KR102115363B1 - OHT device with foup door open preventive unit - Google Patents

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Abstract

본 발명은 천장을 따라 구비되는 이송 레일과 결합하여 풉을 이송할 수 있도록 하는 OHT 장치에 관한 것으로, 상기 OHT 장치는 풉의 양측에 배치되는 측면부재를 구비하고, 상기 측면부재의 내측에는 상기 풉의 도어를 향해 동작하는 풉 도어 오픈 방지 유닛이 구비되며, 상기 풉 도어 오픈 방지 유닛은, 풉 도어를 지지하는 도어 지지바;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이러한 OHT 장치는 도어 지지바가 OHT 장치에 적재되어 이송중인 풉 도어의 전면 및 상 하면를 지지하여 풉 도어와 풉 사이의 결합이 해제되더라도 풉 도어가 개방되는 것을 방지할 수 있어 풉 도어의 낙하, 풉 내부의 제품에 대한 안전성 확보 등이 가능하여 매우 유용한 것이다. The present invention relates to an OHT device that is capable of transporting a pool in combination with a transport rail provided along a ceiling, wherein the OHT device includes side members disposed on both sides of the pool, and the pool is provided inside the side member. It characterized in that it comprises a pull door opening prevention unit operating toward the door of the, the pull door opening prevention unit, a door support bar for supporting the pull door.
This OHT device supports the front and upper and lower surfaces of the pull door being transported when the door support bar is loaded on the OHT device to prevent the pull door from opening even if the coupling between the pull door and the pull is released. It is very useful because it is possible to secure the safety of products.

Description

풉 도어 오픈 방지 유닛을 구비한 OHT 장치{OHT device with foup door open preventive unit}OHT device with foup door open preventive unit

본 발명은 OHT 장치에 적재된 풉(FOUP)의 프론트 도어(FRONT DOOR) 개방을 방지하는 풉 도어 오픈 방지 유닛을 구비하는 OHT 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an OHT device having a pull door opening prevention unit that prevents opening of a front door of a FOUP loaded in an OHT device.

일반적으로 반도체 제조 설비는 대기 중의 이물질이나 화학적인 오염으로부터 웨이퍼를 보호하며, 웨이퍼를 저장 및 운반하기 위해 밀폐형 웨이퍼 컨테이너를 사용한다. 이러한 밀폐형 웨이퍼 컨테이너의 대표적인 예로 풉(FOUP : Front Open Unified Pod)이 주로 사용되고 있다.In general, semiconductor manufacturing equipment protects a wafer from foreign substances or chemical contamination in the air, and uses a sealed wafer container to store and transport the wafer. A typical example of such a sealed wafer container is a FOUP (Front Open Unified Pod).

풉은 종래의 웨이퍼 카세트를 대체하는 것으로, 웨이퍼의 오염을 방지하기 위해 보관 및 운반 중에 도어에 의해 밀폐되어 있으며, 설비측에 웨이퍼를 전달하기 위해서는 상기 밀폐된 도어를 설비측 개폐 장치를 통해서 오픈하는 방식으로 이루어진다.The puff replaces the conventional wafer cassette, and is sealed by a door during storage and transportation to prevent contamination of the wafer. In order to transfer the wafer to the equipment side, the sealed door is opened through the equipment side opening and closing device. It is done in a way.

한편, 반도체 설비는 여러 단계의 공정들을 거쳐 제조되므로 라인 내에 각각의 공정으로 이송하기 위한 반도체 운송 시스템이 필수적으로 구비되어야 한다.On the other hand, since the semiconductor equipment is manufactured through several steps of processes, a semiconductor transport system for transferring to each process in a line must be provided.

따라서, 반도체 생산라인에서는 OHT(Overhead Hoist Transport : 이하, 'OHT 장치'라 칭함), OHC(overhead conveyor) 또는 자동 안내 차량(automatic guided vehicle:AGV 혹은 RGV)과 같은 캐리어 이송 장치가 구비되며, 풉은 상기 캐리어 이송장치에 의해 로드 포트 상에 로딩 또는 언로딩된다.Therefore, the semiconductor production line is equipped with a carrier transport device such as OHT (Overhead Hoist Transport: hereinafter referred to as 'OHT device'), OHC (overhead conveyor) or automatic guided vehicle (AGV or RGV), Is loaded or unloaded on the load port by the carrier transport device.

한편, 종래 반도체 풉을 반송하는 OHT 장치는 풉 도어의 유무를 감지하는 감지센서를 구비하고 있다. 그런데 상기 감지센서는 풉 도어의 유무만을 감지할 뿐이어서 풉 내부 부품의 노후화 및 마모 또는 진동 등의 영향에 의해 풉과 풉 도어 사이의 결합이 느슨해지거나 풀려 풉 도어가 개방되더라도 이에 대해서는 상기 감지센서가 감지하지 못한다.On the other hand, the conventional OHT device for conveying the semiconductor pull is equipped with a detection sensor for detecting the presence or absence of the pull door. However, the detection sensor only detects the presence or absence of the pull door, so even if the coupling between the pull and the pull door is loosened or released due to the aging of the internal parts of the pull and the effect of abrasion or vibration, the detection sensor is used for this. Can't detect

상기와 같이 OHT 장치에 의해 이송중인 풉의 도어가 개방되는 경우, 도어 및 풉 내부의 제품이 낙하하는 문제점이 발생할 수 있으며 이는 위험 문제, 반도체 설비 전체의 생산성 저하 등으로 이어질 수 있다.When the door of the pool being transported is opened by the OHT device as described above, a problem in which the product inside the door and the pool falls may occur, which may lead to a risk problem, a decrease in productivity of the entire semiconductor facility and the like.

따라서, OHT 장치에 의해 이송되는 풉의 도어가 개방되는 것을 방지하여 고소 반송물의 안정성을 확보하고 웨이퍼와 같은 제품을 보호할 수 있는 풉 도어 오픈 방지 유닛이 요구되는 실정이다.Therefore, there is a need for a pull door opening prevention unit capable of preventing the opening of the door of the pull transferred by the OHT device to secure the stability of the high-altitude conveyance and protecting a product such as a wafer.

등록특허공보 제10-1374665(2014.03.10.)Registered Patent Publication No. 10-1374665 (2014.03.10.)

본 발명은 풉 도어를 지지하는 구성을 구비하여 OHT 장치에 의해 반송되는 풉의 노후화된 부품 또는 진동의 영향 등에 의해 풉과 풉 도어 사이의 결합이 풀리는 경우에도 풉 도어가 개방되는 것을 방지할 수 있는 풉 도어 오픈 방지 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention is provided with a configuration for supporting the pull door to prevent the pull door from being opened even when the coupling between the pull and the pull door is released due to the influence of the aged parts or vibration of the pull conveyed by the OHT device. It is an object to provide a pull door open prevention unit.

본 발명은 천장을 따라 구비되는 이송 레일과 결합하여 풉을 이송할 수 있도록 하는 OHT 장치가 풉의 양측에 배치되는 측면부재를 구비하고, 상기 측면부재의 내측에는 상기 풉의 도어를 향해 동작하는 풉 도어 오픈 방지 유닛이 구비되며, 상기 풉 도어 오픈 방지 유닛은, 풉 도어를 지지하는 도어 지지바;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention is provided with a side member which is arranged on both sides of the pool, the OHT device to allow the transfer of the pool in combination with a transfer rail provided along the ceiling, the inner side of the side member to move toward the door of the pool A door opening prevention unit is provided, and the pull door opening prevention unit includes a door support bar supporting a pull door.

또한, 상기 도어 지지바는 상기 풉의 높이보다 긴 수직바; 상기 수직바의 상단에 연결되는 상부 수평바; 상기 수직바의 하단에 연결되는 하부 수평바로 구성되며, 상기 측면부재의 내부에는 상기 수직바를 고정하기 위한 고정홈이 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the door support bar is a vertical bar longer than the height of the pull; An upper horizontal bar connected to an upper end of the vertical bar; It is composed of a lower horizontal bar connected to the lower end of the vertical bar, characterized in that a fixing groove for fixing the vertical bar is provided inside the side member.

또한, 상기 측면부재의 내부에는 상기 상부 수평바를 설치하기 위한 상부 설치부 및 상기 하부 수평바를 설치하기 위한 하부 설치부가 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the inside of the side member is characterized in that the upper mounting portion for installing the upper horizontal bar and the lower mounting portion for installing the lower horizontal bar is provided.

또한, 상기 상부 설치부 또는 하부 설치부에는 상기 도어 지지바를 동작하도록 동력을 제공하는 모터가 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the upper installation portion or the lower installation portion is characterized in that a motor for providing power to operate the door support bar is provided.

또한, 상기 측면부재에는 내측면을 형성하는 측판이 구비되며, 상기 측판에는 상기 도어 지지바가 이동될 수 있도록 상기 도어 지지바의 형상에 따라 형성된 관통홈이 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the side member is provided with a side plate forming an inner surface, and the side plate is provided with a through groove formed according to the shape of the door support bar so that the door support bar can be moved.

또한, 상기 풉 도어 오픈 방지 유닛은, 제어부를 구비하여 OHT 장치에 풉이 적재되면 도어 지지바가 상기 풉의 도어를 지지하는 위치로 이동하도록 하는 것을 특징으로 한다. In addition, the pull door opening prevention unit is characterized in that it has a control unit so that the door support bar moves to a position supporting the door of the pull when the pull is loaded in the OHT device.

본 발명에 의하면, 양측에 풉 도어 오픈 방지 유닛을 구비하는 OHT 장치는 풉 도어의 노후화된 부품 및 진동 등에 의해 풉과 풉 도어 사이의 결합이 느슨해지거나 풀리더라도 도어 지지바가 풉 도어를 지지하기 때문에 풉 도어의 개방을 방지할 수 있다.According to the present invention, the OHT device having the pull door open prevention unit on both sides is loosened because the door support bar supports the pull door even if the coupling between the pull and the pull door is loosened or released due to aging parts and vibration of the pull door. The opening of the door can be prevented.

또한, 본 발명은 풉 도어의 개방이 방지되므로 풉 도어 자체의 낙하를 방지하고 고소 반송물의 안정성이 확보되는 장점이 있다. In addition, the present invention has the advantage that the opening of the pull door is prevented, so that the fall of the pull door itself is prevented and the stability of the aerial transport is secured.

도 1은 본 발명에 따른 도어 지지바가 사용위치에 있는 OHT 장치 및 이에 적재된 풉을 도시한 정면도이다.
도 2는 도 1의 사시도 및 풉 도어 오픈 방지 유닛의 확대도이다.
도 3은 본 발명에 따른 도어 지지바가 보관위치에 있는 OHT 장치를 도시한 사시도이다.
도 4는 측판이 제거된 상태의 OHT 장치를 도시한 사시도이다.
도 5는 도 1의 하부 사시도이다.1 is a front view showing the OHT device and the pull loaded on the door support bar according to the present invention in the use position.
FIG. 2 is an enlarged view of the perspective view of FIG. 1 and the pull door opening prevention unit.
3 is a perspective view showing an OHT device in which the door support bar according to the present invention is in a storage position.
4 is a perspective view showing the OHT device in a side plate removed state.
5 is a bottom perspective view of FIG. 1.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세하게 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 첨가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 실시될 수 있음은 물론이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, when adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same components have the same reference numerals as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, when it is determined that the subject matter of the present invention may be obscured, the detailed description thereof will be omitted. In addition, although the embodiments of the present invention will be described below, the technical spirit of the present invention is not limited to or limited thereto, and can be practiced by those skilled in the art.

도 1은 본 발명에 따른 도어 지지바가 사용위치에 있는 OHT 장치 및 이에 적재된 풉을 도시한 정면도이고, 도 2는 도 1의 사시도 및 풉 도어 오픈 방지 유닛의 확대도이며, 도 3은 본 발명에 따른 도어 지지바가 보관위치에 있는 OHT 장치를 도시한 사시도이다. 또한, 도 4는 측판이 제거된 상태의 OHT 장치를 도시한 사시도이고, 도 5는 도 1의 하부 사시도이다.1 is a front view showing the OHT device and the pull loaded on the door support bar in use position according to the present invention, Figure 2 is a perspective view of Figure 1 and an enlarged view of the open door prevention unit, Figure 3 is the present invention It is a perspective view showing the OHT device in the door support bar according to the storage position. In addition, FIG. 4 is a perspective view showing the OHT device in a side plate removed state, and FIG. 5 is a lower perspective view of FIG. 1.

이하, 도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 풉 도어 오픈 방지 유닛을 설명한다.Hereinafter, a pull door opening prevention unit according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5.

상기 도면들은 풉 도어 오픈 방지 유닛을 설명하는데 필요하지 않은 구성들에 대해서는 생략하여 도시한다. The drawings are omitted for configurations that are not necessary to describe the pull door open prevention unit.

도 1을 참조하면, 풉(20)이 적재되고, 도어 지지바(30)가 풉 도어(21)를 지지하는 상태의 OHT 장치(10)가 도시된다. 도면에 도시된 바와 같이, OHT 장치(10)는 풉(20)의 양측에 배치되는 측면부재(11)를 구비하며, 측면부재(11)의 내측에는 풉 도어(21)를 향해 동작하는 풉 도어 오픈 방지 유닛이 양측으로 구비된다.  Referring to FIG. 1, the OHT device 10 in which the pull 20 is loaded and the door support bar 30 supports the pull door 21 is illustrated. As shown in the figure, the OHT device 10 is provided with side members 11 disposed on both sides of the pull 20, the inside of the side member 11, the pull door operating toward the pull door 21 Open prevention units are provided on both sides.

즉, 본 발명에 따른 풉 도어 오픈 방지 유닛은 OHT 장치(10)의 측면부재(11) 내측에 구비되는 것으로, 도어 지지바(30), 측판(40)에 형성된 관통홈(41), 상기 도어 지지바(30)를 설치하기 위한 상부 설치부(50), 하부 설치부(60)로 이루어진다.That is, the pull door opening prevention unit according to the present invention is provided inside the side member 11 of the OHT device 10, the door support bar 30, the through groove 41 formed in the side plate 40, the door It consists of an upper installation part 50 and a lower installation part 60 for installing the support bar 30.

구체적으로, 도어 지지바(30)는 수직바(31), 상부 수평바(32), 하부 수평바(33)로 이루어지며, 상기 수직바(31)는 OHT 장치(10)에 적재되는 풉(20)의 높이보다 길이가 길게 형성되고 원형의 단면을 갖는 바 형태이다.Specifically, the door support bar 30 is composed of a vertical bar 31, an upper horizontal bar 32, and a lower horizontal bar 33, the vertical bar 31 is a pool (loaded on the OHT device 10) It is formed in a length longer than the height of 20) and has a circular cross section.

상기 수직바(31)는 상단에 수직바(31)와 수직하도록 연결되는 상부 수평바(32)가 구비되며, 수직바(31)의 하단에는 상기 수직바(31)와 수직하도록 연결되는 하부 수평바(33)가 구비된다. 이때, 상기 상부 수평바(32)와 하부 수평바(33)는 평행하게 배치된다. 즉, 도어 지지바(30)는 길이가 긴 'ㄷ'자 형태를 갖는다. The vertical bar 31 is provided with an upper horizontal bar 32 which is vertically connected to the vertical bar 31 at the upper end, and a lower horizontal level that is vertically connected to the vertical bar 31 at the bottom of the vertical bar 31. A bar 33 is provided. At this time, the upper horizontal bar 32 and the lower horizontal bar 33 are arranged in parallel. That is, the door support bar 30 has a long 'U' shape.

한편, OHT 장치(10)의 측면부재(11) 내부에는 상기 도어 지지바(30)를 설치하기 위한 설치부가 구비된다.On the other hand, inside the side member 11 of the OHT device 10 is provided with an installation portion for installing the door support bar 30.

구체적으로, 도 4를 참조하면, 상부 수평바(32)의 수직바(31)와 연결되지 않은 단부가 설치되는 상부 설치부(50) 및 하부 수평바(33)의 수직바(31)와 연결되지 않은 단부가 설치되는 하부 설치부(60)가 구비된다.Specifically, referring to FIG. 4, the upper installation portion 50 and the lower horizontal bar 33 of the vertical bar 31 connected to the vertical bar 31 of the upper horizontal bar 32 are connected to the vertical bar 31. The lower installation portion 60 is provided with an end that is not installed.

상부 수평바(32)와 하부 수평바(33)는 상부 설치부(50)와 하부 설치부(60)에 각각 측방으로 회전가능하게 설치된다. The upper horizontal bar 32 and the lower horizontal bar 33 are rotatably installed to the upper installation portion 50 and the lower installation portion 60, respectively.

또한, 상부 설치부(50)에는 모터(51)가 구비되어 도어 지지바(30)가 동작하기 위한 동력을 제공한다. In addition, the upper installation unit 50 is provided with a motor 51 to provide power for the door support bar 30 to operate.

또한, OHT 장치(10)의 측면부재(11) 내부에는 수직바(31)를 고정하기 위한 고정홈(62)이 구비된다. In addition, a fixing groove 62 for fixing the vertical bar 31 is provided inside the side member 11 of the OHT device 10.

따라서, 도어 지지바(30)가 보관위치 상태일 때 수직바(31)는 고정홈(62)에 고정된다. Therefore, when the door support bar 30 is in the storage position, the vertical bar 31 is fixed to the fixing groove 62.

한편, 도 2 및 3을 참조하면, 측면부재(11)는 내부에 구비된 상기 구성들을 덮어주는 측판(40)을 구비하게 된다. 즉, 측판(40)은 측면 부재의 내측면으로써의 역할을 한다. 이때 측판(40)에는 도어 지지바(30)가 보관위치와 사용위치 사이에서 이동할 수 있도록 관통홈(41)이 구비된다.On the other hand, referring to Figures 2 and 3, the side member 11 is provided with a side plate 40 that covers the components provided therein. That is, the side plate 40 serves as an inner surface of the side member. At this time, the side plate 40 is provided with a through groove 41 so that the door support bar 30 can move between the storage position and the use position.

상기 관통홈(41)은 도어 지지바(30)의 형상을 따라 'ㄷ'자 형태로 형성되는 것이 바람직하다. The through groove 41 is preferably formed in the shape of a 'c' along the shape of the door support bar 30.

한편, 본 발명에 따른 OHT 장치는 제어부(미도시)를 구비하여 OHT 장치(10)에 풉(20)이 적재되면 도어 지지바(30)가 상기 풉 도어(21)를 지지하는 위치로 이동하도록 한다. On the other hand, the OHT device according to the present invention is provided with a control unit (not shown) so that when the pull 20 is loaded on the OHT device 10, the door support bar 30 moves to a position supporting the pull door 21. do.

구체적으로 상기 도어 지지바(30)는 OHT 장치(10)의 고정홈(62)에 고정된 상태로 구비되었다가 풉(20)이 적재되면, 풉 도어(21)의 양측 전방에서 풉 도어(21)를 지지하도록 하는 사용위치로 이동된다. Specifically, the door support bar 30 is provided in a fixed state in the fixing groove 62 of the OHT device 10, and when the pull 20 is loaded, the pull door 21 from both front sides of the pull door 21 ).

도 1 내지 2 및 도 5를 참조하면, 사용 위치에서 도어 지지바(30)의 수직바(31)는 풉 도어(21) 전면을 지지하고, 수평바(32, 33)는 풉 도어(21)의 상하면을 지지하게 된다. 1 to 2 and 5, the vertical bar 31 of the door support bar 30 in the use position supports the front of the pull door 21, and the horizontal bars 32 and 33 are pull doors 21. It supports the upper and lower surfaces of the.

이에 의해 OHT 장치(10)에 의해 반송중인 풉(20)은 도어(21)가 개방되는 것을 예방할 수 있다.Thereby, the pull 20 being conveyed by the OHT device 10 can prevent the door 21 from being opened.

또한, 도시되지 않았지만, OHT 장치(10)에는 풉 도어의 유무를 감지하는 풉 도어 오픈 감지센서가 구비되는 것도 가능하다. In addition, although not shown, it is also possible that the OHT device 10 is provided with a pull door open detection sensor that detects the presence or absence of a pull door.

이와 같이, 본 발명에 따른 풉 도어 오픈 방지 유닛은 도어 지지바(30)가 OHT 장치(10)에 적재되어 이송중인 풉의 도어(21)의 전면 및 상하면를 지지하여 풉 도어(21)와 풉(20) 사이의 결합이 해제되더라도 풉 도어(21)가 개방되는 것을 방지할 수 있어 풉 도어(21)의 낙하, 풉 내부의 제품에 대한 안전성 확보 등이 가능하여 매우 유용한 것이다. As described above, in the pull door opening prevention unit according to the present invention, the door support bar 30 is loaded on the OHT device 10 to support the front and upper and lower surfaces of the door 21 of the pool being transported, and the pull door 21 and the pull ( 20) Even if the coupling between the release is released, it is possible to prevent the pull door 21 from opening, so it is possible to drop the pull door 21, secure the safety of the product inside the pull, and is very useful.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 청구 범위에 의해서 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical spirit of the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains may make various modifications, changes, and substitutions without departing from the essential characteristics of the present invention. will be. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention and the accompanying drawings are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain the scope of the technical spirit of the present invention. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the claims, and all technical spirits within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

10 : OHT 장치 20 : 풉
21 : 풉 도어 30 : 도어 지지바
31 : 수직바 32 : 상부 수평바
40 : 측판 50 : 상부 설치부10: OHT device 20: pull
21: pull door 30: door support bar
31: vertical bar 32: upper horizontal bar
40: side plate 50: upper mounting portion

Claims (6)

천장을 따라 구비되는 이송 레일과 결합하여 풉을 이송할 수 있도록 하는 OHT 장치로서,
상기 풉의 양측에 배치되고, 내측면을 형성하는 측판이 구비되며, 상기 측판에는 관통홈이 형성된 측면부재; 및
상기 측면부재의 내측에 구비된 풉 도어 오픈 방지 유닛을 포함하며,
상기 풉 도어 오픈 방지 유닛은,
상기 측면부재의 내측에 보관되는 보관위치와 상기 풉의 도어를 지지하는 사용위치 사이를 이동할 수 있도록 상기 관통홈의 형상에 따라 구비된 도어 지지바;
상기 측면부재의 내부에 구비되고, 상기 도어 지지바를 설치하기 위한 상부 설치부 및 하부 설치부; 및
상기 상부 설치부 또는 상기 하부 설치부에 구비되어 상기 도어 지지바가 상기 풉 도어를 향해 동작하도록 동력을 제공하는 모터를 포함하며,
상기 도어 지지바는,
상기 풉의 높이보다 길게 형성되고, 상기 풉 도어의 전면을 지지하는 수직바; 및
상기 수직바의 상단 및 하단 각각에 수직하게 연결되고, 상기 상부 설치부 및 상기 하부 설치부 각각에 회전 가능하게 설치되며, 상기 사용위치에서 상기 풉 도어의 상하면을 지지하는 상부 수평바 및 하부 수평바를 포함하며,
상기 측면부재는 내부에 상기 수직바를 고정하기 위한 고정홈이 구비되고,
상기 도어 지지바는 상기 보관위치에서 상기 고정홈에 고정된 상태로 구비되었다가 상기 OHT 장치에 상기 풉이 적재되면 상기 사용위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 OHT 장치.As an OHT device that can be used to transfer the pool in combination with a transfer rail provided along the ceiling,
A side member disposed on both sides of the pool, and having side plates forming an inner surface, wherein the side plates are formed with through grooves; And
It includes a pull door opening prevention unit provided inside the side member,
The pull door opening prevention unit,
A door support bar provided according to the shape of the through groove to move between a storage position stored inside the side member and a use position supporting the door of the pool;
It is provided inside the side member, the upper installation portion and the lower installation portion for installing the door support bar; And
It includes a motor provided on the upper installation portion or the lower installation portion to provide power to the door support bar to operate toward the pull door,
The door support bar,
A vertical bar formed longer than the height of the pull and supporting the front surface of the pull door; And
The upper horizontal bar and the lower horizontal bar which are vertically connected to each of the upper and lower ends of the vertical bar, are rotatably installed in each of the upper installation part and the lower installation part, and support the upper and lower surfaces of the pull door at the use position. Includes,
The side member is provided with a fixing groove for fixing the vertical bar therein,
The door support bar is provided in a state fixed to the fixing groove in the storage position, the OHT device characterized in that when the pool is loaded on the OHT device moves to the use position. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 풉 도어 오픈 방지 유닛은, 제어부를 구비하여 OHT 장치에 풉이 적재되면 도어 지지바가 상기 풉의 도어를 지지하는 위치로 이동하도록 하는 것을 특징으로 하는 OHT 장치.
According to claim 1,
The pull door open prevention unit is equipped with a control unit, the OHT device characterized in that when the pull is loaded on the OHT device, the door support bar moves to a position supporting the door of the pull.
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