KR101959266B1 - Fixing jig apparatus for discharge line of the semiconductor manufacturing equipment - Google Patents

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KR101959266B1
KR101959266B1 KR1020180062459A KR20180062459A KR101959266B1 KR 101959266 B1 KR101959266 B1 KR 101959266B1 KR 1020180062459 A KR1020180062459 A KR 1020180062459A KR 20180062459 A KR20180062459 A KR 20180062459A KR 101959266 B1 KR101959266 B1 KR 101959266B1
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한윤섭
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주식회사 에이치엔씨
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Abstract

The present invention relates to a fixing jig apparatus for a discharge line of semiconductor manufacturing equipment, wherein with a structure in which a heating unit and an insulation unit are embedded in a hollow jig body formed to surround a first flange and a second flange of a gas discharge pipe, a heat loss generated in a connection portion of the discharge line is minimized to prevent powder from being fixated to an internal side of the connection portion of the discharge line.

Description

반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치{FIXING JIG APPARATUS FOR DISCHARGE LINE OF THE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a jig for fixing a discharge line of a semiconductor manufacturing apparatus,

본 발명은 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 배출라인의 연결 부위에 발생하는 열손실을 최소화하여 배출라인의 연결부 내측에 파우더가 고착되는 것을 방지할 수 있도록 한 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a jig for fixing a discharge line of a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, to a jig for fixing a discharge line of a semiconductor manufacturing apparatus, which minimizes heat loss occurring at a connection portion of a discharge line, To a fixing jig device for a discharge line of a semiconductor manufacturing apparatus.

화학기상증착(CVD : chemical vapor deposion) 공정은 일반적으로 반도체 제조공정에 있어서 진공상태에서 수행된다.A chemical vapor deposition (CVD) process is generally performed in a vacuum state in a semiconductor manufacturing process.

이러한 화학기상증착 공정의 수행을 위하여, 튜브의 내부에 있는 웨이퍼 위에 막질을 적층하기 위하여 튜브의 내부로 웨이퍼의 표면에 증착시킬 화학소스를 가스상태로 공급하게 된다.In order to perform the chemical vapor deposition process, a chemical source to be deposited on the surface of the wafer is supplied in a gaseous state to the inside of the tube in order to stack the film on the wafer inside the tube.

그리고, 튜브의 내부로 유입된 증기 상태의 화학 소스는 증착이 완료되면 배출관을 따라 외부로 배출되는 것이다.The vaporized chemical source introduced into the tube is discharged to the outside along the discharge pipe when the deposition is completed.

여기서, 튜브의 내부에는 고온 상태가 유지되므로 화학소스가 기체 상태로 유지될 수 있지만, 배출관을 지나면서 온도가 급격히 강하되어 일부 가스는 배출라인의 내측 벽면에 파우더 형태로 고착되는 문제가 발생하게 된다.Here, since the high temperature state is maintained in the inside of the tube, the chemical source can be maintained in a gaseous state, but the temperature is rapidly lowered through the discharge pipe, and some gases are adhered to the inner wall surface of the discharge line in powder form .

이때, 배출관의 내측 벽면에 증착가스가 파우더 형태로 고착되면 배출관의 내부 압력을 상승시킴으로 인하여 배기력이 저하되는 것이다.At this time, when the deposition gas is adhered to the inner wall surface of the discharge pipe in the form of powder, the internal pressure of the discharge pipe is raised and the discharge power is lowered.

상기와 같은 문제점을 개선하기 위하여 발명된 것으로, 등록특허 제10-1307137호의 "반도체 제조장치 배출라인의 파우더 고착 방지장치"(이하 선행기술)와 같은 것을 들 수 있다.In order to overcome the above-mentioned problems, the present invention can be applied to an apparatus for preventing powder adhesion of a discharge line of a semiconductor manufacturing apparatus (hereinafter referred to as "Prior Art") of Japanese Patent No. 10-1307137.

선행기술은 배출라인의 외측에 에어로겔로 구성되는 단열층을 구비하여 배출라인의 냉각을 방지함으로써 배출라인의 내측에 파우더가 고착되는 것을 방지하는 것이다.The prior art has a heat insulating layer made of an airgel outside the discharge line to prevent cooling of the discharge line, thereby preventing the powder from sticking to the inside of the discharge line.

그러나, 선행기술은 배출라인을 구성하는 가스배출관과 이웃한 가스배출관 각각을 서로 연결하도록 형성된 플랜지가 맞닿은 부분에 걸쳐 열손실이 발생하게 되어 전술한 플랜지가 서로 맞닿아 고정된 부분에 여전히 파우더가 고착되는 문제가 발생하였다.However, in the prior art, since heat loss occurs across the abutment of the flange formed to connect the gas discharge pipe constituting the discharge line and the adjacent gas discharge pipe to each other, the above-mentioned flanges come into contact with each other, .

등록특허 제10-1307137호Registration No. 10-1307137

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위하여 발명된 것으로, 배출라인의 연결 부위에 발생하는 열손실을 최소화하여 배출라인의 연결부 내측에 파우더가 고착되는 것을 방지할 수 있도록 하는 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a semiconductor manufacturing apparatus discharge line which can minimize the heat loss occurring at the connection part of the discharge line and prevent the powder from sticking to the inside of the connection part of the discharge line And to provide a fixing jig device.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체 제조장치에서 공정반응이 완료된 가스를 배출시키는 유로를 형성하도록, 양단부에 각각 플랜지를 형성하는 복수의 가스배출관 중 하나의 가스배출관(이하 제1 배출관) 단부의 플랜지(이하 제1 플랜지)와, 상기 제1 배출관과 이웃한 가스배출관(이하 제2 배출관) 단부의 플랜지(이하 제2 플랜지)를 대면시키고, 상기 제1 플랜지 및 상기 제2 플랜지를 감싸며 고정하는 지그 본체; 상기 지그 본체에 내장되어 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지의 외측에 배치되고 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지 및 상기 제1 배출관과 상기 제2 배출관의 연결부 주변을 가열시키는 히팅 유닛; 및 상기 지그 본체에 내장되어 상기 히팅 유닛의 외측을 감싸며 상기 히팅 유닛으로부터 발생한 열이 상기 연결부 주변과 상기 제1 플랜지 및 상기 제2 플랜지 이외의 부분으로 발산되는 것을 규제하는 단열 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치를 제공할 수 있다.In order to accomplish the above object, the present invention provides a method for manufacturing a semiconductor device, comprising: a gas discharge pipe (hereinafter, referred to as " first discharge pipe ") of a plurality of gas discharge pipes, each of which forms a flange at both ends, (Hereinafter, referred to as a second flange) of an end portion of a gas discharge pipe (hereinafter referred to as a second discharge pipe) adjacent to the first discharge pipe and a flange A jig main body for wrapping and fixing; A heating unit which is built in the jig body and is disposed outside the first flange and the second flange and heats the periphery of the connection between the first flange and the second flange and between the first discharge pipe and the second discharge pipe; And an insulating unit that is embedded in the jig body and surrounds the outside of the heating unit and restricts the heat generated from the heating unit from being radiated to the periphery of the connection part and the part other than the first flange and the second flange And a fixing jig device for discharging the semiconductor manufacturing apparatus.

여기서, 상기 지그 본체는, 내측면에 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지 각각의 일부분을 수용 가능한 원호 형상의 제1 수용홈을 형성하는 반원링 형상의 제1 고정 블록과, 내측면에 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지 각각의 나머지 부분을 수용 가능한 원호 형상의 제2 수용홈을 형성하는 반원링 형상의 제2 고정 블록과, 상기 제1 수용홈 또는 상기 제2 수용홈의 일측에 구비되며, 상기 제1 수용홈 및 상기 제2 수용홈에 서로 맞닿아 수용된 상기 제1 플랜지 및 상기 제2 플랜지의 고정 상태를 유지시킴과 동시에, 상기 제1 고정 블록 및 상기 제2 고정 블록을 서로 고정시키는 고정부를 포함하며, 상기 히팅 유닛과 상기 단열 유닛은 상기 제1 고정 블록 및 상기 제2 고정 블록에 내장되는 것을 특징으로 한다.The jig body includes a first fixed block of a semicircular ring shape having an inner side surface formed with an arc-shaped first receiving groove capable of receiving a portion of each of the first flange and the second flange, A second fixing block of a semicircular ring shape that forms an arc-shaped second receiving groove capable of accommodating the remaining portion of each of the first flange and the second flange, and a second fixing block provided on one side of the first receiving groove or the second receiving groove , The first flange and the second flange being held in contact with the first receiving groove and the second receiving groove are held in a fixed state and the first holding block and the second holding block are fixed to each other Wherein the heating unit and the heat insulating unit are embedded in the first fixing block and the second fixing block.

이때, 상기 지그 본체는, 상기 제1 고정 블록을 형성하는 것으로, 내측면에 상기 제1 수용홈이 형성된 제1 코어 블록과, 상기 제1 고정 블록을 형성하는 것으로, 상기 제1 코어 블록의 양측 가장자리를 마감하며, 상기 제1 코어 블록의 양측면 및 외측면을 이격하여 내부에 수용하는 제1 외곽 블록과, 상기 제2 고정 블록을 형성하는 것으로, 내측면에 상기 제2 수용홈이 형성된 제2 코어 블록과, 상기 제2 고정 블록을 형성하는 것으로, 상기 제2 코어 블록의 양측 가장자리를 마감하며, 상기 제2 코어 블록의 양측면 및 외측면을 이격하여 내부에 수용하는 제2 외곽 블록을 포함하며, 상기 제1 코어 블록과 상기 제1 외곽 블록 사이에는 상기 히팅 유닛과 상기 단열 유닛이 내장되는 제1 장착 공간이 형성되고, 상기 제2 코어 블록과 상기 제2 외곽 블록 사이에는 상기 히팅 유닛과 상기 단열 유닛이 내장되는 제2 장착 공간이 형성되는 것을 특징으로 한다.At this time, the jig main body forms the first fixing block, and includes a first core block having the first receiving groove formed on its inner side, and a second fixing block formed on both sides of the first core block A first outer block which is closed at an edge thereof and accommodates therein the inner and outer sides of the first core block at a distance from each other; And a second outer block which forms both the core block and the second fixing block and closes both side edges of the second core block and accommodates the inner and outer sides of the second core block at a distance from each other, A first mounting space in which the heating unit and the heat insulating unit are installed is formed between the first core block and the first outer block, and a second mounting space is formed between the second core block and the second outer block, Claim that this heating unit and the insulating unit embedded is characterized in that the second mounting area is formed.

또한, 상기 히팅 유닛은, 상기 제1 고정 블록에 내장되어 상기 제1 수용홈 주변을 가열시키는 제1 히터와, 상기 제2 고정 블록에 내장되어 상기 제2 수용홈 주변을 가열시키는 제2 히터를 포함하는 것을 특징으로 한다.The heating unit may include a first heater built in the first fixing block to heat the periphery of the first housing groove and a second heater built in the second fixing block to heat the periphery of the second housing groove, .

아울러, 상기 단열 유닛은, 상기 제1 고정 블록에 내장되어 상기 제1 수용홈 주변을 가열시키는 제1 히터를 감싸며, 상기 제1 고정 블록 내부에 고정되는 제1 절연체와, 상기 제2 고정 블록에 내장되어 상기 제2 수용홈 주변을 가열시키는 제2 히터를 감싸며, 상기 제2 고정 블록 내부에 고정되는 제2 절연체를 포함하는 것을 특징으로 한다.The heat insulating unit may include a first insulator which is embedded in the first fixing block and surrounds a first heater for heating the periphery of the first housing groove and is fixed inside the first fixing block, And a second insulator which is embedded in the second fixing block and surrounds a second heater for heating the periphery of the second accommodating groove.

상기와 같은 구성의 본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.According to the present invention having the above-described configuration, the following effects can be achieved.

우선, 본 발명은 반도체 제조장치에서 공정반응이 완료된 가스를 배출시키는 유로를 형성하도록, 양단부에 각각 플랜지를 형성하는 복수의 가스배출관 중 하나의 가스배출관(이하 제1 배출관) 단부의 플랜지(이하 제1 플랜지)와, 제1 배출관과 이웃한 가스배출관(이하 제2 배출관) 단부의 플랜지(이하 제2 플랜지)를 대면시키고, 제1 플랜지 및 제2 플랜지를 감싸며 고정하는 지그 본체; 지그 본체에 내장되어 제1 플랜지와 제2 플랜지의 외측에 배치되고 제1 플랜지와 제2 플랜지 및 제1 배출관과 제2 배출관의 연결부 주변을 가열시키는 히팅 유닛; 및 지그 본체에 내장되어 히팅 유닛의 외측을 감싸며 히팅 유닛으로부터 발생한 열이 연결부 주변과 제1 플랜지 및 제2 플랜지 이외의 부분으로 발산되는 것을 규제하는 단열 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하여, 제1 플랜지와 제2 플랜지를 포함한 가스배출관 연결부 주변의 온도 강하로 인한 파우더 고착까지 확실하게 방지할 수 있게 될 것이다.First, the present invention is characterized in that a flange (hereinafter referred to as a "flange") of a gas discharge pipe (hereinafter referred to as a "first discharge pipe") of a plurality of gas discharge pipes forming flanges at both ends (Hereinafter referred to as " first flange ") and a flange (hereinafter referred to as a second flange) of an end of a gas discharge pipe adjacent to the first discharge pipe (hereinafter referred to as a second discharge pipe) facing each other and surrounding and fixing the first flange and the second flange; A heating unit which is built in the jig body and is disposed outside the first flange and the second flange and heats the periphery of the connection between the first flange and the second flange and between the first discharge pipe and the second discharge pipe; And an insulating unit that is embedded in the jig main body and surrounds the outside of the heating unit to restrict heat generated from the heating unit from being radiated to the periphery of the connection portion and to the portions other than the first flange and the second flange, It is possible to reliably prevent the adhesion of the powder due to the temperature drop around the connection portion of the gas discharge pipe including the second flange.

특히, 본 발명은 선행기술을 포함한 기존의 가스배출관 연결부의 고정용 지그와 비교할 때, 단순한 고정 연결용에 국한되지 않고 단열성과 온도 강하 방지를 위한 적극적인 발열로써 가스 배출이 지속적으로 원활하게 이루어질 수 있게 될 것이다.Particularly, the present invention is not limited to a fixing jig for a conventional gas discharge pipe connection including the prior art, and is not limited to a simple fixed connection, but is an active heat for heat insulation and prevention of temperature drop, Will be.

그리고, 본 발명에 따른 지그 본체는, 내측면에 제1 플랜지와 제2 플랜지 각각의 일부분을 수용 가능한 원호 형상의 제1 수용홈을 형성하는 반원링 형상의 제1 고정 블록과, 내측면에 제1 플랜지와 제2 플랜지 각각의 나머지 부분을 수용 가능한 원호 형상의 제2 수용홈을 형성하는 반원링 형상의 제2 고정 블록과, 제1 수용홈 또는 제2 수용홈의 일측에 구비되며, 제1 수용홈 및 제2 수용홈에 서로 맞닿아 수용된 제1 플랜지 및 제2 플랜지의 고정 상태를 유지시킴과 동시에, 제1 고정 블록 및 제2 고정 블록을 서로 고정시키는 고정부를 포함하며, 히팅 유닛과 단열 유닛은 제1 고정 블록 및 제2 고정 블록에 내장되도록 함으로써, 작업의 편의성을 대폭적으로 향상시킬 수 있음은 물론, 제1 플랜지와 제2 플랜지 상호간의 연결 상태를 견고하고 확실하게 유지시킬 수 있게 될 것이다.The jig body according to the present invention comprises a first fixed block of a semicircular ring shape having an inner side surface formed with an arc-shaped first receiving groove capable of receiving a part of each of the first flange and the second flange, A second fixing block in the form of a semicircular ring that forms an arc-shaped second receiving groove capable of accommodating the remaining portions of the first flange and the second flange, and a second fixing block provided on one side of the first receiving groove or the second receiving groove, And a fixing unit for fixing the first flange and the second flange received in contact with the receiving groove and the second receiving groove and fixing the first fixing block and the second fixing block to each other, Since the heat insulating unit is embedded in the first fixing block and the second fixing block, it is possible to greatly improve the convenience of the operation, and also to firmly and reliably maintain the connection state between the first flange and the second flange It will be possible.

그리고, 본 발명에 따른 지그 본체는, 제1 고정 블록을 형성하는 것으로, 내측면에 제1 수용홈이 형성된 제1 코어 블록과, 제1 고정 블록을 형성하는 것으로, 제1 코어 블록의 양측 가장자리를 마감하며, 제1 코어 블록의 양측면 및 외측면을 이격하여 내부에 수용하는 제1 외곽 블록과, 제2 고정 블록을 형성하는 것으로, 내측면에 제2 수용홈이 형성된 제2 코어 블록과, 제2 고정 블록을 형성하는 것으로, 제2 코어 블록의 양측 가장자리를 마감하며, 제2 코어 블록의 양측면 및 외측면을 이격하여 내부에 수용하는 제2 외곽 블록을 포함하며, 제1 코어 블록과 제1 외곽 블록 사이에는 히팅 유닛과 단열 유닛이 내장되는 제1 장착 공간이 형성되고, 제2 코어 블록과 제2 외곽 블록 사이에는 히팅 유닛과 단열 유닛이 내장되는 제2 장착 공간이 형성되도록 함으로써, 배출되는 가스의 온도 강하를 방지하는 확실한 솔루션을 제공하여 더욱 신뢰도 높은 제품을 수요처에 제공할 수 있게 될 것이다.The jig main body according to the present invention includes a first core block having a first accommodating groove formed in an inner surface thereof and a first fixing block formed by forming a first fixing block, A second core block having a second receiving groove formed on an inner side thereof, the first and second core blocks each having a first core block and a second core block, And a second outer block which forms a second fixing block and which closes both side edges of the second core block and accommodates therein both side surfaces and outer side surfaces of the second core block, A first mounting space in which a heating unit and a heat insulating unit are installed is formed between one outer block and a second mounting space in which a heating unit and a heat insulating unit are installed between the second core block and the second outer block, By providing a definitive solution to prevent a temperature drop of the gas export will be able to provide more reliable products on demand.

또한, 본 발명에 따른 히팅 유닛은, 제1 고정 블록에 내장되어 제1 수용홈 주변을 가열시키는 제1 히터와, 제2 고정 블록에 내장되어 제2 수용홈 주변을 가열시키는 제2 히터를 포함함으로써, 적극적인 발열 기능을 통한 배출되는 가스의 온도 강하 방지 솔루션을 확실하게 제시할 수 있게 될 것이다.The heating unit according to the present invention includes a first heater embedded in the first fixing block for heating the periphery of the first housing groove and a second heater embedded in the second fixing block for heating the periphery of the second housing groove , It will be possible to positively propose a solution to prevent the temperature drop of the exhausted gas through the active heating function.

아울러, 본 발명에 따른 단열 유닛은, 제1 고정 블록에 내장되어 제1 수용홈 주변을 가열시키는 제1 히터를 감싸며, 제1 고정 블록 내부에 고정되는 제1 절연체와, 제2 고정 블록에 내장되어 제2 수용홈 주변을 가열시키는 제2 히터를 감싸며, 제2 고정 블록 내부에 고정되는 제2 절연체를 포함함으로써, 히팅 유닛의 발열 기능 구현시 불필요한 곳에 열이 발산되는 것을 확실하게 방지함은 물론 히팅 유닛의 최초 설치 상태의 유지를 위한 확실한 고정 구조의 제공까지 가능하게 될 것이다.The heat insulating unit according to the present invention includes a first insulator which is embedded in the first fixing block and surrounds a first heater for heating the periphery of the first housing groove, And the second insulator is fixed to the inside of the second fixing block. Thus, it is possible to reliably prevent the heat from being dissipated to an unnecessary place when implementing the heat generating function of the heating unit It will be possible to provide a secure fixing structure for maintaining the initial installation state of the heating unit.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치의 전체적인 외관을 도시한 사시도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치의 주요부인 지그 본체 중 제1 고정 블록의 내부 구조를 도시한 부분 절개 단면 사시 개념도
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치의 주요부인 지그 본체 중 제2 고정 블록의 내부 구조를 도시한 부분 절개 단면 사시 개념도
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치의 전체적인 외관을 도시한 사시도BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view showing the overall appearance of a fixing jig device of a discharge line of a semiconductor manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention; Fig.
FIG. 2 is a partially cutaway cross-sectional perspective view showing an internal structure of a first fixing block of a jig main body which is a main part of a fixing jig apparatus of a semiconductor manufacturing apparatus discharge line according to an embodiment of the present invention;
FIG. 3 is a partially cutaway cross-sectional perspective view showing the internal structure of the second fixing block of the jig main body, which is the main part of the fixing jig device of the semiconductor manufacturing apparatus discharge line according to the embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing the overall appearance of the fixing jig device of the discharge line of the semiconductor manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish them, will become apparent by reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings.

그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예로 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다.However, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in various other forms.

본 명세서에서 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.The present embodiments are provided so that the disclosure of the present invention is thoroughly disclosed and that those skilled in the art will fully understand the scope of the present invention.

그리고 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.And the present invention is only defined by the scope of the claims.

따라서, 몇몇 실시예에서, 잘 알려진 구성 요소, 잘 알려진 동작 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.Thus, in some embodiments, well known components, well known operations, and well-known techniques are not specifically described to avoid an undesirable interpretation of the present invention.

또한, 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하고, 본 명세서에서 사용된(언급된) 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다.In addition, throughout the specification, like reference numerals refer to like elements, and the terms (mentioned) used herein are intended to illustrate the embodiments and not to limit the invention.

본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함하며, '포함(또는, 구비)한다'로 언급된 구성 요소 및 동작은 하나 이상의 다른 구성요소 및 동작의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.In this specification, the singular forms include plural forms unless the context clearly dictates otherwise, and the constituents and acts referred to as " comprising (or comprising) " do not exclude the presence or addition of one or more other constituents and actions .

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다.Unless defined otherwise, all terms (including technical and scientific terms) used herein may be used in a sense commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs.

또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Also, commonly used predefined terms are not ideally or excessively interpreted unless they are defined.

이하, 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

우선, 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치의 전체적인 외관을 도시한 사시도이다.1 is a perspective view showing the overall appearance of a fixing jig device of a discharge line of a semiconductor manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

그리고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치의 주요부인 지그 본체(100) 중 제1 고정 블록(110)의 내부 구조를 도시한 부분 절개 단면 사시 개념도이다.2 is a partially cutaway perspective view showing the internal structure of the first fixing block 110 of the jig main body 100 which is the main part of the fixing jig device of the semiconductor manufacturing apparatus discharge line according to the embodiment of the present invention. to be.

또한, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치의 주요부인 지그 본체(100) 중 제2 고정 블록(120)의 내부 구조를 도시한 부분 절개 단면 사시 개념도이다.3 is a partially cutaway perspective view showing the internal structure of the second fixing block 120 of the jig main body 100 which is the main part of the fixing jig device of the semiconductor manufacturing apparatus discharge line according to the embodiment of the present invention. to be.

아울러, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치의 전체적인 외관을 도시한 사시도이다.4 is a perspective view showing the overall appearance of the fixing jig device of the discharge line of the semiconductor manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 도시된 바와 같이 지그 본체(100)에 히팅 유닛(200)과 단열 유닛(300)이 내장된 구조임을 파악할 수 있다.It can be understood that the present invention has a structure in which the heating unit 200 and the heat insulating unit 300 are built in the jig main body 100 as shown in FIG.

우선, 지그 본체(100)는 반도체 제조장치에서 공정반응이 완료된 가스를 배출시키는 유로를 형성하기 위하여 마련된 것이다.First, the jig main body 100 is provided to form a flow path for discharging the gas that has undergone the process reaction in the semiconductor manufacturing apparatus.

즉, 지그 본체(100)는 양단부에 각각 플랜지를 형성하는 복수의 가스배출관 중 하나의 가스배출관(이하 제1 배출관(410)) 단부의 플랜지(이하 제1 플랜지(이하 미도시))와, 제1 배출관(410)과 이웃한 가스배출관(이하 제2 배출관(420)) 단부의 플랜지(이하 제2 플랜지(이하 미도시))를 대면시키고, 제1 플랜지 및 제2 플랜지를 감싸며 고정하는 것이다.That is, the jig body 100 has a flange (hereinafter referred to as a first flange (hereinafter, not shown)) at one end of a gas discharge pipe (hereinafter referred to as a first discharge pipe 410) of a plurality of gas discharge pipes forming flanges at both ends, (Hereinafter referred to as a second flange (not shown)) of the end of the first discharge pipe 410 and the adjacent gas discharge pipe (hereinafter referred to as the second discharge pipe 420) faces and fixes the first flange and the second flange.

그리고, 히팅 유닛(200)은 지그 본체(100)에 내장되어 제1 플랜지와 제2 플랜지의 외측에 배치되고 제1 플랜지와 제2 플랜지 및 제1 배출관(410)과 제2 배출관(420)의 연결부 주변을 가열시키는 것이다.The heating unit 200 is installed in the jig main body 100 and is disposed outside the first flange and the second flange and includes a first flange and a second flange and a first outlet pipe 410 and a second outlet pipe 420 And heating the periphery of the connection portion.

또한, 단열 유닛(300)은 지그 본체(100)에 내장되어 히팅 유닛(200)의 외측을 감싸며 히팅 유닛(200)으로부터 발생한 열이 연결부 주변과 제1 플랜지 및 제2 플랜지 이외의 부분으로 발산되는 것을 규제하는 것이다.The heat insulating unit 300 is embedded in the jig main body 100 and surrounds the outside of the heating unit 200 so that heat generated from the heating unit 200 is radiated to the periphery of the connection portion and to portions other than the first flange and the second flange Regulated.

본 발명은 상기와 같은 실시예의 적용이 가능하며 다음과 같은 다양한 실시예의 적용 또한 가능함은 물론이다.It is to be understood that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or scope of the invention.

제1 고정 블록(110)은 내측면에 제1 플랜지와 제2 플랜지 각각의 일부분을 수용 가능한 원호 형상의 제1 수용홈(101)을 형성하는 반원링 형상의 부재이다.The first fixing block 110 is a semicircular ring-shaped member forming an arc-shaped first receiving groove 101 capable of receiving a part of each of the first flange and the second flange on the inner surface.

제2 고정 블록(120)은 내측면에 제1 플랜지와 제2 플랜지 각각의 나머지 부분을 수용 가능한 원호 형상의 제2 수용홈(102)을 형성하는 반원링 형상의 부재이다.The second fixing block 120 is a semicircular ring-shaped member forming an arc-shaped second receiving groove 102 capable of receiving the remaining portions of the first flange and the second flange, respectively, on the inner surface thereof.

따라서, 후술할 히팅 유닛(200)과 후술할 단열 유닛(300)은 제1 고정 블록(110) 및 제2 고정 블록(120)에 내장되는 구조임을 도 2 및 도 3을 통하여도 확인할 수 있다.2 and 3 that the heating unit 200 to be described later and the heat insulating unit 300 to be described later are built in the first fixing block 110 and the second fixing block 120, respectively.

한편, 제1 고정 블록(110)은, 도 2를 참조하여 살펴보면, 내측면에 제1 수용홈(101)이 형성된 제1 코어 블록(111)과, 제1 코어 블록(111)의 양측 가장자리를 마감하며 제1 코어 블록(111)의 양측면 및 외측면을 이격하여 내부에 수용하는 제1 외곽 블록(112)을 포함하는 구조임을 파악할 수 있다.2, the first fixing block 110 includes a first core block 111 having a first receiving groove 101 formed on an inner surface thereof, And a first outer block 112 which is closed at both ends of the first core block 111 and accommodates the first core block 111 at both sides and outer sides thereof.

여기서, 제1 코어 블록(111)과 제1 외곽 블록(112) 사이에는 후술할 히팅 유닛(200)과 단열 유닛(300)이 내장되는 제1 장착 공간(113)이 형성된다.A first mounting space 113 in which a heating unit 200 and a heat insulating unit 300 to be described later are installed is formed between the first core block 111 and the first outer block 112.

이때, 제1 고정 블록(110)이 일체로 형성되지 않고 제1 코어 블록(111)과 제1 외곽 블록(112)으로 분리 형성된 것은 제1 장착 공간(113)에 내장된 후술할 히팅 유닛(200)에 의하여 발생된 열이 제1 고정 블록(110)의 외측으로 발산되지 않도록 하는 일종의 구조적 분리 절연 효과를 도모하기 위함이다.The first fixing block 110 is not integrally formed and the first core block 111 and the first outer block 112 are separated from each other by a heating unit 200 In order to prevent the heat generated by the first fixing block 110 from being diverted to the outside of the first fixing block 110.

또한, 제2 고정 블록(120)은, 도 3을 참조하여 살펴보면, 내측면에 제2 수용홈(102)이 형성된 제2 코어 블록(121)과, 제2 코어 블록(121)의 양측 가장자리를 마감하며, 제2 코어 블록(121)의 양측면 및 외측면을 이격하여 내부에 수용하는 제2 외곽 블록(122)을 포함하는 구조임을 파악할 수 있다.3, the second fixing block 120 includes a second core block 121 having a second receiving groove 102 formed on an inner surface thereof, and a second fixing block 120 having two side edges of the second core block 121 And a second outer block 122 for receiving the inner and outer sides of the second core block 121 and separating the outer and inner sides of the second core block 121 from each other.

여기서, 제2 코어 블록(121)과 제2 외곽 블록(122) 사이에는 후술할 히팅 유닛(200)과 단열 유닛(300)이 내장되는 제2 장착 공간(123)이 형성된다.A second mounting space 123 is formed between the second core block 121 and the second outer block 122 to house a heating unit 200 and a heat insulating unit 300 to be described later.

이때, 제2 고정 블록(120)이 일체로 형성되지 않고 제2 코어 블록(121)과 제2 외곽 블록(122)으로 분리 형성된 것은 제2 장착 공간(123)에 내장된 후술할 히팅 유닛(200)에 의하여 발생된 열이 제2 고정 블록(120)의 외측으로 발산되지 않도록 하는 일종의 구조적 분리 절연 효과를 도모하기 위함이다.The second fixing block 120 is not integrally formed and the second core block 121 and the second outer block 122 are separated from each other by a heating unit 200 To prevent the heat generated by the second fixing block 120 from being diverted to the outside of the second fixing block 120.

한편, 제1 외곽 블록(112)은, 도 2를 참조하여 더욱 구체적으로 살펴보면 크게 제1 외곽 내측벽(112a, 112a)과, 제1 외곽 측벽(112b, 112b)과, 제1 외곽 외벽(112c)을 포함하는 구조임을 파악할 수 있다.2, the first outer block 112 includes first and second outer side walls 112a and 112a, first outer side walls 112b and 112b, a first outer side wall 112c ). ≪ / RTI >

제1 외곽 내측벽(112a, 112a)은 제1 코어 블록(111)의 내측면과 연결되는 제1 코어 블록(111)의 양측 가장자리를 따라 각각 맞닿으며, 제1 코어 블록(111)의 내측면과 동일 평면 상에 배치되는 것이다.The first outer core inner side walls 112a and 112a abut on the opposite side edges of the first core block 111 connected to the inner side surface of the first core block 111, As shown in FIG.

제1 외곽 측벽(112b, 112b)은 제1 외곽 내측벽(112a, 112a) 각각의 외측 가장자리로부터 연장되어 제1 코어 블록(111)의 양측면과 각각 마주보며 서로 평행하게 배치되는 것이다.The first outer sidewalls 112b and 112b extend from the outer edges of the first inner sidewalls 112a and 112a and are disposed parallel to each other while facing opposite sides of the first core block 111 respectively.

제1 외곽 외벽(112c)은 제1 외곽 측벽(112b, 112b) 각각의 단부 가장자리와 연결되어 제1 코어 블록(111)의 외측면과 마주보는 것이다.The first outer outer wall 112c is connected to the end edge of each of the first outer sidewalls 112b and 112b and faces the outer surface of the first core block 111. [

여기서, 제1 장착 공간(113)은, 제1 외곽 내측벽(112a, 112a)과 제1 외곽 측벽(112b, 112b)과 제1 외곽 외벽(112c)과, 제1 코어 블록(111)의 양측면 및 외측면 사이에 형성되는 것을 알 수 있다.The first mounting space 113 includes first and second outer side walls 112a and 112a and first and second outer side walls 112b and 112b and a first outer wall 112c, And the outer side surface of the second substrate.

한편, 제2 외곽 블록(122)은, 도 3을 참조하여 더욱 구체적으로 살펴보면 크게 제2 외곽 내측벽(122a, 122a)과, 제2 외곽 측벽(122b, 122b)과, 제2 외곽 외벽(122c)을 포함하는 구조임을 파악할 수 있다.3, the second outer block 122 includes a second outer enclosure inner wall 122a, 122a, a second outer enclosure wall 122b, 122b, a second outer enclosure 122c ). ≪ / RTI >

제2 외곽 내측벽(122a, 122a)은 제2 코어 블록(121)의 내측면과 연결되는 제2 코어 블록(121)의 양측 가장자리를 따라 각각 맞닿으며, 제2 코어 블록(121)의 내측면과 동일 평면 상에 배치되는 것이다.The second outer side walls 122a and 122a abut on the opposite side edges of the second core block 121 connected to the inner side of the second core block 121, As shown in FIG.

제2 외곽 측벽(122b, 122b)은 제2 외곽 내측벽(122a, 122a) 각각의 외측 가장자리로부터 연장되어 제1 코어 블록(111)의 양측면과 각각 마주보며 서로 평행하게 배치되는 것이다.The second outer side walls 122b and 122b extend from the outer edges of the second inner side walls 122a and 122a and are disposed parallel to each other while facing opposite sides of the first core block 111 respectively.

제2 외곽 외벽(122c)은 제2 외곽 측벽(122b, 122b) 각각의 단부 가장자리와 연결되어 제2 코어 블록(121)의 외측면과 마주보는 것이다.The second outer outer wall 122c is connected to an end edge of each of the second outer side walls 122b and 122b and faces the outer surface of the second core block 121. [

여기서, 제2 장착 공간(123)은, 제2 외곽 내측벽(122a, 122a)과 제2 외곽 측벽(122b, 122b)과 제2 외곽 외벽(122c)과, 제2 코어 블록(121)의 양측면 및 외측면 사이에 형성되는 것을 알 수 있다.Here, the second mounting space 123 includes the second outer sidewalls 122a and 122a, the second outer sidewalls 122b and 122b, the second outer sidewall 122c, And the outer side surface of the second substrate.

그리고, 본 발명은 제1 고정 블록(110) 또는 제2 고정 블록(120)의 일단부에 회동 가능하게 구비되는 제1 단부와, 제2 고정 블록(120) 또는 제1 고정 블록(110)을 관통하여 제1 고정 블록(110) 및 제2 고정 블록(120)을 서로 고정시키는 제2 단부를 구비한 고정 레버(140)를 포함할 수 있다.The present invention is also applicable to a first fixing block 110 or a second fixing block 120 and a first end rotatably provided at one end of the second fixing block 120 and a second fixing block 120 or a first fixing block 110 And a fixing lever 140 having a second end for fixing the first fixing block 110 and the second fixing block 120 to each other.

여기서, 제1 수용홈(101)과 제2 수용홈(102) 각각의 양단부가 맞닿아 제1 플랜지 및 제2 플랜지 전체를 수용하게 되는 것이다.Both ends of the first receiving groove 101 and the second receiving groove 102 abut each other to accommodate the entire first flange and the second flange.

한편, 고정 레버(140)는, 제1 단부를 형성하는 것으로, 제1 수용홈(101) 또는 제2 수용홈(102)의 일단부에 회동 가능하게 결합되는 회동편(이하 미도시)과, 회동편으로부터 연장되는 연장봉(141)과, 제2 단부를 형성하는 것으로, 연장봉(141)에 정, 역회전 가능하게 결합되며 외주면에 미끄럼 방지홈(143)이 복수로 형성되는 조절봉(142)을 포함할 수 있다.On the other hand, the fixed lever 140 forms a first end and includes a rotating piece (not shown) rotatably coupled to one end of the first receiving groove 101 or the second receiving groove 102, A plurality of slip prevention grooves 143 are formed on the outer circumferential surface of the extension rod 141 in such a manner as to form a second end portion, 142).

따라서, 작업자는 고정 레버(140)의 연장봉(141)을 세워서 제1 수용홈(101) 또는 제2 수용홈(102)에 제1, 2 플랜지를 서로 맞닿게 하여 안착시킨 후, 제1, 2 플랜지의 나머지 부분을 감싸도록 제2 수용홈(102) 또는 제1 수용홈(101)이 제1, 2 플랜지에 수용되게 함으로써, 제1, 2 고정 블록(110, 120)의 상호 접촉이 이루어지게 된다.Therefore, the worker places the first and second flanges in contact with the first receiving groove 101 or the second receiving groove 102 by raising the extension rod 141 of the fixing lever 140, The mutual contact of the first and second fixing blocks 110 and 120 is made by allowing the second receiving groove 102 or the first receiving groove 101 to be accommodated in the first and second flanges so as to surround the remaining portion of the flange 2 .

이후, 작업자는 고정 레버(140)의 연장봉(141)에 결합된 조절봉(142)을 정방향 또는 역방향으로 회전시켜 제1 고정 블록(110)과 제2 고정 블록(120) 상호간이 밀착되게 함으로써 모든 체결 작업이 마무리되는 것이다.Thereafter, the operator rotates the control rod 142 coupled to the extension rod 141 of the fixed lever 140 in the forward or reverse direction so that the first fixed block 110 and the second fixed block 120 are in close contact with each other All fastening work is finished.

한편, 히팅 유닛(200)은, 다시 도 2 및 도 3을 참조하면, 제1 고정 블록(110)에 내장되어 제1 수용홈(101) 주변을 가열시키는 제1 히터(210)와, 제2 고정 블록(120)에 내장되어 제2 수용홈(102) 주변을 가열시키는 제2 히터(220)를 포함하는 것을 알 수 있다.2 and 3, the heating unit 200 includes a first heater 210 built in the first fixing block 110 and heating the periphery of the first receiving groove 101, And a second heater 220 built in the fixing block 120 to heat the periphery of the second receiving groove 102. [

여기서, 제1 히터(210)는, 도 2를 참조하여 더욱 구체적으로 살펴보면, 제1 코어 블록(111)의 양측면에 직선과 곡선이 혼합된 일정한 패턴을 각각 형성하는 제1 측면 열선(211, 211)과, 제1 측면 열선(211, 211)과 연결되어 제1 코어 블록(111)의 외측면에 배치되는 제1 외곽 열선(212)을 포함할 수 있다.2, the first heater 210 includes first and second side heating lines 211 and 211, respectively, which form a uniform pattern in which straight lines and curved lines are mixed on both sides of the first core block 111, And a first outer heating wire 212 connected to the first side heating wires 211 and 211 and disposed on an outer surface of the first core block 111. [

이때, 후술할 단열 유닛(300)은 제1 측면 열선(211, 211) 및 제1 외곽 열선(212) 각각의 패턴을 유지토록 고정하며 제1 히터(210)를 감싸도록 제1 코어 블록(111)에 고정되는 것을 파악할 수 있다.At this time, the heat insulating unit 300, which will be described later, fixes the patterns of the first side heating wires 211 and 211 and the first heating wires 212 and fixes the first heater 210 to the first core block 111 ) Is fixed.

또한, 본 발명은 제1 측면 열선(211, 211)과 맞닿도록 제1 코어 블록(111)의 양측면에 각각 부착되며, 제1 코어 블록(111)보다 열전도율이 높은 제1 전열편(230, 230)을 더 구비함으로써, 제1 히터(210)의 가동에 따른 발열 효과가 신속하게 제1 수용홈(101)측으로 전달되게 할 수 있다.The first core block 111 is attached to both sides of the first core block 111 so as to abut against the first side heat lines 211 and 211 and the first heat conductive pieces 230 and 230 having higher thermal conductivity than the first core block 111 The heating effect due to the operation of the first heater 210 can be promptly transmitted to the first receiving groove 101 side.

한편, 본 발명에서는 특별히 도시하지 않았으나, 제1 장착 공간(113)의 일측에 배치되어 제1 히터(210)와 전기적으로 연결되며 제1 코어 블록(111) 및 제1 수용홈(101) 주변의 온도(이하 제1 온도)를 실시간으로 측정하는 제1 온도 센서를 더 구비할 수 있다.Although not shown in the drawings, the first core block 111 and the second core block 111 are disposed on one side of the first mounting space 113 and are electrically connected to the first heater 210, And a first temperature sensor for measuring a temperature (hereinafter referred to as a first temperature) in real time.

또한, 본 발명에서는 제1 히터(210)와 전기적으로 연결되어 제1 히터(210)에 전원을 공급하는 전원 공급부(이하 미도시)와, 제1 온도 센서와 전원 공급부와 전기적으로 연결되며 제1 온도 센서가 실시간으로 측정하는 제1 온도의 값과 기설정값을 비교하여 전원 공급부에 가동 신호를 전달하는 컨트롤러(이하 미도시)를 더 구비할 수도 있을 것이다.In the present invention, a power supply unit (not shown in the drawings) electrically connected to the first heater 210 and supplying power to the first heater 210, a first temperature sensor 210 electrically connected to the first temperature sensor 210, And a controller (not shown) for comparing the first temperature value measured by the temperature sensor in real time with a preset value and delivering the operation signal to the power supply unit.

한편, 제2 히터(220)는, 도 3을 참조하여 더욱 구체적으로 살펴보면, 제2 코어 블록(121)의 양측면에 직선과 곡선이 혼합된 일정한 패턴을 각각 형성하는 제2 측면 열선(221, 221)과, 제2 측면 열선(221, 221)과 연결되어 제2 코어 블록(121)의 외측면에 배치되는 제2 외곽 열선(222)을 포함할 수 있다.3, the second heater 220 includes second side heating lines 221 and 221 that form a certain pattern in which straight lines and curved lines are mixed on both sides of the second core block 121, And a second outer hot wire 222 connected to the second side hot wires 221 and 221 and disposed on an outer surface of the second core block 121.

여기서, 후술할 단열 유닛(300)은 제2 측면 열선(221, 221) 및 제2 외곽 열선(222) 각각의 패턴을 유지토록 고정하며 제2 히터(220)를 감싸도록 제2 코어 블록(121)에 고정되는 것을 파악할 수 있다.The heat insulating unit 300 to be described later fixes the pattern of each of the second side heating wires 221 and 221 and the second heating wire 222 and fixes the second heater 220 to the second core block 121 ) Is fixed.

이때, 본 발명은 제2 측면 열선(221, 221)과 맞닿도록 제2 코어 블록(121)의 양측면에 각각 부착되며, 제2 코어 블록(121)보다 열전도율이 높은 제2 전열편(240, 240)을 더 구비함으로써, 제2 히터(220)의 가동에 따른 발열 효과가 신속하게 제2 수용홈(102)측으로 전달되게 할 수 있다.The second core block 121 is attached to both side surfaces of the second core block 121 so as to abut against the second side heating wires 221 and 221 and the second heat conductive pieces 240 and 240 having higher thermal conductivity than the second core block 121 The heating effect due to the operation of the second heater 220 can be promptly transmitted to the second receiving groove 102 side.

또한, 본 발명에서는 특별히 도시하지 않았으나, 제2 장착 공간(123)의 일측에 배치되어 제2 히터(220)와 전기적으로 연결되며 제2 코어 블록(121) 및 제2 수용홈(102) 주변의 온도(이하 제2 온도)를 실시간으로 측정하는 제2 온도 센서를 더 구비할 수도 있다.Although not shown specifically in the present invention, the second heater 220 may be disposed on one side of the second mounting space 123 and electrically connected to the second heater 220, and may be disposed around the second core block 121 and the second receiving groove 102 And a second temperature sensor for measuring temperature (hereinafter referred to as a second temperature) in real time.

물론, 본 발명에서는 제2 히터(220)와 전기적으로 연결되어 제2 히터(220)에 전원을 공급하는 전원 공급부와, 제2 온도 센서와 전원 공급부와 전기적으로 연결되며 제2 온도 센서가 실시간으로 측정하는 제2 온도의 값과 기설정값을 비교하여 전원 공급부에 가동 신호를 전달하는 컨트롤러를 더 구비할 수도 있을 것이다.Of course, in the present invention, a power supply unit electrically connected to the second heater 220 to supply power to the second heater 220, a second temperature sensor electrically connected to the second temperature sensor and the power supply unit, The controller may further include a controller for comparing a value of the second temperature to be measured with a preset value and transmitting the operation signal to the power supply unit.

한편, 단열 유닛(300)은, 도 2 및 도 3을 참조하여 살펴보면, 제1 고정 블록(110)에 내장되어 제1 수용홈(101) 주변을 가열시키는 제1 히터(210)를 감싸며, 제1 고정 블록(110) 내부에 고정되는 제1 절연체(310)와, 제2 고정 블록(120)에 내장되어 제2 수용홈(102) 주변을 가열시키는 제2 히터(220)를 감싸며, 제2 고정 블록(120) 내부에 고정되는 제2 절연체(320)를 포함하는 것을 알 수 있다.2 and 3, the heat insulating unit 300 surrounds the first heater 210 built in the first fixing block 110 to heat the periphery of the first receiving groove 101, A first insulator 310 fixed in the first fixing block 110 and a second heater 220 built in the second fixing block 120 to heat the periphery of the second receiving groove 102, And a second insulator 320 fixed to the inside of the fixed block 120.

여기서, 제1 절연체(310) 및 제2 절연체(320)는 에어로겔 또는 글라스울 또는 실리카 중 하나 또는 하나 이상의 조합으로 이루어질 수 있을 것이다.Here, the first insulator 310 and the second insulator 320 may be made of one or more of airgel, glass wool, or silica.

이때, 제1 절연체(310) 및 제2 절연체(320)는 제1 코어 블록(111) 및 제2 코어 블록(121) 외측으로 열이 발산되는 것을 차단하는 단열재의 역할을 수행함은 물론, 특정 형상으로 형성된 제1 히터(210) 및 제2 히터(220) 각각의 패턴을 최초 제작 상태 그대로 고정 유지하는 역할 또한 수행하게 된다.At this time, the first insulator 310 and the second insulator 320 serve as a heat insulating material to prevent heat from being radiated to the outside of the first core block 111 and the second core block 121, The first heater 210 and the second heater 220 may be formed in the same pattern.

따라서, 제1, 2 절연체(310, 320)는, 제1 코어 블록(111) 및 제2 코어 블록(121)을 통한 제1 수용홈(101) 및 제2 수용홈(102) 주변부를 지속적으로 균일하게 가열시킬 수 있게 도움을 줄 수 있도록 마련된 것이다.Therefore, the first and second insulators 310 and 320 can continuously extend around the first receiving groove 101 and the second receiving groove 102 through the first core block 111 and the second core block 121 This is designed to help you to heat uniformly.

이러한 제1 절연체(310)는, 도 2를 참조하여 더욱 구체적으로 살펴보면, 크게 제1 측면 절연 패널(311, 311)과, 제1 외곽 절연 패널(312)을 포함하는 것을 알 수 있다.2, the first insulator 310 includes first and second side insulating panels 311 and 311 and a first outer insulating panel 312.

우선, 제1 측면 절연 패널(311, 311)은 제1 코어 블록(111)의 양측면에 각각 배치된 제1 측면 열선(211, 211)을 감싸고, 제1 코어 블록(111)의 양측면에 각각 고정되는 것이다.The first side insulating panels 311 and 311 surround the first side heating wires 211 and 211 disposed on both sides of the first core block 111 and are fixed to both sides of the first core block 111, .

그리고, 제1 외곽 절연 패널(312)은 제1 측면 절연 패널(311, 311) 각각의 외측 가장자리와 연결되어 제1 코어 블록(111)의 외측면을 덮도록 배치되는 것이다.The first outer insulation panel 312 is connected to the outer edges of the first side insulation panels 311 and 311 so as to cover the outer surface of the first core block 111.

또한, 본 발명에서는 제1 측면 절연 패널(311, 311) 각각의 내측 가장자리를 따라 복수로 이격하여 관통 형성되고, 제1 측면 절연 패널(311, 311) 각각의 내측 가장자리로부터 일정 거리 내측 영역에 배치되는 제1 고정 통공(313)을 더 구비할 수 있다.In addition, in the present invention, a plurality of spaced-apart through-holes are formed along the inner edge of each of the first side insulating panels 311 and 311, and the first side insulating panels 311 and 311 are disposed at a certain distance from the inner edge of each of the first side insulating panels 311 and 311 And the first fixing hole 313 may be formed.

아울러, 본 발명에서는 복수의 제1 고정 통공(313) 각각을 관통하여 제1 코어 블록(111)의 양측면 또는 제1 외곽 블록(112)의 양 내측면(즉, 제1 외곽 측벽(112b, 112b) 들이 서로 마주보는 면)에 단부가 고정되는 제1 고정 핀(510)을 더 구비할 수 있다.In the present invention, both side surfaces of the first core block 111 or both inner side surfaces of the first outer block 112 (i.e., the first outer side walls 112b and 112b And a first fixing pin 510 to which the end portion is fixed.

따라서, 제1 절연체(310)는 복수의 제1 고정 핀(510)에 의하여 제1 코어 블록(111)에 고정되는 것을 알 수 있다.Therefore, it can be seen that the first insulator 310 is fixed to the first core block 111 by the plurality of first fixing pins 510.

이때, 제1 고정 핀(510)의 양단부 중 일측은, 히팅 유닛(200)으로부터 발생된 열이 제1 고정 블록(110)의 외측으로 전달되어 발산되지 않도록, 제1 외곽 측벽(112b, 112b) 또는 제1 코어 블록(111)의 양측면으로부터 이격되어야 할 것이다.One side of both ends of the first fixing pin 510 is connected to the first outer side walls 112b and 112b so that the heat generated from the heating unit 200 is transmitted to the outside of the first fixing block 110, Or from both sides of the first core block 111.

한편, 제2 절연체(320)는, 도 3을 참조하여 더욱 구체적으로 살펴보면, 크게 제2 측면 절연 패널(321, 321)과, 제2 외곽 절연 패널(322)을 포함하는 것을 알 수 있다.3, the second insulator 320 includes second side insulating panels 321 and 321 and a second side insulating panel 322. The second side insulating panels 321 and 321 and the second side insulating panel 322 are shown in FIG.

우선, 제2 측면 절연 패널(321, 321)은 제2 코어 블록(121)의 양측면에 각각 배치된 제2 측면 열선(221, 221)을 감싸고, 제2 코어 블록(121)의 양측면에 각각 고정되는 것이다.The second side insulating panels 321 and 321 surround the second side heating wires 221 and 221 disposed on both sides of the second core block 121 and are fixed to both sides of the second core block 121, .

그리고, 제2 외곽 절연 패널(322)은 제2 측면 절연 패널(321, 321) 각각의 외측 가장자리와 연결되어 제2 코어 블록(121)의 외측면을 덮도록 배치되는 것이다.The second outer insulation panel 322 is connected to the outer edge of each of the second side insulation panels 321 and 321 and is disposed to cover the outer surface of the second core block 121.

또한, 본 발명에서는 제2 측면 절연 패널(321, 321) 각각의 내측 가장자리를 따라 복수로 이격하여 관통 형성되고, 제2 측면 절연 패널(321, 321) 각각의 내측 가장자리로부터 일정 거리 내측 영역에 배치되는 제2 고정 통공(323)을 더 구비할 수 있다.In the present invention, a plurality of second insulating panels 321 and 321 are disposed at a predetermined distance from the inner edge of each of the second side insulating panels 321 and 321, The second fixing hole 323 may be formed.

아울러, 본 발명에서는 복수의 제2 고정 통공(323) 각각을 관통하여 제2 코어 블록(121)의 양측면 또는 제2 외곽 블록(122)의 양 내측면(즉, 제2 외곽 측벽(122b, 122b) 들이 서로 마주보는 면)에 단부가 고정되는 제2 고정 핀(520)을 더 구비할 수도 있다.In the present invention, both side surfaces of the second core block 121 or both inner side surfaces of the second outer block 122 (i.e., the second outer side walls 122b and 122b And a second fixing pin 520 to which the end of the second fixing pin 520 is fixed.

따라서, 제2 절연체(320)는 복수의 제2 고정 핀(520)에 의하여 제2 코어 블록(121)에 고정되는 것을 알 수 있다.Therefore, it can be seen that the second insulator 320 is fixed to the second core block 121 by the plurality of second fixing pins 520.

이때, 제2 고정 핀(520)의 양단부 중 일측은, 히팅 유닛(200)으로부터 발생된 열이 제2 고정 블록(120)의 외측으로 전달되어 발산되지 않도록, 제2 외곽 측벽(122b, 122b) 또는 제2 코어 블록(121)의 양측면으로부터 이격되어야 할 것이다.One side of both ends of the second fixing pin 520 is connected to the second outer side walls 122b and 122b so that the heat generated from the heating unit 200 is transmitted to the outside of the second fixing block 120, Or from both sides of the second core block 121.

한편, 본 발명에 따르면 지그 본체(100)는 도 4에 도시된 바와 같이 제1, 2 고정 블록(110, 120)에 고정부(130)를 더 포함하는 구조임을 파악할 수 있다.According to the present invention, the jig body 100 may be structured to further include the fixing portions 130 in the first and second fixing blocks 110 and 120, as shown in FIG.

고정부(130)는 제1 수용홈(101) 또는 제2 수용홈(102)의 일측에 구비되며, 제1 수용홈(101) 및 제2 수용홈(102)에 서로 맞닿아 수용된 제1 플랜지 및 제2 플랜지의 고정 상태를 유지시킴과 동시에, 제1 고정 블록(110) 및 제2 고정 블록(120)을 서로 고정시키는 역할을 수행하게 된다.The fixing portion 130 is provided at one side of the first receiving groove 101 or the second receiving groove 102 and is provided with a first flange portion 102 which is held in contact with the first receiving groove 101 and the second receiving groove 102, And the second flange are fixed and the first and second fixing blocks 110 and 120 are fixed to each other.

이러한 고정부(130)는, 도 4를 참조하여 더욱 구체적으로 살펴보면, 제1 고정 블록(110)의 양단부로부터 각각 연장되는 제1 고정 리브(131, 131)와, 제2 고정 블록(120)의 양단부로부터 각각 연장되어 제1 고정 리브(131, 131)와 체결 고정되는 제2 고정 리브(132, 132)를 포함할 수 있다.4, the fixing unit 130 includes first fixing ribs 131 and 131 extending from both ends of the first fixing block 110 and first fixing ribs 131 and 131 extending from both ends of the second fixing block 120. [ And second fixed ribs 132 and 132 extending from both ends of the first fixed ribs 131 and 131 and fastened to the first fixed ribs 131 and 131, respectively.

이때, 제1 고정 리브(131, 131)에 적어도 하나 이상 관통 형성되어 고정용 볼트의 헤드(이하 미도시)가 걸림 고정되는 제1 체결홀(131h)과, 제2 고정 리브(132, 132)에 적어도 하나 이상 관통 형성되어 고정용 볼트의 몸체부(이하 미도시)가 나사 고정되는 제2 체결홀(132h)을 더 구비할 수도 있을 것이다.At this time, the first fastening holes 131h formed through at least one of the first fastening ribs 131 and 131 to fasten the fastening bolt head (not shown in the drawings) and the second fastening ribs 132 and 132, And a second fastening hole 132h formed through at least one of the fastening bolts (not shown) through which the fastening bolt body (not shown) is screwed.

따라서, 작업자는 고정 레버(140)의 연장봉(141)을 세워서 제1 수용홈(101) 또는 제2 수용홈(102)에 제1, 2 플랜지를 서로 맞닿게 하여 안착시킨 후, 제1, 2 플랜지의 나머지 부분을 감싸도록 제2 수용홈(102) 또는 제1 수용홈(101)이 제1, 2 플랜지에 수용되게 함으로써, 제1, 2 고정 블록(110, 120)의 상호 접촉이 이루어지게 된다.Therefore, the worker places the first and second flanges in contact with the first receiving groove 101 or the second receiving groove 102 by raising the extension rod 141 of the fixing lever 140, The mutual contact of the first and second fixing blocks 110 and 120 is made by allowing the second receiving groove 102 or the first receiving groove 101 to be accommodated in the first and second flanges so as to surround the remaining portion of the flange 2 .

이후, 작업자는 제1 고정 리브(131, 131)와 제2 고정 리브(132, 132)를 고정용 볼트로 가체결한 다음, 고정 레버(140)의 연장봉(141)에 결합된 조절봉(142)을 정방향 또는 역방향으로 회전시켜 제1 고정 블록(110)과 제2 고정 블록(120) 상호간이 밀착되게 한다.Thereafter, the worker inserts the first fixing ribs 131 and 131 and the second fixing ribs 132 and 132 into the fixing bolts 142 and fixes the fixing rods 142 Is rotated in the forward or reverse direction so that the first fixed block 110 and the second fixed block 120 are closely contacted with each other.

계속하여, 작업자는 가체결된 고정용 볼트를 꽉 죔으로써 모든 체결 작업이 마무리되는 것이다.Subsequently, the worker completes the fastening bolts tightened by tightening all the fastening bolts.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치의 작용 및 효과에 대하여 다음과 같이 살펴보고자 한다.Hereinafter, the operation and effect of the fixing jig device of the discharge line of the semiconductor manufacturing apparatus according to the preferred embodiment of the present invention will be described as follows.

우선, 본 발명은 반도체 제조장치에서 공정반응이 완료된 가스를 배출시키는 유로를 형성하도록, 양단부에 각각 플랜지를 형성하는 복수의 가스배출관 중 제1 배출관(410) 단부의 제1 플랜지와, 제1 배출관(410)과 이웃한 제2 배출관(420) 단부의 제2 플랜지를 대면시키고, 제1 플랜지 및 제2 플랜지를 감싸며 고정하는 지그 본체(100); 지그 본체(100)에 내장되어 제1 플랜지와 제2 플랜지의 외측에 배치되고 제1 플랜지와 제2 플랜지 및 제1 배출관(410)과 제2 배출관(420)의 연결부 주변을 가열시키는 히팅 유닛(200); 및 지그 본체(100)에 내장되어 히팅 유닛(200)의 외측을 감싸며 히팅 유닛(200)으로부터 발생한 열이 연결부 주변과 제1 플랜지 및 제2 플랜지 이외의 부분으로 발산되는 것을 규제하는 단열 유닛(300)을 포함하는 것을 특징으로 하여, 제1 플랜지와 제2 플랜지를 포함한 가스배출관 연결부 주변의 온도 강하로 인한 파우더 고착까지 확실하게 방지할 수 있게 될 것이다.First, the present invention is characterized in that a first flange of an end of a first discharge pipe (410) among a plurality of gas discharge pipes which form flanges on both ends thereof to form a flow path for discharging a gas, A jig main body 100 facing the second flange of the end portion of the second discharge pipe 420 adjacent to the first discharge pipe 410 and surrounding and fixing the first flange and the second flange; A heating unit which is built in the jig body 100 and is disposed outside the first flange and the second flange and which heats the periphery of the connection between the first flange and the second flange and between the first discharge pipe 410 and the second discharge pipe 420 200); And a heat insulating unit 300 which is embedded in the jig main body 100 and surrounds the outside of the heating unit 200 and regulates the heat generated from the heating unit 200 from being radiated to the periphery of the connection part and the part other than the first flange and the second flange The present invention can surely prevent the powder from sticking due to the temperature drop around the connection portion of the gas discharge pipe including the first flange and the second flange.

특히, 본 발명은 선행기술을 포함한 기존의 가스배출관 연결부의 고정용 지그와 비교할 때, 단순한 고정 연결용에 국한되지 않고 단열성과 온도 강하 방지를 위한 적극적인 발열로써 가스 배출이 지속적으로 원활하게 이루어질 수 있게 될 것이다.Particularly, the present invention is not limited to a fixing jig for a conventional gas discharge pipe connection including the prior art, and is not limited to a simple fixed connection, but is an active heat for heat insulation and prevention of temperature drop, Will be.

그리고, 본 발명에 따른 지그 본체(100)는, 내측면에 제1 플랜지와 제2 플랜지 각각의 일부분을 수용 가능한 원호 형상의 제1 수용홈(101)을 형성하는 반원링 형상의 제1 고정 블록(110)과, 내측면에 제1 플랜지와 제2 플랜지 각각의 나머지 부분을 수용 가능한 원호 형상의 제2 수용홈(102)을 형성하는 반원링 형상의 제2 고정 블록(120)과, 제1 수용홈(101) 또는 제2 수용홈(102)의 일측에 구비되며, 제1 수용홈(101) 및 제2 수용홈(102)에 서로 맞닿아 수용된 제1 플랜지 및 제2 플랜지의 고정 상태를 유지시킴과 동시에, 제1 고정 블록(110) 및 제2 고정 블록(120)을 서로 고정시키는 고정부(130)를 포함하며, 히팅 유닛(200)과 단열 유닛(300)은 제1 고정 블록(110) 및 제2 고정 블록(120)에 내장되도록 함으로써, 작업의 편의성을 대폭적으로 향상시킬 수 있음은 물론, 제1 플랜지와 제2 플랜지 상호간의 연결 상태를 견고하고 확실하게 유지시킬 수 있게 될 것이다.The jig main body 100 according to the present invention has a semi-circular ring-shaped first fixing block 101 which forms an arc-shaped first receiving groove 101 capable of receiving a part of each of the first flange and the second flange, A second fixing block 120 having a semicircular ring shape that forms an arc-shaped second receiving groove 102 capable of accommodating the remaining portions of the first flange and the second flange on the inner surface thereof, The fixed state of the first flange and the second flange, which are provided at one side of the receiving groove 101 or the second receiving groove 102 and are in contact with each other in the first receiving groove 101 and the second receiving groove 102, And the fixing unit 130 fixes the first fixing block 110 and the second fixing block 120 to each other while the heating unit 200 and the heat insulating unit 300 hold the first fixing block 110 110 and the second fixing block 120, it is possible to greatly improve the convenience of the operation, and the first flange and the second flange The connection between the flanges will be firmly and reliably maintained.

그리고, 본 발명에 따른 지그 본체(100)는, 제1 고정 블록(110)을 형성하는 것으로, 내측면에 제1 수용홈(101)이 형성된 제1 코어 블록(111)과, 제1 고정 블록(110)을 형성하는 것으로, 제1 코어 블록(111)의 양측 가장자리를 마감하며, 제1 코어 블록(111)의 양측면 및 외측면을 이격하여 내부에 수용하는 제1 외곽 블록(112)과, 제2 고정 블록(120)을 형성하는 것으로, 내측면에 제2 수용홈(102)이 형성된 제2 코어 블록(121)과, 제2 고정 블록(120)을 형성하는 것으로, 제2 코어 블록(121)의 양측 가장자리를 마감하며, 제2 코어 블록(121)의 양측면 및 외측면을 이격하여 내부에 수용하는 제2 외곽 블록(122)을 포함하며, 제1 코어 블록(111)과 제1 외곽 블록(112) 사이에는 히팅 유닛(200)과 단열 유닛(300)이 내장되는 제1 장착 공간(113)이 형성되고, 제2 코어 블록(121)과 제2 외곽 블록(122) 사이에는 히팅 유닛(200)과 단열 유닛(300)이 내장되는 제2 장착 공간(123)이 형성되도록 함으로써, 배출되는 가스의 온도 강하를 방지하는 확실한 솔루션을 제공하여 더욱 신뢰도 높은 제품을 수요처에 제공할 수 있게 될 것이다.The jig main body 100 according to the present invention includes a first core block 111 having a first receiving groove 101 formed on an inner surface thereof and a first fixing block 110 having a first fixing block 110, A first outer block 112 for closing both side edges of the first core block 111 and accommodating the first core block 111 at both sides and outer sides thereof apart from each other, A second core block 121 having a second receiving groove 102 formed on an inner surface thereof and a second fixing block 120 formed on the second core block 120, And a second outer block (122) closing both side edges of the first core block (121) and accommodating therein the inner and outer surfaces of the second core block (121). The first core block (111) A first mounting space 113 in which the heating unit 200 and the heat insulating unit 300 are installed is formed between the blocks 112 and the first mounting space 113 is formed between the second core block 121 and the second outer block 122 The second mounting space 123 in which the heating unit 200 and the heat insulating unit 300 are installed is formed to provide a reliable solution for preventing the temperature drop of the discharged gas, You will be able to do it.

또한, 본 발명에 따른 히팅 유닛(200)은, 제1 고정 블록(110)에 내장되어 제1 수용홈(101) 주변을 가열시키는 제1 히터(210)와, 제2 고정 블록(120)에 내장되어 제2 수용홈(102) 주변을 가열시키는 제2 히터(220)를 포함함으로써, 적극적인 발열 기능을 통한 배출되는 가스의 온도 강하 방지 솔루션을 확실하게 제시할 수 있게 될 것이다.The heating unit 200 according to the present invention includes a first heater 210 built in the first fixing block 110 and heating the periphery of the first receiving groove 101, And the second heater 220 that heats the periphery of the second receiving groove 102 so as to reliably provide a solution for preventing the temperature drop of the discharged gas through the active heat generating function.

아울러, 본 발명에 따른 단열 유닛(300)은, 제1 고정 블록(110)에 내장되어 제1 수용홈(101) 주변을 가열시키는 제1 히터(210)를 감싸며, 제1 고정 블록(110) 내부에 고정되는 제1 절연체(310)와, 제2 고정 블록(120)에 내장되어 제2 수용홈(102) 주변을 가열시키는 제2 히터(220)를 감싸며, 제2 고정 블록(120) 내부에 고정되는 제2 절연체(320)를 포함함으로써, 히팅 유닛(200)의 발열 기능 구현시 불필요한 곳에 열이 발산되는 것을 확실하게 방지함은 물론 히팅 유닛(200)의 최초 설치 상태의 유지를 위한 확실한 고정 구조의 제공까지 가능하게 될 것이다.The heat insulating unit 300 according to the present invention includes a first fixing block 110 and a second fixing block 110. The first fixing block 110 includes a first heater 210 for heating the periphery of the first receiving groove 101, And a second heater 220 which is embedded in the second fixing block 120 and heats the periphery of the second receiving groove 102. The second fixing block 120 includes a first insulator 310, It is possible to reliably prevent the heat from being dissipated to unnecessary places when the heating function of the heating unit 200 is implemented and also to reliably prevent the heating unit 200 from being heated It will be possible to provide a fixed structure.

이상과 같이 본 발명은 배출라인의 연결 부위에 발생하는 열손실을 최소화하여 배출라인의 연결부 내측에 파우더가 고착되는 것을 방지할 수 있도록 하는 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치를 제공하는 것을 기본적인 기술적 사상으로 하고 있음을 알 수 있다.As described above, it is an object of the present invention to provide a jig for fixing a discharge line of a semiconductor manufacturing apparatus, which minimizes heat loss occurring at a connection portion of a discharge line and prevents powder from sticking to a connection portion of a discharge line. It can be seen that it is technological thought.

그리고, 본 발명의 기본적인 기술적 사상의 범주 내에서 당해 업계 통상의 지식을 가진 자에게 있어서는 다른 많은 변형 및 응용 또한 가능함은 물론이다.It will be apparent to those skilled in the art that many other modifications and applications are possible within the scope of the basic technical idea of the present invention.

100...지그 본체
101...제1 수용홈
102...제2 수용홈
110...제1 고정 블록
111...제1 코어 블록
112...제1 외곽 블록
112a, 112a...제1 외곽 내측벽
112b, 112b...제1 외곽 측벽
112c...제1 외곽 외벽
113...제1 장착 공간
120...제2 고정 블록
121...제2 코어 블록
122...제2 외곽 블록
122a, 122a...제2 외곽 내측벽
122b, 122b...제2 외곽 측벽
122c...제2 외곽 외벽
123...제2 장착 공간
130...고정부
131, 131...제1 고정 리브
131h...제1 체결홀
132, 132...제2 고정 리브
132h...제2 체결홀
140...고정 레버
141...연장봉
142...조절봉
143...미끄럼 방지홈
200...히팅 유닛
210...제1 히터
211, 211...제1 측면 열선
212...제1 외곽 열선
220...제2 히터
221, 221...제2 측면 열선
222...제2 외곽 열선
230, 230...제1 전열편
240, 240...제2 전열편
300...단열 유닛
310...제1 절연체
311, 311...제1 측면 절연 패널
312...제1 외곽 절연 패널
313...제1 고정 통공
320...제2 절연체
321, 321...제2 측면 절연 패널
322...제2 외곽 절연 패널
323...제2 고정 통공
410...제1 배출관
420...제2 배출관
510...제1 고정 핀
520...제2 고정 핀100 ... jig body
101 ... first receiving groove
102 ... second receiving groove
110 ... first fixed block
111 ... first core block
112 ... first outer block
112a, 112a ... a first outer side wall
112b, 112b ... first outer side wall
112c ... 1st outer outer wall
113 ... first mounting space
120 ... second fixed block
121 ... second core block
122 ... second outline block
122a, 122a ... a second inner side wall
122b, 122b, ...,
122c ... second outer wall
123 ... 2nd mounting space
130 ... fixed portion
131, 131 ... the first fixed rib
131h ... first fastening hole
132, 132 ... second fixed ribs
132h ... second fastening hole
140 ... Securing lever
141 ... extension rod
142 ... adjustable rods
143 ... anti-slip groove
200 ... heating unit
210 ... first heater
211, 211 ... First side heat line
212 ... 1st outline hot line
220 ... second heater
221, 221 ... second side hot wire
222 ... 2nd outline hot line
230, 230 ... the first heat transfer piece
240, 240 ... second heat transfer piece
300 ... Insulation unit
310 ... first insulator
311, 311 ... first side insulated panel
312 ... first outer insulation panel
313 ... first fixed through hole
320 ... second insulator
321, 321 ... second side insulated panel
322 ... second outer insulation panel
323 ... second fixed through hole
410 ... First discharge pipe
420 ... 2nd discharge pipe
510 ... first fixing pin
520 ... second fixing pin

Claims (5)

반도체 제조장치에서 공정반응이 완료된 가스를 배출시키는 유로를 형성하도록, 양단부에 각각 플랜지를 형성하는 복수의 가스배출관 중 하나의 가스배출관(이하 제1 배출관) 단부의 플랜지(이하 제1 플랜지)와, 상기 제1 배출관과 이웃한 가스배출관(이하 제2 배출관) 단부의 플랜지(이하 제2 플랜지)를 대면시키고, 상기 제1 플랜지 및 상기 제2 플랜지를 감싸며 고정하는 지그 본체;
상기 지그 본체에 내장되어 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지의 외측에 배치되고 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지 및 상기 제1 배출관과 상기 제2 배출관의 연결부 주변을 가열시키는 히팅 유닛; 및
상기 지그 본체에 내장되어 상기 히팅 유닛의 외측을 감싸며 상기 히팅 유닛으로부터 발생한 열이 상기 연결부 주변과 상기 제1 플랜지 및 상기 제2 플랜지 이외의 부분으로 발산되는 것을 규제하는 단열 유닛을 포함하며,
상기 지그 본체는,
내측면에 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지 각각의 일부분을 수용 가능한 원호 형상의 제1 수용홈을 형성하는 반원링 형상의 제1 고정 블록과,
내측면에 상기 제1 플랜지와 상기 제2 플랜지 각각의 나머지 부분을 수용 가능한 원호 형상의 제2 수용홈을 형성하는 반원링 형상의 제2 고정 블록과,
상기 제1 수용홈 또는 상기 제2 수용홈의 일측에 구비되며, 상기 제1 수용홈 및 상기 제2 수용홈에 서로 맞닿아 수용된 상기 제1 플랜지 및 상기 제2 플랜지의 고정 상태를 유지시킴과 동시에, 상기 제1 고정 블록 및 상기 제2 고정 블록을 서로 고정시키는 고정부를 포함하며,
상기 히팅 유닛과 상기 단열 유닛은 상기 제1 고정 블록 및 상기 제2 고정 블록에 내장되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치.
A flange (hereinafter referred to as a first flange) at one end of a gas discharge pipe (hereinafter, referred to as a first discharge pipe) of a plurality of gas discharge pipes forming flanges at both ends thereof so as to form a flow path for discharging the gas, A jig main body facing a flange (hereinafter referred to as a second flange) of an end of a gas discharge pipe (hereinafter, referred to as a second discharge pipe) adjacent to the first discharge pipe and surrounding the first flange and the second flange;
A heating unit which is built in the jig body and is disposed outside the first flange and the second flange and heats the periphery of the connection between the first flange and the second flange and between the first discharge pipe and the second discharge pipe; And
And an insulating unit that is embedded in the jig body and surrounds the outside of the heating unit and restricts heat generated from the heating unit from being radiated to a portion other than the periphery of the connection portion and the first flange and the second flange,
The jig body includes:
A first fixing block having a semicircular ring shape and having an arc-shaped first receiving groove capable of receiving a portion of each of the first flange and the second flange,
A second fixing block having a semicircular ring shape which forms an arc-shaped second receiving groove capable of receiving the first flange and the remaining portion of each of the second flanges,
The first holding groove and the second holding groove are provided at one side of the first holding groove or the second holding groove to maintain the fixed state of the first flange and the second flange accommodated in contact with the first receiving groove and the second receiving groove, And a fixing part fixing the first fixing block and the second fixing block to each other,
Wherein the heating unit and the heat insulating unit are embedded in the first fixing block and the second fixing block.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 지그 본체는,
상기 제1 고정 블록을 형성하는 것으로, 내측면에 상기 제1 수용홈이 형성된 제1 코어 블록과,
상기 제1 고정 블록을 형성하는 것으로, 상기 제1 코어 블록의 양측 가장자리를 마감하며, 상기 제1 코어 블록의 양측면 및 외측면을 이격하여 내부에 수용하는 제1 외곽 블록과,
상기 제2 고정 블록을 형성하는 것으로, 내측면에 상기 제2 수용홈이 형성된 제2 코어 블록과,
상기 제2 고정 블록을 형성하는 것으로, 상기 제2 코어 블록의 양측 가장자리를 마감하며, 상기 제2 코어 블록의 양측면 및 외측면을 이격하여 내부에 수용하는 제2 외곽 블록을 포함하며,
상기 제1 코어 블록과 상기 제1 외곽 블록 사이에는 상기 히팅 유닛과 상기 단열 유닛이 내장되는 제1 장착 공간이 형성되고, 상기 제2 코어 블록과 상기 제2 외곽 블록 사이에는 상기 히팅 유닛과 상기 단열 유닛이 내장되는 제2 장착 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치.
The method according to claim 1,
The jig body includes:
A first core block on which the first holding block is formed,
A first outer block for closing both side edges of the first core block and accommodating both sides and outer sides of the first core block so as to be spaced apart from each other;
A second core block on which the second holding block is formed,
And a second outer block which forms the second fixing block and which closes both side edges of the second core block and accommodates both sides and outer sides of the second core block at a distance,
A first mounting space in which the heating unit and the heat insulating unit are installed is formed between the first core block and the first outer block, and between the second core block and the second outer block, And a second mounting space in which the first and second mounting units are mounted.
청구항 1에 있어서,
상기 히팅 유닛은,
상기 제1 고정 블록에 내장되어 상기 제1 수용홈 주변을 가열시키는 제1 히터와,
상기 제2 고정 블록에 내장되어 상기 제2 수용홈 주변을 가열시키는 제2 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치.
The method according to claim 1,
The heating unit includes:
A first heater embedded in the first fixing block for heating the periphery of the first housing groove,
And a second heater built in the second fixing block for heating the periphery of the second receiving groove.
청구항 1에 있어서,
상기 단열 유닛은,
상기 제1 고정 블록에 내장되어 상기 제1 수용홈 주변을 가열시키는 제1 히터를 감싸며, 상기 제1 고정 블록 내부에 고정되는 제1 절연체와,
상기 제2 고정 블록에 내장되어 상기 제2 수용홈 주변을 가열시키는 제2 히터를 감싸며, 상기 제2 고정 블록 내부에 고정되는 제2 절연체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치 배출라인의 고정용 지그 장치.The method according to claim 1,
The heat insulating unit includes:
A first insulator which is embedded in the first fixing block and surrounds a first heater for heating the periphery of the first housing groove,
And a second insulator which is embedded in the second fixing block and surrounds a second heater for heating the periphery of the second receiving groove, and is fixed to the inside of the second fixing block. Jig device.
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KR102461204B1 (en) * 2022-03-18 2022-11-01 주식회사 디아이에이치 Heating device for combustion gas emission line

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