KR101939836B1 - 친수도가 다른 격벽들을 가지는 전기습윤 표시 장치 및 그것의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

전기습윤 표시 장치는 복수의 픽셀들을 가진다. 픽셀들은 픽셀전극, 소수성 막, 소수성 유체, 소수성 유체의 이동 범위를 제한하는 격벽을 가진다. 격벽은 서로 마주보고 소수성 격벽면과 친수성 격벽면을 가진다. 소수성 유체는 픽셀전극에 전압이 제공되는 것에 의하여, 친수성 격벽면에서 소수성 격벽면쪽으로 이동한다.

Description

친수도가 다른 격벽들을 가지는 전기습윤 표시 장치 및 그것의 제조 방법 {Electrowetting display device having banks of different hydrophilicities and manufacturing method having the same}

본 발명은 전기습윤 표시 장치 및 그것을 제조하는 방법에 관한 것으로, 특히 친수도가 다른 격벽들이 형성된 전기습윤 표시 장치 및 그것을 제조하는 방법에 관한 것이다.

전기습윤 효과(Electrowetting effect)는, 전도성이고 소수성인 유체가 상기 유체에 가해지는 전압의 변화에 따라, 상기 유체의 아래에 배치된 소수성 막과 접촉하는 각도가 달라지는 효과이다. 구체적으로, 소수성 유체에 가해지는 전압이 작을수록, 소수성 유체가 소수성 막과 이루는 접촉각은 작아진다. 그리고, 상기 접촉각이 작을수록, 소수성 유체가 소수성 막의 위에 분포하는 면적이 넓어진다.

전기습윤 표시 장치(Electrowetting Display Device)는 상기 전기습윤 효과가 이용된 표시 장치이다. 도 1a 및 도 1b를 참조하면, 전기습윤 표시 장치의 한 픽셀의 개략적인 확대된 단면도들이 도시된다.

전기습윤 표시 장치(10)는, 제1 기판(100), 제1 기판(100)의 상에 위치된 소수성 유체(210), 소수성 유체(210)의 위에 위치되고 소수성 유체(210)와 섞이지 않는 친수성 유체(230), 상기 소수성 유체(210)와 친수성 유체(230)를 제1 기판(100)과의 사이에 개재한 제2 기판(190)을 가진다.

제1 기판(100)은 제1 기본 기판(110), 제1 기본 기판(110)의 상에 형성된 제1 픽셀전극(120) 및 상기 픽셀전극 (120)의 상에 형성된 소수성 막(130)을 가진다. 소수성 막(130)의 부분의 상에는 소수성 유체(210)의 이동을 제한하는 격벽들(banks)(140)이 형성된다. 소수성 유체(210)는 미리 정한 색상을 띄는 염료를 포함하는 유체이고, 픽셀전극(120)에 전압이 제공되지 않으면, 도 1a에 도시된 바와 같이 소수성 막(130)의 전체의 상에 분포되고, 픽셀은 염료의 색상으로 관찰된다. 친수성 유체(230)는 투명한 유체이고, 소수성 유체(210)의 상에 배치된다.

표시 장치(10)가 미리 결정된 영상을 표시하기 위하여, 미리 정한 계조 레벨의 전압들이 각 픽셀의 픽셀전극(120)에 제공된다. 픽셀전극(120)에 전압이 제공되면, 도 1b에 도시된 바와 같이, 소수성 유체(210)는 그것의 막의 가운데 부분이 갈라지고(broken-up), 픽셀전극의 가장자리에 위치된 격벽들(140)쪽으로 이동한다. 갈라지는 위치가 일정하도록, 픽셀은, 픽셀전극(120)과 분리되어 배치되고 픽셀전극(120)과 다른 전압을 제공 받는 보조전극(125)을 더 가진다. 그러나, 상기 보조전극(125)의 존재에도 불구하고, 소수성 유체(210)0의 갈라짐(break up)의 위치가 항상 일정하지 않은 문제점이 있다.

상기의 소수성 유체(210)가 갈라지도록(broken-up) 하기 위해서는, 고전압(예, 30 볼트)을 픽셀전극에 제공하는 것이 필요하다. 표시 장치를 고전압으로 구동하면, 그것의 소비전력이 높아지고, 유체들의 전기분해로 인해 산소 기체 또는 수소 기체의 방울들의 불술물이 표시 장치 내에 형성되어 표시 품질이 나빠질 수 있다.

양호한 영상이 표시되도록 하기 위해, 각 픽셀의 소수성 유체는 미리 정한 계조 레벨에 대하여 항상 같은 위치와 면적에 분포되는 것이 필요하다. 그러나, 소수성 유체가 갈라지기 시작하는 부분이 일정하지 않음에 따라, 소수성 유체의 위치와 면적을 조정하는 것에 어려움이 있다. 그리고, 같은 크기의 픽셀 전압에 대하여도, 소수성 유체의 갈라짐 과정(splitting step)과 모임(reunion) 과정에서의 소수성 유체의 위치와 면적이 달라지는 현상(hysteresis phenomenon)이 생기므로, 미리 정한 계조 레벨에 대한 전압 레벨을 정하는 것에 어려움이 있다. 따라서, 유체들이 낮은 전압에서도 구동되고, 원하지 않은 기체가 존재하지 않고, 미리 정한 계조 레벨에서 유체들이 항상 같은 위치와 면적을 갖는 표시 장치의 설계와 그것의 제조 방법이 요구된다.

본 발명의 목적은, 낮은 전압으로 구동되는 전기습윤 표시 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적은, 불순물이 적은 전기습윤 표시 장치를 제공하는 것이다.

본 발명이 목적은, 소수성 및 친수성 유체들의 움직임이 예측 및 조정 가능한 전기습윤 표시 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 목적은, 표시 품질이 우수한 전기습윤 표시 장치를 제조하는 것이다.

상기와 같은 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 전기습윤 표시 장치의 단위 픽셀은 친수도(hydrophilicity)가 다른 격벽들을 가진다.

본 발명의 일 실시예에 따른 전기습윤 표시 장치는, 픽셀전극, 픽셀전극 상에 형성된 소수성 막을 가지는 제1 기판, 소수성 막의 상에 배치되고 픽셀전극에 인가된 전압의 세기에 따라 분포되는 면적이 달라지는 소수성 유체, 소수성 유체의 가장자리를 둘러싸도록 배치되고 소수성 유체의 이동 범위를 제한하는 격벽, 소수성 유체와 상기 격벽의 상에 배치된 친수성 유체, 및 친수성 유체 상에 위치되고, 상기 제1 기판의 상기 소수성 막과 이격되어 배치되는 제2 기판을 포함한다. 격벽은 소수성 유체를 향하는 제1 격벽면, 상기 제1 격벽면의 반대측에 위치된 제2 격벽면 및 제1 격벽면과 제2 격벽면을 이어주는 상면을 가지고, 제1 격벽면과 제2 격벽면의 친수도는 서로 다르다.

제1 격벽면은 제2 격벽면은 소수성 유체를 사이에 두고 서로 마주보고, 제2 격벽면보다 친수성이다.

제1 격벽면을 마주보는 소수성 유체의 가장자리의 두께는 제2 격벽면을 마주보는 소수성 유체의 가장자리의 두께보다 얇다.

픽셀전극에 전압이 인가되지 않은 경우, 소수성 유체는 제1 격벽면 및 제2 격벽면에 접촉한다.

소수성 유체가 제1 격벽면과 이루는 접촉각도는 소수성 유체가 제2 격벽면과 이루는 접촉각도보다 작다.

소수성 유체가 제1 격벽면과 이루는 접촉각도는 90도보다 작을 수 있다.

소수성 유체는 픽셀전극에 전압이 제공되는 것에 의하여, 제1 격벽면에서 제2 격벽면의 방향으로 이동한다.

격벽의 제1 격벽면과 제2 격벽면은 소수성 유체를 사이에 두고 서로 마주보고, 제1 격벽면은 제1 기판이 연장되는 방향에 대하여 경사질 수 있다. 제1 격벽면은 친수성 격벽면부와 소수성 격벽면부를 가지고, 소수성 격벽면부는 친수성 격벽면부보다 제1 기판에 가깝게 배치될 수 있다.

제1 격벽면과 제2 격벽면은 소수성 유체를 사이에 두고 서로 마주보고, 제1 격벽면은 제2 격벽면보다 친수성이고, 소수성 유체는 픽셀전극에 전압이 제공되는 것에 의하여 제1 격벽면에서 제2 격벽면 방향으로 이동한다.

전기습윤 표시 장치는 인접하는 두 픽셀들을 가지고 픽셀들에서 소수성 유체가 이동하는 방향은 서로 다를 수 있다. 인접하는 두 픽셀들은 같은 색상을 표시하고, 픽셀들의 픽셀전극들에 제공되는 픽셀전압은 같을 수 있다.

픽셀은 사각형의 형상이고, 제1 격벽면은 사각형 픽셀의 인접하는 두 변들이고, 제1 격벽면은 제2 격벽면보다 친수성이고, 소수성 유체는 픽셀전극에 전압이 제공되는 것에 의하여 격벽면에서 제2 격벽면 방향으로 이동한다.

전기습윤 표시 장치의 인접하는 두 픽셀들의 소수성 유체들은 픽셀전극들에 전압이 제공되는 것에 의하여 다른 방향으로 이동될 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 전기습윤 표시 장치의 제조 방법은, 제1 기판을 마련하는 단계, 제1 기판의 상에 픽셀전극을 마련하는 단계, 픽셀전극의 상에 소수성 막을 마련하는 단계, 소수성 막의 미리 정해진 부분에 제1 격벽면, 제2 격벽면 및 상면을 가지는 격벽을 형성하는 단계, 및 제1 기판 상의 소수성 막과 음성 감광막의 주위에 오존이 형성되도록 하고, 제1 기판이 연장되는 방향에 경사지는 방향에서 자외선을 조사하는 단계를 가질 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 전기습윤 표시 장치의 제조 방법은, 제1 기판을 마련하는 단계, 제1 기판의 상에 픽셀전극을 마련하는 단계, 픽셀전극의 상에 소수성 막을 마련하는 단계, 제1 기판의 소수성 막이 형성된 면의 반대면의 상에 노광용 마스크를 이격 배치시키는 단계, 노광용 마스크의 상에서 제1 기판의 방향으로 노광하여 음성감광막의 부분이 노광되도록 하는 단계, 음성감광막의 노광된 부분을 에칭하여 제1 격벽면, 제2 격벽면 및 상면을 가지는 격벽을 형성하는 단계, 및 격벽의 상에서 자외선을 조사하여 제1 격벽면의 친수성이 증가되도록 하는 단계를 가질 수 있다.

노광용 마스크는 슬릿 개구부와 관통 개구부 및 광차단부를 가지고, 슬릿 개구부는 노광용 마스크가 제공받은 빛의 일부만 통과되도록 하는 것에 의하여 음성감광막이 제1 기판이 연장되는 방향에 대하여 경사지도록 하고, 관통 개구부는 노광용 마스크가 제공받은 빛의 전부를 통과되도록 하는 것에 의하여 음성감광막이 제1 기판이 연장되는 방향과 나란하게 형성되도록 할 수 있다.

노광되고 에치된 음성감광막은 격벽이고, 자외선은 제1 기판의 연장방향에 수직인 방향에서 조사될 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 전기습윤 표시 장치의 제조 방법은, 제1 기판을 마련하는 단계, 제1 기판의 상에 픽셀전극을 마련하는 단계, 픽셀전극의 상에 소수성 막을 마련하는 단계, 소수성 막의 미리 정해진 부분에 제1 기판이 연장되는 방향에 경사지도록 형성된 제1 격벽면, 제2 격벽면 및 상면을 가지는 격벽을 형성하는 단계, 격벽의 상에 개구와 광차단부를 가지는 친수도 변경용 마스크를 배치시키는 단계, 및 친수도 변경용 마스크의 상에서 자외선을 조사하여 격벽에 자외선을 조사하는 단계를 가질 수 있다.

자외선은 경사진 제1 격벽부의 전체에 조사될 수 있다.

자외선은 경사진 제1 격벽부의 부분에 조사될 수 있다. 자외선은 경사진 제1 격벽부의 상면에서 연장되는 부분에 조사될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른, 다른 친수도들을 가지는 격벽들을 포함하는 전기습윤 표시 장치는 불순물이 적을 수 있다. 또한, 전기습윤 표시 장치는 낮은 전압으로 구동될 수 있고, 히스테리시스가 적을 수 있다. 그 밖에, 발명의 실시를 위한 구체적인 내용의 설명에 근거된 타의 효과는 당해 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 용이하게 이해될 것이다.

도 1a 및 도 1b는, 전기습윤 표시 장치의 한 픽셀의 개략적인 확대된 단면도들이고,
도 2a 및 도 2b는, 위치에 따라 다른 두께를 가지는 소수성 유체가 포함된 픽셀의 확대된 간략한 분해 사시도와 단면도이고,
도 3a는, 픽셀전극에 제공된 전압의 크기에 따른 친수성과 소수성의 유체들의 유동을 알아보기 위한 시뮬레이션에 사용된 픽셀의 개략적인 단면도이고,
도 3b 내지 도 3e는, 각각 다른 픽셀 전압이 제공된 픽셀들의 친수성 및 소수성 유체들의 분포를 나타내는 픽셀의 단면도들이고,
도 4a 내지 도 4b는, 한 격벽의 부분들이 서로 다른 친수도를 가지도록 하는 공정의 픽셀의 확대된 개략적인 단면도들이고,
도 5a 내지 도 5c는, 신장되는 방향과 친수성이 다른 격벽면들을 제조하는 공정들의 픽셀의 확대된 개략적인 단면도들이고,
도 6a 내지 도 6b는 친수도가 다른 부분들을 가지는 격벽면을 만드는 공정의 픽셀의 개략적인 확대된 단면도들이고,
도 6c는 도 6b의 픽셀에 소수성 유체가 채워진 픽셀의 개략적인 확대된 단면도이고,
도 7a는, 경사진 격벽면 부근과 수직 격벽면 부근의 소수성 유체가 도시된 픽셀의 개략적인 단면도이고,
도 7b는, 도 7a의 경사진 격벽면 부근의 VII의 확대도이고,
도 8a 내지 도 8b는 인접한 두 픽셀들에 포함된 유체의 이동 방향이 같은 것을 나타내는 픽셀들의 대략적인 평면도들이고,
도 9a 내지 도 9c는, 픽셀들의 친수성 격벽들이 여러 다른 위치에 배치된 픽셀 그룹들의 대략적인 평면도들이고,
도 10a 내지 도 10f는, 각 픽셀들(20)이 인접한 두 친수성 격벽면들(153)을 가지고, 상기 친수성 격벽면들(153)이 다양한 위치에 배치된 것을 나타내는 여러 다른 픽셀 그룹들의 개략적인 평면도들이다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들에 따른 전기습윤 표시 장치의 제조 방법이 상세히 설명된다. 본 명세서의 도면들과 상세한 설명에서 동일한 참조 번호들은 동일한 부품들 또는 구성요소들이라는 것을 유의하여야 한다. 또한, 본 명세서의 실시예들에 여러 수치들이 개시되고 있지만, 그러한 수치들이 청구범위들에 기재되지 않는 한, 그러한 수치들은 청구범위들을 한정하지 않음을 유의하여야 한다.

본 발명의 특징에 따라, 전기습윤 표시 장치의 단위 픽셀에 포함되고 소수성 유체들을 향해 배치된 격벽면들은 다른 친수도들을 가진다. 소수성 유체는, 픽셀전극에 전압이 제공되는 것에 의하여, 상대적으로 더 친수성인 격벽면으로부터 상대적으로 더 소수성인 격벽면 방향으로 이동한다. 소수성 유체의 상기 친수성이 격벽면에 인접한 일측 가장자리의 두께는, 타측 가장자리의 두께보다 얇다. 픽셀전극에 전압이 제공되는 것에 의하여, 소수성 유체는 상대적으로 더 얇은 가장자리로부터 상대적으로 더 두꺼운 가장자리의 방향으로 이동한다.

상기 친수성 격벽은 소수성 격벽에 경사지도록 에너지와 산소를 공급하는 것에 의하여 형성될 수 있다. 달리 취한 방식으로, 상기 친수성 격벽은, 소수성 격벽과 다른 재질로 형성될 수 있다. 소수성 유체는, 그것의 막의 가장자리부터 이동하므로 낮은 전압에 의해 이동하는 것이 가능하고, 그것이 수축될 때와 팽창될 때, 움직이는 경로가 일정하므로, 히스테리시스 현상(hysteresis phenomenon)이 적은 전기습윤 표시 장치가 제공될 수 있다.

도 2a 내지 도 2b는, 본 발명의 한 실시예에 따른, 위치에 따라 다른 두께를 가지는 소수성 유체가 포함된 픽셀의 확대된 간략한 분해 사시도와 단면도이다. 도 2a와 도 2b를 참조하면, 격벽들(140)과 소수성 유체(210)를 제외한 제1 기판(100)의 요소들과 제2 기판(190)의 요소들은 도 1a 내지 도 1b에서 도시되고 설명된 것과 같다. 도 2a 내지 도 2b의 격벽들(140)은 픽셀의 내부 방향에 위치한 측면인 제1 격벽면(141)과 제2 격벽면(143)을 가진다. 소수성 유체(210)는, 제1 격벽면(141)과 t(S)의 두께를 가지고 접촉하는 제1 가장자리(213)와 제2 격벽면(143)과 t(D)의 두께를 가지고 접촉하는 제2 가장자리(215)를 가진다.

본 발명의 특징에 따라, 제1 가장자리(213)의 두께 t(S)는 제2 가장자리(215)의 두께 t(D)보다 얇고 0보다 크다. 픽셀(20)의 외부로부터 픽셀전극(120)에 전압이 제공되면, 소수성 유체(210)는 얇은 제1 가장자리(213)로부터 두꺼운 제2 가장자리(215) 쪽으로 이동한다. 상기의 소수성 유체(210)의 유동(movement)은, 극성인 친수성 유체(230)가 소수성 유체(210)의 얇은 제1 가장자리(213) 또는 제1 격벽면(141)의 위치에서 제2 가장자리(215) 또는 제2 격벽면(143)의 위치쪽으로 이동하는 것에 의하여 시작되고, 친수성 유체(230)의 더 많은 부분들이 제2 격벽면(143) 쪽으로 점진적으로 이동하는 것에 의하여 진행된다.

상술한, 소수성 유체의 두께가 위치에 따라 다른 것은, 격벽의 물리적 성질이나 격벽의 형상을 변경하는 것에 의해 만들어 질 수 있다. 도 3a는, 서로 마주보는 격벽들의 친수도가 다른 경우에, 픽셀전극에 제공된 전압의 크기에 따른 친수성과 소수성의 유체들의 유동을 알아보기 위한 시뮬레이션에 사용된 픽셀의 개략적인 단면도이다. 도 3b 내지 도 3e는, 도 3a에 도시된 픽셀의 픽셀전극에 각각 다른 픽셀 전압이 제공된 경우의 친수성 및 소수성 유체들의 분포를 나타내는 픽셀의 단면도들이다.

도 3a를 참조하면, 소수성 유체(210)의 아래에는 픽셀전극(120)과 보조전극(125)이 배치되고, 친수성 유체(230)의 상에는 공통전극(127)이 배치된다. 보조전극(125)에는 공통전극(127)에 제공된 전압의 크기와 같은 크기의 전압이 제공되고, 픽셀전극(120)에는 픽셀(20)이 표시해야 하는 이미지의 투과율 값에 연동하는 가변적인 전압이 제공된다. 본 발명의 특징에 따라, 제1 격벽면(141)과 제2 격벽면(143)의 친수도는 다르다. 격벽면의 친수도가 커질수록 소수성 유체가 격벽면과 이루는 각도인 접촉 각도(contact angle, CA)는 커지고, 격벽면의 친수도가 작을수록 접촉 각도는 작아진다. 시뮬레이션은, 격벽면의 친수도 또는 소수성 유체와 접촉하는 접촉각도에 따른, 유체들의 유동을 알아보는 것이고, 아래 <표 1>에 나열된 조건들이 이용됨에 유의하여야 한다.

픽셀 크기	160 um X 160 um
픽셀전극 폭	108 um
보조전극 폭	33 um
픽셀전극과 보조전극 간격	7 um
공통전극의 전압	30 볼트 (Volts)
보조전극의 전압	30 볼트 (Volts)
픽셀전극의 전압	0 볼트 내지 30 볼트
셀 갭	44 um
소수성 유체	데칸(Decane)
친수성 유체	에틸렌 글리콜(ethylene glycol)과 글리세린(glycerin)이 2:1의 무게비로 혼합된 용액
제1 및 제2 격벽의 폭	12 um
제1 및 제2 격벽의 높이	4 um
제1 및 제2 격벽 상면의 접촉 각도	170 도
제1 격벽면의 접촉 각도	110 도
제2 격벽면의 접촉 각도	90 도

도 3b 내지 도 3e는 픽셀전극에 각각 0 볼트, 10 볼트, 20 볼트 및 30 볼트의 픽셀 전압이 제공된 경우 소수성 유체(210)가 이동되는 것을 나타내는 셀의 단면도이다. 도 3b를 참조하면, 소수성 유체(210)의 제1 가장자리(213)는 제1 격벽면(141)의 부분과 접촉하고, 제2 가장자리(215)는 제2 격벽면(143)의 전체와 접촉한다. 따라서, 소수성 유체(210)의 제1 가장자리(213) 는 제2 가장자리(215) 보다 얇다. 도 3c 내지 도 3e를 참조하면, 소수성 유체(210)의 제1 가장자리(213)는, 픽셀전극(도시되지 않음)에 제공되는 픽셀전압의 세기에 비례하여, 제1 격벽면(141)로부터 멀어진다. 따라서, 소수성 유체(210)는 상대적으로 얇은 두께의 가장자리에서 상대적으로 두꺼운 두께의 가장자리로 수축되는 것을 발명자들은 확인 할 수 있었다.

상술한 서로 다른 친수도를 가지는 격벽면들은, 오존 분위기에서 자외선을 격벽면에 부분적으로 조사하는 것에 의하여 형성될 수 있다. 도 4a 내지 도 4b는, 한 격벽의 부분들이 서로 다른 친수도를 가지도록 하는 공정의 픽셀의 확대된 개략적인 단면도들이다. 설명의 편의를 위하여, 격벽과 소수성 막을 제외한 전극들과 같은 요소들은 도면에서 생략되었음에 유의하여야 한다. 도 4a에 도시된 격벽들(140)은, 소수성 막(130)의 상에 SU-8과 같은 음성 감광막(negative photoresist)을 도포하고 격벽으로 형성되어야 하는 부분에만 선택적으로 광을 조사한 후, 음성 감광막을 에칭하여 감광되지 않은 부분이 에치되도록 하는 것에 의하여 형성된다. 상술한 방법에 의하여 형성된 격벽들(140)은 소수성 막(130)이 신장되는 방향에 대하여 거의 직각으로 형성될 수 있다.

소수성 막(130) 상의 격벽들(140)은, 오존 분위기에서 자외선(240)을 조사받는 것에 의하여 그것의 표면의 친수도가 증가할 수 있다. 예를 들어, 아래 <화학식 1>에 도시된 바와 같은 SU-8 분자는, 그것의 에폭시 기(epoxy group)가 오존에 의해 끊어지고, 그것의 극성이 증가함에 따라 친수도가 증가할 수 있다.

<화학식 1>

하나의 격벽(140)에 포함되는 다른 두 격벽면들이 다른 친수도를 가지게 하기 위해서, 자외선은 소수성 막(130) 및 격벽면(147)들에 경사지는 방향으로부터 조사될 수 있다. 예를 들어, SU-8으로 만들어진 격벽(140)에는 185 nm와 254 nm의 파장을 가지는 자외선이 격벽면(147)에 경사지도록 조사될 수 있다. 185 nm의 자외선은, 공기 중의 산소분자들을 분해하여 산소 라디칼로 만든다. 산소 라디칼은 다른 산소 분자와 결합하여 오존 라디칼이 된다. 오존 라디칼 또는 산소 라디칼은, 254nm의 자외선에 의해 SU-8의 에폭시 결합이 끊어짐에 의하여 SU-8 분자의 극성이 증가되도록 한다. 따라서, SU-8의 친수도가 증가할 수 있다.

자외선(240)은 격벽면(147)에 경사지도록 조사되므로, 자외선(240)을 조사받는 격벽(140)의 상면(145)과 제1 격벽면(141)의 친수도는 증가하지만, 자외선을 조사받지 않는 제2 격벽면(143)의 친수도는 변화하지 않고, 높은 소수성을 유지한다. 따라서, 도 4b에 도시된 것과 같은, 친수성의 제1 격벽면(141)과 소수성의 제2 격벽면(143)을 가지는 격벽(140)이 만들어질 수 있다.

상술한 바와 같은, 서로 다른 친수도를 가지는 격벽면들은, 한 쌍의 격벽면들이 서로 다른 방향으로 신장되는 것에 의하여 제조될 수 있다. 도 5a 내지 도 5c는, 신장되는 방향과 친수성이 다른 격벽면들을 제조하는 공정들의 픽셀의 확대된 개략적인 단면도들이다. 설명의 편의를 위하여, 격벽과 소수성 막을 제외한 전극들과 같은 요소들은 도면에서 생략되었음에 유의하여야 한다. 도 5a를 참조하면, 소수성 막(130)의 상에는 음성 감광막(310)이 전면에 도포되어 있고, 소수성 막(130)의 아래에는 다양한 크기의 개구들(351)을 가진 노광용 마스크(350)가 배치되어 있고, 노광용 빛(250)은 노광용 마스크(350)의 개구들(351)과 소수성 막(130)을 통과하여 음성 감광막(310)을 노광시킨다. 여기에서, 음성 감광막(310)은 예를 들어, SU-8일 수 있다.

노광용 마스크(350)는 광차단부(357), 관통 개구부(353), 슬릿 개구부(355)를 가진다. 광차단부(357)는, 그것의 위치에 대응하는 영역의 감광막(310)에 빛이 제공되는 것을 방해한다. 관통 개구부(353)는, 그것의 위치에 대응하는 영역의 감광막(310)에 빛이 충분히 제공되도록 한다. 슬릿 개구부(355)는, 그것의 위치에 대응하는 영역의 감광막(310)에 빛이 제한적으로 제공되도록 하고, 도 5a에 도시된 바와 같이, 그것의 폭은, 관통 개구부(353)에 인접한 것이 가장 넓고, 광차단부(357)에 인접한 것이 가장 좁도록 점진적으로 변경될 수 있다.

도 5a에 도시된 노광 공정을 진행하면, 도 5b에 도시된 바와 같이, 소수성 막에 수직으로 신장하는 수직 격벽면(157)과 소수성 막(130)에 경사지도록 신장하는 경사 격벽면(151) 및 수직 격벽면(157)과 경사 격벽면(151)의 사이에 배치된 격벽 상면(145)이 형성된다. 격벽면들(145, 151, 157)이 각각 다른 친수도를 가지게 하기 위하여, 도 4a에서 설명된 오존(Ozone, O₃) 분위기에서 자외선(240)을 격벽(140)에 조사하는 방법이 이용될 수 있다. 격벽면들(145, 151, 157)의 친수성은 자외선(240)이 조사되는 방향에 의존하는 것을 고려할 때, 경사 격벽면(151)의 친수도를 증가시키기 위해서, 자외선(240)은, 경사 격벽면(151)과 소수성 막(130)의 사이의 각도(theta, θ)와, 경사 격벽면(151)을 바라보는 쪽에서의 소수성 막(130)이 신장되는 방향의 사이에서 조사될 수 있다.

달리 취한 방식으로, 도시되지는 않았지만, 경사 격벽면(151)의 친수도는 변화시키지 않고, 수직 격벽면(157)과 격벽 상면(145)의 친수도를 증가시키기 위하여, 상기 자외선(240)은 수직 격벽면(157)을 바라보는 쪽에서의 소수성 막이 신장되는 방향과 경사 격벽면(151)이 소수성의 막(130)의 사이의 각도(theta, θ)의 사이에서 조사될 수 있다는 것을 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 쉽게 이해할 수 있을 것이다.

도 5b는 소수성 막(130)에 수직한 방향에서 자외선(240)이 격벽(140)에 조사된 것이고, 이것에 의하여, 경사진 격벽면(151)과 격벽 상면(145)은 그것의 분자구조의 극성이 증가하여, 친수성의 막(181)이 되는 것이 도 5c에 도시되었다.

경사진 격벽면(151)의 전체가 높은 친수도의 격벽면(181)이 되는 공정을 상술하였지만, 경사진 격벽면(151)의 부분들이 다른 친수도를 가지는 것이 가능하다. 도 6a 내지 도 6b는 친수도가 다른 부분들을 가지는 격벽면을 만드는 공정의 픽셀의 개략적인 확대된 단면도들이다. 도 6a를 참조하면, 경사 격벽면의 부분에 자외선이 조사되도록 하는 친수도 변경용 마스크(360)와 마스크의 상에서 조사되는 자외선(240)이 도시된다. 친수도 변경용 마스크(360)는 개구(361)와 광차단부(363)를 가진다. 개구(361)는, 마스크(360)에서 경사 격벽면(151)의 부분과 대응하는 부분 및 격벽 상면(145)에 대응하는 부분에 형성되어 있다. 광차단부(363)는, 마스크에서 상기 개구(361)가 형성된 부분 이외의 부분에 형성된다. 도 6a에 도시된 바와 같이, 마스크(360)의 위에서부터 소수성 막(130)에 수직한 방향으로 조사되는 자외선(240)은, 경사 격벽면(151)의 미리 정해진 부분에만 조사되고, 자외선 조사된 부분의 친수도만 증가시킨다. 따라서, 경사 격벽면(151)은 도 6b에 도시된 것과 같이, 그것의 부분은 친수성 격벽면(153)이고 그것의 나머지 부분은 소수성 격벽면(155)이다. 달리 취한 방식으로, 부분적으로 소수성인 격벽면을 형성하기 위한 마스크(360)의 광차단부(363)는, 경사 격벽면(151)의 소수성이 유지되어야 하는 부분(155)에 대응하는 마스크의 부분에만 형성되어도 하나의 경사 격벽면(151)에 서로 다른 친수도를 가지는 부분(153, 155)들이 형성되도록 할 수 있음에 유의하여야 한다. 도 6a에 도시된 친수도를 변경하는 공정은 도 4a에 도시되고 설명된 오존 분위기에서 자외선이 조사되는 공정이 적용될 수 있음에 유의하여야 한다.

후속 유체 주입 공정에 의하여, 도 6b에 도시된 픽셀에는 도 6c에 도시된 것과 같은 소수성 유체(210)가 채워질 수 있다. 도 6c를 참조하면, 경사진 격벽면(151)의 상부는 친수성 격벽면(155)이고, 하부는 소수성 격벽면(153)이다. 소수성 유체(210)는, 소수성 표면에 잘 젖기 때문에, 소수성 막(130)의 상부 및 상기 소수성 격벽면(153)을 덮도록 분포할 수 있고, 이러한 소수성 유체(210)의 분포는 픽셀에서 빛이 새는 빛샘 현상에 의하여 표시 장치의 대비비(contrast ratio)가 낮아지는 것을 방지할 수 있다.

소수성 유체(210)의 가장자리는 소수성 격벽면(155)과 친수성 격벽면(153)의 경계에 위치할 수 있다. 또는, 소수성 유체(210)의 양이 많으면, 소수성 유체의 가장자리(211)는 소수성 격벽면(153)의 상부에 위치한 친수성 격벽면(155)의 상에 위치할 수 있다. 두 가지 경우에 있어, 소수성 유체의 가장자리(211)는, 그것의 접촉각(CA)이 90도보다 크고, 그것의 두께가 소수성 유체의 다른 부분의 두께보다 얇다. 따라서, 소수성 유체(210)의 전체적인 형상은 소수성 수직 격벽면(157)에서 두껍고, 친수성 경사 격벽면(151)에서 얇은 비대칭 형상이다. 따라서, 소수성 막(130)의 아래에 배치된 픽셀전극(도시되지 않음)에 미리 정해진 픽셀 전압이 인가되면, 소수성 유체가 친수성 경사 격벽면(151)에서부터 소수성 수직 격벽면(157) 쪽으로 쉽게 이동할 수 있다.

이상, 격벽의 친수도가 다른 것에 의하여 소수성 유체의 두께가 위치에 따라 달라지는 것을 설명하였지만, 위치에 따라 두께가 달라지는 것은 격벽 또는 격벽면의 형상에 의하여 나타날 수도 있다. 도 7a는, 소수성 유체의 두께가 경사진 격벽면 부근에서의 것과 수직 격벽면 부근에서의 것이 다른 것을 나타내는 픽셀의 개략적인 단면도이고, 도 7b는, 도 7a의 경사진 격벽면 부근의 VII의 확대도이다. 도 7a 내지 도 7b를 참조하면, 격벽(140)은 소수성 경사진 격벽면(161), 소수성 수직 격벽면(163) 및 친수성 격벽 상면(165)을 가진다. 도 7b를 참조하면, 소수성 유체(210)와 소수성 격벽면의 사이의 각인 접촉각(CA)이 90도보다 작으므로, 소수성 유체(210)의 두께는 경사진 격벽면(161) 위에서의 것이, 소수성 막(130) 상에서의 것보다 얇다. 따라서, 소수성 막(130) 아래에 배치된 픽셀전극(도시되지 않음)에 픽셀전압이 제공되는 것에 의해, 소수성 유체(210)는 경사진 격벽면(161)에서부터 인접 격벽의 수직격벽면(163) 방향으로 유동이 시작될 수 있다. 도 7a 내지 도 7b에는, 수직 격벽면(163)이 소수성 막(130)의 신장방향에 수직한 것만을 도시하였지만, 수직 격벽면(163)은 그것이 소수성 막(130)과의 사이에 형성된 각도가, 경사진 격벽면(161)이 소수성 막(130)과의 사이에 형성된 각도보다 상대적으로 큰 것을 의미한다는 것을, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 쉽게 알 수 있을 것이다.

본 발명의 한 실시예에 따른 전기습윤 표시 장치의 픽셀은, 그것에 포함된 소수성 유체가 단일 방향 또는 여러 다른 방향들으로 이동할 수 있다. 도 8a 내지 도 8b는 인접한 두 픽셀들에 포함된 유체의 이동 방향이 같은 것을 나타내는 픽셀들의 대략적인 평면도들이다. 도 8a를 참조하면, 픽셀(20)에 포함된 픽셀전극(도시되지 않음)에는 최저 감마 레벨 신호가 제공되고, 이에 따라 소수성 유체(210)가 픽셀(20)에 걸쳐 분포되어 있다. 도 4 내지 도 7에 도시되고 설명된 것과같은 방법으로 형성된 격벽면들 중, 한 픽셀 내의 세 격벽면은 소수성 격벽면(155)이고, 나머지 한 격벽면은 친수성 격벽면(153)이다. 도 8a에 도시된 바와 같이, 친수성 격벽면들(153)은 각 픽셀의 오른쪽에 배치된다. 따라서, 친수성 격벽면들(153)이 간단한 공정으로 제조될 수 있다. 예를 들어, 도 4a 내지 도 4b에 도시된 것과 같은 자외선을 경사 조사하는 공정이 이용된다면, 한 번의 경사 조사 공정만으로도 친수성 격벽면들(153)이 형성될 수 있으므로 짧은 제조 시간 및/또는 낮은 제조 비용으로 픽셀들이 제조될 수 있다.

도 8b를 참조하면, 픽셀전극(도시되지 않음)들에 미리 정한 감마 레벨의 신호들이 제공되면, 각 픽셀들(20)에 포함된 소수성 유체들(210)은 친수성 격벽면(153)에서부터 그것의 반대 방향으로 이동한다. 도 8b에서, 각 픽셀들의 픽셀전극들에는 각각 다른 감마 레벨의 신호들이 제공되는 것에 의하여, 소수성 유체들의 분포 영역들이 다르다는 것을 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 쉽게 알 수 있을 것이다.

친수성 격벽면들은 각 픽셀의 다양한 위치에 배치되고, 소수성 유체들은 여러 다른 방향들으로 이동할 수 있다. 도 9a 내지 도 9c는, 픽셀들의 친수성 격벽들이 여러 다른 위치에 배치된 픽셀 그룹들의 대략적인 평면도들이다. 도 9a를 참조하면, 인접하는 픽셀들(20)의 친수성 격벽면들(153)이, 픽셀들(20)의 왼쪽 또는 오른쪽에 배치되어 있다. 표시 장치가 구동됨에 따라, 픽셀전극(도시되지 않음)에는 미리 정한 계조 레벨들이 제공되고, 소수성 유체들(210)은 친수성 격벽들(153)에서부터 그것의 반대 방향으로 이동한다. 이러한 소수성 유체들(210)의 이동 방향은 각 픽셀들에 화살표로 표시되었음에 유의하여야 한다.

친수성 격벽면들(153)은 서로 엇갈리는 방향으로 배치되어 있으므로, 소수성 유체들(210)는 픽셀들(20)의 오른쪽 또는 왼쪽으로 이동한다. 만약, 도 9a의 픽셀들이 같은 색의 같은 계조 레벨을 표시하는 것이라면, 표시 장치의 오른쪽 또는 왼쪽에서 유사한 이미지가 관찰될 수 있다.

상기의 엇갈리게 배치된 소수성 격벽면들은 예를 들어, 도 4에 도시된 경사진 자외선을 조사하는 방법이 이용되는 경우, 왼쪽의 격벽면을 만들기 위한 마스크 1매와 오른쪽의 격벽면을 만들기 위한 마스크 1매가 이용될 수 있다. 달리 취한 방식으로, 한 마스크가 이동되면서 자외선을 조사되도록 하거나, 자외선이 한 마스크의 서로 반대인 곳에서부터 조사되도록 하는 것에 의하여 도 9a에 도시된 것과 같은 서로 엇갈린 위치에 친수성 격벽면이 배치되도록 할 수 있음은 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 쉽게 이해할 수 있을 것이다.

같은 색상의 같은 계조를 표시하는 픽셀들의 집합인 픽셀 그룹은, 그것의 픽셀들에 포함된 소수성 유체가 픽셀의 오른쪽 부분, 왼쪽 부분, 위쪽 부분, 아래쪽 부분의 다양한 위치에 분포될 수 있다. 도 9b를 참조하면, 친수성 격벽들(153)은 네 픽셀들에서 모두 엇갈리게 배치되고, 소수성 유체들(210)도 친수성 격벽들(153)의 위치들에 연동하여 모두 엇갈리게 배치된다. 따라서, 표시 장치의 상하좌우에서 실질적으로 동일한 이미지가 표시될 수 있다. 도 9c를 참조하면, 픽셀 그룹에서 소수성 유체들이 바람개비 모양으로 배치된 픽셀들이 도시되고, 도 9b에 도시된 픽셀 집합들의 경우와 마찬가지로 여러 방향에서 이미지의 동일성이 향상될 수 있다.

픽셀 집합의 한 픽셀에서 한 격벽면만 친수성인 경우들이 전술되었지만, 인접한 두 격벽면들이 친수성인 것도 가능하다. 도 10a 내지 도 10f는, 각 픽셀들(20)이 인접한 두 친수성 격벽면들(153)을 가지고, 상기 친수성 격벽면들(153)이 다양한 위치에 배치된 것을 나타내는 여러 다른 픽셀 그룹들의 개략적인 평면도들이다. 픽셀 그룹(25)은, 같은 계조 레벨의 전압들이 그것의 각 픽셀전극들에 제공되는, 같은 색상을 표현하는 픽셀들의 집합일 수 있다. 도 10a를 참조하면, 픽셀 그룹(25)은 인접하는 네 픽셀들(20)을 가진다. 각 픽셀들(20)은 서로 인접하는 두 친수성 격벽면들(153)을 가진다. 픽셀 전압(도시되지 않음)에 미리 정한 계조 레벨의 전압이 제공되면, 소수성 유체들(210)은 친수성 격벽면들(153)로부터 멀어지는 방향으로 이동하고, 각 픽셀(20)에서의 소수성 유체들(210)은 각각 다르게 배치된다. 따라서, 표시 장치는 다양한 방향에서 고른 이미지가 관찰될 수 있다. 도 10b 내지 도 10f를 참조하면, 친수성 격벽면들이 픽셀들의 다양한 위치에 분포되는 것을 나타내는 픽셀 그룹들의 개략적인 평면도들이다. 각 픽셀들에서 소수성 유체들은 화살표로 표시된 방향으로 이동하는 것과, 각 친수성 격벽면들은 하나 또는 다수의 친수도 변경용 마스크가 예를 들어, 도 4에 도시되고 설명된 방법에 사용되는 것에 의하여 만들어진다는 것은, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자는 쉽게 이해할 수 있을 것이다.

Claims (26)

1. 전기습윤 표시 장치로서,
   복수의 픽셀;
   제1 기판; 및
   상기 제1 기판으로부터 이격된 제2 기판
   을 포함하고, 상기 복수의 픽셀의 한 픽셀은:
   픽셀 전극;
   상기 픽셀 전극 상에 배치된 소수성 막 - 상기 제1 기판은 상기 픽셀 전극 및 상기 소수성 막을 포함함 - ;
   상기 소수성 막 상에서, 상기 픽셀 전극에 인가된 전압의 세기에 따라 달라지는 분포 면적을 갖는 소수성 유체;
   상기 소수성 유체의 가장자리를 둘러싸는 격벽; 및
   상기 소수성 유체 및 상기 격벽 상의 친수성 유체
   를 포함하고, 상기 격벽은:
   상기 소수성 유체를 향하는 제1 격벽면 - 상기 제1 격벽면은 상기 격벽 내에서 상기 소수성 막의 평면에 대해 경사 각도를 이룸 - ; 및
   상기 소수성 유체를 향하는 제2 격벽면 - 상기 제2 격벽면은 상기 격벽 내에서 상기 소수성 막의 평면에 대해 상기 경사 각도보다 큰 각도를 이룸 -
   을 포함하고, 상기 제1 격벽면의 적어도 일부와 상기 제2 격벽면의 적어도 일부의 친수도는 서로 다른, 전기습윤 표시 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 소수성 유체는 상기 제1 격벽면과 상기 제2 격벽면 사이에 배치되고, 상기 제1 격벽면은 상기 제2 격벽면보다 친수성인, 전기습윤 표시 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 제1 격벽면과 접촉하는 상기 소수성 유체의 가장자리의 제1 두께는 상기 제2 격벽면과 접촉하는 상기 소수성 유체의 가장자리의 제2 두께보다 작은, 전기습윤 표시 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 픽셀 전극에 전압이 인가되지 않으면, 상기 소수성 유체는 상기 제1 격벽면 및 상기 제2 격벽면에 접촉하는, 전기습윤 표시 장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 소수성 유체와 상기 제1 격벽면 사이의 제1 접촉각도는 상기 소수성 유체와 상기 제2 격벽면 사이의 제2 접촉각도보다 작은, 전기습윤 표시 장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 제1 접촉각도는 90도보다 작은, 전기습윤 표시 장치.
7. 제2항에 있어서, 상기 소수성 유체는 상기 픽셀 전극에 전압이 제공됨으로써 상기 제1 격벽면에서 상기 제2 격벽면의 방향으로 이동 가능한, 전기습윤 표시 장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 제1 격벽면은 상기 제2 격벽면보다 친수성인, 전기습윤 표시 장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 제1 격벽면은 친수성 격벽면부와 소수성 격벽면부를 포함하고, 상기 소수성 격벽면부는 상기 친수성 격벽면부보다 상기 제1 기판에 더 가까운, 전기습윤 표시 장치.
10. 제1항에 있어서, 상기 소수성 유체는 상기 제1 격벽면과 상기 제2 격벽면 사이에 배치되고, 상기 제1 격벽면은 상기 제2 격벽면보다 친수성이고, 상기 소수성 유체는 상기 픽셀 전극에 전압이 제공됨으로써 상기 제1 격벽면에서 상기 제2 격벽면 방향으로 이동 가능하고,
    상기 픽셀은 제1 픽셀이고;
    상기 픽셀 전극은 제1 픽셀 전극이고;
    상기 제1 픽셀의 상기 소수성 유체는 상기 소수성 유체의 제1 부분이고;
    상기 복수의 픽셀은 상기 제1 픽셀에 인접한 제2 픽셀을 포함하고, 상기 제2 픽셀은:
    상기 소수성 유체의 제2 부분; 및
    제2 픽셀 전극
    을 포함하고,
    상기 제1 픽셀은 상기 제1 픽셀 전극에 인가된 제1 픽셀 전압에 따라 제1 방향으로 상기 소수성 유체의 상기 제1 부분을 이동시키도록 구성되고,
    상기 제2 픽셀은 상기 제2 픽셀 전극에 인가된 제2 픽셀 전압에 따라 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향으로 상기 소수성 유체의 상기 제2 부분을 이동시키도록 구성되는, 전기습윤 표시 장치.
11. 제10항에 있어서, 상기 제1 픽셀은 상기 제2 픽셀과 동일한 색상을 표시하도록 구성되고, 상기 제1 픽셀 전압은 상기 제2 픽셀 전압과 동일한, 전기습윤 표시장치.
12. 제1항에 있어서, 상기 픽셀은 사각형의 형상을 갖고;
    상기 제1 격벽면은 상기 픽셀의 인접하는 두 변들을 따라 위치하고;
    상기 제1 격벽면은 상기 제2 격벽면보다 친수성이고; 그리고
    상기 소수성 유체는 상기 픽셀 전극에 전압이 제공됨으로써 상기 제1 격벽면에서 상기 제2 격벽면 방향으로 이동 가능한, 전기습윤 표시 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 픽셀은 제1 픽셀이고;
    상기 픽셀 전극은 제1 픽셀 전극이고;
    상기 제1 픽셀의 상기 소수성 유체는 상기 소수성 유체의 제1 부분이고;
    상기 복수의 픽셀은 상기 제1 픽셀에 인접한 제2 픽셀을 포함하고, 상기 제2 픽셀은:
    상기 소수성 유체의 제2 부분; 및
    제2 픽셀 전극
    을 포함하고,
    상기 제1 픽셀은 상기 제1 픽셀 전극에 인가된 제1 픽셀 전압에 따라 제1 방향으로 상기 소수성 유체의 상기 제1 부분을 이동시키도록 구성되고,
    상기 제2 픽셀은 상기 제2 픽셀 전극에 인가된 제2 픽셀 전압에 따라 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향으로 상기 소수성 유체의 상기 제2 부분을 이동시키도록 구성되는, 전기습윤 표시 장치.
14. 전기습윤 표시 장치의 제조 방법으로서,
    제1 기판을 마련하는 단계;
    상기 제1 기판 상에 픽셀 전극을 마련하는 단계;
    상기 픽셀 전극 상에 소수성 막을 마련하는 단계;
    상기 소수성 막 상에 음성 감광막을 마련하는 단계;
    상기 제1 기판 아래에 노광용 마스크를 배치하는 단계;
    상기 노광용 마스크 상에서 상기 제1 기판을 향해 노광하여 상기 음성 감광막의 부분이 노광되도록 하는 단계;
    상기 음성 감광막의 상기 부분을 에칭하여 격벽을 형성하는 단계 - 상기 격벽은:
    상기 격벽 내에서 상기 소수성 막의 평면에 대해 경사 각도를 이루는 제1 격벽면; 및
    상기 격벽 내에서 상기 소수성 막의 평면에 대해 상기 경사 각도보다 큰 각도를 이루는 제2 격벽면
    을 포함함 - ; 및
    상기 제1 격벽면의 친수성이 증가되도록 상기 격벽 상에서 자외선을 조사하는 단계
    를 포함하는, 전기습윤 표시 장치의 제조 방법.
15. 제14항에 있어서, 상기 노광용 마스크는:
    상기 경사 각도로 상기 제1 격벽면을 형성하도록 슬릿 개구부 상에 입사되는 빛을 부분적으로 통과시키도록 배치된 상기 슬릿 개구부,
    상기 소수성 막의 평면에 대해 수직인 상기 제2 격벽면을 형성하도록 관통 개구부 상에 입사되는 모든 빛을 통과시키도록 배치된 상기 관통 개구부, 및
    광 차단부
    를 포함하는, 전기습윤 표시 장치의 제조 방법.
16. 제15항에 있어서, 상기 자외선을 조사하는 단계는 상기 제1 기판의 평면에 수직인 방향으로 상기 자외선을 조사하는 단계를 포함하는, 전기습윤 표시 장치의 제조 방법.
17. 전기습윤 표시 장치의 제조 방법으로서,
    제1 기판을 마련하는 단계;
    상기 제1 기판 상에 픽셀 전극을 마련하는 단계;
    상기 픽셀 전극 상에 소수성 막을 마련하는 단계;
    격벽을 형성하는 단계 - 상기 격벽은:
    상기 격벽 내에서 상기 소수성 막의 평면에 대해 경사 각도를 이루는 제1 격벽면; 및
    제2 격벽면
    을 포함함 - ;
    개구부와 광 차단부를 포함하는 친수도 변경용 마스크를 마련하는 단계; 및
    상기 격벽을 자외선을 이용해 조사하도록 상기 친수도 변경용 마스크 상에 자외선을 조사하는 단계
    를 포함하는 전기습윤 표시 장치의 제조 방법.
18. 제17항에 있어서, 상기 자외선을 조사하는 단계는 상기 제1 격벽면의 전체 상에 상기 자외선을 조사하는 단계를 포함하는, 전기습윤 표시 장치의 제조 방법.
19. 제17항에 있어서, 상기 자외선을 조사하는 단계는 상기 제1 격벽면의 전체보다 적은 상기 제1 격벽면의 부분 상에 상기 자외선을 조사하는 단계를 포함하는, 전기습윤 표시 장치의 제조 방법.
20. 제19항에 있어서, 상기 제1 격벽면의 상기 부분은 상기 소수성 막에서 가장 먼 상기 제1 격벽면의 지점으로부터 연장되는, 전기습윤 표시 장치의 제조 방법.
21. 전기습윤 표시 장치로서,
    제1 기판;
    상기 제1 기판으로부터 이격된 제2 기판;
    제1 픽셀; 및
    상기 제1 픽셀에 인접한 제2 픽셀
    을 포함하고,
    상기 제1 픽셀은:
    제1 픽셀 전극;
    상기 제1 픽셀 전극 상의 소수성 막의 제1 부분 - 상기 제1 기판은 상기 제1 픽셀 전극 및 상기 소수성 막의 상기 제1 부분을 포함함 - ;
    상기 소수성 막의 상기 제1 부분 상에서, 상기 제1 픽셀 전극에 인가된 제1 전압의 세기에 따라 달라지는 제1 분포 영역을 갖는, 소수성 유체의 제1 부분;
    상기 소수성 막의 상기 제1 부분 상의 친수성 유체의 제1 부분; 및
    상기 소수성 유체의 상기 제1 부분의 가장자리를 둘러싸는 제1 격벽 - 상기 제1 격벽은 상기 소수성 유체의 상기 제1 부분을 향하는 제1 격벽면 및 상기 소수성 유체의 상기 제1 부분을 향하는 제2 격벽면을 포함하고, 상기 제1 격벽면의 적어도 일부와 상기 제2 격벽면의 적어도 일부의 친수도는 서로 다름 -
    을 포함하고,
    상기 제2 픽셀은:
    제2 픽셀 전극;
    상기 제2 픽셀 전극 상의 상기 소수성 막의 제2 부분 - 상기 제1 기판은 상기 제2 픽셀 전극 및 상기 소수성 막의 상기 제2 부분을 포함함 - ;
    상기 소수성 막의 상기 제2 부분 상에서, 상기 제2 픽셀 전극에 인가된 제2 전압의 세기에 따라 달라지는 제2 분포 영역을 갖는, 상기 소수성 유체의 제2 부분;
    상기 소수성 막의 상기 제2 부분 상의 상기 친수성 유체의 제2 부분; 및
    상기 소수성 유체의 상기 제2 부분의 가장자리를 둘러싸는 제2 격벽 - 상기 제2 격벽은 상기 소수성 유체의 상기 제2 부분을 향하는 제3 격벽면 및 상기 소수성 유체의 상기 제2 부분을 향하는 제4 격벽면을 포함하고, 상기 제3 격벽면의 적어도 일부와 상기 제4 격벽면의 적어도 일부의 친수도는 서로 다름 -
    을 포함하고,
    상기 제1 픽셀은 상기 제1 픽셀 전극에 인가된 상기 제1 전압의 제1 세기에 따라 제1 방향으로 상기 소수성 유체의 상기 제1 부분을 이동시키도록 구성되고,
    상기 제2 픽셀은 상기 제2 픽셀 전극에 인가된 상기 제2 전압의 제2 세기에 따라 상기 제1 방향과 상이한 제2 방향으로 상기 소수성 유체의 상기 제2 부분을 이동시키도록 구성되는, 전기습윤 표시 장치.
22. 제21항에 있어서, 상기 제1 격벽면은 상기 제2 격벽면보다 친수성이고 상기 제3 격벽면은 상기 제4 격벽면보다 친수성이고, 상기 제1 픽셀 내의 상기 제1 격벽면의 제1 위치는 상기 제2 픽셀 내의 상기 제3 격벽면의 제2 위치와 상대적으로 다른, 전기습윤 표시 장치.
23. 제21항에 있어서,
    상기 제1 격벽 및 상기 제2 격벽을 포함하는 격벽 구조
    를 포함하고,
    상기 격벽 구조는 상기 제1 픽셀과 상기 제2 픽셀을 포함하는 복수의 픽셀로 상기 전기습윤 표시 장치를 파티셔닝하는 격자에 대응하는, 전기습윤 표시장치.
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