KR102440287B1 - Loading Apparatus Of Electronic Components And Test Apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전자부품 착탈장치에 관한 것으로서, 테스트용 전자부품이 내장된 제 1기판과, 상기 제 1기판이 장착되는 제 2기판을 구비한 전자부품 테스트장치에 있어서, 상기 제 1기판을 상기 제 2기판에 대하여 착탈하기 위한 착탈장치로서, 상기 제 1기판에 결합된 로킹 수단과, 상기 제 1기판과 서로 맞닿아 면접하는 전자부품 착탈수단을 포함하며, 상기 전자부품 착탈수단은 상기 'L'자형태로 구성되며, 평면부상에 업/다운 실린더가 설치되며, 수직부에는 상기 제1 기판의 로킹수단이 삽입 및 삽입해제 되는 로킹수단 수용/해제수단을 구비한 록/언록수단을 포함하며, 상기 로킹수단 수용/해제수단은 상기 록/언록수단내부에 설치된 업/다운 유닛 및 상기 업/다운 유닛내에 형성된 측면홈에 내장설치된 로킹(LOCKING)용 강구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 따른 전자부품 착탈장치에 의하면, 피시험장치를 홀딩하는 구조가 간단하며, 안정감을 확보할 수 있도록 되어 종래 기술에 비하여 쉽고 간편하게 피시험장치와 부품들을 착탈시켜가면서 테스트할 수 있게 된다.
The present invention relates to an electronic component attachment/detachment apparatus, wherein the electronic component test apparatus includes a first substrate on which an electronic component for testing is embedded, and a second substrate on which the first substrate is mounted. A detachable device for attaching and detaching from a second substrate, comprising: a locking means coupled to the first substrate; and an electronic component attaching/detaching means for contacting and interfacing with the first substrate, wherein the electronic component detaching means is the 'L' It is configured in the shape of a child, an up/down cylinder is installed on a flat part, and a locking/unlocking means having a locking means receiving/unlocking means into which the locking means of the first substrate is inserted and released in the vertical part, The locking means accommodating/releasing means includes an up/down unit installed inside the locking/unlocking means and a steel ball for locking installed in a side groove formed in the up/down unit.
Therefore, according to the device for attaching and detaching electronic components according to the present invention, the structure for holding the device under test is simple, and it is possible to secure a sense of stability, so that it is possible to test while attaching and detaching the device and components easily and conveniently compared to the prior art. do.

Description

전자부품 착탈장치와 그를 이용한 시험장치{Loading Apparatus Of Electronic Components And Test Apparatus}Electronic component detachment device and test device using the same

본 발명은 전자부품 착탈장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 설명하면, 피시험장치를 홀딩하는 구조가 간단하며, 안정감을 확보할 수 있도록 되어 종래 기술에 비하여 쉽고 간편하게 피시험장치와 부품들을 착탈시켜가면서 테스트할 수 있고, 피시험장치를 테스트할 때 종래 기술에 비해 직진성이 향상되어 에러발생률이 낮아져서 테스트효과가 향상될 수 있고, 기존 시험장치에 비해 사후 유지관리가 쉬운 장점이 있으며(A/S가 간편함), 반도체 관련부품의 국산화에 기여할 수 있는 전자부품 착탈장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for attaching and detaching electronic components, and more specifically, the structure for holding the device under test is simple, and it is possible to secure a sense of stability. It can test, and when testing the device under test, the straightness is improved compared to the prior art, so the error rate is lowered, so the test effect can be improved, and it has the advantage of easy post-maintenance compared to the existing test device (A/S is It relates to an electronic component attachment/detachment device that can contribute to the localization of semiconductor-related components.

전자부품 시험장치에서는 트레이에 수용된 다수의 IC를 핸들러(Handler) 내로 반송하고, 각 IC를 테스트 헤드의 하이픽스에 구비된 소켓에 전기적으로 접촉시켜, 테스터(Tester)에 의해 시험을 수행한다. 그리고, 시험 종료후의 각 IC는 시험 결과의 카테고리에 기초하여 대응되는 커스터머 트레이에 분류된다.In the electronic component testing apparatus, a plurality of ICs accommodated in a tray are transferred into a handler, and each IC is electrically contacted with a socket provided in a high-fix of a test head, and a test is performed by a tester. Then, each IC after the end of the test is sorted into a corresponding customer tray based on the category of the test result.

테스트 헤드의 상부에는 핸들러측의 피시험 IC와 상기 테스트 헤드의 사이의 전기적인 접속을 중계하는 하이픽스(인터페이스 장치)가 장착되어 있고, 또한 상기 하이픽스의 상부에 DSA(Device Specific Adapter:품종대응 어댑터)가 장착되어 있다. 상기 DSA는 피시험 IC의 입출력 단자가 전기적으로 접촉하는 소켓이 실장된 소켓 보드등을 갖고 있다. 상기 DSA는 피시험 IC칩의 품종 등에 따라 각 종류대로 제작되어 있고, IC칩의 품종교환 등에 따라 교환할 필요가 있다. 이 때문에, 하이픽스 본체에 대하여 DSA를 착탈하기 위한 DSA 착탈장치가 하이픽스 본체에 설치되어 있다.A high-fix (interface device) that relays the electrical connection between the IC under test on the handler side and the test head is mounted on the upper part of the test head, and DSA (Device Specific Adapter: type correspondence) is mounted on the upper part of the high-fix. adapter) is installed. The DSA has a socket board, etc. on which sockets to which the input/output terminals of the IC under test are electrically contacted are mounted. The DSA is manufactured for each type according to the type of the IC chip under test, and needs to be replaced according to the type exchange of the IC chip. For this reason, a DSA attachment/detachment device for attaching and detaching the DSA from the high-fix main body is provided in the high-fix main body.

그러나, 종래의 전자부품 시험장치에서의 착탈장치는 결합수단, 구동력을 공급하는 액츄에이터, 구동력을 전달하는 전달수단의 구조가 복잡하고 피시험장치를 홀딩하는 홀딩장치의 구조도 복잡하며, 안정감이 떨어져서 피시험장치의 테스트에 오류가 발생할 문제점이 있는 것이었다.However, in the conventional device for testing electronic components, the structure of the coupling means, the actuator for supplying the driving force, and the transmission means for transmitting the driving force are complicated, and the structure of the holding device for holding the device under test is also complicated, and the stability is poor. There was a problem that an error would occur in the test of the device under test.

[선행기술 문헌][Prior art literature]

공개특허공보 제10-2008-0082997호(2008.09.12)(발명의 명칭: 착탈장치, 테스트 헤드 및 전자부품 시험장치)Laid-Open Patent Publication No. 10-2008-0082997 (2008.09.12) (Title of the invention: detachable device, test head and electronic component testing device)

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 피시험장치를 홀딩하는 구조가 간단하며, 안정감을 확보할 수 있도록 된 새로운 형태의 전자부품 착탈장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a new type of electronic component attachment/detachment device that has a simple structure for holding a device under test and is capable of securing stability.

본 발명에 따르면, 피시험장치를 테스트할 때 종래 기술에 비해 직진성이 향상되어 에러발생률이 낮아져서 테스트효과가 향상될 수 있는 전자부품 착탈장치를 제공하는 데 있다.According to the present invention, when testing a device under test, straightness is improved compared to the prior art to provide an electronic component attachment/detachment device capable of improving the test effect by lowering the error rate.

또한, 본 발명에 따르면, 기존 시험장치에 비해 사후 유지관리가 쉬운 장점이 있으며(A/S가 간편함), 반도체 관련부품의 국산화에 기여할 수 있는 효과가 있는 전자부품 착탈장치를 제공하는 데 있다.In addition, according to the present invention, there is an advantage of easy post-maintenance compared to the existing test apparatus (simple after-sales service), and to provide an electronic component attachment and detachment device having an effect that can contribute to the localization of semiconductor-related components.

본 발명의 이러한 목적은 This object of the present invention is

테스트용 전자부품이 내장된 제 1기판과, 상기 제 1기판이 장착되는 제 2기판을 구비한 전자부품 테스트장치에 있어서, 상기 제 1기판을 상기 제 2기판에 대하여 착탈하기 위한 착탈장치로서,An electronic component testing apparatus comprising a first substrate having a built-in test electronic component and a second substrate on which the first substrate is mounted, comprising: a detachable device for detaching the first substrate from the second substrate,

상기 제 1기판에 결합된 로킹 수단과,a locking means coupled to the first substrate;

상기 제 1기판과 서로 맞닿아 면접하는 전자부품 착탈수단을 포함하며,and an electronic component attachment/detachment means for interviewing the first substrate in contact with each other,

상기 전자부품 착탈수단은The electronic component attachment and detachment means

'L'자형태로 구성되며, 평면부상에 업/다운 실린더가 설치되며, It is composed of an 'L' shape, and up/down cylinders are installed on the flat part,

수직부에는 상기 제1 기판의 로킹수단이 삽입 및 삽입해제 되는 로킹수단 수용/해제수단을 구비한 록/언록수단을 포함하며,The vertical portion includes locking/unlocking means having locking means receiving/unlocking means into which the locking means of the first substrate are inserted and released,

상기 로킹수단 수용/해제수단은 상기 록/언록수단내부에 설치된 업/다운 유닛 및 상기 업/다운 유닛내에 형성된 측면홈에 내장설치된 로킹(LOCKING)용 강구를 포함하되,
상기 록/언록수단의 상하이동시에 내부의 업/다운 유닛도 상하이동되며, 두 구성요소간에 간격이 생기게 되고,
강구는 상기 록/언록수단의 상하이동시에 하방으로 밀려내려가면서 하단부에 약간 넓은 부분까지 업/다운 유닛에 밀려내려가게되고,
로킹수단에 의해 밀려 올라갈 때는 로킹수단의 측면홈에 일부가 삽입되면서 상기 록/언록수단 내부면을 따라 상방으로 이동되게 되며,
강구는 로킹수단의 측면홈과 록/언록수단의 내부면에 면접되면서 접촉성능을 향상시키며 테스트 성능을 향상시키는 것을 특징으로 하는 전자부품 착탈장치가 제공된다.
The locking means receiving/releasing means includes an up/down unit installed inside the locking/unlocking means and a steel ball for locking installed in a side groove formed in the up/down unit,
When the locking/unlocking means is vertically moved, the internal up/down unit is also vertically moved, and a gap is created between the two components,
The steel ball is pushed down by the up/down unit to a slightly wider part at the lower end while simultaneously moving up and down the locking/unlocking means.
When pushed up by the locking means, a part is inserted into the side groove of the locking means and moved upward along the inner surface of the locking/unlocking means,
While the steel ball is interviewed on the inner surface of the locking/unlocking means with the side grooves of the locking means, there is provided an electronic component attachment/detachment device, characterized in that the contact performance is improved and the test performance is improved.

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또한, 상기 제1 기판은 프로브카드 또는 스티프너(Stiffener)이고, 상기 제2기판은 테스트헤드 본체인 것을 특징으로 한다.In addition, the first substrate is a probe card or a stiffener, and the second substrate is a test head body.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 피시험 전자부품의 전기적인 특성을 시험하기 위한 전자부품 시험장치로서,According to another aspect of the present invention, there is provided an electronic component testing apparatus for testing the electrical characteristics of an electronic component under test,

상기 피시험 전자부품에 전기적으로 접속되는 청구항 1에 기재된 전자부품 착탈수단과,The electronic component attachment/detachment means according to claim 1 electrically connected to the electronic component under test;

상기 전자부품 착탈수단을 통하여 상기 피시험 전자부품에 시험신호를 입력하여 동작시키고, 그 응답신호를 검사하는 것을 특징으로 하는 전자부품 시험장치가 제공된다.There is provided an electronic component testing apparatus characterized by inputting and operating a test signal to the electronic component under test through the electronic component attaching/detaching means, and inspecting the response signal.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 전자부품 착탈장치에 의하면, 종래 기수렝 비해 피시험장치를 홀딩하는 구조가 간단하며, 안정감을 확보할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the electronic component attachment and detachment device according to the present invention, the structure for holding the device under test is simple compared to the conventional rider, and there is an effect of ensuring a sense of stability.

또한, 본 발명에 따르면, 피시험장치를 테스트할 때 종래 기술에 비해 직진성이 향상되어 에러발생률이 낮아져서 테스트효과가 향상될 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, when testing the device under test, the straightness is improved compared to the prior art, and the error rate is lowered, so that the test effect can be improved.

또한, 본 발명에 따르면, 기존 시험장치에 비해 사후 유지관리가 쉬운 장점이 있으며(A/S가 간편함), 반도체 관련부품의 국산화에 기여할 수 있는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, there is an advantage of easy post-maintenance compared to the existing test apparatus (easy after-sales service), and there is an effect that can contribute to the localization of semiconductor-related parts.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 전자부품 착탈장치를 개략적으로 도시한 사시도
도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 전자부품 착탈장치의 록(LOCK)상태의 측단면도
도 3은 도 2의 평면도
도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 전자부품 착탈장치의 언록(UNLOCK)상태의 측단면도
도 5는 도 4의 평면도
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자부품 착탈장치를 개략적으로 도시한 사시도
도 7은 도 6의 측면도
도 8은 도 6의 전자부품 착탈장치의 록(LOCK) 및 언록(UNLOCK)상태를 나타낸 상세도
도 9는 록바(LOCK BAR)가 장착되는 상태의 예들을 나타낸 측면도
도 10은 본 발명에 따른 전자부품 착탈장치가 설치된 반도체 테스트장치에서 피테스트 제품과 결합된 상태를 개략적으로 도시한 측면도
도 11은 본 발명에 따른 전자부품 착탈장치가 설치된 반도체 테스트장치에서 피테스트 제품이 해체된 상태를 개략적으로 도시한 측면도
도 12 및 13은 본 발명에 따른 전자부품 착탈장치가 설치된 반도체 테스트장치에서 테스트되는 프로브카드 및 스티프너를 개략적으로 도시한 사시도
1 is a perspective view schematically showing an electronic component detaching device according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a side cross-sectional view of the lock (LOCK) state of the electronic component attachment and detachment device according to an embodiment of the present invention;
3 is a plan view of FIG. 2
Figure 4 is a side cross-sectional view of the unlock (UNLOCK) state of the electronic component attachment and detachment device according to an embodiment of the present invention;
5 is a plan view of FIG. 4
6 is a perspective view schematically illustrating an electronic component detaching device according to another embodiment of the present invention;
7 is a side view of FIG. 6
8 is a detailed view showing the locked (LOCK) and unlocked (UNLOCK) state of the electronic component attachment and detachment device of FIG.
9 is a side view showing examples of a state in which a lock bar is mounted;
10 is a side view schematically showing a state in which the electronic component attachment/detachment device according to the present invention is combined with the product under test in the semiconductor test apparatus installed;
11 is a side view schematically illustrating a state in which the product under test is disassembled in the semiconductor test apparatus in which the electronic component attachment and detachment device according to the present invention is installed;
12 and 13 are perspective views schematically illustrating a probe card and a stiffener tested in a semiconductor test apparatus in which an electronic component attachment/detachment device according to the present invention is installed;

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전자부품 착탈장치는 테스트용 전자부품이 내장된 제 1기판과, 상기 제 1기판이 장착되는 제 2기판을 구비한 전자부품 테스트장치에 있어서, 상기 제 1기판을 상기 제 2기판에 대하여 착탈하기 위한 착탈장치로서,In an electronic component testing apparatus having a first substrate on which an electronic component for testing is built-in and a second substrate on which the first substrate is mounted, the electronic component attachment and detachment apparatus according to the present invention for achieving the above object, A detachable device for attaching and detaching the first substrate from the second substrate,

상기 제 1기판에 결합된 로킹 수단과,a locking means coupled to the first substrate;

상기 제 1기판과 서로 맞닿아 면접하는 전자부품 착탈수단을 포함한다.and an electronic component attachment/detachment means for interviewing the first substrate in contact with each other.

도 1은 본 발명의 일실시 예에 따른 전자부품 착탈장치를 개략적으로 도시한 사시도, 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 전자부품 착탈장치의 록(LOCK)상태의 측단면도, 도 3은 도 2의 평면도, 도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 전자부품 착탈장치의 언록(UNLOCK)상태의 측단면도, 도 5는 도 4의 평면도이다.1 is a perspective view schematically showing an electronic component attaching and detaching device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side cross-sectional view of a locked state of an electronic component attaching and detaching device according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is 2 is a plan view, FIG. 4 is a side cross-sectional view of the unlocking (UNLOCK) state of the electronic component attachment and detachment device according to an embodiment of the present invention, FIG. 5 is a plan view of FIG.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시 예에 따른 전자부품 착탈장치가 도시되어 있다.1 to 5 , an electronic component attachment/detachment device according to an embodiment of the present invention is illustrated.

도 1 내지 도 5에서, 본 발명에 따른 전자부품 착탈장치(100)는 업다운 실린더(10), 업다운 실린더 블록(20), 록/언록 실린더(30), 록/언록 유닛(록/언록수단)(40), 업다운 유닛(50), 로킹 블록(로킹 수단)(60), 강구(70)를 포함한다.1 to 5, the electronic component detaching device 100 according to the present invention is an up-down cylinder 10, an up-down cylinder block 20, a lock/unlock cylinder 30, a lock/unlock unit (lock/unlock means) 40 , an up-down unit 50 , a locking block (locking means) 60 , and a steel ball 70 .

도 1 내지 도 5를 참조하여 설명하면, 테스트용 전자부품이 내장된 제 1기판과, 상기 제 1기판이 장착되는 제 2기판을 구비한 전자부품 테스트장치에 있어서, 상기 제 1기판을 상기 제 2기판에 대하여 착탈하기 위한 착탈장치로서,1 to 5 , in the electronic component testing apparatus including a first substrate on which an electronic component for testing is embedded, and a second substrate on which the first substrate is mounted, the first substrate is disposed on the first substrate. As a detachable device for attaching and detaching from two substrates,

상기 제 1기판에 결합된 로킹 수단(60)과,a locking means (60) coupled to the first substrate;

상기 제 1기판과 서로 맞닿아 면접하는 전자부품 착탈수단을 포함하며,and an electronic component attachment/detachment means for interviewing the first substrate in contact with each other,

상기 전자부품 착탈수단은The electronic component attachment and detachment means

'L'자형태로 구성되며, 평면부상에 업/다운 실린더(10)가 설치되며, It is composed of an 'L' shape, and the up/down cylinder 10 is installed on the flat part,

수직부에는 상기 제1 기판의 로킹수단(60)이 삽입 및 삽입해제 되는 로킹수단 수용/해제수단을 구비한 록/언록 수단(40)을 포함하며,The vertical portion includes a locking/unlocking means 40 having a locking means receiving/unlocking means into which the locking means 60 of the first substrate is inserted and released,

상기 로킹수단 수용/해제수단은 상기 록/언록수단내부에 설치된 업/다운 유닛 및 상기 업/다운 유닛내에 형성된 측면홈에 내장설치된 로킹(LOCKING)용 강구(70)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The locking means accommodating/unlocking means includes an up/down unit installed inside the locking/unlocking means and a locking steel ball 70 installed in a side groove formed in the up/down unit.

상기 제1 기판은 프로브카드 또는 스티프너(Stiffener)이고, 상기 제2기판은 테스트헤드 본체인 것을 특징으로 한다.The first substrate may be a probe card or a stiffener, and the second substrate may be a test head body.

한편 상기 록/언록수단(40)의 상하이동시에 내부의 업/다운 유닛(50)도 상하이동되며, 두 구성요소간에 간격이 생기게 된다(도 2 및 도 4 참조). 또한, 강구(70)는 상기 록/언록수단(40)의 상하이동시에 하방으로 밀려내려가면서 하단부에 약간 넓은 부분까지 업/다운 유닛(50)에 밀려내려가게된다. 물론, 로킹수단(60)에 의해 밀려 올라갈 때는 로킹수단(60)의 측면홈에 일부가 삽입되면서 상기 록/언록수단(40) 내부면을 따라 상방으로 이동되게 된다. 결국 강구(70)는 로킹수단(60)의 측면홈과 록/언록수단(40)의 내부면에 면접되면서 접촉성능을 향상시키며 테스트 성능을 향상시킨다.Meanwhile, when the lock/unlock means 40 is vertically moved, the internal up/down unit 50 is also moved up and down, and a gap is created between the two components (see FIGS. 2 and 4 ). In addition, the steel ball 70 is pushed down by the up/down unit 50 up to a slightly wider part at the lower end while being pushed down at the same time as the locking/unlocking means 40 is up and down. Of course, when pushed up by the locking means 60, a part is inserted into the side groove of the locking means 60, and the lock/unlock means 40 moves upward along the inner surface. As a result, the steel ball 70 is interviewed with the side groove of the locking means 60 and the inner surface of the lock/unlock means 40 to improve contact performance and test performance.

본 발명의 일실시 예에 따른 전자부품 착탈장치는 도시되지는 않았지만, 후술하는 실시예를 통해 알 수 있는 바와 같이, 동력을 전달받아 수직방향으로 상하운동을 한다. 이때, 로킹수단(60)이 록/언록 수단(40)에 삽입/해제되면서 전기적인 신호가 피시험장치에서 테스트장치로 전달되어 이를 통해 피시험 전자부품을 테스트하고 테스트후에는 언록되어 착탈되는 과정이 반복된다.Although not shown, the electronic component attachment/detachment device according to an embodiment of the present invention moves up and down in the vertical direction by receiving power, as can be seen through an embodiment to be described later. At this time, as the locking means 60 is inserted/unlocked into the locking/unlocking means 40, an electrical signal is transmitted from the device under test to the test device, through which the electronic component under test is tested and unlocked and detached after the test This is repeated.

이후 실시예에서는 반도체 부품의 테스트를 위한 과정을 좀더 자세히 설명한다.In the following embodiments, a process for testing a semiconductor component will be described in more detail.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자부품 착탈장치를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 7은 도 6의 측면도이고, 도 8은 도 6의 전자부품 착탈장치의 록(LOCK) 및 언록(UNLOCK)상태를 나타낸 상세도이고, 도 9는 록바(LOCK BAR)가 장착되는 상태의 예들을 나타낸 측면도이다.6 is a perspective view schematically showing an electronic component detaching device according to another embodiment of the present invention, FIG. 7 is a side view of FIG. 6, and FIG. It is a detailed view showing the UNLOCK state, and FIG. 9 is a side view showing examples of a state in which a lock bar is mounted.

도 6 내지 도 9를 참조하면, 스텝모터(step motor), 소켓 입출력 센싱을 위한 업 센서(up sensor), 다운 센서(down sensor), 볼 록/언록(Ball Lock/Unlock) 상태를 센싱하기 위한 업 센서, 다운 센서, 스크류 업 다운 상태를 안내하기 위한 캠 팔로워(cam follower)를 포함하고 있다. 전체적인 구성은 도 1에 도시된 장치와 동일하거나 일부만 차이가 있고, 동작은 거의 유사하다.6 to 9 , for sensing a step motor, an up sensor for sensing socket input/output, a down sensor, and a Ball Lock/Unlock state It includes an up sensor, a down sensor, and a cam follower to guide the screw up and down status. The overall configuration is the same as the device shown in FIG. 1, or there is only a partial difference, and the operation is almost the same.

볼 록/언록용 실린더(30-1)가 구비되어 있고, 강구가 장착되어 있으며, 볼스크류가 장착되어 있다. 록 바(lock bar)(60-1)는 스티프너 및 프로브 상판에 체결된다(도 9 참조). 록 바는 장치 하방에 수직하게 배치되어 위치한다.A convex/unlock cylinder 30-1 is provided, a steel ball is mounted, and a ball screw is mounted. A lock bar 60-1 is fastened to the stiffener and the probe upper plate (see FIG. 9). The lock bar is positioned vertically below the device.

도 8을 참조하면, 볼록 및 언록 상태를 볼 수 있다.Referring to FIG. 8 , convex and unlocked states can be seen.

도 10은 본 발명에 따른 전자부품 착탈장치가 설치된 반도체 테스트장치에서 피테스트 제품과 결합된 상태를 개략적으로 도시한 측면도, 도 11은 본 발명에 따른 전자부품 착탈장치가 설치된 반도체 테스트장치에서 피테스트 제품이 해체된 상태를 개략적으로 도시한 측면도, 도 12 및 13은 본 발명에 따른 전자부품 착탈장치가 설치된 반도체 테스트장치에서 테스트되는 프로브카드 및 스티프너를 개략적으로 도시한 사시도이다.10 is a side view schematically showing a state coupled with a product under test in a semiconductor test apparatus in which an electronic component attachment/detachment device according to the present invention is installed, and FIG. A side view schematically illustrating a disassembled state of the product, FIGS. 12 and 13 are perspective views schematically illustrating a probe card and a stiffener tested in a semiconductor test apparatus in which an electronic component attachment/detachment device according to the present invention is installed.

도 10 내지 도 13을 참조하면, 본 발명 도 1의 장치는 도 10의 원형으로 표시된 부분 위치에 장착된 것을 볼 수 있다.10 to 13 , it can be seen that the device of FIG. 1 of the present invention is mounted at a partial position indicated by a circle in FIG. 10 .

본 발명에 따른 전자부품 착탈장치가 설치된 상태에서 피테스트되는 프로브카드 및 스티프너가 로킹 수단을 통해 삽입되어 테스트되고 해체가 간단하게 이루어질 수 있게 된다.In a state in which the electronic component detaching device according to the present invention is installed, the probe card and the stiffener to be tested are inserted through the locking means and tested, and disassembly can be made simply.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 전자부품 착탈장치에 의하면, 피시험장치를 홀딩하는 구조가 간단하며, 안정감을 확보할 수 있도록 되어 종래 기술에 비하여 쉽고 간편하게 피시험장치와 부품들을 착탈시켜가면서 테스트할 수 있게 된다.As described above, according to the electronic component attachment/detachment device according to the present invention, the structure for holding the device under test is simple, and it is possible to secure a sense of stability, so that the test while attaching and detaching the device under test and parts more easily and conveniently compared to the prior art be able to do

또한, 본 발명에 따르면, 피시험장치를 테스트할 때 종래 기술에 비해 직진성이 향상되어 에러발생률이 낮아져서 테스트효과가 향상될 수 있다.In addition, according to the present invention, when testing the device under test, the straightness is improved compared to the prior art, and the error rate is lowered, so that the test effect can be improved.

또한, 본 발명에 따르면, 기존 시험장치에 비해 사후 유지관리가 쉬운 장점이 있으며(A/S가 간편함), 반도체 관련부품의 국산화에 기여할 수 있다.In addition, according to the present invention, there is an advantage of easy post-maintenance compared to the existing test apparatus (A/S is simple), and it can contribute to the localization of semiconductor-related parts.

그리고, 본 발명의 다른 일시 예로,피시험 전자부품의 전기적인 특성을 시험하기 위한 전자부품 시험장치로서, 상기 피시험 전자부품에 전기적으로 접속되는 청구항 1에 기재된 전자부품 착탈수단과, 상기 전자부품 착탈수단을 통하여 상기 피시험 전자부품에 시험신호를 입력하여 동작시키고, 그 응답신호를 검사한다. And, as another temporary example of the present invention, as an electronic component testing apparatus for testing electrical characteristics of an electronic component under test, the electronic component attachment and detachment means according to claim 1 electrically connected to the electronic component under test, and the electronic component A test signal is inputted to the electronic component under test through a detachable means to operate, and the response signal is inspected.

본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시 예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시 예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical idea of the present invention has been described in detail according to the above preferred embodiments, it should be noted that the above-described embodiments are for explanation and not for limitation. In addition, those skilled in the art will understand that various embodiments are possible within the scope of the technical spirit of the present invention.

10. 업다운 실린더
20. 업다운 실린더 블록
30. 록/언록 실린더
40. 록/언록 유닛
50. 업다운 유닛
60. 로킹 블록
70. 강구
10. Up-Down Cylinder
20. Up-Down Cylinder Block
30. Lock/unlock cylinder
40. Lock/unlock unit
50. Up-Down Unit
60. Locking Block
70. steel ball

Claims (3)

테스트용 전자부품이 내장된 제 1기판과, 상기 제 1기판이 장착되는 제 2기판을 구비한 전자부품 테스트장치에 있어서, 상기 제 1기판을 상기 제 2기판에 대하여 착탈하기 위한 전자부품 착탈장치로서,
상기 제 1기판에 결합된 로킹 수단과,
상기 제 1기판과 서로 맞닿아 면접하는 전자부품 착탈수단을 포함하며,
상기 전자부품 착탈수단은
'L'자형태로 구성되며, 평면부상에 업/다운 실린더가 설치되며,
수직부에는 상기 제1 기판의 로킹수단이 삽입 및 삽입해제 되는 로킹수단 수용/해제수단을 구비한 록/언록수단을 포함하며,
상기 로킹수단 수용/해제수단은 상기 록/언록수단내부에 설치된 업/다운 유닛 및 상기 업/다운 유닛내에 형성된 측면홈에 내장설치된 로킹(LOCKING)용 강구를 포함하되,
상기 록/언록수단의 상하이동시에 내부의 업/다운 유닛도 상하이동되며, 두 구성요소간에 간격이 생기게 되고,
강구는 상기 록/언록수단의 상하이동시에 하방으로 밀려내려가면서 하단부에 약간 넓은 부분까지 업/다운 유닛에 밀려내려가게되고,
로킹수단에 의해 밀려 올라갈 때는 로킹수단의 측면홈에 일부가 삽입되면서 상기 록/언록수단 내부면을 따라 상방으로 이동되게 되며,
강구는 로킹수단의 측면홈과 록/언록수단의 내부면에 면접되면서 접촉성능을 향상시키며 테스트 성능을 향상시키는 것을 특징으로 하는 전자부품 착탈장치.
An electronic component test apparatus comprising a first substrate on which an electronic component for testing is embedded and a second substrate on which the first substrate is mounted, wherein the electronic component attachment/detachment device for attaching and detaching the first substrate to and from the second substrate as,
a locking means coupled to the first substrate;
and an electronic component attachment/detachment means for interviewing the first substrate in contact with each other,
The electronic component attachment and detachment means
It is composed of an 'L' shape, and up/down cylinders are installed on the flat part,
The vertical portion includes locking/unlocking means having locking means receiving/unlocking means into which the locking means of the first substrate are inserted and released,
The locking means receiving/releasing means includes an up/down unit installed inside the locking/unlocking means and a steel ball for locking installed in a side groove formed in the up/down unit,
When the locking/unlocking means is vertically moved, the internal up/down unit is also vertically moved, and a gap is created between the two components,
The steel ball is pushed down by the up/down unit to a slightly wider part at the lower end while simultaneously moving up and down the locking/unlocking means.
When pushed up by the locking means, a part is inserted into the side groove of the locking means and moved upward along the inner surface of the locking/unlocking means,
The steel ball is interviewed on the side groove of the locking means and the inner surface of the lock/unlock means to improve contact performance and test performance.
제1항에 있어서, 상기 제1 기판은 프로브카드 또는 스티프너(Stiffener)이고, 상기 제2기판은 테스트헤드 본체인 것을 특징으로 하는 전자부품 착탈장치.
The device of claim 1, wherein the first substrate is a probe card or a stiffener, and the second substrate is a test head body.
피시험 전자부품의 전기적인 특성을 시험하기 위한 전자부품 시험장치로서,
상기 피시험 전자부품에 전기적으로 접속되는 청구항 1에 기재된 전자부품 착탈수단과,
상기 전자부품 착탈수단을 통하여 상기 피시험 전자부품에 시험신호를 입력하여 동작시키고, 그 응답신호를 검사하는 것을 특징으로 하는 전자부품 시험장치.
An electronic component testing device for testing the electrical characteristics of an electronic component under test, comprising:
The electronic component attachment/detachment means according to claim 1 electrically connected to the electronic component under test;
An electronic component testing apparatus, characterized in that inputting and operating a test signal to the electronic component under test through the electronic component attachment/detachment means, and inspects the response signal.
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