층(12) 상에 감광층(20)을 형성하는 단계(S121)와, 상기 감광층(20)에 패턴홈(21)을 형성하는 단계(S122)와, 상기 패턴홈(21)에 전도성 물질을 충진하는 단계(S123)와, 상기 감광층을 제거하는 단계(S124)를 포함한다.Specifically, the first circuit pattern forming step (S120) includes forming the photosensitive layer 20 on the first seed layer 12 (S121), and pattern grooves 21 in the photosensitive layer 20. ) (S122), filling the pattern grooves 21 with a conductive material (S123), and removing the photosensitive layer (S124).

상기 감광층을 형성하는 단계(S121)에서는, 도 2의 (b)와 같이 상기 시드층 (12)상에 감광층(20)을 형성한다. 감광층(20)은 제1시드층(12) 상에 회로패턴을 형성하기 위한 사전 단계이다. 감광층을 형성하는 단계(S121)에서는 일반적인 감광성 드라이필름(Dry Film)을 합지하여 진행하는 방법과 감광성 에칭(Photo Etching) 레지스트 잉크를 도포하여 형성하는 방법 등, 당 기술분야에서 널리 알려진 공정을 통하여 감광층(20)을 형성할 수 있다.In the step of forming the photosensitive layer (S121), the photosensitive layer 20 is formed on the seed layer 12 as shown in FIG. 2(b). The photoresist layer 20 is a preliminary step for forming a circuit pattern on the first seed layer 12 . In the step of forming the photosensitive layer (S121), through a process widely known in the art, such as a method of laminating a general photosensitive dry film and a method of applying and forming a photosensitive etching resist ink. A photosensitive layer 20 may be formed.

상기 패턴홈 형성단계(S122)에서는, 도 2의 (c)와 같이 노광 및 현상공정 등을 통해 감광층(20)을 부분적으로 제거하여 회로패턴이 형성될 부분에 패턴홈(21)을 형성한다.In the pattern groove forming step (S122), the photosensitive layer 20 is partially removed through an exposure and development process as shown in FIG. .

여기서, 은(Ag) 재질의 제1시드층(12) 위에 감광층(20)을 형성한 후, 도 2의 (c)와 같이 노광 및 현상공정 등을 통해 감광층(20)을 부분적으로 제거하여 회로패턴이 형성될 부분에 패턴홈(21)을 형성할 수 있다. 이러한 경우, 은(Ag) 재질의 제1시드층(12)이 감광층(20)의 UV 경화 조건에서의 반사효율이 매우 좋기 때문에, 구체적으로 은(Ag)이 가지고 있는 기본적인 자체 특성으로 반사효율이 높고, 은(Ag)의 표면조도가 우수함에 따라, UV 경화 조건에서 정반사효율이 우수하기 때문에 직진도가 향상되어 패턴홈(21)이 매우 매끄럽고 균일하며, 직진도가 매우 우수한 형태로 형성될 수 있다.Here, after forming the photosensitive layer 20 on the first seed layer 12 made of silver (Ag), the photosensitive layer 20 is partially removed through exposure and development processes, etc., as shown in (c) of FIG. Thus, a pattern groove 21 may be formed in a portion where a circuit pattern is to be formed. In this case, since the first seed layer 12 made of silver (Ag) has very good reflection efficiency under the UV curing condition of the photosensitive layer 20, the reflection efficiency is specifically a basic self-property of silver (Ag) As the surface roughness of silver (Ag) is high and the surface roughness of silver (Ag) is excellent, the straightness is improved because the specular reflection efficiency is excellent under UV curing conditions, so that the pattern grooves 21 are very smooth and uniform, and the straightness is very good. can

기존에 일반적인 방식으로 회로패턴을 형성하는 경우 회로패턴이 불균일하고 직진도가 떨어지게 형성되어 예컨대 사선 형태로 형성되기도 하기 때문에 미세한 회로패턴을 구현하기 어려웠던 종래와는 달리, 본 발명에 따르면 전술한 바와 같이 매우 매끄럽고 균일하며, 직진도가 매우 우수한 형태의 패턴홈(21)에 전기전도율이 우수한 구리와 같은 제2전도성 물질을 충진할 수 있게 됨에 따라, 매우 매끄럽고 균일하며, 직진도가 매우 우수한 미세 제1회로패턴(30)을 매우 용이하게 형성할 수 있게 된다.Unlike the prior art in which it was difficult to implement a fine circuit pattern because the circuit pattern was formed in a non-uniform and non-straight way, for example, in the form of an oblique line when forming a circuit pattern in a conventional method, according to the present invention, as described above, As the second conductive material such as copper having excellent electrical conductivity can be filled in the pattern groove 21 having a very smooth, uniform and straightness shape, a very smooth, uniform and straightness fine first The circuit pattern 30 can be formed very easily.

상기 전도성물질을 충진하는 단계(S123)에서는, 도 2의 (d)와 같이 전해도금 공정을 통해 전기전도율이 우수한 구리와 같은 제2전도성 물질을 상기 패턴홈(21)에 충진시킴으로써 제1회로패턴(30)을 형성할 수 있다. 여기서, 전해도금을 통해 패턴홈(21)에 전도성물질을 충진하는 것이 바람직할 수 있으며, 스크린 인쇄, 잉크젯팅, 무전해도금을 단독 수행하여 충진하거나 이들 중 선택하여 2종 이상의 방법을 함께 사용하여 충진하는 것도 가능하다. In the step of filling the conductive material (S123), as shown in (d) of FIG. 2, a second conductive material such as copper having excellent electrical conductivity is filled in the pattern groove 21 through an electroplating process to form the first circuit pattern. (30) can be formed. Here, it may be preferable to fill the pattern grooves 21 with a conductive material through electroplating, and screen printing, inkjetting, or electroless plating may be performed alone, or two or more methods may be selected from these to be used together. Filling is also possible.

상기 감광층을 제거하는 단계(S124)에서는, 도 2의 (e)와 같이 상기 시드층 상(12)에 형성된 감광층(20)을 박리하여 제거한다.In the step of removing the photosensitive layer (S124), the photosensitive layer 20 formed on the seed layer 12 is peeled off and removed as shown in (e) of FIG.

상기 절연코어층 및 금속층 형성단계(S130)에서는, 도 3의 (f)와 같이 상기 제1회로패턴(30) 상에 절연코어층(40)과 금속층(50)을 차례로 적층한 후 접합한다.In the insulating core layer and metal layer forming step (S130), the insulating core layer 40 and the metal layer 50 are sequentially laminated on the first circuit pattern 30 as shown in FIG.

상기 절연코어층(40)은 글라스에폭시에 열경화수지가 함침되어 반경화상태로 제공되는 프리프레그(Prepreg) 시트나, 본딩 시트 또는 핫 멜트(Hot-melt) 열경화수지 등이 이용될 수 있다. 또한, 절연코어층(40)과 금속층(50)을 적층한 후에는 완전한 접합을 위해 핫프레스 공정을 통해 기판의 두께방향으로 열과 압력을 동시에 제공할 수 있다.For the insulating core layer 40, a prepreg sheet impregnated with a thermosetting resin in glass epoxy and provided in a semi-cured state, a bonding sheet, or a hot-melt thermosetting resin may be used. . In addition, after the insulating core layer 40 and the metal layer 50 are laminated, heat and pressure may be simultaneously applied in the thickness direction of the substrate through a hot press process for complete bonding.

상기 금속층(50)은 제2회로패턴(51)을 형성하기 위한 것으로서, 전기전도율이 우수한 구리 재질로 이루어질 수 있다. 상기 금속층(50)은 스퍼터링, 코팅, 도금 등 다양한 방법으로 형성될 수도 있으며, 또는 구리 금속층이 형성된 전사필름을 이용하여 절연코어층(40) 상에 구리 금속층을 전사하여 금속층(50)으로 형성할 수도 있다. The metal layer 50 is for forming the second circuit pattern 51 and may be made of a copper material having excellent electrical conductivity. The metal layer 50 may be formed by various methods such as sputtering, coating, or plating, or the metal layer 50 may be formed by transferring the metal copper layer onto the insulating core layer 40 using a transfer film on which the metal copper layer is formed. may be

한편, 상기 절연코어층 및 금속층 형성단계(S130)에 있어서, 절연코어층(40)을 형성한 후에, 도 1의 (a)~(e)에 도시된 전사필름을 사용하여 절연코어층(40) 상에 추가 전사필름(10)을 형성할 수도 있다. 예컨대 도 1의 (a)~(e)의 전사필름(10)을 절연코어층(40)상에 적층한 후, 핫프레스 공정을 통해 기판의 두께방향으로 열과 압력을 동시에 제공하여 접합하는 단계와, 도 1의 (a)~(e)에 도시된 전사필름(10)의 캐리어부재(11) 또는 접착조절층(14)이 형성된 캐리어부재(11)를 박리하여, 제1시드층(12); 또는 2층으로 형성된 제1시드층(12a, 12b); 또는 제1 및 제2시드층(12,13);을 절연코어층(40) 측으로 전사하는 단계를 더 수행할 수 있다.Meanwhile, in the insulating core layer and metal layer forming step (S130), after the insulating core layer 40 is formed, the insulating core layer 40 is formed using the transfer film shown in (a) to (e) of FIG. ) It is also possible to form an additional transfer film 10 on. For example, after laminating the transfer film 10 of FIGS. 1 (a) to (e) on the insulating core layer 40, applying heat and pressure simultaneously in the thickness direction of the substrate through a hot press process to bond them; , by peeling the carrier member 11 of the transfer film 10 shown in (a) to (e) of FIG. 1 or the carrier member 11 on which the adhesion control layer 14 is formed, the first seed layer 12 ; or a first seed layer (12a, 12b) formed of two layers; Alternatively, a step of transferring the first and second seed layers 12 and 13 to the insulating core layer 40 may be further performed.

도 1의 (a)~(e)의 전사필름(10)을 절연코어층(40)상에 적층하는 단계에서는, 제1시드층(12)이 절연코어층(40)에 접하게 적층되거나, 2층의 제1시드층(12a, 12b)이 절연코어층(40)에 접하게 적층되거나, 제1 및 제2시드층(12,13)의 제2시드층(13)이 절연코어층(40)에 접하게 적층될 수 있다.In the steps of laminating the transfer film 10 of FIGS. 1 (a) to (e) on the insulating core layer 40, the first seed layer 12 is laminated in contact with the insulating core layer 40, or The first seed layers 12a and 12b of the layer are stacked in contact with the insulating core layer 40, or the second seed layer 13 of the first and second seed layers 12 and 13 is stacked on the insulating core layer 40. It can be stacked in contact with.

그리고, 제1시드층(12); 또는 2층으로 형성된 제1시드층(12a, 12b); 또는 제1 및 제2시드층(12,13);을 절연코어층(40) 측으로 전사하는 단계 후에, 절연코어층(40)측으로 전사된 제1시드층(12); 또는 2층의 제1시드층(12a, 12b); 또는 제1 및 제2시드층(12,13)의 제1시드층(12);을 제거하지 않고 유지한 상태에서 제1시드층(12); 또는 2층의 제1시드층(12a, 12b); 또는 제1 및 제2시드층(12,13)의 제1시드층(12); 상에 금속층(50)을 형성할 수도 있다. 또는 절연코어층(40)측으로 전사된 제1시드층(12); 또는 2층의 제1시드층(12a, 12b); 또는 제1 및 제2시드층(12,13)의 제1시드층(12);만을 제거할 수 있는 에칭용액으로 선택적 에칭하여 제거한 후, 금속층(50)을 형성할 수도 있다.And, the first seed layer 12; or a first seed layer (12a, 12b) formed of two layers; or the first and second seed layers 12 and 13; after the step of transferring the insulating core layer 40, the first seed layer 12 transferred to the insulating core layer 40; or two layers of first seed layers 12a and 12b; or the first seed layer 12 of the first and second seed layers 12 and 13; the first seed layer 12 while being maintained without removing; or two layers of first seed layers 12a and 12b; or the first seed layer 12 of the first and second seed layers 12 and 13; A metal layer 50 may be formed thereon. or the first seed layer 12 transferred to the insulating core layer 40; or two layers of first seed layers 12a and 12b; Alternatively, the metal layer 50 may be formed after removing only the first seed layer 12 of the first and second seed layers 12 and 13 by selective etching with an etching solution capable of removing only the first and second seed layers 12 and 13 .

상기 통전부 형성단계(S140)에서는, 도 3의 (g)와 같이 상기 금속층(50)과 절연코어층(40)을 관통하는 비아홀(V)을 형성하는 비아홀 형성단계와, 상기 비아홀(V)에 전도성물질을 충진시켜 상기 제1회로패턴(30)과 금속층(50)을 전기적으로 연결하는 통전부(60)를 형성하는 전도성물질 충진단계를 포함한다. 상기 전도성물질 충진단계에서는 전해도금 공정을 통해 구리와 같은 전기전도율이 우수한 전도성물질로 통전부(60)를 형성할 수 있다. 여기서, 상기 전도성물질은 전해도금을 통해 충진하는 것이 바람직할 수 있으며, 스크린 인쇄, 잉크젯팅, 무전해도금을 단독 수행하여 충진하거나 이들 중 선택하여 2종 이상의 방법을 함께 사용하여 충진하는 것도 가능하다.In the conductive part forming step (S140), a via hole forming step of forming a via hole (V) penetrating the metal layer 50 and the insulating core layer 40 as shown in (g) of FIG. 3, and the via hole (V) and a conductive material filling step of forming a conductive part 60 electrically connecting the first circuit pattern 30 and the metal layer 50 by filling the conductive material into the conductive material. In the conductive material filling step, the conducting portion 60 may be formed of a conductive material having excellent electrical conductivity such as copper through an electroplating process. Here, it may be preferable to fill the conductive material through electroplating, and it is also possible to fill the conductive material by performing screen printing, ink jetting, or electroless plating alone or by using two or more methods selected from these. .

상기 제2회로패턴 형성단계(S150)에서는, 도 3의 (h)와 같이 상기 금속층(50)을 패터닝함으로써 제2회로패턴(51)을 형성할 수 있다. 이러한 금속층(50)의 패터닝은 포토리소그래피 공정을 통해 수행될 수 있다.In the second circuit pattern forming step ( S150 ), the second circuit pattern 51 may be formed by patterning the metal layer 50 as shown in (h) of FIG. 3 . Patterning of the metal layer 50 may be performed through a photolithography process.

상기 전사단계(S160)는 캐리어부재 박리단계(S161)와 시드층 제거단계(S162)를 포함한다.The transfer step (S160) includes a carrier member peeling step (S161) and a seed layer removing step (S162).

상기 캐리어부재 박리단계에서는(S161), 도 3의 (i)와 같이 캐리어부재(11) 상에 형성된 제1시드층(12)과 제1회로패턴(30)을 절연코어층(40)에 전사시키기 위해, 캐리어부재(11)를 제1시드층(12)으로부터 박리한다. 제1시드층(12)으로부터 캐리어부재(11)를 박리하면, 제1시드층(12)과 제1회로패턴(30)이 절연코어층(40) 측으로 전사된다. 이때, 상기 캐리어부재(11)와 제1시드층(12)의 결합력은 상기 제1시드층(12)과 제1회로패턴(30)의 결합력 또는 제1시드층(12)과 절연코어층(40)의 결합력에 비해 상대적으로 낮게 설정된다. 따라서, 상기 캐리어부재(11)를 제1시드층(12)으로부터 용이하게 박리시킬 수 있는 동시에, 캐리어부재(11)를 박리하는 과정에서 제1시드층(12)과 제1회로패턴(30)의 결합면이 박리되거나 제1시드층(12)과 절연코어층(40)의 결합면이 박리되는 것을 방지할 수 있다.In the carrier member peeling step (S161), the first seed layer 12 and the first circuit pattern 30 formed on the carrier member 11 are transferred to the insulating core layer 40 as shown in FIG. 3 (i). To do this, the carrier member 11 is separated from the first seed layer 12. When the carrier member 11 is separated from the first seed layer 12, the first seed layer 12 and the first circuit pattern 30 are transferred to the insulating core layer 40 side. At this time, the bonding strength between the carrier member 11 and the first seed layer 12 is the bonding strength between the first seed layer 12 and the first circuit pattern 30 or between the first seed layer 12 and the insulating core layer ( 40) is set relatively low compared to the binding force. Therefore, the carrier member 11 can be easily separated from the first seed layer 12, and at the same time, in the process of peeling the carrier member 11, the first seed layer 12 and the first circuit pattern 30 It is possible to prevent the bonding surface of the peeling or the bonding surface of the first seed layer 12 and the insulating core layer 40 from being peeled off.

상기 시드층 제거단계에서는(S162), 도 3의 (j)와 같이 캐리어부재(11)의 박리 후 노출된 제1시드층(12)을 에칭 등의 방법으로 제거할 수 있다. 이때, 상기 제1시드층(12)은 제1회로패턴(30)을 구성하는 제2전도성 물질과 상이한 제1전도성 물질로 구성되므로, 제1전도성 물질을 선택적으로 용해시킬 수 있는 에칭용액을 이용해 제1시드층(12)을 선택적으로 제거할 수 있다. 따라서, 제1시드층(12)을 제거하는 과정에서 제1회로패턴(30)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 기존에 일반적인 방식에서는 제1회로패턴(30)이 손상되는 현상 예컨대 제1회로패턴(30)이 안쪽으로 파고들어 가는 손상 현상이 발생하는 것과는 달리, 본 발명에 따르면, 제1시드층(12)만 선택적으로 에칭하는 방법으로 에칭하여 제1시드층(12)과 다른 금속으로 형성된 제1회로패턴(30)에 손상 없이 제1시드층(12)만 깨끗하게 제거할 수 있게 된다. 이에 제1시드층(12)과 경계를 맞대고 있었던 도면의 단면 기준 제1회로패턴(30)의 아래 바닥면 손상 없이 제1시드층(12)만 깨끗하게 제거됨에 따라, 회로 연결 시 우수한 접촉 저항을 제공할 수 있게 된다.In the seed layer removal step (S162), the first seed layer 12 exposed after the peeling of the carrier member 11 may be removed by etching or the like, as shown in (j) of FIG. At this time, since the first seed layer 12 is composed of a first conductive material different from the second conductive material constituting the first circuit pattern 30, an etching solution capable of selectively dissolving the first conductive material is used. The first seed layer 12 may be selectively removed. Therefore, it is possible to prevent the first circuit pattern 30 from being damaged in the process of removing the first seed layer 12 . Unlike conventional methods in which the first circuit pattern 30 is damaged, for example, the damage phenomenon in which the first circuit pattern 30 digs into the inside, according to the present invention, the first seed layer 12 Only the first seed layer 12 can be cleanly removed without damaging the first circuit pattern 30 formed of a different metal from the first seed layer 12 by selective etching. Accordingly, as only the first seed layer 12 is cleanly removed without damaging the bottom surface of the first circuit pattern 30 based on the cross-section of the drawing, which borders the first seed layer 12, excellent contact resistance is obtained during circuit connection. be able to provide

상기와 같은 본 실시예에 따르면, 제1회로패턴(30)이 절연코어층(40)의 일면에 패턴 매립형 기판(embedded trace substrate; ETS) 방식으로 형성된 인쇄회로기판을 제조할 수 있으며, 상기 제1회로패턴(30)은 세미 애디티브법(Semi additive process; SAP)으로도 형성할 수 있다.According to the present embodiment as described above, it is possible to manufacture a printed circuit board in which the first circuit pattern 30 is formed on one side of the insulating core layer 40 by a pattern embedded trace substrate (ETS) method. The one-circuit pattern 30 can also be formed by a semi-additive process (SAP).

첨부도면 중, 도 4 내지 도 5는 본 발명의 제1실시예의 제1변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.Among the accompanying drawings, FIGS. 4 and 5 are cross-sectional views of each process of manufacturing a printed circuit board according to a first modified example of the first embodiment of the present invention.

도 4 내지 도 5에 도시된 본 발명의 제1실시예의 제1변형예는, 전사필름을 제조하는 단계(S110), 제1회로패턴 형성단계(S120), 절연코어층 및 금속층 형성단계(S130), 통전부 형성단계(S140), 제2회로패턴 형성단계(S150), 전사단계(S160)를 포함하며, 상기 전사필름을 제조하는 단계(S110)에서 도 1의 (b)에 도시된 전사필름이 제조되는 점에서 도 2 및 도 3의 제1실시예와 차이가 있다.The first modified example of the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 4 and 5 includes a step of manufacturing a transfer film (S110), a step of forming a first circuit pattern (S120), and a step of forming an insulating core layer and a metal layer (S130). ), conductive part forming step (S140), second circuit pattern forming step (S150), transfer step (S160), and in the step of manufacturing the transfer film (S110), the transfer shown in (b) of FIG. There is a difference from the first embodiment of FIGS. 2 and 3 in that the film is manufactured.

즉, 전사필름을 제조하는 단계(S110)에 있어서, 전사필름(10)은 도 1의 (b)와 같이 캐리어부재(11)와, 하부 제1시드층(12b) 및 상부 제1시드층(12a)으로 구성되는 제1시드층(12)을 포함할 수 있다. That is, in the step of manufacturing the transfer film (S110), the transfer film 10 includes the carrier member 11, the lower first seed layer 12b and the upper first seed layer (as shown in FIG. 1 (b)) 12a) may include a first seed layer 12 .

여기서, 상기 하부 제1시드층(12b)은 기재층의 부착력 및 이형력 유지를 위한 층으로 하고, 상부 제1시드층(12a)은 표면 반사율을 높게 하거나 바인더의 함량을 최소화 하여 선택적 에칭시 보다 빨리 제거가 가능한 층으로 구성 할 수 있다.Here, the lower first seed layer 12b is a layer for maintaining the adhesion and release force of the substrate layer, and the upper first seed layer 12a has a higher surface reflectance or minimizes the content of the binder, so that it is more effective than selective etching. It can be composed of layers that can be quickly removed.

또한, 하부 제1시드층(12b) 및 상부 제1시드층(12a)의 경도를 달리하여 핫프레스 등의 기판 제작 공정에서의 제1시드층(12)의 변형을 최소화 할 수 있고, 하부 제1시드층(12b) 및 상부 제1시드층(12a)의 두께를 달리하여 이형력 개선, 선택적 에칭력 개선 등을 특성을 확보 할 수 있다.In addition, by varying the hardness of the lower first seed layer 12b and the upper first seed layer 12a, it is possible to minimize deformation of the first seed layer 12 in a substrate manufacturing process such as hot press, and By varying the thickness of the first seed layer 12b and the upper first seed layer 12a, it is possible to secure characteristics such as improved release force and selective etching force.

상기와 같이 구성된 전사필름(10)은, 제1회로패턴 형성단계(S120), 절연코어층 및 금속층 형성단계(S130), 통전부 형성단계(S140), 제2회로패턴 형성단계(S150)를 거친 후, 상기 전사단계(S160)의 캐리어부재 박리단계(S161)와 시드층 제거단계(S162)를 통해 제거될 수 있다.The transfer film 10 configured as described above includes a first circuit pattern forming step (S120), an insulating core layer and a metal layer forming step (S130), a conductive part forming step (S140), and a second circuit pattern forming step (S150). After roughening, it may be removed through the carrier member peeling step (S161) and the seed layer removing step (S162) of the transfer step (S160).

상기 캐리어부재 박리단계(S161)에서는 도 5의 (i)와 같이 물리적인 힘을 가해 캐리어부재(11)를 박리할 수 있다.In the carrier member peeling step (S161), the carrier member 11 may be peeled by applying physical force as shown in FIG. 5(i).

또한, 상기 시드층 제거단계(S162)에서는 도 5의 (j)와 같이 에칭용액을 이용해 절연코어층(40)으로부터 하부 제1시드층(12b) 및 상부 제1시드층(12a)으로 구성된 제1시드층(12)을 제거할 수 있다. 구체적으로, 상기 구리 재질로 구성된 하부 제1시드층(12b)은 구리 에칭용액을 이용해 제거할 수 있으며, 은 재질로 구성된 상부 제1시드층(12a)은 은 에칭용액을 이용해 제거할 수 있다. In addition, in the seed layer removal step (S162), as shown in FIG. 1 The seed layer 12 may be removed. Specifically, the lower first seed layer 12b made of copper may be removed using a copper etching solution, and the upper first seed layer 12a made of silver may be removed using a silver etching solution.

이때, 상기 은 재질로 구성된 상부 제1시드층(12a)은, 순수 Ag 잉크를 사용하거나, 바인더 없이, 바인더 함량을 낮추거나, 바인더 수지 종류를 변경하여 제조될 수 있으므로, 상부 제1시드층(12a)의 제거 후 노출되는 회로패턴(30)에 바인더 수지 잔사가 남지 않도록 할 수 있다. At this time, since the upper first seed layer 12a made of the silver material can be manufactured by using pure Ag ink, without a binder, by lowering the binder content, or by changing the type of binder resin, the upper first seed layer ( It is possible to prevent binder resin residues from remaining on the exposed circuit pattern 30 after removal of 12a).

첨부도면 중, 도 6 내지 도 7은 본 발명의 제1실시예의 제2변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.Among the accompanying drawings, FIGS. 6 and 7 are cross-sectional views of each process of a method of manufacturing a printed circuit board according to a second modified example of the first embodiment of the present invention.

도 6 내지 도 7에 도시된 본 발명의 제1실시예의 제2변형예에서는, 제1실시예와 같이 전사필름을 제조하는 단계(S110), 제1회로패턴 형성단계(S120), 절연코어층 및 금속층 형성단계(S130), 통전부 형성단계(S140), 제2회로패턴 형성단계(S150), 전사단계(S160)를 포함하며, 상기 전사필름을 제조하는 단계(S110)에서 도 1의 (c)에 도시된 전사필름이 제조되는 점에서 도 2 및 도 3의 제1실시예와 차이가 있다.In the second modified example of the first embodiment of the present invention shown in FIGS. 6 and 7, as in the first embodiment, a step of manufacturing a transfer film (S110), a step of forming a first circuit pattern (S120), and an insulating core layer And a metal layer forming step (S130), a conductive part forming step (S140), a second circuit pattern forming step (S150), and a transfer step (S160). There is a difference from the first embodiment of FIGS. 2 and 3 in that the transfer film shown in c) is manufactured.

즉, 전사필름을 제조하는 단계(S110)에 있어서, 전사필름(10)은 도 1의 (c)와 같이 캐리어부재(11)로서 메탈시트 예컨대 구리 시트, 접착조절층(14) 및 제1시드층(12)으로 구성될 수 있다. 물론 캐리어부재(11)의 재질은 구리 시트 이외에도 앞서 설명한 다양한 재질로 형성될 수 있음은 물론이다. That is, in the step of manufacturing the transfer film (S110), the transfer film 10 is a carrier member 11 as shown in FIG. layer 12. Of course, the material of the carrier member 11 may be formed of various materials described above in addition to the copper sheet.

상기와 같이 구성된 전사필름(10)은, 제1회로패턴 형성단계(S120), 절연코어층 및 금속층 형성단계(S130), 통전부 형성단계(S140), 제2회로패턴 형성단계(S150)를 거친 후, 상기 전사단계(S160)의 캐리어부재 박리단계(S161)와 시드층 제거단계(S162)를 통해 제거될 수 있다.The transfer film 10 configured as described above includes a first circuit pattern forming step (S120), an insulating core layer and a metal layer forming step (S130), a conductive part forming step (S140), and a second circuit pattern forming step (S150). After roughening, it may be removed through the carrier member peeling step (S161) and the seed layer removing step (S162) of the transfer step (S160).

한편, 제1회로패턴 형성단계(S120)에 있어서, 은(Ag) 재질의 제1시드층(12) 위에 감광층(20)을 형성한 후, 노광 및 현상공정 등을 통해 감광층(20)을 부분적으로 제거하여 회로패턴이 형성될 부분에 패턴홈(21)을 형성하는 경우, 은(Ag) 재질의 제1시드층(12)이 감광층(20)의 UV 경화 조건에서의 반사효율이 매우 좋기 때문에, 구체적으로 은(Ag)이 가지고 있는 기본적인 자체 특성으로 반사효율이 높고, 은(Ag)의 표면조도가 우수함에 따라, UV 경화 조건에서 정반사효율이 우수하기 때문에 직진도가 향상되어 패턴홈(21)이 매우 매끄럽고 균일하며, 직진도가 매우 우수한 형태로 형성될 수 있다.Meanwhile, in the first circuit pattern forming step (S120), after forming the photosensitive layer 20 on the first seed layer 12 made of silver (Ag), the photosensitive layer 20 is formed through exposure and development processes. When the pattern groove 21 is formed in the portion where the circuit pattern is to be formed by partially removing the first seed layer 12 made of silver (Ag), the reflection efficiency of the photosensitive layer 20 under UV curing conditions is Since it is very good, specifically, the reflection efficiency is high as a basic self-property of silver (Ag), and the surface roughness of silver (Ag) is excellent, and the regular reflection efficiency is excellent under UV curing conditions, so the straightness is improved and the pattern The groove 21 can be formed in a shape that is very smooth, uniform, and has excellent straightness.

기존에 일반적인 방식으로 회로패턴을 형성하는 경우 회로패턴이 불균일하고 직진도가 떨어지게 형성되어 예컨대 사선 형태로 형성되기도 하기 때문에 미세한 회로패턴을 구현하기 어려웠던 종래와는 달리, 본 발명에 따르면 전술한 바와 같이 매우 매끄럽고 균일하며, 직진도가 매우 우수한 형태의 패턴홈(21)에 전기전도율이 우수한 구리와 같은 제2전도성 물질을 충진할 수 있게 됨에 따라, 매우 매끄럽고 균일하며, 직진도가 매우 우수한 미세 제1회로패턴(30)을 매우 용이하게 형성할 수 있게 된다.Unlike the prior art in which it was difficult to implement a fine circuit pattern because the circuit pattern was formed in a non-uniform and non-straight way, for example, in the form of an oblique line when forming a circuit pattern in a conventional method, according to the present invention, as described above, As the second conductive material such as copper having excellent electrical conductivity can be filled in the pattern groove 21 having a very smooth, uniform and straightness shape, a very smooth, uniform and straightness fine first The circuit pattern 30 can be formed very easily.

또한, 상기 캐리어부재 박리단계(S161)에서는 도 7의 (i)와 같이 물리적인 힘을 가해 캐리어부재(11)를 박리할 수 있으며, 이 과정에서 접착조절층(14)은 캐리어부재(11)와 함께 제1시드층(12)으로부터 박리된다.In addition, in the carrier member peeling step (S161), the carrier member 11 may be peeled off by applying physical force as shown in (i) of FIG. It is peeled off from the first seed layer 12 together.

상기 시드층 제거단계(S162)에서는 도 7의 (j)와 같이 에칭용액을 이용해 절연코어층(40)으로부터 제1시드층(12)을 제거할 수 있다. In the seed layer removal step (S162), the first seed layer 12 may be removed from the insulating core layer 40 using an etching solution as shown in (j) of FIG.

다음으로 본 발명의 제1실시예의 제3변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법에 대하여 설명한다. Next, a method for manufacturing a printed circuit board according to a third modified example of the first embodiment of the present invention will be described.

첨부도면 중, 도 8 내지 도 9는 본 발명의 제1실시예의 제3변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.Among the accompanying drawings, FIGS. 8 and 9 are cross-sectional views of each process of manufacturing a printed circuit board according to a third modified example of the first embodiment of the present invention.

본 발명의 제1실시예의 제3변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법은, 도 8 내지 도 9에 도시된 바와 같이 전사필름을 제조하는 단계(S110), 접합단계(S111), 제1회로패턴 형성단계(S120), 절연코어층 및 금속층 형성단계(S130), 통전부 형성단계(S140), 제2회로패턴 형성단계(S150), 전사단계(S160)를 포함하며, 상기 전사필름을 제조하는 단계(S110)와 제1회로패턴 형성단계(S120) 사이에서, 한 쌍의 전사필름(10)의 캐리어부재(11)를 접합층(70)을 이용해 접합하는 접합단계(S111)를 수행하여, 양면에 제1시드층(12)이 형성된 필름을 제공하는 점에서 도 2 및 도 3의 제1실시예와 차이를 갖는다.In the method for manufacturing a printed circuit board according to the third modified example of the first embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 8 and 9, manufacturing a transfer film (S110), bonding step (S111), and a first circuit pattern It includes a forming step (S120), an insulating core layer and a metal layer forming step (S130), a conducting part forming step (S140), a second circuit pattern forming step (S150), and a transfer step (S160). Between the step (S110) and the first circuit pattern forming step (S120), a bonding step (S111) of bonding the carrier member 11 of the pair of transfer films 10 using the bonding layer 70 is performed, It is different from the first embodiment of FIGS. 2 and 3 in providing a film having the first seed layer 12 formed on both sides.

구체적으로, 상기 접합단계(S111)에서는, 도 8의 (b)와 같이 한 쌍의 전사필름(10)의 캐리어부재(11) 사이에 접합층(70)을 배치한 다음, 접함함으로써 양면에 제1시드층(12)이 형성된 양면 필름을 제공할 수 있다. Specifically, in the bonding step (S111), the bonding layer 70 is placed between the carrier members 11 of the pair of transfer films 10 as shown in (b) of FIG. A double-sided film having one seed layer 12 formed thereon may be provided.

여기서, 상기 접합층(70)은 글라스에폭시에 열경화수지가 함침되어 반경화상태로 제공되는 프리프레그(Prepreg) 시트나, 본딩 시트 또는 핫 멜트(Hot-melt) 열경화수지 등이 이용될 수 있으며, 완전한 접합을 위해 기판의 두께 방향으로 열과 압력을 동시에 제공하는 핫프레스 공정이 이용될 수 있다. Here, the bonding layer 70 may be a prepreg sheet impregnated with a thermosetting resin in glass epoxy and provided in a semi-cured state, a bonding sheet, or a hot-melt thermosetting resin. For complete bonding, a hot press process that simultaneously provides heat and pressure in the thickness direction of the substrate may be used.

한편, 상기 접합단계(S111)를 제외한 나머지 단계는 제1실시예와 동일하므로, 동일 단계에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Meanwhile, since the remaining steps except for the bonding step (S111) are the same as those of the first embodiment, detailed descriptions of the same steps will be omitted.

이러한 제3변형예에 따르면, 접합단계(S111) 이후, 제1회로패턴 형성단계(S120), 절연코어층 및 금속층 형성단계(S130), 통전부 형성단계(S140), 제2회로패턴 형성단계(S150)가 양면에 제1시드층(12)이 형성된 필름의 양측면에서 각각 또는 동시에 수행되어, 양면에 제1시드층(12)이 형성된 필름의 양측면에 인쇄회로기판이 각각 형성된다.According to the third modified example, after the bonding step (S111), the first circuit pattern forming step (S120), the insulating core layer and the metal layer forming step (S130), the conducting part forming step (S140), and the second circuit pattern forming step. (S150) is performed individually or simultaneously on both sides of the film having the first seed layer 12 formed on both sides, so that printed circuit boards are formed on both sides of the film having the first seed layer 12 formed on both sides.

즉, 한 번의 공정을 통해 두 개의 인쇄회로기판을 제조할 수 있으므로 생산효율을 향상시킬 수 있다. That is, since two printed circuit boards can be manufactured through one process, production efficiency can be improved.

다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법에 대하여 설명한다. Next, a method for manufacturing a printed circuit board according to a second embodiment of the present invention will be described.

첨부도면 중, 도 10 내지 도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.Among the accompanying drawings, FIGS. 10 and 11 are cross-sectional views of each process of a method for manufacturing a printed circuit board according to a second embodiment of the present invention.

도 10 내지 도 11에 도시된 바와 같은 본 발명의 제2실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법은, 캐리어기판을 제조하는 단계(S200), 제1회로패턴 형성단계(S230), 절연코어층 및 금속층 형성단계(S240), 통전부 형성단계(S250), 제2회로패턴 형성단계(S260), 박리단계(S270)를 포함한다.10 to 11, the method for manufacturing a printed circuit board according to the second embodiment of the present invention includes manufacturing a carrier substrate (S200), forming a first circuit pattern (S230), insulating core layer and A metal layer forming step (S240), a conductive part forming step (S250), a second circuit pattern forming step (S260), and a peeling step (S270) are included.

상기 캐리어기판을 제조하는 단계(S200)을 제조하는 단계는, 전사필름을 제조하는 단계(S210), 접합단계(S211), 전사단계(S220)를 포함한다.The step of manufacturing the carrier substrate (S200) includes a step of manufacturing a transfer film (S210), a bonding step (S211), and a transfer step (S220).

상기 전사필름을 제조하는 단계(S210)에서는, 도 10의 (a)와 같이 표면평활도가 우수한 캐리어부재(11)에 은(Ag) 재질로 이루어진 제1시드층(12)을 형성하고, 상기 제1시드층(12) 상에 구리(Cu) 재질로 이루어진 1~5㎛ 두께의 제2시드층(13)을 형성하여 전사필름(10)을 제조한다. 이와 같이 본 실시예에서는 도 1의 (d)에 도시된 바와 같이 폴리이미드(PI; Polyimide) 필름 또는 메탈시트 예컨대 구리시트로 이루어진 캐리어부재(11), 제1시드층(12), 및 제2시드층(13)으로 구성된 전사필름(10)을 사용할 수 있다. 또한, 도 1의 (e)와 같이 폴리이미드(PI; Polyimide) 필름 또는 메탈시트 예컨대 구리시트로 이루어진 캐리어부재(11), 접착조절층(14), 제1시드층(12) 및 제2시드층(13)으로 구성된 전사필름(10)을 사용할 수도 있다. In the step of manufacturing the transfer film (S210), as shown in FIG. 10 (a), a first seed layer 12 made of a silver (Ag) material is formed on the carrier member 11 having excellent surface smoothness, and the A transfer film 10 is manufactured by forming a second seed layer 13 having a thickness of 1 to 5 μm made of copper (Cu) on the first seed layer 12 . As such, in this embodiment, as shown in (d) of FIG. 1, the carrier member 11 made of a polyimide (PI) film or a metal sheet such as a copper sheet, the first seed layer 12, and the second seed A transfer film 10 composed of a layer 13 may be used. In addition, as shown in (e) of FIG. 1, a carrier member 11 made of a polyimide (PI) film or a metal sheet such as a copper sheet, an adhesion control layer 14, a first seed layer 12, and a second seed layer A transfer film 10 composed of (13) may also be used.

전사필름(10)은 도 1의 (a) 및 (c)와 같이 캐리어부재(11) 상에 단독 제1시드층(12)이 적층된 형태로 구성되거나, 도 1의 (d) 및 (e)와 같이 캐리어부재(11) 상에 제1시드층(12)과 제2시드층(13)이 적층된 형태로 구성될 수 있다.The transfer film 10 is configured in a form in which a single first seed layer 12 is laminated on a carrier member 11 as shown in (a) and (c) of FIG. 1, or (d) and (e) of FIG. ), the first seed layer 12 and the second seed layer 13 may be stacked on the carrier member 11.

상기 제1시드층(12)은 은(Ag) 나노 입자를 열경화수지에 분산시켜 제조한 은(Ag) 페이스트로 이루어지는 제1전도성 물질을 코팅, 스크린인쇄, 스퍼터링, 화학증착법, 전해도금, 무전해도금 등의 방법으로 캐리어부재(11) 상에 형성할 수 있다. The first seed layer 12 is coated with a first conductive material made of silver (Ag) paste prepared by dispersing silver (Ag) nanoparticles in a thermosetting resin, screen printing, sputtering, chemical vapor deposition, electroplating, electroless It can be formed on the carrier member 11 by a plating method or the like.

상기 제2시드층(13)은 도금 공정을 통해 제1시드층(12) 상에 형성할 수 있다. 이때, 상기 제1시드층(12)이 전극역할을 하게 되므로 제1시드층(12) 상에 구리 재질의 제2시드층(13)을 전해도금할 수 있다. 한편, 본 실시예에서는 전해도금 공정으로 제2시드층(13)을 형성하는 것으로 설명하였으나, 무전해도금 공정, 스퍼터링, 코팅 법 등을 통해 형성하는 것도 가능할 수 있다. 여기서, 일반 기재에 구리 도금을 바로 하여 층을 형성하면 평활도가 좋지 않게 형성되는 것과 달리, 본 발명에 따라 평활도가 좋은 은(Ag) 재질의 제1시드층(12) 위에, 예컨대 구리 도금하여 제2시드층(13)을 형성하게 되면 앞서 전술한 이슈가 발생하는 것을 방지하면서 평활도가 좋은 제2시드층(13)을 용이하게 형성할 수 있게 된다.The second seed layer 13 may be formed on the first seed layer 12 through a plating process. At this time, since the first seed layer 12 serves as an electrode, the second seed layer 13 made of copper may be electroplated on the first seed layer 12 . Meanwhile, in this embodiment, it has been described that the second seed layer 13 is formed through an electroplating process, but it may be possible to form the second seed layer 13 through an electroless plating process, sputtering, coating, or the like. Here, unlike forming a layer by directly plating copper on a general substrate, the smoothness is not good, according to the present invention, on the first seed layer 12 made of silver (Ag) material, for example, copper plating When the second seed layer 13 is formed, it is possible to easily form the second seed layer 13 having good smoothness while preventing the aforementioned issues from occurring.

상기 접합단계(S211)에서는, 도 10의 (b)와 같이 전사필름(10)의 제2시드층(13)을 접합층(70)에 접합한다.In the bonding step (S211), the second seed layer 13 of the transfer film 10 is bonded to the bonding layer 70 as shown in FIG. 10(b).

구체적으로, 캐리어부재(11)의 일면에 제1시드층(12)과 제2시드층(13)이 형성된 전사필름(10)을 준비하고, 접합층(70)을 전사필름(10)의 제2시드층(13)과 마주하도록 배치한 다음, 접합함으로써 접합층(70)에 전사필름(10)의 제2시드층(13)이 접합되도록 할 수 있다. 여기서, 상기 접합층(70)은 글라스에폭시에 열경화수지가 함침되어 반경화상태로 제공되는 프리프레그(Prepreg) 시트나, 본딩 시트 또는 핫 멜트(Hot-melt) 열경화수지 등이 이용될 수 있으며, 완전한 접합을 위해 기판의 두께 방향으로 열과 압력을 동시에 제공하는 핫프레스 공정이 이용될 수 있다. 한편, 상기 접합층(70)과 제2시드층(13) 사이에는 이형력을 제공하는 접착조절층을 더 추가로 배치함으로써, 박리단계(S270)에서 상기 접합층(70)이 제2시드층(13)으로부터 쉽게 박리될 수 있도록 하는 것이 바람직할 것이다. 물론 접합층(70)과 제2시드층(13) 사이에 접착조절층을 더 형성할 수도 하지 않을 수도 있다. Specifically, a transfer film 10 having a first seed layer 12 and a second seed layer 13 formed on one surface of the carrier member 11 is prepared, and the bonding layer 70 is applied to the transfer film 10. The second seed layer 13 of the transfer film 10 may be bonded to the bonding layer 70 by arranging to face the second seed layer 13 and then bonding. Here, the bonding layer 70 may be a prepreg sheet impregnated with a thermosetting resin in glass epoxy and provided in a semi-cured state, a bonding sheet, or a hot-melt thermosetting resin. For complete bonding, a hot press process that simultaneously provides heat and pressure in the thickness direction of the substrate may be used. On the other hand, by further disposing an adhesion control layer providing a release force between the bonding layer 70 and the second seed layer 13, the bonding layer 70 is the second seed layer in the peeling step (S270). It would be desirable to make it easily peelable from (13). Of course, an adhesion control layer may or may not be further formed between the bonding layer 70 and the second seed layer 13 .

상기 전사단계(S220)에서는, 도 10의 (c)와 같이 상기 전사필름(10)의 캐리어부재(11)를 제거하여 상기 접합층(70)의 일면에 제1시드층(12)과 제2시드층(13)을 각각 전사한다.In the transfer step (S220), the carrier member 11 of the transfer film 10 is removed to form a first seed layer 12 and a second seed layer 12 on one surface of the bonding layer 70, as shown in FIG. Each seed layer 13 is transferred.

이때, 상기 캐리어부재(11)와 제1시드층(12)의 결합력은 상기 제1시드층(12)과 제2시드층(13) 또는 상기 제2시드층(13)과 접합층(70)의 결합력에 비해 상대적으로 낮게 설정된다. 따라서, 상기 캐리어부재(11)를 제1시드층(12)으로부터 용이하게 박리시킬 수 있는 동시에, 캐리어부재(11)를 제1시드층(12)으로부터 박리하는 과정에서 제1시드층(12)과 제2시드층(13)의 결합면이 박리되거나 제2시드층(13)과 접합층(70)의 결합면이 박리되는 것을 방지할 수 있다.At this time, the bonding force between the carrier member 11 and the first seed layer 12 is the first seed layer 12 and the second seed layer 13 or the second seed layer 13 and the bonding layer 70 It is set relatively low compared to the binding force of Therefore, the carrier member 11 can be easily separated from the first seed layer 12, and at the same time, in the process of peeling the carrier member 11 from the first seed layer 12, the first seed layer 12 It is possible to prevent the bonding surface of the second seed layer 13 from being peeled off or the bonding surface of the second seed layer 13 and the bonding layer 70 from being peeled off.

이와 같이, 상기 캐리어기판을 제조하는 단계(S200)에서는 접합층(70)의 일면에 제2시드층(13)과 제1시드층(12)이 차례로 적층된 캐리어기판을 제조할 수 있다.In this way, in the step of manufacturing the carrier substrate (S200), a carrier substrate in which the second seed layer 13 and the first seed layer 12 are sequentially stacked on one surface of the bonding layer 70 may be manufactured.

한편, 상기 전사필름 제조단계(S210)에서는, 표면평활도가 우수한 캐리어부재(11)의 양면에 은(Ag) 재질로 이루어진 제1시드층(12)을 각각 형성하고, 상기 제1시드층(12) 상에 구리(Cu) 재질로 이루어진 1~5㎛ 두께의 제2시드층(13)을 각각 형성하여 도 25의 (a)와 같은 양면 전사필름(10)을 제조할 수 있다.On the other hand, in the transfer film manufacturing step (S210), the first seed layer 12 made of a silver (Ag) material is formed on both sides of the carrier member 11 having excellent surface smoothness, respectively, and the first seed layer 12 It is possible to manufacture a double-sided transfer film 10 as shown in (a) of FIG.

본 실시예에서는 도 1의 (a)에 도시된 전사필름(10)이 적용된 것으로 예를 들어 설명하였으나, 상기 제1시드층(12)은, 도 1의 (b)와 같이 에칭속도가 서로 다른 2층 이상으로 형성할 수 있으며, 상부 제1시드층(12a)은, 하부 제1시드층(12b) 보다 빠른 에칭속도와 낮은 저항의 특성을 갖는 층으로 구현할 수 있다.In this embodiment, it has been described as an example that the transfer film 10 shown in FIG. 1 (a) is applied, but the first seed layer 12 has different etching rates as shown in FIG. 1 (b). It may be formed in two or more layers, and the upper first seed layer 12a may be implemented as a layer having a faster etching rate and lower resistance than the lower first seed layer 12b.

이어, 상기 접합단계(S211)에서는, 복수의 양면 전사필름(10)들 사이에 접합층(70)을 각각 배치한 후 두께 방향으로 열과 압력을 제공하여 접합하고, 상기 전사단계(S220)에서는 전사필름(10)의 캐리어부재(11)를 제거하여 접합층(70)의 양면에 제1시드층(12)과 제2시드층(13)을 각각 전사한다. Subsequently, in the bonding step (S211), after disposing the bonding layer 70 between the plurality of double-sided transfer films 10, respectively, they are bonded by providing heat and pressure in the thickness direction, and in the transfer step (S220), the transfer The carrier member 11 of the film 10 is removed, and the first seed layer 12 and the second seed layer 13 are transferred to both surfaces of the bonding layer 70, respectively.

상기와 같이, 복수 마련되는 양면 전사필름(10)들 사이에 각각 접합층(70)을 배치하고 기판의 두께 방향으로 열과 압력을 가해 접합한 다음 캐리어부재(11)를 제거하면, 한 번의 공정으로 접합층(70)의 양면에 제1시드층(12)과 제2시드층(13)이 각각 적층된 캐리어기판을 다수 제조할 수 있다.As described above, if the bonding layer 70 is placed between the plurality of double-sided transfer films 10, respectively, bonded by applying heat and pressure in the thickness direction of the substrate, and then the carrier member 11 is removed, in one step A plurality of carrier substrates in which the first seed layer 12 and the second seed layer 13 are laminated on both sides of the bonding layer 70 may be manufactured.

상기 제1회로패턴 형성단계(S230)는, 상기 제1시드층(12) 상에 감광층(20)을 형성하는 단계(S231)와, 상기 감광층(20)에 패턴홈(21)을 형성하는 단계(S232)와, 상기 패턴홈(21)을 통해 노출된 제1시드층을 제거하는 단계(S233)와, 상기 패턴홈(21)에 전도성 물질을 충진하는 단계(S234)와, 상기 감광층을 제거하는 단계(S235)와, 감광층 제거 후 노출되는 나머지 제1시드층을 모두 제거하는 단계(S236)로 이루어진다.The first circuit pattern forming step (S230) includes forming the photosensitive layer 20 on the first seed layer 12 (S231) and forming the pattern groove 21 in the photosensitive layer 20. (S232), removing the first seed layer exposed through the pattern grooves (21) (S233), filling the pattern grooves (21) with a conductive material (S234), and the photoresist. A step of removing the layer (S235) and a step of removing all of the remaining first seed layer exposed after the photoresist layer is removed (S236).

여기서, 상기 감광층을 형성하는 단계(S231)와, 패턴홈을 형성하는 단계(S232)와, 전도성 물질을 충진하는 단계(S234) 및 감광층을 제거하는 단계(S235)는, 제1실시예의 시드층 상에 감광층을 형성하는 단계(S121, 도 2의 (b) 참조)와, 감광층 상에 패턴홈을 형성하는 단계(S122, 도 2의 (c) 참조)와, 패턴홈에 전도성 물질을 충진하는 단계(S123, 도 2의 (d) 참조)와, 감광층을 제거하는 단계(S124, 도 2의 (e) 참조)와 동일한 방법으로 수행되는 것이므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Here, the step of forming the photosensitive layer (S231), the step of forming the pattern groove (S232), the step of filling the conductive material (S234), and the step of removing the photosensitive layer (S235) are the steps of the first embodiment. Forming a photoresist layer on the seed layer (S121, see FIG. 2(b)), forming pattern grooves on the photoresist layer (S122, see FIG. 2(c)), and conducting conductivity in the pattern grooves Since the step of filling the material (S123, see FIG. 2(d)) and the step of removing the photosensitive layer (S124, see FIG. 2(e)) are performed in the same manner, a detailed description thereof will be omitted. .

상기 패턴홈을 통해 노출된 제1시드층을 제거하는 단계(S233)에서는, 도 10의 (f)와 같이 감광층(20)에 형성된 패턴홈(21)을 통해 노출되는 제1시드층(12)을 제거한다. 이때, 상기 제1시드층(12)을 구성하는 제1전도성 물질은 제2시드층(13)을 구성하는 제2전도성 물질과 상이한 재질로 이루어지므로, 제1전도성 물질을 선택적으로 용해시킬 수 있는 에칭용액을 이용해 제1시드층(12)을 선택적으로 제거할 수 있다. 따라서, 제1시드층(12)을 제거하는 과정에서 제2시드층(13)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.In the step of removing the first seed layer exposed through the pattern groove (S233), the first seed layer 12 exposed through the pattern groove 21 formed in the photosensitive layer 20 as shown in FIG. 10(f). ) is removed. At this time, since the first conductive material constituting the first seed layer 12 is made of a different material from the second conductive material constituting the second seed layer 13, the first conductive material can be selectively dissolved. The first seed layer 12 may be selectively removed using an etching solution. Therefore, it is possible to prevent the second seed layer 13 from being damaged in the process of removing the first seed layer 12 .

또한, 상기 감광층 제거 후 노출되는 나머지 제1시드층을 모두 제거하는 단계(S236)에서는, 도 10의 (i)와 같이 외부로 노출된 제1시드층(12)을 제거한다. 이때에도, 상기 제1시드층(12)을 구성하는 제1전도성 물질을 선택적으로 용해시킬 수 있는 에칭용액을 이용해 제1시드층(12)을 제거할 수 있다. 따라서, 제1시드층(12)을 제거하는 과정에서 구리 재질의 제1회로패턴(30)과 제2시드층(13)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. In addition, in step S236 of removing all remaining first seed layers exposed after removing the photoresist layer, the first seed layer 12 exposed to the outside is removed as shown in (i) of FIG. 10 . Even at this time, the first seed layer 12 may be removed using an etching solution capable of selectively dissolving the first conductive material constituting the first seed layer 12 . Therefore, in the process of removing the first seed layer 12, the first circuit pattern 30 and the second seed layer 13 made of copper can be prevented from being damaged.

특히, 본 실시예에서, 상기 감광층(20)은 은(Ag) 재질의 제1시드층(12) 상에 형성되고 노광 및 현상 공정을 통해 패턴홈(21)이 형성된다. 이때, 은(Ag) 재질의 제1시드층(12)이 감광층(20)의 UV 경화 조건에서의 반사효율이 매우 좋기 때문에, 구체적으로 은(Ag)이 가지고 있는 기본적인 자체 특성으로 반사효율이 높고, 은(Ag)의 표면조도가 우수함에 따라, UV 경화 조건에서 정반사효율이 우수하기 때문에 직진도가 향상되어 패턴홈(21)이 매우 매끄럽고 균일하며, 직진도가 매우 우수한 형태로 형성될 수 있다.In particular, in this embodiment, the photosensitive layer 20 is formed on the first seed layer 12 made of silver (Ag), and pattern grooves 21 are formed through exposure and development processes. At this time, since the first seed layer 12 made of silver (Ag) has very good reflection efficiency under UV curing conditions of the photosensitive layer 20, specifically, the reflection efficiency is a basic characteristic of silver (Ag). As the surface roughness of silver (Ag) is high and the surface roughness of silver (Ag) is excellent, the straightness is improved because the specular reflection efficiency is excellent under UV curing conditions, so that the pattern grooves 21 are very smooth and uniform, and can be formed in a form with very excellent straightness. have.

한편, 상기 절연코어층 및 금속층 형성단계(S240), 통전부 형성단계(S250), 제2회로패턴 형성단계(S260)는 제1실시예의 절연코어층 및 금속층 형성단계(S130, 도 3의 (f) 참조), 통전부 형성단계(S140, 도 3의 (g) 참조), 제2회로패턴 형성단계(S150, 도 3의 (h) 참조)와 동일한 방법으로 수행 되는 것이므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.On the other hand, the insulating core layer and metal layer forming step (S240), conducting part forming step (S250), and second circuit pattern forming step (S260) are the insulating core layer and metal layer forming step (S130 of FIG. 3 (S130) of the first embodiment). f)), the conducting part forming step (S140, see FIG. 3 (g)), and the second circuit pattern forming step (S150, see FIG. 3 (h)). is omitted.

상기 박리단계(S270)는 접합층 제거단계(S271)와 제2시드층 제거단계(S272)를 포함할 수 있다.The peeling step (S270) may include a bonding layer removing step (S271) and a second seed layer removing step (S272).

상기 접합층 제거단계(S271)에서는, 도 11의 (m)과 같이 접합층(70) 상에 형성된 제2시드층(13)과 제1회로패턴(30)을 절연코어층(40)에 전사시키기 위해, 접합층(70)을 제2시드층(13)으로부터 박리한다.In the bonding layer removing step (S271), the second seed layer 13 and the first circuit pattern 30 formed on the bonding layer 70 are transferred to the insulating core layer 40 as shown in FIG. 11(m). To do this, the bonding layer 70 is separated from the second seed layer 13.

이어, 제2시드층 제거단계(S272)에서는, 도 11의 (n)과 같이 절연코어층(40)의 상기 제1회로패턴(30)이 형성된 면으로부터 제2시드층(13)을 제거한다. 이러한 제2시드층(13)은 소프트 에칭 등의 공정을 통해 제거할 수 있다. Next, in the second seed layer removing step (S272), the second seed layer 13 is removed from the surface of the insulating core layer 40 on which the first circuit pattern 30 is formed, as shown in FIG. 11(n). . The second seed layer 13 may be removed through a process such as soft etching.

상기와 같은 본 실시예에 따르면, 제1회로패턴(30)이 절연코어층(40)의 일면에 패턴 매립형 기판(embedded trace substrate; ETS) 방식으로 형성된 인쇄회로기판을 제조할 수 있으며, 상기 제1회로패턴(30)은 세미 애디티브법(Semi additive process; SAP)으로도 형성할 수 있다.According to the present embodiment as described above, it is possible to manufacture a printed circuit board in which the first circuit pattern 30 is formed on one side of the insulating core layer 40 by a pattern embedded trace substrate (ETS) method. The one-circuit pattern 30 can also be formed by a semi-additive process (SAP).

첨부도면 중, 도 12 내지 도 13은 본 발명의 제2실시예의 제1변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.Among the accompanying drawings, FIGS. 12 and 13 are cross-sectional views of each process of a method of manufacturing a printed circuit board according to a first modified example of the second embodiment of the present invention.

본 발명의 제2실시예의 제1변형예는 도 10 및 도 11의 제2실시예와 동일한 단계로 이루어지며, 접합단계(S211)에서 도 12의 (b)와 같이 한 쌍의 전사필름(10)의 제2시드층(13)을 접합층(70)의 양면에 각각 접합하고, 전사단계(S220)에서 도 12의 (c)와 같이 전사필름(10)의 캐리어부재(11)를 제거함으로써, 접합층(70)의 양면에 제1시드층(12)과 제2시드층(13)이 각각 적층되는 점에서 도 10 및 도 11의 제2실시예와 차이를 갖는다. The first modified example of the second embodiment of the present invention is made of the same steps as the second embodiment of FIGS. 10 and 11, and in the bonding step (S211), a pair of transfer films 10 as shown in FIG. ) by attaching the second seed layer 13 to both sides of the bonding layer 70, respectively, and removing the carrier member 11 of the transfer film 10 as shown in (c) of FIG. 12 in the transfer step (S220). , It has a difference from the second embodiment of FIGS. 10 and 11 in that the first seed layer 12 and the second seed layer 13 are laminated on both sides of the bonding layer 70, respectively.

한편, 상기 접합단계(S211)와 전사단계(S220)를 제외한 나머지 단계는, 제2실시예와 동일하므로, 동일 단계에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Meanwhile, since the remaining steps except for the bonding step (S211) and the transfer step (S220) are the same as those of the second embodiment, a detailed description of the same steps will be omitted.

이러한 제2실시예의 제1변형예에 따르면, 전사단계(S220) 이후 제1회로패턴 형성단계(S230), 절연코어층 및 금속층 형성단계(S240), 통전부 형성단계(S250), 제2회로패턴 형성단계(S260)를 접합층(70)의 양면에서 각각 또는 동시에 수행한 다음 박리단계(S270)를 수행함으로써, 한 번의 공정을 통해 한 쌍의 인쇄회로기판을 제조할 수 있으므로, 생산효율을 향상시킬 수 있다. According to the first modified example of the second embodiment, after the transfer step (S220), the first circuit pattern forming step (S230), the insulating core layer and metal layer forming step (S240), the conducting part forming step (S250), the second circuit By performing the pattern forming step (S260) separately or simultaneously on both sides of the bonding layer 70 and then performing the peeling step (S270), a pair of printed circuit boards can be manufactured through one process, thereby increasing production efficiency. can improve

첨부도면 중, 도 14는 본 발명의 제2실시예의 제2변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.Among the accompanying drawings, FIG. 14 is a cross-sectional view of each process of a method of manufacturing a printed circuit board according to a second modified example of the second embodiment of the present invention.

본 발명의 제2실시예의 제2변형예는 전사필름을 제조하는 단계(S210), 접합단계(S211), 전사단계(S220), 제1회로패턴 형성단계(S230), 절연코어층 및 추가 전사필름 접합단계(S241), 캐리어부재 박리단계(S242), 금속층 형성단계(S243), 통전부 형성단계(S250), 제2회로패턴 형성단계(S260), 박리단계(S270)를 포함한다.A second modified example of the second embodiment of the present invention is a step of manufacturing a transfer film (S210), a bonding step (S211), a transfer step (S220), a first circuit pattern forming step (S230), an insulating core layer and additional transfer. It includes a film bonding step (S241), a carrier member peeling step (S242), a metal layer forming step (S243), a conducting part forming step (S250), a second circuit pattern forming step (S260), and a peeling step (S270).

여기서, 상기 전사필름을 제조하는 단계(S210), 접합단계(S211), 전사단계(S220), 제1회로패턴 형성단계(S230)는 도 12에 도시된 제2실시예의 제1변형예와 동일하게 이루어지므로, 동일 단계에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Here, the step of manufacturing the transfer film (S210), the bonding step (S211), the transfer step (S220), and the first circuit pattern forming step (S230) are the same as the first modified example of the second embodiment shown in FIG. Since it is made to do so, a detailed description of the same step is omitted.

상기 절연코어층 및 추가 전사필름 접합단계(S241)에서는, 도 14의 (j)와 같이 제1회로패턴(30) 상에 절연코어층(40)과 추가 전사필름(10)을 적층한 후 접합한다.In the step of bonding the insulating core layer and the additional transfer film (S241), the insulating core layer 40 and the additional transfer film 10 are laminated on the first circuit pattern 30 as shown in FIG. 14(j) and then bonded. do.

상기 절연코어층(40)은 글라스에폭시에 열경화수지가 함침되어 반경화상태로 제공되는 프리프레그(Prepreg) 시트나, 본딩 시트 또는 핫 멜트(Hot-melt) 열경화수지 등이 이용될 수 있다. For the insulating core layer 40, a prepreg sheet impregnated with a thermosetting resin in glass epoxy and provided in a semi-cured state, a bonding sheet, or a hot-melt thermosetting resin may be used. .

상기 추가 전사필름(10)은 도 1의 (d)에 도시된 캐리어부재(11), 제1시드층(12) 및 제2시드층(13)이 차례로 적층된 전사필름(10)이 적용될 수 있으며, 상기 추가 전사필름(10)의 제2시드층(13)이 절연코어층(40)과 밀착되도록 적층된다. As the additional transfer film 10, the transfer film 10 in which the carrier member 11, the first seed layer 12, and the second seed layer 13 are sequentially stacked may be applied as shown in (d) of FIG. In addition, the second seed layer 13 of the additional transfer film 10 is stacked so as to be in close contact with the insulating core layer 40.

상기와 같이, 절연코어층(40)에 추가 전사필름(10)을 적층한 후에는 완전한 접합을 위해 핫프레스 공정을 통해 기판의 두께방향으로 열과 압력을 동시에 제공할 수 있다.As described above, after the additional transfer film 10 is laminated on the insulating core layer 40, heat and pressure may be simultaneously applied in the thickness direction of the substrate through a hot press process for complete bonding.

상기 캐리어부재 박리단계(S242)에서는, 도 14의 (k)와 같이 캐리어부재(11)를 제1시드층(12)으로부터 박리한다. 이때, 상기 캐리어부재(11)와 제1시드층(12)의 결합력은 제1시드층(12)과 제2시드층(13)의 결합력 또는 상기 제2시드층(12)과 절연코어층(40)의 결합력에 비해 상대적으로 낮게 설정되는 것이 바람직하다. 제1시드층(12)으로부터 캐리어부재(11)를 박리하면, 제1시드층(12)과 제2시드층(13)이 절연코어층(40) 측으로 전사된다.In the carrier member separation step (S242), the carrier member 11 is separated from the first seed layer 12 as shown in FIG. 14(k). At this time, the bonding strength between the carrier member 11 and the first seed layer 12 is the bonding strength between the first seed layer 12 and the second seed layer 13 or the bonding strength between the second seed layer 12 and the insulating core layer ( 40) is preferably set relatively low compared to the binding force. When the carrier member 11 is separated from the first seed layer 12, the first seed layer 12 and the second seed layer 13 are transferred to the insulating core layer 40 side.

상기 금속층 형성단계(S243)에서는, 도 14의 (k)와 같이 상기 절연코어층(40) 상에 제2시드층(13)이 적층되고, 제2시드층(13) 상에 제1시드층(12)이 적층된 상태에서, 제1시드층(12) 상에 금속층(90)을 형성한다. 이러한 금속층(90)은 제2회로패턴(51)을 형성하기 위한 것으로서, 전기전도율이 우수한 구리 재질로 이루어질 수 있다. 여기서 제1시드층(12) 상에 금속층(90)을 형성하였으나, 캐리어부재(11)의 박리 후, 절연코어층(40) 상에 제2시드층(13)이 적층되고, 제2시드층(13) 상에 제1시드층(12)이 적층된 상태에서, 제1시드층(12)만을 에칭할 수 있는 에칭용액을 이용하여 제1시드층(12)만을 에칭 제거하여, 제2시드층(13) 상에 금속층(90)을 형성할 수도 있다. In the metal layer forming step (S243), the second seed layer 13 is stacked on the insulating core layer 40 as shown in FIG. In the state in which (12) is stacked, a metal layer 90 is formed on the first seed layer 12. The metal layer 90 is for forming the second circuit pattern 51 and may be made of a copper material having excellent electrical conductivity. Here, the metal layer 90 is formed on the first seed layer 12, but after the separation of the carrier member 11, the second seed layer 13 is laminated on the insulating core layer 40, and the second seed layer With the first seed layer 12 stacked on (13), only the first seed layer 12 is etched away using an etching solution capable of etching only the first seed layer 12, thereby forming a second seed layer 12. A metal layer 90 may be formed on the layer 13 .

이와 같이, 도 14에서는, 도 1의 (d)의 캐리어부재(11), 제1시드층(12), 및 제2시드층(13)을 포함하는 전사필름을 사용하였으나, 도 1의 (a)에 도시된 캐리어부재(11) 및 제1시드층(12)을 포함하는 추가 전사필름을 사용할 수 있으며, 이 경우에 금속층(90)은 절연코어층(40)으로 전사된 제1시드층(12) 상에 형성된다. 물론 도 14의 상기 절연코어층 및 추가 전사필름 접합단계(S241)에서, 도 1의 (b), (c) 및 (e)에 도시된 전사필름을 사용할 수도 있음은 물론이다. As such, in FIG. 14, the transfer film including the carrier member 11, the first seed layer 12, and the second seed layer 13 of FIG. 1 (d) was used, but in FIG. It is possible to use an additional transfer film including the carrier member 11 and the first seed layer 12 shown in ), in which case the metal layer 90 is transferred to the insulating core layer 40, the first seed layer ( 12) is formed on Of course, in the bonding step (S241) of the insulating core layer and the additional transfer film of FIG. 14, the transfer film shown in (b), (c) and (e) of FIG. 1 may be used.

한편, 상기 통전부 형성단계(S250), 제2회로패턴 형성단계(S260), 박리단계(S270)는, 제2회로패턴(51)이 제2시드층(13), 제1시드층(12) 및 금속층(90)으로 구성되는 점에서 제2실시예와 차이가 있을 뿐, 통전부(60)와 제2회로패턴(51)을 형성하고 전사필름(10)을 박리하는 과정은 도 13 내지 도 14에 도시된 제2실시예의 제1변형예와 동일하게 이루어지므로, 동일 단계에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Meanwhile, in the conducting part forming step (S250), the second circuit pattern forming step (S260), and the peeling step (S270), the second circuit pattern 51 includes the second seed layer 13 and the first seed layer 12 ) and the metal layer 90, the process of forming the conductive part 60 and the second circuit pattern 51 and peeling the transfer film 10 is shown in FIGS. Since it is performed in the same way as the first modified example of the second embodiment shown in FIG. 14, a detailed description of the same steps will be omitted.

다음으로 본 발명의 제3실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법에 대하여 설명한다. Next, a method for manufacturing a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention will be described.

첨부도면 중, 도 15 내지 도 16은 본 발명의 제3실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.Among the accompanying drawings, FIGS. 15 and 16 are cross-sectional views of each process of a method for manufacturing a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention.

도 15 내지 도 16에 도시된 바와 같은 본 발명의 제3실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법은, 코어기판을 준비하는 단계(S300), 천공단계(S330), 회로패턴 및 통전부 형성단계(S340), 제1시드층을 제거하는 단계(S350) 및 제2시드층을 제거하는 단계(S360)를 포함한다.As shown in FIGS. 15 and 16, the method for manufacturing a printed circuit board according to the third embodiment of the present invention includes preparing a core board (S300), punching step (S330), circuit pattern and conductive part forming step ( S340), removing the first seed layer (S350), and removing the second seed layer (S360).

상기 코어기판을 준비하는 단계(S300)는, 전사필름을 제조하는 단계(S310), 접합단계(S311), 전사단계(S320)를 포함하며, 이러한 공정을 통해 절연코어층(40)의 양면에 제2시드층(13) 및 제1시드층(12)이 각각 차례로 적층된 코어기판을 제조할 수 있다. The step of preparing the core substrate (S300) includes a step of manufacturing a transfer film (S310), a bonding step (S311), and a transfer step (S320), and through these processes, both sides of the insulating core layer 40 A core substrate in which the second seed layer 13 and the first seed layer 12 are sequentially stacked may be manufactured.

여기서, 상기 전사필름을 제조하는 단계(S310)는 제2실시예의 전사필름을 제조하는 단계(S210, 도 10의 (a) 참조)와 동일하므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Here, since the step of manufacturing the transfer film (S310) is the same as the step of manufacturing the transfer film of the second embodiment (S210, see (a) in FIG. 10), a detailed description thereof will be omitted.

상기 접합단계(S311)에서는 도 15의 (b)와 같이 한 쌍의 전사필름(10)의 제2시드층(13)을 절연코어층(40)의 양면에 각각 접합할 수 있다.In the bonding step (S311), the second seed layer 13 of the pair of transfer films 10 may be bonded to both sides of the insulating core layer 40, respectively, as shown in FIG. 15(b).

상기 전사단계(S320)에서는 도 15의 (c)와 같이 상기 전사필름(10)의 캐리어부재(11)를 제거함으로써, 절연코어층(40)의 양면에 제1시드층(12)과 제2시드층(13)이 각각 적층된 코어기판(CS)을 마련하는 점에서 도 10 및 도 11의 제2실시예와 차이를 갖는다. In the transfer step (S320), the first seed layer 12 and the second seed layer 12 are formed on both sides of the insulating core layer 40 by removing the carrier member 11 of the transfer film 10 as shown in FIG. 15(c). It is different from the second embodiment of FIGS. 10 and 11 in that the core substrate CS in which the seed layer 13 is stacked is provided.

한편, 상기 접합단계(S311)와 전사단계(S320)는 절연코어층(40)의 양면에 제1시드층(12)과 제2시드층(13)을 각각 전사하는 점에서 도 10 및 도 11의 제2실시예와 차이가 있을 뿐, 접합하는 방법과 전사하는 방법은 제2실시예의 접합단계(S211, 도 10의 (b) 참조)와 전사단계(S220, 도 10의 (c) 참조)와 동일하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.On the other hand, in the bonding step (S311) and the transfer step (S320), the first seed layer 12 and the second seed layer 13 are transferred to both sides of the insulating core layer 40, respectively, as shown in FIGS. 10 and 11. There is only a difference from the second embodiment of, the bonding method and the transfer method are the bonding step (S211, see Fig. 10 (b)) and the transfer step (S220, see Fig. 10 (c)) of the second embodiment. Since it is the same as, a detailed description thereof is omitted.

상기 천공단계(S330)에서는, 도 15의 (d)와 같이 절연코어층(40) 및 이의 양면에 각각 적층되어 있는 제1시드층(12) 및 제2시드층(13)을 관통하는 비아홀(Via Hole, V)을 형성한다. 이러한 비아홀(V)은 층간 접속을 위한 구현하기 위해 형성되는 것으로서, 기계적인 드릴링 공정이나 레이저를 이용한 드릴링 공정 등을 통해 형성될 수 있다.In the drilling step (S330), via holes passing through the insulating core layer 40 and the first seed layer 12 and the second seed layer 13 laminated on both sides thereof, respectively, as shown in (d) of FIG. 15 ( Via Hole, V) is formed. These via holes (V) are formed to implement interlayer connection, and may be formed through a mechanical drilling process or a drilling process using a laser.

상기 회로패턴 및 통전부 형성단계(S340)에서는, 도 16의 (e) 내지 (i)와 같이 제1시드층(12)의 외표면과 비아홀(V)의 내벽면에 도전막(C)을 형성하는 단계(S341)와, 상기 제1시드층(12) 상에 각각 감광층(20)을 형성하는 단계(S342)와, 상기 감광층(20)을 부분적으로 제거하여 상기 비아홀(V)이 형성된 부분과 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)이 형성될 부분에 패턴홈(21)을 형성하는 단계(S343)와, 상기 패턴홈(21)과 비아홀(V)에 전도성물질을 충진하여 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)을 형성하는 동시에 상기 비아홀(V)에 통전부(60)를 형성하는 전도성물질 충진단계(S344) 및 상기 감광층을 제거하는 단계(S345)를 포함한다.In the circuit pattern and conductive part forming step (S340), a conductive film (C) is formed on the outer surface of the first seed layer 12 and the inner wall surface of the via hole (V) as shown in (e) to (i) of FIG. The forming step (S341), the step of forming the photosensitive layer 20 on the first seed layer 12 (S342), and partially removing the photosensitive layer 20 to form the via hole (V) Forming pattern grooves 21 in the formed portion and the portion where the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 are to be formed (S343), and the pattern groove 21 and the via hole (V) are conductive A conductive material filling step (S344) of forming the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 by filling the material and at the same time forming the conducting part 60 in the via hole (V) and removing the photosensitive layer It includes a step (S345) of doing.

상기 도전막을 형성하는 단계(S341)에서는, 도 16의 (e)와 같이 제1시드층(12)의 외표면과 비아홀의 내벽면에 무전해 동 도금 공정을 통해 도전막(C)을 형성한다. 여기서 도전막(C)을 무전해 도금을 통해 형성하였으나, 전해 도금을 통해 형성할 수도 있으며, 또 다른 방법으로는 금속 페이스트를 프린팅하여 형성할 수 있다. 한 예로서 비아홀(V) 내벽에 은(Ag) 페이스트를 프린팅(printing)하여 형성할 수도 있다. In the step of forming the conductive film (S341), a conductive film (C) is formed on the outer surface of the first seed layer 12 and the inner wall surface of the via hole through an electroless copper plating process, as shown in FIG. 16(e). . Here, although the conductive film (C) is formed through electroless plating, it may be formed through electrolytic plating, or it may be formed by printing a metal paste as another method. As an example, it may be formed by printing silver (Ag) paste on the inner wall of the via hole (V).

상기 감광층을 형성하는 단계(S342)에서는, 도 16의 (f)와 같이 상기 도전막(C) 상에 감광층(20)을 형성한다. 감광층을 형성하는 단계(S342)에서는 일반적인 감광성 드라이필름(Dry Film)을 합지하여 진행하는 방법과 감광성 에칭(Photo Etching) 레지스트 잉크를 도포하여 형성하는 방법 등, 당 기술분야에서 널리 알려진 공정을 통하여 감광층을 형성할 수 있다.In the step of forming the photosensitive layer (S342), the photosensitive layer 20 is formed on the conductive film (C) as shown in FIG. 16(f). In the step of forming the photosensitive layer (S342), through a process widely known in the art, such as a method of laminating a general photosensitive dry film and a method of applying and forming a photosensitive etching resist ink. A photosensitive layer may be formed.

상기 패턴홈을 형성하는 단계(S343)에서는, 도 16의 (g)와 같이 노광 및 현상공정 등을 통해 감광층(20)을 부분적으로 제거하여 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)이 형성될 부분에 패턴홈(21)을 형성한다.In the step of forming the pattern groove (S343), the photosensitive layer 20 is partially removed through exposure and development processes as shown in FIG. 51) to form a pattern groove 21 in the portion to be formed.

상기 전도성물질 충진단계(S344)에서는, 도 16의 (h)와 같이 전해도금 공정을 통해 전기전도율이 우수한 구리와 같은 전도성물질을 상기 패턴홈(21)을 통해 노출된 도전막(C)의 외면에 도금하여 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)을 형성하는 동시에 상기 비아홀(V)의 내벽면에 도금하여 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)을 전기적으로 연결하는 통전부(60)를 형성한다. 여기서 상기 전도성물질 충진단계(S344)는 전해도금 공정을 통해 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51) 및 통전부(60)를 형성하는 것으로 예를 들어 설명하였으나, 무전해도금을 통해 형성할 수도 있다. 또 다른 방법으로는 금속 페이스트를 프린팅하여 제1 및 제2회로패턴(30,51)과 통전부(60)를 형성할 수도 있다.In the conductive material filling step (S344), as shown in FIG. 16 (h), a conductive material such as copper having excellent electrical conductivity is applied to the outer surface of the conductive film (C) exposed through the pattern grooves 21 through an electroplating process. plating to form the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51, and at the same time plating the inner wall surface of the via hole (V) to electrically connect the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51. To form a conductive portion 60 connected to. Here, the conductive material filling step (S344) has been described as an example of forming the first circuit pattern 30, the second circuit pattern 51, and the conducting part 60 through an electroplating process, but electroless plating can be formed through Alternatively, the first and second circuit patterns 30 and 51 and the conducting portion 60 may be formed by printing a metal paste.

상기 감광층 제거단계(S345)에서는, 도 16의 (i)와 같이 상기 도전막(C) 상에 형성된 감광층(20)을 박리하여 제거한다.In the photosensitive layer removing step (S345), the photosensitive layer 20 formed on the conductive film (C) is peeled and removed as shown in FIG. 16(i).

상기 제1시드층을 제거하는 단계(S350)에서는, 도 16의 (j)와 같이 감광층(20)의 박리 후 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 제1시드층(12)을 제거한다. 한편, 제1시드층(12)을 제거하기에 앞서, 플래시 에칭(Flash etching)이나 소프트 에칭(Soft etching) 등의 공정을 통해 제1시드층(12)의 표면에 형성된 구리 재질의 도전막(C)을 제거하는 공정을 추가로 수행할 수 있다. 여기서, 도전막(C) 및 제1시드층(12)을 각각 순차적으로 에칭할 수도 있고, 함께 한꺼번에 1회 공정으로 에칭할 수도 있다.In the step of removing the first seed layer (S350), the portion where the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 are not formed after the photoresist layer 20 is peeled off, as shown in FIG. 16(j). The exposed first seed layer 12 is removed through the. Meanwhile, prior to removing the first seed layer 12, a conductive film made of copper formed on the surface of the first seed layer 12 through a process such as flash etching or soft etching. A process of removing C) may be additionally performed. Here, the conductive film (C) and the first seed layer 12 may be etched sequentially, respectively, or may be etched together in one step.

한편, 상기 제1시드층(12)은 제1회로패턴(30) 및 제2회로패턴(51)을 구성하는 제2전도성 물질과 상이한 제1전도성 물질로 구성되므로, 제1전도성 물질을 선택적으로 용해시킬 수 있는 에칭용액을 이용해 제1시드층(12)을 제거할 수 있다. 이 경우, 제1시드층(12)을 제거하는 과정에서 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. Meanwhile, since the first seed layer 12 is composed of a first conductive material different from the second conductive material constituting the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51, the first conductive material is selectively used. The first seed layer 12 may be removed using an etching solution capable of dissolving it. In this case, it is possible to prevent the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 from being damaged in the process of removing the first seed layer 12 .

상기 제2시드층을 제거하는 단계(S360)에서는, 도 16의 (k)와 같이 상기 제1시드층(12)의 제거 후 노출되는 제2시드층(13)을 제거한다. 상기 제2시드층(13)을 제거하기 위해, 플래시 에칭(Flash etching)이나 소프트 에칭(Soft etching) 등의 방법이 이용될 수 있다.In the removing of the second seed layer (S360), the second seed layer 13 exposed after the removal of the first seed layer 12 is removed as shown in (k) of FIG. 16 . To remove the second seed layer 13, a method such as flash etching or soft etching may be used.

상기와 같은 본 실시예에 따르면, 양면에 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)이 형성되고, 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)이 통전부(80)를 통해 전기적으로 연결되는 양면 인쇄회로기판(100)을 제조할 수 있다.According to the present embodiment as described above, the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 are formed on both surfaces, and the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 are conductive parts 80 ) It is possible to manufacture a double-sided printed circuit board 100 electrically connected through.

또한, 도 16의 (k)와 같이 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)이 양면에 형성된 인쇄회로기판(100)은 다층 인쇄회로기판의 코어회로기판으로 사용될 수 있으며, 빌드업층을 형성하는 단계를 통해 코어회로기판의 양면에 단층 또는 다층의 빌드업층을 형성할 수 있다. In addition, as shown in (k) of FIG. 16, the printed circuit board 100 on which the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 are formed on both sides can be used as a core circuit board of a multilayer printed circuit board, and build Through the step of forming the up-layer, a single-layer or multi-layer build-up layer may be formed on both sides of the core circuit board.

한편, 본 실시예에서는, 도 1의 (d)에 도시된 캐리어부재(11), 제1시드층(12) 및 제2시드층(13)으로 구성된 전사필름(10)을 이용하여 인쇄회로기판을 제조하는 것으로 예를 들어 설명하였으나, 도 1의 (a)에 도시된 캐리어부재(11) 및 제1시드층(12)으로 구성된 전사필름(10)이나, 도 1의 (e)에 도시된 캐리어부재(11), 접착조절층(14), 제1시드층(12) 및 제2시드층(13)으로 구성된 전사필름(10)을 이용하여 인쇄회로기판을 제조하는 것도 가능하다. 도 1의 (a)에 도시된 전사필름(10)을 이용하여 인쇄회로기판을 제조하는 경우에는, 전사필름(10)에 제2시드층(13)이 존재하지 않으므로, 상기 제2시드층을 제거하는 단계(S360)를 생략할 수 있다. On the other hand, in this embodiment, the printed circuit board is printed using the transfer film 10 composed of the carrier member 11, the first seed layer 12, and the second seed layer 13 shown in (d) of FIG. Although described as an example of manufacturing, the transfer film 10 composed of the carrier member 11 and the first seed layer 12 shown in FIG. 1 (a) or the transfer film 10 shown in FIG. 1 (e) It is also possible to manufacture a printed circuit board using the transfer film 10 composed of the carrier member 11, the adhesion control layer 14, the first seed layer 12 and the second seed layer 13. In the case of manufacturing a printed circuit board using the transfer film 10 shown in FIG. 1 (a), since the second seed layer 13 does not exist in the transfer film 10, the second seed layer The removing step (S360) may be omitted.

또한, 상기 제1시드층(12)은, 에칭속도가 서로 다른 2층 이상으로 형성할 수 있으며, 상부 제1시드층(12a)은, 하부 제1시드층(12b) 보다 빠른 에칭속도와 낮은 저항의 특성을 갖는 층으로 구현되는 것이 바람직하다.In addition, the first seed layer 12 may be formed of two or more layers having different etching rates, and the upper first seed layer 12a has a faster etching rate than the lower first seed layer 12b and a lower etching rate. It is preferably implemented as a layer having resistance characteristics.

첨부도면 중, 도 17 내지 도 18은 본 발명의 제3실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 빌드업층 형성단계를 나타낸 공정별 단면도이다. Among the accompanying drawings, FIGS. 17 to 18 are cross-sectional views of each process of forming a build-up layer in a method for manufacturing a printed circuit board according to a third embodiment of the present invention.

이러한 빌드업층을 형성하는 단계는, 도 17 내지 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51) 상에 절연층(81) 및 추가시드층(82)을 형성하는 단계(S371)와, 상기 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)의 일부가 노출되도록 상기 추가시드층(82)과 절연층(81)을 관통하는 비아홀(V)을 형성하는 단계(S372)와, 상기 추가시드층(82)의 외표면 및 비아홀(V)의 내벽면에 도전막(83)을 형성하는 단계(S373)와, 상기 도전막(83) 상에 감광층(84)을 형성하는 단계(S374)와, 상기 감광층(84)에 패턴홈(84a)을 형성하는 단계(S375)와, 상기 패턴홈(84a)을 통해 노출된 부위에 도전성물질을 충진하여 회로패턴(85)을 형성하는 도전성물질 충진단계(S376)와, 상기 감광층(84)을 제거하는 단계(S377) 및 상기 회로패턴(85)이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 추가시드층(82)을 제거하는 단계(S378)를 포함한다.As shown in FIGS. 17 and 18 , the forming of the build-up layer is performed by forming an insulating layer 81 and an additional seed layer 82 on the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 . Forming step (S371), and the via hole (V) passing through the additional seed layer 82 and the insulating layer 81 to expose a part of the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 Forming a step (S372), forming a conductive film 83 on the outer surface of the additional seed layer 82 and the inner wall surface of the via hole (V) (S373), on the conductive film 83 Forming the photosensitive layer 84 (S374), forming pattern grooves 84a in the photosensitive layer 84 (S375), and applying a conductive material to the portion exposed through the pattern grooves 84a. Filling the conductive material to form the circuit pattern 85 (S376), removing the photosensitive layer 84 (S377), and additional seed exposed through the portion where the circuit pattern 85 is not formed and removing the layer 82 (S378).

상기 절연층 및 추가시드층을 형성하는 단계(S371)에서는, 도 17의 (a)와 같이, 상기 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51) 상에 절연층(81)과, 추가시드층(82)을 차례로 적층한 후 접합한다.In the step of forming the insulating layer and the additional seed layer (S371), as shown in FIG. 17(a), the insulating layer 81 is formed on the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51, Additional seed layers 82 are sequentially stacked and bonded.

상기 절연층(81)은 글라스에폭시에 열경화수지가 함침되어 반경화상태로 제공되는 프리프레그(Prepreg) 시트나, 본딩 시트 또는 핫 멜트(Hot-melt) 열경화수지 등이 이용될 수 있다. 또한, 절연층(81)과 추가시드층(82)을 적층한 후에는 완전한 접합을 위해 핫프레스 공정을 통해 기판의 두께방향으로 열과 압력을 동시에 제공할 수 있다.The insulating layer 81 may be a prepreg sheet impregnated with a thermosetting resin in glass epoxy and provided in a semi-cured state, a bonding sheet, or a hot-melt thermosetting resin. In addition, after the insulating layer 81 and the additional seed layer 82 are laminated, heat and pressure may be simultaneously applied in the thickness direction of the substrate through a hot press process for complete bonding.

상기 추가시드층(82)은 1~5㎛ 두께의 구리(Cu) 박막으로 이루어질 수 있다.The additional seed layer 82 may be formed of a copper (Cu) thin film having a thickness of 1 to 5 μm.

상기 비아홀을 형성하는 단계(S372)에서는, 도 17의 (b)와 같이, 상기 추가시드층(82)과 절연층(81)을 관통하는 비아홀(V)을 형성한다. 이러한 비아홀(V)의 형성 후에는 비아홀(V)을 통해 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)의 일부가 노출되도록 할 수 있다.In the step of forming the via hole (S372), a via hole V penetrating the additional seed layer 82 and the insulating layer 81 is formed as shown in FIG. 17(b). After forming the via hole (V), parts of the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 may be exposed through the via hole (V).

상기 도전막을 형성하는 단계(S373)에서는, 도 17의 (c)와 같이, 상기 추가시드층(82)의 외표면과 상기 비아홀(V)의 내벽면에 도금 공정을 통해 도전막(83)을 형성한다. 여기서, 전해도금 공정 또는 무전해 도금 공정을 통해 도전막(83)을 형성하는 것이 바람직할 수 있으나, 스크린 인쇄, 잉크젯팅을 단독 수행하거나 이들 중 선택하여 2종 이상의 방법을 함께 사용하여 형성할 수도 있다.In the step of forming the conductive film (S373), as shown in (c) of FIG. 17, a conductive film 83 is formed on the outer surface of the additional seed layer 82 and the inner wall surface of the via hole V through a plating process. form Here, it may be preferable to form the conductive film 83 through an electroplating process or an electroless plating process, but it may be formed by performing screen printing or inkjetting alone or by using two or more methods selected from these. have.

상기 감광층을 형성하는 단계(S374)에서는, 도 17의 (d)와 같이, 상기 도전막(83) 상에 감광층(84)을 형성한다. 감광층(84)은 도전막(83) 상에 회로패턴을 형성하기 위한 사전 단계이다. 감광층을 형성하는 단계(S374)에서는 일반적인 감광성 드라이필름(Dry Film)을 합지하여 진행하는 방법과 감광성 에칭(Photo Etching) 레지스트 잉크를 도포하여 형성하는 방법 등, 당 기술분야에서 널리 알려진 공정을 통하여 감광층을 형성할 수 있다.In the step of forming the photosensitive layer (S374), a photosensitive layer 84 is formed on the conductive film 83 as shown in FIG. 17(d). The photoresist layer 84 is a preliminary step for forming a circuit pattern on the conductive film 83 . In the step of forming the photosensitive layer (S374), through a process widely known in the art, such as a method of laminating a general photosensitive dry film and a method of forming by applying a photosensitive etching resist ink. A photosensitive layer may be formed.

상기 패턴홈을 형성하는 단계(S375)에서는, 도 18의 (e)와 같이, 노광 및 현상공정 등을 통해 감광층(84)을 부분적으로 제거하여 회로패턴이 형성될 부분에 패턴홈(84a)을 형성한다.In the step of forming the pattern groove (S375), the photosensitive layer 84 is partially removed through exposure and development processes, as shown in FIG. form

상기 도전성물질 충진단계(S376)에서는, 도 18의 (f)와 같이, 전해도금 공정을 통해 전기전도율이 우수한 구리와 같은 전도성물질을 상기 패턴홈(84a)에 충진시켜 회로패턴(85)을 형성하는 동시에, 상기 회로패턴(85)이 비아홀(V)을 통해 노출된 하부의 제1회로패턴(30) 또는 제2회로패턴(51)과 전기적으로 연결되도록 한다. 도전성물질을 충진하기 위한 또 다른 방법으로는 금속 페이스트를 프린팅하는 방법이 이용될 수 있다. 또는 코팅, 스크린인쇄, 전해도금, 무전해도금, 잉크젯팅을 단독 수행하거나 이들 중 선택하여 2종 이상의 방법을 함께 사용하여 형성할 수도 있다. In the conductive material filling step (S376), as shown in FIG. 18(f), a conductive material such as copper having excellent electrical conductivity is filled in the pattern grooves 84a through an electroplating process to form a circuit pattern 85. At the same time, the circuit pattern 85 is electrically connected to the first circuit pattern 30 or the second circuit pattern 51 exposed through the via hole V. As another method for filling the conductive material, a method of printing a metal paste may be used. Alternatively, coating, screen printing, electroplating, electroless plating, and inkjetting may be performed alone or two or more methods may be selected from among them.

상기 감광층을 제거하는 단계(S377)에서는, 도 18의 (g)와 같이, 상기 도전막(83) 상에 형성된 감광층(84)을 박리하여 제거한다.In step S377 of removing the photoresist layer, the photoresist layer 84 formed on the conductive film 83 is peeled off and removed, as shown in FIG. 18(g).

상기 추가시드층을 제거하는 단계(S378)에서는, 도 18의 (h)와 같이, 상기 감광층(84)의 제거 후 회로패턴(85)이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 도전막(83)과 추가시드층(82)을 제거한다. 상기 도전막(83)과 추가시드층(82)은 동일한 구리 재질로 이루어지므로, 플래시 에칭(Flash etching)이나 소프트 에칭(Soft etching) 등의 방법을 통해 상기 도전막(83)과 추가시드층(82)을 동시에 제거할 수 있다. 물론 순차적으로 각각 제거하는 것도 가능하다In the step of removing the additional seed layer (S378), as shown in FIG. and the additional seed layer 82 are removed. Since the conductive film 83 and the additional seed layer 82 are made of the same copper material, the conductive film 83 and the additional seed layer ( 82) can be removed at the same time. Of course, it is also possible to remove each one sequentially.

첨부도면 중, 도 19 내지 도 20은 본 발명의 제3실시예의 제1변형예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.Among the accompanying drawings, FIGS. 19 to 20 are cross-sectional views for each process of a method for manufacturing a printed circuit board according to a first modified example of the third embodiment of the present invention.

본 발명의 제3실시예의 제1변형예에서는, 상술한 제3실시예와 같이 코어기판을 준비하는 단계(S300), 천공단계(S330), 회로패턴 및 통전부 형성단계(S340), 제1시드층을 제거하는 단계(S350) 및 제2시드층을 제거하는 단계(S360)를 포함하며, 상기 코어기판을 준비하는 단계(S300)의 전사필름을 제조하는 단계(S310)에서 도 1의 (e)에 도시된 전사필름(10)이 제조되는 점에서 도 15 및 도 16의 제3실시예와 차이가 있다.In the first modified example of the third embodiment of the present invention, as in the above-described third embodiment, preparing a core substrate (S300), drilling step (S330), forming circuit patterns and conductive parts (S340), It includes removing the seed layer (S350) and removing the second seed layer (S360), and in the step of manufacturing the transfer film (S310) of the preparing the core substrate (S300) There is a difference from the third embodiment of FIGS. 15 and 16 in that the transfer film 10 shown in e) is manufactured.

즉, 전사필름을 제조하는 단계(S310)에 있어서, 전사필름(10)은 도 19의 (a)와 같이 캐리어부재(11), 접착조절층(14), 제1시드층(12) 및 제2시드층(13)이 차례로 적층된 형태로 구성될 수 있다. 즉 본 실시예에서는 도 1의 (e)에 도시된 전사필름 형태로 제조하여 사용할 수 있다. That is, in the step of manufacturing the transfer film (S310), the transfer film 10 includes the carrier member 11, the adhesion control layer 14, the first seed layer 12, and the first seed layer 12 as shown in (a) of FIG. The second seed layer 13 may be sequentially stacked. That is, in this embodiment, it can be manufactured and used in the form of a transfer film shown in (e) of FIG.

상기와 같이 구성된 전사필름(10)은 도 19의 (b)와 같이 접합단계(S311)를 통해 절연코어층(40)의 양면에 각각 접합될 수 있으며, 전사필름(10)의 캐리어부재(11)와 접착조절층(14)은 도 19의 (c)와 같이 전사단계(S320)를 통해 제1시드층(12)으로부터 제거될 수 있다. 구체적으로 전사단계(S320)에서는 캐리어부재(11)에 물리적인 힘을 가하여 캐리어부재(11)를 제1시드층(12)으로부터 박리할 수 있으며, 이 과정에서 접착조절층(14)은 캐리어부재(11)와 함께 제1시드층(12)으로부터 박리될 수 있다. The transfer film 10 configured as described above may be bonded to both sides of the insulating core layer 40 through a bonding step (S311), respectively, as shown in (b) of FIG. 19, and the carrier member 11 of the transfer film 10 ) and the adhesion control layer 14 may be removed from the first seed layer 12 through the transfer step (S320) as shown in (c) of FIG. Specifically, in the transfer step (S320), the carrier member 11 may be separated from the first seed layer 12 by applying a physical force to the carrier member 11, and in this process, the adhesion control layer 14 is the carrier member It can be peeled off from the first seed layer 12 together with (11).

이와 같이, 코어기판을 준비하는 단계(S300)에서는, 전사필름을 제조하는 단계(S310)와 접합단계(S311) 및 전사단계(S320)를 통해 절연코어층(40)의 양면에 제2시드층(13)과 제1시드층(12)이 각각 차례로 적층된 코어기판(CS)을 마련할 수 있다.In this way, in the step of preparing the core substrate (S300), the second seed layer on both sides of the insulating core layer 40 through the step of manufacturing a transfer film (S310), the bonding step (S311), and the transfer step (S320). A core substrate CS in which (13) and the first seed layer 12 are sequentially stacked may be provided.

한편, 상기 코어기판을 준비하는 단계(S300) 이후에 수행되는 천공단계(S330), 회로패턴 및 통전부 형성단계(S340), 제1시드층을 제거하는 단계(S350) 및 제2시드층을 제거하는 단계(S360)는 상술한 도 15 내지 도 16의 제3실시예와 동일하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.On the other hand, after the step of preparing the core substrate (S300), the drilling step (S330), the circuit pattern and conducting part formation step (S340), the step of removing the first seed layer (S350), and the second seed layer Since the removing step (S360) is the same as the third embodiment of FIGS. 15 to 16 described above, a detailed description thereof will be omitted.

다음으로 본 발명의 제4실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법에 대하여 설명한다. Next, a method for manufacturing a printed circuit board according to a fourth embodiment of the present invention will be described.

첨부도면 중, 도 21 내지 도 22는 본 발명의 제4실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 공정별 단면도이다.Among the accompanying drawings, FIGS. 21 and 22 are cross-sectional views of each process of a method for manufacturing a printed circuit board according to a fourth embodiment of the present invention.

도 21 내지 도 22에 도시된 바와 같은 본 발명의 제4실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법은, 코어기판을 준비하는 단계(S400), 제1시드층을 제거하는 단계(S450), 천공단계(S430), 회로패턴 및 통전부 형성단계(S440)와, 제2시드층을 제거하는 단계(S460)를 포함하고, 상기 코어기판을 준비하는 단계(S400)는 전사필름을 제조하는 단계(S410)와 접합단계(S411) 및 전사단계(S420)를 포함한다.As shown in FIGS. 21 and 22, the method for manufacturing a printed circuit board according to the fourth embodiment of the present invention includes preparing a core substrate (S400), removing a first seed layer (S450), and punching a step. (S430), forming a circuit pattern and conducting part (S440), and removing the second seed layer (S460), and preparing the core substrate (S400) is a step of manufacturing a transfer film (S410). ) and a bonding step (S411) and a transfer step (S420).

본 발명의 제4실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법은, 도 21에 도시된 바와 같이 전사단계(S420) 이후에 제1시드층을 제거하는 단계(S450)를 수행하는 점에서 상술한 도 15 내지 도 16의 제3실시예와 차이를 갖는다. 15 described above in that the method of manufacturing a printed circuit board according to the fourth embodiment of the present invention performs a step (S450) of removing the first seed layer after the transfer step (S420) as shown in FIG. 21. to the third embodiment of FIG. 16.

즉, 상술한 제3실시예에서는 회로패턴 및 통전부 형성단계(S340, 도 16의 (e) 내지 (i) 참조)를 통해 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)을 형성한 다음, 제1시드층 제거단계(S350, 도 16의 (j) 참조)에서 외부로 노출된 제1시드층(12)을 제거하는 것과 달리, 제4실시예에서는 전사단계(S420) 이후에 제1시드층을 제거하는 단계(S450)를 수행함으로써 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)을 형성하기에 앞서 제1시드층(12) 전체를 제거하는 차이가 있는 것이다. 이에, 제3실시예를 도시한 도 16의 (k)에서 제1시드층(12) 일부가 회로 내측에 내장되어 있는 것과는 달리 제4실시예에서는 도 22의 (j)에서 제1시드층(12)이 회로 내측에 내장되어 있지 않다는 차이가 있다. 한편, 제1회로패턴(30)과 제2회로패턴(51)을 형성하기에 앞서 제1시드층(12) 전체를 제거하기 때문에, 예컨대 은(Ag) 재질의 제1시드층(12)을 회수하여 재활용할 수 있음에 따라 제조비용을 절감하고, 환경 이슈 발생을 방지할 수 있게 된다. That is, in the above-described third embodiment, the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 are formed through the circuit pattern and conductive part forming step (S340, see (e) to (i) of FIG. 16). Then, unlike removing the first seed layer 12 exposed to the outside in the first seed layer removal step (S350, see (j) of FIG. 16), in the fourth embodiment, after the transfer step (S420) By performing the step of removing the first seed layer (S450), there is a difference in that the entire first seed layer 12 is removed prior to forming the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51. Accordingly, unlike the third embodiment in which a part of the first seed layer 12 is embedded inside the circuit in FIG. 16 (k), in the fourth embodiment, in FIG. 22 (j), the first seed layer ( 12) is not built into the circuit. On the other hand, since the entire first seed layer 12 is removed prior to forming the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51, the first seed layer 12 made of, for example, silver (Ag) As it can be recovered and recycled, manufacturing costs can be reduced and environmental issues can be prevented.

상기 코어기판을 준비하는 단계(S400)에서는, 도 21의 (a) 내지 (c)와 같이 전사필름을 제조하는 단계(S410), 접합단계(S411), 전사단계(S420)를 통해 절연코어층(40)의 양면에 제2시드층(13) 및 제1시드층(12)이 각각 차례로 적층된 코어기판(CS)을 제조할 수 있다. In the step of preparing the core substrate (S400), the insulating core layer through the step of manufacturing a transfer film (S410), bonding step (S411), and transfer step (S420) as shown in (a) to (c) of FIG. A core substrate (CS) in which the second seed layer 13 and the first seed layer 12 are sequentially stacked on both surfaces of (40) can be manufactured.

이어, 상기 제1시드층 제거단계(S450)에서는, 도 21의 (d)와 같이 캐리어부재(11)의 박리 후 노출된 제1시드층(12)을 에칭 등의 방법으로 제거할 수 있다. 이때, 상기 제1시드층(12)은 제2시드층(13)과 상이한 제1전도성 물질로 구성되므로, 제1전도성 물질을 선택적으로 용해시킬 수 있는 에칭용액을 이용해 제1시드층(12)을 제거할 수 있다. 따라서, 제1시드층(12)을 제거하는 과정에서 제2시드층(13)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. Then, in the first seed layer removal step (S450), the first seed layer 12 exposed after the peeling of the carrier member 11 may be removed by a method such as etching, as shown in FIG. 21(d). At this time, since the first seed layer 12 is composed of a first conductive material different from that of the second seed layer 13, the first seed layer 12 is formed by using an etching solution capable of selectively dissolving the first conductive material. can be removed. Therefore, it is possible to prevent the second seed layer 13 from being damaged in the process of removing the first seed layer 12 .

이와 같이 전사필름을 제조하는 단계(S410), 접합단계(S411), 전사단계(S420) 및 제1시드층 제거단계(S450)를 통해, 예컨대 구리 제2시드층(13)을 캐리어부재(11)에 직접 형성하지 않고 평활도가 좋은 예컨대 은(Ag) 제1시드층(12) 위에 형성하고 기존 산세, 소프트 에칭 대신에 제2시드층(13)과 상이한 제1전도성 물질의 제1시드층(12)을 선택적으로 에칭하여 제거함에 따라, 제2시드층(13)의 우수한 평활도를 확보한 상태와, 제1시드층(12)에 의해 일면이 커버, 보호되어 절연코어층(40)으로 전사됨에 따라 제2시드층(13)이 기존 방식에서 오염되고 산화되던 것이 해결된 상태에서, 회로를 형성하는 그 이후 공정이 진행됨에 따라, 매우 매끄럽고 균일하며 직진도가 우수한 미세 제1 및 제2회로패턴(30,51)을 용이하게 구현할 수 있게 된다. 즉 미세한 회로패턴을 매우 용이하게 구현할 수 있게 되는 것이다. 또한, 앞서, 설명한 바와 같이, 예컨대 구리 제2시드층(13)이 평활도가 좋기에, 구리의 정반사로 높은 레졸루션(resolution)을 구현할 수 있게 된다.In this way, through the step of manufacturing the transfer film (S410), the bonding step (S411), the transfer step (S420), and the first seed layer removal step (S450), for example, the copper second seed layer 13 is removed from the carrier member 11 ), but formed on the first seed layer 12 of silver (Ag) having good smoothness, for example, and instead of the existing pickling and soft etching, the first seed layer of a first conductive material different from the second seed layer 13 ( 12) is selectively etched and removed, the excellent smoothness of the second seed layer 13 is secured, and one surface is covered and protected by the first seed layer 12 and transferred to the insulating core layer 40. As the second seed layer 13 is contaminated and oxidized in the conventional method, as the subsequent process of forming the circuit proceeds, very smooth, uniform, and fine first and second circuits with excellent straightness The patterns 30 and 51 can be easily implemented. That is, it is possible to implement a fine circuit pattern very easily. In addition, as described above, since the smoothness of the second copper seed layer 13 is good, for example, high resolution can be implemented by regular reflection of copper.

한편, 제4실시예의 천공단계(S430), 회로패턴 및 통전부 형성단계(S440)는 제3실시예의 천공단계(S330, 도 15의 (d)참조), 회로패턴 및 통전부 형성단계(S340, 도 16의 (e) 내지 (i)참조)와 동일한 방법으로 이루어지므로, 동일 단계에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Meanwhile, the punching step (S430) and circuit pattern and conductive part forming step (S440) of the fourth embodiment are the punching step (S330, see FIG. 15(d)), circuit pattern and conductive part forming step (S340) of the third embodiment. , See (e) to (i) of FIG. 16), the detailed description of the same steps is omitted.

상기 제2시드층을 제거하는 단계(S460)에서는, 도 22의 (j)와 같이 감광층(20)의 제거 후 노출된 제2시드층(13)을 제거한다. 상기 제2시드층(13)을 제거하기 위해, 플래시 에칭(Flash etching)이나 소프트 에칭(Soft etching) 등의 방법이 이용될 수 있다. 한편, 상기 제2시드층(13) 상에 형성된 동박층(C)은 제2시드층(13)과 동일한 구리 재질로 이루어지므로, 제2시드층(13)을 제거하는 과정에서 제2시드층(13)과 함께 제거될 수 있다. 이와 같이, 본 실시예에서는 제1시드층 제거단계(S450)에서 제1시드층(12)을 제거한 후, 천공단계(S430)를 수행하기 때문에, 제2시드층을 제거하는 단계(S460)단계에서 제1시드층(12)이 존재하지 않게 된다. 즉, 제2시드층(13) 및 동박층(C)이 같은 물질이므로 1번의 에칭으로 한꺼번에 제거할 수 있게 됨에 따라, 제조 공수를 줄일 수 있게 되고, 제조비 및 생산성을 향상시킬 수 있게 된다. In the step of removing the second seed layer ( S460 ), the second seed layer 13 exposed after the removal of the photoresist layer 20 is removed as shown in (j) of FIG. 22 . To remove the second seed layer 13, a method such as flash etching or soft etching may be used. Meanwhile, since the copper foil layer (C) formed on the second seed layer 13 is made of the same copper material as the second seed layer 13, in the process of removing the second seed layer 13, the second seed layer (13) can be removed. As such, in the present embodiment, since the first seed layer 12 is removed in the first seed layer removal step (S450) and then the perforation step (S430) is performed, the second seed layer is removed (S460). In this case, the first seed layer 12 does not exist. That is, since the second seed layer 13 and the copper foil layer (C) are made of the same material, they can be removed at once through one etching process, thereby reducing manufacturing man-hours and improving manufacturing cost and productivity.

한편, 본 실시예에서는, 도 1의 (d)에 도시된 캐리어부재(11), 제1시드층(12) 및 제2시드층(13)으로 구성된 전사필름(10)을 이용하여 인쇄회로기판을 제조하는 것으로 예를 들어 설명하였으나, 도 1의 (e)에 도시된 캐리어부재(11), 접착조절층(14), 제1시드층(12) 및 제2시드층(13)으로 구성된 전사필름(10)을 이용하여 인쇄회로기판을 제조하는 것도 가능하다.On the other hand, in this embodiment, the printed circuit board is printed using the transfer film 10 composed of the carrier member 11, the first seed layer 12, and the second seed layer 13 shown in (d) of FIG. It has been described as an example of manufacturing, but the transfer consisting of the carrier member 11, the adhesion control layer 14, the first seed layer 12 and the second seed layer 13 shown in (e) of FIG. It is also possible to manufacture a printed circuit board using the film 10 .

첨부도면 중, 도 23 내지 도 24는 본 발명의 제4실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 빌드업층 형성단계를 나타낸 공정별 단면도이다. Among the accompanying drawings, FIGS. 23 to 24 are cross-sectional views of each process of forming a build-up layer in a method for manufacturing a printed circuit board according to a fourth embodiment of the present invention.

도 23 내지 도 24에 도시된 바와 같이, 제4실시예에서 제조된 양면 인쇄회로기판(100)은 코어회로기판으로 사용될 수 있으며, 제3실시예에서 설명한 빌드업층을 형성하는 단계(도 17 및 도 18)와 동일한 방법으로 양면 인쇄회로기판(100)의 제1회로패턴(30) 및 제2회로패턴(51) 상에 단층 또는 다층의 빌드업층을 형성할 수 있다. 이러한 빌드업층을 형성하는 과정(S461 ~ S468)은 제3실시예의 빌드업층 형성단계와 동일하므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.As shown in FIGS. 23 to 24, the double-sided printed circuit board 100 manufactured in the fourth embodiment can be used as a core circuit board, and the steps of forming the build-up layer described in the third embodiment (FIG. 17 and 18), a single layer or multi-layered build-up layer may be formed on the first circuit pattern 30 and the second circuit pattern 51 of the double-sided printed circuit board 100. Since the process of forming the buildup layer (S461 to S468) is the same as the step of forming the buildup layer in the third embodiment, a detailed description thereof will be omitted.

첨부도면 중, 도 25는 본 발명의 제3 및 제4실시예에 따른 인쇄회로기판 제조방법의 코어기판을 제조하는 단계를 나타낸 공정별 단면도이다.Among the accompanying drawings, FIG. 25 is a cross-sectional view for each process of manufacturing a core substrate in a method for manufacturing a printed circuit board according to third and fourth embodiments of the present invention.

제3실시예의 코어기판(CS, 도 15의 (c) 참조)과, 제3실시예의 제1변형예의 코어기판(CS, 도 19의 (c) 참조) 및 제4실시예의 코어기판(CS, 도 21의 (c) 참조)은, 도 25에 도시된 바와 같이, 코어기판을 제조하는 단계를 통해 제조될 수 있다. The core substrate (CS, see FIG. 15 (c)) of the third embodiment, the core substrate (CS, see FIG. 19 (c)) of the first modified example of the third embodiment, and the core substrate (CS, see FIG. 19 (c)) of the fourth embodiment. Referring to (c) of FIG. 21), as shown in FIG. 25, it may be manufactured through a step of manufacturing a core substrate.

이러한 코어기판을 제조하는 단계는, 전사필름을 제조하는 단계(S11)와 접합단계(S12) 및 전사단계(S13)을 포함한다.The step of manufacturing the core substrate includes a step of manufacturing a transfer film (S11), a bonding step (S12), and a transfer step (S13).

구체적으로, 상기 전사필름을 제조하는 단계(S11)에서는, 도 25의 (a)와 같이 표면평활도가 우수한 캐리어부재(11)의 양면에 은(Ag) 재질로 이루어진 제1시드층(12)을 각각 형성하고, 상기 제1시드층(12) 상에 구리(Cu) 재질로 이루어진 1~5㎛ 두께의 제2시드층(13)을 각각 형성하여 양면 전사필름(10)을 제조할 수 있다.Specifically, in the step of manufacturing the transfer film (S11), as shown in FIG. 25 (a), the first seed layer 12 made of silver (Ag) material is applied to both sides of the carrier member 11 having excellent surface smoothness The double-sided transfer film 10 may be manufactured by forming a second seed layer 13 having a thickness of 1 to 5 μm made of copper (Cu) on the first seed layer 12, respectively.

이러한 전사필름을 제조하는 단계(S11)는 캐리어부재(11)의 양면에 제1시드층(12)과 제2시드층(13)을 각각 형성하는 점에서 제3실시예의 전사필름을 제조하는 단계(S310, 도 15의 (a) 참조)와 차이가 있으나, 캐리어부재(11)의 표면에 제1시드층(12) 및 제2시드층(13)을 차례로 형성하는 과정은 제3실시예와 동일하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다. The step of manufacturing such a transfer film (S11) is a step of manufacturing the transfer film of the third embodiment in that the first seed layer 12 and the second seed layer 13 are formed on both sides of the carrier member 11, respectively. Although different from (S310, see (a) of FIG. 15), the process of sequentially forming the first seed layer 12 and the second seed layer 13 on the surface of the carrier member 11 is similar to that of the third embodiment. Since they are the same, a detailed description thereof will be omitted.

이어, 상기 접합단계(S12)에서는, 도 25의 (b)와 같이 복수의 양면 전사필름(10)들 사이에 절연코어층(40)을 각각 배치한 후 두께 방향으로 열과 압력을 제공하여 접합하고, 상기 전사단계(S13)에서는 도 25의 (c)와 같이 전사필름(10)의 캐리어부재(11)를 제거하여 절연코어층(40)의 양면에 제1시드층(12)과 제2시드층(13)을 각각 전사한다. Subsequently, in the bonding step (S12), as shown in (b) of FIG. 25, after disposing the insulating core layer 40 between the plurality of double-sided transfer films 10, respectively, they are bonded by applying heat and pressure in the thickness direction, , In the transfer step (S13), the carrier member 11 of the transfer film 10 is removed as shown in (c) of FIG. Each layer 13 is transferred.

여기서, 상기 절연코어층(40)은 제3실시예의 절연코어층(40)과 동일한 재질로 이루어지고, 상기 접합단계(S12) 및 전사단계(S13)는 제3실시예의 접합단계(S311, 도 15의 (b) 참조) 및 전사단계(S320, 도 15의 (c) 참조)과 동일한 방법으로 수행되므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.Here, the insulating core layer 40 is made of the same material as the insulating core layer 40 of the third embodiment, and the bonding step (S12) and the transfer step (S13) are the bonding step (S311, FIG. 15 (b)) and the transfer step (S320, see (c) of FIG. 15) are performed in the same manner, so a detailed description thereof is omitted.

상기와 같이, 복수 마련되는 양면 전사필름(10)들 사이에 각각 절연코어층(40)을 배치하고 기판의 두께 방향으로 열과 압력을 가해 접합한 다음 캐리어부재(11)를 제거하면, 절연코어층(40)의 양면에 제1시드층(12)과 제2시드층(13)이 각각 적층된 코어기판(CS)을 마련할 수 있다.As described above, when the insulating core layer 40 is placed between the plurality of double-sided transfer films 10, respectively, bonded by applying heat and pressure in the thickness direction of the substrate, and then the carrier member 11 is removed, the insulating core layer A core substrate CS in which the first seed layer 12 and the second seed layer 13 are stacked on both sides of the surface 40 may be provided.

예를 들어, 도 25의 (b)와 같이 4개의 양면 전사필름(10)들 사이에 절연코어층(40)을 각각 접합한 다음, 도 25의 (c)와 같이 캐리어부재(11)를 제거하면, 3개의 코어기판(CS)을 제조할 수 있다.For example, as shown in FIG. 25 (b), the insulating core layer 40 is bonded between four double-sided transfer films 10, respectively, and then the carrier member 11 is removed as shown in FIG. 25 (c). If so, three core substrates (CS) can be manufactured.

즉, 단면 전사필름(10)을 이용하여 3개의 코어기판(CS)을 제조하는 경우에는 6개의 단면 전사필름이 요구되는 것은 물론, 각각의 제조공정을 통해 코어기판(CS)을 하나씩만 제조할 수 있으나, 상기와 같이 양면 전사필름(10)을 이용하는 경우에는 4개의 양면 전사필름(10)으로 3개의 코어기판(CS)을 동시에 제조할 수 있다. That is, in the case of manufacturing three core substrates (CS) using the single-sided transfer film 10, six single-sided transfer films are required, and only one core substrate (CS) can be manufactured through each manufacturing process. However, in the case of using the double-sided transfer film 10 as described above, three core substrates CS can be simultaneously manufactured with four double-sided transfer films 10.

한편, 본 실시예에서는 4개의 양면 전사필름(10)을 이용해 3개의 코어기판(CS)을 제조하는 것으로 예를 들어 설명하였으나, 접합단계(S12)에서의 접합 환경에 따라 더 많은 수의 양면 전사필름(10)을 이용해 코어기판(CS)을 제조하는 것도 가능할 것이다.On the other hand, in this embodiment, it has been described as an example of manufacturing three core substrates (CS) using four double-sided transfer films 10, but a larger number of double-sided transfers according to the bonding environment in the bonding step (S12). It will also be possible to manufacture the core substrate CS using the film 10 .

따라서, 한 번의 제조공정을 통해 다수의 코어기판을 제조할 수 있으므로, 생산성의 향상 및 제조 공정의 간소화를 이룰 수 있으며, 단면 전사필름을 이용하는 것에 비해 캐리어부재의 소비를 절감할 수 있다.Therefore, since a plurality of core substrates can be manufactured through a single manufacturing process, productivity can be improved and the manufacturing process can be simplified, and consumption of a carrier member can be reduced compared to using a single-sided transfer film.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, but may be implemented in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Anyone skilled in the art without departing from the subject matter of the present invention claimed in the claims is considered to be within the scope of the claims of the present invention to various extents that can be modified.

10:전사필름, 11:캐리어부재, 12:제1시드층,
13:제2시드층, 14:접합조절층, 20:감광층,
21:패턴홈, 30:제1회로패턴, 40:절연코어층,
50,90:금속층, 51:제2회로패턴, 60:통전부,
70:접합층, 81:절연층, 82:추가시드층,
83:도전막, 84:감광층, 84a:패턴홈,
85:회로패턴C:도전막, V:비아홀, CS:코어기판
10: transfer film, 11: carrier member, 12: first seed layer,
13: second seed layer, 14: junction control layer, 20: photosensitive layer,
21: pattern groove, 30: first circuit pattern, 40: insulating core layer,
50,90: metal layer, 51: second circuit pattern, 60: conductive part,
70: bonding layer, 81: insulating layer, 82: additional seed layer,
83: conductive film, 84: photosensitive layer, 84a: pattern groove,
85: circuit pattern C: conductive film, V: via hole, CS: core substrate

Claims (49)

평활 표면을 갖는 캐리어부재의 일면에 정반사 특성을 갖는 은(Ag) 재질로 된 제1시드층을 형성하여 전사필름을 제조하는 단계;
포토리소그래피 공정을 통해 상기 제1시드층 상에 제1회로패턴을 형성하는 단계;
상기 제1회로패턴 상에 절연코어층 및 금속층을 형성하는 단계;
상기 제1회로패턴과 상기 금속층을 전기적으로 연결하는 통전부를 형성하는 단계;
상기 금속층을 패터닝하여 제2회로패턴을 형성하는 단계; 및
상기 전사필름을 제거하여 상기 제1회로패턴을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
manufacturing a transfer film by forming a first seed layer made of a silver (Ag) material having regular reflection characteristics on one surface of a carrier member having a smooth surface;
forming a first circuit pattern on the first seed layer through a photolithography process;
forming an insulating core layer and a metal layer on the first circuit pattern;
forming a conductive part electrically connecting the first circuit pattern and the metal layer;
patterning the metal layer to form a second circuit pattern; and
and removing the transfer film to transfer the first circuit pattern to the insulating core layer.
제 1항에 있어서,
상기 전사필름을 제조하는 단계는,
상기 캐리어부재와 상기 제1시드층의 사이에 접합조절층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 1,
The step of manufacturing the transfer film,
The method of manufacturing a printed circuit board further comprising forming a bonding control layer between the carrier member and the first seed layer.
제 1항에 있어서,
상기 전사필름을 제조하는 단계 이후, 제조된 한 쌍의 전사필름의 캐리어부재를 각각 접합층의 양면에 접합하는 접합단계를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 1,
After the step of manufacturing the transfer film, a bonding step of bonding the carrier member of the pair of transfer films to both sides of the bonding layer, respectively, is further performed.
제 1항에 있어서,
상기 전사필름을 제조하는 단계는,
상기 제1시드층을 형성하는 제1전도성 물질과 상이한 제2시드층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 1,
The step of manufacturing the transfer film,
The method of manufacturing a printed circuit board, further comprising forming a second seed layer different from the first conductive material forming the first seed layer.
제 1항에 있어서,
상기 전사필름을 제조하는 단계는,
상기 캐리어부재와 상기 제1시드층의 사이에 접합조절층을 형성하는 단계와, 상기 제1시드층을 형성하는 제1전도성 물질과 상이한 제2시드층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 1,
The step of manufacturing the transfer film,
Forming a bonding control layer between the carrier member and the first seed layer, and forming a second seed layer different from the first conductive material forming the first seed layer. A method for manufacturing a printed circuit board.
제 1항에 있어서,
상기 전사필름을 제조하는 단계에서,
상기 제1시드층은 에칭속도가 서로 다른 2층 이상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 1,
In the step of manufacturing the transfer film,
The method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that the first seed layer is formed of two or more layers having different etching rates.
제 1항에 있어서,
상기 캐리어부재와 상기 제1시드층의 결합력은, 상기 제1시드층과 상기 제1회로패턴의 결합력에 비해 상대적으로 낮게 설정되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 1,
A bonding force between the carrier member and the first seed layer is set to be relatively low compared to a bonding force between the first seed layer and the first circuit pattern.
제 1항에 있어서,
상기 제1회로패턴 형성단계는,
상기 제1시드층 상에 감광층을 형성하는 단계와,
상기 감광층 상에 패턴홈을 형성하는 단계와,
상기 패턴홈을 통해 노출된 부위에 도전성물질을 충진하여 상기 제1회로패턴을 형성하는 도전성물질 충진단계와,
상기 감광층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 1,
In the first circuit pattern forming step,
forming a photosensitive layer on the first seed layer;
Forming a pattern groove on the photosensitive layer;
a conductive material filling step of filling a portion exposed through the pattern groove with a conductive material to form the first circuit pattern;
A method of manufacturing a printed circuit board comprising the step of removing the photosensitive layer.
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1회로패턴 상에 절연코어층 및 금속층을 형성하는 단계에서,
상기 금속층을 형성하기 전에, 추가 전사필름을 형성하는 단계를 더 포함하며,
상기 추가 전사필름은, 캐리어부재 및 제1시드층을 포함하는 전사필름 또는 캐리어부재, 제1시드층 및 제2시드층을 포함하는 전사필름을 사용하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to any one of claims 1 to 8,
In the step of forming an insulating core layer and a metal layer on the first circuit pattern,
Before forming the metal layer, further comprising forming an additional transfer film,
The additional transfer film is a printed circuit board manufacturing method, characterized in that using a transfer film comprising a carrier member and a first seed layer or a transfer film comprising a carrier member, a first seed layer and a second seed layer.
제 9항에 있어서,
상기 추가 전사필름을 형성하는 단계는,
상기 추가 전사필름의 제1시드층이 상기 절연코어층 상에 접촉되도록 상기추가 전사필름을 상기 절연코어층 상에 접합하는 단계와,
상기 추가 전사필름의 캐리어부재를 제거하여 상기 제1시드층을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하며,
상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사된 상기 제1시드층 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 9,
Forming the additional transfer film,
bonding the additional transfer film onto the insulating core layer so that the first seed layer of the additional transfer film contacts the insulating core layer;
And removing the carrier member of the additional transfer film to transfer the first seed layer to the insulating core layer,
The method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that the metal layer is formed on the first seed layer transferred to the insulating core layer.
제 9항에 있어서,
상기 추가 전사필름을 형성하는 단계는,
상기 추가 전사필름의 제2시드층이 상기 절연코어층 상에 접촉되도록 상기 추가 전사필름을 상기 절연코어층 상에 접합하는 단계와,
상기 추가 전사필름의 캐리어부재를 제거하여, 상기 절연코어층에 상기 추가 전사필름의 제2시드층이 접하고, 상기 추가 전사필름의 제2시드층에 상기 추가 전사필름의 제1시드층이 접하도록, 상기 추가 전사필름의 제2시드층 및 제1시드층을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하며,
상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사되어 상기 제2시드층과 접하는 상기 제1시드층 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 9,
Forming the additional transfer film,
Bonding the additional transfer film onto the insulating core layer so that the second seed layer of the additional transfer film contacts the insulating core layer;
The carrier member of the additional transfer film is removed so that the second seed layer of the additional transfer film is in contact with the insulating core layer, and the first seed layer of the additional transfer film is in contact with the second seed layer of the additional transfer film. , transferring the second seed layer and the first seed layer of the additional transfer film to the insulating core layer,
The method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that the metal layer is formed on the first seed layer that is transferred to the insulating core layer and contacts the second seed layer.
제 9항에 있어서,
상기 추가 전사필름을 형성하는 단계는,
상기 추가 전사필름의 제2시드층이 상기 절연코어층 상에 접촉되도록 상기 추가 전사필름을 상기 절연코어층 상에 접합하는 단계와,
상기 추가 전사필름의 캐리어부재를 제거하여, 상기 절연코어층에 상기 추가 전사필름의 제2시드층이 접하고, 상기 추가 전사필름의 제2시드층에 상기 추가 전사필름의 제1시드층이 접하도록, 상기 추가 전사필름의 제2시드층 및 제1시드층을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하며,
상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사되어 상기 제2시드층 상에 형성된 상기 제1시드층을 상기 제1시드층만을 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해 선택적으로 에칭 제거한 후, 상기 절연코어층에 전사된 상기 제2시드층 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 9,
Forming the additional transfer film,
Bonding the additional transfer film onto the insulating core layer so that the second seed layer of the additional transfer film contacts the insulating core layer;
The carrier member of the additional transfer film is removed so that the second seed layer of the additional transfer film is in contact with the insulating core layer, and the first seed layer of the additional transfer film is in contact with the second seed layer of the additional transfer film. , transferring the second seed layer and the first seed layer of the additional transfer film to the insulating core layer,
The metal layer is transferred to the insulating core layer and the first seed layer formed on the second seed layer is selectively etched away using an etching solution capable of dissolving only the first seed layer, and then applied to the insulating core layer. A method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that formed on the transferred second seed layer.
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1회로패턴을 상기 절연코어층에 전사하는 단계는,
상기 제1시드층으로부터 상기 캐리어부재를 박리하는 단계와, 상기 제1시드층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to any one of claims 1 to 8,
The step of transferring the first circuit pattern to the insulating core layer,
The method of manufacturing a printed circuit board comprising the steps of peeling the carrier member from the first seed layer and removing the first seed layer.
제 13항에 있어서,
상기 제1시드층은 제1전도성 물질로 이루어지고, 상기 제1회로패턴은 상기 제1전도성 물질과 상이한 제2전도성 물질로 이루어지며,
상기 제1시드층을 제거하는 단계에서는, 상기 제1회로패턴을 제외하고 상기 제1시드층만을 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해 상기 제1시드층만을 선택적으로 제거하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 13,
The first seed layer is made of a first conductive material, the first circuit pattern is made of a second conductive material different from the first conductive material,
In the step of removing the first seed layer, only the first seed layer is selectively removed using an etching solution capable of dissolving only the first seed layer, excluding the first circuit pattern. manufacturing method.
제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1회로패턴을 상기 절연코어층에 전사하는 단계에서는,
상기 제1시드층만을 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해, 상기 절연코어층 및 상기 제1회로패턴에 접촉된 상태의 상기 제1시드층만을 선택적으로 에칭 제거하고, 상기 제1시드층만 에칭되면서 상기 제1시드층에 접촉된 상태였던 상기 캐리어부재가 상기 제1시드층으로부터 탈락되어, 상기 전사필름이 제거되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to any one of claims 1 to 8,
In the step of transferring the first circuit pattern to the insulating core layer,
Using an etching solution capable of dissolving only the first seed layer, only the first seed layer in contact with the insulating core layer and the first circuit pattern is selectively removed by etching, and only the first seed layer is etched. The method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that the carrier member in contact with the first seed layer is detached from the first seed layer and the transfer film is removed.
평활 표면을 갖는 캐리어부재에 정반사 특성을 갖는 은(Ag) 재질로 된 제1시드층과 상기 제1시드층과 상이한 전도성 물질로 된 제2시드층을 형성하고, 상기 제2시드층에 접합층을 접합한 다음 캐리어부재를 제거하여, 접합층에 제2시드층과 제1시드층이 형성된 캐리어기판을 제조하는 단계;
포토리소그래피 공정을 통해 상기 제1시드층 상에 제1회로패턴을 형성하는 단계;
상기 제1회로패턴 상에 절연코어층 및 금속층을 형성하는 단계;
상기 제1회로패턴과 상기 금속층을 전기적으로 연결하는 통전부를 형성하는 단계;
상기 금속층을 패터닝하여 제2회로패턴을 형성하는 단계; 및
상기 캐리어기판을 박리하는 박리단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
A first seed layer made of a silver (Ag) material having regular reflection characteristics and a second seed layer made of a conductive material different from the first seed layer are formed on a carrier member having a smooth surface, and a bonding layer on the second seed layer manufacturing a carrier substrate having a second seed layer and a first seed layer formed on the bonding layer by bonding and then removing the carrier member;
forming a first circuit pattern on the first seed layer through a photolithography process;
forming an insulating core layer and a metal layer on the first circuit pattern;
forming a conductive part electrically connecting the first circuit pattern and the metal layer;
patterning the metal layer to form a second circuit pattern; and
A method for manufacturing a printed circuit board comprising a peeling step of peeling off the carrier substrate.
제 16항에 있어서,
상기 캐리어기판을 제조하는 단계는,
상기 접합층과 상기 제2시드층의 사이에 접합조절층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 16,
The step of manufacturing the carrier substrate,
The method of manufacturing a printed circuit board further comprising forming a bonding control layer between the bonding layer and the second seed layer.
제 16항에 있어서,
상기 캐리어기판을 제조하는 단계는,
캐리어부재의 일면에 제1시드층과 제2시드층을 형성하여 전사필름을 제조하는 단계와,
상기 전사필름의 제2시드층에 접합층을 접합하는 접합단계와,
상기 캐리어부재를 제거하여 제1시드층과 제2시드층을 접합층에 전사하는 전사단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 16,
The step of manufacturing the carrier substrate,
Preparing a transfer film by forming a first seed layer and a second seed layer on one surface of a carrier member;
A bonding step of bonding a bonding layer to the second seed layer of the transfer film;
and a transfer step of removing the carrier member and transferring the first seed layer and the second seed layer to the bonding layer.
제 16항에 있어서,
상기 캐리어기판을 제조하는 단계는,
캐리어부재의 일면에 제1시드층과 제2시드층을 형성하여 전사필름을 제조하는 단계와,
상기 전사필름을 제조하는 단계 이후, 한 쌍의 전사필름의 제2시드층을 접합층의 양면에 각각 접합하는 접합단계와,
상기 한 쌍의 전사필름의 캐리어부재를 각각 제거하여, 상기 접합층 양면에 각각 상기 제2시드층이 접하고 상기 제2시드층 각각에 상기 제1시드층이 접하도록, 상기 접합층 양면의 각각에 상기 제1 및 제2시드층을 전사하는 전사단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 16,
The step of manufacturing the carrier substrate,
Preparing a transfer film by forming a first seed layer and a second seed layer on one surface of a carrier member;
After the step of manufacturing the transfer film, a bonding step of bonding the second seed layer of the pair of transfer films to both sides of the bonding layer, respectively;
The carrier member of the pair of transfer films is removed, respectively, so that the second seed layer is in contact with both sides of the bonding layer and the first seed layer is in contact with each of the second seed layer, so that each side of the bonding layer is in contact with each other. The printed circuit board manufacturing method comprising a transfer step of transferring the first and second seed layers.
제 16항에 있어서,
상기 캐리어기판을 제조하는 단계는,
캐리어부재 양면의 각각에 제1 및 제2시드층을 형성하여 양면 전사필름을 제조하는 단계와,
복수 마련되는 상기 양면 전사필름 사이 사이에 접합층을 각각 배치한 후 접합하는 접합단계와,
상기 캐리어부재를 각각 제거하여, 상기 접합층 양면에 각각 상기 제2시드층이 접하고 상기 제2시드층 각각에 상기 제1시드층이 접하도록, 상기 접합층 양면의 각각에 상기 제1 및 제2시드층을 전사하는 전사단계를 포함하여, 복수의 캐리어 기판을 제조하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 16,
The step of manufacturing the carrier substrate,
Preparing a double-sided transfer film by forming first and second seed layers on each of both sides of the carrier member;
A bonding step of bonding after arranging bonding layers between the plurality of double-sided transfer films, respectively;
The carrier member is removed, respectively, so that the second seed layer is in contact with both sides of the bonding layer and the first seed layer is in contact with each of the second seed layer, so that the first and second seed layers are in contact with each of the bonding layer. A method of manufacturing a printed circuit board comprising a transfer step of transferring a seed layer, wherein a plurality of carrier substrates are manufactured.
제 16항에 있어서,
상기 캐리어기판을 제조하는 단계에서,
상기 제1시드층은 에칭속도가 서로 다른 2층 이상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 16,
In the step of manufacturing the carrier substrate,
The method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that the first seed layer is formed of two or more layers having different etching rates.
제 16항에 있어서,
상기 제1회로패턴 형성단계는,
상기 제1시드층 상에 감광층을 형성하는 단계와,
상기 감광층 상에 패턴홈을 형성하는 단계와,
상기 패턴홈을 통해 노출된 제1시드층을 제거하는 단계와,
상기 패턴홈을 통해 노출된 부위에 도전성물질을 충진하여 제1회로패턴을 형성하는 도전성물질 충진단계와,
상기 감광층을 제거하는 단계 및
상기 감광층의 제거 후 노출된 제1시드층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 16,
In the first circuit pattern forming step,
forming a photosensitive layer on the first seed layer;
Forming a pattern groove on the photosensitive layer;
removing the first seed layer exposed through the pattern groove;
A conductive material filling step of forming a first circuit pattern by filling a conductive material in a portion exposed through the pattern groove;
removing the photosensitive layer; and
The printed circuit board manufacturing method comprising the step of removing the exposed first seed layer after removing the photosensitive layer.
제 16항에 있어서,
상기 캐리어기판을 박리하는 박리단계는,
상기 제2시드층으로부터 상기 접합층을 박리하는 단계와,
상기 제2시드층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
According to claim 16,
The peeling step of peeling the carrier substrate,
Peeling the bonding layer from the second seed layer;
The method of manufacturing a printed circuit board comprising the step of removing the second seed layer.
제 16항 내지 제 23항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1회로패턴 상에 절연코어층 및 금속층을 형성하는 단계에서,
상기 금속층 형성에 앞서, 추가 전사필름을 형성하는 단계를 더 포함하며,
상기 추가 전사필름은, 캐리어부재 및 제1시드층을 포함하는 전사필름 또는 캐리어부재, 제1시드층 및 제2시드층을 포함하는 전사필름을 사용하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
The method of any one of claims 16 to 23,
In the step of forming an insulating core layer and a metal layer on the first circuit pattern,
Prior to the formation of the metal layer, further comprising forming an additional transfer film,
The additional transfer film is a printed circuit board manufacturing method, characterized in that using a transfer film comprising a carrier member and a first seed layer or a transfer film comprising a carrier member, a first seed layer and a second seed layer.
제 24항에 있어서,
상기 추가 전사필름을 형성하는 단계는,
상기 추가 전사필름의 제 1시드층이 상기 절연코어층 상에 접촉되도록 상기추가 전사필름을 상기 절연코어층 상에 접합하는 단계와,
상기 추가 전사필름의 캐리어부재를 제거하여 상기 제1시드층을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하며,
상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사된 상기 제1시드층 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
25. The method of claim 24,
Forming the additional transfer film,
bonding the additional transfer film onto the insulating core layer so that the first seed layer of the additional transfer film contacts the insulating core layer;
And removing the carrier member of the additional transfer film to transfer the first seed layer to the insulating core layer,
The method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that the metal layer is formed on the first seed layer transferred to the insulating core layer.
제 24항에 있어서,
상기 추가 전사필름을 형성하는 단계는,
상기 추가 전사필름의 제 2시드층이 상기 절연코어층 상에 접촉되도록 상기추가 전사필름을 상기 절연코어층 상에 접합하는 단계와,
상기 추가 전사필름의 캐리어부재를 제거하여, 상기 절연코어층에 상기 추가 전사필름의 제2시드층이 접하고, 상기 추가 전사필름의 제2시드층에 상기 추가 전사필름의 제1시드층이 접하도록, 상기 추가 전사필름의 제2시드층 및 제1시드층을 상기 절연코어층에 전사하는 단계를 포함하며,
상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사되어 상기 제2시드층과 접하는 상기 제1시드층 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
25. The method of claim 24,
Forming the additional transfer film,
bonding the additional transfer film onto the insulating core layer so that the second seed layer of the additional transfer film contacts the insulating core layer;
The carrier member of the additional transfer film is removed so that the second seed layer of the additional transfer film is in contact with the insulating core layer, and the first seed layer of the additional transfer film is in contact with the second seed layer of the additional transfer film. , transferring the second seed layer and the first seed layer of the additional transfer film to the insulating core layer,
The method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that the metal layer is formed on the first seed layer that is transferred to the insulating core layer and contacts the second seed layer.
제 26항에 있어서,
상기 금속층은, 상기 절연코어층에 전사되어 상기 제2시드층 상에 형성된 상기 제1시드층을 상기 제1시드층만을 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해 선택적으로 에칭 제거한 후, 상기 절연코어층에 전사된 상기 제2시드층 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
27. The method of claim 26,
The metal layer is transferred to the insulating core layer and the first seed layer formed on the second seed layer is selectively etched away using an etching solution capable of dissolving only the first seed layer, and then applied to the insulating core layer. A method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that formed on the transferred second seed layer.
제 19항 내지 제 23항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1시드층은 제1전도성 물질로 이루어지고, 상기 제1회로패턴 및 상기 제2시드층은 상기 제1전도성 물질과 상이한 제2전도성 물질로 이루어지며,
상기 제1회로패턴 및 상기 제2시드층을 제외하고 상기 제1시드층만을 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해 상기 제1시드층만을 선택적으로 제거하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
The method of any one of claims 19 to 23,
The first seed layer is made of a first conductive material, the first circuit pattern and the second seed layer are made of a second conductive material different from the first conductive material,
The printed circuit board manufacturing method of claim 1 , wherein only the first seed layer is selectively removed using an etching solution capable of dissolving only the first seed layer, excluding the first circuit pattern and the second seed layer.
삭제delete 제 28항에 있어서,
상기 제2시드층은 구리 또는 알루미늄으로 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
29. The method of claim 28,
The second seed layer is a printed circuit board manufacturing method, characterized in that formed of copper or aluminum.
평활 표면을 갖는 캐리어부재의 일면에 정반사 특성을 갖는 은(Ag) 재질로 된 제1시드층을 형성하여 전사필름을 제조하는 단계와, 한 쌍의 전사필름의 제1시드층을 절연코어층의 양면에 각각 접합하는 접합단계와, 상기 한 쌍의 전사필름의 캐리어부재를 각각 제거하여, 상기 절연코어층 양면의 각각에 상기 제1시드층을 전사하는 전사단계를 통해 절연코어층의 양면에 제1시드층이 각각 형성된 코어기판을 준비하는 단계;
상기 코어기판을 관통하는 비아홀을 형성하는 천공단계;
포토리소그래피 공정을 통해 상기 코어기판의 양면에 배치된 상기 제1시드층 상에 제1회로패턴과 제2회로패턴을 형성하고, 상기 비아홀에 양면의 제1회로패턴과 제2회로패턴을 전기적으로 연결하는 통전부를 형성하는 회로패턴 형성단계; 및
상기 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 제1시드층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
Preparing a transfer film by forming a first seed layer made of a silver (Ag) material having regular reflection characteristics on one surface of a carrier member having a smooth surface, and using the first seed layer of the pair of transfer films as an insulating core layer Through a bonding step of bonding to both sides, respectively, and a transfer step of removing the carrier member of the pair of transfer films and transferring the first seed layer to each of both sides of the insulation core layer, the first seed layer is transferred to both sides of the insulation core layer. preparing a core substrate on which one seed layer is respectively formed;
a drilling step of forming a via hole penetrating the core substrate;
through the photolithography process. A conductive part for forming a first circuit pattern and a second circuit pattern on the first seed layer disposed on both sides of the core substrate and electrically connecting the first circuit pattern and the second circuit pattern on both sides to the via hole. forming a circuit pattern; and
and removing the first seed layer exposed through the portion where the first circuit pattern and the second circuit pattern are not formed.
제 31항에 있어서,
상기 코어기판을 준비하는 단계는
상기 절연코어층의 양면에 상기 제1시드층을 각각 차례로 적층하기 전에, 상기 제1시드층과 접하는 접합조절층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
32. The method of claim 31,
Preparing the core substrate
The method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that it further comprises the step of forming a bonding control layer in contact with the first seed layer before sequentially stacking the first seed layer on both sides of the insulating core layer.
평활 표면을 갖는 캐리어부재에 정반사 특성을 갖는 은(Ag) 재질로 된 제1시드층과 상기 제1시드층과 상이한 전도성 물질로 된 제2시드층을 형성하여 전사필름을 제조하는 단계와, 한 쌍의 전사필름의 제2시드층을 절연코어층의 양면에 각각 접합하는 접합단계와, 상기 한 쌍의 전사필름의 캐리어부재를 각각 제거하여, 상기 절연코어층 양면의 각각에 상기 제1 및 제2시드층을 전사하는 전사단계를 통해 절연코어층의 양면에 제2시드층 및 제1시드층이 각각 차례로 적층된 코어기판을 준비하는 단계;
상기 코어기판을 관통하는 비아홀을 형성하는 천공단계;
포토리소그래피 공정을 통해 상기 코어기판의 양면에 배치된 상기 제1시드층 상에 제1회로패턴과 제2회로패턴을 형성하고, 상기 비아홀에 양면의 제1회로패턴과 제2회로패턴을 전기적으로 연결하는 통전부를 형성하는 회로패턴 형성단계;
상기 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 제1시드층을 제거하는 단계; 및
상기 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 제2시드층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
Preparing a transfer film by forming a first seed layer made of a silver (Ag) material having a regular reflection property and a second seed layer made of a conductive material different from the first seed layer on a carrier member having a smooth surface; A bonding step of bonding the second seed layer of the pair of transfer films to both sides of the insulating core layer, respectively, and removing the carrier member of the pair of transfer films, respectively, to attach the first and second seed layers to both sides of the insulating core layer, respectively. preparing a core substrate in which a second seed layer and a first seed layer are sequentially stacked on both sides of the insulating core layer through a transfer step of transferring the second seed layer;
a drilling step of forming a via hole penetrating the core substrate;
A first circuit pattern and a second circuit pattern are formed on the first seed layer disposed on both sides of the core substrate through a photolithography process, and the first circuit pattern and the second circuit pattern on both sides are electrically connected to the via hole. a circuit pattern forming step of forming a conductive part to be connected;
removing the first seed layer exposed through the portion where the first circuit pattern and the second circuit pattern are not formed; and
and removing the second seed layer exposed through the portion where the first circuit pattern and the second circuit pattern are not formed.
제 33항에 있어서,
상기 코어기판을 준비하는 단계는
상기 절연코어층의 양면에 제2 및 제1시드층을 각각 차례로 적층하기 전에, 상기 제1시드층과 접하는 접합조절층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
34. The method of claim 33,
Preparing the core substrate
The printed circuit board manufacturing method further comprising forming a bonding control layer in contact with the first seed layer before sequentially stacking the second and first seed layers on both sides of the insulating core layer, respectively.
평활 표면을 갖는 캐리어부재에 정반사 특성을 갖는 은(Ag) 재질로 된 제1시드층과 상기 제1시드층과 상이한 전도성 물질로 된 제2시드층을 형성하여 전사필름을 제조하는 단계와, 한 쌍의 전사필름의 제2시드층을 절연코어층의 양면에 각각 접합하는 접합단계와, 상기 한 쌍의 전사필름의 캐리어부재를 각각 제거하여, 상기 절연코어층 양면의 각각에 상기 제1시드층 및 제2시드층을 전사하는 전사단계를 통해 절연코어층의 양면에 제2시드층 및 제1시드층이 각각 차례로 적층된 코어기판을 준비하는 단계;
상기 제1시드층을 제거하는 단계;
상기 코어기판을 관통하는 비아홀을 형성하는 천공단계;
포토리소그래피 공정을 통해 상기 코어기판의 양면에 배치된 상기 제2시드층 상에 제1회로패턴과 제2회로패턴을 형성하고, 상기 비아홀에 양면의 제1회로패턴과 제2회로패턴을 전기적으로 연결하는 통전부를 형성하는 회로패턴 형성단계; 및
상기 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 제2시드층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
Preparing a transfer film by forming a first seed layer made of a silver (Ag) material having a regular reflection property and a second seed layer made of a conductive material different from the first seed layer on a carrier member having a smooth surface; A bonding step of bonding the second seed layer of the pair of transfer films to both sides of the insulating core layer, respectively, and removing the carrier member of the pair of transfer films, respectively, to attach the first seed layer to each of the both sides of the insulating core layer. and preparing a core substrate in which the second seed layer and the first seed layer are sequentially stacked on both sides of the insulating core layer through a transfer step of transferring the second seed layer;
removing the first seed layer;
a drilling step of forming a via hole penetrating the core substrate;
A first circuit pattern and a second circuit pattern are formed on the second seed layer disposed on both sides of the core substrate through a photolithography process, and the first circuit pattern and the second circuit pattern on both sides are electrically connected to the via hole. a circuit pattern forming step of forming a conductive part to be connected; and
and removing the second seed layer exposed through the portion where the first circuit pattern and the second circuit pattern are not formed.
제 35항에 있어서,
상기 코어기판을 준비하는 단계는
상기 절연코어층의 양면에 제2 및 제1시드층을 각각 차례로 적층하기 전에, 상기 제1시드층과 접하는 접합조절층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
36. The method of claim 35,
Preparing the core substrate
The printed circuit board manufacturing method further comprising forming a bonding control layer in contact with the first seed layer before sequentially stacking the second and first seed layers on both sides of the insulating core layer, respectively.
제 33항 내지 제 36항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전사필름을 제조하는 단계는, 상기 캐리어부재의 일면에 제1시드층과 제2시드층을 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
37. The method of any one of claims 33 to 36,
In the step of manufacturing the transfer film, on one side of the carrier member A method for manufacturing a printed circuit board comprising forming a first seed layer and a second seed layer.
제 37항에 있어서,
상기 캐리어부재와 제1시드층의 결합력은 상기 제1시드층과 제2시드층의 결합력에 비해 상대적으로 낮게 설정되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
38. The method of claim 37,
The method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that the bonding force between the carrier member and the first seed layer is set relatively low compared to the bonding force between the first seed layer and the second seed layer.
제 33항 내지 제 36항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 코어기판을 준비하는 단계는,
캐리어부재 양면의 각각에 제1 및 제2시드층을 형성하여 양면 전사필름을 제조하는 단계와,
복수 마련되는 상기 양면 전사필름 사이 사이에 절연코어층을 각각 배치한 후 접합하는 접합단계와,
상기 캐리어부재를 각각 제거하여, 상기 절연코어층 양면에 각각 상기 제2시드층이 접하고 상기 제2시드층 각각에 상기 제1시드층이 접하도록, 상기 절연코어층 양면의 각각에 상기 제1 및 제2시드층을 전사하는 전사단계를 포함하여, 복수의 코어기판을 제조하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
37. The method of any one of claims 33 to 36,
Preparing the core substrate,
Preparing a double-sided transfer film by forming first and second seed layers on each of both sides of the carrier member;
A bonding step of arranging an insulating core layer between the plurality of double-sided transfer films and then bonding them;
By removing the carrier member, the first and second seed layers are in contact with both sides of the insulating core layer, respectively, and the first seed layer is in contact with each of the second seed layers. A method of manufacturing a printed circuit board, comprising manufacturing a plurality of core substrates, including a transfer step of transferring the second seed layer.
제 38항에 있어서,
상기 캐리어부재와 제1시드층의 결합력은 상기 제1시드층과 제2시드층의 결합력에 비해 상대적으로 낮게 설정되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.
39. The method of claim 38,
The method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that the bonding force between the carrier member and the first seed layer is set relatively low compared to the bonding force between the first seed layer and the second seed layer.
제 31항 내지 제 36항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 코어기판을 제조하는 단계에서,
상기 제1시드층은 에칭속도가 서로 다른 2층 이상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
37. The method of any one of claims 31 to 36,
In the step of manufacturing the core substrate,
The method of manufacturing a printed circuit board, characterized in that the first seed layer is formed of two or more layers having different etching rates.
제 31항 내지 제 36항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1시드층을 제거하는 단계에서는, 상기 제1시드층만 용해할 수 있는 에칭용액을 이용해 제1시드층을 용해시키는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
37. The method of any one of claims 31 to 36,
In the step of removing the first seed layer, the first seed layer is dissolved using an etching solution capable of dissolving only the first seed layer.
제 31항 내지 제34항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 회로패턴 형성단계는,
상기 절연코어층의 양면에 위치한 제1시드층 상에 감광층을 형성하는 감광층 형성단계와,
상기 감광층을 부분적으로 제거하여 상기 비아홀이 형성된 부분과 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성될 부분에 패턴홈을 형성하는 패턴홈 형성단계와,
상기 패턴홈을 통해 노출된 부위에 도전성물질을 충진하여, 상기 절연코어층 양면의 제1시드층에 제1회로패턴과 제2회로패턴을 각각 형성하고, 상기 비아홀의 내벽면에 통전부를 형성하는 도전성물질 충진단계와
상기 감광층을 제거하는 감광층 제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
The method of any one of claims 31 to 34,
In the circuit pattern forming step,
A photosensitive layer forming step of forming a photosensitive layer on the first seed layer located on both sides of the insulating core layer;
a pattern groove forming step of partially removing the photosensitive layer to form pattern grooves at the portion where the via hole is formed and at the portion where the first circuit pattern and the second circuit pattern are to be formed;
A conductive material is filled in the portion exposed through the pattern groove to form a first circuit pattern and a second circuit pattern on the first seed layer on both sides of the insulating core layer, respectively, and a conducting portion is formed on the inner wall surface of the via hole. A conductive material filling step and
A method for manufacturing a printed circuit board comprising a photosensitive layer removing step of removing the photosensitive layer.
제 43항에 있어서,
상기 회로패턴 형성단계는,
상기 감광층 형성단계에 앞서, 상기 제1시드층의 외표면 및 비아홀의 내벽면에 도전막을 형성하는 도전막 형성단계를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
44. The method of claim 43,
In the circuit pattern forming step,
Prior to the photosensitive layer forming step, a conductive film forming step of forming a conductive film on an outer surface of the first seed layer and an inner wall surface of the via hole is further performed.
제 35항 또는 제 36항에 있어서,
상기 회로패턴 형성단계는,
상기 절연코어층의 양면에 위치한 제2시드층 상에 감광층을 형성하는 단계와,
상기 감광층을 부분적으로 제거하여 상기 비아홀이 형성된 부분과 제1회로패턴과 제2회로패턴이 형성될 부분에 패턴홈을 형성단계와,
상기 패턴홈을 통해 노출된 부위에 도전성 물질을 충진하여, 상기 절연코어층 양면의 제2시드층에 제1회로패턴과 제2회로패턴을 각각 형성하고, 상기 비아홀의 내벽면에 통전부를 형성하는 도전성물질 충진단계와,
상기 감광층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
The method of claim 35 or 36,
In the circuit pattern forming step,
Forming a photosensitive layer on the second seed layer located on both sides of the insulating core layer;
partially removing the photosensitive layer to form pattern grooves at the portion where the via hole is formed and at the portion where the first circuit pattern and the second circuit pattern are to be formed;
A conductive material is filled in the portion exposed through the pattern groove to form a first circuit pattern and a second circuit pattern on the second seed layer on both sides of the insulating core layer, respectively, and a conducting portion is formed on the inner wall surface of the via hole. A conductive material filling step;
A method of manufacturing a printed circuit board comprising the step of removing the photosensitive layer.
제 45항에 있어서,
상기 회로패턴 형성단계는, 상기 감광층 형성단계에 앞서, 상기 제2시드층의 외표면 및 비아홀의 내벽면에 도전막을 형성하는 단계를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
46. The method of claim 45,
In the circuit pattern forming step, prior to the photoresist layer forming step, a step of forming a conductive film on an outer surface of the second seed layer and an inner wall surface of the via hole is further performed.
제 31항 내지 제 36항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1회로패턴과 제2회로패턴 상에 빌드업층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
37. The method of any one of claims 31 to 36,
The method of manufacturing a printed circuit board further comprising forming a build-up layer on the first circuit pattern and the second circuit pattern.
제 47항에 있어서,
상기 빌드업층을 형성하는 단계는,
상기 제1회로패턴과 제2회로패턴 상에 절연층 및 추가시드층을 형성하는 단계와,
상기 제1회로패턴과 제2회로패턴의 일부가 노출되도록 상기 추가시드층과 절연층을 관통하는 비아홀을 형성하는 단계와,
상기 추가 시드층 상에 감광층을 형성하는 감광층 형성단계와,
상기 감광층 상에 패턴홈을 형성하는 패턴홈 형성단계와,
상기 패턴홈을 통해 노출된 부위에 도전성물질을 충진하여 회로패턴을 형성하는 도전성물질 충진단계와,
상기 감광층을 제거하는 감광층 제거단계와,
상기 회로패턴이 형성되지 않은 부분을 통해 노출된 추가시드층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.
48. The method of claim 47,
Forming the build-up layer,
forming an insulating layer and an additional seed layer on the first circuit pattern and the second circuit pattern;
forming a via hole penetrating the additional seed layer and the insulating layer to expose portions of the first circuit pattern and the second circuit pattern;
A photosensitive layer forming step of forming a photosensitive layer on the additional seed layer;
a pattern groove forming step of forming a pattern groove on the photosensitive layer;
A conductive material filling step of forming a circuit pattern by filling a conductive material in a portion exposed through the pattern groove;
A photosensitive layer removing step of removing the photosensitive layer;
The printed circuit board manufacturing method comprising the step of removing the additional seed layer exposed through the portion where the circuit pattern is not formed.
제 48항에 있어서,
상기 빌드업층을 형성하는 단계는,
상기 감광층 형성단계에 앞서, 상기 추가시드층의 외표면 및 비아홀의 내벽면에 도전막을 형성하는 단계를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 제조방법.



49. The method of claim 48,
Forming the build-up layer,
Prior to the step of forming the photosensitive layer, a step of forming a conductive film on an outer surface of the additional seed layer and an inner wall surface of the via hole is further performed.



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