KR102343633B1 - Apparatus and method for treating substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예는 기판을 액 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 기판을 처리하는 장치는 기판을 지지하는 기판 지지 유닛, 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 처리액을 공급하는 노즐을 가지는 액 공급 유닛, 그리고 상기 액 공급 유닛을 세정 처리하는 세정 유닛을 포함하되, 상기 액 공급 유닛은 내부에 수용 공간을 가지는 처리 탱크, 처리액 밸브가 설치되며, 상기 처리 탱크에 처리액을 공급하는 처리액 공급 라인, 그리고 토출 밸브가 설치되며, 상기 탱크 및 상기 노즐을 연결하는 액 토출 라인을 포함하되, 상기 세정 유닛은 세정액 밸브가 설치되며, 상기 수용 공간에 세정액을 공급하는 세정액 공급 라인 및 상기 처리액 밸브, 상기 토출 밸브, 그리고 상기 세정액 밸브를 제어하는 제어기를 포함하되, 상기 제어기는 세정액이 상기 처리 탱크에서 상기 노즐로 토출되도록 각 밸브를 제어한다. 탱크를 세정 처리하는 세정액은 탱크에 연결되는 각 배관으로 순환시키므로, 각 배관을 탱크와 함께 세정 처리할 수 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Embodiments of the present invention relate to apparatus and methods for liquid processing a substrate. An apparatus for processing a substrate includes a substrate support unit for supporting a substrate, a liquid supply unit having a nozzle for supplying a processing liquid on a substrate supported by the substrate support unit, and a cleaning unit for cleaning the liquid supply unit, , the liquid supply unit includes a treatment tank having an accommodating space therein, a treatment liquid valve installed, a treatment liquid supply line supplying the treatment liquid to the treatment tank, and a discharge valve, and connecting the tank and the nozzle wherein the cleaning unit includes a cleaning liquid valve provided with a cleaning liquid valve, a cleaning liquid supply line supplying a cleaning liquid to the accommodation space, and a controller for controlling the treatment liquid valve, the discharge valve, and the cleaning liquid valve , the controller controls each valve so that the cleaning liquid is discharged from the treatment tank to the nozzle. Since the washing liquid for washing the tank is circulated through each pipe connected to the tank, each pipe can be washed together with the tank.

Description

기판 처리 장치 및 방법{Apparatus and method for treating substrate}Apparatus and method for treating substrate

본 발명은 기판을 액 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for liquid processing a substrate.

반도체 소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판에 포토리소그라피, 애싱, 이온주입, 박막 증착, 그리고 세정 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이 중 세정 공정은 기판 상에 잔류된 파티클을 제거하는 공정으로, 각각의 공정 전후 단계에서 진행된다.In order to manufacture a semiconductor device or a liquid crystal display, various processes such as photolithography, ashing, ion implantation, thin film deposition, and cleaning are performed on a substrate. Among them, the cleaning process is a process of removing particles remaining on the substrate, and is performed before and after each process.

일반적으로 기판의 세정 공정은 기판에 케미칼을 공급하여 기판 상에 잔류된 이물을 제거하는 공정이다. 케미칼이 공급되는 과정으로는, 탱크 내에 수용된 케미칼울 노즐로 공급되고, 노즐은 기판에 케미칼을 토출한다. 탱크 내에 케미칼이 소진되면, 작업자는 탱크 내에 케미칼을 충진한다. 그러나 일반적인 세정 공정에 사용되는 케미칼은 산 또는 염기 성질을 가진다. 이에 따라 케미칼이 대기에 노출될 경우에는 염이 발생된다. 이러한 염은 도 1과 같이 케미칼이 소진되는 과정에서 탱크(2)의 내측면에 잔류된다. 이후 탱크(2) 내에 충진된 케미칼은 염과 혼합되고, 염은 기판에 공급되어 파티클로 작용된다. 뿐만 아니라 케미칼에 혼합된 염은 노즐로 공급되는 중에 탱크(2) 및 이에 연결된 배관 등의 오염원으로 제공된다. 이러한 염은 수용성으로 필터에 의해 필터링하는 것이 어렵다.In general, the cleaning process of a substrate is a process of removing foreign substances remaining on the substrate by supplying chemicals to the substrate. In the process of supplying the chemical, the chemical wool is supplied to the nozzle accommodated in the tank, and the nozzle discharges the chemical to the substrate. When the chemical in the tank is exhausted, the operator fills the chemical in the tank. However, chemicals used in general cleaning processes have acidic or basic properties. Accordingly, salts are generated when chemicals are exposed to the atmosphere. These salts remain on the inner surface of the tank 2 in the process of exhausting the chemical as shown in FIG. 1 . Then, the chemical filled in the tank 2 is mixed with the salt, and the salt is supplied to the substrate to act as particles. In addition, the salt mixed with the chemical is provided as a contamination source such as the tank 2 and a pipe connected thereto while being supplied to the nozzle. These salts are water-soluble and difficult to filter by filters.

또한 기판 처리에 사용된 케미칼을 재사용하는 경우에는 금속 및 유기물 등이 혼합될 수 있다. 이러한 금속 및 유기물은 기판에 공급되어 파티클로 작용되고, 노즐로 공급되는 중에 탱크(2) 및 이에 연결된 배관 등에 오염원으로 제공된다. In addition, when a chemical used for substrate processing is reused, a metal and an organic material may be mixed. These metals and organic materials are supplied to the substrate to act as particles, and while being supplied to the nozzle, they are provided as a contamination source to the tank 2 and a pipe connected thereto.

이를 해결하기 위해 작업자는 탱크(2)에 케미칼을 충진 시 탱크에 대한 메인터넌스를 진행하여 탱크(2)를 세정해야 한다. 그러나 작업자에 의해 탱크에 대한 세정 공정을 케미칼을 충진하기 전에 매번 수행하게 될 경우, 기판 처리 공정에 대한 쓰루풋이 낮아진다. 작업자가 탱크(2)를 세정하는 과정에서 외부의 오염원이 유입되어 탱크(2)의 2차 오염을 발생시킬 수 있다. 또한 케미칼은 산 또는 염기 성질을 가지는 액으로서, 작업자의 안전 사고가 발생될 수 있다. 이로 인해 탱크(2)의 세정 주기는 케미칼을 충진 시 매번 수행하는 것이 어려우며, 탱크의 수명이 짧아진다.In order to solve this, the operator must clean the tank 2 by performing maintenance on the tank 2 when filling the tank 2 with chemicals. However, if the cleaning process for the tank is performed by the operator each time before filling the chemical, the throughput for the substrate processing process is lowered. In the process of the worker cleaning the tank 2 , an external contamination source may be introduced to cause secondary contamination of the tank 2 . In addition, a chemical is a liquid having acid or basic properties, which may cause safety accidents for workers. Due to this, it is difficult to perform the cleaning cycle of the tank 2 every time the chemical is filled, and the life of the tank is shortened.

한국 특허 등록 번호 10-0873153Korean Patent Registration No. 10-0873153

본 발명은 기판의 액 처리 공정의 쓰루풋을 향상시킬 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide an apparatus and method capable of improving the throughput of a liquid treatment process of a substrate.

또한 본 발명은 케미칼이 수용되는 탱크를 신속하게 세정 처리할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.Another object of the present invention is to provide an apparatus and method capable of rapidly cleaning a tank in which chemicals are accommodated.

또한 본 발명은 케미칼이 수용되는 탱크를 세정 처리 시 작업자의 안전 사고를 방지할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.Another object of the present invention is to provide an apparatus and method capable of preventing a safety accident of an operator when cleaning a tank in which chemicals are accommodated.

본 발명의 실시예는 기판을 액 처리하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 기판을 처리하는 장치는 기판을 지지하는 기판 지지 유닛, 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 처리액을 공급하는 노즐을 가지는 액 공급 유닛, 그리고 상기 액 공급 유닛을 세정 처리하는 세정 유닛을 포함하되, 상기 액 공급 유닛은 내부에 수용 공간을 가지는 처리 탱크, 처리액 밸브가 설치되며, 상기 처리 탱크에 처리액을 공급하는 처리액 공급 라인, 그리고 토출 밸브가 설치되며, 상기 탱크 및 상기 노즐을 연결하는 액 토출 라인을 포함하되, 상기 세정 유닛은 세정액 밸브가 설치되며, 상기 수용 공간에 세정액을 공급하는 세정액 공급 라인 및 상기 처리액 밸브, 상기 토출 밸브, 그리고 상기 세정액 밸브를 제어하는 제어기를 포함하되, 상기 제어기는 세정액이 상기 처리 탱크에서 상기 노즐로 토출되도록 각 밸브를 제어한다. SUMMARY OF THE INVENTION Embodiments of the present invention relate to apparatus and methods for liquid processing a substrate. An apparatus for processing a substrate includes a substrate support unit for supporting a substrate, a liquid supply unit having a nozzle for supplying a processing liquid on a substrate supported by the substrate support unit, and a cleaning unit for cleaning the liquid supply unit, , the liquid supply unit includes a treatment tank having an accommodating space therein, a treatment liquid valve installed, a treatment liquid supply line supplying the treatment liquid to the treatment tank, and a discharge valve, and connecting the tank and the nozzle wherein the cleaning unit includes a cleaning liquid valve provided with a cleaning liquid valve, a cleaning liquid supply line supplying a cleaning liquid to the accommodation space, and a controller for controlling the treatment liquid valve, the discharge valve, and the cleaning liquid valve , the controller controls each valve so that the cleaning liquid is discharged from the treatment tank to the nozzle.

상기 액 공급 유닛은 순환 밸브가 설치되며, 상기 수용 공간에 수용된 액이 순환되도록 상기 탱크에 연결되는 순환 라인을 더 포함하되, 상기 제어기는 상기 액 토출 라인을 차단하여 세정액을 상기 순환 라인을 통해 상기 수용 공간에 순환시키고, 그 이후에 상기 액 토출 라인을 개방하여 세정액을 노즐로 토출시킬 수 있다. 상기 액 공급 유닛은 상기 수용 공간에 수용된 처리액의 수위를 측정하는 측정 부재를 더 포함하되, 상기 제어기는 상기 측정 부재로부터 처리액의 측정 수위값을 전달받고, 상기 측정 수위값이 설정 수위값보다 낮으면 상기 처리액 공급 라인을 차단하고, 상기 세정액 공급 라인을 개방할 수 있다. 상기 액 공급 유닛은 배출 밸브가 설치되며, 상기 액 토출 라인으로부터 분기되는 배출 라인을 더 포함하되, 상기 제어기는 상기 측정 수위값이 설정 수위값보다 낮으면, 배출 라인을 개방하여 수용 공간에 잔류된 처리액을 배출하고, 그 이후에 상기 세정액 공급 라인을 개방할 수 있다. 상기 기판 지지 유닛을 감싸며, 기판에 공급된 처리액을 회수하는 처리 용기 및 상기 처리 용기로부터 처리액을 회수하는 액 회수 유닛을 포함하되, 상기 액 회수 유닛은 내부에 회수 공간을 가지는 회수 탱크 및 연결 밸브가 설치되며, 상기 회수 탱크 및 상기 노즐을 연결하는 연결 라인을 포함하고, 상기 세정액 공급 라인은 상기 처리 탱크 및 상기 회수 탱크 각각에 연결될 수 있다. The liquid supply unit has a circulation valve installed and further includes a circulation line connected to the tank to circulate the liquid accommodated in the accommodation space, wherein the controller blocks the liquid discharge line to supply the cleaning liquid through the circulation line. After circulating in the receiving space, the liquid discharge line may be opened to discharge the cleaning liquid to the nozzle. The liquid supply unit may further include a measuring member configured to measure a level of the treatment liquid accommodated in the accommodating space, wherein the controller receives the measured level value of the treatment liquid from the measuring member, and the measured water level is higher than the set level value. If it is low, the treatment liquid supply line may be blocked and the cleaning liquid supply line may be opened. The liquid supply unit is provided with a discharge valve, and further includes a discharge line branched from the liquid discharge line, wherein the controller opens the discharge line when the measured water level value is lower than a set water level value to remove the remaining in the receiving space. After discharging the treatment liquid, the cleaning liquid supply line may be opened. a processing container surrounding the substrate support unit and recovering the processing liquid supplied to the substrate, and a liquid recovery unit recovering the processing liquid from the processing container, wherein the liquid recovery unit includes a recovery tank having a recovery space therein and a connection A valve may be installed, and may include a connection line connecting the recovery tank and the nozzle, and the cleaning solution supply line may be connected to the treatment tank and the recovery tank, respectively.

또한 상술한 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 방법에 있어서, 상기 노즐로부터 처리액을 공급하여 상기 기판을 액 처리하는 기판 처리 단계 및 상기 수용 공간에 잔류된 처리액을 세정 처리하는 탱크 세정 단계를 포함하되, 상기 탱크 세정 단계는 상기 세정액을 상기 수용 공간에서 상기 노즐로 공급하는 세정액 토출 단계를 포함할 수 있다. In addition, in the method of processing a substrate using the above-described substrate processing apparatus, the substrate processing step of supplying the processing liquid from the nozzle to liquid-treat the substrate, and the tank cleaning step of cleaning the processing liquid remaining in the accommodating space. However, the tank cleaning step may include a cleaning liquid discharging step of supplying the cleaning liquid from the accommodation space to the nozzle.

상기 탱크 세정 단계는 상기 세정액 토출 단계 이전에, 상기 세정액을 상기 순환 라인으로 순환시켜 상기 수용 공간 및 상기 순환 라인을 세정 처리하는 세정액 순환 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 탱크 세정 단계는 상기 세정액 순환 단계 이전에, 상기 처리액 공급 라인을 차단하고, 상기 액 토출 라인으로부터 분기된 배출 라인을 통해 상기 수용 공간에 잔류된 처리액을 배출시키는 처리액 배출 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 수용 공간에 수용된 처리액의 수위가 설정된 수위보다 낮으면, 상기 탱크 세정 단계가 진행될 수 있다. 상기 기판 처리 단계에는 상기 노즐이 공정 위치에 위치되고, 상기 탱크 세정 단계에는 상기 노즐이 대기 위치에 위치되되, 상기 공정 위치는 상기 노즐이 상기 기판에 대향된 위치이고, 상기 대기 위치는 상기 노즐이 상기 공정 위치를 벗어난 위치로 제공될 수 있다. 상기 처리액은 불화암모늄(NH4F)를 포함하고, 상기 세정액은 과산화수소(H2O2)를 포함할 수 있다. The tank cleaning step may further include a cleaning solution circulation step of circulating the cleaning solution to the circulation line before the cleaning solution discharging step to wash the accommodation space and the circulation line. The tank cleaning step further includes, before the cleaning solution circulation step, a treatment liquid discharge step of blocking the treatment liquid supply line and discharging the treatment liquid remaining in the accommodation space through a discharge line branched from the liquid discharge line can do. When the level of the treatment liquid accommodated in the accommodation space is lower than a set level, the tank cleaning step may be performed. In the substrate processing step, the nozzle is positioned in a process position, and in the tank cleaning step, the nozzle is positioned in a standby position, wherein the process position is a position where the nozzle faces the substrate, and the standby position is the nozzle It may be provided at a location outside the process location. The treatment solution may include ammonium fluoride (NH 4 F), and the cleaning solution may include hydrogen peroxide (H 2 O 2 ).

본 발명의 실시예에 의하면, 탱크 내에 처리액이 소진되면, 탱크의 세정 공정이 자동화 처리되므로, 기판의 액 처리 공정의 쓰루풋을 향상시킬 수 있다.According to the embodiment of the present invention, when the processing liquid is exhausted in the tank, the cleaning process of the tank is automated, so that the throughput of the liquid processing process of the substrate can be improved.

본 발명의 실시예에 의하면, 탱크의 세정 공정은 자동화 처리되므로, 탱크를 신속하게 처리할 뿐만 아니라 작업자의 안전 사고를 방지할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, since the cleaning process of the tank is automated, it is possible to not only process the tank quickly but also prevent a safety accident of the operator.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 탱크의 세정 공정은 처리액을 충진 시 매번 진행되어 탱크의 수명을 향상시킬 수 있다.In addition, according to an embodiment of the present invention, the tank cleaning process is performed every time the treatment liquid is filled, thereby improving the lifespan of the tank.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 탱크의 수명이 향상되므로, 탱크의 교체 시기를 늘릴 수 있다. In addition, according to the embodiment of the present invention, since the life of the tank is improved, it is possible to increase the replacement period of the tank.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 탱크를 세정 처리하는 세정액은 탱크에 연결되는 각 배관으로 순환시키므로, 각 배관을 탱크와 함께 세정 처리할 수 있다.In addition, according to the embodiment of the present invention, since the cleaning liquid for cleaning the tank is circulated through each pipe connected to the tank, each pipe can be cleaned together with the tank.

도 1은 본 발명은 케미칼이 소진된 탱크의 내측면의 일부를 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 2의 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 3의 기판 처리 장치를 보여주는 평면도이다.
도 5는 도 3의 액 공급 부재를 보여주는 단면도이다.
도 6 내지 도 10은 도 5의 처리 탱크를 세정 처리하는 과정을 보여주는 단면도들이다.1 is a perspective view showing a portion of the inner surface of the present invention is a chemical exhausted tank.
2 is a plan view illustrating a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view illustrating the substrate processing apparatus of FIG. 2 .
4 is a plan view illustrating the substrate processing apparatus of FIG. 3 .
5 is a cross-sectional view illustrating the liquid supply member of FIG. 3 .
6 to 10 are cross-sectional views illustrating a process of cleaning the treatment tank of FIG. 5 .

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This example is provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes of the components in the drawings are exaggerated in order to emphasize a clearer description.

본 실시예에는 처리액을 이용하여 기판을 세정 처리하는 공정을 일 예로 설명한다. 그러나 본 실시예는 세정 공정에 한정되지 않고, 식각 공정, 애싱 공정 및 현상 공정 등과 같이, 액을 이용한 기판 처리 공정에서 다양하게 적용 가능하다. In this embodiment, a process of cleaning a substrate using a treatment liquid will be described as an example. However, the present embodiment is not limited to the cleaning process, and may be variously applied to a substrate processing process using a liquid, such as an etching process, an ashing process, and a developing process.

이하, 도 2 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 일 예를 상세히 설명한다.Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 10 .

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리설비를 보여주는 평면도이다. 도 2를 참조하면, 기판처리설비(1)는 인덱스모듈(10)과 공정 처리 모듈(20)을 가진다. 인덱스모듈(10)은 로드 포트(120) 및 이송 프레임(140)을 가진다. 로드 포트(120), 이송 프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드 포트(120), 이송 프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하며, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 칭한다. 2 is a plan view showing a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 2 , the substrate processing equipment 1 includes an index module 10 and a process processing module 20 . The index module 10 has a load port 120 and a transport frame 140 . The load port 120 , the transfer frame 140 , and the process processing module 20 are sequentially arranged in a line. Hereinafter, a direction in which the load port 120 , the transfer frame 140 , and the process processing module 20 are arranged is referred to as a first direction 12 , and when viewed from the top, is perpendicular to the first direction 12 . The direction is referred to as a second direction 14 , and a direction perpendicular to a plane including the first direction 12 and the second direction 14 is referred to as a third direction 16 .

로드 포트(140)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 안착된다. 로드 포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 로드 포트(120)의 개수는 공정 처리 모듈(20)의 공정 효율 및 풋 프린트조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판(W)들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯(미도시)이 형성된다. 캐리어(130)로는 전면 개방 일체형 포드(Front Opening Unifed Pod;FOUP)가 사용될 수 있다. The carrier 130 in which the substrate W is accommodated is seated on the load port 140 . A plurality of load ports 120 are provided and they are arranged in a line along the second direction 14 . The number of load ports 120 may increase or decrease according to process efficiency and footprint conditions of the process processing module 20 . A plurality of slots (not shown) are formed in the carrier 130 for accommodating the substrates W in a horizontally arranged state with respect to the ground. A Front Opening Unifed Pod (FOUP) may be used as the carrier 130 .

공정 처리 모듈(20)은 버퍼 유닛(220), 이송 챔버(240), 그리고 공정 챔버(260)를 가진다. 이송 챔버(240)는 그 길이 방향이 제 1 방향(12)과 평행하게 배치된다. 이송 챔버(240)의 양측에는 각각 공정 챔버들(260)이 배치된다. 이송 챔버(240)의 일측 및 타측에서 공정 챔버들(260)은 이송 챔버(240)를 기준으로 대칭되도록 제공된다. 이송 챔버(240)의 일측에는 복수 개의 공정 챔버들(260)이 제공된다. 공정 챔버들(260) 중 일부는 이송 챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정 챔버들(260) 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송 챔버(240)의 일측에는 공정 챔버들(260)이 A X B의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이다. 이송 챔버(240)의 일측에 공정 챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정 챔버들(260)은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정 챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정 챔버(260)는 이송 챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 공정 챔버(260)는 이송 챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.The process module 20 includes a buffer unit 220 , a transfer chamber 240 , and a process chamber 260 . The transfer chamber 240 is disposed so that its longitudinal direction is parallel to the first direction 12 . Process chambers 260 are respectively disposed on both sides of the transfer chamber 240 . At one side and the other side of the transfer chamber 240 , the process chambers 260 are provided to be symmetrical with respect to the transfer chamber 240 . A plurality of process chambers 260 are provided at one side of the transfer chamber 240 . Some of the process chambers 260 are disposed along the longitudinal direction of the transfer chamber 240 . In addition, some of the process chambers 260 are disposed to be stacked on each other. That is, the process chambers 260 may be arranged in an A X B arrangement on one side of the transfer chamber 240 . Here, A is the number of process chambers 260 provided in a line along the first direction 12 , and B is the number of process chambers 260 provided in a line along the third direction 16 . When four or six process chambers 260 are provided on one side of the transfer chamber 240 , the process chambers 260 may be arranged in an arrangement of 2 X 2 or 3 X 2 . The number of process chambers 260 may increase or decrease. Unlike the above, the process chamber 260 may be provided on only one side of the transfer chamber 240 . In addition, the process chamber 260 may be provided as a single layer on one side and both sides of the transfer chamber 240 .

버퍼 유닛(220)은 이송 프레임(140)과 이송 챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송 챔버(240)와 이송 프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼 유닛(220)의 내부에는 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공된다. 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개가 제공된다. 버퍼 유닛(220)은 이송 프레임(140)과 마주보는 면 및 이송 챔버(240)와 마주보는 면이 개방된다. The buffer unit 220 is disposed between the transfer frame 140 and the transfer chamber 240 . The buffer unit 220 provides a space in which the substrate W stays before the substrate W is transferred between the transfer chamber 240 and the transfer frame 140 . A slot (not shown) in which the substrate W is placed is provided in the buffer unit 220 . A plurality of slots (not shown) are provided to be spaced apart from each other in the third direction 16 . A surface of the buffer unit 220 facing the transfer frame 140 and a surface facing the transfer chamber 240 are open.

이송 프레임(140)은 로드 포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼 유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송 프레임(140)에는 인덱스 레일(142)과 인덱스 로봇(144)이 제공된다. 인덱스 레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스 로봇(144)은 인덱스 레일(142) 상에 설치되며, 인덱스 레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스 로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스 레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정 처리 모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 이의 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정 처리 모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스 로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다. The transfer frame 140 transfers the substrate W between the carrier 130 seated on the load port 120 and the buffer unit 220 . The transfer frame 140 is provided with an index rail 142 and an index robot 144 . The index rail 142 is provided in a longitudinal direction parallel to the second direction 14 . The index robot 144 is installed on the index rail 142 and linearly moves in the second direction 14 along the index rail 142 . The index robot 144 has a base 144a, a body 144b, and an index arm 144c. The base 144a is installed to be movable along the index rail 142 . The body 144b is coupled to the base 144a. The body 144b is provided to be movable along the third direction 16 on the base 144a. In addition, the body 144b is provided to be rotatable on the base 144a. The index arm 144c is coupled to the body 144b and is provided to be movable forward and backward with respect to the body 144b. A plurality of index arms 144c are provided to be individually driven. The index arms 144c are arranged to be stacked apart from each other in the third direction 16 . Some of the index arms 144c are used when transferring the substrate W from the process processing module 20 to the carrier 130 , and the other part of the index arms 144c is used for transferring the substrate W from the carrier 130 to the process processing module 20 . ) can be used to return This may prevent particles generated from the substrate W before the process from adhering to the substrate W after the process while the index robot 144 carries in and takes out the substrate W.

이송 챔버(240)는 버퍼 유닛(220)과 공정 챔버(260) 간에, 그리고 공정 챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송 챔버(240)에는 가이드 레일(242)과 메인 로봇(244)이 제공된다. 가이드 레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인 로봇(244)은 가이드 레일(242) 상에 설치되고, 가이드 레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인 로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 그리고 메인암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드 레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 이는 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암들(244c)은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. The transfer chamber 240 transfers the substrate W between the buffer unit 220 and the process chamber 260 and between the process chambers 260 . The transfer chamber 240 is provided with a guide rail 242 and a main robot 244 . The guide rail 242 is disposed so that its longitudinal direction is parallel to the first direction 12 . The main robot 244 is installed on the guide rail 242 and linearly moved along the first direction 12 on the guide rail 242 . The main robot 244 has a base 244a, a body 244b, and a main arm 244c. The base 244a is installed to be movable along the guide rail 242 . The body 244b is coupled to the base 244a. The body 244b is provided to be movable along the third direction 16 on the base 244a. In addition, the body 244b is provided to be rotatable on the base 244a. The main arm 244c is coupled to the body 244b, which is provided to be movable forward and backward with respect to the body 244b. A plurality of main arms 244c are provided to be individually driven. The main arms 244c are arranged to be stacked apart from each other in the third direction 16 .

공정 챔버(260)는 기판(W)에 대해 세정 공정을 수행하는 기판 처리 장치(300)가 제공된다. 기판 처리 장치(300)는 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 이와 달리 각각의 공정 챔버(260) 내의 기판 처리 장치(300)는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 공정 챔버들(260)은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 공정 챔버(260) 내에 기판 처리 장치들(300)은 서로 동일하고, 서로 상이한 그룹에 속하는 공정 챔버(260) 내에 기판 처리 장치(300)의 구조는 서로 상이하게 제공될 수 있다.The process chamber 260 is provided with a substrate processing apparatus 300 that performs a cleaning process on the substrate W. Referring to FIG. The substrate processing apparatus 300 may have a different structure according to the type of cleaning process performed. Alternatively, the substrate processing apparatus 300 in each process chamber 260 may have the same structure. Optionally, the process chambers 260 are divided into a plurality of groups, so that the substrate processing apparatuses 300 in the process chamber 260 belonging to the same group are identical to each other, and the substrate processing apparatuses 300 are the same in the process chamber 260 belonging to different groups. The structures of the processing device 300 may be provided to be different from each other.

도 3은 도 2의 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이고, 도 4는 도 3의 기판 처리 장치를 보여주는 평면도이다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 기판 처리 장치(300)는 처리 용기(320), 기판 지지 유닛(340), 승강 유닛(360), 그리고 액 공급 유닛(380), 액 회수 유닛, 그리고 세정 유닛을 포함한다. 3 is a cross-sectional view illustrating the substrate processing apparatus of FIG. 2 , and FIG. 4 is a plan view illustrating the substrate processing apparatus of FIG. 3 . 3 and 4 , the substrate processing apparatus 300 includes a processing vessel 320 , a substrate support unit 340 , an elevation unit 360 , a liquid supply unit 380 , a liquid recovery unit, and a cleaning unit. includes

처리 용기(320)는 상부가 개방된 통 형상을 가진다. 처리 용기(320)은 내부회수통(322) 및 외부회수통(326)을 가진다. 각각의 회수통(322,326)은 공정에 사용된 처리액들 중 서로 상이한 처리액을 회수한다. 내부 회수통(322)은 기판 지지 유닛(340)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되고, 외부 회수통(326)은 내부 회수통(326)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내부 회수통(322)의 내측 공간(322a) 및 내부 회수통(322)은 내부 회수통(322)으로 처리액이 유입되는 제1유입구(322a)로서 기능한다. 내부 회수통(322)과 외부 회수통(326)의 사이 공간(326a)은 외부 회수통(326)으로 처리액이 유입되는 제2유입구(326a)로서 기능한다. 일 예에 의하면, 각각의 유입구(322a,326a)는 서로 상이한 높이에 위치될 수 있다. 각각의 회수통(322,326)의 저면 아래에는 회수관(322b,326b)이 연결된다. The processing container 320 has a cylindrical shape with an open top. The processing container 320 has an internal recovery container 322 and an external recovery container 326 . Each of the recovery tanks 322 and 326 recovers different treatment liquids from among the treatment liquids used in the process. The inner recovery container 322 is provided in the shape of an annular ring surrounding the substrate support unit 340 , and the external recovery container 326 is provided in the shape of an annular ring surrounding the inner recovery container 326 . The inner space 322a and the internal recovery container 322 of the internal recovery container 322 function as a first inlet 322a through which the treatment liquid flows into the internal recovery container 322 . The space 326a between the internal collection tube 322 and the external collection tube 326 functions as a second inlet 326a through which the treatment liquid flows into the external collection tube 326 . According to an example, each of the inlets 322a and 326a may be located at different heights. Recovery pipes 322b and 326b are connected under the bottom of each of the recovery barrels 322 and 326 .

기판 지지 유닛(340)은 기판(W)을 지지한다. 기판 지지 유닛(340)은 공정 진행 중 기판(W)을 회전시킨다. 기판 지지 유닛(340)은 몸체(342), 지지핀(344), 척핀(346), 그리고 지지축(348)을 가진다. 몸체(342)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상부면을 가진다. 몸체(342)의 저면에는 구동부(349)에 의해 회전가능한 지지축(348)이 고정결합된다.The substrate support unit 340 supports the substrate W. The substrate support unit 340 rotates the substrate W during the process. The substrate support unit 340 has a body 342 , a support pin 344 , a chuck pin 346 , and a support shaft 348 . Body 342 has a top surface that is provided as a generally circular shape when viewed from above. A rotatable support shaft 348 is fixedly coupled to the bottom surface of the body 342 by the driving unit 349 .

지지핀(344)은 복수 개 제공된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면의 가장자리부에 소정 간격으로 이격되게 배치되고 몸체(342)에서 상부로 돌출된다. 지지 핀(344)들은 서로 간에 조합에 의해 전체적으로 환형의 링 형상을 가지도록 배치된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면으로부터 기판(W)이 일정거리 이격되도록 기판(W)의 후면 가장자리를 지지한다. A plurality of support pins 344 are provided. The support pins 344 are disposed to be spaced apart from each other at predetermined intervals on the edge of the upper surface of the body 342 and protrude upward from the body 342 . The support pins 344 are arranged to have an annular ring shape as a whole by combination with each other. The support pin 344 supports the rear edge of the substrate W so that the substrate W is spaced apart from the upper surface of the body 342 by a predetermined distance.

척핀(346)은 복수 개 제공된다. 척핀(346)은 몸체(342)의 중심에서 지지핀(344)보다 멀리 떨어지게 배치된다. 척핀(346)은 몸체(342)에서 상부로 돌출되도록 제공된다. 척핀(346)은 기판(W)이 회전될 때 기판(W)이 정 위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 척핀(346)은 몸체(342)의 반경 방향을 따라 대기위치와 지지위치 간에 직선 이동이 가능하도록 제공된다. 대기위치는 지지위치에 비해 몸체(342)의 중심으로부터 멀리 떨어진 위치이다. 기판(W)이 기판 지지 유닛(340)에 로딩 또는 언로딩 시 척핀(346)은 대기위치에 위치되고, 기판(W)에 대해 공정 수행 시 척 핀(346)은 지지위치에 위치된다. 지지위치에서 척핀(346)은 기판(W)의 측부와 접촉된다.A plurality of chuck pins 346 are provided. The chuck pin 346 is disposed farther from the center of the body 342 than the support pin 344 . The chuck pin 346 is provided to protrude upward from the body 342 . The chuck pin 346 supports the side of the substrate W so that the substrate W is not laterally separated from the original position when the substrate W is rotated. The chuck pin 346 is provided to enable linear movement between the standby position and the support position along the radial direction of the body 342 . The standby position is a position farther from the center of the body 342 compared to the support position. When the substrate W is loaded or unloaded from the substrate support unit 340 , the chuck pin 346 is positioned at the standby position, and when a process is performed on the substrate W, the chuck pin 346 is positioned at the support position. In the supporting position, the chuck pin 346 is in contact with the side of the substrate W.

승강 유닛(360)은 처리 용기(320)과 기판 지지 유닛(340) 간에 상대 높이를 조절한다. 승강 유닛(360)은 처리 용기(320)를 상하 방향으로 직선이동시킨다. 처리 용기(320)가 상하로 이동됨에 따라 기판 지지 유닛(340)에 대한 처리 용기(320)의 상대 높이가 변경된다. 승강 유닛(360)은 브라켓(362), 이동축(364), 그리고 구동기(366)를 가진다. 브라켓(362)은 처리 용기(320)의 외벽에 고정설치되고, 브라켓(362)에는 구동기(366)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동축(364)이 고정결합된다. 기판(W)이 기판 지지 유닛(340)에 놓이거나, 기판 지지 유닛(340)로부터 들어올려 질 때 기판 지지 유닛(340)이 처리 용기(320)의 상부로 돌출되도록 처리 용기(320)는 하강된다. 또한, 공정이 진행될 시에는 기판(W)에 공급된 처리액의 종류에 따라 처리액이 기설정된 회수통(360)으로 유입될 수 있도록 처리 용기(320)의 높이가 조절한다. 선택적으로, 승강유닛(360)은 기판 지지 유닛(340)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.The lifting unit 360 adjusts a relative height between the processing vessel 320 and the substrate support unit 340 . The lifting unit 360 linearly moves the processing container 320 in the vertical direction. As the processing vessel 320 moves up and down, the relative height of the processing vessel 320 with respect to the substrate support unit 340 is changed. The lifting unit 360 has a bracket 362 , a moving shaft 364 , and a driver 366 . The bracket 362 is fixedly installed on the outer wall of the processing vessel 320 , and a moving shaft 364 , which is moved in the vertical direction by the driver 366 , is fixedly coupled to the bracket 362 . When the substrate W is placed on the substrate support unit 340 or lifted from the substrate support unit 340 , the processing vessel 320 is lowered so that the substrate support unit 340 protrudes above the processing vessel 320 . do. In addition, when the process is in progress, the height of the processing container 320 is adjusted so that the processing liquid can be introduced into the predetermined collection container 360 according to the type of the processing liquid supplied to the substrate W. Optionally, the lifting unit 360 may move the substrate supporting unit 340 in the vertical direction.

액 공급 유닛(380,400)은 기판(W) 상으로 다양한 종류의 액들을 공급한다. 액 공급 유닛(380,400)은 처리액 토출 부재(380) 및 액 공급 부재(400)를 포함한다. 처리액 토출 부재(380)는 기판(W) 상에 처리액을 공급한다. 처리액 토출 부재(380)는 노즐 이동 부재(381) 및 노즐(399)을 포함한다. 노즐 이동 부재(381)는 노즐(399)을 공정 위치 및 대기 위치로 이동시킨다. 여기서 공정 위치는 노즐(399)이 기판 지지 유닛(340)에 지지된 기판(W)과 대향되는 위치이고, 대기 위치는 노즐(399)이 공정 위치를 벗어난 위치이다. 노즐 이동 부재(381)는 회전축(386), 구동기(388), 그리고 지지 아암(382)을 포함한다. 회전축(386)은 처리 용기(320)의 일측에 위치된다. 회전축(386)은 그 길이방향이 제3방향(16)을 향하는 로드 형상을 가진다. 회전축(386)은 구동기(388)에 의해 회전 가능하다. 회전축(386)은 구동기(388)로부터 제공되는 구동력에 의해 그 중심축을 중심으로 회전 가능하다. 지지 아암(382)은 노즐(399)과 회전축(386)을 연결한다. 회전축(386)이 회전됨에 따라 지지 아암(382) 및 노즐(399)은 회전축(386)의 중심축을 중심으로 회전된다. The liquid supply units 380 and 400 supply various types of liquids onto the substrate W. The liquid supply units 380 and 400 include a processing liquid discharging member 380 and a liquid supplying member 400 . The processing liquid discharging member 380 supplies the processing liquid onto the substrate W. The treatment liquid discharging member 380 includes a nozzle moving member 381 and a nozzle 399 . The nozzle moving member 381 moves the nozzle 399 to the process position and the standby position. Here, the process position is a position where the nozzle 399 faces the substrate W supported by the substrate support unit 340 , and the standby position is a position where the nozzle 399 is out of the process position. The nozzle moving member 381 includes a rotation shaft 386 , a actuator 388 , and a support arm 382 . The rotation shaft 386 is located on one side of the processing vessel 320 . The rotation shaft 386 has a rod shape whose longitudinal direction faces the third direction 16 . The rotating shaft 386 is rotatable by the actuator 388 . The rotating shaft 386 is rotatable about its central axis by a driving force provided from the actuator 388 . The support arm 382 connects the nozzle 399 and the rotation shaft 386 . As the rotation shaft 386 is rotated, the support arm 382 and the nozzle 399 are rotated about the central axis of the rotation shaft 386 .

지지 아암(382)은 그 길이방향이 제3방향과 수직한 수평 방향을 향하는 로드 형상으로 제공된다. 지지 아암(382)의 일단은 회전축(386)의 상단에 고정 결합된다. 지지 아암(382)은 타단이 회전축(386)과 결합된 일단을 중심으로 회전 가능하다. 일 예에 의하면, 상부에서 바라볼 때 지지 아암(382)의 타단이 이동되는 경로는 기판(W)의 중앙 영역을 지나도록 제공될 수 있다. 지지 아암(382)의 타단에는 노즐(399)이 결합된다. 따라서 노즐(399)은 회전축(386) 및 지지 아암(382)이 회전됨에 따라 공정 위치와 대기 위치로 이동 가능하다. 예컨대, 처리액은 산 또는 염기 성질을 가지는 케미칼 일 수 있다. 케미칼은 불화 암모늄(NH4F)을 포함할 수 있다. 케미칼은 불화 암모늄(NH4F), 불산(HF), 그리고 순수(H2O)를 포함하는 랄(LAL) 용액일 수 있다.The support arm 382 is provided in a rod shape whose longitudinal direction faces a horizontal direction perpendicular to the third direction. One end of the support arm 382 is fixedly coupled to the upper end of the rotation shaft 386 . The support arm 382 is rotatable about one end of which the other end is coupled to the rotation shaft 386 . According to an example, a path along which the other end of the support arm 382 moves when viewed from the top may be provided to pass through the central region of the substrate W. As shown in FIG. A nozzle 399 is coupled to the other end of the support arm 382 . Accordingly, the nozzle 399 is movable to the process position and the standby position as the rotation shaft 386 and the support arm 382 are rotated. For example, the treatment solution may be a chemical having acid or basic properties. The chemical may include ammonium fluoride (NH 4 F). The chemical may be a LAL solution containing ammonium fluoride (NH 4 F), hydrofluoric acid (HF), and pure water (H 2 O).

액 공급 부재(400)는 기설정된 유량의 처리액을 노즐(399)에 공급한다. 도 5는 도 3의 액 공급 부재를 보여주는 단면도이다. 도 5를 참조하면, 액 공급 부재(400)는 처리 탱크(420), 처리액 공급 라인(410), 순환 라인, 액 토출 라인(440), 배출 라인(460), 그리고 측정 부재(454)를 포함한다. The liquid supply member 400 supplies the processing liquid of a predetermined flow rate to the nozzle 399 . 5 is a cross-sectional view illustrating the liquid supply member of FIG. 3 . Referring to FIG. 5 , the liquid supply member 400 includes a treatment tank 420 , a treatment liquid supply line 410 , a circulation line, a liquid discharge line 440 , a discharge line 460 , and a measurement member 454 . include

처리 탱크(420)는 내부에 수용 공간(442)을 가지는 통 형상으로 제공된다. 수용 공간(442)은 처리액이 수용 가능한 공간으로 제공된다. 처리 탱크(420)는 복수 개로 제공된다. 일 예에 의하면, 처리 탱크(420)는 2 개일 수 있다. 처리 탱크(420)는 제1탱크(420a) 및 제2탱크(420b)로 제공될 수 있다. 순환 라인은 수용 공간(442)에 수용된 처리액을 순환시킨다. 순환 라인은 처리 탱크(420)들 각각을 서로 연결한다. 제1탱크(420a)에 제공된 처리액은 순환 라인을 통해 제2탱크(420b)로 순환될 수 있다. 또한 제2탱크(420b)에 제공된 처리액은 순환 라인을 통해 제1탱크(420a)로 순환될 수 있다. 순환 라인에는 펌프 및 히터가 설치된다. 펌프는 수용 공간(442)에 수용된 처리액이 순환 라인을 통해 순환되도록 순환 라인을 가압한다. 히터는 순환 라인에서 순환되는 처리액을 가열 처리한다. 히터는 처리액을 공정 온도 또는 그 이상으로 가열 처리한다.The treatment tank 420 is provided in a cylindrical shape having an accommodating space 442 therein. The accommodation space 442 is provided as a space in which the treatment liquid can be accommodated. A plurality of treatment tanks 420 are provided. According to one example, there may be two treatment tanks 420 . The treatment tank 420 may be provided as a first tank 420a and a second tank 420b. The circulation line circulates the treatment liquid accommodated in the accommodation space 442 . A circulation line connects each of the treatment tanks 420 to each other. The treatment liquid provided in the first tank 420a may be circulated to the second tank 420b through a circulation line. Also, the treatment liquid provided in the second tank 420b may be circulated to the first tank 420a through a circulation line. A pump and heater are installed in the circulation line. The pump pressurizes the circulation line so that the treatment liquid accommodated in the accommodation space 442 is circulated through the circulation line. The heater heats the treatment liquid circulated in the circulation line. The heater heats the treatment liquid to a process temperature or higher.

처리액 공급 라인(410)은 처리 탱크(420)에 처리액을 공급한다. 일 예에 의하면, 처리액 공급 라인(410)은 처리액 공급원(414) 및 처리 탱크(420)를 서로 연결한다. 처리액 공급 라인(410)에는 처리액 밸브(412)가 설치된다. 처리액 밸브(412)는 처리액 공급 라인(410)을 개폐한다. The treatment liquid supply line 410 supplies the treatment liquid to the treatment tank 420 . According to an example, the treatment liquid supply line 410 connects the treatment liquid supply source 414 and the treatment tank 420 to each other. A treatment liquid valve 412 is installed in the treatment liquid supply line 410 . The treatment liquid valve 412 opens and closes the treatment liquid supply line 410 .

액 토출 라인(440)은 각각의 처리 탱크(420)를 노즐(399)에 연결한다. 수용 공간(442)에 수용된 처리액은 액 토출 라인(440)을 통해 노즐(399)로 공급 가능하다. 액 토출 라인(440)에는 펌프(442), 히터(444), 필터(446), 그리고 토출 밸브(448)가 설치된다. 펌프(442)는 수용 공간(442)에 수용된 처리액이 액 토출 라인(440)을 통해 노즐(399)로 공급되도록 액 토출 라인(440)을 가압한다. 히터는(444) 액 토출 라인(440)에서 공급되는 처리액을 가열 처리한다. 필터는 액 토출 라인(440)을 통해 공급되는 처리액에 혼합된 이물을 필터링한다. 토출 밸브(448)는 액 토출 라인(440)에서 펌프(442), 히터(444), 그리고 필터(446)보다 상류에 위치된다. 토출 밸브(448)는 액 토출 라인(440)을 개폐한다.A liquid discharge line 440 connects each treatment tank 420 to a nozzle 399 . The processing liquid accommodated in the accommodation space 442 may be supplied to the nozzle 399 through the liquid discharge line 440 . A pump 442 , a heater 444 , a filter 446 , and a discharge valve 448 are installed in the liquid discharge line 440 . The pump 442 presses the liquid discharge line 440 so that the treatment liquid accommodated in the accommodation space 442 is supplied to the nozzle 399 through the liquid discharge line 440 . The heater 444 heats the treatment liquid supplied from the liquid discharge line 440 . The filter filters foreign substances mixed in the treatment liquid supplied through the liquid discharge line 440 . The discharge valve 448 is located upstream of the pump 442 , the heater 444 , and the filter 446 in the liquid discharge line 440 . The discharge valve 448 opens and closes the liquid discharge line 440 .

배출 라인(460)은 액 토출 라인(440)으로부터 분기되는 분기 라인으로 제공된다. 수용 공간(442)에 수용된 처리액은 배출 라인(460)을 통해 외부로 배출될 수 있다. 배출 라인(460)에는 배출 밸브(462)가 설치된다. 배출 밸브(462)는 배출 라인(460)을 개폐한다. The discharge line 460 is provided as a branch line branching from the liquid discharge line 440 . The treatment liquid accommodated in the accommodation space 442 may be discharged to the outside through the discharge line 460 . A discharge valve 462 is installed in the discharge line 460 . The discharge valve 462 opens and closes the discharge line 460 .

측정 부재(454)는 처리 탱크(420)들 각각의 수용 공간(442)에 수용된 처리액의 용량을 측정한다. 예컨대, 측정 부재(454)는 수용 공간(442)에 수용된 처리액의 수위를 측정하는 레벨 센서일 수 있다. 측정 부재(454)는 하이 센서(454a) 및 로우 센서(454b)를 포함할 수 있다. 하이 센서(454a)는 수용 공간(442)에 수용된 처리액의 최고 수위를 측정하고, 로우 센서(454b)는 처리액의 최저 수위를 측정할 수 있다.The measuring member 454 measures the amount of the treatment liquid accommodated in the accommodating space 442 of each of the treatment tanks 420 . For example, the measuring member 454 may be a level sensor that measures the level of the treatment liquid accommodated in the accommodation space 442 . The measurement member 454 may include a high sensor 454a and a low sensor 454b. The high sensor 454a may measure the highest level of the treatment liquid accommodated in the accommodation space 442 , and the low sensor 454b may measure the lowest level of the treatment liquid.

액 회수 유닛(500)은 처리 용기의 회수관에 유입된 처리액을 회수한다. 액 회수 유닛(500)은 회수 라인(540), 처리액 재생 부재(520), 회수 탱크(530), 그리고 연결 라인(540)을 포함한다. 회수 라인(540)은 회수관에 연결된다. 회수 라인(540)은 회수관과 회수 탱크(530)를 서로 연결한다. 처리액 재생 부재(520)는 회수 라인(540)에 설치된다. 처리액 재생 부재(520)는 처리액이 재사용 가능하도록 처리액을 재생 처리한다. 회수 탱크(530)는 내부에 회수 공간(532)을 가진다. 회수 공간(532)은 재생 처리된 처리액이 수용되는 공간으로 제공된다. 연결 라인(540)은 회수 탱크(530) 및 노즐(399)을 서로 연결한다. 회수 공간(532)에 수용된 처리액은 연결 라인(540)을 통해 노즐(399)로 공급 가능하다. 연결 라인(540)에는 연결 밸브(542)가 설치된다. 연결 밸브(542)는 연결 라인(540)을 개폐 가능하다.The liquid recovery unit 500 recovers the processing liquid flowing into the recovery pipe of the processing container. The liquid recovery unit 500 includes a recovery line 540 , a treatment liquid regeneration member 520 , a recovery tank 530 , and a connection line 540 . The recovery line 540 is connected to the recovery pipe. The recovery line 540 connects the recovery pipe and the recovery tank 530 to each other. The treatment liquid regenerating member 520 is installed in the recovery line 540 . The treatment liquid regenerating member 520 regenerates the treatment liquid so that the treatment liquid can be reused. The recovery tank 530 has a recovery space 532 therein. The recovery space 532 is provided as a space in which the regenerated treatment liquid is accommodated. The connection line 540 connects the recovery tank 530 and the nozzle 399 to each other. The treatment liquid accommodated in the recovery space 532 may be supplied to the nozzle 399 through the connection line 540 . A connection valve 542 is installed in the connection line 540 . The connection valve 542 may open and close the connection line 540 .

세정 유닛(600)은 세정액 공급 라인(610), 린스액 공급 라인(620), 그리고 제어기(700)를 포함한다. 세정액 공급 라인(610)은 각각의 처리 탱크(420)에 세정액을 공급한다. 세정액 공급 라인(610)은 세정액 공급원(614)을 각각의 처리 탱크(420)에 연결한다. 세정액 공급 라인(610)에는 세정액 밸브(612)가 설치된다. 세정액 밸브(612)는 세정액 공급 라인(610)을 개폐한다. 예컨대 세정액은 과산화수소(H2O2)를 포함할 수 있다.The cleaning unit 600 includes a cleaning liquid supply line 610 , a rinse liquid supply line 620 , and a controller 700 . The cleaning liquid supply line 610 supplies the cleaning liquid to each treatment tank 420 . A cleaning solution supply line 610 connects a cleaning solution source 614 to each treatment tank 420 . A cleaning liquid valve 612 is installed in the cleaning liquid supply line 610 . The cleaning liquid valve 612 opens and closes the cleaning liquid supply line 610 . For example, the cleaning solution may include hydrogen peroxide (H 2 O 2 ).

린스액 공급 라인(620)은 각각의 처리 탱크(420)에 린스액을 공급한다. 린스액 공급 라인(620)은 린스액 공급원(624)을 각각의 처리 탱크(420)에 연결한다. 린스액 공급 라인(620)에는 린스액 밸브(622)가 설치된다. 린스액 밸브(622)는 린스액 공급 라인(620)을 개폐한다. 예컨대, 린스액은 순수(H2O)를 포함할 수 있다.The rinse solution supply line 620 supplies a rinse solution to each treatment tank 420 . A rinse solution supply line 620 connects a rinse solution source 624 to each treatment tank 420 . A rinse solution valve 622 is installed in the rinse solution supply line 620 . The rinse solution valve 622 opens and closes the rinse solution supply line 620 . For example, the rinse solution may include pure water (H 2 O).

제어기(700)는 처리 탱크(420)의 수용 공간(442) 및 이에 연결된 순환 라인과 처리액 토출 라인(440)이 자동화 세정 처리되도록 처리액 밸브(412), 세정액 밸브(612), 린스액 밸브(622), 그리고 토출 밸브(448)를 각각 제어한다. 제어기(700)는 수용 공간(442)에 처리액이 소진되면, 세정액 및 린스액이 각각 순차 공급되도록 각 공급 라인의 밸브들을 제어한다. 제어기(700)는 측정 부재(454)로부터 전달된 처리액의 측정 수위값을 근거로 처리 탱크(420)의 세정 공정을 수행한다. 제어기(700)는 처리액의 측정 수위값이 설정 수위값보다 낮으면, 수용 공간(442)에 처리액이 모두 소진되었다고 판단하고, 처리 탱크(420)의 세정 공정을 수행한다. 일 예에 의하면, 설정 수위값은 수용 공간(442)에 수용된 처리액의 최저 수위값일 수 있다. 제어기(700)는 세정액이 기설정된 제1시간동안 수용 공간(442)에 공급되고, 린스액이 기설정된 제2시간동안 수용 공간(442)에 공급되도록 세정액 밸브(612) 및 린스액 밸브(622)를 제어할 수 있다. 제1시간과 제2시간은 서로 상이할 수 있다.The controller 700 controls the treatment liquid valve 412 , the cleaning liquid valve 612 , and the rinse liquid valve so that the receiving space 442 of the treatment tank 420 and the circulation line and the treatment liquid discharge line 440 connected thereto are automatically cleaned. 622 and the discharge valve 448 are respectively controlled. The controller 700 controls the valves of each supply line so that, when the treatment liquid is exhausted in the accommodation space 442 , the cleaning liquid and the rinse liquid are sequentially supplied, respectively. The controller 700 performs the cleaning process of the treatment tank 420 based on the measured level value of the treatment liquid transmitted from the measuring member 454 . When the measured water level value of the treatment liquid is lower than the set water level value, the controller 700 determines that the treatment liquid is exhausted in the accommodation space 442 and performs the cleaning process of the treatment tank 420 . According to an example, the set water level value may be the lowest level value of the treatment liquid accommodated in the accommodation space 442 . The controller 700 includes the cleaning liquid valve 612 and the rinse liquid valve 622 so that the cleaning liquid is supplied to the accommodation space 442 for a first predetermined time period and the rinse liquid is supplied to the accommodation space 442 for a second predetermined time period. ) can be controlled. The first time and the second time may be different from each other.

다음은 상술한 액 공급 부재(400)를 이용하여 처리 탱크(420)를 세정 처리하는 과정에 대해 설명한다. 도 6 내지 도 10은 도 5의 처리 탱크를 세정 처리하는 과정을 보여주는 단면도들이다. 도 6 내지 도 10을 참조하면, 처리 탱크(420)를 세정 처리하는 단계는 기판을 액 처리하는 단계 이후 또는 이전에 수행된다. 기판(W)을 액 처리하는 단계에는 노즐(399)이 공정 위치로 이동되고, 처리 탱크(420)를 세정 처리하는 단계는 노즐(399)이 대기 위치로 이동된다. 측정 수위값이 최저 수위값에 대응되거나 이보다 낮으면, 탱크 세정 단계가 진행된다. 탱크 세정 단계에는 처리 탱크(420)를 세정액에 의해 1차 세정 처리하고, 린스액에 이해 2차 세정 처리한다. 탱크 세정 단계는 처리액 배출 단계, 세정액 순환 단계, 세정액 토출 단계, 린스액 순환 단계, 그리고 린스액 토출 단계를 포함한다. 처리액 배출 단계, 세정액 순환 단계, 세정액 토출 단계, 린스액 순환 단계, 그리고 린스액 토출 단계는 순차적으로 진행된다.Next, a process of cleaning the treatment tank 420 using the above-described liquid supply member 400 will be described. 6 to 10 are cross-sectional views illustrating a process of cleaning the treatment tank of FIG. 5 . 6 to 10 , the cleaning treatment of the treatment tank 420 is performed after or before the liquid treatment of the substrate. In the liquid treatment of the substrate W, the nozzle 399 is moved to the process position, and in the cleaning treatment of the treatment tank 420 , the nozzle 399 is moved to the standby position. If the measured water level value corresponds to or is lower than the lowest water level value, the tank cleaning step proceeds. In the tank cleaning step, the treatment tank 420 is subjected to a primary cleaning treatment with a cleaning solution and a second cleaning treatment with a rinse solution. The tank cleaning step includes a treatment solution discharging step, a cleaning solution circulation step, a cleaning solution discharging step, a rinse solution circulation step, and a rinse solution discharging step. The treatment solution discharging step, the cleaning solution circulation step, the cleaning solution discharging step, the rinse solution circulation step, and the rinse solution discharging step are sequentially performed.

처리액 배출 단계가 진행된다. 처리액 배출 단계에는 처리액 공급 라인(410)을 차단하고, 배출 라인(460)을 개방하여 수용 공간(442)에 잔류된 처리액을 배출한다. 처리액 배출 단계가 완료되면, 세정액 순환 단계가 진행된다. 세정액 순환 단계가 진행되면, 액 토출 라인(440)을 차단하고, 수용 공간(442)에 세정액을 공급한다. 수용 공간(442)에 공급된 세정액은 순환 라인을 통해 수용 공간(442)에서 순환된다. 이후 세정액 토출 단계를 진행한다. 세정액 토출 단계에는 액 토출 라인(440)을 개방하여 세정액을 노즐(399)로 공급한다. 노즐(399)을 세정액을 토출하며, 수용 공간(442), 순환 라인, 액 토출 라인(440), 그리고 노즐(399)에 잔류된 처리액을 제거할 수 있다. 세정액 토출 단계가 완료되면, 린스액 순환 단계가 진행된다. 린스액 순환 단계가 진행되면, 액 토출 라인(440)을 차단하고, 수용 공간(442)에 린스액을 공급한다. 수용 공간(442)에 공급된 린스액은 순환 라인을 통해 수용 공간(442)에서 순환된다. 이후 린스액 토출 단계를 진행한다. 린스액 토출 단계에는 액 토출 라인(440)을 개방하여 린스액을 노즐(399)로 공급한다. 노즐(399)을 린스액을 토출하며, 수용 공간(442), 순환 라인, 액 토출 라인(440), 그리고 노즐(399)에 잔류된 세정액을 제거할 수 있다.A process liquid discharge step is performed. In the process liquid discharge step, the treatment liquid supply line 410 is blocked and the discharge line 460 is opened to discharge the treatment liquid remaining in the accommodation space 442 . When the treatment liquid discharging step is completed, the cleaning solution circulation step is performed. When the cleaning liquid circulation step is performed, the liquid discharge line 440 is cut off, and the cleaning liquid is supplied to the accommodation space 442 . The cleaning liquid supplied to the accommodation space 442 is circulated in the accommodation space 442 through a circulation line. Thereafter, a cleaning solution discharging step is performed. In the cleaning liquid discharge step, the liquid discharge line 440 is opened to supply the cleaning liquid to the nozzle 399 . The nozzle 399 discharges the cleaning liquid, and the treatment liquid remaining in the accommodation space 442 , the circulation line, the liquid discharge line 440 , and the nozzle 399 may be removed. When the cleaning solution discharging step is completed, the rinse solution circulation step proceeds. When the rinse liquid circulation step is performed, the liquid discharge line 440 is blocked and the rinse liquid is supplied to the accommodation space 442 . The rinse liquid supplied to the accommodation space 442 is circulated in the accommodation space 442 through a circulation line. Thereafter, the rinse liquid discharging step is performed. In the rinse liquid discharge step, the liquid discharge line 440 is opened to supply the rinse liquid to the nozzle 399 . The nozzle 399 discharges the rinse liquid, and the cleaning liquid remaining in the accommodation space 442 , the circulation line, the liquid discharge line 440 , and the nozzle 399 may be removed.

본 실시예는 처리 탱크(420)를 세정 처리하는 과정에서 처리 탱크(420)에 연결된 순환 라인, 액 토출 라인(440), 그리고 노즐(399)을 함께 세정 처리한다. 이로 인해 각 공급 라인들을 교체하거나 탈착하지 않고 세정 공정을 수행할 수 있다.,In the present embodiment, in the process of cleaning the treatment tank 420 , the circulation line connected to the treatment tank 420 , the liquid discharge line 440 , and the nozzle 399 are cleaned together. Due to this, the cleaning process can be performed without replacing or detaching each supply line.

또한 처리 탱크(420)의 세정 공정은 측정된 처리액의 잔여 용량에 의해 자동 세정 처리된다. 이에 따라 작업자가 처리 탱크(420)를 직접 세정 처리하는 것에 비해 시간이 단축될 수 있다. 또한 처리 탱크(420)의 세정 공정은 처리액을 충진하기 전에 매 회 진행될 수 있으며, 이는 처리 탱크(420)의 교체 주기를 늘릴 수 있다.In addition, the cleaning process of the treatment tank 420 is automatically performed according to the measured residual capacity of the treatment liquid. Accordingly, the time may be reduced compared to the operator directly cleaning the treatment tank 420 . In addition, the cleaning process of the treatment tank 420 may be performed each time before filling the treatment liquid, which may increase the replacement cycle of the treatment tank 420 .

또한 본 실시예에는 세정 공정은 처리 탱크(420)에 실시되는 것을 일 예로 설명하였다. 그러나 다른 실시예에 의하면, 세정 공정은 회수 탱크(530)일 수 있다. 측정 부재(454)는 회수 탱크(530)에 더 설치되며, 회수 탱크(530)에 설치된 측정 부재(454)로부터 전달된 측정 수위값을 근거로 회수 탱크(530)의 세정 공정이 수행될 수 있다.In addition, in this embodiment, it has been described that the cleaning process is performed on the treatment tank 420 as an example. However, according to another embodiment, the cleaning process may be the recovery tank 530 . The measuring member 454 is further installed in the recovery tank 530 , and the cleaning process of the recovery tank 530 may be performed based on the measured water level value transmitted from the measuring member 454 installed in the recovery tank 530 . .

또한 본 실시예에는 처리 탱크(420)를 세정액 및 린스액을 순차 공급하여 세정 공정을 수행하는 것으로 설명하였다. 그러나 처리 탱크(420)은 세정액을 공급하여 세정 처리한 후, 처리액을 충진할 수 있다.In addition, in this embodiment, it has been described that the cleaning process is performed by sequentially supplying a cleaning liquid and a rinse liquid to the treatment tank 420 . However, the treatment tank 420 may be filled with the treatment liquid after the cleaning treatment is performed by supplying the cleaning liquid.

399: 노즐 410: 처리액 공급 라인
412: 처리액 밸브 420: 처리 탱크
422: 수용 공간 440: 액 토출 라인
448: 토출 밸브 600: 세정 유닛
610: 세정액 공급 라인 612: 세정액 밸브
700: 제어기399: nozzle 410: treatment liquid supply line
412: treatment liquid valve 420: treatment tank
422: accommodation space 440: liquid discharge line
448: discharge valve 600: cleaning unit
610: cleaning liquid supply line 612: cleaning liquid valve
700: controller

Claims (11)

기판을 지지하는 기판 지지 유닛과;
상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 처리액을 공급하는 노즐을 가지는 액 공급 유닛과;
상기 액 공급 유닛을 세정 처리하는 세정 유닛을 포함하되,
상기 액 공급 유닛은,
내부에 수용 공간을 가지는 처리 탱크와;
처리액 밸브가 설치되며, 상기 처리 탱크에 처리액을 공급하는 처리액 공급 라인과;
토출 밸브가 설치되며, 상기 탱크 및 상기 노즐을 연결하는 액 토출 라인과;
순환 밸브가 설치되며, 상기 수용 공간에 수용된 액이 순환되도록 상기 탱크에 연결되는 순환 라인을 포함하되,
상기 세정 유닛은,
세정액 밸브가 설치되며, 상기 수용 공간에 세정액을 공급하는 세정액 공급 라인과;
상기 처리액 밸브, 상기 토출 밸브, 그리고 상기 세정액 밸브를 제어하는 제어기를 포함하되,
상기 제어기는 세정액이 상기 처리 탱크에서 상기 노즐로 토출되도록 각 밸브를 제어하고,
상기 제어기는 상기 액 토출 라인을 차단하여 세정액을 상기 순환 라인을 통해 상기 수용 공간에 순환시키고, 그 이후에 상기 액 토출 라인을 개방하여 세정액을 노즐로 토출시키는 기판 처리 장치.a substrate support unit for supporting the substrate;
a liquid supply unit having a nozzle for supplying a processing liquid onto the substrate supported by the substrate support unit;
A cleaning unit for cleaning the liquid supply unit,
The liquid supply unit,
a treatment tank having an accommodation space therein;
a treatment liquid supply line provided with a treatment liquid valve and configured to supply the treatment liquid to the treatment tank;
a liquid discharge line having a discharge valve installed and connecting the tank and the nozzle;
A circulation valve is installed, including a circulation line connected to the tank so that the liquid accommodated in the accommodation space is circulated,
The cleaning unit is
a cleaning liquid supply line provided with a cleaning liquid valve and supplying the cleaning liquid to the accommodation space;
A controller for controlling the treatment liquid valve, the discharge valve, and the cleaning liquid valve,
the controller controls each valve so that the cleaning liquid is discharged from the treatment tank to the nozzle;
The controller blocks the liquid discharge line to circulate the cleaning liquid to the receiving space through the circulation line, and then opens the liquid discharge line to discharge the cleaning liquid to a nozzle. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 액 공급 유닛은,
상기 수용 공간에 수용된 처리액의 수위를 측정하는 측정 부재를 더 포함하되,
상기 제어기는 상기 측정 부재로부터 처리액의 측정 수위값을 전달받고, 상기 측정 수위값이 설정 수위값보다 낮으면 상기 처리액 공급 라인을 차단하고, 상기 세정액 공급 라인을 개방하는 기판 처리 장치.According to claim 1,
The liquid supply unit,
Further comprising a measuring member for measuring the level of the treatment liquid accommodated in the accommodation space,
The controller receives the measured level value of the treatment liquid from the measuring member, and blocks the treatment liquid supply line and opens the cleaning liquid supply line when the measured level value is lower than a set level value. 제3항에 있어서,
상기 액 공급 유닛은,
배출 밸브가 설치되며, 상기 액 토출 라인으로부터 분기되는 배출 라인을 더 포함하되,
상기 제어기는 상기 측정 수위값이 설정 수위값보다 낮으면, 배출 라인을 개방하여 수용 공간에 잔류된 처리액을 배출하고, 그 이후에 상기 세정액 공급 라인을 개방하는 기판 처리 장치.4. The method of claim 3,
The liquid supply unit,
A discharge valve is installed, further comprising a discharge line branched from the liquid discharge line,
When the measured water level value is lower than a set water level value, the controller opens a discharge line to discharge the treatment liquid remaining in the accommodation space, and then opens the cleaning liquid supply line. 제1항에 있어서,
상기 기판 지지 유닛을 감싸며, 기판에 공급된 처리액을 회수하는 처리 용기와;
상기 처리 용기로부터 처리액을 회수하는 액 회수 유닛을 포함하되,
상기 액 회수 유닛은,
내부에 회수 공간을 가지는 회수 탱크와;
연결 밸브가 설치되며, 상기 회수 탱크 및 상기 노즐을 연결하는 연결 라인을 포함하고,
상기 세정액 공급 라인은 상기 처리 탱크 및 상기 회수 탱크 각각에 연결되는 기판 처리 장치.According to claim 1,
a processing container surrounding the substrate support unit and recovering the processing liquid supplied to the substrate;
a liquid recovery unit for recovering the treatment liquid from the treatment container;
The liquid recovery unit,
a recovery tank having a recovery space therein;
A connection valve is installed and includes a connection line connecting the recovery tank and the nozzle,
The cleaning solution supply line is connected to each of the processing tank and the recovery tank. 제1항의 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 방법에 있어서,
상기 노즐로부터 처리액을 공급하여 상기 기판을 액 처리하는 기판 처리 단계와;
상기 수용 공간에 잔류된 처리액을 세정 처리하는 탱크 세정 단계를 포함하되,
상기 탱크 세정 단계는,
상기 세정액을 상기 수용 공간에서 상기 노즐로 공급하는 세정액 토출 단계를 포함하는 기판 처리 방법.In the method of processing a substrate using the substrate processing apparatus of claim 1,
a substrate processing step of supplying a processing liquid from the nozzle to liquid-process the substrate;
Including a tank cleaning step of cleaning the treatment liquid remaining in the receiving space,
The tank cleaning step is
and discharging the cleaning liquid from the accommodation space to the nozzle. 제6항에 있어서,
상기 탱크 세정 단계는,
상기 세정액 토출 단계 이전에, 상기 세정액을 상기 순환 라인으로 순환시켜 상기 수용 공간 및 상기 순환 라인을 세정 처리하는 세정액 순환 단계를 더 포함하는 기판 처리 방법.7. The method of claim 6,
The tank cleaning step is
and a cleaning solution circulation step of circulating the cleaning solution to the circulation line to clean the accommodation space and the circulation line before the cleaning solution discharging step. 제7항에 있어서,
상기 탱크 세정 단계는,
상기 세정액 순환 단계 이전에, 상기 처리액 공급 라인을 차단하고, 상기 액 토출 라인으로부터 분기된 배출 라인을 통해 상기 수용 공간에 잔류된 처리액을 배출시키는 처리액 배출 단계를 더 포함하는 기판 처리 방법.8. The method of claim 7,
The tank cleaning step is
and discharging the treatment liquid remaining in the accommodation space through a discharge line branched from the liquid discharge line and blocking the treatment liquid supply line before the cleaning liquid circulation step. 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 수용 공간에 수용된 처리액의 수위가 설정된 수위보다 낮으면, 상기 탱크 세정 단계가 진행되는 기판 처리 방법.9. The method according to any one of claims 6 to 8,
When the level of the treatment liquid accommodated in the accommodation space is lower than a set level, the tank cleaning step is performed. 제9항에 있어서,
상기 기판 처리 단계에는 상기 노즐이 공정 위치에 위치되고,
상기 탱크 세정 단계에는 상기 노즐이 대기 위치에 위치되되,
상기 공정 위치는 상기 노즐이 상기 기판에 대향된 위치이고, 상기 대기 위치는 상기 노즐이 상기 공정 위치를 벗어난 위치로 제공되는 기판 처리 방법.10. The method of claim 9,
In the substrate processing step, the nozzle is positioned in a process position,
In the tank cleaning step, the nozzle is positioned in a standby position,
wherein the processing position is a position where the nozzle faces the substrate, and the standby position is a position where the nozzle is out of the processing position. 제9항에 있어서,
상기 처리액은 불화암모늄(NH4F)를 포함하고,
상기 세정액은 과산화수소(H2O2)를 포함하는 기판 처리 방법.
10. The method of claim 9,
The treatment solution contains ammonium fluoride (NH 4 F),
The cleaning solution is a substrate processing method comprising hydrogen peroxide (H 2 O 2 ).
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