KR102240751B1 - Transfer device and visual inspection system having the same - Google Patents

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KR102240751B1 KR1020200136008A KR20200136008A KR102240751B1 KR 102240751 B1 KR102240751 B1 KR 102240751B1 KR 1020200136008 A KR1020200136008 A KR 1020200136008A KR 20200136008 A KR20200136008 A KR 20200136008A KR 102240751 B1 KR102240751 B1 KR 102240751B1
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Abstract

본 발명의 이송 장치는 전후방향으로 이송 가능하게 형성된 전후이송 스테이지; 및 좌우방향으로 이송 가능하게 형성되며, 상기 전후이송 스테이지에 적층되어 결합된 좌우이송 스테이지; 를 포함하며, 상기 전후이송 스테이지 및 좌우이송 스테이지 중 어느 하나 이상은 다단으로 적층 결합되어 있는 형태로 형성됨으로써, 대면적의 피검사체를 이송 시킬 수 있는 이송 장치를 상대적으로 작은 면적으로 형성할 수 있고, 제작이 용이하며, 정밀도를 향상시킬 수 있는 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템에 관한 것이다.The transfer device of the present invention comprises: a front-rear transfer stage formed to be transferred in a front-rear direction; And a left-right transfer stage formed to be transferred in a left-right direction and stacked and coupled to the front-rear transfer stage. Including, wherein at least one of the front and rear transfer stage and the left and right transfer stage is formed in a multi-stage stacked and coupled form, so that a transfer device capable of transferring a large area of the test object can be formed in a relatively small area, and , It is easy to manufacture, and relates to a visual inspection system including a transfer device that can improve the precision.

Description

이송 장치 및 이를 포함한 외관 검사 시스템 {Transfer device and visual inspection system having the same}Transfer device and visual inspection system having the same}
본 발명은 디스플레이 패널 등을 이송시켜 가면서 표면을 검사하는데 이용될 수 있는 이송 장치 및 이를 포함한 외관 검사 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a transport device that can be used to inspect a surface while transporting a display panel or the like, and an appearance inspection system including the same.
디스플레이 패널은 여러 단계의 제조 공정을 거쳐 제조되며, 디스플레이 패널은 각 제조 공정에서 현미경이나 카메라 등의 광학 장치를 이용해 외관을 검사하여 불량 여부를 판정하고 있다.Display panels are manufactured through several stages of manufacturing processes, and display panels are inspected for defects by examining their appearance using optical devices such as a microscope or a camera in each manufacturing process.
디스플레이 패널의 외관 검사 시에는, 피검사체인 디스플레이 패널을 좌우방향 및 전후방향으로 이송이 가능한 이송 스테이지들로 구성된 이송 장치의 워크 테이블의 상측에 올려놓은 후, 워크 테이블과 함께 디스플레이 패널을 이송시켜 가면서 작업자의 육안 또는 광학 장치 등을 이용해 검사를 수행하였다.When inspecting the appearance of the display panel, place the display panel, which is the object to be inspected, on the upper side of the work table of the transfer device consisting of transfer stages that can be transferred in the left and right directions and in the front and rear directions, and then transfer the display panel together with the work table. The inspection was performed using the operator's naked eye or an optical device.
최근에는 소비자들의 다양한 요구를 만족시키기 위해 디스플레이 패널의 면적이 점점 크게 제조되는 추세인데, 이에 따라 대면적의 디스플레이 패널의 외관 검사를 위해서는 이송 장치 역시 넓은 범위를 이송시킬 수 있도록 면적이 크게 제작되어야 한다. In recent years, the area of the display panel is increasingly being manufactured to satisfy various demands of consumers. Accordingly, for the exterior inspection of a large-area display panel, the conveying device must also have a large area to transport a wide range. .
그런데 이송 장치의 크기를 크게 제작하면 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템을 설치하는 장소의 공간적 제약이 커지고, 이송 장치를 제작하는 것에도 어려움이 있으며, 이송 장치의 정밀도가 저하될 수 있는 등 많은 문제점이 발생하게 된다. However, if the size of the transfer device is made large, the space limitation of the place where the visual inspection system including the transfer device is installed increases, it is difficult to manufacture the transfer device, and the precision of the transfer device may be deteriorated. Will occur.
KR 10-1919808 B1 (2018.11.13.)KR 10-1919808 B1 (2018.11.13.)
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 대면적의 피검사체를 이송 시킬 수 있는 이송 장치를 상대적으로 작은 면적으로 형성할 수 있고, 제작이 용이하며, 정밀도가 향상된 이송 장치 및 이를 포함한 외관 검사 시스템을 제공하는 것이다.The present invention has been conceived to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to form a transfer device capable of transferring a large area to be tested in a relatively small area, easy to manufacture, and precise It is to provide an improved conveying device and a visual inspection system including the same.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 이송 장치는, 전후방향으로 이송 가능하게 형성된 전후이송 스테이지; 및 좌우방향으로 이송 가능하게 형성되며, 상기 전후이송 스테이지에 적층되어 결합된 좌우이송 스테이지; 를 포함하며, 상기 전후이송 스테이지 및 좌우이송 스테이지 중 어느 하나 이상은 다단으로 적층 결합되어 있는 형태로 형성될 수 있다.The transfer device of the present invention for achieving the above object comprises: a front-rear transfer stage formed to be transferred in a front-rear direction; And a left-right transfer stage formed to be transferred in a left-right direction and stacked and coupled to the front-rear transfer stage. It includes, and any one or more of the front and rear transfer stage and the left and right transfer stage may be formed in a form that is laminated and coupled in multiple stages.
또한, 상기 전후이송 스테이지는, 제1하부 플레이트; 상기 제1하부 플레이트의 상측에 이격 배치되며, 제1-1 LM 가이드로 상기 제1하부 플레이트에 결합되어 제1하부 플레이트를 기준으로 전후방향으로 이동 가능하게 형성된 제1중간 플레이트; 및 상기 제1중간 플레이트의 상측에 이격 배치되고, 제1-2 LM 가이드로 상기 제1중간 플레이트에 결합되어 제1중간 플레이트를 기준으로 전후방향으로 이동 가능하게 형성된 제1상부 플레이트; 를 포함할 수 있다.In addition, the front and rear transfer stage, the first lower plate; A first intermediate plate disposed above the first lower plate and coupled to the first lower plate by a 1-1 LM guide so as to be movable in a front-rear direction with respect to the first lower plate; And a first upper plate that is spaced apart from the upper side of the first intermediate plate and is coupled to the first intermediate plate by a 1-2 LM guide so as to be movable in a front-rear direction with respect to the first intermediate plate. It may include.
또한, 상기 제1중간 플레이트는, 제1-1수평부; 상기 제1-1수평부의 좌우방향 양단에서 각각 상측으로 연장 형성된 한 쌍의 제1수직부; 및 상기 한 쌍의 제1수직부의 상단에서 각각 좌우방향 바깥쪽으로 연장 형성된 제1-2수평부; 를 포함하고, 상기 제1-1 LM 가이드는 제1-2수평부와 제1하부 플레이트의 사이에 배치되며, 상기 제1-2 LM 가이드는 제1-1수평부와 제1상부 플레이트의 사이에 배치될 수 있다.In addition, the first intermediate plate, the 1-1 horizontal portion; A pair of first vertical portions extending upwardly from both ends of the first-first horizontal portion in the left and right directions; And first-2 horizontal portions extending outwardly in the left and right directions from upper ends of the pair of first vertical portions. Including, the 1-1 LM guide is disposed between the 1-2 horizontal portion and the first lower plate, the 1-2 LM guide is between the 1-1 horizontal portion and the first upper plate Can be placed on
또한, 상기 제1-1 LM 가이드와 제1-2 LM 가이드는 상하방향으로 일부분이 서로 중첩되는 높이에 배치될 수 있다.In addition, the 1-1 LM guide and the 1-2 LM guide may be disposed at a height in which portions overlap each other in the vertical direction.
또한, 상기 제1하부 플레이트는 중앙부에서 상측으로 제1스토퍼가 돌출 형성되며, 상기 제1중간 플레이트는 중앙부에 상하 양면을 관통하는 제1개구가 형성되어, 상기 제1스토퍼가 제1개구 내측에 삽입될 수 있다.In addition, the first lower plate has a first stopper protruding upward from a central portion, and the first intermediate plate has a first opening penetrating both upper and lower sides in a central portion, so that the first stopper is inside the first opening. Can be inserted.
또한, 상기 좌우이송 스테이지는, 상기 전후이송 스테이지의 상측에 결합되거나 상기 전후이송 스테이지의 최상측에 배치된 플레이트와 일체로 형성된 제2하부 플레이트; 상기 제2하부 플레이트의 상측에 이격 배치되며, 제2-1 LM 가이드로 상기 제2하부 플레이트에 결합되어 제2하부 플레이트를 기준으로 좌우방향으로 이동 가능하게 형성된 제2중간 플레이트; 및 상기 제2중간 플레이트의 상측에 이격 배치되고, 제2-2 LM 가이드로 상기 제2중간 플레이트에 결합되어 제2중간 플레이트를 기준으로 좌우방향으로 이동 가능하게 형성된 제2상부 플레이트; 를 포함할 수 있다.In addition, the left and right transfer stage may include a second lower plate coupled to an upper side of the front and rear transfer stage or integrally formed with a plate disposed on the uppermost side of the front and rear transfer stage; A second intermediate plate disposed above the second lower plate and coupled to the second lower plate by a 2-1 LM guide so as to be movable left and right with respect to the second lower plate; And a second upper plate spaced apart from the second intermediate plate and coupled to the second intermediate plate by a 2-2 LM guide so as to be movable in a horizontal direction based on the second intermediate plate. It may include.
또한, 상기 제2중간 플레이트는, 제2-1수평부; 상기 제2-1수평부의 전후방향 양단에서 각각 상측으로 연장 형성된 한 쌍의 제2수직부; 및 상기 한 쌍의 제2수직부의 상단에서 각각 전후방향 바깥쪽으로 연장 형성된 제2-2수평부; 를 포함하고, 상기 제2-1 LM 가이드는 제2-2수평부와 제2하부 플레이트의 사이에 배치되며, 상기 제2-2 LM 가이드는 제2-1수평부와 제2상부 플레이트의 사이에 배치될 수 있다.In addition, the second intermediate plate, the 2-1 horizontal portion; A pair of second vertical portions extending upwardly from both ends of the second-first horizontal portion in the front-rear direction; And 2-2 horizontal portions extending outwardly in the front-rear direction from the upper end of the pair of second vertical portions. The 2-1 LM guide is disposed between the 2-2 horizontal part and the second lower plate, and the 2-2 LM guide is between the 2-1 horizontal part and the second upper plate. Can be placed on
또한, 상기 제2-1 LM 가이드와 제2-2 LM 가이드는 상하방향으로 일부분이 서로 중첩되는 높이에 배치될 수 있다.In addition, the 2-1 LM guide and the 2-2 LM guide may be disposed at a height in which portions of the 2-1 LM guide overlap each other in the vertical direction.
또한, 상기 제2하부 플레이트는 중앙부에서 상측으로 제2스토퍼가 돌출 형성되며, 상기 제2중간 플레이트는 중앙부에 상하 양면을 관통하는 제2개구가 형성되어, 상기 제2스토퍼가 제2개구 내측에 삽입될 수 있다.In addition, the second lower plate has a second stopper protruding upward from the central portion, and the second intermediate plate has a second opening penetrating both upper and lower sides in the central portion, so that the second stopper is inside the second opening. Can be inserted.
그리고 본 발명의 외관 검사 시스템은, 베이스; 상기 베이스 상에 결합된 상기 이송 장치; 상기 베이스에 결합되어 상측으로 연장 형성된 프레임; 및 상기 프레임의 상측에 장착되어 피검사물의 외관을 검사할 수 있는 광학 장치; 를 포함할 수 있다.And the appearance inspection system of the present invention, the base; The transfer device coupled to the base; A frame coupled to the base and extending upwardly; And an optical device mounted on the upper side of the frame and capable of inspecting the appearance of an object to be inspected. It may include.
또한, 본 발명의 외관 검사 시스템은, 상기 이송 장치의 최상측 플레이트 상에 장착되어 피검사물을 흡착하여 고정할 수 있는 진공척을 더 포함할 수 있다.In addition, the visual inspection system of the present invention may further include a vacuum chuck mounted on the uppermost plate of the transfer device to adsorb and fix the inspected object.
본 발명의 이송 장치 및 이를 포함한 외관 검사 시스템은, 상대적으로 작은 면적의 이송 장치를 이용해 대면적의 피검사체를 이송시킬 수 있어 이송 장치 및 이를 포함한 외관 검사 시스템을 콤팩트한 사이즈로 제작할 수 있는 장점이 있다.The transfer device and the appearance inspection system including the same of the present invention have the advantage of being able to manufacture the transfer device and the exterior inspection system including the same in a compact size since it is possible to transfer a large area of the test object using a transfer device of a relatively small area. have.
또한, 이송 장치 및 이를 포함한 외관 검사 시스템의 제작이 용이하며, 이송 장치를 구성하는 플레이트들의 처짐이 감소되어 정밀도가 향상되는 장점이 있다.In addition, there is an advantage in that it is easy to manufacture a conveying device and an appearance inspection system including the same, and that sagging of plates constituting the conveying device is reduced, thereby improving precision.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템을 나타낸 정면도 및 부분 확대도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템을 나타낸 우측면도 및 부분 확대도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템에서 전후이송 스테이지 및 좌우이송 스테이지를 나타낸 상측 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템의 이송 장치에서 전후이송 스테이지가 앞쪽으로 이동된 상태를 나타낸 우측면도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템의 이송 장치에서 좌우이송 스테이지가 좌측으로 이동된 상태를 나타낸 정면도이다.
1 and 2 are a front view and a partial enlarged view showing an exterior inspection system including a transfer device according to an embodiment of the present invention.
3 and 4 are a right side view and a partial enlarged view showing an exterior inspection system including a transfer device according to an embodiment of the present invention.
5 and 6 are top plan views showing a front and rear transfer stage and a left and right transfer stage in an exterior inspection system including a transfer device according to an embodiment of the present invention.
7 is a right side view showing a state in which the front and rear transfer stage is moved forward in the transfer device of the visual inspection system including the transfer device according to an embodiment of the present invention.
8 is a front view showing a state in which the horizontal transfer stage is moved to the left in the transfer device of the visual inspection system including the transfer device according to an embodiment of the present invention.
이하, 상기한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명의 이송 장치 및 이를 포함한 외관 검사 시스템을 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a transfer device of the present invention having the above-described configuration and an appearance inspection system including the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템을 나타낸 정면도 및 부분 확대도이고, 도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템을 나타낸 우측면도 및 부분 확대도이며, 도 5 및 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템에서 전후이송 스테이지 및 좌우이송 스테이지를 나타낸 상측 평면도이다.1 and 2 are a front view and a partial enlarged view showing an exterior inspection system including a transfer device according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 3 and 4 are an exterior view including a transfer device according to an embodiment of the present invention. It is a right side view and a partial enlarged view showing the inspection system, and FIGS. 5 and 6 are top plan views showing a front and rear transfer stage and a left and right transfer stage in an exterior inspection system including a transfer device according to an embodiment of the present invention.
도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치는, 크게 전후이송 스테이지(100) 및 좌우이송 스테이지(200)를 포함하여 구성될 수 있으며, 본 발명의 일실시예에 따른 외관 검사 시스템(1000)은 베이스(300), 상기 이송 장치, 프레임 및 광학 장치를 포함하여 구성될 수 있다.As shown, the transfer device according to an embodiment of the present invention may be largely configured to include a front and rear transfer stage 100 and a left and right transfer stage 200, and an appearance inspection system according to an embodiment of the present invention ( 1000) may be configured to include the base 300, the transfer device, the frame and the optical device.
먼저, 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치는 전후이송 스테이지(100)가 베이스(300)의 상측에 결합되고, 전후이송 스테이지(100)의 상측에 좌우이송 스테이지(200)가 결합될 수 있다.First, in the transfer device according to an embodiment of the present invention, the front and rear transfer stage 100 may be coupled to the upper side of the base 300, and the left and right transfer stage 200 may be coupled to the upper side of the front and rear transfer stage 100. .
전후이송 스테이지(100)는 제1하부 플레이트(110), 제1중간 플레이트(120), 제1상부 플레이트(130), 한 쌍의 제1-1 LM 가이드(140) 및 한 쌍의 제1-2 LM 가이드(150)를 포함하여 구성될 수 있다.The front and rear transfer stage 100 includes a first lower plate 110, a first intermediate plate 120, a first upper plate 130, a pair of 1-1 LM guides 140, and a pair of 1-1. It may be configured to include 2 LM guide 150.
제1하부 플레이트(110)는 평판 형태로 형성될 수 있고, 수평방향과 나란하게 배치되어 베이스(300) 상에 고정될 수 있다. 그리고 제1중간 플레이트(120)는 제1하부 플레이트(110)의 상측에 이격되어 배치될 수 있으며, 제1중간 플레이트(120)는 제1-1 LM 가이드(140)로 제1하부 플레이트(110)에 결합될 수 있다. 그리하여 제1하부 플레이트(110)를 기준으로 제1중간 플레이트(120)가 전후방향으로 슬라이딩되며 이동될 수 있다. 여기에서 제1하부 플레이트(110)의 상면에는 제1-1 LM 가이드(140)의 LM 레일이 고정되고, 제1중간 플레이트(120)의 하면에는 제1-1 LM 가이드(140)의 LM 블록이 고정될 수 있다. 그리고 제1-1 LM 가이드(140)는 한 쌍으로 구성되며, 한 쌍의 제1-1 LM 가이드(140)는 서로 좌우방향으로 이격되어 나란하게 배치될 수 있다. 제1상부 플레이트(130)는 제1중간 플레이트(120)의 상측에 이격되어 배치될 수 있으며, 제1상부 플레이트(130)는 제1-2 LM 가이드(150)로 제1중간 플레이트(120)에 결합될 수 있다. 그리하여 제1중간 플레이트(120)를 기준으로 제1상부 플레이트(130)가 전후방향으로 슬라이딩되며 이동될 수 있다. 여기에서 제1중간 플레이트(120)의 상면에는 제1-2 LM 가이드(150)의 LM 블록이 고정되고, 제1상부 플레이트(130)의 하면에는 제1-2 LM 가이드(150)의 LM 레일이 고정될 수 있다. 그리고 제1-2 LM 가이드(150)는 한 쌍으로 구성되며, 한 쌍의 제1-2 LM 가이드(150)는 서로 좌우방향으로 이격되어 나란하게 배치될 수 있다.The first lower plate 110 may be formed in a flat plate shape, and may be disposed parallel to the horizontal direction to be fixed on the base 300. In addition, the first intermediate plate 120 may be disposed to be spaced apart from the upper side of the first lower plate 110, and the first intermediate plate 120 is the 1-1 LM guide 140 and the first lower plate 110 ) Can be combined. Thus, the first intermediate plate 120 may slide and move in the front-rear direction based on the first lower plate 110. Here, the LM rail of the 1-1 LM guide 140 is fixed to the upper surface of the first lower plate 110, and the LM block of the 1-1 LM guide 140 is fixed to the lower surface of the first intermediate plate 120. Can be fixed. In addition, the 1-1 LM guides 140 are configured as a pair, and the 1-1 LM guides 140 of the pair may be spaced apart from each other in the left and right directions and disposed side by side. The first upper plate 130 may be disposed to be spaced apart from the upper side of the first intermediate plate 120, and the first upper plate 130 is the 1-2 LM guide 150 and the first intermediate plate 120 Can be combined with Thus, the first upper plate 130 may slide and move in the front-rear direction based on the first intermediate plate 120. Here, the LM block of the 1-2 LM guide 150 is fixed to the upper surface of the first intermediate plate 120, and the LM rail of the 1-2 LM guide 150 is fixed to the lower surface of the first upper plate 130. Can be fixed. In addition, the 1-2 LM guides 150 are configured as a pair, and the pair of the 1-2 LM guides 150 may be spaced apart from each other in the left and right directions to be disposed side by side.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템의 이송 장치에서 전후이송 스테이지가 앞쪽으로 이동된 상태를 나타낸 우측면도이다.7 is a right side view showing a state in which the front and rear transfer stage is moved forward in the transfer device of the visual inspection system including the transfer device according to an embodiment of the present invention.
도 7을 참조하면, 전후이송 스테이지(100)는 다단으로 적층 결합되어 있는 형태로 형성되며, 베이스(300)에 고정된 제1하부 플레이트(110)를 기준으로 제1중간 플레이트(120)가 전후방향으로 이송 가능하게 구성되고, 제1중간 플레이트(120)를 기준으로 제1상부 플레이트(130)가 전후방향으로 이송 가능하게 구성되므로, 전후이송 스테이지(100)의 크기(면적)에 비해 상대적으로 전후방향으로 제1상부 플레이트(130)가 이송될 수 있는 범위가 매우 넓어지게 된다. 또한, 제1상부 플레이트(130)가 제1중간 플레이트(120)에 의해 받쳐지고, 제1중간 플레이트(120)가 제1하부 플레이트(110)에 의해 받쳐진 형태이므로, 전후이송 스테이지(100)가 전후방향으로 최대한 이송되었을 때에도 제1하부 플레이트(110)를 기준으로 제1상부 플레이트(130)가 하측으로 처지는 것을 줄일 수 있다.Referring to FIG. 7, the front and rear transfer stage 100 is formed in a multi-stage stacked-coupled form, and the first intermediate plate 120 is front and rear based on the first lower plate 110 fixed to the base 300. It is configured to be transportable in the direction, and the first upper plate 130 is configured to be transportable in the front and rear direction based on the first intermediate plate 120, so that the size (area) of the front and rear transfer stage 100 is relatively The range in which the first upper plate 130 can be transported in the front and rear direction is very wide. In addition, since the first upper plate 130 is supported by the first intermediate plate 120 and the first intermediate plate 120 is supported by the first lower plate 110, the front and rear transfer stage 100 It is possible to reduce sagging of the first upper plate 130 to the lower side based on the first lower plate 110 even when is transferred to the front and rear directions as much as possible.
좌우이송 스테이지(200)는 상기한 전후이송 스테이지(100)와 동일한 구조로 형성되되, 좌우이송 스테이지(200)는 상하방향을 중심으로 하여 전후이송 스테이지(100)를 90도 회전시켜 놓은 형태로 배치되어, 전후이송 스테이지(100)의 상측에 좌우이송 스테이지(200)가 적층된 형태로 결합될 수 있다.The left and right transfer stage 200 is formed in the same structure as the above-described front and rear transfer stage 100, but the left and right transfer stage 200 is arranged in a form in which the front and rear transfer stage 100 is rotated 90 degrees centering on the vertical direction. Thus, the left and right transfer stages 200 may be stacked on the upper side of the front and rear transfer stage 100.
좌우이송 스테이지(200)는 제2하부 플레이트(210), 제2중간 플레이트(220), 제2상부 플레이트(230), 한 쌍의 제2-1 LM 가이드(240) 및 한 쌍의 제2-2 LM 가이드(250)를 포함하여 구성될 수 있다.The left and right transfer stage 200 includes a second lower plate 210, a second intermediate plate 220, a second upper plate 230, a pair of 2-1 LM guides 240, and a pair of 2nd- It may be configured to include 2 LM guides 250.
제2하부 플레이트(210)는 일례로 전후이송 스테이지(100)의 제1상부 플레이트(130)와 동일한 부품일 수 있다. 즉, 전후이송 스테이지(100)의 제1상부 플레이트(130)가 좌우이송 스테이지(200)의 제2하부 플레이트(210)가 될 수 있다. 또는 도시되지는 않았으나, 전후이송 스테이지(100)의 제1상부 플레이트(130)와는 별개로 좌우이송 스테이지(200)의 제2하부 플레이트(210)를 형성한 후, 제2하부 플레이트(210)를 제1상부 플레이트(130) 상에 결합하여 고정할 수도 있다. 그리고 제2중간 플레이트(220)는 제2하부 플레이트(210)의 상측에 이격되어 배치될 수 있으며, 제2중간 플레이트(220)는 제2-1 LM 가이드(240)로 제2하부 플레이트(210)에 결합될 수 있다. 그리하여 제2하부 플레이트(210)를 기준으로 제2중간 플레이트(220)가 좌우방향으로 슬라이딩되며 이동될 수 있다. 여기에서 제2하부 플레이트(210)의 상면에는 제2-1 LM 가이드(240)의 LM 레일이 고정되고, 제2중간 플레이트(220)의 하면에는 제2-1 LM 가이드(240)의 LM 블록이 고정될 수 있다. 그리고 제2-1 LM 가이드(240)는 한 쌍으로 구성되며, 한 쌍의 제2-1 LM 가이드(240)는 서로 전후방향으로 이격되어 나란하게 배치될 수 있다. 제2상부 플레이트(230)는 제2중간 플레이트(220)의 상측에 이격되어 배치될 수 있으며, 제2상부 플레이트(230)는 제2-2 LM 가이드(250)로 제2중간 플레이트(220)에 결합될 수 있다. 그리하여 제2중간 플레이트(220)를 기준으로 제2상부 플레이트(230)가 좌우방향으로 슬라이딩되며 이동될 수 있다. 여기에서 제2중간 플레이트(220)의 상면에는 제2-2 LM 가이드(250)의 LM 블록이 고정되고, 제2상부 플레이트(230)의 하면에는 제2-2 LM 가이드(250)의 LM 레일이 고정될 수 있다. 그리고 제2-2 LM 가이드(250)는 한 쌍으로 구성되며, 한 쌍의 제2-2 LM 가이드(250)는 서로 전후방향으로 이격되어 나란하게 배치될 수 있다.The second lower plate 210 may be, for example, the same component as the first upper plate 130 of the front and rear transfer stage 100. That is, the first upper plate 130 of the front and rear transfer stage 100 may be the second lower plate 210 of the left and right transfer stage 200. Alternatively, although not shown, after forming the second lower plate 210 of the left and right transfer stage 200 separately from the first upper plate 130 of the front and rear transfer stage 100, the second lower plate 210 It may be fixed by being combined on the first upper plate 130. In addition, the second intermediate plate 220 may be spaced apart from the second lower plate 210, and the second intermediate plate 220 is the second lower plate 210 as the 2-1 LM guide 240. ) Can be combined. Thus, the second intermediate plate 220 may slide and move in the left and right directions based on the second lower plate 210. Here, the LM rail of the 2-1 LM guide 240 is fixed on the upper surface of the second lower plate 210, and the LM block of the 2-1 LM guide 240 is on the lower surface of the second intermediate plate 220. Can be fixed. In addition, the 2-1 LM guide 240 may be configured as a pair, and the 2-1 LM guide 240 may be spaced apart from each other in the front-rear direction and disposed side by side. The second upper plate 230 may be spaced apart from the upper side of the second middle plate 220, and the second upper plate 230 is the second middle plate 220 as the 2-2 LM guide 250. Can be combined with Thus, the second upper plate 230 may slide and move in the horizontal direction based on the second intermediate plate 220. Here, the LM block of the 2-2 LM guide 250 is fixed to the upper surface of the second intermediate plate 220, and the LM rail of the 2-2 LM guide 250 is fixed to the lower surface of the second upper plate 230. Can be fixed. In addition, the 2-2 LM guides 250 are configured as a pair, and the 2-2 LM guides 250 of the pair may be spaced apart from each other in the front-rear direction and disposed side by side.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 이송 장치를 포함한 외관 검사 시스템의 이송 장치에서 좌우이송 스테이지가 좌측으로 이동된 상태를 나타낸 정면도이다.8 is a front view showing a state in which the left and right transfer stage is moved to the left in the transfer device of the visual inspection system including the transfer device according to an embodiment of the present invention.
도 8을 참조하면, 좌우이송 스테이지(200)도 다단으로 적층 결합되어 있는 형태로 형성되며, 제2하부 플레이트(210)를 기준으로 제2중간 플레이트(220)가 좌우방향으로 이송 가능하게 구성되고, 제2중간 플레이트(220)를 기준으로 제2상부 플레이트(230)가 좌우방향으로 이송 가능하게 구성되므로, 좌우이송 스테이지(200)의 크기(면적)에 비해 상대적으로 좌우방향으로 제2상부 플레이트(230)가 이송될 수 있는 범위가 매우 넓어지게 된다. 또한, 제2상부 플레이트(230)가 제2중간 플레이트(220)에 의해 받쳐지고, 제2중간 플레이트(220)가 제2하부 플레이트(210)에 의해 받쳐진 형태이므로, 좌우이송 스테이지(200)가 좌우방향으로 최대한 이송되었을 때에도 제2하부 플레이트(210)를 기준으로 제2상부 플레이트(230)가 하측으로 처지는 것을 줄일 수 있다.Referring to FIG. 8, the left and right transfer stage 200 is also formed in a form in which it is stacked and coupled in multiple stages, and the second intermediate plate 220 is configured to be transferred in the left and right directions based on the second lower plate 210. , Since the second upper plate 230 is configured to be transportable in the left and right direction based on the second intermediate plate 220, the second upper plate 230 is relatively in the left and right direction compared to the size (area) of the left and right transport stage 200. The range in which 230 can be transported is very wide. In addition, since the second upper plate 230 is supported by the second intermediate plate 220 and the second intermediate plate 220 is supported by the second lower plate 210, the left and right transfer stage 200 It is possible to reduce sagging of the second upper plate 230 to the lower side based on the second lower plate 210 even when is transferred to the left and right as much as possible.
또한, 전후이송 스테이지(100)의 제1중간 플레이트(120)는 제1-1수평부(121), 한 쌍의 제1수직부(122) 및 한 쌍의 제1-2수평부(123)를 포함하여 구성될 수 있다. 제1중간 플레이트(120)는 평판 형태로 형성된 제1-1수평부(121)가 수평방향과 나란하게 배치되고, 제1-1수평부(121)의 좌우방향 양단에서 각각 상측으로 한 쌍의 제1수직부(122)가 나란하게 연장된 형태로 형성될 수 있으며, 한 쌍의 제1수직부(122)의 상단에서 각각 좌우방향 바깥쪽으로 제1-2수평부(123)가 형성될 수 있다. 즉, 제1중간 플레이트(120)는 제1-1수평부(121)의 좌우방향 양단에서 제1수직부(122)가 상측으로 절곡되어 있는 형태로 형성되고, 제1수직부(122)의 상단에서 좌우방향 바깥쪽으로 제1-2수평부(123)가 절곡되어 있는 형태로 형성될 수 있다. 여기에서 제1-1 LM 가이드(140)들은 제1-2수평부(123)와 제1하부 플레이트(110)의 사이에 배치될 수 있으며, 제1-2 LM 가이드(150)들은 제1-1수평부(121)와 제1상부 플레이트(130)의 사이에 배치될 수 있다. 그리하여 제1하부 플레이트(110)의 하면에서부터 제1상부 플레이트(130)의 상면까지의 높이를 줄일 수 있어, 매우 컴팩트한 크기로 전후이송 스테이지(100)가 구성될 수 있다. 이때, 제1-1 LM 가이드(140)와 제1-2 LM 가이드(150)는 상하방향으로 일부분이 서로 중첩되는 높이에 배치됨으로써, 제1하부 플레이트(110)의 하면에서부터 제1상부 플레이트(130)의 상면까지의 높이를 더욱 줄일 수 있다.In addition, the first intermediate plate 120 of the front and rear transfer stage 100 is a 1-1 horizontal portion 121, a pair of first vertical portions 122, and a pair of 1-2 horizontal portions 123 It can be configured to include. In the first intermediate plate 120, the 1-1 horizontal portions 121 formed in a flat plate shape are arranged in parallel with the horizontal direction, and a pair of The first vertical portions 122 may be formed in a form extending side by side, and the 1-2 horizontal portions 123 may be formed from the top of the pair of first vertical portions 122 outward in the left and right directions, respectively. have. That is, the first intermediate plate 120 is formed in a shape in which the first vertical portions 122 are bent upward at both ends in the left and right directions of the 1-1 horizontal portion 121, and It may be formed in a form in which the 1-2 horizontal portion 123 is bent from the top to the outside in the left and right direction. Here, the 1-1 LM guides 140 may be disposed between the 1-2 horizontal part 123 and the first lower plate 110, and the 1-2 LM guides 150 are the 1- It may be disposed between the first horizontal portion 121 and the first upper plate 130. Thus, the height from the lower surface of the first lower plate 110 to the upper surface of the first upper plate 130 can be reduced, so that the front and rear transfer stage 100 can be configured with a very compact size. At this time, the 1-1 LM guide 140 and the 1-2 LM guide 150 are disposed at a height where portions overlap each other in the vertical direction, so that the first upper plate ( 130) can be further reduced.
또한, 전후이송 스테이지(100)의 제1하부 플레이트(110)는 중앙부에서 상측으로 제1스토퍼(111)가 돌출 형성되고, 제1중간 플레이트(120)는 중앙부에 상하면을 관통하는 제1개구(124)가 형성되어, 제1스토퍼(111)가 제1개구(124)의 내측에 삽입될 수 있다. 이때, 제1스토퍼(111)의 상단은 제1중간 플레이트(120)의 제1-1수평부(121)의 상면보다 상측에 위치하도록 형성되어, 제1스토퍼(111)에 제1중간 플레이트(120)가 걸려서 제1중간 플레이트(120)의 전후방향으로의 최대 이송 범위가 제한될 수 있다. 그리고 도시되지는 않았으나 제1중간 플레이트(120)와 제1상부 플레이트(130)도 스토퍼에 의해 제1상부 플레이트(130)가 전후방향으로 이송될 수 있는 최대 범위가 정해지도록 형성될 수도 있다.In addition, the first lower plate 110 of the front and rear transfer stage 100 has a first stopper 111 protruding upward from the center portion, and the first intermediate plate 120 has a first opening penetrating the upper and lower surfaces at the center portion ( Since 124 is formed, the first stopper 111 may be inserted into the first opening 124. At this time, the upper end of the first stopper 111 is formed to be located above the upper surface of the 1-1 horizontal portion 121 of the first intermediate plate 120, the first intermediate plate ( 120) may be caught and the maximum transfer range of the first intermediate plate 120 in the front-rear direction may be limited. Further, although not shown, the first intermediate plate 120 and the first upper plate 130 may also be formed to determine a maximum range in which the first upper plate 130 can be transferred in the front and rear direction by a stopper.
또한, 좌우이송 스테이지(200)의 제2중간 플레이트(220)는 제2-1수평부(221), 한 쌍의 제2수직부(222) 및 한 쌍의 제2-2수평부(223)를 포함하여 구성될 수 있다. 제2중간 플레이트(220)는 평판 형태로 형성된 제2-1수평부(221)가 수평방향과 나란하게 배치되고, 제2-1수평부(221)의 전후방향 양단에서 각각 상측으로 한 쌍의 제2수직부(222)가 나란하게 연장된 형태로 형성될 수 있으며, 한 쌍의 제2수직부(222)의 상단에서 각각 전후방향 바깥쪽으로 제2-2수평부(223)가 형성될 수 있다. 즉, 제2중간 플레이트(220)는 제2-1수평부(221)의 전후방향 양단에서 제2수직부(222)가 상측으로 절곡되어 있는 형태로 형성되고, 제2수직부(222)의 상단에서 전후방향 바깥쪽으로 제2-2수평부(223)가 절곡되어 있는 형태로 형성될 수 있다. 여기에서 제2-1 LM 가이드(240)들은 제2-2수평부(223)와 제2하부 플레이트(210)의 사이에 배치될 수 있으며, 제2-2 LM 가이드(250)들은 제2-1수평부(221)와 제2상부 플레이트(230)의 사이에 배치될 수 있다. 그리하여 제2하부 플레이트(210)의 하면에서부터 제2상부 플레이트(230)의 상면까지의 높이를 줄일 수 있어, 매우 컴팩트한 크기로 좌우이송 스테이지(200)가 구성될 수 있다. 이때, 제2-1 LM 가이드(240)와 제2-2 LM 가이드(250)는 상하방향으로 일부분이 서로 중첩되는 높이에 배치됨으로써, 제2하부 플레이트(210)의 하면에서부터 제2상부 플레이트(230)의 상면까지의 높이를 더욱 줄일 수 있다.In addition, the second intermediate plate 220 of the left and right transfer stage 200 includes a 2-1 horizontal portion 221, a pair of second vertical portions 222, and a pair of 2-2 horizontal portions 223 It can be configured to include. In the second intermediate plate 220, the 2-1 horizontal portion 221 formed in the shape of a flat plate is arranged in parallel with the horizontal direction, and a pair of upper and rear ends of the 2-1 horizontal portion 221 The second vertical portions 222 may be formed in a form extending side by side, and a 2-2 horizontal portion 223 may be formed from the top of the pair of second vertical portions 222 outward in the front and rear directions, respectively. have. That is, the second intermediate plate 220 is formed in a shape in which the second vertical portions 222 are bent upward at both ends of the 2-1 horizontal portion 221 in the front-rear direction, and It may be formed in a shape in which the 2-2 horizontal portion 223 is bent from the top to the outside in the front-rear direction. Here, the 2-1 LM guides 240 may be disposed between the 2-2 horizontal part 223 and the second lower plate 210, and the 2-2 LM guides 250 are It may be disposed between the first horizontal portion 221 and the second upper plate 230. Thus, the height from the lower surface of the second lower plate 210 to the upper surface of the second upper plate 230 can be reduced, so that the left and right transfer stage 200 can be configured with a very compact size. At this time, the 2-1 LM guide 240 and the 2-2 LM guide 250 are disposed at a height where portions overlap each other in the vertical direction, so that the second upper plate ( 230) can be further reduced.
또한, 제2하부 플레이트(210)는 중앙부에서 상측으로 제2스토퍼(211)가 돌출 형성되고, 제2중간 플레이트(220)는 중앙부에 상하면을 관통하는 제2개구(224)가 형성되어, 제2스토퍼(211)가 제2개구(224)의 내측에 삽입될 수 있다. 이때, 제2스토퍼(211)의 상단은 제2중간 플레이트(220)의 제2-1수평부(221)의 상면보다 상측에 위치하도록 형성되어, 제2스토퍼(211)에 제2중간 플레이트(220)가 걸려서 제2중간 플레이트(220)의 좌우방향으로의 최대 이송 범위가 제한될 수 있다. 그리고 도시되지는 않았으나 제2중간 플레이트(220)와 제2상부 플레이트(230)도 스토퍼에 의해 제2상부 플레이트(230)가 좌우방향으로 이송될 수 있는 최대 범위가 정해지도록 형성될 수도 있다.In addition, the second lower plate 210 has a second stopper 211 protruding upward from the central portion, and the second intermediate plate 220 has a second opening 224 penetrating the upper and lower surfaces in the central portion. The second stopper 211 may be inserted into the second opening 224. At this time, the upper end of the second stopper 211 is formed to be positioned above the upper surface of the second-first horizontal portion 221 of the second intermediate plate 220, and the second intermediate plate ( 220) may be caught and the maximum transfer range of the second intermediate plate 220 in the left-right direction may be limited. Further, although not shown, the second intermediate plate 220 and the second upper plate 230 may also be formed to determine a maximum range in which the second upper plate 230 can be transferred in the left and right directions by a stopper.
그리고 본 발명의 외관 검사 시스템(1000)은 베이스(300) 상에 상기한 이송 장치가 설치되고, 베이스(300)의 후방쪽에서 상측으로 프레임(400)이 연장 형성되며, 프레임(400)의 상단부에 마련된 거치대에 광학 장치(500)가 장착될 수 있다.And the appearance inspection system 1000 of the present invention is installed on the base 300, the above-described transfer device, the frame 400 is formed extending from the rear side of the base 300 to the upper side, and the upper end of the frame 400 The optical device 500 may be mounted on the provided cradle.
그리하여 이송 장치의 상면인 제2상부 플레이트(230) 상에 검사하고자 하는 피검사물인 대면적의 디스플레이 패널 등을 올려놓고, 좌우방향 및 전후방향으로 피검사물을 이동시켜가면서 광학 장치(500)를 통해 외관 검사를 수행할 수 있다. 이때, 광학 장치(500)는 현미경 및 카메라 등 다양한 광학 장치가 사용될 수 있다. Thus, by placing a large-area display panel, which is an object to be inspected, on the second upper plate 230, which is the upper surface of the transfer device, and moving the object to be inspected in the left and right directions and the front and rear directions, the optical device 500 is used. Visual inspection can be performed. In this case, as the optical device 500, various optical devices such as a microscope and a camera may be used.
또한, 도시되지는 않았으나, 이송 장치의 최상측 플레이트인 제2상부 플레이트 상에는 진공척이 설치될 수 있으며, 진공척 상에 피검사물을 올려놓고 진공을 이용해 흡착하여 피검사물을 고정할 수도 있다. 또한, 전후이송 스테이지 및 좌우이송 스테이지는 작업자가 수동으로 밀어서 이동되도록 할 수도 있으며, 도시되지는 않았으나 베이스에 조절핸들, 타이밍 벨트 및 타이밍 풀리들을 설치한 후 타이밍 벨트의 일부분을 전후이송 스테이지 및 좌우이송 스테이지에 고정하여, 작업자가 조절핸들 돌려서 이동되도록 구성할 수 있다. 또는 구동모터 및 제어부를 구성하여 작업자의 조작에 의해 자동으로 이동되도록 할 수도 있다.In addition, although not shown, a vacuum chuck may be installed on the second upper plate, which is the uppermost plate of the transfer device, and the test subject may be fixed by placing the test object on the vacuum chuck and adsorbing it using a vacuum. In addition, the front and rear transfer stage and the left and right transfer stage can be moved by manually pushing the operator, and although not shown, a part of the timing belt is transferred to the front and rear stage and left and right after installing the adjustment handle, timing belt and timing pulleys on the base. Fixed to the stage, it can be configured so that the operator rotates the adjustment handle to move. Alternatively, a drive motor and a control unit may be configured to be automatically moved by an operator's operation.
이와 같이 본 발명의 이송 장치 및 이를 포함한 외관 검사 시스템은, 상대적으로 작은 면적의 이송 장치를 이용해 대면적의 피검사체를 이송시킬 수 있어 이송 장치 및 이를 포함한 외관 검사 시스템을 콤팩트한 사이즈로 제작할 수 있다. 또한, 이송 장치 및 이를 포함한 외관 검사 시스템의 제작이 용이하며, 이송 장치를 구성하는 플레이트들의 처짐이 감소되어 정밀도를 향상시킬 수 있다.As described above, the transfer device and the appearance inspection system including the same of the present invention can transfer a large-area test object using a transfer device having a relatively small area, so that the transfer device and the appearance inspection system including the same can be manufactured in a compact size. . In addition, it is easy to manufacture the transfer device and the appearance inspection system including the same, and the sagging of the plates constituting the transfer device is reduced, so that the precision can be improved.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and the scope of application is diverse, as well as anyone with ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, various modifications are possible.
100 : 전후이송 스테이지
110 : 제1하부 플레이트 111 : 제1스토퍼
120 : 제1중간 플레이트
121 : 제1-1수평부 122 : 제1수직부
123 : 제1-2수평부 124 : 제1개구
130 : 제1상부 플레이트
140 : 제1-1 LM 가이드 150 : 제1-2 LM 가이드
200 : 좌우이송 스테이지
210 : 제2하부 플레이트 211 : 제2스토퍼
220 : 제2중간 플레이트
221 : 제2-1수평부 222 : 제2수직부
223 : 제2-2수평부 224 : 제2개구
230 : 제2상부 플레이트
240 : 제2-1 LM 가이드 250 : 제2-2 LM 가이드
300 : 베이스
400 : 프레임
500 : 광학 장치
1000 : 외관 검사 시스템
100: forward and backward transfer stage
110: first lower plate 111: first stopper
120: first intermediate plate
121: 1-1 horizontal part 122: 1st vertical part
123: 1st-2 horizontal part 124: 1st opening
130: first upper plate
140: 1-1 LM guide 150: 1-2 LM guide
200: left and right stage
210: second lower plate 211: second stopper
220: second intermediate plate
221: 2-1 horizontal part 222: 2nd vertical part
223: 2nd-2 horizontal part 224: 2nd opening
230: second upper plate
240: 2-1 LM guide 250: 2-2 LM guide
300: base
400: frame
500: optical device
1000: visual inspection system

Claims (11)

  1. 전후방향으로 이송 가능하게 형성된 전후이송 스테이지; 및
    좌우방향으로 이송 가능하게 형성되며, 상기 전후이송 스테이지에 적층되어 결합된 좌우이송 스테이지; 를 포함하며,
    상기 전후이송 스테이지 및 좌우이송 스테이지 중 어느 하나 이상은 다단으로 적층 결합되어 있는 형태로 형성되며,
    상기 전후이송 스테이지는,
    제1하부 플레이트;
    상기 제1하부 플레이트의 상측에 이격 배치되며, 제1-1 LM 가이드로 상기 제1하부 플레이트에 결합되어 제1하부 플레이트를 기준으로 전후방향으로 이동 가능하게 형성된 제1중간 플레이트; 및
    상기 제1중간 플레이트의 상측에 이격 배치되고, 제1-2 LM 가이드로 상기 제1중간 플레이트에 결합되어 제1중간 플레이트를 기준으로 전후방향으로 이동 가능하게 형성된 제1상부 플레이트; 를 포함하고,
    상기 제1중간 플레이트는,
    제1-1수평부; 상기 제1-1수평부의 좌우방향 양단에서 각각 상측으로 연장 형성된 한 쌍의 제1수직부; 및 상기 한 쌍의 제1수직부의 상단에서 각각 좌우방향 바깥쪽으로 연장 형성된 제1-2수평부; 를 포함하고,
    상기 제1-1 LM 가이드는 제1-2수평부와 제1하부 플레이트의 사이에 배치되며, 상기 제1-2 LM 가이드는 제1-1수평부와 제1상부 플레이트의 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 이송 장치.
    A front-rear transfer stage formed to be transferred in a front-rear direction; And
    A left-right transfer stage formed to be transferred in a left-right direction and stacked and coupled to the front-rear transfer stage; Including,
    Any one or more of the front and rear transfer stage and the left and right transfer stage is formed in a form that is laminated and bonded in multiple stages,
    The front and rear transfer stage,
    A first lower plate;
    A first intermediate plate disposed above the first lower plate and coupled to the first lower plate by a 1-1 LM guide so as to be movable in a front-rear direction with respect to the first lower plate; And
    A first upper plate disposed above the first intermediate plate and coupled to the first intermediate plate by a 1-2 LM guide so as to be movable in a front-rear direction with respect to the first intermediate plate; Including,
    The first intermediate plate,
    1-1 horizontal part; A pair of first vertical portions extending upwardly from both ends of the first-first horizontal portion in the left and right directions; And first-2 horizontal portions extending outwardly in the left and right directions from upper ends of the pair of first vertical portions. Including,
    The 1-1 LM guide is disposed between the 1-2 horizontal part and the first lower plate, and the 1-2 LM guide is disposed between the 1-1 horizontal part and the first upper plate. Conveying device characterized in that.
  2. 삭제delete
  3. 삭제delete
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1-1 LM 가이드와 제1-2 LM 가이드는 상하방향으로 일부분이 서로 중첩되는 높이에 배치된 것을 특징으로 하는 이송 장치.
    The method of claim 1,
    The transfer device, characterized in that the 1-1 LM guide and the 1-2 LM guide are disposed at a height where some portions overlap each other in the vertical direction.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1하부 플레이트는 중앙부에서 상측으로 제1스토퍼가 돌출 형성되며,
    상기 제1중간 플레이트는 중앙부에 상하 양면을 관통하는 제1개구가 형성되어,
    상기 제1스토퍼가 제1개구 내측에 삽입된 것을 특징으로 하는 이송 장치.
    The method of claim 1,
    The first lower plate has a first stopper protruding upward from the center portion,
    The first intermediate plate is formed with a first opening penetrating both upper and lower sides in the central portion,
    The transfer device, characterized in that the first stopper is inserted inside the first opening.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 좌우이송 스테이지는,
    상기 전후이송 스테이지의 상측에 결합되거나 상기 전후이송 스테이지의 최상측에 배치된 플레이트와 일체로 형성된 제2하부 플레이트;
    상기 제2하부 플레이트의 상측에 이격 배치되며, 제2-1 LM 가이드로 상기 제2하부 플레이트에 결합되어 제2하부 플레이트를 기준으로 좌우방향으로 이동 가능하게 형성된 제2중간 플레이트; 및
    상기 제2중간 플레이트의 상측에 이격 배치되고, 제2-2 LM 가이드로 상기 제2중간 플레이트에 결합되어 제2중간 플레이트를 기준으로 좌우방향으로 이동 가능하게 형성된 제2상부 플레이트; 를 포함하는 이송 장치.
    The method of claim 1,
    The left and right transfer stage,
    A second lower plate coupled to an upper side of the front and rear transfer stage or integrally formed with a plate disposed on the uppermost side of the front and rear transfer stage;
    A second intermediate plate disposed above the second lower plate and coupled to the second lower plate by a 2-1 LM guide so as to be movable in a horizontal direction based on the second lower plate; And
    A second upper plate disposed above the second intermediate plate and coupled to the second intermediate plate by a 2-2 LM guide so as to be movable in a left and right direction with respect to the second intermediate plate; Transfer device comprising a.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2중간 플레이트는,
    제2-1수평부; 상기 제2-1수평부의 전후방향 양단에서 각각 상측으로 연장 형성된 한 쌍의 제2수직부; 및 상기 한 쌍의 제2수직부의 상단에서 각각 전후방향 바깥쪽으로 연장 형성된 제2-2수평부; 를 포함하고,
    상기 제2-1 LM 가이드는 제2-2수평부와 제2하부 플레이트의 사이에 배치되며, 상기 제2-2 LM 가이드는 제2-1수평부와 제2상부 플레이트의 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 이송 장치.
    The method of claim 6,
    The second intermediate plate,
    2-1 horizontal part; A pair of second vertical portions extending upwardly from both ends of the second-first horizontal portion in the front-rear direction; And 2-2 horizontal portions extending outwardly in the front-rear direction from the upper end of the pair of second vertical portions. Including,
    The 2-1 LM guide is disposed between the 2-2 horizontal part and the second lower plate, and the 2-2 LM guide is disposed between the 2-1 horizontal part and the second upper plate. Conveying device characterized in that.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제2-1 LM 가이드와 제2-2 LM 가이드는 상하방향으로 일부분이 서로 중첩되는 높이에 배치된 것을 특징으로 하는 이송 장치.
    The method of claim 7,
    The transfer device, characterized in that the 2-1 LM guide and the 2-2 LM guide are disposed at a height in which portions overlap each other in the vertical direction.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 제2하부 플레이트는 중앙부에서 상측으로 제2스토퍼가 돌출 형성되며,
    상기 제2중간 플레이트는 중앙부에 상하 양면을 관통하는 제2개구가 형성되어,
    상기 제2스토퍼가 제2개구 내측에 삽입된 것을 특징으로 하는 이송 장치.
    The method of claim 6,
    The second lower plate has a second stopper protruding upward from the center portion,
    The second intermediate plate is formed with a second opening penetrating the upper and lower sides in the central portion,
    The transfer device, characterized in that the second stopper is inserted inside the second opening.
  10. 베이스;
    상기 베이스 상에 결합된 제1항, 제4항 내지 제9항 중 어느 한 항의 이송 장치;
    상기 베이스에 결합되어 상측으로 연장 형성된 프레임; 및
    상기 프레임의 상측에 장착되어 피검사물의 외관을 검사할 수 있는 광학 장치; 를 포함하는 외관 검사 시스템.
    Base;
    The transfer device of any one of claims 1 and 4 to 9 coupled to the base;
    A frame coupled to the base and extending upwardly; And
    An optical device mounted on the upper side of the frame and capable of inspecting the appearance of an object to be inspected; Appearance inspection system comprising a.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 이송 장치의 최상측 플레이트 상에 장착되어 피검사물을 흡착하여 고정할 수 있는 진공척을 더 포함하는 외관 검사 시스템.
    The method of claim 10,
    Appearance inspection system further comprising a vacuum chuck mounted on the uppermost plate of the transfer device and capable of adsorbing and fixing the inspected object.
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