KR101973761B1 - 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 및 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판 - Google Patents

플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 및 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판 Download PDF

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Abstract

플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 및 그 제조방법에 사용되는 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판이 개시된다. 개시된 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법은, 제1 면 상에 제1 이형 영역과 상기 제1 이형 영역의 주변에 제1 부착 영역을 포함하는 캐리어 기판을 준비하는 단계와, 제1 면 상에 베이스 기판을 부착시키는 단계와, 베이스 기판의 제1 이형 영역에 대응하는 영역 상에 디스플레이부를 형성하는 단계 및, 베이스 기판을 디스플레이부가 포함되도록 제1 이형 영역의 안쪽을 따라 절단하고 분리해내는 단계를 통해 제조된다. 이러한 방식에 의하면 별도의 마스크 증착 공정을 추가하지 않고도 캐리어 기판과 베이스 기판의 합착과 분리 공정을 원활하게 수행할 수 있게 되며, 따라서, 기판의 합착과 분리과정에서 생길 수 있는 제품 손상의 위험도 크게 줄일 수 있다.

Description

플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 및 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판{A flexible display device manufacturing method and carrier substrate for the method}
본 발명은 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 및 그 제조방법에 사용되는 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치와 같은 디스플레이 장치는 구동 특성상 박형화 및 플렉시블화가 가능하여 이에 대한 많은 연구가 이루어지고 있다.
최근에는, 두께가 얇은 유연한 기판 위에 디스플레이부를 형성하는 플렉시블 디스플레이 장치가 각광을 받고 있는 추세이다.
그런데, 이렇게 얇은 기판은 두께가 너무 얇아서 제조과정 중 핸들링 하기가 어렵기 때문에, 통상 상대적으로 두꺼운 캐리어 기판을 준비해서 그 위에 얇은 기판을 부착시킨 다음 디스플레이부 형성 등의 과정을 진행하고, 나중에 다시 캐리어 기판을 분리해내는 식으로 제조를 진행한다.
따라서, 캐리어 기판의 합착과 분리가 얼마나 원활하게 수행되느냐에 따라 전체 제품의 생산 효율이 좌우될 수 있다.
본 발명의 실시예는 마스크 증착 공정의 추가 없이도 베이스 기판과 캐리어 기판의 합착과 분리를 원활하게 진행할 수 있는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 및 그 제조방법에 사용되는 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판을 제공한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법은, 제1 면 상에 제1 이형 영역과 상기 제1 이형 영역의 주변에 제1 부착 영역을 포함하는 캐리어 기판을 준비하는 단계, 상기 제1 면 상에 베이스 기판을 부착시키는 단계, 상기 베이스 기판의 상기 제1 이형 영역에 대응하는 영역 상에 디스플레이부를 형성하는 단계, 상기 디스플레이부를 포함하도록, 상기 제1 이형 영역에 대응하는 영역의 상기 베이스 기판을 절단하는 단계 및 상기 절단된 베이스 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 분리해내는 단계를 포함한다.
또한, 상기 제1 이형 영역은 샌드블러스트 가공에 의해 형성된다.
또한, 상기 베이스 기판과 상기 캐리어 기판은 모두 조도 0.2~0.3㎚ 범위의 글라스 재질이다.
또한, 상기 샌드블러스트 가공으로 상기 제1 이형 영역의 조도를 0.15 ~ 1.2㎛ 범위가 되게 한다.
또한, 상기 베이스 기판을 부착시키는 단계는, 상기 제1 부착 영역에서, 상기 캐리어 기판과 상기 베이스 기판을 반데르발스 포스에 의해 접합시키는 단계 및, 열처리를 통해 상기 제1 부착 영역에서, 상기 캐리어 기판과 상기 베이스 기판 간의 Si-O 공유결합을 유도하여 접합시키는 단계를 포함한다.
또한, 상기 캐리어 기판에 상기 베이스 기판을 부착시킨 후에도, 상기 제1 이형 영역은 상기 베이스 기판과 미접합 상태가 된다.
또한, 상기 디스플레이부를 형성한 다음에, 상기 디스플레이부를 밀봉하는 단계를 더 포함한다.
또한, 상기 절단하는 단계에서는 레이저를 조사하여 상기 베이스 기판을 절단한다.
또한, 상기 절단하는 단계는, 상기 베이스 기판의 가장자리가 상기 제1 이형 영역의 경계보다 상기 제1 이형 영역의 중심으로 이격되도록 절단한다.
또한, 상기 캐리어 기판은 상기 제1 면의 반대면인 제2 면을 포함하고, 상기 제2 면상에는 상기 제1 이형 영역과 대응하는 제2 이형 영역이 형성된다.
또한, 상기 제2 이형 영역은 샌드 블러스트 가공에 의해 형성된다.
또한, 상기 제2 이형 영역과 상기 제1 이형 영역의 조도가 상이하다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판은, 제1 면 및 상기 제1 면과 반대면인 제2 면을 포함하고, 상기 제1 면 상에는, 샌드블러스트 가공된 제1 이형 영역과 상기 제1 이형 영역의 주변에 샌드블러스트 가공되지 않은 제1 부착 영역을 포함한다.
또한, 상기 캐리어 기판은 글라스 재질로 형성되고, 상기 제1 이형 영역의 조도는 0.15 ~ 1.2㎛ 이고, 상기 제1 부착 영역의 조도는 0.2~0.3㎚이다.
또한, 상기 제1 면 상에 베이스 기판이 위치하고, 상기 제1 부착 영역에서, 반데르발스 포스 및 Si-O 공유 결합에 의해 상기 캐리어 기판과 상기 베이스 기판 간의 접합이 이루어지며, 상기 제1 이형 영역은 상기 베이스 기판과 미접합 상태가 된다.
또한, 상기 제1 이형 영역과 대응하는 상기 베이스 기판 상에 디스플레이부가 형성되며, 상기 제1 이형 영역과 대응하는 상기 베이스 기판의 영역은 후속 공정에서 절단 분리된다.
또한, 상기 제1 이형 영역과 제1 부착 영역이 각각 복수개 구비된다.
또한, 상기 제2 면 상에 상기 제1 이형 영역과 대응하는 제2 이형 영역이 형성된다.
또한, 상기 제2 이형 영역은 샌드블러스트 가공된 영역이다.
또한, 상기 제2 이형 영역과 상기 제1 이형 영역의 조도가 상이하다.
상기한 바와 같은 본 발명의 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 및 그 제조방법에 사용되는 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판에 의하면 별도의 마스크 증착 공정을 추가하지 않고도 캐리어 기판과 베이스 기판의 합착과 분리 공정을 원활하게 수행할 수 있게 되며, 따라서, 기판의 합착과 분리과정에서 생길 수 있는 제품 손상의 위험도 크게 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 기판의 제조 방법을 개략적으로 도시한 단면도들이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 캐리어 기판의 제조 방법을 간략하게 도시한 단면도들이다.
도 4a 내지 도 4e는 도 1의 플렉시블 디스플레이 장치의 제조 과정을 개략적으로 도시한 단면도들이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉시블 디스플레이 장치(100)를 도시한 것으로, 상향 발광 타입을 예시한 것이다.
도시된 바와 같이 본 실시예의 플렉시블 디스플레이 장치(100)는, 50~100㎛ 두께의 초박형의 베이스 기판(110)과, 화상을 구현하는 디스플레이부(120), 상기 디스플레이부(120)를 밀봉시키는 봉지 기판(130)이 순차 적층된 구조로 이루어져 있다. 즉, 기존의 두껍고 단단한 글라스 기판을 대신하여 극히 얇은 글라스 재질의 베이스 기판(110)과 박막으로 이루어진 봉지 기판(130)으로 디스플레이부(120)를 밀봉하는 플렉시블 구조를 구현하고 있다.
따라서, 두꺼운 글라스 기판으로 디스플레이부(130)를 상하로 둘러싸는 기존의 전형적인 구조에 비해 유연성이 상당히 증가하게 되며, 화면이 휘어진 상태에서의 디스플레이도 가능해지게 된다.
상기 베이스 기판(110)은 일반적인 글라스와 재질은 같지만 그 두께가 50~100㎛ 에 불과하여 유연성과 투과율이 매우 우수하다.
상기 디스플레이부(120)는 박막트랜지스터(미도시)와 발광층(미도시) 등을 포함하여 화상을 구현하는 유닛으로, 여기서는 디스플레이부(120)로 간략히 나타내기로 한다.
그리고, 상기 봉지 기판(130)은 외부로부터의 수분의 침투를 막는 방습성을 가진 층으로서 예컨대 SiO/SiN의 다층막과 투명 폴리이미드가 적층된 박막층으로 구성될 수 있으며, 박막층이므로 그 두께가 1~10㎛에 불과하다.
상기와 같은 구조의 플렉시블 디스플레이 장치(100)는 도 2a 및 도 2b에서 설명하는 캐리어 기판(200) 또는 도 3a 및 도 3b에서 설명하는 캐리어 기판(202)을 이용하여 제조될 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 기판의 제조 방법을 개략적으로 도시한 단면도들이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하여 캐리어 기판(200)의 제조 방법을 설명하면, 먼저 도 2a와 같이, 글라스 재질의 캐리어 기판(200)을 준비한 후, 캐리어 기판(200)의 제1 면에 샌드 블라스트(Sand blast) 공정을 수행한다.
글라스 재질의 캐리어 기판(200)은 조도가 0.2 내지 0.3㎚로, 매우 평탄한 면을 가지는 기판일 수 있다.
샌드 블라스트는 모래를 압축공기로 뿜는 공정으로, 샌드 블라스트 공정 후에는, 도 2b에 도시된 바와 같이, 캐리어 기판(200)의 제1 면 상에는 미세한 요철이 형성된 제1 이형 영역(210)과 제1 이형 영역의 주변에 샌드 블라스트 가공이 되지 않은 제1 부착 영역(220)이 각각 형성될 수 있다.
이때, 제1 부착 영역(220)은 샌드 블라스트 가공이 되지 않은 영역이므로 조도가 원래대로 0.2 내지 0.3㎚의 범위가 되지만, 제1 이형 영역(210)은 샌드 블라스트 가공에 의해 제1 부착 영역(220)에 비해 상대적으로 거친 상태가 된다.
한편, 제1 이형 영역(210)의 조도가 1.2㎛크게 형성되면, 샌드 블라스트 공정 중 또는 후속 공정 중에 캐리어 기판(200)이 깨질 위험이 있다. 반면에, 0.15㎛ 보다 작으면 후속 공정 중에 베이스 기판(110)과 접합이 될 수 있다. 즉, 이형효과가 미미해지므로, 제1 이형 영역(210)은 0.15 내지 1.2㎛ 범위의 조도가 되도록 샌드 블라스트 가공을 수행하는 것이 바람직하다.
또한, 도 2a 및 도 2b에서는 제1 이형 영역(210)이 하나 형성된 것을 예시하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 캐리어 기판(200)에는 제1 이형 영역(210)과 제1 부착 영역(220)이 각각 복수 개 형성될 수도 있다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 캐리어 기판의 제조 방법을 개략적으로 도시한 단면도들이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 캐리어 기판(202)은, 제1 이형영역(210)이 기 형성된 제1 면과 반대되는 면인 제2 면에 샌드 블라스트 공정을 재차 수행하여 제2 이형영역(212)을 형성함으로써 제조될 수 있다.
제1 면 상에 형성된 제1 이형영역(210)은 도 2a 및 도 2b에서 도시하고 설명한 바와 동일하게 형성될 수 있다. 즉, 제1 이형영역(210)은 샌드 블라스트 공법에 의해 0.15 내지 1.2㎛ 범위의 조도를 가지도록 형성된다.
한편, 샌드 블라스트 공법은 모래를 압축공기로 분사하는 공법으로, 제1 이형영역(210)을 형성하는 과정 중 캐리어 기판(202)은 모래가 분사되는 방향으로 휠 가능성이 있다. 이와 같이 캐리어 기판(202)에 휨에 발생하면 캐리어 기판(202)에 부착되는 초박형의 베이스 기판(도 1의 110)이 깨질 수 있는바, 제2 면 상에 제2 이형영역(212)을 형성함으로써, 캐리어 기판(202)의 평평도를 유지하도록 할 수 있다.
보다 구체적으로, 제1 이형영역(210)을 형성하는 과정 중 휨이 발생하더라도, 제2 면 상에 제1 이형영역(210)과 대응하는 제2 이형영역(212)을 샌드 블라스트 공법에 의해 형성함으로써, 제1 이형영역(210)을 형성하는 과정 중 발생한 휨을 상쇄시켜 캐리어 기판(202)의 평평도를 유지하도록 할 수 있다.
한편, 제2 이형영역(212)은 캐리어 기판(202)의 휨을 억제할 목적으로 형성되는 영역으로, 제2 이형 영역(212)과 제1 이형 영역(210)의 조도는 상이하게 형성될 수 있다.
도 4a 내지 도 4e는 도 1의 플렉시블 디스플레이 장치의 제조 과정을 개략적으로 도시한 단면도들로, 이하에서는 설명의 편의상 도 2b에 도시된 캐리어 기판(200)을 사용하여 플렉시블 디스플레이 장치의 제조 방법을 설명한다.
먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이 제1 면 상에 제1 이형 영역(210)과 제1 이형 영역(210)의 주변에 제1 부착 영역(220)을 포함하는 캐리어 기판(200)을 준비하고, 캐리어 기판(200)의 제1 면 상에 베이스 기판(110)을 부착시킨다.
한편, 캐리어 기판(200)과 베이스 기판(110)은 모두 조도 0.2 내지 0.3㎚ 범위의 매우 평탄한 표면을 가진 글라스이나, 상술한 바와 같이 캐리어 기판(200)의 제1 이형 영역(210)은 샌드 블라스트 처리에 의해 0.15 내지 1.2㎛ 범위의 조도를 갖는다.
따라서, 제1 부착 영역(220)에서는 조도가 0.2 내지 0.3㎚ 범위인 캐리어 기판(200)과 베이스 기판(110)이 밀착됨에 따라 반데르발스 포스가 작용하여 견고한 결합이 이루어지게 된다. 이에 반해, 제1 이형 영역(210)은 샌드 블라스트 가공에 의해 거칠어진 상태이므로 베이스 기판(110)과의 사이에서 반데르발스 포스가 작용하기 어려워 미접합 상태가 된다.
이 상태에서 약 250 ℃ 이상의 고온으로 열처리를 하면, 분자간 거리가 가까운 제1 부착 영역(220)에서는 캐리어 기판(200)과 베이스 기판(110) 간의 Si-O 공유결합이 유도되어, 캐리어 기판(200)과 베이스 기판(110)은 더욱 견고한 결합이 진행된다. 그러나, 제1 이형 영역(210)에서는 분자간 거리가 멀어서 Si-O 공유결합도 거의 진행되지 않기 때문에, 캐리어 기판(200)과 베이스 기판(110)은 미접합인 상태가 유지된다.
이와 같이, 캐리어 기판(200) 위에 베이스 기판(110)이 결합되고 나면, 다음으로 도 4b와 같이 베이스 기판(110) 위에 디스플레이부(120)를 형성한다. 디스플레이부(120)는 베이스 기판(110)의 상기 제1 이형 영역(210)에 대응하는 영역 상에 형성된다.
그리고, 계속해서 도 4c와 같이, 디스플레이부(120) 위에 봉지 기판(130)을 형성하여 디스플레이부(120)를 밀봉시킨다.
이와 같은 과정으로 적층 구조가 만들어지면, 도 4d와 같이 캐리어 기판(200)의 제1 이형 영역(210)의 안쪽을 따라 베이스 기판(110)에 레이저를 조사하여 한다. 즉, 미접합 상태로 있던 제1 이형 영역(210)과의 대응 부위에 레이저를 조사하여 절단해냄으로써 분리가 쉽게 이루어지도록 하는 것이다.
이후에는 도 4e와 같이 상기 캐리어 기판(200)으로부터 베이스 기판(110)을 분리시킨다. 이때, 만일 캐리어 기판(200)과 베이스 기판(110)의 전면이 다 견고히 결합되어 있는 상태라면, 분리가 쉽게 이루어지지 않아서 억지로 베이스 기판(110)을 떼어내다가 제품에 손상을 입힐 수도 있지만, 본 방법에서는 샌드 블라스트 가공에 의해 미접합 상태로 있는 제1 이형 영역(210)의 안쪽을 절단하여 분리해내므로, 이러한 문제가 해소될 수 있다.
이렇게 제조된 플렉시블 디스플레이 장치(100)는, 유연한 베이스 기판(110)과 봉지기판(130)이 기존의 단단하고 두꺼운 글라스 기판을 대신하기 때문에 유연성이 지닌 장치가 구현될 수 있다.
또한, 상기한 바와 같이 제조공정을 거치기 위해 베이스 기판(110)을 캐리어 기판(200)에 부착시킬 때에는 제1 부착 영역(220)에서의 견고한 결합을 이용하고, 분리 시에는 미접합 상태인 제1 이형 영역(210) 안쪽을 절단하여 분리해내므로, 합착과 분리가 모두 원활하게 진행될 수 있으며, 따라서 이 과정에서 제품 불량이 발생할 가능성도 대폭 줄어들게 된다.
뿐만 아니라, 캐리어 기판(200)에 미접합 영역인 제1 이형 영역(210)을 만들 때 샌드 블라스트 공정을 이용하기 때문에, 별도의 마스크 증착 공정을 거칠 필요가 없어서 작업 부담도 별로 크지 않다.
그리고, 전술한 실시예에서는 제1 이형 영역(210)과 제1 부착 영역(220)이 하나씩 마련된 경우를 예시하였는데, 이들을 복수개 형성하여 복수개에 대한 합착과 분리 작업을 진행할 수도 있다.
그러므로, 이상에서 설명한 캐리어 기판과 제조방법을 이용하면, 별도의 마스크 증착 공정을 추가하지 않고도 캐리어 기판과 베이스 기판의 합착과 분리 공정을 원활하게 수행할 수 있게 되며, 따라서, 기판의 합착과 분리과정에서 생길 수 있는 제품 손상의 위험도 크게 줄일 수 있다.
한편, 도 4a 내지 도 4e에서 설명한 플렉시블 디스플레이 장치의 제조 방법에서는 도 3b에 도시된 캐리어 기판(202)을 사용할 수 있음은 물론이다.
도 3b에 도시된 캐리어 기판(202)은 제1 면 상에 제1 이형 영역(210)이 형성되고, 제1 면과 반대면인 제2 면 상에 제1 이형 영역(210)과 대응하는 제2 이형 영역(212)이 형성되어 있다. 즉, 제1 이형 영역(210)을 형성하기 위한 샌드 블러스트 공정 중 캐리어 기판(202)에 휨이 발생하더라도, 제2 이형 영역(212)을 샌드 블러스트 공법에 의해 형성함에 따라 캐리어 기판(202)에 발생한 휨을 상쇄시킬 수 있다. 따라서, 캐리어 기판(202)은 평평함을 유지할 수 있고 이에 따라, 휨이 발생한 캐리어 기판(202)을 재활용할 수 있으므로, 제조수율이 향상된다. 또한, 캐리어 기판(202)이 평평함을 유지하므로, 박막의 베이스 기판(110)의 부착 등의 공정이 안정적이고, 형성되는 플렉시블 디스플레이 장치(100)의 품질이 더욱 향상될 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
100: 플렉시블 디스플레이 장치
110: 베이스 기판 120: 디스플레이부
130: 봉지 기판 200, 202: 캐리어 기판
210: 제1 이형 영역 212: 제2 이형 영역
220: 제1 부착 영역

Claims (21)

  1. 제1 면 상에 샌드블러스트 가공된 제1 이형 영역과 상기 제1 이형 영역의 주변에 샌드블러스트 가공되지 않은 제1 부착 영역을 포함하는 캐리어 기판을 준비하는 단계;
    상기 제1 면 상에 베이스 기판을 부착시키는 단계;
    상기 베이스 기판의 상기 제1 이형 영역에 대응하는 영역 상에 디스플레이부를 형성하는 단계;
    상기 디스플레이부를 포함하도록, 상기 제1 이형 영역에 대응하는 영역의 상기 베이스 기판을 절단하는 단계; 및
    상기 절단된 베이스 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 분리해내는 단계;를 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 기판과 상기 캐리어 기판은 모두 조도 0.2~0.3㎚ 범위의 글라스 재질인 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 샌드블러스트 가공으로 상기 제1 이형 영역의 조도를 0.15 ~ 1.2㎛ 범위가 되게 하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 기판을 부착시키는 단계는,
    상기 제1 부착 영역에서, 상기 캐리어 기판과 상기 베이스 기판을 반데르발스 포스에 의해 접합시키는 단계; 및,
    열처리를 통해 상기 제1 부착 영역에서, 상기 캐리어 기판과 상기 베이스 기판 간의 Si-O 공유결합을 유도하여 접합시키는 단계;를 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판에 상기 베이스 기판을 부착시킨 후에도, 상기 제1 이형 영역은 상기 베이스 기판과 미접합 상태가 되는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 디스플레이부를 형성한 다음에, 상기 디스플레이부를 밀봉하는 단계;를 더 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 절단하는 단계에서는 레이저를 조사하여 상기 베이스 기판을 절단하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 절단하는 단계는, 상기 베이스 기판의 가장자리가 상기 제1 이형 영역의 경계보다 상기 제1 이형 영역의 중심으로 이격되도록 절단하는 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어 기판은 상기 제1 면의 반대면인 제2 면을 포함하고,
    상기 제2 면상에는 상기 제1 이형 영역과 대응하는 제2 이형 영역이 형성된 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제2 이형 영역은 샌드 블러스트 가공에 의해 형성된 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제2 이형 영역과 상기 제1 이형 영역의 조도가 상이한 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법.
  13. 제1 면; 및
    상기 제1 면과 반대면인 제2 면을 포함하고,
    상기 제1 면 상에는, 샌드블러스트 가공된 제1 이형 영역과 상기 제1 이형 영역의 주변에 샌드블러스트 가공되지 않은 제1 부착 영역을 포함하는 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판은 글라스 재질로 형성되고,
    상기 제1 이형 영역의 조도는 0.15 ~ 1.2㎛ 이고, 상기 제1 부착 영역의 조도는 0.2~0.3㎚ 인 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 제1 면 상에 베이스 기판이 위치하고,
    상기 제1 부착 영역에서, 반데르발스 포스 및 Si-O 공유 결합에 의해 상기 캐리어 기판과 상기 베이스 기판 간의 접합이 이루어지며, 상기 제1 이형 영역은 상기 베이스 기판과 미접합 상태가 되는 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제1 이형 영역과 대응하는 상기 베이스 기판 상에 디스플레이부가 형성되며, 상기 제1 이형 영역과 대응하는 상기 베이스 기판의 영역은 후속 공정에서 절단 분리되는 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판.
  17. 제 13 항에 있어서,
    상기 제1 이형 영역과 제1 부착 영역이 각각 복수개 구비된 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판.
  18. 제13항에 있어서,
    상기 제2 면 상에 상기 제1 이형 영역과 대응하는 제2 이형 영역이 형성된 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 제2 이형 영역은 샌드블러스트 가공된 영역인 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 제2 이형 영역과 상기 제1 이형 영역의 조도가 상이한 플렉시블 디스플레이 장치 제조용 캐리어 기판.
  21. 제1항, 제3항 내지 제12항 중 어느 한 항의 플렉시블 디스플레이 장치의 제조방법 에 의해 제조된 플렉시블 디스플레이 장치.
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