KR102298208B1 - 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법 - Google Patents

약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법 Download PDF

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Abstract

잉크젯 프린팅 시스템은 프린팅 영역과 메인터넌스 영역에서 약액을 토출하는 프린팅 공정을 수행하는 부재를 마련하고, 제1 비전부와 제1 정렬 마크를 사용하여 제1 비전부의 위치를 세팅시키고, 제1 비전부와 제2 정렬 마크를 사용하여 프린팅 공정을 수행하는 부재의 위치를 정확하게 세팅시킨 후, 메인터넌스 영역에 토출하는 약액의 타점 확인을 통하여 프린팅 영역에 토출하기 위한 약액의 토출 위치를 보정하도록 제어할 수 있는 것이다.

Description

약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법{METHOD FOR CORRECTING ERROR OF APPARATUS FOR DISCHARGING DROPLET}
본 발명은 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 잉크젯 헤드로부터 기판 상에 토출시킨 약액의 탄착 지점을 검사하는 약액 검사 장치에서 발생하는 오차를 보정하기 위한 오차 보정 방법에 관한 것이다.
유기 EL 디스플레이 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판의 원하는 탄착 지점에 약액이 토출되지 못할 경우 불량으로 판정될 수 있다.
이에, 디스플레이 소자의 제조에서는 기판의 원하는 탄착 지점에 약액이 토출되는 가를 검사한 이후에 약액 토출 공정을 수행하고 있다.
약액이 원하는 탄착 지점에 토출되는 가에 대한 검사는 주로 라인 스캔 방식으로 영상을 획득하는 라인 스캔 카메라를 사용함에 의해 달성할 수 있는데, 라인 스캔 카메라의 경우 단위 면적에 대한 촬영 시간은 상대적으로 빠르기 때문에 잉크젯 헤드의 수량이 증가하는 최근의 추세에 적합할 수 있다.
그러나 라인 스캔 카메라는 해상도가 상대적으로 낮기 때문에 약액의 탄착 지점에 대한 검사를 보다 정확하게 수행하기에는 한계가 있을 것이다.
본 발명의 일 과제는 단위 면적에 대한 촬영 시간은 상대적으로 빠르지만 해상도는 상대적으로 낮은 영상 획득부를 사용함에 불구하고 잉크젯 헤드로부터 기판 상에 토출시키는 약액의 탄착 지점에 대한 검사를 보다 정확하게 수행할 수 있는 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법을 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 잉크젯 헤드로부터 기판 상에 토출시킨 약액의 탄착 지점을 검사하는 약액 검사 장치에서 발생하는 오차를 보정하기 위한 것으로써, 해상도는 상대적으로 낮지만 단위 면적에 대한 촬영 시간은 상대적으로 빠른 제1 영상 획득부를 사용하여 상기 약액의 탄착 지점에 대한 제1 영상을 획득하는 단계와, 상기 해상도는 상대적으로 높지만 상기 단위 면적에 대한 촬영 시간은 상대적으로 느린 제2 영상 획득부를 사용하여 상기 약액의 탄착 지점에 대한 제2 영상을 획득하는 단계, 및 상기 제1 영상으로부터의 탄착 지점 및 상기 제2 영상으로부터의 탄착 지점 사이에 오차가 있을 경우 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 비교 분석하여 상기 오차에 대한 원인을 보정하는 단계를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 영상 획득부는 라인 스캔 방식으로 영상을 획득하는 라인 스캔 카메라를 포함할 수 있고, 상기 제2 영상 획득부는 특정 영역마다 촬영하는 방식으로 영상을 획득하는 에어리어 카메라를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드는 상기 약액의 실제 토출이 이루어지는 프린팅 영역 및 상기 잉크젯 헤드에 대한 메인터넌스가 이루어지는 메인터넌스 영역을 따라 연장되는 제1 갠트리에 설치되고, 상기 제1 영상 획득부는 상기 메인터넌스 영역에 구비되는 제2 갠트리에 설치되고, 상기 제2 영상 획득부는 상기 잉크젯 헤드의 일측 단부에 설치될 때, 상기 오차에 대한 원인은 상기 제2 갠트리가 처짐에 의해 발생하거나, 상기 제1 갠트리 및 상기 제2 갠트리가 서로 평행하게 설치되어 있지 않음에 의해 발생하거나, 상기 제1 영상 획득부가 상기 제2 갠트리의 정확한 위치에 설치되지 않음에 의해 발생할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 오차에 대한 원인을 보정한 상기 잉크젯 헤드를 사용하여 상기 기판 상에 약액을 재토출시키는 단계와, 상기 제1 영상 획득부를 사용하여 상기 재토출시킨 약액의 탄착 지점에 대한 상기 제1 영상을 재획득하는 단계, 및 상기 재획득한 제1 영상으로부터의 상기 재토출시킨 약액의 탄착 지점에 오차가 있을 경우 상기 재획득한 제1 영상을 분석하여 상기 오차에 대한 원인을 재보정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제2 영상 획득부를 사용하여 상기 재토출시킨 약액의 탄착 지점에 대한 상기 제2 영상을 재획득하는 단계, 및 상기 재획득한 제1 영상으로부터의 탄착 지점 및 상기 재획득한 제2 영상으로부터의 탄착 지점 사이에 오차가 있을 경우 상기 재획득한 제1 영상 및 상기 재획득한 제2 영상을 비교 분석하여 상기 오차에 대한 원인을 보정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 상대적으로 촬영 시간이 빠른 제1 영상 획득부로부터의 제1 영상 및 상대적으로 해상도가 높은 제2 영상 획득부로부터의 제2 영상을 비교 분석하여 약액 탄착 지점의 검사에 대한 오차 원인을 보정할 수 있을 것이고, 이후 제1 영상 및 제2 영상의 비교 분석한 결과 데이터를 활용할 경우 제1 영상의 분석만으로도 약액 탄착 지점의 검사에 대한 오차 원인을 보정할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 약액 탄착 지점에 대한 검사시 오차 원인을 보다 빠른 시간 내에 보다 정확하게 확인 및 보정할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 약액 탄착 지점에 대한 검사시 오차 원인을 보다 빠른 시간 내에 확인 및 보정할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있을 뿐만 아니라 약액 탄착 지점에 대한 검사시 오차 원인을 보다 정확하게 확인 및 보정할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치가 구비되는 잉크젯 프린팅 시스템을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에 구비되는 제1 영상 획득부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3은 도 1의 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에 구비되는 제2 영상 획득부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 4는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치가 구비되는 잉크젯 프린팅 시스템을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치는 잉크젯 프린팅 시스템(100)에 구비될 수 있다.
언급한 잉크젯 프린팅 시스템(100)은 프린팅 영역(11) 및 메인터넌스 영역(maintenance area)(13)을 포함할 수 있다.
프린팅 영역(11)은 실제 약액을 토출하는 공정이 이루어지는 영역으로써, 프린팅 영역(11)에는 디스플레이 소자로 제조하기 위한 기판이 위치하는 스테이지(12), 기판 상에 약액을 토출하는 잉크젯 헤드(19) 등을 포함하는 약액 토출 장치가 구비될 수 있을 것이다.
잉크젯 헤드(19)는 약액의 토출을 위한 다수개의 노즐이 배치되도록 구비될 수 있다. 잉크젯 헤드(19)에 배치되는 다수개의 노즐은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 노즐들에는 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있고, 압전 소자의 동작에 의해 노즐들을 통하여 기판 상으로 약액을 토출시킬 수 있다. 특히, 노즐들로부터 토출되는 약액은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
기판 상에 실제 약액을 토출하는 공정의 수행시 기판은 스테이지(12)의 제1 방향을 따라 이송될 수 있다. 스테이지(12)의 제1 방향을 따라 이송되는 기판은 부상되는 상태를 유지할 수 있다. 스테이지(12)는 부상 스테이지일 수 있다.
언급한 부상 스테이지에서의 기판의 이송은 부상 스테이지의 일측 또는 양측을 따라 구비되는 가이드 레일, 기판의 일측면 또는 양측면을 파지한 상태에서 가이드 레일을 따라 활주하는 그리퍼 등으로 이루어지는 이송부에 의해 달성될 수 있다.
메인터넌스 영역(13)은 잉크젯 헤드(19)로부터 기판(10)(이하, '테스트 기판'이라 함) 상에 토출시키는 약액의 탄착 지점을 검사는 공정이 이루어지는 영역으로써, 메인터넌스 영역(13)에는 제1 영상 획득부(21), 제2 영상 획득부(23) 등을 포함하는 약액 검사 장치가 구비될 수 있을 것이다.
메인터넌스 영역(13)은 프린터 영역과 이웃하는 제2 방향을 따라 배치될 수 있다. 제2 방향은 제1 방향과 수직하는 방향일 수 있다.
메인터넌스 영역(13)에서도 약액의 탄착 지점에 대한 검사시 테스트 기판(10) 상에 약액을 토출하는 공정이 이루어질 수 있기 때문에 메인터넌스 영역(13) 또한 프린팅 영역(11)과 유사한 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 메인터넌스 영역(13)에서의 약액 검사 장치의 경우에도 부상 스테이지(14), 부상 스테이지(14)를 따라 테스트 기판(10)을 이송시키는 이송부가 더 구비될 수 있을 것이다.
그리고 잉크젯 프린팅 시스템(100)은 제1 갠트리(15), 제2 갠트리(17) 등을 더 포함할 수 있을 것이다.
제1 갠트리(15)는 프린팅 영역(11) 및 메인터넌스 영역(13)을 따라 잉크젯 헤드(19) 및 제2 영상 획득부(23)가 구동할 수 있게 프린팅 영역(11) 및 메인터넌스 영역(13)이 배치되는 제2 방향을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
아울러, 제1 갠트리(15)는 제1 갠트리(15) 자체가 제1 방향을 따라 구동할 수 있게 구비될 수도 있다.
제2 갠트리(17)는 메인터넌스 영역(13)에서 제1 영상 획득부(21)가 직선 왕복 구동할 수 있게 제1 갠트리(15)와 중복되지 않는 메인터넌스 영역(13)에서의 제2 방향을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
그리고 제2 갠트리(17)의 경우에도 제1 갠트리(15)와 마찬가지로 제2 갠트리(17) 자체가 제1 방향을 따라 구동할 수 있게 구비될 수도 있다. 다만, 제2 갠트리(17)가 제1 방향을 따라 구동할 경우에는 구동 범위가 제1 갠트리(15)와 중복되지 않도록 조정해야 할 것이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에 구비되는 제1 영상 획득부 및 제2 영상 획득부에 대하여 설명하기로 한다.
도 2는 도 1의 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에 구비되는 제1 영상 획득부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시에들에 따른 약액 검사 장치에서의 제1 영상 획득부(21)는 제2 갠트리(17)에 배치되게 구비될 수 있다.
제1 영상 획득부(21)는 약액의 탄착 지점의 검사시 약액의 탄착 지점을 영상으로 제공할 수 있는 것으로써, 해상도는 상대적으로 낮지만 단위 면적에 대한 촬영 시간은 상대적으로 빠른 카메라를 포함할 수 있다.
따라서 제1 영상 획득부(21)는 라인 스캔 방식으로 상대적으로 빠른 시간에 영상을 획득할 수 있는 라인 스캔 카메라로 이루어질 수 있다.
실제로, 9개의 잉크젯 헤드(19)로부터 토출시킨 약액의 탄착 지점에 대한 검사에 라인 스캔 카메라를 사용할 경우 약 30초만에 영상을 획득할 수 있는 반면에 해상도를 나타내는 분해능은 약 2㎛인 것을 확인할 수 있다.
도 3은 도 1의 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에 구비되는 제2 영상 획득부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시에들에 따른 약액 검사 장치에서의 제2 영상 획득부(23)는 제1 갠트리(15)의 잉크젯 헤드(19) 일측 단부에 배치되게 구비될 수 있다.
제2 영상 획득부(23)는 약액의 탄착 지점의 검사시 약액의 탄착 지점을 영상으로 제공할 수 있는 것으로써, 해상도는 상대적으로 높지만 단위 면적에 대한 촬영 시간은 상대적으로 느린 카메라를 포함할 수 있다.
따라서 제2 영상 획득부(23)는 특정 영역마다 촬영하는 방식으로 상대적으로 높은 해상도를 갖는 영상을 획득할 수 있는 에어리어 카메라로 이루어질 수 있다.
실제로, 9개의 잉크젯 헤드(19)로부터 토출시킨 약액의 탄착 지점에 대한 검사에 에어리어 카메라를 사용할 경우 해상도를 나타내는 분해능이 약 0.5㎛를 갖는 영상을 획득할 수 있는 반면에 촬영 시간은 약 64분이나 소요되는 것을 확인할 수 있다.
언급한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치는 제1 영상 획득부(21) 및 제2 영상 획득부(23)를 사용하여 잉크젯 헤드(19)로부터 테스트 기판(10) 상에 토출시킨 약액의 탄착 지점을 검사할 수 있을 것이다.
다만, 약액의 탄착 지점에 대한 검사의 수행에서 제1 영상 획득부(21)를 주로 사용할 경우에는 검사 시간은 빠른 반면에 검사 신뢰도가 상대적으로 저하될 수 있을 것이고, 제2 영상 획득부(23)를 주로 사용할 경우에는 검사 신뢰도는 높은 반면에 검사 시간이 상대적으로 오래 걸릴 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치를 사용하는 약액의 탄착 지점에 대한 검사에서는 제1 영상 획득부(21)를 주로 사용하되, 검사 신뢰도를 높일 수 있도록 약액 검사 장치에서 발생하는 오차를 보정해야할 필요가 있을 것이다.
언급한 바에 따르면, 제1 영상 획득부(21)는 제2 갠트리(17)에 제2 영상 획득부(23)는 제1 갠트리(15) 쪽에 배치되는 것으로 설명하고 있지만 이에 한정되지는 않는다. 즉, 제1 영상 획득부(21)가 제1 갠트리(15)에 제2 영상 획득부(23)가 제2 갠트리(17)에 배치될 수도 있을 것이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법에 대하여 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 동일한 샘플, 즉 동일한 테스트 기판(10)을 대상으로 제1 영상 획득부(21) 및 제2 영상 획득부(23) 각각으로부터 획득하는 영상들을 서로 비교 및 분석하여 제1 영상 획득부(21)에서 발생하는 오차 원인이 무엇인가를 확인하고, 이를 보정하는 것으로 이루어질 수 있다. 즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 탄착 지점에 대한 검사를 위하여 테스트 기판(10) 상에 약액을 토출시킨 후, 제1 영상 획득부(21)를 사용하여 약액의 탄착 지점에 대한 영상을 획득함과 아울러 제2 영상 획득부(23)를 사용하여 약액의 탄착 지점에 대한 영상을 획득한 후, 이들 영상을 비교하여 오차가 있을 경우 제1 영상 획득부(21)의 오차를 보정하는 것으로 이루어질 수 있다.
구체적으로, 테스트 기판(10) 상에 약액을 토출한다. 이어서, 해상도는 상대적으로 낮지만 단위 면적에 대한 촬영 시간은 상대적으로 빠른 라인 스캔 카메라 등과 같은 제1 영상 획득부(21)를 사용하여 테스트 기판(10) 상에 토출한 약액의 탄착 지점에 대한 제1 영상을 획득한다.(S41 단계)
그리고 해상도는 상대적으로 높지만 단위 면적에 대한 촬영 시간은 상대적으로 느린 에어리어 카메라 등과 같은 제2 영상 획득부(23)를 사용하여 테스트 기판(10) 상에 토출한 약액의 탄착 지점에 대한 제2 영상을 획득한다.(S43 단계)
여기서, S41 단계에서의 제1 영상 획득부(21) 및 S43 단계에서의 제2 영상 획득부(23)는 동일 테스트 기판(10)을 대상으로 영상들을 획득할 수 있을 것이다.
제1 영상으로부터의 탄착 지점 및 제2 영상으로부터의 탄착 지점 사이에 오차가 있을 경우 제1 영상 및 제2 영상을 비교 분석하여 오차에 대한 원인을 보정한다.(S45 단계)
언급한 제1 영상 및 제2 영상에 대한 비교 분석은 해상도가 높은 제2 영상을 기준으로 해상도가 낮은 제1 영상이 어떻게 다른 가를 확인할 수 있는 것이다.
오차에 대한 제1 원인은 제1 영상 획득부(21)가 제2 갠트리(17)의 정확한 위치에 설치되지 않음에 의해 발생할 수 있는 것으로써, 제1 영상 획득부(21)가 제2 갠트리(17)의 X축 방향(제1 방향)에 완전한 직각으로 설치되지 않거나 또는 제1 영상 획득부(21)가 제2 갠트리(17)의 Y축 방향(제2 방향)에 완전한 평행으로 설치되지 않을 경우 발생할 수 있을 것이다.
오차에 대한 제2 원인은 제2 갠트리(17)가 처짐에 의해 발생할 수 있는 것으로써, 제2 갠트리(17)와 메인터넌스 영역(13) 사이에서의 Z축 높이가 완전한 평행이 되지 않음에 의해 발생할 수 있을 것이다.
오차에 대한 제3 원인은 제1 갠트리(15) 및 제2 갠트리(17)가 서로 평행하게 설치되어 있지 않음에 의해서도 발생할 수 있을 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법에서는 제1 영상 획득부(21)에 대한 X축 방향 및/또는 Y축 방향의 선형 보정 등을 수행함에 의해 오차 보정을 달성할 수 있을 것이다.
그리고 언급한 바와 같이 오차를 보정 및 오차 보정을 반영한 제1 영상 획득부(21)를 사용하여 다른 테스트 기판(10) 상에서의 약액의 탄착 지점을 확인한 후, 실제 기판 상에 약액을 토출하는 공정을 수행할 수 있고, 그 결과 실제 토출 공정에서도 정확한 탄착 지점에 약액을 토출할 수 있을 것이다.
계속해서, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 오차에 대한 원인을 보정한 잉크젯 헤드(19)를 사용하여 테스트 기판(10) 상에 약액을 재토출시키고(S47 단계), 제1 영상 획득부(21)를 사용하여 재토출시킨 약액의 탄착 지점에 대한 제1 영상을 재획득하고(S49 단계), 재획득한 제1 영상으로부터의 재토출시킨 약액의 탄착 지점에 오차가 있을 경우 재획득한 제1 영상을 분석하여 오차에 대한 원인을 재보정할 수 있다.(S51 단계)
즉, 언급한 바에 따르면 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법에서는 S41 단계 내지 S45 단계의 수행을 통하여 제1 영상 획득부(21)에 대한 오차를 보정한 이후 제1 영상 획득부(21)만을 사용하는 S47 단계 내지 S51 단계를 검사를 수행하여 제2 영상 획득부(23)를 사용하는 것과 거의 유사한 데이터 신뢰도를 획득할 수 있는 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 보다 높은 데이터 신뢰도의 획득을 위하여 제2 영상 획득부(23)를 사용하여 재토출시킨 약액의 탄착 지점에 대한 제2 영상을 재획득하고(S53 단계), 재획득한 제1 영상으로부터의 탄착 지점 및 재획득한 제2 영상으로부터의 탄착 지점 사이에 오차가 있을 경우 재획득한 제1 영상 및 재획득한 제2 영상을 비교 분석하여 오차에 대한 원인을 보정할 수 있다.(S55 단계)
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 계속적인 데이터의 축적을 통해서 제1 영상 획득부(21)만을 사용함에 불구하고 제2 영상획득부를 사용하는 것과 거의 유사한 데이터 신뢰도를 획득할 수 있는 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 상대적으로 촬영 시간이 빠른 제1 영상 획득부(21)로부터의 제1 영상 및 상대적으로 해상도가 높은 제2 영상 획득부(23)로부터의 제2 영상을 비교 분석하여 약액 탄착 지점의 검사에 대한 오차 원인을 보정할 수 있을 것이고, 이후 제1 영상 및 제2 영상의 비교 분석한 결과 데이터를 활용할 경우 제1 영상의 분석만으로도 약액 탄착 지점의 검사에 대한 오차 원인을 보정할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 약액 탄착 지점에 대한 검사시 오차 원인을 보다 빠른 시간 내에 보다 정확하게 확인 및 보정할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 검사 장치에서의 오차 보정 방법은 디스플레이 소자로 제조하기 위한 기판 상에 약액이 원하는 탄착 지점에 토출되는 가를 달성하기 위한 것이기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 이용할 수 있을 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 테스트 기판 11 : 프린팅 영역
12, 14 : 스테이지 13 : 메인터넌스 영역
15 : 제1 갠트리 17 : 제2 갠트리
19 : 잉크젯 헤드 21 : 제1 영상 획득부
23 : 제2 영상 획득부 100 : 잉크젯 프린팅 시스템

Claims (5)

  1. 잉크젯 헤드로부터 기판 상에 토출시킨 약액의 탄착 지점을 검사하는 약액 검사 장치에서 발생하는 오차를 보정하기 위한 오차 보정 방법에 있어서,
    해상도는 상대적으로 낮지만 단위 면적에 대한 촬영 시간은 상대적으로 빠른 제1 영상 획득부를 사용하여 상기 약액의 탄착 지점에 대한 제1 영상을 획득하는 단계;
    상기 해상도는 상대적으로 높지만 상기 단위 면적에 대한 촬영 시간은 상대적으로 느린 제2 영상 획득부를 사용하여 상기 약액의 탄착 지점에 대한 제2 영상을 획득하는 단계; 및
    상기 제1 영상으로부터의 탄착 지점 및 상기 제2 영상으로부터의 탄착 지점 사이에 오차가 있을 경우 상기 제1 영상 및 상기 제2 영상을 비교 분석하여 상기 오차에 대한 원인을 보정하는 단계를 포함하되,
    상기 잉크젯 헤드는 상기 약액의 실제 토출이 이루어지는 프린팅 영역 및 상기 잉크젯 헤드에 대한 메인터넌스가 이루어지는 메인터넌스 영역을 따라 연장되는 제1 갠트리에 설치되고, 상기 제1 영상 획득부는 상기 메인터넌스 영역에 구비되는 제2 갠트리에 설치되고, 상기 제2 영상 획득부는 상기 잉크젯 헤드의 일측 단부에 설치될 때, 상기 오차에 대한 원인은 상기 제2 갠트리가 처짐에 의해 발생하거나, 상기 제1 갠트리 및 상기 제2 갠트리가 서로 평행하게 설치되어 있지 않음에 의해 발생하거나, 상기 제1 영상 획득부가 상기 제2 갠트리의 정확한 위치에 설치되지 않음에 의해 발생할 수 있는 것을 특징으로 하는 오차 보정 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 영상 획득부는 라인 스캔 방식으로 영상을 획득하는 라인 스캔 카메라를 포함하고, 상기 제2 영상 획득부는 특정 영역마다 촬영하는 방식으로 영상을 획득하는 에어리어 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 오차 보정 방법.
  3. 삭제
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 오차에 대한 원인을 보정한 상기 잉크젯 헤드를 사용하여 상기 기판 상에 약액을 재토출시키는 단계;
    상기 제1 영상 획득부를 사용하여 상기 재토출시킨 약액의 탄착 지점에 대한 상기 제1 영상을 재획득하는 단계; 및
    상기 재획득한 제1 영상으로부터의 상기 재토출시킨 약액의 탄착 지점에 오차가 있을 경우 상기 재획득한 제1 영상을 분석하여 상기 오차에 대한 원인을 재보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오차 보정 방법.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제2 영상 획득부를 사용하여 상기 재토출시킨 약액의 탄착 지점에 대한 상기 제2 영상을 재획득하는 단계; 및
    상기 재획득한 제1 영상으로부터의 탄착 지점 및 상기 재획득한 제2 영상으로부터의 탄착 지점 사이에 오차가 있을 경우 상기 재획득한 제1 영상 및 상기 재획득한 제2 영상을 비교 분석하여 상기 오차에 대한 원인을 보정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오차 보정 방법.
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