KR102253417B1 - Magazine for Semiconductor Inspection Equipment - Google Patents

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KR102253417B1
KR102253417B1 KR1020190139287A KR20190139287A KR102253417B1 KR 102253417 B1 KR102253417 B1 KR 102253417B1 KR 1020190139287 A KR1020190139287 A KR 1020190139287A KR 20190139287 A KR20190139287 A KR 20190139287A KR 102253417 B1 KR102253417 B1 KR 102253417B1
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Abstract

본 발명은 반도체 검사장치용 매거진(magazine)에 관한 것으로, 특히 적층되는 스트립 자재의 가입 및 정렬이 가능한 반도체 검사장치용 매거진에 관한 것으로, 자재를 상하방향으로 적재하기 위한 슬롯들이 양 측면의 수직 프레임들 내측 각각에 형성되고 전면 및 후면이 개방되어 있는 직사각체 형태의 본체 프레임과; 동일층을 형성하는 슬롯들에 삽입되되, 자재의 일측이 삽입되는 레일이 형성되고 그 레일에 삽입된 자재를 가압하기 위한 가압 수단이 레일 측벽에 형성되어 있는 가이드 레일들;을 포함함을 특징으로 한다.The present invention relates to a magazine for a semiconductor inspection device, and in particular, to a magazine for a semiconductor inspection device capable of joining and aligning a stacked strip material, and slots for loading materials in the vertical direction are vertical frames on both sides. A rectangular body frame formed on each of the insides and having front and rear surfaces open; It is inserted into the slots forming the same layer, a rail into which one side of the material is inserted is formed, and a pressing means for pressing the material inserted into the rail is formed on the side wall of the rail; characterized in that it comprises a. do.

Description

반도체 검사장치용 매거진{Magazine for Semiconductor Inspection Equipment}Magazine for Semiconductor Inspection Equipment

본 발명은 반도체 검사장치용 매거진(magazine)에 관한 것으로, 특히 적층되는 스트립 자재의 가입 및 정렬이 가능한 반도체 검사장치용 매거진에 관한 것이다.The present invention relates to a magazine for a semiconductor inspection device, and in particular, to a magazine for a semiconductor inspection device capable of joining and aligning the stacked strip materials.

스토리지 디바이스로서 자기기억장치가 일반적으로 사용되었으나, 빠른 부팅속도와 고집적도, 초경량화 및 빠른 액세스 속도를 보장하는 솔리드 스테이트 드라이브(일명 SSD)가 새로운 스토리지 디바이스로 대체되고 있다.Although a self-memory device has been generally used as a storage device, a solid state drive (aka SSD) that guarantees fast booting speed, high density, ultra-lightweight and fast access speed is being replaced by a new storage device.

반도체 소자들로 구성되는 SSD 역시 소정의 제조공정을 마친 후 그 성능이 제대로 발휘되는지를 평가받기 위해 번인 테스트 공정을 거친다. 일반적으로 번인 테스트 공정에서는 고온(약 80 내지 125℃)과 저온(-40℃)의 열적 스트레스를 가하여 평가대상이 정상 동작하는지를 평가하는데, 이러한 번인 테스트는 통상 온도 제어가 이루어지는 챔버내에서 이루어지며, 평가 대상체인 스트립 자재(자재라 불리우기도 하며 pcb, 회로필름, 리드프레임 등이 있다)는 매거진이라는 일종의 케이스에 상하 방향으로 적층(재)되어 전기적 접속부재를 통해 검사유닛에 연결되어 테스트된다.SSDs composed of semiconductor devices also undergo a burn-in test process to evaluate whether their performance is properly exhibited after completing a predetermined manufacturing process. In general, in the burn-in test process, thermal stress of high temperature (approximately 80 to 125°C) and low temperature (-40°C) are applied to evaluate whether the evaluation target operates normally. Such a burn-in test is usually performed in a chamber where temperature control is performed. The strip material (sometimes called a material, and there are pcb, circuit film, lead frame, etc.), which are the subject of evaluation, is stacked (re-) in a case called a magazine in the vertical direction, and is connected to the inspection unit through an electrical connection member for testing.

보다 구체적으로, SSD의 번인 테스트를 위해 서랍형 매거진이 이용되는데, 서랍형 매거진의 전면에는 상하 방향으로 다수의 슬롯들이 형성되어 있으며, 각 슬롯에는 SSD 어레이가 장착된 PCB가 안착될 수 있는 서랍형 가이드 블럭이 로봇 암(arm)에 의해 삽입된다. 삽입시 서랍형 가이드 블럭에 안착된 각 PCB의 일측에 형성된 제1전기접속부재는 랙 후면의 대응하는 위치에서 마주하게 되는 제2접속부재(컨택 모듈)와 전기적으로 접속된다.More specifically, a drawer-type magazine is used for the burn-in test of an SSD. A number of slots are formed in the vertical direction on the front of the drawer-type magazine, and each slot has a drawer-type in which a PCB on which an SSD array is mounted can be mounted. The guide block is inserted by the robot arm. When inserted, the first electrical connecting member formed on one side of each PCB seated on the drawer-shaped guide block is electrically connected to the second connecting member (contact module) facing at a corresponding position on the rear of the rack.

그러나 SSD 어레이가 장착된 PCB를 서랍형 가이드 블럭에 안착시킴에 있어 로봇 암에 의해 X,Y,Z 축 이동하여 안착시키고, 이와 같이 PCB 안착된 가이드 블럭을 슬롯에 삽입하여 제1 및 제2전기접속부재들을 접속시키다 보니, 불안정한 안착과 전기접속부재 상호 간의 접속시에 반력 등에 의해 스트립 자재인 PCB에 구부러짐 현상이 발생하여 변형될 우려가 있다. 만약 PCB에 구부러짐 현상이 발생하여 변형이 된다면 전기적 저항이 작아져 신뢰성 있는 테스트를 수행할 수 없기 때문에 이를 해결할 새로운 방안이 필요하다.However, when the PCB with the SSD array is mounted on the drawer-type guide block, the robot arm moves the X, Y, and Z axis to be seated, and the guide block on which the PCB is mounted is inserted into the slot. When connecting the connecting members, there is a concern that the PCB, which is a strip material, may be bent due to reaction force or the like during unstable seating and connection between the electrical connecting members. If the PCB is bent and deformed, the electrical resistance decreases and a reliable test cannot be performed. Therefore, a new method to solve this problem is needed.

또한 PCB 안착된 가이드 블럭을 개별적으로 슬롯에 삽입하여 제2전기접속부재와 연결하는 방식은 그 만큼 테스트 시간의 지연을 초래함으로 이 역시 개선할 필요가 있다.In addition, the method of individually inserting the guide blocks seated on the PCB into the slots and connecting them to the second electrical connection member causes a delay in the test time, and thus, it is necessary to improve this as well.

대한민국 공개특허공보 10-2007-0097604호Korean Patent Application Publication No. 10-2007-0097604 대한민국 등록실용신안공보 20-0444852호Republic of Korea Utility Model Publication No. 20-0444852

이에 본 발명은 상술한 필요성에 따라 창안된 발명으로써, 본 발명의 주요 목적은 스트립 자재에 형성된 전기접속부재와 검사장치에 연결 가능한 전기접속부재 상호 간의 접속시에 반력에 의해 스트립 자재가 변형되는 것을 최소화할 수 있는 반도체 검사장치용 매거진을 제공함에 있다.Accordingly, the present invention is an invention invented in accordance with the above-described necessity, and the main object of the present invention is to prevent the strip material from being deformed by reaction force during connection between the electrical connecting member formed in the strip material and the electrical connecting member connectable to the inspection device It is to provide a magazine for a semiconductor inspection device that can be minimized.

더 나아가 본 발명의 또 다른 목적은 스트립 자재를 상하방향으로 적재하되, 적재되는 스트립 자재들을 정렬하여 랙 단위로 전기접속부재들에 일괄 접속할 수 있는 구조의 반도체 검사장치용 매거진을 제공함에 있다.Further, another object of the present invention is to provide a magazine for a semiconductor inspection apparatus having a structure in which strip materials are loaded in an up-down direction, and the stack materials are aligned to be connected to electrical connecting members in a rack unit.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진은,The magazine for a semiconductor inspection apparatus according to an embodiment of the present invention for solving the above-described technical problem,

자재를 상하방향으로 적재하기 위한 슬롯들이 양 측면의 수직 프레임들 내측 각각에 형성되고 전면 및 후면이 개방되어 있는 직사각체 형태의 본체 프레임과;A rectangular body frame in which slots for loading the material in the vertical direction are formed inside each of the vertical frames on both sides and the front and rear surfaces thereof are open;

동일층을 형성하는 슬롯들에 삽입되되, 자재의 일측이 삽입되는 레일이 형성되고 그 레일에 삽입된 자재를 가압하기 위한 가압 수단이 레일 측벽에 형성되어 있는 가이드 레일들;을 포함함을 특징으로 한다.It is inserted into the slots forming the same layer, a rail into which one side of the material is inserted is formed, and a pressing means for pressing the material inserted into the rail is formed on the side wall of the rail; characterized in that it comprises a. do.

더 나아가 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진은,Furthermore, the magazine for a semiconductor inspection device according to another embodiment of the present invention,

자재를 상하방향으로 적재하기 위한 슬롯들이 양 측면의 수직 프레임들 내측 각각에 형성되고 전면 및 후면이 개방되어 있는 직사각체 형태의 본체 프레임과;A rectangular body frame in which slots for loading the material in the vertical direction are formed inside each of the vertical frames on both sides and the front and rear surfaces thereof are open;

동일층을 형성하는 슬롯들에 삽입되되, 자재의 일측이 삽입되는 레일이 형성되고 그 레일에 삽입된 자재를 가압하기 위한 가압 수단이 레일 측벽에 형성되어 있는 가이드 레일들과;Guide rails which are inserted into the slots forming the same layer, in which a rail into which one side of the material is inserted is formed, and a pressing means for pressing the material inserted into the rail is formed on the side wall of the rail;

상기 본체 프레임의 상부 수평 프레임에 결합되어 상기 후면을 향해 슬라이딩 이동하되, 일측 끝단에 하방으로 가압턱이 연장 형성되어 있는 상부 커버와;An upper cover coupled to an upper horizontal frame of the main body frame and sliding toward the rear surface, and having a pressing jaw extending downward at one end thereof;

상기 본체 프레임의 상부 수평 프레임 혹은 수직 프레임에 결합되어 슬라이딩 이동한 상기 상부 커버의 위치를 고정시키기 위한 상부 커버 고정래치와;An upper cover fixing latch for fixing a position of the upper cover that has been slidably moved by being coupled to an upper horizontal frame or a vertical frame of the body frame;

상기 본체 프레임을 형성하는 양 측면 각각의 하부 수평 프레임에서 외측으로 연장 형성된 연장판과 상기 상부 커버 사이에 각각 직립하되 일측 끝단에 탄성 부재가 결합된 자재 정렬바들;을 포함하되, 상기 자재 정렬바 각각에는,Including; material alignment bars, each of which is upright between the upper cover and the extension plate extending outwardly from the lower horizontal frame on each side of the body frame, and the elastic member is coupled to one end thereof; including, but each of the material alignment bars In,

상기 본체 프레임에 층별로 적재되는 자재의 선단 양측에 형성된 정렬홀과 각각 마주하도록 수평암들이 연장되고, 연장된 수평암 끝단에는 하방으로 정렬핀이 돌출 형성되어 있음을 또 다른 특징으로 한다.Another feature is that horizontal arms are extended to face each of the alignment holes formed on both ends of the material stacked in each layer on the main body frame, and alignment pins are formed to protrude downward from the extended horizontal arm ends.

상술한 구성의 반도체 검사장치용 매거진들에 있어서, 상기 가압 수단은 판 스프링 혹은 볼 스프링 중 어느 하나임을 특징으로 하며,In the magazines for a semiconductor inspection apparatus of the above-described configuration, the pressing means is characterized in that any one of a leaf spring or a ball spring,

상기 가압턱이 연장 형성되어 있는 상기 상부 커버의 타측 끝단에는 하방으로 잠금판이 연장 형성되고, 상기 잠금판은 상기 본체 프레임의 수직 프레임과 그 수직 프레임을 따라 상하 이동 가능한 상부 커버 고정래치 사이에 위치하여 고정됨을 또 다른 특징으로 한다.A locking plate is extended downward at the other end of the upper cover on which the pressure jaws are extended, and the locking plate is located between a vertical frame of the main body frame and an upper cover fixing latch that is movable up and down along the vertical frame. Another feature is that it is fixed.

변형 가능한 또 다른 실시예에 따라 상술한 구성의 반도체 검사장치용 매거진에 있어서, 상기 가압턱이 연장 형성되어 있는 상기 상부 커버의 타측에는 스토퍼가 삽입 가능한 하나 이상의 스토퍼 삽입홈이 형성되고, 상기 상부 커버 고정래치는 상기 본체 프레임의 상부 수평 프레임에 결합되어 누름 동작에 따라 상기 스토퍼의 위치가 가변되는 래치임을 또 다른 특징으로 한다.In the magazine for a semiconductor inspection apparatus having the above-described configuration according to another deformable embodiment, at least one stopper insertion groove into which a stopper can be inserted is formed on the other side of the upper cover in which the pressure jaw is extended, and the upper cover The fixed latch is another feature of a latch that is coupled to an upper horizontal frame of the main body frame and changes the position of the stopper according to a pressing operation.

더 나아가 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진은,Furthermore, the magazine for a semiconductor inspection device according to another embodiment of the present invention,

자재를 상하방향으로 적재하기 위한 슬롯들이 양 측면의 수직 프레임들 내측 각각에 형성되고 전면 및 후면이 개방되어 있는 직사각체 형태의 본체 프레임과;A rectangular body frame in which slots for loading the material in the vertical direction are formed inside each of the vertical frames on both sides and the front and rear surfaces thereof are open;

동일층을 형성하는 슬롯들에 삽입되되, 자재의 일측이 삽입되는 레일이 형성되고 그 레일에 삽입된 자재를 가압하기 위한 가압 수단이 레일 측벽에 형성되어 있는 가이드 레일들과;Guide rails which are inserted into the slots forming the same layer, in which a rail into which one side of the material is inserted is formed, and a pressing means for pressing the material inserted into the rail is formed on the side wall of the rail;

상기 본체 프레임을 형성하는 양 측면 각각의 하부 수평 프레임에서 외측으로 연장 형성된 연장판과 상기 본체 프레임을 형성하는 상부 수평 프레임을 관통하여 직립하되 일측 끝단에 탄성 부재가 결합된 자재 정렬바들과;An extension plate extending outwardly from a lower horizontal frame on each side of the body frame, and material alignment bars to which an elastic member is coupled to one end of the body frame;

하면 양 끝단에 상기 자재 정별바 각각이 삽입되는 슬롯이 형성되고 상면에 손잡이가 형성되어 상기 자재 정렬바들을 하방으로 가압하기 위한 수평 가압바와;A horizontal pressure bar for pressing the material alignment bars downward by forming a slot into which each of the material sorting bars is inserted at both ends of the lower surface, and a handle formed on an upper surface thereof;

상기 본체 프레임의 상부 수평 프레임에 결합되어 하방 이동한 상기 수평 가압바의 위치를 고정시키기 위한 고정 래치;를 포함하되, 상기 자재 정렬바 각각에는,Including, but in each of the material alignment bars, a fixed latch for fixing the position of the horizontal pressure bar that is coupled to the upper horizontal frame of the main body frame moved downward,

상기 본체 프레임에 층별로 적재되는 자재의 선단 양측에 형성된 정렬홀과 각각 마주하도록 수평암들이 연장되고, 연장된 수평암 끝단에는 하방으로 정렬핀이 돌출 형성되어 있음을 특징으로 하며,The horizontal arms are extended so as to face each of the alignment holes formed on both ends of the material stacked in each layer on the body frame, and an alignment pin is formed to protrude downward from the extended horizontal arm end,

이러한 반도체 검사장치용 매거진에 있어서, 상기 본체 프레임을 형성하는 양 측면 각각의 상부 수평 프레임은 상기 자재 정렬바들이 직립 및 관통할 수 있도록 외측으로 연장되고 관통홈이 형성되어 있음을 특징으로 한다.In such a magazine for a semiconductor inspection apparatus, the upper horizontal frame on each side of the body frame is characterized in that it extends outward and has a through groove so that the material alignment bars can be upright and penetrated.

상술한 과제 해결 수단에 따르면, 본 발명은 스트립 자재가 삽입되는 레일 측벽에 판 스프링 혹은 볼 스프링이 형성된 가이드 레일을 이용하기 때문에, 스트립 자재와 컨택 모듈의 접속시에 반력에 의한 자재 구부러짐 현상을 최소화하여 자재가 변형되는 것을 방지한다. 이러한 자재 변형 방지기술은 테스트의 신뢰성을 보장하는 효과를 제공한다.According to the above-described problem solving means, the present invention uses a guide rail in which a leaf spring or a ball spring is formed on the side wall of the rail into which the strip material is inserted, thus minimizing the bending of the material due to the reaction force when the strip material and the contact module are connected. This prevents the material from being deformed. This material deformation prevention technology provides the effect of guaranteeing the reliability of the test.

더 나아가 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진은 본체 프레임의 상부 커버 이동에 따라 하방 이동하는 자재 정렬바에 자재 수와 대응하는 수평암들을 형성하고, 그 수평암 각각의 하방에 자재 정렬용 정렬핀을 형성해 각 자재에 형성된 정렬홀에 삽입되도록 함으로써, 본체 프레임에 상하 방향으로 적재된 다수의 자재들을 편리하고도 신속하게 정렬시킬 수 있는 장점이 있다.Furthermore, in the magazine for a semiconductor inspection device according to an embodiment of the present invention, horizontal arms corresponding to the number of materials are formed on the material alignment bar that moves downward according to the movement of the upper cover of the main body frame, and the material is aligned under each of the horizontal arms. By forming an alignment pin so that it is inserted into the alignment hole formed in each material, there is an advantage of being able to conveniently and quickly align a number of materials loaded in the body frame in the vertical direction.

또한 본 발명의 실시예에 따른 매거진은 상하 적재된 자재들을 정렬하여 고정시키고 있기 때문에 자동화된 기계장치 등을 이용하여 리프팅한 후, 본체 프레임의 후면에 위치하는 각 자재의 전기접속부재들과 컨택 모듈 집합체를 구성하는 컨택 모듈 각각을 일괄 결합할 수 있어, 결과적으로 자재들과 컨텍 모듈을 전기적으로 접속시키는 시간을 단축시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, since the magazine according to the embodiment of the present invention aligns and fixes the materials loaded up and down, the electrical connection members and contact modules of each material located at the rear of the body frame are lifted using an automated mechanical device, etc. It is possible to collectively combine each of the contact modules constituting the assembly, as a result, it provides the effect of shortening the time for electrically connecting the materials and the contact module.

도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진의 외관 예시도.
도 3은 도 2에 도시한 반도체 검사장치용 매거진의 분해 예시도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가이드 레일(120)의 단면 구조 예시도.
도 5 내지 도 7은 도 2에 도시한 반도체 검사장치용 매거진의 측면 예시도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따라 스트립 자재가 적재된 반도체 검사장치용 매거진의 측면 예시도.
도 9는 도 1에 도시한 반도체 검사장치용 매거진의 후면 예시도.
도 10 내지 도 12는 도 9에 표시한 B부분의 확대 예시도.
도 13은 도 1에 도시한 A부분의 확대 예시도.
도 14 내지 도 17은 본 발명의 실시예에 따른 상부 커버 고정래치 혹은 고정래치 예시도.1 and 2 are exemplary external appearances of a magazine for a semiconductor inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is an exploded exemplary view of the magazine for a semiconductor inspection device shown in FIG. 2.
Figure 4 is an exemplary cross-sectional structure of the guide rail 120 according to an embodiment of the present invention.
5 to 7 are side views illustrating the magazine for a semiconductor inspection apparatus shown in FIG. 2.
8 is an exemplary side view of a magazine for a semiconductor inspection apparatus in which a strip material is loaded according to an embodiment of the present invention.
9 is an exemplary rear view of the magazine for a semiconductor inspection device shown in FIG. 1.
10 to 12 are enlarged exemplary views of portion B shown in FIG. 9.
13 is an enlarged exemplified view of portion A shown in FIG. 1;
14 to 17 are exemplary views of an upper cover fixing latch or a fixing latch according to an embodiment of the present invention.

본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.Specific structural or functional descriptions of the embodiments according to the concept of the present invention disclosed in the present specification are exemplified only for the purpose of describing the embodiments according to the concept of the present invention, and the embodiments according to the concept of the present invention are It may be implemented in various forms and is not limited to the embodiments described herein.

또한 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.In addition, since the embodiments according to the concept of the present invention can apply various changes and have various forms, the embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the present specification. However, this is not intended to limit the embodiments according to the concept of the present invention to specific disclosed forms, and includes all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

이하 본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참조하여 부연 설명하면,Hereinafter, embodiments of the present invention will be further described with reference to the accompanying drawings,

우선 도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진의 외관도를 예시한 것이며, 도 3은 도 2에 도시한 반도체 검사장치용 매거진의 분해도를, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 가이드 레일(120)의 단면 구조를 각각 예시한 것이다.First, FIGS. 1 and 2 illustrate an external view of a magazine for a semiconductor inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is an exploded view of the magazine for a semiconductor inspection apparatus shown in FIG. 2, and FIG. Each sectional structure of the guide rail 120 according to the embodiment is illustrated.

보다 구체적으로 도 1은 스트립 자재의 일 예인 SSD가 장착된 PCB 자재(이하 자재라 함)(200)가 상하 방향으로 적재되어 있는 반도체 검사장치용 매거진을 도시한 것이며, 도 2는 자재가 적재되어 있지 않은 매거진을 도시한 것이다.More specifically, FIG. 1 shows a magazine for a semiconductor inspection device in which a PCB material (hereinafter referred to as a material) 200 on which an SSD is mounted, which is an example of a strip material, is loaded in the vertical direction, and FIG. 2 is It shows a magazine that does not exist.

본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진(100)은 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 자재(200)를 상하방향으로 적재하기 위한 슬롯들(113)이 양 측면의 수직 프레임들(112) 내측 각각에 형성되고 전면 및 후면이 개방되어 있는 직사각체 형태의 본체 프레임(110)을 기본 구성으로 포함한다. 상기 본체 프레임(110)은 양 측면 각각을 구성하는 다수의 수직 프레임들(112)을 잇는 상부 수평 프레임(115)과 하부 수평 프레임(117)을 포함한다.In the magazine 100 for a semiconductor inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 1 to 3, slots 113 for loading the material 200 in the vertical direction are vertical frames on both sides. (112) It includes, as a basic configuration, a rectangular body frame 110 formed in each of the inner side and the front and rear sides are open. The main body frame 110 includes an upper horizontal frame 115 and a lower horizontal frame 117 connecting a plurality of vertical frames 112 constituting each of both sides.

본체 프레임(110)의 전면에서는 자재(200)가 삽입 적재되며, 후면에는 도시하지 않았지만 적재되는 각 자재에 일대일 대응하는 컨택 모듈이 장착되어 자재 일측 선단에 형성된 전기접속부재와 컨택한다.A material 200 is inserted and loaded in the front of the main frame 110, and a contact module corresponding to each material to be loaded is mounted on the rear, although not shown, to contact an electrical connection member formed at one end of the material.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 매거진(100)은 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이 동일층을 형성하며 자재(200) 삽입 방향으로 위치하는 슬롯들(113)에 삽입되되, 자재(200)의 일측이 삽입되는 레일(122)이 형성되고 그 레일(122)에 삽입된 자재(200)를 가압하기 위한 가압 수단(124)이 레일 측벽에 형성되어 있는 가이드 레일들(120)을 포함한다.On the other hand, the magazine 100 according to the embodiment of the present invention forms the same layer as shown in FIGS. 1 to 3 and is inserted into the slots 113 located in the direction of inserting the material 200, the material 200 A rail 122 into which one side of) is inserted, and a pressing means 124 for pressing the material 200 inserted into the rail 122 includes guide rails 120 formed on the rail sidewalls. .

이러한 가이드 레일(120)의 단면 구조가 도 4에 도시되어 있다. 도 4의 (a)는 가압 수단(124)으로서 판 스프링을 이용한 가이드 레일(120)의 단면을 도시한 것이며, (b)는 가압 수단(124)으로서 볼 스프링을 이용한 가이드 레일(120)을 도시한 것이다. 이와 같이 가이드 레일(120)의 레일 측벽에 판 스프링 혹은 볼 스프링을 형성하면 레일(122)로 삽입되는 자재(200)를 가압하여 측벽에 밀착시키게 되므로 자재(200)와 컨택 모듈의 전기 접속시의 반력에 의한 자재 구부러짐 현상을 최소화할 수 있다.The cross-sectional structure of the guide rail 120 is shown in FIG. 4. Figure 4 (a) shows a cross section of the guide rail 120 using a leaf spring as the pressing means 124, (b) shows the guide rail 120 using a ball spring as the pressing means 124 I did it. When a leaf spring or a ball spring is formed on the rail side wall of the guide rail 120 as described above, the material 200 inserted into the rail 122 is pressed and brought into close contact with the side wall. It is possible to minimize the bending of the material due to the reaction force.

상술한 가이드 레일(120) 외에 본 발명의 실시예에 따른 매거진(100)은 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이 본체 프레임(110)의 상부 수평 프레임(115)에 결합되어 본체 프레임(110)의 전면과 후면을 향해 슬라이딩 이동하되, 일측 끝단에 하방으로 가압턱(142)이 연장 형성되어 있는 상부 커버(140)를 더 포함한다.In addition to the guide rail 120 described above, the magazine 100 according to the embodiment of the present invention is coupled to the upper horizontal frame 115 of the main frame 110 as shown in FIGS. 1 to 3 to the main frame 110 It slides toward the front and rear surfaces of, but further includes an upper cover 140 having a pressing jaw 142 extending downwardly at one end thereof.

도 3을 참조해 보면, 본체 프레임(110)의 후면을 향하는 상부 커버(140)의 하방으로는 가압턱(142)이 연장 형성되는데, 이러한 가압턱(142)의 일면은 곡면 형상을 가짐으로써 후면으로 슬라이딩 이동시에 후술할 자재 정렬바(130)의 상단부(134)을 하방으로 가압한다.Referring to FIG. 3, a pressing jaw 142 is extended downward of the upper cover 140 facing the rear of the main frame 110, and one surface of the pressing jaw 142 has a curved shape so that the rear surface During the sliding movement, the upper end portion 134 of the material alignment bar 130 to be described later is pressed downward.

더 나아가 상부 커버(140)의 양 측면 하부 각각에는 도 3에 도시한 바와 같이 본체 프레임(110)의 상부 수평 프레임들(115)에 각각 형성된 가이드 홈(119)에 삽입되어 슬라이딩 이동거리 제한하기 위한 결합핀(146)이 체결된다. 이러한 결합핀(146)과 가이드 홈(119)에 의해 상부 커버(140)는 본체 프레임(110) 상부에 결합되어 슬라이딩 이동 가능하다. 물론 본체 프레임(110)의 상부를 구성하는 수평 프레임들(115) 측면에 레일홈을 형성하고 그 레일홈에 정합하여 이동하는 레일을 상부 커버(140)의 측면에 형성하는 방식으로도 상부 커버(140)는 슬라이딩 이동 가능하다.Furthermore, each of the lower sides of both sides of the upper cover 140 is inserted into the guide grooves 119 respectively formed in the upper horizontal frames 115 of the main frame 110 as shown in FIG. 3 to limit the sliding movement distance. The coupling pin 146 is fastened. The upper cover 140 is coupled to the upper body frame 110 by the coupling pin 146 and the guide groove 119 and is slidable. Of course, by forming a rail groove on the side of the horizontal frames 115 constituting the upper part of the main body frame 110 and forming a rail that moves in conformity with the rail groove on the side of the upper cover 140, the upper cover ( 140) is capable of sliding movement.

한편 상기 가압턱(142)이 연장 형성되어 있는 상부 커버(140)의 타측 끝단에는 하방으로 잠금판(144)이 연장 형성되어 있다. 이러한 잠금판(144)은 후술할 상부 커버 고정래치(150)의 구조 혹은 종류에 따라 변형 혹은 제거될 수 있다. 이에 대해서는 후술하기로 한다.Meanwhile, a locking plate 144 is extended downward at the other end of the upper cover 140 on which the pressure jaw 142 is extended. The locking plate 144 may be deformed or removed according to the structure or type of the upper cover fixing latch 150 to be described later. This will be described later.

참고적으로 상기 잠금판(144)은 도 6과 도 7에 도시한 바와 같이 본체 프레임(110)의 수직 프레임(112)과 그 수직 프레임(112)을 따라 상하 이동 가능한 상부 커버 고정래치(150)의 연장판(152) 사이에 위치하여 고정됨으로써, 본체 프레임(110)의 후면으로 이동한 상부 커버(140)의 위치는 되밀림 없이 양측에 위치하는 자재 정렬바(130)의 상단부(134) 위에서 고정될 수 있다.For reference, the locking plate 144 is a vertical frame 112 of the main frame 110 and an upper cover fixing latch 150 that can be moved up and down along the vertical frame 112 as shown in FIGS. 6 and 7 By being positioned and fixed between the extension plates 152 of the body frame 110, the position of the upper cover 140 moved to the rear of the body frame 110 is above the upper end 134 of the material alignment bar 130 located on both sides without being pushed back. Can be fixed.

상부 커버(140)의 위치를 고정시키기 위한 상부 커버 고정래치(150)는 도 3에 도시한 바와 같이 본체 프레임(110)의 수직 프레임(112)에 결합 가능하며 스토퍼(115-1, 도 5 참조)에 의해 지지된다. 이러한 상부 커버 고정래치(150)는 래치의 종류에 따라 도 14 내지 도 16에 도시한 바와 같이 본체 프레임(110)을 구성하는 상부의 수평 프레임 중 하나 이상에 결합 가능하다.The upper cover fixing latch 150 for fixing the position of the upper cover 140 can be coupled to the vertical frame 112 of the main frame 110 as shown in FIG. 3, and a stopper 115-1, see FIG. 5 ) Supported by The upper cover fixing latch 150 may be coupled to one or more of the upper horizontal frames constituting the main frame 110 as shown in FIGS. 14 to 16 according to the type of the latch.

앞서 설명한 본체 프레임(110), 가이드 레일들(120), 상부 커버(140), 상부 커버 고정래치(150) 외에 본 발명의 실시예에 따른 매거진(100)은 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이 본체 프레임(110)을 형성하는 양 측면 각각의 하부 수평 프레임(117)에서 외측으로 연장 형성된 연장판(114)과 상기 상부 커버(140) 사이에 각각 직립하되 일측 끝단에 탄성 부재(132)가 결합된 자재 정렬바들(130)을 더 포함하되, 상기 자재 정렬바(130) 각각에는,In addition to the body frame 110, the guide rails 120, the upper cover 140, and the upper cover fixing latch 150 described above, the magazine 100 according to the embodiment of the present invention is as shown in FIGS. Likewise, it is erected between the extension plate 114 and the upper cover 140 formed to extend outward from the lower horizontal frame 117 on each side of the body frame 110, but an elastic member 132 is formed at one end thereof. Further comprising a combined material alignment bar 130, each of the material alignment bar 130,

상기 본체 프레임(110)에 층별로 적재되는 자재(200)의 선단 양측에 형성된 정렬홀(도 11의 230 참조)과 각각 마주하도록 수평암들(136)이 연장되고, 연장된 수평암(136) 끝단에는 하방으로 정렬핀(도 11의 138 참조)이 돌출 형성되어 있음을 특징으로 한다.The horizontal arms 136 are extended so as to face each of the alignment holes (see 230 in FIG. 11) formed at both ends of the material 200 loaded in each layer in the main frame 110, and the extended horizontal arms 136 It is characterized in that the alignment pin (see 138 in FIG. 11) protrudes downward at the end.

이러한 자재 정렬바(130)의 상단부(134) 역시 곡면 형상으로 라운드져 있기 때문에, 본체 프레임(110)의 후면으로 슬라이딩 이동하는 상부 커버(140)에 돌출 형성된 가압턱(142)과의 접촉에 의해 하방으로 이동하게 됨으로써, 수평암(136) 끝단에 돌출 형성된 각각의 정렬핀(138)들은 대응하는 자재(200)의 정렬홀(230)에 삽입되어 자재들(200)이 정렬되는 효과를 가져 온다.Since the upper end 134 of the material alignment bar 130 is also rounded in a curved shape, by contact with the pressing jaws 142 protruding from the upper cover 140 sliding to the rear of the body frame 110 By moving downward, each of the alignment pins 138 protruding from the end of the horizontal arm 136 is inserted into the alignment hole 230 of the corresponding material 200 to bring the material 200 to be aligned. .

참고적으로 상기 연장판(도 3의 114)의 일측에는 탄성부재(132) 일측에 삽입되는 고정핀(도 3의 116)이 돌출 형성되어 탄성부재(132)의 이탈을 방지하는데 이용된다.For reference, at one side of the extension plate (114 in FIG. 3), a fixing pin (116 in FIG. 3) inserted into one side of the elastic member 132 is protruded and used to prevent the elastic member 132 from being separated.

이하 상술한 구성 및 구조를 가지는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진(100)의 동작 및 변형 실시 예를 첨부 도면을 참조하여 보다 구체적으로 부연 설명하기로 한다.Hereinafter, operations and modifications of the magazine 100 for a semiconductor inspection apparatus according to an embodiment of the present invention having the above-described configuration and structure will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 5 내지 도 7은 도 2에 도시한 반도체 검사장치용 매거진(100)의 측면도를 예시한 것이며, 도 8은 본 발명의 실시예에 따라 스트립 자재(200)가 적재된 반도체 검사장치용 매거진(100)의 측면 예시도를, 도 9는 도 1에 도시한 반도체 검사장치용 매거진(100)의 후면 예시도를, 도 10 내지 도 12는 도 9에 표시한 B부분의 확대 예시도를 각각 도시한 것이다.5 to 7 illustrate side views of the magazine 100 for a semiconductor inspection apparatus shown in FIG. 2, and FIG. 8 is a magazine for a semiconductor inspection apparatus in which a strip material 200 is loaded according to an embodiment of the present invention ( 100) is an exemplary side view, FIG. 9 is an exemplary rear view of the magazine 100 for a semiconductor inspection apparatus shown in FIG. 1, and FIGS. 10 to 12 are enlarged exemplary views of portion B shown in FIG. 9, respectively. I did it.

우선 도 5는 상부 커버(140)가 본체 프레임(110)의 후면으로 슬라이딩 이동한 상태를 도시한 것인데, 이러한 상태에서 가이드 레일(120)에 자재(200)를 삽입하는 방식으로 상하 방향 적재한 후 자동 혹은 수동으로 상부 커버(140)를 본체 프레임(110) 후면으로 이동시키게 되면, 도 6에 도시한 바와 같이 상부 커버(140)의 일측에서 하방으로 돌출 형성된 가압턱(142)이 전진하면서 자재 정렬바(130)의 상단부(134)와 접촉하여 자재 정렬바(130)를 하방으로 가압하게 된다.First, FIG. 5 shows a state in which the upper cover 140 slides toward the rear of the body frame 110, and in this state, the material 200 is inserted into the guide rail 120 in the vertical direction after loading. When the upper cover 140 is automatically or manually moved to the rear of the body frame 110, the pressing jaws 142 protruding downward from one side of the upper cover 140 as shown in FIG. 6 move forward and align the material. In contact with the upper end 134 of the bar 130, the material alignment bar 130 is pressed downward.

가입턱(142)이 도 6에 도시한 바와 같이 자재 정렬바(130)의 상단부(134)에 위치하게 되면, 도 7에 도시한 바와 같이 상부 커버(140)의 또 다른 일측에 형성되어 있는 잠금판(144)이 본체 프레임(110)에 밀착하게 되고 스토퍼(115-1)에 의해 지지되었던 상부 커버 고정래치(150)를 자동 혹은 수동으로 상방 이동시키게 되면 도 7에 도시한 바와 같이 슬라이딩 이동한 상부 커버(140)의 가압턱(142)이 자재 정렬바(130)의 상단부(134) 위에 고정된다. 이러한 경우의 반도체 검사장치용 매거진(100)의 측면도가 도 8에 도시되어 있으며, 후면에서 바라본 매거진(100)이 도 9에 도시되어 있다.When the joining jaw 142 is positioned at the upper end 134 of the material alignment bar 130 as shown in FIG. 6, a lock formed on another side of the upper cover 140 as shown in FIG. 7 When the plate 144 comes into close contact with the main body frame 110 and the upper cover fixing latch 150 supported by the stopper 115-1 is automatically or manually moved upward, as shown in FIG. The pressure jaw 142 of the upper cover 140 is fixed on the upper end 134 of the material alignment bar 130. In this case, a side view of the magazine 100 for a semiconductor inspection apparatus is shown in FIG. 8, and the magazine 100 viewed from the rear is shown in FIG. 9.

도 8 및 도 9를 참조해 보면, 자재 정렬바(130)에서 수평 연장되어 있는 수평암(136)에서 하방으로 돌출 형성되어 있는 정렬핀들(138)들이 자재(200)의 일측 끝단 양측을 관통하고 있는 것을 알 수 있다. 이를 보다 구체적으로 보이기 위해 도시한 도 10과 도 11을 참조해 보면 앞서 언급한 바와 같이 자재(200) 일측 끝단의 모서리에 형성되어 있는 정렬홀(230)에 정렬핀(138)이 삽입되는 것을 확인할 수 있다.8 and 9, the alignment pins 138 protruding downward from the horizontal arm 136 extending horizontally from the material alignment bar 130 penetrate both sides of one end of the material 200 I can see that there is. Referring to FIGS. 10 and 11 shown to show this in more detail, it is confirmed that the alignment pin 138 is inserted into the alignment hole 230 formed at the edge of one end of the material 200 as mentioned above. I can.

즉, 자재 정렬바(130)가 상부 커버(140)에 이동에 따라 하방으로 이동하게 되면, 자재 정렬바(130)에서 수평 연장되어 있는 수평암(136)들 역시 하방으로 이동하게 되고, 각 수평암(136) 끝단에 돌출 형성되어 있는 정렬핀(138)들은 대응하는 자재(200)의 정렬홀(230)에 삽입됨으로써, 상하 방향 적재된 자재들(200)이 정렬될 수 있는 것이다. 참고적으로 도 12는 자재(200)가 적재되지 않은 상태를 도시한 것이며, 도 13은 도 1에 도시한 A부분을 확대하여 도시한 것이다.That is, when the material alignment bar 130 moves downward as it moves to the upper cover 140, the horizontal arms 136 extending horizontally from the material alignment bar 130 also move downward, and each horizontal The alignment pins 138 protruding from the ends of the arm 136 are inserted into the alignment holes 230 of the corresponding material 200, so that the materials 200 loaded in the vertical direction can be aligned. For reference, FIG. 12 shows a state in which the material 200 is not loaded, and FIG. 13 shows an enlarged view of part A shown in FIG. 1.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진(100)은 본체 프레임(110)의 측벽 슬롯에 삽입되되 자재(200)가 삽입되는 레일 측벽에 판 스프링 혹은 볼 스프링이 형성된 가이드 레일(120)을 이용하기 때문에, 자재(200)와 컨택 모듈의 접속시에 반력에 의한 자재 구부러짐 현상을 최소화하여 자재(200)가 변형되는 것을 방지한다. 이러한 자재 변형 방지기술은 테스트의 신뢰성을 보장하는 효과를 제공한다.As described above, the magazine 100 for a semiconductor inspection apparatus according to an embodiment of the present invention is inserted into the sidewall slot of the main frame 110, and a plate spring or a ball spring is formed on the sidewall of the rail into which the material 200 is inserted. Since the rail 120 is used, the material 200 is prevented from being deformed by minimizing the bending of the material due to the reaction force when the material 200 is connected to the contact module. This material deformation prevention technology provides the effect of guaranteeing the reliability of the test.

더 나아가 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진(100)은 본체 프레임(110)의 상부 커버(140)의 이동에 따라 하방 이동하는 자재 정렬바(130)들에 적재 가능한 자재(200) 수와 대응하는 수평암(136)들을 형성하고, 그 수평암(136) 각각의 하방에 자재 정렬용 정렬핀(138)을 형성해 각 자재(200)의 모서리에 형성된 정렬홀(230)에 삽입되도록 함으로써, 본체 프레임(110)에 상하 방향으로 적재된 다수의 자재(200)들을 편리하고도 신속하게 정렬시킬 수 있는 장점이 있다.Furthermore, the magazine 100 for a semiconductor inspection apparatus according to an embodiment of the present invention includes a material 200 that can be loaded onto the material alignment bars 130 that move downward according to the movement of the upper cover 140 of the main frame 110. Horizontal arms 136 corresponding to the number are formed, and an alignment pin 138 for material alignment is formed under each of the horizontal arms 136 to be inserted into the alignment holes 230 formed at the corners of each material 200. By doing so, there is an advantage of being able to conveniently and quickly align a plurality of materials 200 loaded in the body frame 110 in the vertical direction.

참고적으로 정렬된 자재(200)들이 적재되어 있는 본체 프레임(110)을 자동화된 기계장치 등을 이용하여 리프팅한 후, 본체 프레임(110)의 후면에 위치하는 각 자재(200)의 전기접속부재가 컨택 모듈 집합체를 구성하는 컨택 모듈 각각과 일괄 결합될 수 있도록 시스템 구성 및 자동 제어한다면, PCB 안착된 가이드 블럭을 개별적으로 슬롯에 삽입하여 전기접속부재들을 연결하는 일반적인 방식에 비해 테스트 시간을 단축할 수 있는 효과를 얻을 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진(100)은 자재의 테스트 시간을 단축시키는데 필요한 자재이다.For reference, after lifting the body frame 110 in which the aligned materials 200 are loaded using an automated mechanical device, etc., the electrical connection member of each material 200 located at the rear of the body frame 110 If the system is configured and automatically controlled so that it can be combined with each of the contact modules constituting the contact module assembly, the test time can be shortened compared to the general method of connecting the electrical connection members by individually inserting the guide blocks seated on the PCB into the slots. You can get the effect that you can. Accordingly, the magazine 100 for a semiconductor inspection apparatus according to an embodiment of the present invention is a material necessary to shorten the test time of the material.

한편, 본 발명의 실시예에서는 도 1에 도시한 바와 같이 본체 프레임(110)의 수직 프레임(112)에 결합되어 상부 커버(140)를 위치 고정시키는 상부 커버 고정래치(150)를 예시하였으나, 도 14 내지 도 17에 도시한 바와 같이 다양한 형태 및 구조의 상부 커버 고정래치 혹은 고정래치를 이용할 수도 있다.On the other hand, in the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, the upper cover fixing latch 150 is exemplified by being coupled to the vertical frame 112 of the main body frame 110 to fix the upper cover 140 in position. As shown in 14 to 17, it is also possible to use the upper cover fixing latches or fixing latches of various shapes and structures.

예를 들면, 도 14에 도시된 상부 커버 고정래치(150)는 본체 프레임(110)의 수평 프레임(111)에 결합되어 상부 커버(140)의 슬라이딩 이동을 제한하는 스위치 래치일 수 있다.For example, the upper cover fixing latch 150 shown in FIG. 14 may be a switch latch that is coupled to the horizontal frame 111 of the main body frame 110 to limit the sliding movement of the upper cover 140.

또한 도 15에 도시한 바와 같이 가압턱(142)이 연장 형성되어 있는 상부 커버(140)의 타측에는 스토퍼(143)가 삽입 가능한 하나 이상의 스토퍼 삽입홈(141)이 형성되고, 상부 커버 고정래치(150)는 본체 프레임(110)의 상부 수평 프레임(111)에 결합되어 누름 동작에 따라 스토퍼(143)의 위치가 가변되는 래치일 수 있다.In addition, as shown in FIG. 15, one or more stopper insertion grooves 141 into which a stopper 143 can be inserted are formed on the other side of the upper cover 140 in which the pressing jaw 142 is extended, and the upper cover fixing latch ( 150 may be a latch that is coupled to the upper horizontal frame 111 of the main body frame 110 and changes the position of the stopper 143 according to a pressing operation.

또한 도 16에 도시한 바와 같이 상부 커버(140)의 일측 하면에 고정 날개(147)가 일체화된 레버(145)를 설치하고, 레버(145)를 회전시켜 상부 커버(140)의 이동을 고정시키는 방식의 래치를 사용할 수도 있다.In addition, as shown in FIG. 16, a lever 145 in which the fixing blades 147 are integrated is installed on one lower surface of the upper cover 140, and the movement of the upper cover 140 is fixed by rotating the lever 145. A type of latch can also be used.

한편 도 17에 도시한 고정 래치(155)를 사용할 수도 있다. 이러한 경우에는 상부 커버(140)가 필요 없다. 즉, 하면 양 끝단에 자재 정렬바(130) 각각이 삽입되는 슬롯이 형성되고 상면에 손잡이(192)가 형성되어 상기 자재 정렬바들(130)을 하방으로 가압하기 위한 수평 가압바(190)와, 본체 프레임(110)의 상부 수평 프레임(111)에 결합되어 하방 이동한 상기 수평 가압바(190)의 위치를 고정시키기 위한 고정 래치(155)를 이용하면 상부 커버(140)를 대신하여 자재 정렬바(130)를 하방으로 이동시켜 위치 고정시킬 수 있다.Meanwhile, the fixing latch 155 shown in FIG. 17 may be used. In this case, the upper cover 140 is not required. That is, a slot into which each of the material alignment bars 130 is inserted is formed at both ends of the lower surface, and a handle 192 is formed on the upper surface, so that a horizontal pressure bar 190 for pressing the material alignment bars 130 downward, and When using the fixing latch 155 for fixing the position of the horizontal pressure bar 190, which is coupled to the upper horizontal frame 111 of the main frame 110 and moved downward, a material alignment bar in place of the upper cover 140 The position can be fixed by moving 130 downward.

이러한 고정 래치(155)와 수평 가압바(190)를 이용하는 매거진(100)은 도 1에서 설명한 본체 프레임(110), 자재 정렬바(130)와 함께 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 검사장치용 매거진을 구성한다고 할 수 있다. 다만, 본체 프레임(110)을 형성하는 양 측면 각각의 상부 수평 프레임(115)은 자재 정렬바들(130)이 직립 및 관통할 수 있도록 외측으로 연장되고 관통홈이 형성되어 있어야 할 것이다.The magazine 100 using the fixed latch 155 and the horizontal pressure bar 190 is a semiconductor inspection apparatus according to another embodiment of the present invention together with the body frame 110 and the material alignment bar 130 described in FIG. 1. It can be said to constitute a dragon magazine. However, the upper horizontal frame 115 on each of both sides forming the main frame 110 should extend outward and have a through groove so that the material alignment bars 130 can be upright and penetrated.

이상은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 이에 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.The above has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, but these are merely exemplary, and those of ordinary skill in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be determined only by the appended claims.

Claims (9)

자재를 상하방향으로 적재하기 위한 슬롯들이 양 측면의 수직 프레임들 내측 각각에 형성되고 전면 및 후면이 개방되어 있는 직사각체 형태의 본체 프레임과;
동일층을 형성하는 슬롯들에 삽입되되, 자재의 일측이 삽입되는 레일이 형성되고 그 레일에 삽입된 자재를 가압하기 위한 가압 수단이 레일 측벽에 형성되어 있는 가이드 레일들과;
상기 본체 프레임의 상부 수평 프레임에 결합되어 상기 후면을 향해 슬라이딩 이동하되, 일측 끝단에 하방으로 가압턱이 연장 형성되고 그 가압턱의 일면은 곡면 형상을 가지는 상부 커버와;
상기 본체 프레임의 상부 수평 프레임 혹은 수직 프레임에 결합되어 슬라이딩 이동한 상기 상부 커버의 위치를 고정시키기 위한 상부 커버 고정래치와;
상기 본체 프레임을 형성하는 양 측면 각각의 하부 수평 프레임에서 외측으로 연장 형성된 연장판과 상기 상부 커버 사이에 각각 직립하되 일측 끝단에 탄성 부재가 결합된 자재 정렬바들;을 포함하되, 상기 자재 정렬바 각각에는,
상기 본체 프레임에 층별로 적재되는 자재의 선단 양측에 형성된 정렬홀과 각각 마주하도록 수평암들이 연장되고 그 연장된 수평암 끝단에는 마주하는 상기 정렬홀에 삽입되도록 하방으로 정렬핀이 돌출 형성되되, 상기 자재 정렬바 각각의 상단부는 슬라이딩 이동하는 상기 상부 커버의 가압턱과의 접촉에 의해 하방 이동할 수 있도록 곡면 형상으로 라운드져 있는 반도체 검사장치용 매거진.A rectangular body frame in which slots for loading the material in the vertical direction are formed inside each of the vertical frames on both sides and the front and rear surfaces thereof are open;
Guide rails which are inserted into the slots forming the same layer, in which a rail into which one side of the material is inserted is formed, and a pressing means for pressing the material inserted into the rail is formed on the side wall of the rail;
An upper cover coupled to an upper horizontal frame of the main body frame and sliding toward the rear surface, wherein a pressing jaw extends downward at one end and one surface of the pressing jaw has a curved shape;
An upper cover fixing latch for fixing a position of the upper cover that has been slidably moved by being coupled to an upper horizontal frame or a vertical frame of the body frame;
Including; material alignment bars, each of which is erected between the upper cover and the extension plate extending outward from the lower horizontal frame on each side of the body frame, but having an elastic member coupled to one end thereof; each of the material alignment bars. In,
Horizontal arms are extended to face each of the alignment holes formed on both ends of the material stacked in each layer on the body frame, and an alignment pin protrudes downward to be inserted into the alignment hole facing the extended horizontal arm end, the A magazine for a semiconductor inspection apparatus in which the upper end of each of the material alignment bars is rounded in a curved shape so as to move downwards by contact with the pressing jaws of the upper cover that slides. 청구항 1에 있어서, 상기 가압 수단은 판 스프링 혹은 볼 스프링 중 어느 하나임을 특징으로 하는 반도체 검사장치용 매거진.The magazine for a semiconductor inspection apparatus according to claim 1, wherein the pressing means is either a leaf spring or a ball spring. 청구항 1에 있어서, 상기 가압턱이 연장 형성되어 있는 상기 상부 커버의 타측 끝단에는 하방으로 잠금판이 연장 형성되고, 상기 잠금판은 상기 본체 프레임의 수직 프레임과 그 수직 프레임을 따라 상하 이동 가능한 상부 커버 고정래치 사이에 위치하여 고정됨을 특징으로 하는 반도체 검사장치용 매거진.The method as set forth in claim 1, wherein a locking plate is extended downward at the other end of the upper cover on which the pressure jaws are extended, and the locking plate is fixed to a vertical frame of the main body frame and an upper cover movable vertically along the vertical frame. A magazine for a semiconductor inspection device, characterized in that it is positioned and fixed between the latches. 청구항 1에 있어서, 상기 가압턱이 연장 형성되어 있는 상기 상부 커버의 타측에는 스토퍼가 삽입 가능한 하나 이상의 스토퍼 삽입홈이 형성되고, 상기 상부 커버 고정래치는 상기 본체 프레임의 상부 수평 프레임에 결합되어 누름 동작에 따라 상기 스토퍼의 위치가 가변되는 래치임을 특징으로 하는 반도체 검사장치용 매거진.The method according to claim 1, wherein one or more stopper insertion grooves into which a stopper can be inserted are formed on the other side of the upper cover in which the pressure jaws are extended, and the upper cover fixing latch is coupled to an upper horizontal frame of the main body frame to perform a pressing operation. A magazine for a semiconductor inspection apparatus, characterized in that the latch is a position of the stopper is variable according to the. 청구항 1에 있어서, 상기 상부 커버 고정래치는 상기 본체 프레임의 수평 프레임에 결합되어 상기 상부 커버의 슬라이딩 이동을 제한하는 스위치 래치임을 특징으로 하는 반도체 검사장치용 매거진.The magazine for a semiconductor inspection apparatus according to claim 1, wherein the upper cover fixing latch is a switch latch that is coupled to a horizontal frame of the main body frame to limit the sliding movement of the upper cover. 청구항 1에 있어서, 상기 상부 커버의 양 측면 하부 각각에는 상기 본체 프레임의 상부 수평 프레임들에 각각 형성된 가이드 홈에 삽입되어 슬라이딩 이동거리 제한하기 위한 결합핀이 체결됨을 특징으로 하는 반도체 검사장치용 매거진.The magazine for a semiconductor inspection apparatus according to claim 1, wherein a coupling pin for limiting a sliding movement distance by being inserted into a guide groove formed in each of the upper horizontal frames of the body frame is fastened to each of the lower sides of both sides of the upper cover. 청구항 1에 있어서, 상기 연장판의 일측에는 상기 탄성부재 일측에 삽입되는 고정핀이 돌출 형성됨을 특징으로 하는 반도체 검사장치용 매거진.The magazine for a semiconductor inspection apparatus according to claim 1, wherein a fixing pin inserted into one side of the elastic member is protruded from one side of the extension plate. 자재를 상하방향으로 적재하기 위한 슬롯들이 양 측면의 수직 프레임들 내측 각각에 형성되고 전면 및 후면이 개방되어 있는 직사각체 형태의 본체 프레임과;
동일층을 형성하는 슬롯들에 삽입되되, 자재의 일측이 삽입되는 레일이 형성되고 그 레일에 삽입된 자재를 가압하기 위한 가압 수단이 레일 측벽에 형성되어 있는 가이드 레일들과;
상기 본체 프레임을 형성하는 양 측면 각각의 하부 수평 프레임에서 외측으로 연장 형성된 연장판과 상기 본체 프레임을 형성하는 상부 수평 프레임을 관통하여 직립하되 일측 끝단에 탄성 부재가 결합된 자재 정렬바들과;
하면 양 끝단에 상기 자재 정렬바 각각이 삽입되는 슬롯이 형성되고 상면에 손잡이가 형성되어 상기 자재 정렬바들을 하방으로 가압하기 위한 수평 가압바와;
상기 본체 프레임의 상부 수평 프레임에 결합되어 하방 이동한 상기 수평 가압바의 위치를 고정시키기 위한 고정 래치;를 포함하되, 상기 자재 정렬바 각각에는,
상기 본체 프레임에 층별로 적재되는 자재의 선단 양측에 형성된 정렬홀과 각각 마주하도록 수평암들이 연장되고, 연장된 수평암 끝단에는 하방으로 정렬핀이 돌출 형성되어 있음을 특징으로 하는 반도체 검사장치용 매거진.A rectangular body frame in which slots for loading the material in the vertical direction are formed inside each of the vertical frames on both sides and the front and rear surfaces thereof are open;
Guide rails which are inserted into the slots forming the same layer, in which a rail into which one side of the material is inserted is formed, and a pressing means for pressing the material inserted into the rail is formed on the side wall of the rail;
An extension plate extending outwardly from a lower horizontal frame on each side of the body frame, and material alignment bars to which an elastic member is coupled to one end of the body frame;
A horizontal pressure bar for pressing the material alignment bars downward by forming a slot into which each of the material alignment bars is inserted at both ends of the lower surface and a handle formed on the upper surface thereof;
Including, but in each of the material alignment bar, a fixed latch for fixing the position of the horizontal pressure bar that is coupled to the upper horizontal frame of the main body frame moved downward,
A magazine for a semiconductor inspection device, characterized in that horizontal arms are extended to face each alignment hole formed on both ends of the material stacked in each layer on the body frame, and alignment pins are formed protruding downward at the ends of the extended horizontal arms. . 청구항 8에 있어서, 상기 본체 프레임을 형성하는 양 측면 각각의 상부 수평 프레임은 상기 자재 정렬바들이 직립 및 관통할 수 있도록 외측으로 연장되고 관통홈이 형성됨을 특징으로 하는 반도체 검사장치용 매거진.The magazine for a semiconductor inspection apparatus according to claim 8, wherein the upper horizontal frame on each side of the body frame is extended outward and a through groove is formed so that the material alignment bars can be upright and penetrated.
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