KR102456594B1 - 라미네이팅 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 기술의 일 실시예에 의한 라미네이팅 장치는 테이블 상에 고정된 웨이퍼의 상면에 라미네이션 테이프를 부착하는 접착부, 권취 롤 스턱 내에 수납되는 복수의 라미네이션 테이프 권취 롤을 구비하고, 라미네이션 테이프 교체 시기가 도래함에 따라, 사용 중인 라미네이션 테이프 권취 롤로부터 제공되는 구 테이프를 컷팅하고, 권취 롤 스턱 내의 신규 라미네이션 테이프 권취 롤로부터 제공되는 신규 테이프의 종단과 구 테이프의 일측 절단부를 연결하도록 구성되는 테이프 교체부 및 웨이퍼 상면에 라미네이션 테이프가 부착된 후, 웨이퍼의 크기에 맞게 라미네이션 테이프를 절단하는 컷팅 유닛과 복수의 신규 컷터를 포함하고, 컷터 교체 시기가 도래함에 따라, 사용 중인 구 컷터를 본체로부터 분리하여 회수함으로 수거하고, 신규 컷터를 본체에 결합하도록 구성되는 컷터 교체부를 포함하도록 구성될 수 있다.

Description

라미네이팅 장치 및 방법{Apparatus and Method for Laminating}
본 발명은 반도체 장치 제조 기술에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 라미네이팅 장치 및 방법에 관한 것이다.
반도체 장치 제조 공정 중 전기 회로가 형성된 웨이퍼를 목적하는 두께로 가공하기 위한 백-그라인딩(Back grinding) 공정이 수행될 수 있다.
백-그라인딩 공정 중에는 전기 회로가 형성된 웨이퍼 상면을 연삭(연마)제, 파티클 등으로부터 보호하기 위해 웨이퍼 상면에 보호 필름을 부착할 수 있다.
웨이퍼 상면에 보호 필름을 부착하는 라미네이팅 공정은 처리 대상 웨이퍼를 공급하고 웨이퍼 상에 라미네이션 테이프를 가압 부착한 후, 컷터를 이용하여 라미네이션 테이프를 웨이퍼의 크기에 맞게 절단하고 웨이퍼를 배출하는 과정을 통해 수행될 수 있다.
라미네이팅 공정에서 라미네이션 테이프나 컷터 등은 소모품으로써, 공정 중 소진되거나 마모되면 교체가 이루어져야 한다.
본 기술의 실시예는 소모품의 안전하고 효율적인 교체가 가능한 라미네이팅 장치 및 방법을 제공할 수 있다.
본 기술의 일 실시예에 의한 라미네이팅 장치는 테이블 상에 고정된 웨이퍼의 상면에 라미네이션 테이프를 부착하는 접착부; 권취 롤 스턱 내에 수납되는 복수의 라미네이션 테이프 권취 롤을 구비하고, 라미네이션 테이프 교체 시기가 도래함에 따라, 사용 중인 라미네이션 테이프 권취 롤로부터 제공되는 구 테이프를 컷팅하고, 상기 권취 롤 스턱 내의 신규 라미네이션 테이프 권취 롤로부터 제공되는 신규 테이프의 종단과 상기 구 테이프의 일측 절단부를 연결하도록 구성되는 테이프 교체부; 및 상기 웨이퍼 상면에 상기 라미네이션 테이프가 부착된 후, 상기 웨이퍼의 크기에 맞게 상기 라미네이션 테이프를 절단하는 컷팅 유닛과 복수의 신규 컷터를 포함하고, 컷터 교체 시기가 도래함에 따라, 사용 중인 구 컷터를 본체로부터 분리하여 회수함으로 수거하고, 신규 컷터를 상기 본체에 결합하도록 구성되는 컷터 교체부;를 포함하도록 구성될 수 있다.
본 기술의 일 실시예에 의한 라미네이팅 방법은 권취 롤 스턱 내에 수납되는 복수의 라미네이션 테이프 권취 롤을 구비하는 테이프 교체부 및, 컷터 보관함에 수납되는 복수의 신규 컷터와 회수함을 구비하는 컷터 교체부를 포함하는 라미네이팅 장치의 라미네이팅 방법으로서, 웨이퍼를 공급하는 단계; 상기 웨이퍼 상에 라미네이션 테이프를 부착하는 단계; 컷터를 이용하여 상기 라미네이션 테이프를 상기 웨이퍼의 크기에 따라 절단하는 단계; 상기 라미네이션 테이프 교체 시기가 도래함에 따라, 사용 중인 라미네이션 테이프 권취 롤로부터 제공되는 구 테이프를 컷팅하고, 상기 권취 롤 스턱 내의 신규 라미네이션 테이프 권취 롤로부터 제공되는 신규 테이프의 종단과 상기 구 테이프의 일측 절단부를 연결하는 테이프 교체 단계; 및 컷터 교체 시기가 도래함에 따라, 사용 중인 구 컷터를 본체로부터 분리하여 상기 회수함으로 수거하고, 신규 컷터를 상기 본체에 결합하는 컷터 교체 단계;를 포함하도록 구성될 수 있다.
본 기술에 의하면 라미네이팅 장치에 사용되는 라미네이션 테이프를 자동으로 교체할 수 있다. 따라서 테이프 교체에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있고, 교체 작업에 따른 에러 발생을 방지할 수 있다.
또한, 라미네이팅 장치에 사용되는 컷터를 자동으로 교체할 수 있다. 따라서 컷터 교체 중 발생할 수 있는 안전 사고의 발생을 예방할 수 있다.
이와 같이 라미네이팅 장치에 사용되는 소모품을 자동으로 교체하므로 공정이 중단되지 않고 수행될 수 있다.
도 1은 일 실시예에 의한 라미네이팅 장치의 구성도이다.
도 2는 본 기술에 적용되는 접착부의 개략 측면도이다.
도 3은 본 기술에 적용되는 접착부의 개략 평면도이다.
도 4는 일 실시예에 의한 테이프 교체부의 구성도이다.
도 5는 일 실시예에 의한 컷터 교체부의 구성도이다.
도 6은 일 실시예에 의한 라미네이팅 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 7은 일 실시예에 의한 라미네이팅 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 기술의 실시예를 보다 구체적으로 설명한다.
도 1은 일 실시예에 의한 라미네이팅 장치의 구성도이다.
도 1을 참조하면, 일 실시예에 의한 라미네이팅 장치(10)는 제어부(100), 적재부(110), 이송부(120), 세정부(130), 정렬부(140), 접착부(150), 테이프 교체부(160) 및 컷터 교체부(170)를 포함할 수 있다.
제어부(100)는 라미네이팅 장치(10)의 전체적인 동작을 제어하도록 구성될 수 있다.
적재부(110)는 라미네이팅 공정 전 및 후의 웨이퍼가 적재되는 공간, 예를 들어 카세트(cassette)일 수 있다.
이송부(120)는 제어부(100)가 제어하는 공정 과정에 따라 웨이퍼를 적소에 이송하도록 구성될 수 있다.
세정부(130)는 라미네이팅 공정 전 또는 후의 웨이퍼를 세정하도록 구성될 수 있다.
정렬부(140)는 웨이퍼를 기 설정된 방향에 맞추어 정렬하도록 구성될 수 있다.
접착부(150)는 전기 회로가 형성된 웨이퍼 상면에 라미네이션 테이프를 접착하도록 구성될 수 있다.
테이프 교체부(160)는 접착부(150)로 라미네이션 테이프를 제공하기 위해 복수의 라미네이션 테이프 권취 롤을 구비할 수 있다. 테이프 교체부(160)는 사용 중인 테이프 권취 롤의 잔량을 센싱하여, 센싱된 잔량이 기 설정된 기준값보다 적으면 사용 중인 테이프 권취 롤로부터 제공되는 테이프(구 테이프)를 컷팅한다. 그리고, 신규 테이프 권취 롤로부터 제공되는 테이프(신규 테이프)의 종단을 구 테이프 컷팅부의 일 종단부, 예를 들어 테이프 회수 롤 측에 연결된 종단부로 안내한 후 구 테이프와 신규 테이프를 연결하도록 구성될 수 있다.
컷터 교체부(170)는 컷팅 유닛에 장착된 컷터의 사용 횟수가 기 설정된 횟수에 도달하면 현재 장착되어 있는 컷터(구 컷터)를 분리 및 회수하고, 신규 컷터를 장착하도록 구성될 수 있다. 이를 위해 컷터 교체부(170)는 복수의 신규 컷터가 보관되는 컷터 보관함 및 구 컷터를 회수하기 위한 회수함을 포함할 수 있다. 컷터 교체부(170)에서 제공되는 컷팅 유닛은 웨이퍼 상면에 라미네이션 테이프가 접착된 후 웨이퍼의 크기에 맞게 라미네이션 테이프를 절단하도록 구성될 수 있다.
도 2는 본 기술에 적용되는 접착부의 개략 측면도이고, 도 3은 본 기술에 적용되는 접착부의 개략 평면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 라미네이팅 공정 대상 웨이퍼(W)는 이송부(120)에 의해 테이블(180)의 척(1801) 상에 안착 고정될 수 있다.
테이프 교체부(160)의 특정 테이프 권취 롤(1601)로부터 제공되는 라미네이션 테이프(T)는 한 쌍의 가이드 롤러(1503a, 1503b) 사이를 통해 테이블(180) 상에 안착된 웨이퍼(W) 상부를 지나 테이프 회수 롤(1507)로 연결될 수 있다.
테이프 권취 롤(1601)로부터 제공되는 라미네이션 테이프(T)가 가이드 롤러(1503a, 1503b)로 공급될 때 이형지(R)가 분리되고, 이형지(R)는 이형지 수거 롤(1501)에 권취될 수 있다.
웨이퍼(W) 상면에 라미네이션 테이프(T)가 배치된 후에는 가압 롤러(1505a)를 구비하는 적어도 하나의 가압수단(1505)에 의해 웨이퍼(W) 상면에 대해 라미네이션 테이프(T)를 가압하여 부착한다.
라미네이션 테이프(T)를 부착한 후에는 컷터 교체부(170)로부터 제공되는 컷팅 유닛(1701, 1703)에 의해 라미네이션 테이프(T)를 웨이퍼(W)의 크기에 맞게 절단할 수 있다. 이에 따라, 테이프 회수 롤(1507)에는 웨이퍼(W) 상에 라미네이션 테이프(T)가 부착되고 남은 영역의 테이프가 회수될 수 있다.
컷팅 유닛(1701, 1703)은 본체(1701) 및 본체(1701)에 장착되는 컷터(1703)를 포함하여, 척(1801) 외주면의 가이드 링(1803)을 따라 컷터(1703)가 회전하여 라미네이션 테이프(T)를 절단하게 된다.
테이블(180)의 양측에는 이송 레일(1805a, 1805b)이 구비될 수 있다. 이송 레일1805a, 1805b)은 가압 롤러(1505a)를 척(1801)의 상부에서 수평 방향으로 왕복 이송하도록 구성될 수 있다.
이러한 라미네이팅 장치에서 현재 사용 중인 테이프 권취 롤의 라미네이션 테이프가 모두 소진되기 전에 새로운 테이프 권취 롤의 라미네이션 테이프로 자동 교체하는 테이프 교체부(160)에 대해 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 4를 참조하면, 테이프 교체부(160)는 권취 롤 스턱(161), 센서(163), 고정부(165a, 165b, 165c, 165d), 컷터(167) 및 연결부(169a, 169b)를 포함할 수 있다. 컷터(167)는 테이프 교체용 컷터라 지칭할 수 있다.
권취 롤 스턱(161) 내에는 각각 라미네이션 테이프가 권취된 복수의 테이프 권취 롤(1601a, 1601b, 1601c, 1601d)이 수납될 수 있다. 권취 롤 스턱(161)은 도 4를 바라보는 방향을 기준으로 좌측 또는 우측으로 회전하도록 구성될 수 있다.
센서(163)는 권취 롤 스턱(161)의 기 설정된 위치에 설치되어, 현재 사용 중에 있는 테이프 권취 롤(1601a)에 권취된 라미네이션 테이프(T1)의 잔량을 센싱하도록 구성될 수 있다.
센서(163)를 통해 센싱된 라미네이션 테이프(T1)의 잔량이 기 설정된 기준값보다 적으면 사용 중인 테이프 권취 롤(1601a)를 권취 롤 스턱(161) 내의 새로운 테이프 권취 롤(1601b)로 교체할 수 있다.
고정부(165a, 165b, 165c, 165d) 중의 구 테이프 고정부(165a, 165b)는 현재 사용 중인 라미네이션 테이프(T1, 구 테이프)를 예를 들어 흡착 고정하도록 구성될 수 있다. 고정부(165a, 165b, 165c, 165d) 중의 신규 테이프 고정부(165c, 165d)는 교체할 신규 라미네이션 테이프(T2)를 예를 들어 흡착 고정하도록 구성될 수 있다.
컷터(167)는 구 테이프 고정부(165a, 165b)에 의해 현재 사용 중인 라미네이션 테이프(T1)를 고정한 상태에서 구 테이프(T1)를 절단하도록 구성될 수 있다. 이에 따라, 구 테이프(T1)의 제 1 절단부는 현재 사용 중인 테이프 권취 롤(1601a)에 연결되고, 제 2 절단부는 테이프 회수 롤(1507)에 연결된 상태가 된다.
일 실시예에서, 구 테이프 고정부(165a, 165b)는 한 쌍의 흡착부로 구성될 수 있고, 한 쌍의 흡착부 사이의 공간으로 컷터(167)가 이동되어 구 테이프(T1)를 컷팅할 수 있다.
신규 테이프 고정부(165c, 165d)는 신규 테이프 권취 롤(1601b)에서 제공되는 신규 테이프(T2)의 종단부를 흡착 및 이동시켜 구 테이프(T1)의 제 2 절단부에 인접시킬 수 있다.
연결부(169a, 169b)는 신규 테이프(T2)의 종단부와 구 테이프(T1)의 제 2 절단부가 정렬된 상태에서, 신규 테이프(T2)와 구 테이프(T1)의 결합부위에 연결 테이프를 가압 부착하도록 구성될 수 있다.
일 실시예에서, 구 테이프 고정부(165a, 165b)와 신규 테이프 고정부(165c, 165d)는 각각 한 쌍의 흡착부로 구성될 수 있고, 한 쌍의 흡착부 사이의 공간으로 연결부(169a, 169b)가 각각 이동되어 구 테이프(T1)와 신규 테이프(T2)를 연결할 수 있다.
이에 따라, 작업자의 개입 없이 현재 사용 중인 라미네이션 테이프를 신규 라미네이션 테이프로 자동 교체할 수 있다.
한편, 웨이퍼(W) 상면에 라미네이션 테이프를 부착하고 절단하는 과정이 일 정 횟수 반복됨에 따라 컷팅 유닛(1701, 1703)을 구성하는 컷터(1703)가 오염 및 마모될 수 있으므로 이를 교체하여야 한다. 마모된 구 컷터를 신규 컷터로 자동 교체하는 컷터 교체부(170)에 대해 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 5를 참조하면, 컷터 교체부(170)는 본체(1701), 사용 중인 컷터(1703, 구 컷터), 복수의 신규 컷터(1705)가 수납되는 컷터 보관함(171), 교체 후의 구 컷터(1703)를 회수하기 위한 회수함(173)을 포함할 수 있다.
본체(1701)에 장착된 컷터(1703)의 사용 횟수가 기 설정된 횟수에 도달하면 현재 장착되어 있는 컷터(1703, 구 컷터)를 분리 및 회수하고, 신규 컷터(1705)를 장착할 수 있다.
일 실시예에서, 본체(1701)는 자력에 의해 컷터(1703)를 고정하고 있을 수 있다.
컷터 교체 시점에 도달하면, 본체(1701)를 회수함(173) 상부로 이동시키고, 본체(1701)의 자력을 제거하여 구 컷터(1703)를 분리할 수 있다. 이에 따라 본체(1701)로부터 분리된 구 컷터(1703)는 회수함(173) 내에 수거되게 된다.
이제 본체(1701)를 컷터 보관함(171) 측으로 이송 및 하강시킬 수 있다. 일 실시예에서, 본체(1701)는 컷터 보관함(171)의 최 좌측 상부로 이송 및 하강될 수 있다. 이로 인해 본체(1701)가 최 좌측의 신규 컷터(1705) 상단에 접촉되면 본체(1701)에 자력을 인가하여 본체(1701)에 신규 컷터(1705)가 부착 고정되고, 이러한 상태에서 본체(1071)를 상승시킬 수 있다.
최 좌측의 신규 컷터(1705)가 컷터 보관함(171) 외부로 인출된 후, 제 1 탄성부(1711)의 인장응력에 의해 신규 컷터(1705)가 좌측으로 이동될 수 있다.
일 실시예에서, 컷터 보관함(171)의 최 좌측 신규 컷터(1705) 하단에는 제 2 탄성부(1713)가 마련될 수 있다. 본체(1701)가 자력에 의해 신규 컷터(1705)를 부착 고정하여 인출해 갈 때 제 2 탄성부(1713)의 인장 응력에 의해 신규 컷터(1705)의 인출이 더욱 용이해 질 수 있다.
도 6은 일 실시예에 의한 라미네이팅 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
라미네이팅 공정을 위해, 웨이퍼가 적재된 적재함(110)인 카세트를 라미네이팅 장비(10)로 로딩한다.
그러면 이송부(120)가 적재함(110)으로부터 웨이퍼를 인출하여 정렬부(140)로 이송한다. 정렬부(140)는 웨이퍼를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시키면서 정렬할 수 있다.
정렬이 완료된 웨이퍼는 이송부(120)에 의해 접착부(150)로 전달될 수 있다.
접착부(150)는 전기 회로가 형성된 웨이퍼의 상면에 테이프 교체부(160)로부터 제공되는 라미네이팅 테이프를 부착한다. 라미네이팅 테이프 부착 후에는 컷터 교체부(170)에서 제공되는 컷팅 유닛에 의해 웨이퍼의 크기에 맞게 라미네이팅 테이프가 절단될 수 있다.
이송부(120)는 라미네이팅 테이프가 부착된 웨이퍼를 세정부(130)로 제공하여 세정되도록 한다.
세정이 완료된 웨이퍼는 이송부(120)에 의해 적재함(110)에 보관된다.
라미네이팅 공정이 반복됨에 따라 현재 사용 중인 테이프 권취 롤의 테이프가 소진되어 새로운 테이프 권취 롤의 테이프로 교체하여야 하며, 이에 대해 도 6을 참조하여 설명한다.
도 6을 참조하면, 테이프 교체 시기가 도래함에 따라, 구 테이프 고정부(165a, 165b)에 의해 현재 사용 중인 라미네이션 테이프(T1, 구 테이프)를 예를 들어 흡착 고정할 수 있다(S101).
일 실시예에서, 테이프 교체 시기는 센서에 의해 판단될 수 있다. 즉, 권취 롤 스턱(161)의 기 설정된 위치에 설치된 센서(163)에 의해 되어, 현재 사용 중인 라미네이션 테이프(T1)의 잔량을 센싱하여, 센싱된 잔량이 기 설정된 기준값보다 적으면 테이프 교체 시기가 도래한 것으로 판단할 수 있다.
구 테이프(T1)가 고정되면, 컷터(167)를 이용하여 구 테이프(T1)를 절단할 수 있다(S103). 이에 따라, 구 테이프(T1)의 제 1 절단면은 테이프 회수 롤(1507)에 연결되고 제 2 절단면은 현재 사용 중인 테이프 권취 롤에 연결된 상태가 된다.
이후, 신규 테이프 고정부(165c, 165d)를 이용하여 신규 테이프(T2)의 종단부를 흡착 및 이동시켜 구 테이프(T1)의 제 1 절단면에 인접시킬 수 있다(S105).
그리고, 신규 테이프(T2)의 종단부와 구 테이프(T1)의 제 1 절단면이 나란히 정렬된 상태에서, 연결부(169a, 169b)를 가동하여 신규 테이프(T2)와 구 테이프(T1)의 결합부위에 연결 테이프를 가압 부착할 수 있다(S107).
아울러, 테이프 회수 롤(1507)를 일정 횟수 롤링하여(S109), 구 테이프(T1)와 신규 테이프(T2)의 접합면이 라미네이팅 공정에 사용되지 않도록 한다.
이에 따라, 작업자의 개입 없이 현재 사용 중인 라미네이션 테이프를 신규 라미네이션 테이프로 자동 교체할 수 있다.
한편, 라미네이팅 공정이 반복됨에 따라 현재 사용 중인 컷터가 오염 및 마모되어 새로운 컷터로 교체하여야 하며, 이에 대해 도 7을 참조하여 설명한다.
도 7은 일 실시예에 의한 라미네이팅 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
컷터 교체 시점에 도달하면, 본체(1701)를 회수함(173) 상부로 이동시키고(S201), 구 컷터(1703)를 본체(1701)로부터 분리할 수 있다.
일 실시예에서, 본체(1701)는 자력에 의해 컷터(1703)를 고정하고 있을 수 있다. 따라서 본체(1701)의 자력을 제거하여 구 컷터(1703)를 분리할 수 있다. 이에 따라 본체(1701)로부터 분리된 구 컷터(1703)는 회수함(173) 내에 수거되게 된다(S203).
이후, 본체(1701)를 컷터 보관함(171) 측으로 이송 및 하강시킬 수 있다(S205). 이에 따라 본체(1701)가 신규 컷터(1705) 상단에 접촉되면 본체(1701)에 자력을 인가하여 본체(1701)에 신규 컷터(1705)가 부착 고정되고, 이러한 상태에서 본체(1071)를 상승시킬 수 있다(S207).
결국, 작업자의 개입 없이 컷터를 자동 교체할 수 있어, 컷터 교체 시 발생할 수 있는 안전 사고를 예방할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 라미네이팅 장치
1501 : 이형지 수거 롤
1503a, 1503b : 가이드 롤
1505 : 가압수단
1505a : 가압롤러
1507 : 테이프 회수 롤
180 : 테이블
1801 : 척
1803 : 가이드 링
1805a, 18505b : 이송레일
1601 : 테이프 권취 롤
1701 : 본체
1703 : 컷터
1701/1703 : 컷팅 유닛

Claims (11)

  1. 테이블 상에 고정된 웨이퍼의 상면에 라미네이션 테이프를 부착하는 접착부;
    권취 롤 스턱 내에 수납되는 복수의 라미네이션 테이프 권취 롤을 구비하고, 라미네이션 테이프 교체 시기가 도래함에 따라, 사용 중인 라미네이션 테이프 권취 롤로부터 제공되는 구 테이프를 컷팅하고, 상기 권취 롤 스턱 내의 신규 라미네이션 테이프 권취 롤로부터 제공되는 신규 테이프의 종단과 상기 구 테이프의 일측 절단부를 연결하도록 구성되는 테이프 교체부; 및
    상기 웨이퍼 상면에 상기 라미네이션 테이프가 부착된 후, 상기 웨이퍼의 크기에 맞게 상기 라미네이션 테이프를 절단하는 컷팅 유닛과 복수의 신규 컷터를 포함하고, 컷터 교체 시기가 도래함에 따라, 사용 중인 구 컷터를 본체로부터 분리하여 회수함으로 수거하고, 신규 컷터를 상기 본체에 결합하도록 구성되는 컷터 교체부;
    를 포함하고,
    상기 테이프 교체부는, 상기 구 테이프를 고정하도록 구성되는 구 테이프 고정부;
    상기 신규 테이프를 이동 및 고정하도록 구성되는 신규 테이프 고정부;
    상기 구 테이프를 절단하여 제 1 절단면과 제 2 절단면을 이루도록 하는 테이프 교체용 컷터; 및
    상기 구 테이프의 제 1 절단면과 상기 신규 테이프의 상기 종단을 연결하는 연결부;
    를 포함하도록 구성되는 라미네이팅 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구 테이프의 잔량을 센싱하는 센서를 통해 상기 라미네이션 테이프 교체 시기 도래 여부를 판단하도록 구성되는 라미네이팅 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 컷터 교체부는, 상기 구 컷터 또는 상기 신규 컷터가 선택적으로 고정되는 상기 본체;
    상기 복수의 신규 컷터가 보관되는 컷터 보관함; 및
    상기 본체로부터 분리된 상기 구 컷터가 회수되는 회수함;
    을 포함하는 라미네이팅 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체와 상기 구 컷터 또는 상기 신규 컷터는 자력에 의해 결합되도록 구성되는 라미네이팅 장치.
  6. 권취 롤 스턱 내에 수납되는 복수의 라미네이션 테이프 권취 롤을 구비하는 테이프 교체부 및, 컷터 보관함에 수납되는 복수의 신규 컷터와 회수함을 구비하는 컷터 교체부를 포함하는 라미네이팅 장치의 라미네이팅 방법으로서,
    웨이퍼를 공급하는 단계;
    상기 웨이퍼 상에 라미네이션 테이프를 부착하는 단계;
    컷터를 이용하여 상기 라미네이션 테이프를 상기 웨이퍼의 크기에 따라 절단하는 단계;
    상기 라미네이션 테이프 교체 시기가 도래함에 따라, 사용 중인 라미네이션 테이프 권취 롤로부터 제공되는 구 테이프를 컷팅하고, 상기 권취 롤 스턱 내의 신규 라미네이션 테이프 권취 롤로부터 제공되는 신규 테이프의 종단과 상기 구 테이프의 일측 절단부를 연결하는 테이프 교체 단계; 및
    컷터 교체 시기가 도래함에 따라, 사용 중인 구 컷터를 본체로부터 분리하여 상기 회수함으로 수거하고, 신규 컷터를 상기 본체에 결합하는 컷터 교체 단계;
    를 포함하고,
    상기 테이프 교체 단계는, 상기 구 테이프를 고정하고 절단하여 제 1 절단면 및 제 2 절단면을 이루도록 하는 단계;
    신규 라미네이션 테이프 권취 롤로부터 제공되는 상기 신규 테이프의 상기 종단을 상기 구 테이프의 상기 제 1 절단면으로 이동시키는 단계; 및
    상기 구 테이프의 상기 제 1 절단면과 상기 신규 테이프의 상기 종단을 연결하는 단계;
    를 포함하도록 구성되는 라미네이팅 방법.
  7. 삭제
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 라미네이션 테이프 교체 시기는 상기 구 테이프의 잔량을 센싱하는 센서를 통해 판단하도록 구성되는 라미네이팅 방법.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 컷터 교체 단계는, 상기 본체를 상기 회수함 상부로 이송시켜, 상기 본체에 결합되어 있는 상기 구 컷터를 분리하여 상기 회수함 내에 수거하는 단계;
    상기 본체를 컷터 보관함으로 이송시켜 상기 본체에 상기 신규 컷터를 결합하는 단계;
    를 포함하는 라미네이팅 방법.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 구 컷터를 상기 본체로부터 분리하는 것은 상기 본체로부터 자력을 제거하는 단계를 포함하는 라미네이팅 방법.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 신규 컷터를 상기 본체에 결합하는 것은 상기 신규 컷터 상단에 상기 본체를 밀착하고 상기 본체에 자력을 인가하는 단계를 포함하는 라미네이팅 방법.
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