KR101909672B1 - 진공가열로 - Google Patents

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KR101909672B1 KR1020170048152A KR20170048152A KR101909672B1 KR 101909672 B1 KR101909672 B1 KR 101909672B1 KR 1020170048152 A KR1020170048152 A KR 1020170048152A KR 20170048152 A KR20170048152 A KR 20170048152A KR 101909672 B1 KR101909672 B1 KR 101909672B1
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Abstract

본 발명은 진공챔버와 진공챔버 내부의 피가공물을 효과적으로 냉각시킬 수 있도록 된 새로운 구조의 진공가열로에 관한 것이다.
본 발명에 따른 진공가열로는 상기 진공챔버(20)가 상기 로본체(10)에 전방으로 출몰가능하게 결합되어, 출몰구동수단(80)에 전방으로 출몰되도록 구성되어, 상기 진공챔버(20)를 로본체(10)의 전방으로 돌출시키면, 진공챔버(20)가 상온의 공기에 의해 빠르게 냉각된다.
따라서, 가열된 진공챔버(20)와 진공챔버(20) 내부의 피가공물을 빠르고 안정적으로 냉각시킬 수 있을 뿐 아니라, 수냉식 냉각장치를 이용하는 것에 비해 구조가 매우 간단한 장점이 있다.

Description

진공가열로{vacuum heating furnace}
본 발명은 진공챔버와 진공챔버 내부의 피가공물을 효과적으로 냉각시킬 수 있도록 된 새로운 구조의 진공가열로에 관한 것이다.
일반적으로, 피가공물을 진공상태 또는 공기를 대체하여 분위기가스가 주입된 상태인 가스분위기상태에서 가열하는데 사용되는 진공가열로는 다양한 것이 개발되어 널리 사용되고 있다.
도 1 내지 도 3은 이러한 진공가열로의 일예를 도시한 것으로, 내부에 공간부(11)가 형성되고 전면에는 개구부(13)가 형성된 박스형태로 구성된 로본체(10)와, 상기 로본체(10)의 내부에 구비되며 전면에는 전방으로 개방된 입구(21)가 형성되며 내부에는 피가공물을 올려놓을 수 있도록 된 지지대(22)가 구비된 진공챔버(20)와, 상기 로본체(10)의 내부에 구비되어 상기 진공챔버(20)와 진공챔버(20)의 내부에 구비된 피가공물을 가열할 수 있도록 된 가열수단(30)과, 상기 진공챔버(20)에 연결되어 진공챔버(20) 내부의 공기를 배출하는 진공펌프(40)와, 상기 진공챔버(20)에 연결되어 진공챔버(20)의 내부로 분위기가스를 공급하는 가스공급수단(50)과, 상기 로본체(10)와 진공챔버(20)에 구비되어 로본체(10)와 진공챔버(20) 내부의 온도를 측정할 수 있도록 된 제1 및 제2 온도센서(61,62)와, 상기 제1 및 제2 온도센서(61,62)의 신호를 수신하며 상기 히터의 작동을 제어하는 제어유닛(70)으로 구성된다.
상기 로본체(10)는 내열성과 단열성이 있는 재질로 구성되며 강도가 높은 금속재로 구성된 케이스(12)에 고정된다.
상기 진공챔버(20)는 강도가 높으면서 내열성이 높은 금속재질로 구성된 것으로, 후단부가 상기 개구부(13)를 통해 상기 로본체(10)의 내부로 삽입되도록 고정결합된다.
이때, 상기 로본체(10)의 전면에는 상기 진공챔버(20)의 입구(21)를 개폐할 수 있도록 된 밀폐도어(14)가 구비된다.
이를 위해, 상기 로본체(10)의 전면 양측에는 상기 밀폐도어(14)의 일단이 전후방향으로 회동가능하게 결합되는 브라켓(15)과, 상기 밀폐도어(14)의 타단에 결합되어 밀폐도어(14)를 닫힌 상태로 고정하는 잠금장치(16)가 구비된다.
상기 가열수단(30)은 상기 로본체(10)의 내주면에 구비되어 상기 진공챔버(20)를 가열함으로써 진공챔버(20)의 내부에 구비된 피가공물을 간접적으로 가열하는 것으로, 일반적인 전열히터 또는 인덕션방식의 가열장치를 이용한다.
상기 진공펌프(40)는 배기관(41)을 통해 상기 진공챔버(20)에 연결되어, 상기 밀폐도어(14)를 닫은 상태에서 상기 진공펌프(40)를 구동시키면 상기 진공챔버(20) 내부의 공기가 배출되어 진공챔버(20)의 내부에 부압이 형성된다.
상기 가스공급수단(50)은 공급관(51)을 통해 상기 진공챔버(20)에 연결되어 진공챔버(20)의 내부에 다양한 분위기가스를 공급할 수 있도록 구성된다.
상기 제어유닛(70)은 상기 진공펌프(40)와 가스공급수단(50) 및 가열수단(30)의 작동을 제어하는 것으로, 설정온도를 입력할 수 있도록 된 입력수단(71)이 구비되며, 작업자가 설정온도를 입력하면 상기 제1 및 제2 온도센서(61,62)의 신호를 수신하여 상기 진공챔버(20) 내부의 온도가 설정온도를 유지하도록 상기 가열수단(30)을 제어하도록 구성된다.
따라서, 상기 진공챔버(20)의 내부에 피가공물을 투입하고 밀폐도어(14)를 닫은 후, 상기 입력수단(71)을 조작하면, 상기 제어유닛(70)이 진공펌프(40)와 가스공급수단(50)을 제어하여 진공챔버(20) 내부의 공기를 배출하고 진공챔버(20)의 내부에 분위기가스를 공급한 후, 상기 가열수단(30)을 on시켜 진공챔버(20)와 진공챔버(20) 내부의 피가공물을 설정한 온도로 가열할 수 있다.
이러한 진공가열로의 구조 및 작용은 일반적인 것임으로, 더 이상 자세한 설명은 생략한다.
한편, 이러한 진공가열로를 이용하여 피가공물을 가열한 후, 피가공물을 꺼내기 위해서는 상기 가열수단(30)을 off시켜서 상기 진공챔버(20)와 피가공물을 상온으로 냉각시켜야 하는데, 이와 같이 진공챔버(20)와 피가공물을 상온으로 냉각시키는 시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.
따라서, 최근에는 상기 로본체(10)에 수냉식 냉각장치를 구비하여 로본체(10)를 강제로 수냉시킴으로써, 진공챔버(20)와 피가공물이 빠르게 냉각되도록 하는 방법이 개발되고 있으나, 이러한 경우, 장치의 구조가 복잡해질 뿐 아니라, 진공챔버(20)와 피가공물이 냉각되는 속도를 정밀하게 조절하기 어려운 문제점이 있었다.
따라서, 이러한 문제점을 해결할 수 있는 새로운 방법이 필요하게 되었다.
등록특허 10-0268970호, 등록실용신안 20-0240779호,
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 진공챔버와 진공챔버 내부의 피가공물을 효과적으로 냉각시킬 수 있도록 된 새로운 구조의 진공가열로를 제공함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 내부에 공간부(11)가 형성되고 전면에는 개구부(13)가 형성된 박스형태로 구성된 로본체(10)와, 상기 로본체(10)의 내부에 구비되며 전면에는 전방으로 개방된 입구(21)가 형성되며 내부에는 피가공물을 올려놓을 수 있도록 된 지지대(22)가 구비된 진공챔버(20)와, 상기 로본체(10)의 내부에 구비되어 상기 진공챔버(20)와 진공챔버(20)의 내부에 구비된 피가공물을 가열할 수 있도록 된 가열수단(30)과, 상기 진공챔버(20)에 연결되어 진공챔버(20) 내부의 공기를 배출하는 진공펌프(40)와, 상기 진공챔버(20)에 연결되어 진공챔버(20)의 내부로 분위기가스를 공급하는 가스공급수단(50)과, 상기 로본체(10)와 진공챔버(20)에 구비되어 로본체(10)와 진공챔버(20) 내부의 온도를 측정할 수 있도록 된 제1 및 제2 온도센서(61,62)와, 상기 제1 및 제2 온도센서(61,62)에 의해 측정된 온도에 따라 상기 가열수단(30)의 작동을 제어하는 제어유닛(70)을 포함하는 진공가열로에 있어서, 상기 진공챔버(20)는 상기 로본체(10)에 전방으로 출몰가능하게 결합되며, 상기 진공챔버(20)에 연결되어 진공챔버(20)가 로본체(10)의 전방으로 출몰시키는 출몰구동수단(80)을 더 포함하여, 상기 출몰구동수단(80)으로 진공챔버(20)를 로본체(10)의 전방으로 돌출시켜 상기 진공챔버(20)의 둘레부가 상온의 공기에 노출되도록 함으로써 진공챔버(20)와 진공챔버(20) 내부의 피가공물이 빠르게 냉각되도록 할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 진공가열로가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 제어유닛(70)은 상기 제1 및 제2 온도센서(61,62)에 의해 측정된 온도에 따라 상기 출몰구동수단(80)의 작동을 제어하여 상기 진공챔버(20)가 상기 로본체(10)의 전방으로 돌출되는 길이를 조절함으로써, 상기 진공챔버(20)와 피가공물이 냉각되는 속도를 조절할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 진공가열로가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 진공챔버(20)의 전면에는 상기 입구(21)를 개폐하는 밀폐도어(23)가 구비되고, 상기 진공챔버(20)의 전단부에는 측방향으로 연장된 지지부(24)가 구비되며, 상기 지지부(24)에는 상기 밀폐도어(23)의 일측에 전후방향으로 회동가능하게 결합되는 브라켓(25)과, 상기 밀폐도어(23)의 타단에 결합되어 밀폐도어(23)를 닫힌 상태로 고정하는 잠금장치(26)가 구비된 것을 특징으로 하는 진공가열로가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 로본체(10)의 전면에 상기 진공챔버(20)의 하측에 위치되도록 구비된 급기덕트(90)를 더 포함하며, 상기 급기덕트(90)는 하측에 형성된 흡기구(91)의 면적이 상측에 형성된 배기구(92)의 면적에 비해 넓게 구성되어, 가열된 진공챔버(20)가 전방으로 돌출되면 다량의 공기가 상기 급기덕트(90)를 통해 수집되어 상기 진공챔버(20)의 하측으로 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공가열로가 제공된다.
본 발명에 따른 진공가열로는 상기 진공챔버(20)가 상기 로본체(10)에 전방으로 출몰가능하게 결합되어, 출몰구동수단(80)에 전방으로 출몰되도록 구성되어, 상기 진공챔버(20)를 로본체(10)의 전방으로 돌출시키면, 진공챔버(20)가 상온의 공기에 의해 빠르게 냉각된다.
따라서, 가열된 진공챔버(20)와 진공챔버(20) 내부의 피가공물을 빠르고 안정적으로 냉각시킬 수 있을 뿐 아니라, 수냉식 냉각장치를 이용하는 것에 비해 구조가 매우 간단한 장점이 있다.
도 1은 종래의 진공가열로를 도시한 측단면구성도,
도 2는 종래의 진공가열로를 도시한 평단면구성도,
도 3은 종래의 진공가열로를 도시한 회로구성도,
도 4는 본 발명에 따른 진공가열로를 도시한 측단면구성도,
도 5는 본 발명에 따른 진공가열로를 도시한 평단면구성도,
도 6은 본 발명에 따른 진공가열로의 회로구성도,
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 진공가열로의 작용을 설명하기 위한 참고도,
도 9는 본 발명에 따른 진공가열로의 변형예를 도시한 참고도이다.
이하, 본 발명을 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 4 내지 도 8은 본 발명에 따른 진공가열로를 도시한 것으로, 내부에 공간부(11)가 형성되고 전면에는 개구부(13)가 형성된 박스형태로 구성된 로본체(10)와, 상기 로본체(10)의 내부에 구비되며 전면에는 전방으로 개방된 입구(21)가 형성되며 내부에는 피가공물을 올려놓을 수 있도록 된 지지대(22)가 구비된 진공챔버(20)와, 상기 로본체(10)의 내부에 구비되어 상기 진공챔버(20)와 진공챔버(20)의 내부에 구비된 피가공물을 가열할 수 있도록 된 가열수단(30)과, 상기 진공챔버(20)에 연결되어 진공챔버(20) 내부의 공기를 배출하는 진공펌프(40)와, 상기 진공챔버(20)에 연결되어 진공챔버(20)의 내부로 분위기가스를 공급하는 가스공급수단(50)과, 상기 로본체(10)와 진공챔버(20)에 구비되어 로본체(10)와 진공챔버(20) 내부의 온도를 측정할 수 있도록 된 제1 및 제2 온도센서(61,62)와, 상기 제1 및 제2 온도센서(61,62)에 의해 측정된 온도에 따라 상기 가열수단(30)의 작동을 제어하는 제어유닛(70)으로 구성된 것은 종래와 동일하다.
이때, 상기 로본체(10)는 내열성과 단열성이 있는 재질로 구성되어 강도가 높은 금속재로 구성된 케이스(12)에 고정된다.
그리고, 본 발명에 다르면, 상기 진공챔버(20)는 상기 로본체(10)에 전방으로 출몰가능하게 결합되어, 출몰구동수단(80)에 전방으로 출몰되도록 구성된다.
이를 자세히 설명하면, 상기 진공챔버(20)는 상기 로본체(10)의 개구부(13)에 전후방향으로 슬라이드가능하게 결합되며, 전면에는 상기 입구(21)를 개폐하기 위한 밀폐도어(23)가 구비된다.
이를 위해, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 진공챔버(20)의 전단부에는 상하방향과 양측방향으로 연장된 지지부(24)가 구비되며, 상기 지지부(24)에는 상기 밀폐도어(23)의 일측에 전후방향으로 회동가능하게 결합되는 브라켓(25)과, 상기 밀폐도어(23)의 타단에 결합되어 밀폐도어(23)를 닫힌 상태로 고정하는 잠금장치(26)가 구비된다.
상기 출몰구동수단(80)은 상기 로본체(10)의 상면에 전후방향으로 연장되도록 구비된 에어실린더를 이용하는 것으로, 전방으로 연장된 피스톤로드(81)에는 하측으로 연장되어 상기 진공챔버(20)의 지지부(24)에 상단에 연결된 연결바(82)가 구비되어, 상기 출몰구동수단(80)이 신장되면 상기 진공챔버(20) 전체가 로본체(10)의 전방으로 돌출된다.
따라서, 상기 진공챔버(20)가 로본체(10)의 내부로 삽입된 상태에서 가열수단(30)을 이용하여 진공챔버(20)와 진공챔버(20) 내부의 피가공물을 가열한 후, 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 상기 출몰구동수단(80)을 이용하여 진공챔버(20)를 전방으로 슬라이드시키면, 진공챔버(20)의 전단부 둘레부가 대기중으로 돌출되며, 이에 따라 상온의 공기에 의해 진공챔버(20)가 냉각된다.
즉, 상기 진공챔버(20)가 로본체(10)의 전방으로 돌출되면 진공챔버(20) 주변의 공기가 가열되어 상승되고, 이에 따라 진공챔버(20) 하측의 차가운 공기가 상승되어 진공챔버(20)를 냉각시키는 순환이 발생되어, 진공챔버(20)를 신속하게 냉각시키게 된다.
이때, 상기 진공챔버(20)가 상기 로본체(10)의 전방으로 돌출되는 거리에 따라, 상기 진공챔버(20)가 냉각되는 속도가 달라지게 된다.
즉, 상기 진공챔버(20)가 로본체(10)의 전방으로 길게 돌출되면 진공챔버(20)가 대기중으로 노출되는 면적이 증가되어 진공챔버(20)가 빠르게 냉각되며, 진공챔버(20)가 로본체(10)의 전방으로 조금만 돌출되면 진공챔버(20)는 천천히 냉각된다.
그리고, 상기 제어유닛(70)은 상기 진공챔버(20)가 냉각되는 속도에 따라 상기 출몰구동수단(80)의 작동을 제어하여, 상기 진공챔버(20)가 로본체(10)의 전방으로 돌출되는 길이를 조절함으로써, 진공챔버(20)가 냉각되는 속도를 조절할 수 있도록 구성된다.
이를 위해, 상기 제어유닛(70)에는 상기 진공챔버(20)가 냉각되는 속도, 즉, 상기 진공챔버(20)가 로본체(10)의 전방으로 돌출되어 냉각될 때, 시간의 경과에 따른 진공챔버(20)의 온도변화의 기준값이 저장되며, 상기 제어유닛(70)은 진공챔버(20)의 냉각이 시작되면 상기 제1 및 제2 온도센서(61,62)를 이용하여 시간의 경과에 따른 진공챔버(20)의 온도변화를 측정하도록 구성된다.
그리고, 상기 진공챔버(20)가 미리 입력된 기준값에 비해 빠르게 냉각될 경우, 상기 제어유닛(70)은 상기 출몰구동수단(80)을 축소시켜 진공챔버(20)가 로본체(10)의 전방으로 돌출되는 길이를 줄여서, 진공챔버(20)가 천천히 냉각되도록 한다.
반대로, 상기 진공챔버(20)가 기준값에 비해 느리게 냉각될 경우, 상기 제어유닛(70)은 상기 출몰구동수단(80)을 신장시켜 진공챔버(20)가 로본체(10)의 전방으로 더욱 길게 돌출되어 빠르게 냉각되도록 한다.
이와 같이 구성된 진공가열로는 상기 진공챔버(20)가 상기 로본체(10)에 전방으로 출몰가능하게 결합되어, 출몰구동수단(80)에 전방으로 출몰되도록 구성되어, 상기 진공챔버(20)를 로본체(10)의 전방으로 돌출시키면, 진공챔버(20)가 상온의 공기에 의해 빠르게 냉각된다.
따라서, 가열된 진공챔버(20)와 진공챔버(20) 내부의 피가공물을 빠르고 안정적으로 냉각시킬 수 있을 뿐 아니라, 수냉식 냉각장치를 이용하는 것에 비해 구조가 매우 간단한 장점이 있다.
특히, 종래의 진공가열로의 경우, 밀폐도어가 상기 로본체(10)에 구비된 반면, 본 발명의 경우, 상기 밀폐도어(23)는 상기 진공챔버(20)의 지지부(24)에 구비된 브라켓(25)과 잠금장치(26)에 의해 고정됨으로, 상기 진공챔버(20)를 전방으로 돌출시킬 때 밀폐도어(23)가 진공챔버(20)와 함께 전방으로 돌출됨으로, 진공챔버(20)를 전방으로 돌출시킬 때에도 상기 진공챔버(20)의 입구(21)가 밀폐된 상태를 유지할 수 있는 장점이 있다.
그리고, 상기 제어유닛(70)은 상기 제1 및 제2 온도센서(61,62)에서 측정된 온도에 따라 상기 출몰구동수단(80)의 작동을 제어하여 상기 진공챔버(20)가 상기 로본체(10)의 전방으로 돌출되는 길이를 조절함으로써, 상기 진공챔버(20)와 피가공물이 냉각되는 속도를 조절할 수 있음으로, 상기 진공챔버(20)와 진공챔버(20) 내부의 피가공물이 과도하게 빠르게 냉각되거나 느리게 냉각되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 9는 본 발명에 따른 다른 실시예를 도시한 것으로, 상기 로본체(10)의 전면에는 상기 진공챔버(20)의 하측에 위치되도록 구비된 급기덕트(90)가 구비되어, 상기 진공챔버(20)가 돌출되어 냉각될 때 진공챔버(20)의 둘레로 더욱 많은 양의 공기가 공급되도록 구성된다.
이를 자세히 설명하면, 상기 급기덕트(90)는 상하방향으로 연장되며 하단에 흡기구(91)가 형성되고 상단에는 배기구(92)가 형성된 통형상으로 구성된 것으로, 상기 흡기구(91)의 면적은 배기구(92)의 면적에 비해 매우 크게 구성된다.
따라서, 가열된 진공챔버(20)가 로본체(10)의 전방으로 돌출되어 진공챔버(20)가 냉각될 때, 도 9에 화살표로 도시한 바와 같이, 진공챔버(20) 하측의 공기가 상기 급기덕트(90)의 흡기구(91)로 흡입된 후 상기 배기구(92)로 배출되어 상기 진공챔버(20)의 하측으로 공급된다.
이와 같이 구성된 진공가열로는 상기 진공챔버(20)가 로본체(10)의 전방으로 돌출되어 냉각될 때, 상기 급기덕트(90)를 통해 다량의 공기가 수집되어 진공챔버(20)의 하측으로 공급됨으로, 진공챔버(20)를 더욱 빠르게 냉각시킬 수 있는 장점이 있다.
10. 로본체 20. 진공챔버
30. 가열수단 40. 진공펌프
50. 가스공급수단 61,62. 제1 및 제2 온도센서
70. 제어유닛 80. 출몰구동수단
90. 급기덕트

Claims (4)

  1. 내부에 공간부(11)가 형성되고 전면에는 개구부(13)가 형성된 박스형태로 구성된 로본체(10)와,
    상기 로본체(10)의 내부에 구비되며 전면에는 전방으로 개방된 입구(21)가 형성되며 내부에는 피가공물을 올려놓을 수 있도록 된 지지대(22)가 구비된 진공챔버(20)와,
    상기 로본체(10)의 내부에 구비되어 상기 진공챔버(20)와 진공챔버(20)의 내부에 구비된 피가공물을 가열할 수 있도록 된 가열수단(30)과,
    상기 진공챔버(20)에 연결되어 진공챔버(20) 내부의 공기를 배출하는 진공펌프(40)와,
    상기 진공챔버(20)에 연결되어 진공챔버(20)의 내부로 분위기가스를 공급하는 가스공급수단(50)과,
    상기 로본체(10)와 진공챔버(20)에 구비되어 로본체(10)와 진공챔버(20) 내부의 온도를 측정할 수 있도록 된 제1 및 제2 온도센서(61,62)와,
    상기 제1 및 제2 온도센서(61,62)에 의해 측정된 온도에 따라 가열수단(30)의 작동을 제어하는 제어유닛(70)을 포함하는 진공가열로에 있어서,
    상기 진공챔버(20)는 상기 로본체(10)에 전방으로 출몰가능하게 결합되며,
    상기 진공챔버(20)에 연결되어 진공챔버(20)가 로본체(10)의 전방으로 출몰되도록 로본체(10)의 상면에 에어실린더가 구비되고, 전후방향으로 연장되도록 피스톤로드(81)가 구비되며, 상기 피스톤로드(81)의 하측으로 연장되어 진공챔버(20)의 지지부(24) 상단에 연결된 연결바(82)가 구비된 출몰구동수단(80);
    상기 진공챔버(20)의 전면에는 입구(21)를 개폐하는 밀폐도어(23)
    상기 진공챔버(20)의 전단부에는 상하방향과 양측방향으로 연장되도록 구비된 지지부(24)
    상기 지지부(24)에는 상기 밀폐도어(23)의 일측에 전후방향으로 회동가능하게 결합되는 브라켓(25)과, 상기 밀폐도어(23)의 타단에 결합되어 밀폐도어(23)를 닫힌 상태로 고정하는 잠금장치(26)를 포함하며,
    상기 출몰구동수단(80)으로 진공챔버(20)를 로본체(10)의 전방으로 돌출시켜 상기 진공챔버(20)의 둘레부가 상온의 공기에 노출되도록 함으로써 진공챔버(20)와 진공챔버(20) 내부의 피가공물이 빠르게 냉각되도록 할 수 있고,
    상기 제어유닛(70)은 상기 제1 및 제2 온도센서(61,62)에 의해 측정된 온도에 따라 상기 출몰구동수단(80)의 작동을 제어하여 상기 진공챔버(20)가 상기 로본체(10)의 전방으로 돌출되는 길이를 조절함으로써,
    상기 진공챔버(20)와 피가공물이 냉각되는 속도를 조절할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 진공가열로.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 로본체(10)의 전면에 상기 진공챔버(20)의 하측에 위치되도록 구비된 급기덕트(90)를 더 포함하며,
    상기 급기덕트(90)는 하측에 형성된 흡기구(91)의 면적이 상측에 형성된 배기구(92)의 면적에 비해 넓게 구성되어, 가열된 진공챔버(20)가 전방으로 돌출되면 다량의 공기가 상기 급기덕트(90)의 흡기구(91)로 흡입된후 배기구(92)로 배출되어 상기 진공챔버(20)의 하측으로 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공가열로.
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