KR101932882B1 - 가공 정밀도와 함께 내구성이 향상된 레이저 가공장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대상물을 지지하고 상기 대상물을 이동시키는 컨베이어부와, 상기 컨베이어부와 연결되되 복수개의 공기홀을 구비하는 워크테이블,로 이루어지는 대상물 가공부; 상기 워크테이블의 장착부에 결합되어 레이저 빔을 가공 영역에 조사하는 레이저 가공모듈; 상기 레이저 가공모듈과 상기 대상물 가공부를 수납하는 모듈하우징; 상기 레이저 가공모듈에 인접하게 구비되어 가공이 완료된 대상물의 결함을 검출하는 절단면 검출모듈; 상기 레이저 모듈하우징에 연결되어 상기 레이저 모듈하우징을 이송시키는 이송유닛; 상기 모듈하우징에 연결되어 상기 워크테이블로 공기를 분사하는 공기분사부; 상기 워크테이블의 하부에 구비되어 상기 워크테이블의 공기홀을 통하여 배출되는 공기를 흡수하고, 흡수된 공기를 필터링하는 필터가 구비되는 흡기모듈; 상기 대상물 가공부, 모듈하우징, 이송유닛, 공기분사부, 흡기모듈, 및 냉각부재를 내부에 수납하는 외장하우징; 상기 레이저 가공모듈를 통해 전송된 레이저 빔의 파워값을 측정하는 측정부; 및 측정 파워값이 설정된 기준 파워값 이상일 때, 상기 레이저 빔의 생성을 중단시키는 제어부;를 포함하는 가공 정밀도와 내구성이 향상된 레이저 가공장치에 관한 것이다.

Description

가공 정밀도와 함께 내구성이 향상된 레이저 가공장치 {LASER MANUFACTURING APPARATUS}

본 발명은 가공 정밀도와 함께 내구성이 향상된 레이저 가공장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대상물의 이동 및 레이저의 정밀도를 향상시키고 내부 발생하는 열 등을 제어함으로써 가공 정밀도와 함께 내구성이 향상된 레이저 가공장치에 관한 것이다.

일반적으로 레이저 가공장치는 레이저 빔을 조사하여 가공물을 절단하거나 홈 가공을 할 수 있는 장치이다. 이러한 레이저 가공장치는 비접촉식으로 작은 면적에 짧은 시간 동안 가공이 가능하기 때문에 공구의 마모가 없고 열변형을 방지하여 가공물에 손상을 입히지 않는다.

레이저 가공장치가 가공물을 절단하지 않고 대략 0.1mm 미만의 깊이만큼의 홈을 가공하는 것을 마킹 (marking)이라 한다. 상기 레이저 가공장치는 전자 제품 또는 자동차 등의 부품상에 회사명, 제원, 기호 등의 다양한 표시를 마킹한다.

상기 레이저 마킹 방식으로는 주사형 마킹 방식과 마스크형 마킹 방식으로 구분될 수 있다. 상기 주사형 마킹 방식은 소형의 스판으로 초점을 맞춘 레이저 빔을 갈바노 미러(Galvano Mirror) 등으로 주사하여 가공물에 마킹하는 방식이다. 또한, 상기 마스크형 마킹 방식은 원하는 문자나 도형 등의 패턴을 미리 마스크에 형성한 다음 마스크를 투과한 레이저 빔을 렌즈계 등을 이용하여 대상 표면에 결상시킴으로써 해당 패턴을 가공물에 마킹하는 방식이다.

상기 주사형 마킹 방식은 가공물의 원하는 위치에 레이저 빔을 주사하게 되므로 소비전력과 가격이 감소되었다.

반면, 상기 마스크형 마킹 방식은 가공물을 이동시키면서 마킹을 실시함으로써 생산량을 증대시킬 수는 있으나 레이저 빔을 발진시킬 때에 펄스 용량이 클 수밖에 없다. 또한, 소비 전력 및 가격이 증가하고 소음이 발생되었다.

그러나, 종래의 주사형 레이저 가공장치는 레이저를 주사하는 장치 때문에 중량과 부피가 상당히 증가하므로 이 동시 별도의 이동 장비를 사용하여야 할 뿐 아니라 부피가 커져서 휴대가 불가능한 문제점이 있었다.

또한, 상기 레이저 가공장치는 높낮이 조절이 불가능하므로, 바닥면의 높이가 균일하지 않은 경우 상기 레이저 가공장치의 수평을 맞추기 곤란했다.

(선행문헌) 대한민국 등록특허 제10-1445829 호 (2014년09월23일)

본 발명의 목적은 레이저 소스의 공급장치와 대상물의 이동을 제어함으로써 레이저 가공의 위치정밀도를 향상시킬 수 있는 가공 정밀도와 함께 내구성이 향상된 레이저 가공장치를 제공하기 위한 것이다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 미세 분진, 유해 가스를 필터링하여 외부로의 배출을 차단하는 클린 기능, 장비 내부의 온도를 효율적으로 조절할 수 있도록 하는 쿨러 기능 등을 구비함으로써 장비의 오염을 방지하고 가공 정밀도와 함께 내구성이 향상된 레이저 가공장치를 제공하기 위함이다.

대상물에 조사하는 레이저 가공장치에 대한 것으로, 상기 대상물을 지지하고 상기 대상물을 이동시키는 컨베이어부와, 상기 컨베이어부와 연결되되 복수개의 공기홀을 구비하는 워크테이블,로 이루어지는 대상물 가공부; 상기 레이저 빔을 가공 영역에 조사하는 레이저 가공모듈; 상기 레이저 가공모듈에 인접하게 구비되어 가공이 완료된 대상물의 결함을 검출하는 절단면 검출모듈; 상기 레이저 가공모듈과 상기 대상물 가공부 및 절단면 검출모듈을 수납하는 모듈하우징; 상기 모듈하우징에 연결되어 상기 모듈하우징의 일부를 이송시키는 이송유닛; 상기 모듈하우징에 연결되어 상기 워크테이블로 공기를 분사하는 공기분사부; 상기 워크테이블의 하부에 구비되어 상기 워크테이블의 공기홀을 통하여 배출되는 공기를 이동시키는 필터송풍팬과, 흡수된 공기를 필터링하는 필터가 구비되는 흡기모듈; 상기 대상물 가공부, 모듈하우징, 이송유닛, 공기분사부 및 흡기모듈을 내부에 수납하는 외장하우징; 상기 레이저 가공모듈를 통해 전송된 레이저 빔의 파워값을 측정하는 측정부; 및 측정 파워값이 설정된 기준 파워값 이상일 때, 상기 레이저 빔의 생성을 중단시키는 제어부;로 이루어지는 가공 정밀도와 내구성이 향상된 레이저 가공장치를 포함한다.

상기 레이저 모듈하우징은 상부면과 어느 일측면이 분리가능하도록 구비되는 사각형의 박스형태로 구비되고, 상기 이송유닛은 상기 레이저 모듈하우징의 분리가능한 상부면을 상하 이송시키는 제1 이송유닛과, 상기 레이저 모듈하우징의 분리가능한 어느 일측면을 좌우 이송시키는 제2 이송유닛으로 이루어지고, 상기 공기분사부는 상기 제1 이송유닛과 연결된 상기 레이저 모듈하우징의 상부면에 구비되어 상기 제1 이송유닛의 상하 이동에 의하여 상기 공기분사부와 상기 워크테이블의 간격이 제어될 수 있다.

상기 절단면 검출모듈은 상기 제2 이송유닛과 연결된 상기 레이저 모듈하우징의 일측면에 구비되어 상기 제2 이송유닛의 좌우 이동에 의하여 상기 절단면 검출모듈과 상기 대상물 사이의 간격이 제어될 수 있다.

상기 컨베이어부는 상기 대상물을 지지하는 지지부와, 상기 지지부의 하부에서 연결되어 상기 지지부를 왕복 이송시키는 컨베이어를 포함하고, 상기 지지부는 상기 대상물이 안착되어 상기 대상물을 공기의 흡수에 의하여 고정시키도록 복수기의 흡기홀을 구비하고 360° 회전 이동이 가능하도록 구비되는 베이스판과, 상기 베이스판의 하부에 연결되어 상기 베이스판의 흡기홀을 통하여 공기를 통과시키는 진공파이프, 상기 진공파이프와 연결되는 진공펌프로 이루어지고, 상기 베이스판은 상기 컨베이어의 상부에 구비되고, 상기 진공파이프는 상기 베이스판에 연결되어 상기 워크테이블의 하부로 연장되며, 상기 진공펌프는 상기 워크테이블의 하부에 구비될 수 있다.

상기 워크테이블은 열이 전달되는 금속으로 이루어지고, 상기 공기홀은 원형의 제1 공기홀과 상기 제1 공기홀보다 직경이 작은 원형으로 이루어지는 제2 공기홀을 포함하며, 상기 제1 공기홀은 상기 컨베이어부에 인접하게 구비되고, 상기 제2 공기홀은 상기 제1 공기홀에서 이격되어 구비되고, 상기 공기분사부는 상기 모듈하우징의 상부에서 상기 모듈하우징의 하부에 구비되는 워크테이블을 향하여 수직하게 공기를 분사하되, 상기 워크테이블에 구비되는 복수개의 공기홀을 통하여 상기 공기분사부에서 분사되는 공기를 통과시키고, 상기 공기분사부는 상기 모듈하우징의 상부면에서 좌우 이동가능하도록 구비되고, 상기 레이저 빔에 의하여 대상물을 가공할 때 상기 레이저 빔을 간섭하지 않도록 상기 워크테이블로 공기를 분사할 수 있다.

상기 절단면 검출모듈은 일방향으로 고정되어 가공이 완료된 대상물의 절단면의 결함을 검출하고, 상기 절단면 검출모듈은 상기 베이스판의 회전에 의하여 상기 대상물의 절단면을 전체적으로 측정할 수 있다.

상기 절단면 검출모듈은, 상기 대상물의 절단면에 대향하여 구비되어 상기 대상물의 절단면의 정면, 상부 및 하부의 영상을 취득하는 카메라; 상기 대상물의 상부와 하부에 각각 위치하고, 상기 대상물의 절단면의 상부 및 하부로 광원을 조사하는 상부조명 및 하부조명; 및 상기 카메라에서 수득된 영상을 표시하고 상기 제어부와 연결되는 디스플레이;를 포함할 수 있다.

상기 카메라는 상기 대상물의 절단면에 대해서 정면으로 구비되는 라인 스캔 카메라를 포함하고, 상기 상부조명은 상기 대상물의 절단면의 수직단면선에 대해서 15° 내지 30°가 되도록 배치하고, 상기 하부조명은 상기 대상물의 절단면의 수직단면선에 대해서 7.5° 내지 15°가 되도록 배치될 수 있다.

상기 외장하우징의 내부공간은 분리판에 의하여 상부공간과 하부공간으로 구획되고, 상기 워크테이블은 상기 워크테이블의 하부에서 상기 흡기홀과 중첩되지 않도록 구비되어 상기 워크테이블을 냉각시키는 냉각부재와, 상기 워크테이블의 온도를 측정하여 제어부로 전달하는 온도센서가 더 구비되고, 상기 온도센서에 의하여 측정된 온도가 상기 제어부로 전달되어 상기 제어부는 상기 냉각부재의 온/오프를 제어할 수 있다.

상기 대상물은 금속으로 구비되고, 상기 필터는 다수의 통공을 갖는 코아와, 상기 코아를 감싸도록 구비되는 복수개의 여과층으로 이루어지는 다층 카트리지 필터이고, 상기 코아 위에 내층으로부터 외층으로 향하여 절단 가공 중에 발생하는 분진을 여과시키기 위한 폴리프로필렌 스판본드 또는 멜트블로운으로 된 장섬유부직포층, 폴리프로필렌 방적사를 하니캄 구조로 권취한 제1방적사 권취층; 1.0 내지 5.0㎛/fil의 직경을 가지고, 70㎏/㎥ 이하의 중량을 가지는 유리섬유 부직포로 된 무기질 섬유 부직포층; 상기 무기질 섬유 부직포층 상에 구비되는 자성나노입자층; 상기 자성나노입자층 상에 구비되는 폴리프로필렌 방적사를 하니캄 구조로 권취한 제2방적사 권취층;을 순차적으로 적층 권취하고, 상기 무기질 섬유 부직포층의 상하에 유리섬유의 이탈 방지 및 형태 안정성부여를 위해 네트상의 섬유 직편물을 씌워서 이루어지며, 상기 자성나노입자층은 유기용매 중에 분산된 자성나노입자를 상기 무기질 섬유 부직포층 상에 코팅시킨 후 건조시켜 형성되고, 상기 자성나노입자는 직경이 20 nm이하이고, 산화철 나노입자 및 망간 산화철 나노입자 중 어느 하나 이상이며, 상기 유기용매는 톨루엔 또는 벤젠일 수 있다.

상기 외장하우징의 내부에 대상물에서 발생하는 분진을 향해 압축 공기를 분사시키는 압축공기모듈을 더 포함하고, 상기 압축공기모듈은 상기 모듈하우징의 하부에 설치된 분사구와, 상기 분사구에 압축 공기를 제공하는 압축기를 포함하고, 상기 압축기에서 생성된 압축공기는 호스를 통해 상기 분사구에 공급되어 상기 대상물에서 가공 중에 발생되는 분진 등을 비산시키고, 상기 외장하우징의 내부공간은 분리판에 의하여 상부공간과 하부공간으로 구획되고, 상기 외장하우징의 하부공간에는 상기 분리판의 하부에서 상기 외장하우징의 바닥면까지 수직하게 연장되어 상기 하부공간을 제1 하부공간과 제2 하부공간으로 구획하는 흡입판이 구비되며, 상기 흡입판에 의하여 상기 제1 하부공간은 상기 모듈하우징의 하부에 구비되고, 상기 제2 하부공간의 내부에는 상기 압축공기모듈이 구비되며, 상기 흡입판에는 복수개의 홀이 구비되어 상기 제1 하부공간과 상기 제2 하부공간의 공기의 이동통로를 제공할 수 있다.

이상 살펴본 바와 같은 본 발명에 따르면, 레이저 소스의 공급장치와 대상물의 이동을 제어함으로써 레이저 가공의 위치정밀도를 향상시킬 수 있는 가공 정밀도와 함께 내구성이 향상된 레이저 가공장치를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면 미세 분진, 유해 가스를 필터링하여 외부로의 배출을 차단하는 클린 기능, 장비 내부의 온도를 효율적으로 조절할 수 있도록 하는 쿨러 기능 등을 구비함으로써 장비의 오염을 방지하고 가공 정밀도와 함께 내구성이 향상된 레이저 가공장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 대상물 가공부를 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 1의 절단면 검출모듈을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 절단면 검출모듈의 측면을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1의 흡기모듈에 구비되는 필터를 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 5의 단면도이다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 이하의 설명에서 어떤 부분이 다른 부분과 연결되어 있다고 할 때, 이는 직접적으로 연결되어 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 매체를 사이에 두고 연결되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 도면에서 본 발명과 관계없는 부분은 본 발명의 설명을 명확하게 하기 위하여 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.

이하, 첨부된 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 가공장치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 2는 도 1의 대상물 가공부를 나타낸 사시도이다. 도 3은 도 1의 절단면 검출모듈을 나타낸 사시도이다. 도 4는 도 3의 절단면 검출모듈의 측면을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 5는 도 1의 흡기모듈에 구비되는 필터를 나타낸 사시도이다. 도 6은 도 5의 단면도이다.

본 발명의 일 실시예는 레이저 빔을 가공하고자 하는 대상물에 조사하는 레이저 가공장치에 대한 것으로, 상기 대상물(1)을 지지하고 상기 대상물(1)을 이동시키는 컨베이어부(110)와, 상기 컨베이어부(110)와 연결되되 복수개의 공기홀(121, 122)을 구비하는 워크테이블(120),로 이루어지는 대상물 가공부(100); 상기 대상물로 레이저 빔을 가공 영역에 조사하는 레이저 가공모듈(200); 상기 레이저 가공모듈(200)에 인접하게 구비되어 가공이 완료된 대상물(10)의 결함을 검출하는 절단면 검출모듈(400); 상기 레이저 가공모듈(200)과 상기 대상물 가공부(100) 및 절단면 검출모듈(400)을 수납하는 모듈하우징(300); 상기 모듈하우징(300)에 연결되어 상기 모듈하우징(300)의 일부를 이송시키는 이송유닛(500); 상기 모듈하우징(300)에 연결되어 상기 워크테이블(120)로 공기를 분사하는 공기분사부(600); 상기 워크테이블(120)의 하부에 구비되어 상기 워크테이블(120)의 공기홀(121, 122)을 통하여 배출되는 공기를 이송시키는 필터송풍팬과, 흡수된 공기를 필터링하는 필터(710)가 구비되는 흡기모듈(700); 상기 대상물 가공부(100), 모듈하우징(300), 이송유닛(500), 공기분사부(600) 및 흡기모듈(700)을 내부에 수납하는 외장하우징(10); 상기 레이저 가공모듈(200)를 통해 전송된 레이저 빔의 파워값을 측정하는 측정부; 및 측정 파워값이 설정된 기준 파워값 이상일 때, 상기 레이저 빔의 생성을 중단시키는 제어부;로 이루어지는 가공 정밀도와 내구성이 향상된 레이저 가공장치를 포함한다.

또한, 상기 레이저 가공장치는 상기 외장하우징(10)의 내부에 대상물에서 발생하는 분진을 향해 압축 공기를 분사시키는 압축공기모듈(32, 34)을 더 포함할 수 있다. 상기 압축공기모듈(32, 34)은 상기 모듈하우징(300)의 하부에 설치된 분사구(32)와, 상기 분사구(32)에 압축 공기를 제공하는 압축기(34)를 포함하고, 상기 압축기(34)에서 생성된 압축공기는 미도시된 호스를 통해 상기 분사구(32)에 공급되어 상기 대상물에서 가공 중에 발생되는 분진 등을 비산시킨다. 상기 압축기(34)는 모터(35)에 의해 작동되면서 공기를 압축시키도록 구성된다.

상기 외장하우징(10)의 내부공간은 분리판(14)에 의하여 상부공간(15)과 하부공간(11, 17)으로 구획되고, 상기 외장하우징(10)의 하부공간(11, 17)에는 상기 분리판(14)의 하부에서 상기 외장하우징(10)의 바닥면까지 수직하게 연장되어 상기 하부공간(11, 17)을 제1 하부공간(11)과 제2 하부공간(17)으로 구획하는 흡입판(12)이 구비될 수 있다. 상기 흡입판(12)에 의하여 상기 제1 하부공간(11)은 상기 모듈하우징(300)의 하부에 구비되고, 상기 제2 하부공간(17)의 내부에는 상기 압축공기모듈(34)이 구비되며, 상기 흡입판(12)에는 복수개의 홀이 구비되어 상기 제1 하부공간(11)과 상기 제2 하부공간(17)의 공기의 이동통로를 제공할 수 있다. 또한, 상기 외장하우징(10)의 바닥면에는 상기 흡입판(12)이 설치하기 위한 다수개의 설치홈(12a)이 구비될 수 있다. 상기 흡입판(12)의 설치위치에 따라 상기 제1 하부공간(11)과 상기 제2 하부공간(17)의 크기를 변화시킬 수 있다.

상기 모듈하우징(300)은 상기 외장하우징(10)의 내부 일측, 예컨대 상부공간(15)에 설치되어, 내부에 대상물 가공부(100)와 레이저 가공모듈(200), 절단면 검출모듈(400)을 수납하고, 상기 대상물(1)의 가공 공정을 수행할 수 있다. 상기 레이저 가공모듈(200)은 상기 대상물 가공부(100)에 안착된 대상물을 향하여 레이저를 조사할 수 있도록 배치되며, 상기 절단면 검출모듈(400)은 가공이 완료된 대상물(1)의 절단면을 검출하여 절단면의 불량 여부를 확인할 수 있다. 상기 레이저 가공모듈(200)은 레이저가 대상물을 향해 조사될 수 있도록 상기 모듈하우징(300)의 하부에 구비되는 렌즈브래킷(220)을 더 포함하고, 상기 렌즈브래킷(220)은 상하 방향으로 개구되도록 배치될 수 있다.

상기 외장하우징(10)의 내부에는 레이저 모듈하우징(300)에 연결되어 상기 레이저 모듈하우징(300)을 이송시키는 이송유닛(500)을 더 포함할 수 있다. 상기 레이저 모듈하우징(300)은 상부면과 어느 일측면이 분리가능하도록 구비되는 사각형의 박스형태로 구비되고, 상기 이송유닛(500)은 상기 레이저 모듈하우징(300)의 분리가능한 상부면을 상하 이송시키는 제1 이송유닛(520)과, 상기 레이저 모듈하우징(300)의 분리가능한 어느 일측면을 좌우 이송시키는 제2 이송유닛(510)으로 이루어질 수 있다.

상기 공기분사부(600)는 상기 제1 이송유닛(520)과 연결된 상기 레이저 모듈하우징(300)의 상부면에 구비되어 상기 제1 이송유닛(520)의 상하 이동에 의하여 상기 공기분사부(600)와 상기 워크테이블(120)의 간격이 제어될 수 있다.

상기 절단면 검출모듈(400)은 상기 제2 이송유닛(510)과 연결된 상기 레이저 모듈하우징(300)의 일측면에 구비되어 상기 제2 이송유닛(510)의 좌우 이동에 의하여 상기 절단면 검출모듈(400)과 상기 대상물(10) 사이의 간격이 제어될 수 있다.

상기 공기분사부(600)는 상기 모듈하우징(300) 상부에서 상기 모듈하우징(300)의 하부에 구비되는 워크테이블(120)을 향하여 수직하게 공기를 분사할 수 있다. 상기 워크테이블(120)에는 복수개의 공기홀(121, 122)이 구비되어 상기 공기분사부(600)에서 분사되는 공기를 통과시킬 수 있다. 상기 공기분사부(600)에 의하여 상기 워크테이블(120)에서 발생하는 먼지가 상기 워크테이블(120)의 하부측으로 차단시킴으로써 상기 레이저에 의하여 대상물(10)의 가공이 보다 정밀하게 수행되도록 할 수 있다.

상기 제1 이송유닛(520)은 상기 상기 제1 이송유닛(520)의 상부에 구비되는 모터(521)의 회전력에 의해 상하 방향으로 기어의 상대 이동이 발생되도록 구성된다. 상기 제2 이송유닛(510)은 본 실시예에서 레일구조를 통해 전후 방향으로 슬라이드 이동되게 구성된다.

상기 레이저 가공모듈(200)은 인가된 전원에 의해 광파장을 발생시키는 장치로서, 당업자에게 일반적인 내용인 바 상세한 설명을 생략한다.

상기 레이저 가공장치는 상기 레이저 가공모듈(200)을 통해 전송된 레이저 빔의 파워값을 측정하는 측정부(미도시)와 상기 측정부에서 측정된 파워값에 의하여 레이저 빔의 생성을 중단시키는 제어부(미도시)가 더 포함될 수 있다. 상기 제어부는 상기 레이저 가공모듈(200)과 연결되어 상기 레이저 가공모듈(200)의 온/오프를 제어할 수 있다. 상기 제어부에 미리 설정된 레이저 빔의 파워값의 상한치 및 하한치와 상기 측정부를 통하여 전달되는 레이저 빔의 파워값을 비교하여 상기 제어부는 상기 레이저 가공모듈(200)의 작동을 유지하거나 혹은 상기 레이저 가공모듈(200)의 작동을 정지시킴으로써 상기 레이저 가공모듈(200)의 고장을 방지하고 또한 상기 레이저 가공장치의 안정성을 향상시킬 수 있다.

상기 대상물 가공부(100)는 상기 대상물(1)의 가공이 용이하도록 지지하는 부분으로, 컨베이어부(110)와 워크테이블(120)로 이루어질 수 있다. 상기 워크테이블(120)은 상기 워크테이블(120)의 하부에서 상기 흡기홀(121, 122)과 중첩되지 않도록 구비되어 상기 워크테이블(120)을 냉각시키는 냉각부재(123)와, 상기 워크테이블의 온도를 측정하여 제어부로 전달하는 온도센서(124)가 더 구비될 수 있다.

상기 냉각부재(123)와 상기 온도센서(124)는 상기 제어부와 연결될 수 있는데, 상기 온도센서(124)에 의하여 측정된 온도가 상기 제어부로 전달되어 상기 제어부는 상기 냉각부재(123)의 온/오프를 제어함으로써 상기 대상물(1)을 가공하는 과정에서 발생하는 열을 제어하여 상기 대상물(1)이 일정한 온도에서 가공되도록 하며, 상기 발생하는 열에 의하여 레이저 빔의 에너지에 의한 간섭을 배제함으로써 보다 정밀하게 가공되도록 할 수 있다.

상기 컨베이어부(110)는 상기 대상물을 지지하는 지지부(111)와, 상기 지지부(111)의 하부에서 연결되어 상기 지지부(111)를 왕복 이송시키는 컨베이어(112)를 포함한다.

상기 지지부(111)는 상기 대상물(1)이 안착되어 상기 대상물(1)을 공기의 흡수에 의하여 고정시키도록 복수기의 흡기홀(113a)을 구비하고 360° 회전 이동이 가능하도록 구비되는 베이스판(113)과, 상기 베이스판(113)의 하부에 연결되어 상기 베이스판(113)의 흡기홀을 통하여 공기가 통과하는 진공파이프(114), 상기 진공파이프(114)와 연결되는 진공펌프(115)로 이루어질 수 있다.

상기 베이스판(113)은 상기 컨베이어(112)의 상부에 구비되고, 상기 진공파이프(115)는 상기 베이스판(113)에 연결되어 상기 워크테이블(120)의 하부로 연장되며, 상기 진공펌프(115)는 상기 워크테이블(120)의 하부에 구비될 수 있다.

상기 대상물(1)은 상기 지지부(111)에 안착된 후, 상기 진공펌프(115)를 가동시켜 상기 흡기홀(113a)을 통하여 상기 대상물(1)을 고정시킬 수 있다. 상기 지지부(111)는 상기 대상물(1)보다 작은 크기로 구비될 수 있으며, 상기 흡기홀(113a)을 통하여 상기 대상물(1)의 좁은 면적만으로도 상기 대상물(1)을 안정적으로 고정시킬 수 있다. 이에 의하여 상기 대상물(1)의 레이저 빔에 의한 절단이 용이하게 하며, 절단 후 상기 절단면 검출모듈(400)에 의한 상기 대상물(1)의 절단면의 불량 여부를 효율적으로 수행되도록 할 수 있다.

상기 워크테이블(120)은 열이 전달되는 금속, 예컨대 스테인리스 스틸로 이루어지고, 이에 의하여 상기 냉각부재(123)에 의한 상기 워크테이블(120)의 냉각이 효율적으로 수행되도록 할 수 있다.

상기 워크테이블(120)에는 상기 워크테이블(120)을 관통하는 복수개의 공기홀(121, 122)이 구비될 수 있다. 상기 공기홀(121, 122)은 원형의 제1 공기홀(121)과 상기 제1 공기홀(121)보다 직경이 작은 원형으로 이루어지는 제2 공기홀(122)을 포함하며, 상기 제1 공기홀(121)은 상기 컨베이어부(110)에 인접하게 구비되고, 상기 제2 공기홀(122)은 상기 제1 공기홀(121)에서 이격되어 구비될 수 있다.

상기 워크테이블(120)의 상부에는 공기분사부(600)가 구비되어 상기 워크테이블(120)을 향하여 공기를 분사하고, 이때 분사된 공기는 상기 워크테이블(120)에 구비도는 제1 및 제2 공기홀(121, 122)을 통하여 배출됨으로써 상기 대상물(1)을 가공하는 중에 발생하는 비산, 먼지 등이 상기 대상물(1) 혹은 레이저 빔으로 전달되는 것을 방지할 수 있다. 상기 공기분사부(600)는 상기 모듈하우징(300)의 상부면에서 좌우 이동가능하도록 구비되고, 이에 의하여 상기 레이저 빔에 의하여 대상물(1)을 가공할 때 상기 레이저 빔을 간섭하지 않도록 상기 워크테이블(120)로 공기를 분사할 수 있다.

상기 워크테이블(120)에 구비되는 제1 공기홀(121)은 상기 제2 공기홀(122)보다 크게 구비시킴으로써 상기 레이저 빔에 의한 대상물(1)을 가공하는 중 상기 공기에 의한 간섭의 발생을 보다 안정적으로 방지할 수 있고, 상기 제2 공기홀(122)을 보다 작게 구비시킴으로써 상기 워크테이블(120)의 전체적인 강도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.

상기 레이저 빔에 의한 대상물(1)의 가공이 완료된 후 상기 절단면 검출모둘(400)에 의하여 대상물(1)의 절단면을 검출할 수 있다. 상기 절단면 검출모듈(400)은 일방향으로 고정되어 가공이 완료된 대상물의 절단면의 결함을 검출할 수 있는데, 이때 상기 대상물(1)은 상기 베이스판(113)의 회전에 의하여 상기 절단면 검출모듈(400)은 상기 대상물의 절단면을 전체적으로 측정할 수 있다.

상기 절단면 검출모듈(400)은, 상기 대상물(1)의 절단면에 대향하여 구비되어 상기 대상물(1)의 절단면의 정면, 상부 및 하부의 영상을 취득하는 카메라(410); 상기 대상물(1)의 상부와 하부에 각각 위치하고, 상기 대상물(1)의 절단면의 상부 및 하부로 광원을 조사하는 상부조명(420) 및 하부조명(430); 및 상기 카메라(410)에서 수득된 영상을 표시하고 상기 제어부와 연결되는 디스플레이(미도시);를 포함한다.

상기 카메라(410)는 상기 대상물(1)의 절단면에 대해서 정면으로 구비되는 라인 스캔 카메라를 포함하고, 상기 상부조명(420)은 상기 대상물(1)의 절단면의 수직단면선(s)에 대해서 15° 내지 30°가 되도록 배치하고(a1), 상기 하부조명(430)은 상기 대상물(1)의 절단면의 수직단면선(s)에 대해서 7.5° 내지 15°가 되도록 배치될(a2) 수 있다.

상기 하부조명(420)은 상기 상부조명(410)보다 파워가 더 큰 광원을 이용할 수 있는데, 이에 의하여 상기 상부조명(420)에 의하여 형성되는 장치 내부의 그림자 가림에 의한 빛의 간섭효과를 감소시킬 수 있다. 또한, 상기 상부조명(420)과 하부조명(43)을 전술한 각도로 배치함으로써, 상부조명(420) 및 하부조명(43) 사이의 빛 간섭을 방지하고 상기 대상물(1)의 절단면에 대한 카메라(410)의 측정이 보다 정밀하게 수행되도록 할 수 있다.

상기 대상물(1)은 금속으로 구비되고, 상기 대사물(1)을 레이저 빔에 의한 가공시 발생하는 비산 중 포함되는 금속은 필터에 의하여 여과시켜 외부로 상기 비산과 금속이 배출되는 것을 방지할 수 있다.

작업자는 상기 대상물(1)을 대상물 가공부(100)의 베이스판(111)에 고정시킨 후, 상기 레이저 가공모듈(200)을 작동시켜 대상물에 레이저 빔을 조사할 수 있다. 이때, 상기 압축공기모듈(32, 34)에서 생성된 압축공기는 상기 분사구를 통하여 상기 대상물(1)을 가공하는 과정에서 발생하는 분진 등을 비산시킨다. 이때, 상기 흡기모듈(700)은 필터송풍팬을 가동시켜 상기 하부공간(11, 17)으로 유동된 공기를 상기 흡기모듈(700)에 포한된 필터(710)를 통과시키고, 상기 필터(710)는 유동되는 공기 중의 이물질, 금속을 포함하여 여과시킨다.

상기 필터(710)는 다수의 통공을 갖는 코아(711)와, 상기 코아(711)를 감싸도록 구비되는 복수개의 여과층으로 이루어지는 다층 카트리지 필터일 수 있다.

상기 코아(711) 위에 내층으로부터 외층으로 향하여 절단 가공 중에 발생하는 분진을 여과시키기 위한 폴리프로필렌 스판본드 또는 멜트블로운으로 된 장섬유부직포층(712), 폴리프로필렌 방적사를 하니캄 구조로 권취한 제1방적사 권취층(713); 1.0 내지 5.0㎛/fil의 직경을 가지고, 70㎏/㎥ 이하의 중량을 가지는 유리섬유 부직포로 된 무기질 섬유 부직포층(714); 상기 무기질 섬유 부직포층(714)상에 구비되는 자성나노입자층(714a); 상기 자성나노입자층(714a) 상에 구비되는 폴리프로필렌 방적사를 하니캄 구조로 권취한 제2방적사 권취층(715);을 순차적으로 적층 권취할 수 있다. 상기 무기질 섬유 부직포층(714)의 상하에 유리섬유의 이탈 방지 및 형태 안정성부여를 위해 네트상의 섬유 직편물을 씌워서 이루어지며, 상기 자성나노입자층(714a)은 유기용매 중에 분산된 자성나노입자를 상기 무기질 섬유 부직포층(714) 상에 코팅시킨 후 건조시켜 형성될 수 있다.

상기 자성나노입자는 직경이 20 nm이하이고, 산화철 나노입자 및 망간 산화철 나노입자 중 어느 하나 이상이며, 상기 유기용매는 톨루엔 또는 벤젠일 수 있다. 상기 자성나노입자층(714a)는 상기 비산되는 분진 중 포함된 금속을 흡착하여 상기 금속을 보다 효율적으로 여과하도록 할 수 있다.

상기 장섬유부직포층(712)는 공정 중 탈락된 분진이나 금속 잔해를 여과시키기 위한 것으로서, 상기 코아(711)의 바로 상방에 위치하여 최종적으로 모든 불필요한 분진이나 잔해들을 여과시켜 여과된 자성물질의 용액만이 상기 코아(711)를 통하여 배출되도록 하는 기능을 한다. 상기 장섬유 부직포로는 스판본드 또는 멜트블로운이 사용될 수 있으며, 섬유 소재로는 나이론, 폴리에스테르, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌, 레이온 중 어느 하나 이상일 수 있다. 바람직하게는 폴리프로필렌을 이용한 스판본드 일 수 있다.

상기 무기질 섬유 부직포층(714)는 알루미나 섬유, 탄소 섬유, 세라믹 섬유 등 모든 무기질 섬유가 다 사용될 수 있을 것이나, 유리섬유를 사용하는 것이 경제적이며, 사용되는 유리섬유의 직경은 1.0 내지 5.0㎛/fil로, 유리섬유 부직포의 규격은 대체로 70㎏/㎥ 이하로 하는 것이 여과될 자성물질의 입도를 고려할 때 바람직하다.

상기 무기질 섬유 부직포층(714)의 섬유간 접착은 에폭시 수지로 하며, 무기질 섬유 부직포층(714)의 상하에는 무기질 섬유의 이탈 방지 및 형태안정성 부여를 위해 네트상의 섬유 직편물이 씌워질 수 있다.

상기 필터(710)는 자성물질, 즉 금속산화물의 미립자들이 분산되어 있는 자성 물질용액은 제2방적사층(715)을 통과하면서 방적사간의 대공극과 방적사내 섬유간 미세 공극에 의해 예비여과된 후 무기질 섬유 부직포층(714)과 자성나노입자층(714a)을 통과하면서 강성이 강한 유리섬유 부직포 공극에 의해 콜로이드상으로 응집되어 있는 자성물질이 분쇄되면서 보다 균일하고 미세하게 주여과가 이루어진다.

이어서, 상기 제1방적사층(713)을 통과하면서 후여과가 수행되고 최종적으로 장섬유 부직포층(712)을 통과하면서 이전의 여과층들에서 생성될 수 있는 섬유 부스러기 및 유리섬유 분진이 포집되고 목적하는 여과물만이 코아(711)의 통공(716)들을 통해 코아 내부로 배출된다.

상기 레이저 가공장치는 레이저 빔에 의하여 가공될 수 있는 다양한 재료로 이루어진 대상물을 제한없이 가공할 수 있으며, 이에 의하여 비산되는 분진 중에는 대상물의 재료에 의하여 다양하게 구비된다. 상기 대상물이 부직포 등을 포함하며, 상기 분진 중에는 섬유 물질이 포함될 수 있다.

본 실시예에 따른 필터(710)는 다양한 조직 및 층으로 이루어질 수 있으며, 각 층마다 다양한 재질에 대해서 더 효율적으로 흡착이 가능하므로 상기 필터(710)를 통과한 공기 등은 먼지를 포함한 다양한 분진 등을 모두 제거된 상태로 외부로 배출될 수 있다.

이에 의하여 상기 레이저 가공장치 내가 오염되는 것을 방지하여 상기 레이저 가공장치의 사용 수명을 증가시킬 수 있으며, 또한 상기 레이저 가공장치의 외부로 배출되는 공기가 정화된 상태로 배출되도록 하여 친환경적으로 구비될 수 있다.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

1: 대상물 10: 외장하우징
100: 대상물 가공부 200: 레이저 가공부
300: 모듈하우징 400: 절단면 검출모듈
500: 이송유닛 600: 공기분사부

Claims (8)

1. 레이저 빔을 가공하고자 하는 대상물에 조사하는 레이저 가공장치에 있어서,
   상기 대상물(1)을 지지하고 상기 대상물(1)을 이동시키는 컨베이어부(110)와, 상기 컨베이어부(110)와 연결되되 복수개의 공기홀(121, 122)을 구비하는 워크테이블(120),로 이루어지는 대상물 가공부(100);
   상기 레이저 빔을 가공 영역에 조사하는 레이저 가공모듈(200);
   상기 레이저 가공모듈(200)에 인접하게 구비되어 가공이 완료된 대상물(1)의 결함을 검출하는 절단면 검출모듈(400);
   상기 레이저 가공모듈(200)과 상기 대상물 가공부(100) 및 절단면 검출모듈(400)을 수납하는 모듈하우징(300);
   상기 모듈하우징(300)에 연결되어 상기 모듈하우징(300)의 일부를 이송시키는 이송유닛(500);
   상기 모듈하우징(300)에 연결되어 상기 워크테이블(120)로 공기를 분사하는 공기분사부(600);
   상기 워크테이블(120)의 하부에 구비되어 상기 워크테이블(120)의 공기홀(121, 122)을 통하여 배출되는 공기를 이송시키는 필터송풍팬과, 흡수된 공기를 필터링하는 필터(710)가 구비되는 흡기모듈(700);
   상기 대상물 가공부(100), 모듈하우징(300), 이송유닛(500), 공기분사부(600) 및 흡기모듈(700)을 내부에 수납하는 외장하우징(10);
   상기 레이저 가공모듈(200)를 통해 전송된 레이저 빔의 파워값을 측정하는 측정부; 및
   측정 파워값이 설정된 기준 파워값 이상일 때, 상기 레이저 빔의 생성을 중단시키는 제어부;를 포함하고,
   상기 레이저 모듈하우징(300)은 상기 외장하우징(10)의 내부 상부공간(15)에 설치되되 상기 레이저 모듈하우징(300)은 상부면과 어느 일측면이 분리가능하도록 구비되는 사각형의 박스형태로 구비되고,
   상기 이송유닛(500)은 상기 레이저 모듈하우징(300)의 분리가능한 상부면을 상하 이송시키는 제1 이송유닛(520)과, 상기 레이저 모듈하우징(300)의 분리가능한 어느 일측면을 좌우 이송시키는 제2 이송유닛(510)으로 이루어지고,
   상기 공기분사부(600)는 상기 제1 이송유닛(520)과 연결된 상기 레이저 모듈하우징(300)의 상부면에 구비되어 상기 제1 이송유닛(520)의 상하 이동에 의하여 상기 공기분사부(600)와 상기 워크테이블(120)의 간격이 제어되고,
   상기 절단면 검출모듈(400)은 상기 제2 이송유닛(510)과 연결된 상기 레이저 모듈하우징(300)의 일측면에 구비되어 상기 제2 이송유닛(510)의 좌우 이동에 의하여 상기 절단면 검출모듈(400)과 상기 대상물(1) 사이의 간격이 제어되고,
   상기 컨베이어부(110)는 상기 대상물을 지지하는 지지부(111)와, 상기 지지부(111)의 하부에서 연결되어 상기 지지부(111)를 왕복 이송시키는 컨베이어(112)를 포함하고,
   상기 지지부(111)는 상기 대상물(1)이 안착되어 상기 대상물(1)을 공기의 흡수에 의하여 고정시키도록 복수기의 흡기홀(113a)을 구비하고 360° 회전 이동이 가능하도록 구비되는 베이스판(113)과, 상기 베이스판(113)의 하부에 연결되어 상기 베이스판(113)의 상기 흡기홀(113a)을 통하여 공기가 통과하는 진공파이프(114), 상기 진공파이프(114)와 연결되는 진공펌프(115)로 이루어지고,
   상기 베이스판(113)은 상기 컨베이어(112)의 상부에 구비되고, 상기 진공파이프(115)는 상기 베이스판(113)에 연결되어 상기 워크테이블(120)의 하부로 연장되며, 상기 진공펌프(115)는 상기 워크테이블(120)의 하부에 구비되고, 상기 대상물(1)은 상기 지지부(111)에 안착된 후, 상기 진공펌프(115)를 가동시켜 상기 흡기홀(113a)을 통하여 상기 대상물(1)을 고정시키고, 상기 지지부(111)는 상기 대상물(1)보다 작은 크기로 구비되고,
   상기 워크테이블(120)은 냉각부재(123)에 의한 상기 워크테이블(120)의 냉각이 효율적으로 수행되도록 스테인리스 스틸로 이루어지고,
   상기 공기홀(121, 122)은 원형의 제1 공기홀(121)과 상기 제1 공기홀(121)보다 직경이 작은 원형으로 이루어지는 제2 공기홀(122)을 포함하며, 상기 제1 공기홀(121)은 상기 컨베이어부(110)에 인접하게 구비되고, 상기 제2 공기홀(122)은 상기 제1 공기홀(121)에서 이격되어 구비되고,
   상기 공기분사부(600)는 상기 레이저 모듈하우징(300) 상부에서 상기 레이저 모듈하우징(300)의 하부에 구비되는 워크테이블(120)을 향하여 수직하게 공기를 분사하되, 상기 워크테이블(120)에 구비되는 복수개의 제1 및 제2 공기홀(121, 122)을 통하여 상기 공기분사부(600)에서 분사되는 공기를 통과시키고,
   상기 공기분사부(600)는 상기 레이저 모듈하우징(300)의 상부면에서 좌우 이동가능하도록 구비되고, 상기 레이저 빔에 의하여 대상물을 가공할 때 상기 레이저 빔을 간섭하지 않도록 상기 워크테이블(120)로 공기를 분사하고,
   상기 절단면 검출모듈(400)은,
   상기 대상물(1)의 절단면에 대향하여 구비되어 상기 대상물(1)의 절단면의 정면, 상부 및 하부의 영상을 취득하는 카메라(410);
   상기 대상물(1)의 상부와 하부에 각각 위치하고, 상기 대상물(1)의 절단면의 상부 및 하부로 광원을 조사하는 상부조명(420) 및 하부조명(430); 및
   상기 카메라(410)에서 수득된 영상을 표시하고 상기 제어부와 연결되는 디스플레이(미도시);를 포함하고,
   상기 카메라(410)는 상기 대상물(1)의 절단면에 대해서 정면으로 구비되는 라인 스캔 카메라를 포함하고, 상기 상부조명(420)은 상기 대상물(1)의 절단면의 수직단면선(s)에 대해서 15° 내지 30°가 되도록 배치하고(a1), 상기 하부조명(430)은 상기 대상물(1)의 절단면의 수직단면선(s)에 대해서 7.5° 내지 15°가 되도록 배치(a2)되고,
   상기 외장하우징(10)의 내부공간은 분리판(14)에 의하여 상부공간(15)과 하부공간(11, 17)으로 구획되고,
   상기 워크테이블(120)은 상기 워크테이블(120)의 하부에서 상기 공기홀(121, 122)과 중첩되지 않도록 구비되어 상기 워크테이블(120)을 냉각시키는 냉각부재(123)와, 상기 워크테이블의 온도를 측정하여 제어부로 전달하는 온도센서(124)가 더 구비되고,
   상기 냉각부재(123)와 상기 온도센서(124)는 상기 제어부와 연결되고, 상기 온도센서(124)에 의하여 측정된 온도가 상기 제어부로 전달되어 상기 제어부는 상기 냉각부재(123)의 온/오프를 제어함으로써 상기 대상물(1)을 가공하는 과정에서 발생하는 열을 제어하여 상기 대상물(1)이 일정한 온도에서 가공되도록 하며, 상기 발생하는 열에 의하여 레이저 빔의 에너지에 의한 간섭을 방지하고,
   상기 대상물은 금속으로 구비되고,
   상기 필터(710)는 다수의 통공을 갖는 코아(711)와, 상기 코아(711)를 감싸도록 구비되는 복수개의 여과층으로 이루어지는 다층 카트리지 필터이고,
   상기 코아(711) 위에 내층으로부터 외층으로 향하여 절단 가공 중에 발생하는 분진을 여과시키기 위한 폴리프로필렌 스판본드 또는 멜트블로운으로 된 장섬유부직포층(712),
   폴리프로필렌 방적사를 하니캄 구조로 권취한 제1방적사 권취층(713);
   1.0 내지 5.0㎛/fil의 직경을 가지고, 70㎏/㎥ 이하의 중량을 가지는 유리섬유 부직포로 된 무기질 섬유 부직포층(714);
   상기 무기질 섬유 부직포층(714)상에 구비되는 자성나노입자층(714a);
   상기 자성나노입자층(714a) 상에 구비되는 폴리프로필렌 방적사를 하니캄 구조로 권취한 제2방적사 권취층(715);을 순차적으로 적층 권취하여 구비되고,
   상기 무기질 섬유 부직포층(714)의 상하에 유리섬유의 이탈 방지 및 형태 안정성부여를 위해 네트상의 섬유 직편물을 씌워서 이루어지며, 상기 자성나노입자층(714a)은 유기용매 중에 분산된 자성나노입자를 상기 무기질 섬유 부직포층(714) 상에 코팅시킨 후 건조시켜 형성되고,
   상기 자성나노입자층(714a)는 상기 비산되는 분진 중 포함된 금속을 흡착하되, 상기 자성나노입자는 직경이 20 nm이하이고, 산화철 나노입자 및 망간 산화철 나노입자 중 어느 하나 이상이며, 상기 유기용매는 톨루엔 또는 벤젠이고,
   상기 외장하우징(10)의 내부에 대상물에서 발생하는 분진을 향해 압축 공기를 분사시키는 압축공기모듈(32, 34)을 더 포함하고,
   상기 압축공기모듈(32, 34)은 상기 모듈하우징(300)의 하부에 설치된 분사구(32)와, 상기 분사구(32)에 압축 공기를 제공하는 압축기(34)를 포함하고, 상기 압축기(34)에서 생성된 압축공기는 호스를 통해 상기 분사구(32)에 공급되어 상기 대상물에서 가공 중에 발생되는 분진 등을 비산시키며, 상기 압축기(34)는 모터(35)에 의해 작동되면서 공기를 압축시키도록 구성되고,
   상기 외장하우징(10)의 하부공간(11, 17)에는 상기 분리판(14)의 하부에서 상기 외장하우징(10)의 바닥면까지 수직하게 연장되어 상기 하부공간(11, 17)을 제1 하부공간(11)과 제2 하부공간(17)으로 구획하는 흡입판(12)이 구비되며,
   상기 흡입판(12)에 의하여 상기 제1 하부공간(11)은 상기 모듈하우징(300)의 하부에 구비되고, 상기 제2 하부공간(17)의 내부에는 상기 압축기(34)가 구비되며, 상기 흡입판(12)에는 복수개의 홀이 구비되어 상기 제1 하부공간(11)과 상기 제2 하부공간(17)의 공기의 이동통로를 제공하고, 상기 외장하우징(10)의 바닥면에는 상기 흡입판(12)이 설치하기 위한 다수개의 설치홈(12a)이 구비되고 상기 흡입판(12)의 설치위치에 따라 상기 제1 하부공간(11)과 상기 제2 하부공간(17)의 크기를 변화시키는 것을 특징으로 하는 가공 정밀도와 내구성이 향상된 레이저 가공장치.
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