KR102322599B1 - Digital pattern exposure device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 디지털 패턴 노광기에 관한 것이다.The present invention relates to a digital pattern exposure machine.
노광기는 반도체나 디스플레이 등 회로 공정이 필요한 제조라인에서 반도체 웨이퍼나 디스플레이 유리기판에 회로를 그려주는 장비를 말하는 것이다.Exposure machine refers to equipment that draws circuits on semiconductor wafers or display glass substrates in manufacturing lines that require circuit processes such as semiconductors or displays.
이러한 노광기에는 포토 마스크가 필요한 종래 장비를 개선하여, 그러한 포터 마스크없이도 회로를 그려줄 수 있는 장비가 개발되어 왔고, 레이저 등을 이용하여 그러한 포토 마스크없이도 회로를 그려줄 수 있는 장비가 디지털 패턴 노광기이다.Equipment that can draw circuits without such a porter mask has been developed by improving the conventional equipment that requires a photomask in such an exposure machine, and the equipment that can draw a circuit without such a photomask using a laser is a digital pattern exposure machine. .
이러한 디지털 패턴 노광기의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것들이다.Those of the patent documents presented below that can be presented as examples of such a digital pattern exposure machine.
상기 디지털 패턴 노광기에서는, 반도체 웨이퍼나 디스플레이 유리기판 등의 노광 대상체가 테이블 부재 상에 올려지고, 상기 테이블 부재에 부압(negative pressure)이 형성되어, 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 흡착된 상태에서, 레이저가 상기 노광 대상체의 상공에서 회로를 그려주게 된다.In the digital pattern exposure machine, an exposure target such as a semiconductor wafer or a display glass substrate is placed on a table member, a negative pressure is formed on the table member, and the exposure target is adsorbed onto the table member. , the laser draws a circuit above the exposure target.
그러나, 종래의 디지털 패널 노광기에 의하면, 상기 테이블 부재 상에 올려진 상기 노광 대상체의 저면이 흡착되는 형태로 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 올려지게 되는데, 이러한 방식에 의해서는, 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 완전히 밀착되지 못하고, 상기 노광 대상체의 표면이 불균일해져서, 상기 노광 대상체에 대한 정확한 노광이 이루어지지 못하여 불량이 발생될 수 있는 문제가 있었다.However, according to the conventional digital panel exposure machine, the exposure object is placed on the table member in a form in which the bottom surface of the exposure object placed on the table member is adsorbed. In this case, the exposure target is not completely in close contact, and the surface of the exposure target is non-uniform, so that accurate exposure of the exposure target is not performed, thereby causing defects.
본 발명은 테이블 부재 상에 올려진 노광 대상체의 표면이 균일해져서 상기 노광 대상체에 대한 정확한 노광이 이루어질 수 있도록, 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 밀착될 수 있는 디지털 패턴 노광기를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a digital pattern exposure machine capable of adhering the exposure object onto the table member so that the surface of the exposure target mounted on the table member becomes uniform so that the exposure target can be accurately exposed. do it with
본 발명의 일 측면에 따른 디지털 패턴 노광기는 노광기 프레임 부재; 상기 노광기 프레임 부재 상에 배치되어, 노광 대상체가 올려지고, 흡착홀이 형성되어, 상기 노광 대상체를 흡착할 수 있는 테이블 부재; 및 상기 테이블 부재 상에 올려진 상기 노광 대상체에 요구되는 패턴을 형성하는 노광 부재;를 포함하고,A digital pattern exposure apparatus according to an aspect of the present invention includes an exposure machine frame member; a table member disposed on the exposure machine frame member, on which an exposure target is mounted, and a suction hole is formed to adsorb the exposure target; and an exposure member for forming a pattern required for the exposure target mounted on the table member;
상기 테이블 부재는 상기 흡착홀이 복수 개 관통된 형태로 평평하게 형성되어, 상기 노광 대상체가 올려지는 진공 테이블과, 상기 진공 테이블 상에 흡착된 상기 노광 대상체의 상면을 덮고, 투명한 재질로 이루어지는 투명 덮개를 포함하고,The table member has a transparent cover made of a transparent material that is formed in a flat shape in which a plurality of the adsorption holes are penetrated to cover a vacuum table on which the exposure target is mounted, and an upper surface of the exposure target adsorbed on the vacuum table. including,
상기 투명 덮개가 상기 진공 테이블 상에 올려진 상기 노광 대상체를 덮어줌으로써, 상기 노광 대상체가 상기 투명 덮개에 의해 눌려서 상기 노광 대상체의 표면이 균일해짐과 함께, 상기 투명 덮개가 투명한 재질로 이루어져서, 상기 노광 부재가 상기 투명 덮개의 상공에서 상기 투명 덮개를 통하여 상기 노광 대상체에 상기 요구되는 패턴을 형성하고,
상기 테이블 부재는 상기 진공 테이블과 상기 투명 덮개의 가장자리 부분을 밀폐시켜 주는 실러를 포함하고,
상기 실러에 의해 상기 진공 테이블과 상기 투명 덮개 사이의 부분에 부압이 형성되어, 상기 투명 덮개가 상기 노광 대상체를 누르면서 상기 진공 테이블 쪽으로 당겨지게 되는 것을 특징으로 한다.When the transparent cover covers the exposure object placed on the vacuum table, the exposure object is pressed by the transparent cover to make the surface of the exposure object uniform, and the transparent cover is made of a transparent material, so that the exposure A member forms the required pattern on the object to be exposed through the transparent cover above the transparent cover,
The table member includes a sealer for sealing the edge of the vacuum table and the transparent cover,
A negative pressure is formed in a portion between the vacuum table and the transparent cover by the sealer, so that the transparent cover is pulled toward the vacuum table while pressing the object to be exposed.
본 발명의 일 측면에 따른 디지털 패턴 노광기에 의하면, 상기 디지털 패턴 노광기가 노광기 프레임 부재와, 테이블 부재와, 노광 부재를 포함함에 따라, 상기 테이블 부재를 구성하는 진공 테이블 상에 올려진 노광 대상체가 상기 진공 테이블 상에 흡착됨과 함께, 상기 노광 대상체를 덮은 상태의 투명 덮개도 함께 상기 진공 테이블 쪽으로 당겨지면서 상기 투명 덮개가 상기 노광 대상체를 눌러주게 되어, 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 밀착될 수 있고, 그에 따라 상기 테이블 부재 상에 올려진 상기 노광 대상체의 표면이 균일해져서 상기 노광 대상체에 대한 정확한 노광이 이루어질 수 있게 되는 효과가 있다.According to the digital pattern exposure machine according to an aspect of the present invention, as the digital pattern exposure machine includes an exposure machine frame member, a table member, and an exposure member, an exposure object mounted on a vacuum table constituting the table member is the While being adsorbed on the vacuum table, the transparent cover covering the exposure target is also pulled toward the vacuum table, and the transparent cover presses the exposure target, so that the exposure target can be in close contact with the table member, , thereby making the surface of the exposure target mounted on the table member uniform, so that accurate exposure of the exposure target can be achieved.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기의 구성을 개략적으로 보이는 정면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재의 구성을 보이는 확대 단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재 상에 올려지는 노광 대상체의 일 측 모서리부를 확대한 정면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재 상에 올려지는 노광 대상체의 일 측 모서리부를 확대한 사시도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재의 구성을 보이는 확대 단면도.1 is a front view schematically showing the configuration of a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of a table member constituting a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an enlarged front view of one side corner of an exposure target mounted on a table member constituting a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention; FIG.
4 is an enlarged perspective view of one side corner of an exposure target mounted on a table member constituting a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention;
5 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of a table member constituting a digital pattern exposure machine according to another embodiment of the present invention.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 디지털 패턴 노광기에 대하여 설명한다.Hereinafter, a digital pattern exposure machine according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기의 구성을 개략적으로 보이는 정면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재의 구성을 보이는 확대 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재 상에 올려지는 노광 대상체의 일 측 모서리부를 확대한 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재 상에 올려지는 노광 대상체의 일 측 모서리부를 확대한 사시도이다.1 is a front view schematically showing the configuration of a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of a table member constituting the digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention, 3 is an enlarged front view of one side corner of an exposure target mounted on a table member constituting a digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an enlarged front view of the digital pattern exposure machine according to an embodiment of the present invention. It is an enlarged perspective view of a corner portion of one side of an exposure target mounted on a constituting table member.
도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기(100)는 노광기 프레임 부재(110)와, 테이블 부재(150)와, 노광 부재(130)를 포함한다.1 to 4 , the digital
상기 노광기 프레임 부재(110)는 상기 디지털 패턴 노광기(100)의 설치면 상에 놓이는 것이다.The exposure
상기 노광 부재(130)는 상기 노광기 프레임 부재(110)에 연결되어, 상기 테이블 부재(150) 상에 올려진 노광 대상체(10)에 회로 등의 요구되는 패턴을 형성하는 것으로, 레이저를 이용한 방식 등 다양한 방식으로 제시될 수 있다.The
도면 번호 120은 노광 구동 부재로서, 상기 노광 구동 부재(120)는 상기 노광기 프레임 부재(110)로부터 소정 길이로 연장되고, 모터 등의 구동 수단을 포함하고, 상기 노광 부재(130)가 그 전면부에 연결된 것으로, 상기 노광 구동 부재(120)의 작동에 따라, 상기 노광 부재(130)가 전후진 및/또는 좌우 이동됨으로써, 상기 테이블 부재(150)의 상공에서 상기 노광 부재(130)가 상기 노광 대상체(10)에 대한 노광을 위해 이동될 수 있게 된다.
상기 테이블 부재(150)는 상기 노광기 프레임 부재(110) 상에 배치되어, 상기 노광 대상체(10)가 올려지고, 흡착홀(152)이 형성되어, 상기 노광 대상체(10)를 흡착할 수 있는 것으로, 진공 테이블(151)과, 투명 덮개(153)를 포함한다.The
상기 진공 테이블(151)은 상기 흡착홀(152)이 복수 개 관통된 형태로 평평하게 형성되어, 상기 노광 대상체(10)가 올려지는 것이다.The vacuum table 151 is formed in a flat shape in which a plurality of the
상기 흡착홀(152)은 외부의 진공 펌프 등의 흡착 수단(미도시)과 연결되어, 상기 흡착 수단이 작동되면, 상기 흡착홀(152)에 부압이 형성되어, 상기 진공 테이블(151) 상에 올려진 상기 노광 대상체(10)가 상기 진공 테이블(151)의 표면에 흡착된다.The
상기 흡착홀(152)은 상기 진공 테이블(151)에 서로 이격되도록 복수 개 형성될 수 있다.A plurality of
상기 투명 덮개(153)는 상기 진공 테이블(151) 상에 흡착된 상기 노광 대상체(10)의 상면을 덮고, 투명한 플라스틱, 유리 등의 투명한 재질로 이루어지는 것이다.The
상기 투명 덮개(153)는 소정 면적의 평평한 플레이트 형태로 형성되어, 상기 노광 대상체(10)를 눌러주게 된다.The
상기와 같이 구성되면, 상기 투명 덮개(153)가 상기 진공 테이블(151) 상에 올려진 상기 노광 대상체(10)를 덮어줌으로써, 상기 노광 대상체(10)가 상기 투명 덮개(153)에 의해 눌려서 상기 노광 대상체(10)의 표면이 균일해짐과 함께, 상기 투명 덮개(153)가 투명한 재질로 이루어져서, 상기 노광 부재(130)가 상기 투명 덮개(153)의 상공에서 상기 투명 덮개(153)를 통하여 레이저 등을 조사해줌으로써 상기 노광 대상체(10)에 상기 요구되는 패턴을 형성한다.When configured as described above, the
또한, 본 실시예에서는, 상기 테이블 부재(150)가 상기 진공 테이블(151)과 상기 투명 덮개(153)의 가장자리 부분을 밀폐시켜 주는 실러(154)를 포함한다.In addition, in this embodiment, the
상기 실러(154)는 고무 등 탄성이 있는 재질로 이루어지고, 상기 진공 테이블(151)의 가장자리 부분으로부터 소정 높이로 돌출되되, 상기 진공 테이블(151)의 가장자리 부분을 따라 폐루프가 되는 형태로 형성된다. 그러면, 상기 투명 덮개(153)가 상기 노광 대상체(10)를 덮을 때 상기 투명 덮개(153)의 가장자리 부분에 의해 상기 실러(154)가 눌리면서, 상기 실러(154)에 의해 상기 진공 테이블(151)과 상기 투명 덮개(153) 사이의 부분이 외부에 대하여 밀폐된다.The
상기와 같이, 상기 실러(154)가 적용됨으로써, 상기 흡착홀(152)을 통한 상기 노광 대상체(10)에 대한 흡착이 이루어질 때, 상기 실러(154)에 의해 상기 진공 테이블(151)과 상기 투명 덮개(153) 사이의 부분에 부압이 형성되어, 상기 투명 덮개(153)가 상기 노광 대상체(10)를 자중에 의해 누름과 함께, 상기 투명 덮개(153)가 부압에 의해 상기 진공 테이블(151) 쪽으로 당겨지게 됨으로써, 상기 투명 덮개(153)에 의해 덮이는 상기 노광 대상체(10)가 더욱 더 평평해질 수 있게 된다.As described above, by applying the
또한, 본 실시예에서는, 상기 실러(154)가 상기 노광 대상체(10)의 측단과 소정 간격 이격되도록 상기 진공 테이블(151)과 상기 투명 덮개(153)의 가장자리 부분에 형성됨으로써, 상기 흡착홀(152)에서 흡착이 이루어지면, 상기 노광 대상체(10), 상기 진공 테이블(151), 상기 실러(154) 및 상기 투명 덮개(153) 사이에 형성된 공간에 있던 에어가 상기 흡착홀(152)을 통해 빠져나가게 되어, 상기 노광 대상체(10), 상기 진공 테이블(151), 상기 실러(154) 및 상기 투명 덮개(153) 사이에 형성된 공간에 부압이 신속하게 형성될 수 있게 된다.In addition, in this embodiment, the
한편, 상기 디지털 패턴 노광기(100)는 정렬 표식 인식 부재(140)를 더 포함한다.Meanwhile, the digital
상기 정렬 표식 인식 부재(140)는 상기 노광기 프레임 부재(110) 중 상기 테이블 부재(150)로부터 소정 간격 이격된 위치에 형성되어, 상기 노광 대상체(10)에 표시된 정렬 표식(141, 142)을 인식할 수 있는 것이다.The alignment
상기 정렬 표식(141, 142)은 상기 노광 대상체(10)의 모서리 등의 미리 설정된 부분에 형성된다.The
본 실시예에서는, 상기 정렬 표식(141, 142)은 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 양 표면에서 서로 대응되는 같은 위치에 각각 하나씩 표시된다. 즉, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 하나(142)는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 일측 표면에 표시되고, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 다른 하나(141)는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 타측 표면에 표시되되, 한 쌍의 상기 정렬 표식(141, 142)은 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 양 표면에서 서로 대응되는 같은 위치에 각각 표시된다.In the present embodiment, the
예를 들어, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 하나(142)는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 하측 표면(저면 표면)에 표시되고, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 다른 하나(141)는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 상측 표면에 표시되되, 한 쌍의 상기 정렬 표식(141, 142)은 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 양 표면에서 서로 대응되는 같은 위치에 각각 표시된다. 이러한 예시는, 상기 테이블 부재(150)에 올려진 상기 노광 대상체(10)의 하측에서 상기 정렬 표식 인식 부재(140)가 상기 정렬 표식(141, 142)을 인식하는 경우에 적용되는 것이고, 상기 정렬 표식 인식 부재(140)가 상기 테이블 부재(150)에 올려진 상기 노광 대상체(10)의 상측에서 상기 정렬 표식(141, 142)을 인식하는 경우에는, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 하나는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 상측 표면에 표시되고, 상기 정렬 표식(141, 142) 중 다른 하나는 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 하측 표면(저면 표면)에 표시되되, 한 쌍의 상기 정렬 표식(141, 142)은 상기 노광 대상체(10)의 상기 미리 설정된 부분의 양 표면에서 서로 대응되는 같은 위치에 각각 표시될 것이고, 이러한 경우도 본 발명의 권리범위에 속함은 물론이다.For example, one 142 of the
상기와 같이 구성되면, 상기 테이블 부재(150)에 올려진 상기 노광 대상체(10)에 표시된 상기 정렬 표식(141, 142) 중 하나(142)를 상기 정렬 표식 인식 부재(140)가 인식한 다음 상기 테이블 부재(150)에 올려진 상기 노광 대상체(10)의 상면에 대한 상기 노광 부재(130)에 의한 노광이 이루어지고, 그런 다음, 상기 노광 대상체(10)가 뒤집어진 상태로 상기 테이블 부재(150) 상에 다시 올려지면, 상기 노광 대상체(10)에 표시된 상기 정렬 표식(141, 142) 중 다른 하나(141)를 상기 정렬 표식 인식 부재(140)가 인식하고 그러한 상태에서 상기 테이블 부재(150)에 올려진 상기 노광 대상체(10)의 저면에 대한 상기 노광 부재(130)에 의한 노광이 이루어짐으로써, 상기 노광 대상체(10)의 양 표면에 대해 정확한 노광이 가능해질 수 있게 되면서도, 상기 노광 대상체(10)의 정확한 노광을 위한 표식을 위해 상기 노광 대상체(10)를 관통하는 등 상기 노광 대상체(10)를 손상시킬 필요가 없게 된다.When configured as described above, the alignment
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기(100)의 작동에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the digital
상기 진공 테이블(151) 상에 상기 노광 대상체(10)가 올려진 상태에서, 상기 정렬 표식 인식 부재(140)에 의해 상기 노광 대상체(10)의 상기 정렬 표식(141, 142)이 인식되어, 상기 진공 테이블(151) 상에 상기 노광 대상체(10)가 정확하게 올려졌는지가 확인된다.When the
상기와 같이, 상기 진공 테이블(151) 상에 상기 노광 대상체(10)가 정확하게 올려진 상태에서, 상기 흡착 수단이 작동되어, 상기 흡착홀(152)을 통한 부압 형성이 이루어지면, 상기 노광 대상체(10)가 상기 진공 테이블(151) 상에 흡착됨과 함께, 상기 투명 덮개(153)도 함께 상기 진공 테이블(151) 쪽으로 당겨지면서 상기 투명 덮개(153)가 상기 노광 대상체(10)를 눌러주게 되고, 그에 따라 상기 노광 대상체(10)의 표면이 균일해질 수 있게 된다.As described above, in a state in which the
상기와 같이, 상기 디지털 패턴 노광기(100)가 상기 노광기 프레임 부재(110)와, 상기 테이블 부재(150)와, 상기 노광 부재(130)를 포함함에 따라, 상기 진공 테이블(151) 상에 올려진 상기 노광 대상체(10)가 상기 진공 테이블(151) 상에 흡착됨과 함께, 상기 노광 대상체(10)를 덮은 상태의 상기 투명 덮개(153)도 함께 상기 진공 테이블(151) 쪽으로 당겨지면서 상기 투명 덮개(153)가 상기 노광 대상체(10)를 눌러주게 되어, 상기 테이블 부재(150) 상에 상기 노광 대상체(10)가 밀착될 수 있고, 그에 따라 상기 테이블 부재(150) 상에 올려진 상기 노광 대상체(10)의 표면이 균일해져서 상기 노광 대상체(10)에 대한 정확한 노광이 이루어질 수 있게 된다.As described above, as the digital
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, a digital pattern exposure machine according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In carrying out such a description, the description overlapping with the content already described in the above-described embodiment of the present invention will be omitted here instead of it.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 디지털 패턴 노광기를 구성하는 테이블 부재의 구성을 보이는 확대 단면도이다.5 is an enlarged cross-sectional view showing the configuration of a table member constituting a digital pattern exposure machine according to another embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 본 실시예에서는, 테이블 부재(250)가 실러 관통 덮개 흡착관(255)과, 실러 내측 흡착관(256)을 더 포함한다.Referring to FIG. 5 , in this embodiment, the
상기 실러 관통 덮개 흡착관(255)은 흡착홀(252)로부터 연장되되, 진공 테이블(251) 및 실러(254)를 연속적으로 관통하여 상기 실러(254)의 상단까지 연장된 것이다.The sealer through-
상기 실러 관통 덮개 흡착관(255)이 형성됨에 따라, 상기 흡착홀(252)에 부압이 형성될 때, 상기 실러 관통 덮개 흡착관(255)에도 부압이 형성되고, 그에 따라 투명 덮개(253)의 외곽 부분이 상기 실러(254)의 상단에 더욱 견고하게 흡착될 수 있게 되어, 상기 진공 테이블(251)과 상기 투명 덮개(253) 사이의 부분에 대한 밀폐력이 향상될 수 있게 된다.As the sealer through-
상기 실러 내측 흡착관(256)은 상기 실러(254)의 측면 중 노광 대상체(10)와 대면되는 면인 내면과 상기 실러 관통 덮개 흡착관(255)을 연통시키는 것이다.The sealer
상기 실러 내측 흡착관(256)이 형성됨에 따라, 상기 흡착홀(252)에 부압이 형성될 때, 상기 실러 관통 덮개 흡착관(255)은 물론 상기 실러 내측 흡착관(256)에도 부압이 형성되고, 그에 따라 상기 진공 테이블(251), 상기 투명 덮개(253) 및 노광 대상체(10) 사이의 공간의 에어가 상기 실러 내측 흡착관(256)을 통해 토출될 수 있게 되어, 상기 진공 테이블(251)과 상기 투명 덮개(253) 사이의 부분에 대한 밀폐력이 더욱 향상될 수 있게 된다.As the sealer
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.In the above, the present invention has been shown and described with respect to specific embodiments, but those of ordinary skill in the art can variously modify the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. and can be changed. However, it is intended to clearly state that all such modifications and variations are included within the scope of the present invention.
본 발명의 일 측면에 따른 디지털 패턴 노광기에 의하면, 테이블 부재 상에 올려진 노광 대상체의 표면이 균일해져서 상기 노광 대상체에 대한 정확한 노광이 이루어질 수 있도록, 상기 테이블 부재 상에 상기 노광 대상체가 밀착될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to the digital pattern exposure machine according to an aspect of the present invention, the exposure target can be closely adhered to the table member so that the surface of the exposure target mounted on the table member becomes uniform so that the exposure target can be accurately exposed. Therefore, it can be said that the industrial applicability is high.
10 : 노광 대상체
100 : 디지털 패턴 노광기
110 : 노광기 프레임 부재
120 : 노광 구동 부재
130 : 노광 부재
140 : 정렬 표식 인식 부재
150 : 테이블 부재
151 : 진공 테이블
152 : 흡착홀
153 : 투명 덮개
154 : 실러10: exposure object
100: digital pattern exposure machine
110: exposure machine frame member
120: exposure driving member
130: exposure member
140: alignment mark recognition absent
150: no table
151 vacuum table
152: suction hole
153: transparent cover
154: sealer
Claims (5)
상기 노광기 프레임 부재 상에 배치되어, 노광 대상체가 올려지고, 흡착홀이 형성되어, 상기 노광 대상체를 흡착할 수 있는 테이블 부재; 및
상기 테이블 부재 상에 올려진 상기 노광 대상체에 요구되는 패턴을 형성하는 노광 부재;를 포함하고,
상기 테이블 부재는
상기 흡착홀이 복수 개 관통된 형태로 평평하게 형성되어, 상기 노광 대상체가 올려지는 진공 테이블과,
상기 진공 테이블 상에 흡착된 상기 노광 대상체의 상면을 덮고, 투명한 재질로 이루어지는 투명 덮개를 포함하고,
상기 투명 덮개가 상기 진공 테이블 상에 올려진 상기 노광 대상체를 덮어줌으로써, 상기 노광 대상체가 상기 투명 덮개에 의해 눌려서 상기 노광 대상체의 표면이 균일해짐과 함께, 상기 투명 덮개가 투명한 재질로 이루어져서, 상기 노광 부재가 상기 투명 덮개의 상공에서 상기 투명 덮개를 통하여 상기 노광 대상체에 상기 요구되는 패턴을 형성하고,
상기 테이블 부재는
상기 진공 테이블과 상기 투명 덮개의 가장자리 부분을 밀폐시켜 주는 실러를 포함하고,
상기 실러에 의해 상기 진공 테이블과 상기 투명 덮개 사이의 부분에 부압이 형성되어, 상기 투명 덮개가 상기 노광 대상체를 누르면서 상기 진공 테이블 쪽으로 당겨지게 되는 것을 특징으로 하는 디지털 패턴 노광기.an exposure machine frame member;
a table member disposed on the exposure machine frame member, on which an object to be exposed is mounted, and a suction hole is formed to adsorb the object to be exposed; and
and an exposure member for forming a pattern required for the exposure target mounted on the table member;
the table member
a vacuum table in which the suction holes are formed in a flat manner in which a plurality of penetrating holes are formed to mount the exposure target;
and a transparent cover covering the upper surface of the exposure target adsorbed on the vacuum table and made of a transparent material,
When the transparent cover covers the exposure object placed on the vacuum table, the exposure object is pressed by the transparent cover to make the surface of the exposure object uniform, and the transparent cover is made of a transparent material, so that the exposure A member forms the required pattern on the object to be exposed through the transparent cover above the transparent cover,
the table member
and a sealer sealing the edge of the vacuum table and the transparent cover,
A digital pattern exposure machine, characterized in that a negative pressure is formed in a portion between the vacuum table and the transparent cover by the sealer, and the transparent cover is pulled toward the vacuum table while pressing the object to be exposed.
상기 실러는 상기 노광 대상체의 측단과 소정 간격 이격되도록 상기 진공 테이블과 상기 투명 덮개의 가장자리 부분에 형성됨으로써, 상기 흡착홀에서 흡착이 이루어지면, 상기 진공 테이블, 상기 실러 및 상기 투명 덮개 사이에 형성된 공간에 부압이 형성되는 것을 특징으로 하는 디지털 패턴 노광기.The method of claim 1,
The sealer is formed on the edge of the vacuum table and the transparent cover so as to be spaced apart from the side end of the object by a predetermined distance. Digital pattern exposure machine, characterized in that the negative pressure is formed.
상기 디지털 패턴 노광기는
상기 노광기 프레임 부재 중 상기 테이블 부재로부터 소정 간격 이격된 위치에 형성되어, 상기 노광 대상체에 표시된 정렬 표식을 인식할 수 있는 정렬 표식 인식 부재;를 더 포함하고,
상기 테이블 부재에 올려진 상기 노광 대상체의 상면에 대한 상기 노광 부재의 노광이 이루어진 상태에서, 상기 노광 대상체의 저면에 대한 노광이 이루어질 수 있도록, 상기 노광 부재에 의한 노광이 이루어진 상기 노광 대상체의 상면이 저면이 되도록 상기 노광 대상체가 뒤집어져서 상기 테이블 부재에 올려질 때, 상기 정렬 표식 인식 부재가 상기 노광 대상체의 상기 정렬 표식을 인식함으로써, 상기 테이블 부재 상의 요구되는 위치에 상기 노광 대상체가 올려졌는지 여부가 확인될 수 있는 것을 특징으로 하는 디지털 패턴 노광기.The method of claim 1,
The digital pattern exposure machine
Further comprising; an alignment mark recognition member formed at a position spaced apart from the table member by a predetermined distance among the exposure machine frame member to recognize the alignment mark displayed on the exposure object;
In a state in which the exposure member is exposed to the upper surface of the exposure object mounted on the table member, the upper surface of the exposure object exposed by the exposure member may be exposed so that the lower surface of the exposure object may be exposed. When the exposure object is turned over so as to become a bottom surface and placed on the table member, the alignment mark recognizing member recognizes the alignment mark of the exposure object, thereby determining whether the exposure object is placed at a required position on the table member Digital pattern exposure machine, characterized in that it can be identified.
상기 정렬 표식은 상기 노광 대상체의 미리 설정된 부분의 양 표면에서 서로 대응되는 같은 위치에 각각 하나씩 표시되는 것을 특징으로 하는 디지털 패턴 노광기.5. The method of claim 4,
The digital pattern exposure machine according to claim 1, wherein the alignment marks are respectively displayed at the same position corresponding to each other on both surfaces of the preset portion of the exposure target.
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