KR102096311B1 - Preparation method of body-centered cubic high-entropy alloy powder and the powder thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 체심입방구조 고엔트로피 합금 재료를 진공 아크 재용해법에 의해 용해하여 잉곳(ingot)을 형성하는 단계; 상기 잉곳(ingot)을 수소 분위기에서 열처리하여 격자 팽창에 의해 조분쇄하여 조분쇄물을 형성하는 단계; 상기 조분쇄물을 밀링(milling)하여 미분쇄물을 형성하는 단계; 및 상기 미분쇄물을 진공 열처리하여 수소를 제거하여 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조방법을 제공하여, 밀링(milling) 시간을 단축시키고 밀링 미디어(milling media)로부터 철 성분 유입 및 산화로 인해 발생하는 분말 오염의 문제를 해결할 수 있으면서도 고온에서 기계적 강도가 우수한 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 제조할 수 있는 효과가 있다.An embodiment of the present invention comprises the steps of forming an ingot by dissolving the body-centered cubic structure high-entropy alloy material by a vacuum arc remelting method; Heat-treating the ingot in a hydrogen atmosphere to coarsely pulverize by lattice expansion to form a coarse pulverized material; Milling the coarse pulverized material to form a fine pulverized material; And forming a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder by vacuum-treating the finely pulverized material to remove hydrogen, thereby providing a method for manufacturing a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder, and milling time. It is possible to shorten and solve the problem of powder contamination caused by iron component inflow and oxidation from milling media, but has the effect of producing a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder having excellent mechanical strength at high temperatures.

Description

체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조방법 및 그 방법으로 제조된 분말 {Preparation method of body-centered cubic high-entropy alloy powder and the powder thereof}Method of manufacturing a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder and powder produced by the method {Preparation method of body-centered cubic high-entropy alloy powder and the powder thereof}

본 발명은 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조방법 및 그 방법으로 제조된 분말에 관한 것으로, 보다 상세하게는 체심입방구조 고엔트로피 합금 재료의 잉곳(ingot)을 수소 분위기에서 열처리하여 금속의 수소 취성에 의해 조분쇄함으로써 분쇄 공정을 용이하게 하는 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder and a powder produced by the method, and more specifically, to heat the ingot of the body-centered cubic structure high-entropy alloy material in a hydrogen atmosphere to hydrogen embrittlement of metals. It relates to a manufacturing method that facilitates the grinding process by coarse pulverization.

도 1에 도시된 바와 같이, 전통적으로 일반적인 합금(100)은 철, 구리, 알루미늄, 마그네슘, 티타늄과 같은 주요 원소(101)와 다양한 소량의 합금 원소(102)로 구성되어 있다. 통상적으로, 기존 다원소 합금의 경우, 합금 원소(102)의 수와 양이 증가할수록 재료의 기계적 성질을 취약하게 하는 금속간 화합물을 형성한다.As shown in FIG. 1, traditionally, the common alloy 100 is composed of main elements 101 such as iron, copper, aluminum, magnesium, and titanium, and various small amounts of alloying elements 102. Typically, in the case of conventional multi-element alloys, as the number and amount of alloying elements 102 increases, an intermetallic compound that weakens the mechanical properties of the material is formed.

고엔트로피 합금(High-entropy alloy, HEA)은 주요 원소로 특정할 수 없는 비슷한 분율의 다수의 주요 원소로 구성되어 있기 때문에 높은 구성 엔트로피로 인해 금속간 화합물이 형성되지 않고, 면심입방구조 혹은 체심입방구조 계열의 단상을 형성한다. 이러한 고엔트로피 합금의 조성 및 구조적 특수성은 심각한 격자 왜곡으로 인한 고강도 및 인성, 인코넬(Inconel)과 같은 초합금보다 우수한 고온 강도, 구조적 안정성을 가지며 크리프 저항성과 확산속도가 낮고, 용접성이 좋으며, 변형경화 능력이 크고, 유동응력의 변형률 민감도가 높은 특성을 나타낸다고 알려져 있다. 상온에서 칸토(Cantor) 합금으로 대표되는 고엔트로피 합금의 일반적인 내부식성은 304S 스테인레스 강재보다 우수하다. 이러한 뛰어난 특성으로 인해 고엔트로피 합금은 유망한 다기능 재료 및 차세대 구조 재료로 각광받고 있다.High-entropy alloy (HEA) is composed of a number of major elements of similar proportions that cannot be specified as the main element, so that no intermetallic compound is formed due to the high composition entropy, and the face-centered cubic structure or body-centered cubic Forms a single-phase structure. The composition and structural specificity of these high-entropy alloys are high strength and toughness due to severe lattice distortion, high temperature strength, structural stability, superior to superalloy such as Inconel, low creep resistance, low diffusion rate, good weldability, and strain hardening ability. It is known that this exhibits a large and high strain sensitivity of the flow stress. At room temperature, the general corrosion resistance of high-entropy alloys, represented by Cantor alloys, is superior to 304S stainless steel. Due to these outstanding properties, high-entropy alloys are spotlighted as promising multi-functional materials and next-generation structural materials.

도 2는 고엔트로피 합금(200)의 구조를 나타낸 것이다. 5종의 원소가 합금을 구성하고 있으며, 구성 원소의 분율이 비슷하여 주요 원소를 특정할 수 없다. 또한 격자가 심하게 찌그러진 구조를 보여준다.Figure 2 shows the structure of the high-entropy alloy 200. The five elements make up the alloy, and the fractions of the constituent elements are similar, so the main element cannot be identified. It also shows a very distorted grid.

고엔트로피 합금은 단상 형성에 따라 면심입방구조(face-centered cubic, FCC) 및 체심입방구조(Body-centered cubic, BCC) 계열로 구분된다. 면심입방구조 고엔트로피 합금으로 대표적인 것은 Fe-Co-Cr-Mn-Ni가 있으며, 면심입방구조 고엔트로피 합금은 낮은 적층결함에너지를 가져 극저온에서 높은 강도와 연성을 나타낸다. 체심입방구조 고엔트로피 합금은 면심입방구조 고엔트로피 합금 대비 녹는점이 높은 W, Mo, Ti 등의 원소가 혼합되며, 고온에서 기계적 강도가 우수하여 우주, 항공용 부품이나 가스터빈 등에 사용된다.High-entropy alloys are divided into face-centered cubic (FCC) and body-centered cubic (BCC) series according to single-phase formation. The typical face-centered cubic high-entropy alloy is Fe-Co-Cr-Mn-Ni, and the face-centered cubic high-entropy alloy has low lamination defect energy and shows high strength and ductility at cryogenic temperatures. The body-centered cubic structure high-entropy alloy is mixed with elements such as W, Mo, Ti, which have a higher melting point than the face-centered cubic structure high-entropy alloy, and is excellent in mechanical strength at high temperatures, and is used in space, aviation parts, gas turbines, etc.

고엔트로피 합금의 제조방법으로 대표적인 것은 기계적 합금화(Mechanical alloying, MA)이다. 기계적 합금화는 분말이 단단한 볼 등의 충격에 의해 합금이 형성되는 과정을 의미한다. 기계적 합금화의 원리는 용기가 회전함에 따라 볼과 재료가 충돌하면서 가공경화, 평탄화, 냉간 접합, 균열 과정이 반복되면서 합금화가 진행되는 것이다. 기계적 합금화 공정은 많은 장점을 가지고 있다. 실온 또는 그 이하의 온도에서 공정이 가능하며, 녹는점 차이가 커서 주조 방법으로 제조할 수 없는 재료도 제조가 가능하다. 또한, 주조 방법이 가지는 편석과 같은 문제점을 최소화할 수 있다.A representative method of manufacturing a high-entropy alloy is mechanical alloying (MA). Mechanical alloying refers to a process in which the powder is formed by impact of a hard ball or the like. The principle of mechanical alloying is that alloying progresses as the ball and material collide as the container rotates, and the process of hardening, flattening, cold bonding, and cracking is repeated. The mechanical alloying process has many advantages. It is possible to process at a temperature of room temperature or lower, and it is possible to manufacture materials that cannot be produced by a casting method due to a large melting point difference. In addition, problems such as segregation of the casting method can be minimized.

그러나, 고엔트로피 합금의 제조방법으로 기계적 합금화가 사용된 것은 주로 녹는점이 상대적으로 낮은 면심입방구조 고엔트로피 합금에서였고, 상대적으로 녹는점이 높고 기계적 강도가 높은 체심입방구조 고엔트로피 합금을 기계적 합금화를 통해 제조하려면 장시간의 공정이 필요한 문제가 있다. 또한 장시간 공정 중 밀링(milling) 용기와 밀링 미디어(milling media)로부터 철 성분이 유입되거나, 산화로 인해 최종 생성되는 고엔트로피 합금 분말의 오염 문제가 발생하였다.However, mechanical alloying was used as a method of manufacturing a high-entropy alloy mainly in a face-centered cubic high-entropy alloy having a relatively low melting point, and a body-centered cubic structure high-entropy alloy having a relatively high melting point and high mechanical strength through mechanical alloying. There is a problem that requires a long process to manufacture. In addition, during the long-time process, a contamination problem of a high-entropy alloy powder finally generated due to oxidation or inflow of iron components from a milling vessel and a milling media occurred.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말의 제조에 있어서 밀링(milling) 시간을 단축시키고 밀링 미디어(milling media)로부터 철 성분 유입 및 산화로 인해 발생하는 분말 오염의 문제를 해결할 수 있으면서도 고온에서 기계적 강도가 우수한 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 제조할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is to solve the above-mentioned problems, shorten the milling time in the manufacture of the body-centered cubic high-entropy alloy powder and due to the iron component inflow and oxidation from the milling media. It is to provide a method for manufacturing a high-entropy alloy powder of a body-centered cubic structure having excellent mechanical strength at high temperatures while being able to solve the problem of powder contamination occurring.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description. There will be.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예는 체심입방구조 고엔트로피 합금 재료를 진공 아크 재용해법에 의해 용해하여 잉곳(ingot)을 형성하는 단계; 상기 잉곳(ingot)을 수소 분위기에서 열처리하여 격자 팽창에 의해 조분쇄하여 조분쇄물을 형성하는 단계; 상기 조분쇄물을 밀링(milling)하여 미분쇄물을 형성하는 단계; 및 상기 미분쇄물을 진공 열처리하여 수소를 제거하여 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고엔트로피 합금 분말 제조방법을 제공한다.In order to achieve the above technical problem, an embodiment of the present invention comprises the steps of dissolving a body-centered cubic high-entropy alloy material by a vacuum arc remelting method to form an ingot; Heat-treating the ingot in a hydrogen atmosphere to coarsely pulverize by lattice expansion to form a coarse pulverized material; Milling the coarse pulverized material to form a fine pulverized material; And removing the hydrogen by vacuum heat-treating the finely pulverized material to form a high-entropy alloy powder having a body-centered cubic structure.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 체심입방구조 고엔트로피 합금 재료는 W, Ta, Mo, Nb, Cr, V, Ti, Hf 및 Zr 중 선택된 4가지 이상을 포함하는 것일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the body-centered cubic structure high-entropy alloy material may include four or more selected from W, Ta, Mo, Nb, Cr, V, Ti, Hf and Zr.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 체심입방구조 고엔트로피 합금 재료는 Mn, Fe, Co, Ni, Cu 및 Al 중 선택된 하나 이상을 추가로 포함하는 것일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the body-centered cubic structure high-entropy alloy material may further include one or more selected from Mn, Fe, Co, Ni, Cu and Al.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 수소 분위기에서 열처리는 수소 100%의 조건에서 수행될 수 있다.In one embodiment of the present invention, heat treatment in the hydrogen atmosphere may be performed under the condition of 100% hydrogen.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 수소 분위기에서 열처리는 450 내지 1200℃의 열처리 온도에서 수행될 수 있다.In one embodiment of the invention, the heat treatment in the hydrogen atmosphere may be performed at a heat treatment temperature of 450 to 1200 ℃.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 수소 분위기에서 열처리는 3 내지 7℃/분의 승온속도로 상기 열처리 온도에 도달하여 90분 내지 150분 동안 유지하는 것일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the heat treatment in the hydrogen atmosphere may be maintained for 90 minutes to 150 minutes by reaching the heat treatment temperature at a heating rate of 3 to 7 ℃ / min.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 수소 분위기에서 열처리시 수소의 이슬점은 -20℃ 미만일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the dew point of hydrogen during heat treatment in the hydrogen atmosphere may be less than -20 ° C.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 잉곳(ingot)과 조분쇄물을 Cu Kα X-선 회절 분석하였을 때, 잉곳(ingot)에 비하여 조분쇄물의 110 피크의 각도가 0.1도 이상 왼쪽으로 이동할 수 있다.In one embodiment of the present invention, when the ingot (ingot) and coarse pulverized by Cu Kα X-ray diffraction analysis, the angle of 110 peaks of the coarse pulverized material may be shifted to the left by 0.1 degrees or more compared to the ingot. have.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 밀링(milling)은 수평식 밀(Horizontal mill), 어트리션 밀(Atrrition mill), 플래너터리 밀(Planetary mill) 및 햄머 밀(hammer-mill) 중 선택된 어느 하나에 의해 수행될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the milling (milling) is a horizontal mill (Horizontal mill), Attrition mill (Atrrition mill), planetary mill (Planetary mill) and a hammer mill (hammer-mill) selected from any one It can be done by one.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 밀링(milling)은 20 내지 60분 동안 수행될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the milling can be performed for 20 to 60 minutes.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 실시예는 상기 제조방법으로 제조된 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 제공한다.In order to achieve the above technical problem, another embodiment of the present invention provides a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder prepared by the above manufacturing method.

본 발명의 실시예에 따르면, 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말의 제조에 있어서 밀링(milling) 시간을 단축시키고 밀링 미디어(milling media)로부터 철 성분 유입 및 산화로 인해 발생하는 분말 오염의 문제를 해결할 수 있으면서도 고온에서 기계적 강도가 우수한 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 제조할 수 있는 방법을 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, in the production of the body-centered cubic structure high-entropy alloy powder, it is possible to shorten the milling time and solve the problem of powder contamination caused by iron component inflow and oxidation from the milling media. It is possible to provide a method for manufacturing a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder having excellent mechanical strength at high temperatures.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that the effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and include all effects that can be deduced from the configuration of the invention described in the detailed description or claims of the present invention.

도 1은 일반적인 합금의 구조를 나타낸 구조도이다.
도 2는 고엔트로피 합금의 구조를 나타낸 구조도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조방법의 모식도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 수소 열처리 전후 잉곳(ingot)과 조분쇄물의 비교 사진이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳(ingot)과 조분쇄물의 비커스 경도(Vickers hardness)를 시험한 사진이다.
도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳(ingot)과 조분쇄물의 Cu Kα X-선 회절 분석에서 110 피크를 비교한 그래프이다.
1 is a structural diagram showing the structure of a general alloy.
2 is a structural diagram showing the structure of a high-entropy alloy.
3 is a schematic diagram of a method for manufacturing a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder according to an embodiment of the present invention.
4 is a comparative picture of ingots and coarse pulverized before and after hydrogen heat treatment according to an embodiment of the present invention.
5 is a photograph of testing the Vickers hardness of the ingot and the coarsely pulverized material according to an embodiment of the present invention.
6 is a graph comparing 110 peaks in Cu Kα X-ray diffraction analysis of an ingot and a coarsely pulverized product according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be implemented in various different forms, and thus is not limited to the embodiments described herein. In addition, in order to clearly describe the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and like reference numerals are assigned to similar parts throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is "connected (connected, contacted, coupled)" to another part, this is not only when it is "directly connected", but also "indirectly" with another member in between. "It also includes the case where it is. Also, when a part is said to “include” a certain component, this means that other components may be further provided instead of excluding the other component unless otherwise stated.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in this specification are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this specification, terms such as “include” or “have” are intended to indicate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, and that one or more other features are present. It should be understood that the existence or addition possibilities of fields or numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이하, 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a method for manufacturing a high-entropy alloy powder with a body-centered cubic structure will be described.

도 3은 본 발명의 일 실시예를 모식적으로 나타낸 것이다. 본 발명은 체심입방구조 고엔트로피 합금 재료를 진공 아크 재용해법에 의해 용해하여 잉곳(ingot)을 형성하는 단계(S100); 상기 잉곳(ingot)을 수소 분위기에서 열처리하여 격자 팽창에 의해 조분쇄하여 조분쇄물을 형성하는 단계(S200); 상기 조분쇄물을 밀링(milling)하여 미분쇄물을 형성하는 단계(S300); 및 상기 미분쇄물을 진공 열처리하여 수소를 제거하여 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 형성하는 단계(S400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조방법을 제공한다.3 schematically shows an embodiment of the present invention. The present invention is a step of forming an ingot (ingot) by dissolving the body-centered cubic structure high-entropy alloy material by a vacuum arc re-dissolution method (S100); Heat-treating the ingot in a hydrogen atmosphere to coarsely pulverize by lattice expansion (S200); Forming a fine pulverized material by milling the coarse pulverized material (S300); And forming a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder by removing the hydrogen by vacuum heat-treating the finely pulverized material (S400).

상기 체심입방구조 고엔트로피 합금 재료는 W, Ta, Mo, Nb, Cr, V, Ti, Hf 및 Zr 중 선택된 4가지 이상을 포함한다. 상기 금속 원소는 녹는점이 높은 편이고, 기계적 강도가 우수하며, 비슷한 분율로 합금 생성시 체심입방구조 고엔트로피 합금을 형성한다. 단일 금속도 강도가 높기 때문에 밀링(milling)에 의해 가공이 쉽지 않은 편이며, 따라서 기계적 합금화를 진행하기 위해서는 밀링(milling) 시간을 단축시킬 방법을 필요로 한다.The body-centered cubic structure high-entropy alloy material includes four or more selected from W, Ta, Mo, Nb, Cr, V, Ti, Hf, and Zr. The metal element has a high melting point, excellent mechanical strength, and forms a high-entropy alloy with a body-centered cubic structure when producing an alloy with a similar fraction. Since a single metal also has high strength, it is not easy to process by milling. Therefore, a method of shortening the milling time is required to proceed with mechanical alloying.

상기 합금 재료는 둘 이상 원소의 합금 또는 단일 금속의 형태로 준비될 수 있으며, 이들의 혼합물 형태로도 준비될 수 있다. 예를 들어 목적하는 체심입방구조 고엔트로피 합금의 구성 원소가 W, Ta, Nb, V, Ti이라면, 상기 원소 각각이 단일 금속의 형태로 준비될 수 있고, W-Ta 합금과 Nb-V-Ti 합금의 형태로도 준비될 수 있으며, W-Ta 합금과 Nb, V, Ti 각각의 단일 금속 형태로 준비될 수도 있다.The alloy material may be prepared in the form of an alloy of two or more elements or a single metal, or a mixture thereof. For example, if the constituent elements of the desired body-centered cubic structure high-entropy alloy are W, Ta, Nb, V, Ti, each of the above elements can be prepared in the form of a single metal, and the W-Ta alloy and Nb-V-Ti It may be prepared in the form of an alloy, or may be prepared in a single metal form of each of W-Ta alloy and Nb, V, Ti.

또한 상기 체심입방구조 고엔트로피 합금 재료는 Mn, Fe, Co, Ni, Cu 및 Al 중 선택된 하나 이상을 추가로 포함할 수 있다.In addition, the body-centered cubic high-entropy alloy material may further include at least one selected from Mn, Fe, Co, Ni, Cu, and Al.

상기 S100 단계에서 사용되는 진공 아크 재용해법(Vacuum Arc Remelting, VAR)은 1차 정련된 금속을 가느다란 전극 형태로 주조해 진공함 속에서 수냉 몰드 속에 아크를 발생시키면 전극봉 선단으로부터 순차적으로 용융하여 몰드 내에 적하시키는 방법을 말한다. 적하 도중에 탈가스화 등의 과정을 거치므로 정련도가 높아지는 장점이 있고, 녹는점이 높은 고강도 금속 등의 용해에 사용된다. 본 발명에서는 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조를 위해 녹는점이 높은 금속들을 주로 용해하게 되므로 진공 아크 재용해법을 이용해 잉곳(ingot)을 형성한다.The vacuum arc remelting method (VAR) used in the step S100 is casting the first refined metal in a thin electrode form, generating arcs in a water-cooled mold in a vacuum, and sequentially melting from the tip of the electrode rod It means the method of dripping in. Since it undergoes a process such as degassing during dropping, it has the advantage of increasing the refining degree, and is used for melting high-strength metals such as high melting points. In the present invention, since the metal having a high melting point is mainly dissolved for manufacturing a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder, an ingot is formed using a vacuum arc remelting method.

잉곳(ingot)이 형성되면 S200 단계에서는 이를 수소 분위기에서 열처리한다. 수소 분위기에서 열처리는 수소 100%의 조건에서 수행될 수 있다. 열처리를 위한 노(furnace) 내부에 잉곳(ingot)을 위치시킨 다음, 수소를 주입하고 외부에서 가열하여 열처리할 수 있다. 노의 종류는 유도가열식, 가스가열식, 혼합식 등이 있을 수 있으며, 잉곳(ingot)과 수소를 주입하고 밀봉하여 가열할 수 있는 구조를 가진 것이면 어느 것이든 한정되지 않는다.When an ingot is formed, in step S200, it is heat treated in a hydrogen atmosphere. Heat treatment in a hydrogen atmosphere may be performed under conditions of 100% hydrogen. After placing an ingot inside the furnace for heat treatment, hydrogen can be injected and heated externally to heat treatment. The type of furnace may be an induction heating type, a gas heating type, a mixing type, and the like, and is not limited as long as it has a structure capable of heating by injecting and sealing ingots and hydrogen.

수소 분위기에서 열처리 하게 되면, 잉곳(ingot)은 수소를 받아들여 내부로 확산하게 된다. 열처리가 진행될수록 확산되는 수소의 양이 많아지고, 수소에 의해 잉곳(ingot)의 취성이 높아지게 된다. 이는 수소에 의한 잉곳(ingot) 내부 금속 격자의 팽창에 의한 것이며, 팽창이 심해지면 잉곳(ingot)은 결국 조분쇄되어 조각으로 갈라지게 된다. 수소의 양이 많을수록 취화의 정도가 심해지며 본 발명에서는 취성을 높이는 것이 목적이므로 수소 100%의 조건에서 열처리하는 것이다.When heat treated in a hydrogen atmosphere, ingots receive hydrogen and diffuse into it. The amount of hydrogen diffused increases as the heat treatment progresses, and the brittleness of the ingot is increased by hydrogen. This is due to the expansion of the metal lattice inside the ingot by hydrogen, and when the expansion becomes severe, the ingot eventually becomes coarsely crushed and split into pieces. The greater the amount of hydrogen, the greater the degree of embrittlement, and in the present invention, the purpose is to increase the brittleness, so heat treatment is performed under the condition of 100% hydrogen.

수소 분위기에서 열처리는 450 내지 1200℃의 열처리 온도에서 수행될 수 있다. 450℃ 미만의 온도에서는 수소 취성이 충분히 유발되지 않으므로 바람직하지 않고, 1200℃를 초과하는 온도에서는 투입되는 에너지 대비 수소 취성 유발 및 분쇄 효율이 떨어지게 되므로 바람직하지 않다. 상기 범위 내에서 수소 취성이 유발된 잉곳(ingot)은 조분쇄되어 이후 S300 공정에서의 분쇄 효율이 높아지게 된다.Heat treatment in a hydrogen atmosphere may be performed at a heat treatment temperature of 450 to 1200 ° C. At temperatures below 450 ° C, hydrogen embrittlement is not sufficiently induced, so it is not preferable. At temperatures above 1200 ° C, hydrogen embrittlement and crushing efficiency are lowered compared to the energy input. The ingot (ingot) in which hydrogen embrittlement is induced within the above range is coarsely pulverized to increase the grinding efficiency in the subsequent S300 process.

상기 열처리 온도까지 승온은 3 내지 7℃/분의 승온속도로 이루어질 수 있다. 3℃/분의 속도 미만으로 승온하는 경우 열처리 시간이 너무 길어져 바람직하지 않고, 7℃/분의 승온 속도를 초과하는 경우 가열에 투입되는 에너지 대비 공정 효율이 떨어지게 되므로 바람직하지 않다.The temperature rise up to the heat treatment temperature may be made at a heating rate of 3 to 7 ° C / min. When heating at a rate of less than 3 ° C / min, the heat treatment time is too long, which is undesirable, and when it exceeds a temperature of 7 ° C / min, it is not preferable because the process efficiency compared to the energy input to the heating decreases.

상기 열처리 온도까지 도달하면 90분 내지 150분 동안 온도를 유지하여 열처리할 수 있다. 90분 미만의 시간은 열처리가 충분히 이루어지지 않아 수소 취성 유발이 충분하지 못할 수 있으므로 바람직하지 않고, 150분을 초과하는 시간은 공정 시간이 길어지고, 가열에 투입되는 에너지 대비 수소 취성 유발 효율이 떨어지게 되므로 바람직하지 않다.When the heat treatment temperature is reached, heat treatment may be performed by maintaining the temperature for 90 minutes to 150 minutes. The time of less than 90 minutes is not preferable because the heat treatment is not sufficiently performed, so that hydrogen embrittlement may not be sufficient, and the time exceeding 150 minutes may increase the process time and decrease the efficiency of hydrogen embrittlement compared to the energy input to heating. This is not preferred.

상기 수소 분위기에서 열처리시 수소의 이슬점은 -20℃ 미만일 수 있다. 수소는 산소와 반응하여 수증기를 발생시킨다. 수소의 이슬점이 높다는 것은 그만큼 반응기 내의 산소 농도 또는 반응물에 포함된 산소의 농도도 높다는 것을 의미한다. 산소의 농도가 높아지고 또한 수소의 이슬점이 높아지면 열처리하는 잉곳(ingot)에 오염을 일으키게 된다. 산소는 체심입방구조 고엔트로피 합금에서 불순물로 작용하여 합금의 특성을 약화시키므로 농도가 높아지지 않는 것이 바람직하다. 예를 들어 수소 100% 반응기 조건에서 수소의 이슬점이 -20℃ 미만일 때, 열처리 전 잉곳(ingot)에 포함된 산소의 농도가 0.13wt%면 열처리 후 조분쇄물에 포함된 산소 농도는 0.15wt% 이하일 수 있다. -20℃ 이상의 이슬점에서는 산소 농도가 크게 증가할 수 있으므로 바람직하지 않다.When heat treatment in the hydrogen atmosphere, the dew point of hydrogen may be less than -20 ° C. Hydrogen reacts with oxygen to generate water vapor. The high dew point of hydrogen means that the concentration of oxygen in the reactor or the concentration of oxygen contained in the reactant is high. When the concentration of oxygen increases and the dew point of hydrogen increases, contamination of the ingot to be heat treated is caused. Oxygen acts as an impurity in the body-centered cubic high-entropy alloy, which weakens the properties of the alloy, so it is preferable that the concentration is not increased. For example, when the dew point of hydrogen is less than -20 ° C in a 100% hydrogen reactor condition, if the concentration of oxygen contained in the ingot before heat treatment is 0.13 wt%, the oxygen concentration contained in the crude pulverized material after heat treatment is 0.15 wt% It may be: At dew points above -20 ° C, the oxygen concentration can increase significantly, which is not desirable.

도 4는 수소 열처리 전후 잉곳(ingot)과 조분쇄물의 형태를 나타낸 사진이다. 수소 분위기에서 열처리 후 수소 취성이 유발되어 격자 팽창에 의해 잉곳(ingot)이 조분쇄된 것을 볼 수 있다.4 is a photograph showing the shape of the ingot and the coarsely pulverized before and after hydrogen heat treatment. It can be seen that after heat treatment in a hydrogen atmosphere, hydrogen embrittlement is induced and the ingot is coarsely crushed by lattice expansion.

상기 잉곳(ingot)과 조분쇄물을 Cu Kα X-선 회절 분석하였을 때, 잉곳(ingot)에 비하여 조분쇄물의 110 피크의 각도가 0.1도 이상 왼쪽으로 이동할 수 있다. 결정 면이나 격자 면을 표시하는 밀러 지수(Miller Indices)에서 110은 z축과 평행하고 x, y축을 대각선으로 가르는 면이 되고, X-선 회절 분석에서 110 피크의 각도가 왼쪽으로 이동했다는 것은 110면에서 회절이 줄어들었다는 것을 의미한다. 이는 잉곳(ingot)의 격자가 팽창에 의해 격자간 거리가 멀어지기 때문에 일어나는 것이며, 결국 110 피크의 각도가 왼쪽으로 이동한다는 것은 잉곳(ingot)의 격자가 충분히 팽창되었다는 의미로 받아들일 수 있다. 110 피크가 0.1 미만으로 이동한 경우 수소 취성에 의해 잉곳(ingot)의 격자가 충분히 팽창되어 조분쇄되었다고 보기 어려우므로 바람직하지 않다.When Cu Kα X-ray diffraction analysis of the ingot and coarse pulverized material, the angle of 110 peaks of the coarse pulverized material may be shifted to the left by 0.1 degrees or more compared to the ingot. In Miller Indices, which indicate a crystal plane or a lattice plane, 110 becomes a plane parallel to the z axis and diagonally crosses the x and y axes, and 110 in the X-ray diffraction analysis shifted the angle of the peak to the left. This means that the diffraction has been reduced. This is because the lattice of the ingot is inflated and the distance between the lattices increases, and eventually the angle of 110 peaks is shifted to the left, and it can be accepted that the lattice of the ingot is sufficiently expanded. When the 110 peak shifts to less than 0.1, it is not preferable because the lattice of the ingot is sufficiently expanded and coarsely pulverized by hydrogen embrittlement.

S300 단계에서는 조분쇄물을 밀링(milling)하여 미분쇄물을 생성하게 된다. 밀링(milling)은 수평식 밀(Horizontal mill), 어트리션 밀(Atrrition mill), 플래너터리 밀(Planetary mill) 및 햄머 밀(hammer-mill) 중 선택된 어느 하나에 의해 수행될 수 있다. 밀링(milling)에 의해 기계적 합금화가 진행된다.In step S300, the coarsely pulverized material is milled to generate finely pulverized material. Milling may be performed by any one selected from a horizontal mill, an attrition mill, a planetary mill, and a hammer-mill. Mechanical alloying proceeds by milling.

밀링(milling) 시간은 20 내지 60분인 것이 바람직하다. 20분 미만으로 밀링(milling)을 진행하는 경우 기계적 합금화가 충분히 진행되지 않아 바람직하지 않고, 60분을 초과하여 밀링(milling)을 진행하는 경우 밀링 미디어(milling media)에 의한 오염이 생길 수 있으므로 바람직하지 않다.The milling time is preferably 20 to 60 minutes. When the milling is performed in less than 20 minutes, mechanical alloying is not sufficiently progressed, which is not preferable. If the milling is performed for more than 60 minutes, contamination by the milling media may occur. Do not.

밀링 미디어(milling media)로 주로 사용되는 지르코니아 볼(ZrO2 ball)에 의해 오염이 발생할 수 있다. 이는 장시간 밀링(milling)을 진행하는 경우 합금에 원하지 않는 지르코니아(ZrO2)가 유입되는 형태로 나타나며, 고엔트로피 합금에서 연신율을 떨어뜨리는 것으로 알려져 있다.Contamination may be caused by a zirconia ball (ZrO 2 ball) mainly used as a milling media. It appears that unwanted zirconia (ZrO 2 ) is introduced into the alloy when it is milled for a long time, and is known to decrease elongation in high-entropy alloys.

본원 발명은 강도가 높아 밀링(milling)이 어려운 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 제조하면서도 밀링(milling) 시간을 줄일 수 있어 밀링 미디어(milling media)에 의한 오염을 회피할 수 있다.The present invention can reduce the milling (milling) time while manufacturing a high-entropy alloy powder of a body-centered cubic structure having a high strength and difficult to be milled, thereby avoiding contamination by the milling media.

S400 단계에서는 밀링(milling)에 의해 형성된 미분쇄물을 진공 열처리하여 수소를 제거하여 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 형성한다. 최종 제조된 체심입방구조 고엔트로피 합금은 고온 강도, 구조적 안정성 등의 기계적 성질을 유지하기 위해 수소 취성이 적은 것이 바람직하며, 따라서 진공 열처리에 의해 수소를 제거해 주는 것이다.In step S400, the finely pulverized material formed by milling is vacuum-heated to remove hydrogen, thereby forming a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder. The final manufactured body-centered cubic structure high-entropy alloy preferably has low hydrogen embrittlement to maintain mechanical properties such as high temperature strength and structural stability, and thus removes hydrogen by vacuum heat treatment.

본 발명은 또한 상기한 방법으로 제조된 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 제공한다. 본 발명에 따른 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말은 고온에서 기계적 강도가 우수하여 우주 재료, 항공 재료, 가스 터빈 등에 사용될 수 있다.The present invention also provides a body-centered cubic high-entropy alloy powder prepared by the above-described method. The body-centered cubic structure high-entropy alloy powder according to the present invention has excellent mechanical strength at high temperatures and can be used in aerospace materials, aviation materials, gas turbines, and the like.

이하 제조예와 실험예를 통해 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail through manufacturing examples and experimental examples.

<제조예 1><Production Example 1>

W, Ta, Nb, V, Ti를 각각 동일 몰수의 단일 금속으로 준비하였다. 이를 혼합하여 진공 아크 재용해하여 잉곳(ingot)을 형성하였다. 유도가열로에 잉곳(ingot)을 넣고 수소를 주입한 다음 5℃/분의 속도로 600℃까지 가열한 다음 2시간 유지시켰다. 초기 잉곳(ingot)의 산소 농도는 0.13wt%, 주입한 수소의 이슬점은 -30℃였다. 이후 유도가열로를 냉각하여 형성된 조분쇄물을 꺼내어 5mmФ 초경의 미디어를 가진 햄머 밀에 넣고 150rpm에서 60분 동안 분쇄하여 미분쇄물을 형성하였다. 미분쇄물을 진공 열처리하여 수소를 제거하여 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 제조하였다.W, Ta, Nb, V, and Ti were each prepared from a single metal having the same mole number. The mixture was mixed and re-dissolved in a vacuum arc to form an ingot. The ingot was put into an induction furnace, hydrogen was injected, and then heated to 600 ° C at a rate of 5 ° C / min, and then maintained for 2 hours. The oxygen concentration of the initial ingot was 0.13 wt%, and the dew point of the injected hydrogen was -30 ° C. Thereafter, the coarse pulverized material formed by cooling the induction heating furnace was taken out, placed in a hammer mill having a medium of 5 mmФ cemented carbide, and ground at 150 rpm for 60 minutes to form a fine pulverized material. The pulverized material was vacuum heat-treated to remove hydrogen to prepare a body-centered cubic high-entropy alloy powder.

<제조예 2~9><Production Examples 2-9>

수소 열처리 온도를 450℃, 500℃, 700℃, 800℃, 900℃, 1000℃, 1100℃, 1200℃로 각각 변화시킨 것을 제외하고는 상기 제조예 1과 동일하게 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 제조하였다.A body-centered cubic structure high-entropy alloy powder was prepared in the same manner as in Preparation Example 1, except that the hydrogen heat treatment temperatures were changed to 450 ° C, 500 ° C, 700 ° C, 800 ° C, 900 ° C, 1000 ° C, 1100 ° C, and 1200 ° C, respectively. It was prepared.

<제조예 10~14><Production Examples 10 to 14>

수소의 이슬점을 -40℃, -50℃, -60℃, -70℃, -80℃로 각각 변화시킨 것을 제외하고는 상기 제조예 1과 동일하게 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 제조하였다.A body-centered cubic high-entropy alloy powder was prepared in the same manner as in Preparation Example 1, except that the dew point of hydrogen was changed to -40 ° C, -50 ° C, -60 ° C, -70 ° C, and -80 ° C, respectively.

<비교예 1~2><Comparative Examples 1 to 2>

수소 열처리 온도를 350℃, 400℃로 각각 변화시킨 것을 제외하고는 상기 제조예 1과 동일하게 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 제조하였다.A body-centered cubic structure high-entropy alloy powder was prepared in the same manner as in Preparation Example 1, except that the hydrogen heat treatment temperature was changed to 350 ° C and 400 ° C, respectively.

<비교예 3~7><Comparative Examples 3 to 7>

수소의 이슬점을 -20℃, -10℃, 0℃, 10℃, 20℃로 각각 변화시킨 것을 제외하고는 상기 제조예 1과 동일하게 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 제조하였다.A body-centered cubic structure high-entropy alloy powder was prepared in the same manner as in Preparation Example 1, except that the dew point of hydrogen was changed to -20 ° C, -10 ° C, 0 ° C, 10 ° C, and 20 ° C, respectively.

<실험예 1><Experimental Example 1>

상기 제조예 1의 제조 중 수소 열처리 전후의 잉곳(ingot)과 조분쇄물을 각각2.0kgf에서의 비커스 경도(Vickers hardness)를 측정하여 도 5에 나타내었다. 수소 열처리 전 잉곳(ingot)의 평균 강도는 747.8HV였으나, 같은 측정 조건에서 수소 열처리 후 조분쇄물은 수소 취성에 의한 격자 팽창으로 로드를 견디지 못하고 크랙(crack)이 발생한 것을 볼 수 있다.The ingot (inot) before and after the hydrogen heat treatment during the preparation of Preparation Example 1, and the Vickers hardness at 2.0 kgf were measured, respectively, and are shown in FIG. 5. The average strength of the ingot before the hydrogen heat treatment was 747.8 HV, but it can be seen that the crude pulverized material after the hydrogen heat treatment under the same measurement conditions did not withstand the load due to lattice expansion by hydrogen embrittlement and cracks occurred.

<실험예 2><Experimental Example 2>

상기 제조예 1 내지 9, 비교예 1 내지 2의 제조 중 수소 열처리 전후의 잉곳(ingot)과 조분쇄물을 Cu Kα X-선 회절 분석하여 110 피크 이동량을 하기 <표 1>에 나타내었다. 제조예 1 내지 9에서는 110 피크가 0.11 내지 0.20 이동하나, 비교예 1 내지 2에서는 110 피크가 0.10 미만으로 이동하는 것을 볼 수 있다. 도 6은 제조예 1에서의 110 피크의 이동을 나타낸 그래프이다.During the preparations of Preparation Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 2, ingots and coarse pulverized products before and after the heat treatment of hydrogen were analyzed by Cu Kα X-ray diffraction, and the peak shift amounts of 110 are shown in Table 1 below. In Production Examples 1 to 9, 110 peaks shifted by 0.11 to 0.20, but in Comparative Examples 1 and 2, 110 peaks shifted by less than 0.10. 6 is a graph showing the shift of 110 peaks in Preparation Example 1.

<실험예 3><Experimental Example 3>

상기 제조예 1 내지 9, 비교예 1 내지 2의 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말의 75um이하 분말 분율을 관찰하여 하기 <표 1>에 나타내었다. 제조예 1 내지 9의 75um이하 분말 분율은 75% 이상으로 분쇄 효율이 우수하나, 비교예 1 내지 2의 75um이하 분말 분율은 20% 미만으로 분쇄 효율이 낮은 것을 알 수 있다.The body fractions of the high-entropy alloy powders of the body-centered cubic structures of Preparation Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 2 were observed for powder fractions of 75 µm or less, and are shown in Table 1 below. The powder fraction of 75 um or less in Preparation Examples 1 to 9 is 75% or more, and the crushing efficiency is excellent, but the powder fraction of 75 um or less in Comparative Examples 1 to 2 is less than 20%, indicating that the crushing efficiency is low.

구 분division 수소 열처리 온도(℃)Hydrogen heat treatment temperature (℃) 110 피크 이동량110 peak shift 75um 이하 분말 분율(%)Powder fraction below 75um (%) 비교예 1Comparative Example 1 350350 0.040.04 1515 비교예 2Comparative Example 2 400400 0.050.05 1616 제조예 2Preparation Example 2 450450 0.110.11 7575 제조예 3Preparation Example 3 500500 0.150.15 7979 제조예 1Preparation Example 1 600600 0.190.19 8282 제조예 4Preparation Example 4 700700 0.180.18 8080 제조예 5Preparation Example 5 800800 0.200.20 8585 제조예 6Preparation Example 6 900900 0.190.19 8080 제조예 7Preparation Example 7 10001000 0.180.18 8181 제조예 8Preparation Example 8 11001100 0.190.19 8383 제조예 9Preparation Example 9 12001200 0.190.19 8080

<실험예 4><Experimental Example 4>

상기 제조예 1, 10 내지 14와 비교예 3 내지 7의 수소 이슬점과 초기 잉곳(ingot) 산소 농도, 수소 열처리 후 조분쇄물의 산소 농도를 하기 <표 2>에 나타내었다. 제조예 1, 10 내지 14는 산소 농도의 변화가 크지 않으나, 비교예 3 내지 7은 산소 농도의 증가가 큰 것을 알 수 있다.The hydrogen dew point of the preparation examples 1, 10 to 14 and comparative examples 3 to 7, the initial ingot oxygen concentration, and the oxygen concentration of the crude pulverized material after hydrogen heat treatment are shown in Table 2 below. In Production Examples 1 and 10 to 14, the change in oxygen concentration was not large, but in Comparative Examples 3 to 7, it was found that the increase in oxygen concentration was large.

구 분division 수소 이슬점(℃)Hydrogen dew point (℃) 초기 잉곳(ingot) 산소농도(wt%)Initial ingot oxygen concentration (wt%) 수소 열처리 후 조분쇄물 산소농도(wt%)Oxygen concentration of crude pulverized material after heat treatment of hydrogen (wt%) 제조예 14Preparation Example 14 -80-80 0.130.13 0.130.13 제조예 13Preparation Example 13 -70-70 0.130.13 0.130.13 제조예 12Preparation Example 12 -60-60 0.130.13 0.130.13 제조예 11Preparation Example 11 -50-50 0.130.13 0.130.13 제조예 10Preparation Example 10 -40-40 0.130.13 0.140.14 제조예 1Preparation Example 1 -30-30 0.130.13 0.150.15 비교예 3Comparative Example 3 -20-20 0.130.13 0.230.23 비교예 4Comparative Example 4 -10-10 0.130.13 0.270.27 비교예 5Comparative Example 5 00 0.130.13 0.380.38 비교예 6Comparative Example 6 1010 0.130.13 0.450.45 비교예 7Comparative Example 7 2020 0.130.13 0.550.55

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above description of the present invention is for illustration only, and those skilled in the art to which the present invention pertains can understand that it can be easily modified to other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts should be interpreted to be included in the scope of the present invention.

100 : 일반 합금
101 : 주요 원소 102 : 합금 원소
200 : 고엔트로피 합금
201 : 제1주요원소 202 : 제2주요원소
203 : 제3주요원소 204 : 제4주요원소
205 : 제5주요원소
100: ordinary alloy
101: main element 102: alloy element
200: high entropy alloy
201: the first major element 202: the second major element
203: 3rd main element 204: 4th main element
205: 5th main element

Claims (11)

체심입방구조 고엔트로피 합금 재료를 진공 아크 재용해법에 의해 용해하여 잉곳(ingot)을 형성하는 단계;
상기 잉곳(ingot)을 수소 분위기에서 열처리하여 격자 팽창에 의해 조분쇄하여 조분쇄물을 형성하는 단계;
상기 조분쇄물을 밀링(milling)하여 미분쇄물을 형성하는 단계; 및
상기 미분쇄물을 진공 열처리하여 수소를 제거하여 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말을 형성하는 단계를 포함하고
상기 수소 분위기에서의 열처리는, 수소 100%, 수소의 이슬점은 -30℃ 이하의 조건에서, 3 내지 7℃/분의 승온속도로 450 내지 1100℃의 열처리 온도로 승온한 후 90분 내지 150분 동안 온도를 유지하도록 수행하여,
상기 잉곳(ingot)과 조분쇄물을 Cu Kα X-선 회절 분석하였을 때, 잉곳(ingot)에 비하여 조분쇄물의 110 피크의 각도가 0.1도 이상 왼쪽으로 이동하도록 하고,
상기 조분쇄물의 산소 농도가 0.15 wt% 이하 0 wt% 초과인 것을 특징으로 하는 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조방법.
Dissolving the body-centered cubic structure high-entropy alloy material by a vacuum arc remelting method to form an ingot;
Heat-treating the ingot in a hydrogen atmosphere to coarsely pulverize by lattice expansion to form a coarse pulverized material;
Milling the coarse pulverized material to form a fine pulverized material; And
And removing hydrogen by vacuum heat-treating the finely pulverized material to form a high-entropy alloy powder with a body-centered cubic structure.
Heat treatment in the hydrogen atmosphere, hydrogen 100%, the dew point of the hydrogen at a temperature of -30 ℃ or less, at a heating rate of 3 to 7 ℃ / min, heated to a heat treatment temperature of 450 to 1100 ℃ 90 minutes to 150 minutes By performing to maintain the temperature during,
When the ingot (ingot) and coarse pulverized were analyzed by Cu Kα X-ray diffraction, the angle of 110 peaks of the coarse pulverized material was shifted to the left by 0.1 degrees or more compared to the ingot,
A method of manufacturing a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder, wherein the crude powder has an oxygen concentration of 0.15 wt% or less and more than 0 wt%.
제1항에 있어서,
상기 체심입방구조 고엔트로피 합금 재료는 W, Ta, Mo, Nb, Cr, V, Ti, Hf 및 Zr 중 선택된 4가지 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조방법.
According to claim 1,
The body-centered cubic structure high-entropy alloy material is W, Ta, Mo, Nb, Cr, V, Ti, Hf and Zr, the body-centered cubic structure high-entropy alloy powder manufacturing method characterized in that it comprises at least four.
제2항에 있어서,
상기 체심입방구조 고엔트로피 합금 재료는 Mn, Fe, Co, Ni, Cu 및 Al 중 선택된 하나 이상을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조방법.
According to claim 2,
The body-centered cubic structure high-entropy alloy material further comprises one or more selected from Mn, Fe, Co, Ni, Cu and Al.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 밀링(milling)은 수평식 밀(Horizontal mill), 어트리션 밀(Atrrition mill), 플래너터리 밀(Planetary mill) 및 햄머 밀(hammer-mill) 중 선택된 어느 하나에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조방법.
According to claim 1,
The milling is performed by any one selected from a horizontal mill, an attrition mill, a planetary mill, and a hammer-mill. Body-centered cubic structure high-entropy alloy powder manufacturing method.
제1항에 있어서,
상기 밀링(milling)은 20 내지 60분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말 제조방법.
According to claim 1,
The milling (milling) is a body-centered cubic structure high-entropy alloy powder manufacturing method characterized in that is performed for 20 to 60 minutes.
제1항의 방법으로 제조된 체심입방구조 고엔트로피 합금 분말.
A body-centered cubic structure high-entropy alloy powder prepared by the method of claim 1.
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