KR102061922B1 - 전기 전도성이고 내부식성인 금속 표면 - Google Patents

전기 전도성이고 내부식성인 금속 표면 Download PDF

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Abstract

금속 기판 또는 금속 합금을 전기 전도성 티타니아-기반 물질로 코팅하는 방법. 이 방법은 낮은 비용으로 장기간 작동하기 위해 높은 전기 전도도, 내부식성 및 전극 반응 활성을 필요로 하는 전기화학 장치용 금속 성분을 제조한다.

Description

전기 전도성이고 내부식성인 금속 표면{CORROSION RESISTANT AND ELECTRICALLY CONDUCTIVE SURFACE OF METAL}
<관련 출원과의 상호 참조>
본 출원은 2012년 2월 23일자로 출원된 미국 가출원 제61/602,253호 및 2013년 2월 5일자로 출원된 미국 가출원 제61/760,767호로부터 우선권을 주장하며, 이들 전문이 본원에 참고문헌으로 인용된다.
본 발명의 실시태양은 전기화학 용도로 사용되는 금속 표면 전기 전도율, 내부식성 및 전극 반응 활성의 증가에 관한 것이다. 보다 구체적으로는, 본원에 개시된 실시태양은 통상 금속 성분의 높은 내부식성 및 전기 전도성 표면이 필요한 전기화학 용도의 금속 표면을 변형시킬 수 있는 전기 전도성 산화 티타늄 및 티타늄 합금의 용도에 관한 것이다.
금속 물질은 염소-알칼리 처리에서의 전극 및 연료 전지에서의 분리판을 포함하는 다양한 전기화학적 장치에서 널리 사용된다. 금속 성분은 또한 배터리, 전기분해 장치 및 전기화학적 기체 분리 장치에서도 사용된다. 이러한 용도의 대부분에서, 금속 성분의 표면은 높은 작업 효율을 위해서 전기화학적 장치의 내부 전기 손실을 감소시키기 위한 높은 전기 전도도(또는 낮은 전기 저항), 또는 전극 분극을 감소시키기 위한 전극 반응의 높은 활성을 갖는 것이 필요하다. 이러한 용도의 중대한 어려움은 금속 성분이 그것의 높은 전기 전도도를 유지하면서도 높은 내부식성이 있어야만 한다는 것이다. 금속을 전극으로 이용한 용도에서, 매우 효율적인 전극 반응을 위해 금속 표면은 높은 촉매 활성을 가져야만 한다.
미국 특허 6,649,031은 금속 기판 및 코팅 층 사이에 서브-층(sub-layer)을 갖는 내부식성 및 전기 전도성인 탄소 층으로 코팅된 연료 전지 금속 양쪽극성 판을 개시한다. 내부식성을 더 개선하기 위해, 코팅 층은 탄소 층 내의 기공을 밀봉하는 오버 코팅 실링으로 처리된다.
미국 특허 6,689,213은 다중-상 표면 코팅을 갖는 연료 전지 금속 양쪽극성 판을 개시한다. 하나의 상은 금속이고, 다른 상은 금속 질화물, 산화물, 탄화물 또는 붕소화물로 구성된 화합물 상이다.
미국 특허 공개 번호 2006/0134501은 금속 기판 위에 전기 전도성, 내부식성 표면 층을 갖는 연료 전지 금속 분리판을 개시한다. 표면 층은 금속 탄화물, 금속 붕소화물, 및 금속 산화물을 포함한다. 표면 층과 금속 기판 사이에는 금속 층이 있어 표면 층 및 금속 기판의 부착을 개선한다. 이는 Cr-이 풍부한 표면 부동화 필름을 가진다.
미국 특허 공개 번호 2009/0269649는 금속 질화물, 탄화물 및 금속 붕소화물을 포함하는, 전기 전도성 및 내부식성 표면 층을 갖는 연료 전지 스테인리스 강 분리판을 개시한다. 표면 층은 표면이 변형된 스테인리스 강에 증착된다.
미국 특허 공개 번호 2008/0107928은 금(Au) 및 백금(Pt) 표면 층 및 산소를 함유한 인터페이스 층을 갖는 연료 전지 양쪽극성 판을 개시한다.
미국 특허 공개 번호 2009/0015029는 전기 전도성 층으로 코팅된 연료 전지 양쪽극성 판을 개시한다. 전도성 층은 탄소, 몰리브데넘 도핑된 산화 인듐, 질화 크로뮴 또는 MoSi2 층일 수 있다. '029 공보는 전도성 코팅 층 및 기판 층 사이의 하부층을 구체적으로 개시하지는 않는다.
미국 특허 공개 번호 2007/0003813은 연료 전지에서 표면 코팅 층으로서 도핑된 TiO2를 포함하는 전도성 산화물의 이용을 개시한다. 증착 방법은 물리적 증착법을 포함한다.
낮은 비용으로 장기간 작동하기 위해 높은 전기 전도도, 내부식성 및 전극 반응 활성을 필요로 하는 전기화학 장치용 금속 성분의 제조 방법에 대한 필요가 남아있다.
도 1은 금속 판 표면 위에 증착된 Ti 합금 연속 층에서 성장된 전기 전도성 티타니아를 갖는 금속 판의 개략도이다.
도 2는 금속 판 표면 위에 증착된 Ti 합금 입자들에서 성장된 전기 전도성 티타니아를 갖는 금속 판의 개략도이다.
도 3은 양쪽극성 연료 스택(stack)의 개략도이다.
도 4는 본원에 개시된 실시태양이 이용될 수 있는 전기분해 전지의 예이다.
도 5는 본원에 개시된 실시태양이 이용될 수 있는 배터리의 예이다.
도 6은 본원에 개시된 실시태양이 이용될 수 있는 배터리의 예이다.
하기의 상세한 설명에서, 하기 논의되는 바람직한 실시태양의 철저한 이해를 제공하기 위하여 물질의 유형 및 치수와 같은 다수의 특정한 세부사항이 개시된다. 바람직한 실시태양과 관련하여 논의되는 세부사항은 본 발명을 제한하는 것으로 이해되어서는 안된다. 뿐만 아니라, 이해의 용이함을 위하여, 특정 방법 단계는 별도 단계로 기술되고; 그러나 이러한 단계는 반드시 별도의 것으로도 또는 그들의 수행에 있어 순서 의존적인 것으로 해석되어서는 안된다.
본원에 개시된 실시태양의 목적은 본원에 증착된 티타늄 합금 층을 가지고 합금 표면 상에서 전기 전도성인 도핑된 산화 티타늄을 성장시킬 수 있는 금속 표면을 제공하는 것이다. 개시된 실시태양의 가능한 용도로서, 연료 전지, 배터리, 전기분해 장치, 및 기체 분리 장치를 포함하는 전기화학 장치에서의 사용을 포함한다. 도핑된 산화 티타늄을 성장시키는 것은, 증착 방법보다 더 나은 품질(예를 들어, 더 나은 부착 품질)을 제공하는 바 훨씬 더 나은 기술로서 이해되어야 한다.
개시된 방법의 장점은 낮은 비용으로 장기간 작동하기 위해 높은 전기 전도도, 내부식성 및 전극 반응 활성을 필요로 하는 전기화학 장치용 금속 성분을 제조할 수 있다는 것이다. 하기 설명되는 바와 같이, 이러한 장치들은 연료 전치, 배터리, 전기분해 장치, 기체 분리 장치를 포함한다.
보통의 산화 티타늄(티타니아)는 티타늄이 Ti+4의 원자가를 갖는 TiO2 형태의 전기 절연체이다. 특정 방법을 통해, 몇몇 Ti+4는 Ti+3 및 Ti+2와 같이 더 낮은 화학 원자가로 전환될 수 있다. 산화물에서 다양한 원자가의 Ti가 공존하는 것은 산화 티타늄이 우수한 전기 전도체가 되도록 할 수 있다 (즉, 전기 전도성 티타니아).
Ti+4 를 더 낮은 화학 원자가로 전환하는 하나의 방법은 TiO2 를 높은 온도에서 환원시키고, 이를 실온으로 급냉시켜 Ti+3 및 Ti+2를 "얼리는" 것이다. 환원된 산화 티타늄의 최종 제제(즉, 환원된 티타니아)는 TiOx인데, 여기서 x는 2 미만이다.
더 신뢰성 있는 방법은 높은 원자가 원소 산화물(예를 들어, M2O5 또는 MO3)을 TiO2로 도핑시켜 TiO2 및 도펀트(dopant) 산화물의 고용체(즉, 도핑된 티타니아, M: TiOx)를 형성하는 것이다. 도펀트의 높은 원자가는 산화 티타늄 결정 구조에서 낮은 원자가(+2 및 +3)의 티타늄을 안정화시켜, 도핑된 티타니아가 전기 전도성을 가지도록 할 것이다. 흔한 도펀트는 니오븀(Nb) 및 탄탈럼(Ta)이다.
금속 표면 위에 산화물을 직접적으로 증착시키는 것은 금속 표면에 산화물이 취약하게 부착될 위험을 가진다고 공지된 바 있다. 이 문제는 본원에 개시된 실시태양에서 더 나은 부착을 위해 티타늄 합금에서 산화 티타늄이 성장되도록 함에 의하여 극복된다.
본원에 개시된 실시태양은 전기화학 용도로 사용되는, 금속 기판 표면 위에 코팅되어 금속의 표면 전기 저항성, 내부식성 및 전극 반응 활성을 개선하는 티타늄 합금에서 성장된 전기 전도성 티타니아를 사용한다. 실시태양은 또한 티타늄 합금의 표면 위에 도핑된 티타니아를 형성한다.
개시된 원리에 따라, 티타늄 합금은 예를 들어 증착법(물리적 또는 화학적) 및 열적 분사법을 포함한 다양한 증착 기술에 의해 증착될 수 있다. 그리고 나서, 전기 전도성 티타니아는 티타늄 합금 표면에서 성장될 수 있다. 티타늄 합금은 합금 원소로서 적절한 농도의 도펀트 원소를 가진다. 농도는 1 %-30 %, 바람직하게는 1%-10 % 사이의 범위 내에 있다. 티타늄 합금은 더 낮은 비용의 금속 기판 표면 위에 증착될 수 있다. 이는 기판 표면의 전체 또는 금속 기판표면의 일부분을 덮을 수 있다. 티타늄 합금은 대략 0.1 nm 내지 100 ㎛, 0.1 nm 내지 10 ㎛, 또는 0.5 nm 내지 5 ㎛의 두께를 갖는다.
금속 기판은 티타늄, 니오븀, 지르코늄, 탄탈럼, 크로뮴, 니켈 및 이들의 합금과 같은 내부식성 금속, 또는 저 비용 탄소 강, 스테인리스 강, 구리, 알루미늄 및 이들의 합금으로서 내부식성 표면 처리가 된 것일 수 있다.
하나의 실시태양에서, 티타늄 합금은, 다른 것들 중에서, 특히 예를 들어, 니오븀 (Nb), 탄탈럼 (Ta), 바나듐 (V), 비소 (As), 셀레늄 (Se), 안티모니 (Sb), 몰리브데넘 (Mo), 또는 텅스텐 (W)과 같은 높은 원자가 (예를 들어, +4 초과) 원소를 함유할 수 있다. 도핑된 티타니아 층은 적용되는 과정에서 합금 표면 상에서 자연스럽게 성장될 수 있다. 이는 또한 열적 산화법, 애노다이징(anodizing) 및 플라즈마 산화와 같은 특별한 처리 단계를 통해서도 성장될 수 있다.
제1 실시태양의 개략도가 도 1에 나타나 있다. 티타늄 합금(32)이 금속 기판(31)의 전체 표면 위에 코팅되어 있다. 도핑된 티타니아 표면 층(33)이 Ti 합금 표면에서 성장된다.
또다른 실시태양에서, 티타늄 합금이 금속 기판 표면을 부분적으로 덮도록 증착되었다. 도 2를 참조하면, 티타늄 합금 입자(42)가 금속 기판(41)의 표면 위에서, 오직 부분적으로만 표면을 덮도록 증착되었다. 도핑된 티타니아 표면 층(43)이 Ti 합금 입자 표면에서 성장된다.
도 1 및 도 2의 실시태양이 상술된 구체적인 특성들로 제한되는 것은 아니라고 이해되어야 한다. 예를 들어, 나타나지는 않았지만, 처리 도중에 기판으로부터 합금의 오염을 방지하기 위하여 및 기판에 대한 합금의 접착성을 개선하기 위하여, 인터페이스 층이 기판 위에 제공될 수 있다. 게다가, 본원에 나열된 성장 조건은 단순한 예일 뿐이며 기판이 장치 내에 위치되기 전 또는 이후에 성장이 일어날 수 있다고 이해되어야 한다. 이용된 정확한 방법(예를 들어, 열적 산화법, 애노다이징, 플라즈마 산화)이 용도 유형 및 처리 비용에 따라 의존할 것이다.
하나의 용도에서, 니오븀 도핑된 티타니아(Nb:TiOx) 층이 예를 들어, 물리적 증착 방법에 의해 스테인리스 강 기판 표면 위에 증착된다. 도핑된 티타니아에서 Nb 농도는 2 - 10 %이다. Nb 도핑된 티타니아의 두께는 0.1 ㎛이다. 이 판은 그 예가 도 3에 나타난 양성자 교환 막(PEM) 연료 전지용 분리판으로 이용될 수 있다.
용기(19)에 배치된 예시의 연료 전지 스택(10)이 도 3에 나타나 있다. 연료 전지 스택(10)은 세 MEA(막 전극 어셈블리)/GDL (기체 분포 층)를 포함하는데, 각각은 양성자 교환 막(PEM)(11)의 양 측면에 캐소드(13)와 애노드(12)를 가져 MEA를 형성하는 PEM(11), 및 양 반대쪽 측면의 MEA에 인접한 기체 확산 층(14)을 포함한다. 분리판(15)은 인접 MEA/GDL 사이에 배치되어 있으며 종판(16)은 세 MEA/GDL에 의해 형성된 연료 스택(10)의 양 반대 끝쪽에 존재한다. 한쪽에는 애노드(12) 그리고 반대쪽에는 캐소드(13)를 갖는 바 분리판(15)은 양쪽극성 분리판으로 지칭된다. 캐소드 및 애노드가 인접한 MEA에서 교체되는 단일-극성 분리판을 갖는 연료 전지 스택은 또한 상술된 바와 같이 당업계에 공지되어 있다. 연료 전지 스택의 각각의 유형들은 추가적인 성분들(매니폴드(manifold) 등, 나타내지 않음)과 조합되어 당업계에 잘 공지된 바와 같이 연료 전지 장치를 형성할 수 있다.
또다른 용도에서, 얇은 Ti15Nb 합금(예를 들어, 85 중량% Ti, 15 중량% Nb 합금) 층이 예를 들어, 물리적 증착 방법에 의해 티타늄 기판 표면 위에 증착된다. Ti15Nb 층의 두께는 0.5 ㎛이다. 그리고 나서, 코팅된 티타늄 기판은 열적으로 600 ℃에서 산화되어 안정적인 Nb 도핑된 티타니아 표면 층을 얻는다. 이러한 코팅된 티타늄 기판은 물 전기분해 장치 전지의 성분으로 이용될 수 있다. 구체적으로, 코팅된 티타늄 기판은, 그 예가 도 4에 나타난 전기분해 전지의 단일 부품 양쪽극성 판 및/또는 산소 기체 확산 층으로 이용될 수 있다. 도 4는 이하 전기분해 장치 전지 모듈(600)로 간단히 지칭되는 양성자 교환 막(PEM) 또는 알칼리성 교환 막(AEM) 전기분해 장치 전지 모듈의 단순화시킨 개략적인 도표를 묘사한다. 전기분해 장치 스택은, 전해질(621), 수소 발생용 캐소드 촉매(622), 수소 기체 확산 층(623), 산소 발생용 애노드 촉매(624), 산소 기체 확산 층(625), 양쪽극성 분리판(626)을 포함하는 전지 모듈(600) 다수의 반복 형태로 구성되며, 이들의 작동은 당업계에 잘 공지되어 있다.
하나의 추가적인 용도에서, Ti20Ta(예를 들어, 80 중량% Ti, 20 중량% Ta) 합금 입자가 열적 분사법에 의해 티타늄 기판 위에 증착된다. 그리고 나서, 코팅된 티타늄 기판은 공기 중 450 ℃에서 열적 산화되어 Ti20Ta 합금 입자 위에 Ta 도핑된 티타니아 표면 층을 얻는다. 이러한 코팅된 Ti 판은 도 5에 나타난 배터리(722)와 같은 가용성 납 산 유동 배터리의 전극으로 이용될 수 있다. 배터리(722)는 별도의 격실에 제공된 몇몇 전지 요소 및 전극(724, 726) 다수개를 포함한다. 배터리 전극 활성 물질은 모두 고체 형태일 수 있으며 전극판(724, 726) 표면에 결합될 수 있다. 유사한 방식으로, 도핑된 산화 티타늄 입자는 기존의 납 산 배터리에 이용될 수 있다.
그러나 또다른 용도에서, Ti20Nb 합금은 별도의 판 및/또는 바나듐 산화환원 유동 배터리의 전극으로 이용된다. 기판이 원하는 형태로 형성된 후, 이것은 높은 전압에서 애노다이징되어 예를 들면 Nb 도핑된 티타니아의 층을 성장시킨다. 그리고 나서, 도핑된 티타니아를 갖는 Ti 합금 기판은 고온에서 열처리되어 더 나은 결정 구조를 형성한다. 전도성 티타니아의 높은 표면적은, 도 6에 나타난 예시의 배터리(800)와 같은 바나듐 산화환원 유동 배터리에서 바나듐 이온 산화환원 반응에 필요한 높은 전극 반응 활성을 가지게 될 것이다. 배터리(800)는 전극(801) 및 전해질 용액을 저장하기 위한 외부 탱크(806, 807) 및 전해질 전지(EC)를 포함하는데, 펌프(808, 809)는 활성 물질을 함유하는 전해질 용액을 외부 탱크(806, 807)로부터 전해질 전지(EC)로 보낸다. 전해질 전지(EC)에 통합된 전극(801)은 전기화학 전환(즉 충방전(charge-discharge))을 수행한다.
통상적인 유동 배터리는 전극 반응의 모든 반응물 및 생성물이 액체인 완전 액체 유동 배터리인데, 전지(EC)의 안팎으로 흐를 수 있다. 또다른 유형은 준-흐름 배터리로, 하나 이상의 전극 반응이 액체 내지는 고체이다. 유동 배터리의 이러한 유형은 Zr-Br 배터리(아연 이온 → 아연 금속 반응을 포함한다), 및 완전 철 배터리(철 이온 → 철 금속 반응을 포함한다)를 포함한다. 금속 판이 전극으로 사용될 수 있다.
상술된 바와 같이, 본원에 개시된 실시태양은 상술된 구체적인 특성들로 제한되는 것은 아닌 것이라고 이해되어야 한다. 예를 들면, 나타나지는 않았지만, 도 1 및 도 2의 실시태양에서, 처리 도중에 기판으로부터 합금의 오염을 방지하기 위하여 및 기판에 대한 합금의 접착성을 개선하기 위하여, 인터페이스 층이 기판 위에 제공될 수 있다. 게다가, 본원에 나열된 성장 조건은 단순한 예일 뿐이며 기판이 장치 내에 위치되기 전 또는 이후에 성장이 일어날 수 있다고 이해되어야 한다. 이용된 정확한 방법(예를 들어, 열적 산화법, 애노다이징, 플라즈마 산화)이 용도 유형 및 처리 비용에 따라 의존할 것이다. 게다가, 도펀트의 농도는 1 %-30 %, 바람직하게는 1 %-10 %의 범위 내에 있을 수 있다.
앞서 말한 실시예는 단지 설명의 목적으로 제공되며 결코 제한하는 것으로 해석되지 않는다. 다양한 실시태양을 참고하여 살펴볼 때, 본원에 사용되는 단어는 제한의 단어라기보다는 설명 및 예시의 단어이다. 추가로, 비록 특정한 수단, 물질, 및 실시태양에 대한 예시가 보여지지만, 본원에 개시된 자세한 사항으로 제한되지 않는다. 오히려, 실시태양는 첨부된 청구항의 범위 내와 같은 모든 기능적으로 동등한 구조, 방법 및 용도까지로 확장된다.
추가적으로, 요약의 목적은 특허 사무소 및 일반적으로 대중, 및 특히 당해 분야에서 특허 또는 법의 용어 또는 어법과 친숙하지 않은 과학자, 기술자 및 변호사가 본 출원의 기술적 개시의 본질을 피상적인 검사로부터 빠르게 결정하는 것을 가능하게 하는 것이다. 요약은 어떤 방식으로든 본 발명의 범위를 제한하고자 의도되지 않는다.

Claims (28)

  1. 금속 기판을 제공하는 단계
    도펀트 원소를 포함하는 티타늄 합금을 금속 기판의 표면 위로 증착시키는 단계; 및
    금속 기판의 표면 위에 증착된 티타늄 합금을 열처리하는 단계;
    를 포함하고,
    상기 열처리 단계에서는, 티타늄 합금의 표면 위에서 도핑된 티타니아 물질을 성장시켜 전기 전도성인 도핑된 티타니아 표면층을 형성하며,
    상기 금속 기판이 티타늄 합금으로 코팅되고 상기 전기 전도성인 도핑된 티타니아 표면층과 금속 기판 사이에 티타늄 합금 층을 가지며,
    상기 도펀트 원소가 +4 초과의 원자가를 갖는 것인, 금속 기판 표면의 코팅 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 도펀트 원소가 니오븀, 바나듐, 비소, 셀레늄, 안티모니, 몰리브데넘, 또는 텅스텐 중 하나 이상을 포함하고 및 도펀트 원소의 농도가 1 %-30 %의 범위 내에 있는 것인 금속 기판 표면의 코팅 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 도핑된 티타니아 물질이 열적 산화법을 이용하여 성장되는 것인 금속 기판 표면의 코팅 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 도핑된 티타니아 물질이 플라즈마 산화를 이용해 성장되는 것인 금속 기판 표면의 코팅 방법.
  5. 제1항에 있어서, 금속 기판 위에 인터페이스 층을 더 포함하는 것인 금속 기판 표면의 코팅 방법.
  6. 제1 표면을 갖는 금속 성분;
    티타늄 합금층에 의해 금속 성분의 제1 표면에 부착되어 있는 전기 전도성인 도핑 티타니아 표면층
    을 포함하고,
    상기 금속 성분이 티타늄 합금으로 코팅되고, 상기 전기 전도성인 도핑 티타니아 표면층과 티타늄 합금은 +4 초과의 원자가를 갖는 동일한 도펀트 원소를 함유하는 전기화학 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 도펀트 원소가 니오븀, 바나듐, 비소, 셀레늄, 안티모니, 몰리브데넘, 또는 텅스텐 중 하나 이상을 포함하고 및 도펀트 원소의 농도가 1 %-30 %의 범위 내에 있는 것인 전기화학 장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 전기화학 장치가 전기분해 전지이고 티타늄 합금으로 코팅된 금속 성분이 분리판 또는 기체 확산 층인 것인 전기화학 장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 전기화학 장치가 납 산 유동 배터리이고 티타늄 합금으로 코팅된 금속 성분이 배터리의 전극인 것인 전기화학 장치.
  10. 제6항에 있어서, 상기 전기화학 장치가 유동 배터리이고 티타늄 합금으로 코팅된 금속 성분이 분리판 또는 배터리의 전극인 것인 전기화학 장치.
  11. 제6항에 있어서, 상기 전기화학 장치가 양성자 교환 막 연료 전지이고 티타늄 합금으로 코팅된 금속 성분이 배터리의 분리판인 것인 전기화학 장치.
  12. 제6항에 있어서, 상기 전기화학 장치가 금속 성분 위에 인터페이스 층을 더 포함하는 것인 전기화학 장치.
  13. 제1 표면을 갖는 금속 기판;
    금속 기판의 제1 표면 위의, 티타늄 합금을 포함하는 코팅 층; 및
    도핑된 티타니아 물질을 포함하고, 티타늄 합금을 포함하는 코팅 층에 의해 금속 기판의 제1 표면에 부착되는 전기 전도성인 도핑된 티타니아 표면 층
    을 포함하고,
    상기 금속 기판이 티타늄 합금으로 코팅되며, 상기 티타늄 합금과 도핑된 티타니아 물질은 +4 초과의 원자가를 갖는 동일한 도펀트 원소를 함유하는 연료 전지용 판.
  14. 제13항에 있어서, 상기 티타늄 합금이 니오븀을 포함하는 것인 연료 전지용 판.
  15. 제13항에 있어서, 상기 티타늄 합금이 0.1 nm 내지 100 ㎛의 두께를 갖는 것인 연료 전지용 판.
  16. 제13항에 있어서, 상기 티타늄 합금이 0.1 nm 내지 10 ㎛의 두께를 갖는 것인 연료 전지용 판.
  17. 제13항에 있어서, 상기 티타늄 합금이 0.5 ㎛ 내지 5 ㎛의 두께를 갖는 것인 연료 전지용 판.
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