KR102442382B1 - 인덕터 - Google Patents

Abstract

본 개시는 복수의 코일 패턴을 가지는 코일과 그와 연결되는 외부전극을 갖는 인덕터에 관한 것이다. 상기 코일 내 최내측 코일 패턴과 최외측 코일 패턴은 제1 및 제2 절연벽을 성장 가이드로 하여 성장하며, 코일 패턴 간 두께 내지 형상에 있어서 편차가 없는 구조를 가진다.

Description

인덕터{INDUCTOR}

본 개시는 인덕터에 관한 것이며, 구체적으로 박막형 파워 인덕터에 관한 것이다.

IT 기술의 발전과 더불어 장치의 소형화 및 박막화가 가속화되어 가고 있으며, 이와 함께, 소형 박형 소자에 대한 시장 요구가 증가한다.

하기의 특허문헌 1 은 이러한 기술 트랜드에 적합하도록 비어홀을 가지는 기판, 상기 기판의 양면으로 배치되어 상기 기판의 비어홀을 통해 전기적으로 연결되는 코일들을 포함하는 파워 인덕터를 제공함으로써, 균일하면서도 큰 종횡비를 갖는 코일을 포함하는 인덕터를 제공하려고 노력하나, 제조 공정의 한계에 의해, 균일하고 종횡비가 큰 코일을 형성하는 것에는 여전히 한계가 있는 실정이다.

한국 특허공개공보 10-1999-0066108 호

본 개시가 해결하고자 하는 여러 과제 중 하나는 코일 내 복수의 코일 패턴의 두께 차이를 균일하게 하여 Rdc 산포를 개선하면서, 고 종횡비를 가지는 코일 패턴을 제공하는 인덕터를 제공하는 것이다.

본 개시의 일 예에 따른 인덕터는 바디와 상기 바디의 외부면 상에 배치되는 제1 및 제2 외부전극을 포함한다. 상기 바디는 지지 부재, 상기 지지 부재에 의해 지지되는 코일, 제1 및 제2 절연벽, 및 상기 코일과 상기 제1 및 제2 절연벽을 동시에 감싸는 절연막을 포함한다. 상기 제1 및 제2 절연벽의 각각은 내부 경계면없이 단일의 일체로 구성된다.

본 개시의 여러 효과 중 하나는 코일 패턴의 두께 산포를 개선하여 Rdc 산포를 개선하고, 더 높은 종횡비를 가지는 코일을 제공하여 Rdc 를 저감시킨 인덕터를 제공할 수 있는 것이다.

도1 은 본 개시의 일 예에 따른 인덕터의 개략적인 사시도이다.
도2 는 도1 의 I-I' 선을 따라 절단한 개략적인 단면도이다.

이하, 구체적인 실시형태 및 첨부된 도면을 참조하여 본 개시의 실시형태를 설명한다. 그러나, 본 개시의 실시형태는 여러가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 개시의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 개시의 실시형태는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 개시를 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.

그리고 도면에서 본 개시를 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하고, 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었으며, 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

이하에서는 본 개시의 일 예에 따른 인덕터를 설명하되, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.

인덕터

도1 은 본 개시의 일 예에 따른 인덕터의 개략적인 사시도이고, 도2 는 도1 의 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다.

도1 및 도2 를 참조하면, 본 개시에 따른 인덕터 (100) 는 인덕터의 전체적인 외관을 구성하는 바디 (1) 와 상기 바디의 외부면 상에 배치되는 제1 및 제2 외부전극 (21, 22) 을 포함한다.

상기 바디 (1) 는 두께(T) 방향으로 서로 대향하는 상면 및 하면, 길이(L) 방향으로 서로 대향하는 제1 단면 및 제2 단면, 폭(W) 방향으로 서로 대향하는 제1 측면 및 제2 측면을 포함하여 실질적으로 육면체 형상일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

상기 바디 (1) 는 자성 물질을 포함하는데, 예를 들어, 페라이트 또는 금속계 연자성 재료가 충진되어 형성될 수 있다. 상기 페라이트로 Mn-Zn계 페라이트, Ni-Zn계 페라이트, Ni-Zn-Cu계 페라이트, Mn-Mg계 페라이트, Ba계 페라이트 또는 Li계 페라이트 등의 공지된 페라이트를 포함할 수 있다. 상기 금속계 연자성 재료로는, Fe, Si, Cr, Al, 및 Ni 로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상을 포함하는 합금일 수 있고, 예를 들어, Fe-Si-B-Cr 계 비정질 금속 입자를 포함할 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 금속계 연자성 재료의 입경은 0.1 ㎛ 이상 20㎛ 이하일 수 있으며, 에폭시 수지 또는 폴리이미드 등의 고분자 상에 분산된 형태로 포함될 수 있다.

*

상기 바디 (1) 내에는 지지 부재 (11) 가 배치되는데, 상기 지지 부재는 코일을 용이하게 형성하면서 코일을 적절히 지지하도록 하는 기능을 한다. 상기 지지 부재는 절연 특성을 가지며 박막 형상을 가지는 것이면 적절히 활용가능하며, 통상적인 CCL (Copper Clad Laminate) 기판 등을 활용할 수 있는 것은 물론이다. 그 구체적인 두께는 코일을 지지하는 정도면 충분하며, 예를 들어, 대략 60㎛ 전후 두께를 가지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 지지 부재 (11) 의 중앙에는 관통홀 (H) 이 포함되는데, 상기 관통홀 내부에는 자성물질이 충진되어 있기 때문에, 코일의 자속을 향상시킬 수가 있다.

다음, 상기 지지 부재의 상면 상에는 상기 지지 부재에 의해 지지되는 복수의 코일 패턴 (121, 122a, 122b, 122c, 123) 을 포함하는 코일 (12) 과, 상기 코일 패턴 중 최외측 코일 패턴 (123) 과 최내측 코일 패턴 (121) 과 인접한 제1 절연벽 (131) 및 제2 절연벽 (132) 에 대해 설명한다. 상기 코일 (12) 은 지지 부재의 상면에 배치되는 상부 코일과 하면에 배치되는 하부 코일을 포함하며, 상기 상부 및 하부 코일은 지지 부재 내 비아 (V) 를 통해 전기적으로 연결되지만, 설명의 편의를 위하여 상기 코일 (12) 은 상부 코일인 것을 기준으로 설명한다. 물론, 하부 코일에도 후술하는 코일에 대한 설명은 그대로 적용될 수 있는 것은 물론이다.

상기 코일 (12) 은 전체적으로 스파이럴 형상을 가지며, 평균적으로 종횡비가 1.0 이상인 것이 바람직하다. 상기 코일 (12) 은 복수의 코일 패턴을 포함하는데, 이 중, 관통홀에 가장 인접한 최내측 코일 패턴 (121) 과 바디의 외부면에 가장 인접한 최외측 코일 패턴 (122) 각각의 적어도 일부는 그에 인접한 제1 및 제2 절연벽과 맞닿는다. 구체적으로 상기 최내측 코일 패턴 (121) 의 측면의 적어도 일부가 상기 제1 절연벽 (131) 과 맞닿는데, 도2 에서는 최내측 코일 패턴의 측면의 전체가 제1 절연벽과 접하도록 도시되고 있으나, 이에 한정되지 않고, 측면의 적어도 일부만 부분적으로 제1 절연벽과 접할 수 있다. 특히, 최내측 코일 패턴의 하부의 폭이 상부의 폭보다 더 큰 경우 상부에서는 제1 절연벽과 접하는 반면, 하부에서는 소정의 간격만큼 이격되어 있을 수도 있는 것이다. 마찬가지로, 상기 최외측 코일 패턴 (122) 의 측면의 적어도 일부가 상기 제2 절연벽 (132) 과 맞닿는데, 도2 에서는 최외측 코일 패턴의 측면의 전체가 제2 절연벽과 접하도록 도시되고 있으나, 이에 한정되지 않고, 측면의 적어도 일부만 부분적으로 제2 절연벽과 접할 수 있다. 특히, 최외측 코일 패턴의 하부의 폭이 상부의 폭보다 더 큰 경우 상부에서는 제2 절연벽과 접하는 반면, 하부에서는 소정의 간격만큼 이격되어 있을 수도 있는 것이다

상기 제1 및 제2 절연벽 (131, 132) 의 두께는 대략 200㎛ 이상일 수 있는데, 이에 한정되는 것은 아니며, 당업자가 적절히 선택할 수 있다. 대략 200㎛ 이상의 절연벽으로서, 상당히 두꺼운 절연벽임에도 단일의 일체로 구성되기 때문에 복수 층의 절연벽으로 구성하는 경우에 우려되는 문제점들이 모두 해결될 수 있다. 상기 제1 및 제2 절연벽은 3.0 이상의 종횡비를 가질 수 있는데, 예를 들어, 길이 방향으로 절연벽의 폭이 대략 20-50㎛ 으로 구성될 수 있다. 또한, 상기 제1 절연벽의 두께는 그에 인접한 최내측 코일 패턴의 최상면의 위치보다 두껍고, 상기 제2 절연벽의 두께는 그에 인접한 최외측 코일 패턴의 최상면의 위치와 동일한 두께이거나 더 두꺼운 것이 바람직한데, 이러한 경우, 코일 패턴이 제1 및 제2 절연벽을 가이드로 하여 안정적으로 성장하는데 유리하며, 코일 패턴의 구조를 균일하게 성장시키는데 유리하기 때문이다.

한편, 상기 코일 패턴 (121, 122a, 122b, 122c, 123) 의 각각은 지지 부재와 접하는 시드층 (12s) 과 상기 시드층 상에 형성되는 복수의 도금층 (12p1, 12p2…) 을 포함한다. 상기 시드층과 복수의 도금층 내 각각의 도금층 간의 경계는 SEM 등의 현미경을 통해 확인될 수 있다. 상기 시드층 (12s) 을 제조하는 방법은 제한이 없으며, 무전해 도금, 스퍼터링, 화학 에칭 등 당업자가 공정 조건 및 제품 스펙 등을 고려하여 적절히 선택할 수 있다. 길이 방향을 기준으로 하는 상기 시드층 (12s) 의 폭 (두께 방향을 따라 폭이 변경되는 경우, 최대 폭을 의미함) 은 그 위에 배치되는 복수의 도금층의 최대 폭과 동일하거나 더 작은 것이 바람직한데, 다만, 코일의 외곽 (최내측 코일 패턴의 내측 및 최외측 코일 패턴의 외측) 에 제1 및 제2 절연이 배치되어 있기 때문에, 시드층 위로 이방도금을 실시할 경우 각각의 시드층에 공급되는 유량 (Cu^{2 +}) 양이 균일하여 특정 코일 패턴의 도금층으로 과도금이 형성되는 것이 방지되기 때문에, 시드층의 폭과 그 위의 도금층의 최대 폭 간의 차이가 크지 않다.

또한, 상기 복수의 도금층 (12p1, 12p2…) 은 이방 도금과 등방 도금 간의 적절한 조합으로 이루어질 수 있는데, 도2 에서는 시드층 위로 등방 도금을 통해 제1 도금층 (12p1) 을 형성한 후, 연이어 2 회에 걸쳐 이방 도금을 통한 제2 도금층과 제3 도금층 (12p2, 12p3) 을 형성한 것을 나타낸다.

도2 를 참조하면, 상기 제1 도금층, 제2 도금층 및 제3 도금층 간의 얼라인먼트 (alignment) 가 실질적으로 일치한다. 여기서, 얼라인먼트가 실질적으로 일치한다는 것은, 각 도금층의 하부의 중앙으로부터 상부의 중앙까지를 잇는 가상선들이 실질적으로 일치되는 것을 의미한다. 이는, 제1 및 제2 절연벽의 종횡비를 3.0 이상으로 하고, 높이를 대략 200㎛ 이상으로 구성하면서도, 제1 및 제2 절연벽의 각각을 내부 경계면이 없는 단일의 일체로 구성하기 때문이다. 만약 제1 및 제2 절연벽 사이에 최소 1 개의 내부 경계면이 있는 경우에는, 제1 및 제2 절연벽을 형성하는데 복수의 공정이 개입된다는 의미이고, 이를 위해, 각각의 도금층들 간의 얼라인먼트를 다시 제어해야하는 과제가 주어지기 때문에, 제1 도금층, 제2 도금층, 및 제3 도금층 중 둘 이상의 도금층들 간의 얼라인먼트를 제어하기가 극히 어려워진다. 본 개시의 인덕터는 단일의 절연벽으로 구성하므로 각각의 도금층들을 형성할 때, 절연벽 형성 공정을 개입시키지 않기 때문에 각각의 도금층들 간의 얼라인먼트를 제어하는데 어려움이 없다. 또한, 제1 및 제2 절연벽의 형상에 이상현상이 발생할 가능성이 없으며, 최종 인덕터의 칩 내부에는 제1 및 제2 절연벽이 그대로 잔존하기 때문에 제2 절연벽과 인접한 코일의 인출부 인근에서 절연벽을 제거하면서 발생될 수 있는 미박리 불량 현상들은 미연에 방지될 수가 있다.

또한, 도2 를 참조하면, 길이 방향을 기준으로 제1 도금층, 제2 도금층, 및 제3 도금층의 폭이 실질적으로 동일한데, 이는 특정 코일 패턴으로 과도금이 발생하지 않은 것을 의미한다. 일반적으로 이방도금 방식은 시드 패턴을 형성한 후에 요구되는 종횡비를 구현하기 위한 코일의 나머지 두께는 이방도금을 통해 구현할 때 채택하는 방식인데, 이때, 코일 패턴들 간 두께 및 형태의 균일성이 떨어지는 경향이 빈번하며, 결과적으로 Rdc 산포에 악영향을 준다. 더욱이, 코일 패턴의 형상이 이상 성장하게 되면 코일 패턴이 휘게 되는 경우가 발생하는데, 코일 패턴 간 이격거리가 점점 좁아지면서 쇼트가 발생할 위험이 커진다. 그 결과, 쇼트 방지를 위해 코일 패턴의 성장에 제약을 가하게 되면 결과적으로 고 종횡비의 코일을 얻는 것이 불가능해진다. 하지만, 본 개시의 일 예에 따른 인덕터의 제1 및 제2 절연벽은 측면이 매끄럽고 단일의 일체로 구성되어 상부와 하부의 폭이 실질적으로 동일하기 때문에, 등방 및/또는 이방 도금을 번갈아 가면서 복수회 실시하더라도 씨드층에 공급되는 유량이 균일하게 제어되어 도금 성장에 따른 폭 및 두께 산포가 현저히 제어될 수 있다. 그 결과, 제1 도금층 (등방 도금), 제2 도금층 (이방 도금), 및 제3 도금층 (이방 도금) 의 폭은 실질적으로 동일할 수 있다.

다음, 복수의 코일 패턴들 사이의 공간을 충진하고, 상기 복수의 코일 패턴들의 상면을 덮는 절연막 (14) 을 설명한다. 상기 절연막 (14) 은 제1 및 제2 절연벽의 상면과 측면도 감싸기 때문에 실질적으로 2 중의 절연 구조를 가지는 것이다. 이러한 2 중의 절연 구조를 통해 코일 패턴들 간, 및 코일 패턴과 자성 물질 간의 절연이 보다 확실히 보장될 수 있다. 제1 및 제2 절연벽은 퍼머넌트 타입의 감광성 절연 물질을 포함하며, 예를 들어, 비스페놀계 에폭시 수지를 주 성분으로 포함하는 감광성 물질을 포함할 수 있으며, 이때 비스페놀계 에폭시 수지는 예컨대 비스페놀 A 노볼락 에폭시 수지, 비스페놀 A 디글리시딜 에테르 비스페놀 A 폴리머 수지 등일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 퍼머넌트 타입의 통상의 레지스트 물질이면, 어느 것이든 적용될 수 있다.

한편, 절연막은 공지의 방법을 통해 구현할 수 있는데, 예를 들어, 스프레이 방식, 또는 화학 기상 증착으로 형성될 수 있다. 상기 절연막은 그 아래 배치되는 코일 패턴의 상면의 형상을 따른 구조를 가지는 것이 바람직한데, 이 경우, 절연막의 두께를 최소화할 수 있어 불필요한 절연막 형성 공간을 최소로 하고, 자성 물질 충진 공간을 충분히 확보할 수가 있다. 절연막의 재질은 특별한 한정이 없으며, 사용하는 공법 및 사용 조건에 따라 적절히 선택할 수 있으며, 예를 들어, 페릴렌 수지를 포함할 수 있다.

상기 절연막 (14) 은 복수의 코일 패턴 사이의 공간을 충진하여 코일 패턴 간 쇼트를 방지하는 역할을 하는데, 각각의 코일 패턴은 상부와 하부 간의 형상 및 폭에 있어서 실질적으로 동일성을 유지하므로, 절연막이 코일 패턴의 하부까지 형성되지 못하는 불량이 발생할 우려는 없다.

다시, 도2 를 참조하면, 바디 (1) 의 외부면 상에 배치되어 코일과 연결되는 제1 및 제2 외부전극 (21, 22) 은 알파벳 C 자 형상을 가지는데, 이에 한정되는 것은 아니며, 당업자가 필요에 따라 적절히 변형할 수 있음은 물론이다. 상기 제1 및 제2 외부전극은 코일과 전기적으로 연결되기 때문에 전기 전도성이 우수한 물질로 구성되어야 하는 것은 당연하며, 전도성 수지를 포함할 수도 있고, 코일과의 접촉 면적의 향상을 통한 Rdc 저감을 위해 선도금층을 포함할 수도 있다.

전술한 인덕터에 의할 경우, 코일의 종횡비를 현저히 크게 하면서도, 코일 패턴의 폭 내지 단면 형상등의 균일성을 개선할 수 있다. 그 결과, Rdc 산포를 개선할 수 있고, 고 종횡비 및 절연 신뢰성을 동시에 확보하고, 또한, 절연벽 등의 제거 공정 등 불필요한 공정을 생략할 수 있어 공정상 경제성도 확보할 수 있다.

본 개시는 상술한 실시 형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 개시의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 개시의 범위에 속한다고 할 것이다.

한편, 본 개시에서 사용된 "일 예"라는 표현은 서로 동일한 실시 예를 의미하지 않으며, 각각 서로 다른 고유한 특징을 강조하여 설명하기 위해서 제공된 것이다. 그러나, 상기 제시된 일 예들은 다른 일례의 특징과 결합되어 구현되는 것을 배제하지 않는다. 예를 들어, 특정한 일예에서 설명된 사항이 다른 일예에서 설명되어 있지 않더라도, 다른 일례에서 그 사항과 반대되거나 모순되는 설명이 없는 한, 다른 일예에 관련된 설명으로 이해될 수 있다.

한편, 본 개시에서 사용된 용어는 단지 일예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 개시를 한정하려는 의도가 아니다. 이때, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

100: 인덕터
1: 바디
11: 자성 물질
12: 코일
131, 132: 제1 및 제2 절연벽
14: 절연막
21, 22: 제1 및 제2 외부전극

Claims (16)

1. 관통홀을 포함하는 지지 부재;
   상기 지지 부재 상에 배치되며, 서로 연결되어 전체적으로 스파이럴 형상을 가지고, 제1 도금층과 그 위에 배치되는 제2 도금층을 가진 복수의 코일 패턴을 포함하는 코일;
   상기 복수의 코일 패턴 중 최내측 코일 패턴의 적어도 일부와 접하는 제1 절연벽;
   상기 복수의 코일 패턴 중 최외측 코일 패턴의 적어도 일부와 접하는 제2 절연벽;
   상기 복수의 코일 패턴 사이를 충진하며, 상기 제1 및 제2 절연벽의 상면을 덮는 절연막; 을 포함하는 바디와,
   상기 바디의 외부면 상에 배치되며 상기 코일과 연결되는 제1 및 제2 외부전극을 포함하고,
   상기 제1 및 제2 절연벽은 각각, 내부 경계면없이 단일의 일체로 구성되고, 상기 지지 부재와 이격된 단부를 가지며,
   상기 제1 절연벽의 단부는 상기 최내측 코일 패턴의 상기 제1 및 제2 도금층과 이격되고, 상기 제2 절연벽의 단부는 상기 최외측 코일 패턴의 상기 제1 및 제2 도금층과 이격되는, 인덕터.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 최내측 코일 패턴의 측면의 전체는 상기 제1 절연벽과 맞닿고, 상기 최외측 코일 패턴의 측면의 전체는 상기 제2 절연벽과 맞닿는, 인덕터.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 제1 절연벽은 상기 최내측 코일 패턴의 최상면의 위치와 동일하거나 더 높은 위치까지 연장되고, 상기 제2 절연벽은 상기 최외측 코일 패턴의 최상면의 위치와 동일하거나 더 높은 위치까지 연장되는, 인덕터.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 절연막은 상기 제1 및 제2 절연벽의 표면 중 상기 최내측 코일 패턴이나 상기 최외측 코일 패턴과 접하지 않는 노출면을 모두 감싸는, 인덕터.
   
5. 제1항에 있어서,
   상기 제1 및 제2 절연벽의 각각의 종횡비는 3.0 이상인, 인덕터.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 복수의 코일 패턴의 각각은 시드층, 및 상기 시드층 위로 형성된 복수의 도금층으로 구성되는, 인덕터.
   
7. 제6항에 있어서,
   상기 시드층은 상기 지지 부재의 상면에 배치되며, 상기 시드층의 표면 중 상기 지지 부재와 맞닿는 표면을 제외한 나머지 표면의 전체는 상기 복수의 도금층에 의해 감싸지는, 인덕터.
   
8. 제1항에 있어서,
   상기 제1 도금층의 하면의 중앙과 상면의 중앙을 연결한 가상 선은 상기 제2 도금층의 하면의 중앙과 상면의 중앙을 연결한 가상 선과 일치하는, 인덕터.
   
9. 제6항에 있어서,
   상기 복수의 도금층 중 상기 시드층 바로 위에 배치되는 도금층은 등방 도금층이며, 나머지 도금층은 이방 도금층인, 인덕터.
   
10. 제1항에 있어서,
    상기 절연막 중 상기 복수의 코일 패턴의 상면에 배치되는 절연막은 상기 상면에 대응되는 형상으로 구성되는, 인덕터.
    
11. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 절연벽은 퍼머넌트 타입의 에폭시계 절연 재료를 포함하는, 인덕터.
    
12. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 절연벽은 코일 패턴의 성장 방향을 기준으로 요철부를 포함하지 않는, 인덕터.
    
13. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 절연벽과 상기 절연막은 상이한 재질로 구성되는, 인덕터.
    
14. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 코일 패턴의 각각의 상면은 볼록한 형상인, 인덕터.
    
15. 제1항에 있어서,
    상기 지지 부재 및 상기 절연막의 표면 상에는 자성 물질이 충진되는, 인덕터.
    
16. 제1항에 있어서,
    상기 코일은 지지 부재의 상면에 형성되는 상부 코일과 하면에 형성되는 하부 코일을 포함하며, 상기 상부 및 하부 코일은 상기 지지 부재 내 비아를 통해 서로 전기적으로 연결되는, 인덕터.
    

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