KR101877772B1 - Imprinting apparatus - Google Patents

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Abstract

패턴 복제장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 복제장치는, 마스터 몰드(master mold) 또는 기판(glass)과의 상호작용을 통해 필름(film)을 이용한 패턴(pattern)의 임프린트 공정을 진행하는 임프레스 롤(impress roll); 임프레스 롤과 함께 필름을 가이드하는 댄서 롤(dancer roll); 및 댄서 롤에 연결되며, 댄서 롤에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 보정하는 댄서 롤측 장력 불균형 보정부를 포함한다.A pattern duplicating apparatus is disclosed. The pattern duplicating apparatus according to an embodiment of the present invention includes an imprint roll which performs an imprint process of a pattern using a film through interaction with a master mold or a glass roll); A dancer roll to guide the film with the impression roll; And a dancer roll side tension imbalance correcting portion connected to the dancer roll and correcting the tension imbalance of the film guided by the dancer roll.

Figure R1020160184229
Figure R1020160184229

Description

패턴 복제장치{IMPRINTING APPARATUS}[0001] IMPRINTING APPARATUS [0002]

본 발명은, 패턴 복제장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 댄서 롤에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 용이하게 보정할 수 있으며, 이로 인해 패턴의 복제품질을 향상시킬 수 있는 패턴 복제장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pattern duplicating apparatus, and more particularly, to a pattern duplicating apparatus capable of easily correcting tension imbalance of a film guided by a dancer roll, will be.

최근, 디스플레이나 반도체 산업을 중심으로 저가의 제품을 구현하기 위해 기존 리소그래피(lithography) 공정을 기반으로 하는 기술을 대체할 수 있는 패턴 복제기술, 즉 임프린트(imprint) 인쇄법이 이슈가 되고 있다.In recent years, pattern replication technology, that is, imprint printing, which can replace technologies based on existing lithography processes, has become an issue in order to realize low cost products centering on display and semiconductor industries.

임프린트 인쇄법은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등과 같은 디스플레이나 반도체 등의 제품 제조에 사용되는 가압성형에 의한 패턴 형성기법이다.The imprint printing method is a pattern forming technique by press molding used for manufacturing products such as liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), and organic light emitting diodes (OLED).

이러한 임프린트 인쇄법을 이용할 경우, 전자 회로, 센서, 태양 전지(solar cell), 플렉서블 디스플레이(flexible display), RFID 등의 다양한 전자 소자들을 쉽게 제작할 수 있다.When such an imprint printing method is used, various electronic elements such as an electronic circuit, a sensor, a solar cell, a flexible display, and an RFID can be easily manufactured.

뿐만 아니라 임프린트 인쇄법은 기존의 리소그래피 공정과 비교하여 공정을 간소화시킬 수 있으며, 제품 제조 시간 및 생산 원가를 획기적으로 감소시킬 수 있다. 또한 낮은 제조비용으로도 제품을 대량 생산할 수 있다.In addition, the imprint printing method can simplify the process as compared with the conventional lithography process, and can remarkably reduce the production time and the production cost of the product. It also enables mass production of products with low manufacturing costs.

그리고 임프린트 인쇄법을 이용할 경우, 유리(glass)로 된 기판에서부터 플라스틱, 섬유, 종이 등 다양한 소재들을 기판으로 사용할 수 있어 그 활용 범위가 매우 넓어진다.When imprint printing is used, various materials such as plastic, fiber, and paper can be used as a substrate from a glass substrate.

이와 같은 임프린트 인쇄법은 구현하고자 하는 패턴이 역상으로 형성된 평면형상의 몰드, 즉 마스터 몰드를 임프린트용 레진이 도포된 기판에 가압하여 기판에 패턴을 형성하는 방식이다.In such an imprint printing method, a pattern is formed on a substrate by pressing a planar mold, that is, a master mold, on which a pattern to be implemented is formed in a reversed phase, onto a substrate coated with an imprint resin.

이때는 평면 몰드를 그대로 사용하기도 하지만 연속공정을 위하여 유연한 필름을 사용할 수도 있다.In this case, the flat mold may be used as it is, but a flexible film may be used for the continuous process.

후자처럼 유연한 필름을 사용하여 기판 상에 패턴을 복제하는 경우에는 유연한 필름(flexible)을 이용해서 마스터 몰드의 패턴을 1차로 복제한 후, 복제된 패턴을 기판의 표면으로 재복재(전이)시키는 방식으로 공정이 진행될 수 있다.In the latter case, when a pattern is copied on a substrate using a flexible film, a pattern of the master mold is firstly copied using a flexible film, and then the copied pattern is re-transferred (transferred) to the surface of the substrate The process can proceed.

이처럼 필름을 사용한 패턴 복제방식은 특히, 연속 공정이 가능하기 때문에 기판에 대한 대량생산을 이끌어낼 수 있다.Such a pattern replicating method using a film can lead to mass production of a substrate, especially since a continuous process is possible.

특히, 빛의 편광기능을 제공하는 고가의 편광판을 사용하지 않는 대신 편광기능을 담당하는 패턴을 기판에 복제할 수 있기 때문에 비용대비 효율이 뛰어날 것으로 예상되므로 이에 대한 연구개발이 진행되고 있다.Particularly, it is anticipated that a pattern for polarizing function can be replicated on a substrate instead of using an expensive polarizing plate that provides a light polarizing function, so that it is expected to be excellent in cost efficiency.

한편, 필름을 사용한 패턴 복제장치를 개발함에 있어서, 실질적으로 임프린트 공정을 진행하는 임프레스 롤(impress roll)과, 임프린트 공정의 완료 후에 필름을 박리시키는, 즉 디몰딩(demolding)시키는 디몰딩 공정을 진행하는 디몰딩 롤(demolding roll)과, 필름을 가이드하는 댄서 롤(dancer roll)의 적용을 고려할 수 있으며, 이들의 유기적인 메커니즘을 통해 임프린트 공정과 디몰딩 공정이 진행되도록 하는 방안을 예상해볼 수 있다. 즉 댄서 롤이 필름을 가이드하고 있는 상태에서 임프레스 롤과 디몰딩 롤의 작용으로 임프린트 공정과 디몰딩 공정이 진행되도록 할 수 있다.On the other hand, in developing a pattern duplicating apparatus using a film, an impress roll for practically performing the imprint process and a demolding process for peeling the film after completion of the imprint process, that is, demolding are performed And a dancer roll for guiding the film can be considered, and it is possible to expect a way to allow the imprinting process and the demolding process to proceed through their organic mechanism . That is, in the state that the dancer roll is guiding the film, the imprint process and the demolding process can be performed by the action of the impression roll and the demolding roll.

이와 같은 임프린트 공정 또는 디몰딩 공정 시 필름의 장력은 일정한 상태로 제공되어 댄서 롤에 의해 가이드되어야 하며, 만약 필름의 장력이 불균형할 경우에는 패턴의 복제품질이 저하될 수밖에 없다.In such an imprint process or a demolding process, the tension of the film is provided in a constant state and must be guided by the dancer roll. If the tension of the film is unbalanced, the reproduction quality of the pattern is inevitably lowered.

그런데, 필름을 롤에 조립하는 공차, 댄서 롤의 조립 또는 작동 공차 등의 여러 환경 요인에 의해 댄서 롤을 통해 가이드되는 필름의 양 단부에 걸리는 장력이 일정할 수 없으며, 이러한 장력 편심으로 인해 필름의 장력이 불균형해질 수밖에 없어 이로 인해 패턴의 복제품질이 저하될 우려가 높다는 점에서 이러한 사항들을 해결하기 위한 기술개발이 필요한 실정이다.However, due to various environmental factors such as the tolerance of assembling the film to the roll, the assembly of the dancer roll, or the working tolerance, the tension applied to both ends of the film guided through the dancer roll can not be constant, It is necessary to develop a technique for solving these problems because there is a fear that the quality of reproduction of the pattern is lowered due to the unbalance of the tension.

대한민국특허청 출원번호 제10-2010-0128624호Korea Patent Office Application No. 10-2010-0128624

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 댄서 롤에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 용이하게 보정할 수 있으며, 이로 인해 패턴의 복제품질을 향상시킬 수 있는 패턴 복제장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a pattern duplicating apparatus capable of easily correcting tension imbalance of a film guided by a dancer roll, thereby improving the reproduction quality of a pattern.

본 발명의 일 측면에 따르면, 마스터 몰드(master mold) 또는 기판(glass)과의 상호작용을 통해 필름(film)을 이용한 패턴(pattern)의 임프린트 공정을 진행하는 임프레스 롤(impress roll); 상기 임프레스 롤과 함께 상기 필름을 가이드하는 댄서 롤(dancer roll); 및 상기 댄서 롤에 연결되며, 상기 댄서 롤에 의해 가이드되는 상기 필름의 장력 불균형을 보정하는 댄서 롤측 장력 불균형 보정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an impression roll for performing a process of imprinting a pattern using a film through interaction with a master mold or a glass substrate; A dancer roll guiding the film with the impression roll; And a dancer roll side tension imbalance corrector connected to the dancer roll, the dancer roll side tension imbalance correcting unit correcting the tension imbalance of the film guided by the dancer roll.

상기 댄서 롤측 장력 불균형 보정부는, 상기 필름의 장력 차이로 인해 상기 댄서 롤의 양단부에 각각 걸리는 하중(weight)에 기초하여 상기 필름의 장력 불균형을 자동으로 보정하는 무동력 방식의 댄서 롤측 장력 불균형 보정부일 수 있다.Wherein the dancer roll side tension unbalance correcting unit is a non-dynamic type dancer roll side tension unbalance correcting unit for automatically correcting a tension imbalance of the film based on a weight applied to both ends of the dancer roll due to the tension difference of the film have.

상기 댄서 롤측 장력 불균형 보정부는, 보정 테이블; 제1 무게추를 구비하되 상기 댄서 롤의 일단부에서 상기 보정 테이블과 연결되며, 상기 제1 무게추의 하중에 기초하여 상기 댄서 롤의 일단부를 자동으로 위치 이동시키면서 상기 필름의 일단부에 대한 장력 불균형을 보정하는 제1 장력 불균형 보정부; 및 제2 무게추를 구비하되 상기 댄서 롤의 타단부에서 상기 보정 테이블과 연결되며, 상기 제2 무게추의 하중에 기초하여 상기 댄서 롤의 타단부를 자동으로 위치 이동시키면서 상기 필름의 타단부에 대한 장력 불균형을 보정하는 제2 장력 불균형 보정부를 포함할 수 있다.Wherein the dancer roll side tension imbalance correcting unit comprises: a correction table; And a first weight, the one end of the dancer roll being connected to the correction table, the one end of the dancer roll being automatically moved based on the load of the first weight, A first tension imbalance correcting unit for correcting an imbalance; And a second weight, the other end of the dancer roll being connected to the correction table, and automatically moving the other end of the dancer roll based on the load of the second weight, And a second tension imbalance correction unit for correcting the tension imbalance for the second tension imbalance.

상기 제1 장력 불균형 보정부와 상기 제2 장력 불균형 보정부는 동일한 구조를 가질 수 있다.The first tension imbalance correcting unit and the second tension imbalance correcting unit may have the same structure.

상기 제1 장력 불균형 보정부는, 상기 필름이 당겨지는 방향을 따라 상기 보정 테이블 상에 마련되는 제1 가이드 레일; 상기 제1 가이드 레일에 결합되고 상기 제1 가이드 레일을 따라 이동되는 제1 레일 블록; 상기 제1 레일 블록과 상기 댄서 롤이 일단부를 연결하는 제1 블록 연결부; 및 상기 제1 무게추와 상기 제1 레일 블록에 연결되며, 상기 제1 무게추의 하중에 기초하여 상기 제1 레일 블록이 상기 제1 가이드 레일 상에서 직선운동되도록 하는 제1 운동 전달부를 포함할 수 있다.The first tension imbalance correction unit may include: a first guide rail provided on the correction table along a direction in which the film is pulled; A first rail block coupled to the first guide rail and moved along the first guide rail; A first block connecting part connecting one end of the first rail block and the dancer roll; And a first motion transmission unit connected to the first weight unit and the first rail block and configured to linearly move the first rail block on the first guide rail based on a load of the first weight unit have.

상기 제1 운동 전달부는, 상기 보정 테이블 상에 마련되는 제1 도르래; 및 일단부는 상기 제1 무게추에 연결되고 타단부는 상기 제1 도르래에 가이드되어 상기 제1 레일 블록에 연결되는 제1 와이어를 포함할 수 있다.The first motion transmission unit may include: a first sheave provided on the correction table; And one end connected to the first weight and the other end connected to the first rail block by being guided by the first sheave.

상기 제1 장력 불균형 보정부는, 상기 제1 레일 블록의 기준위치에 배치되며, 상기 제1 레일 블록이 상기 기준위치를 벗어나지 않게 탄성적으로 지지하는 제1 저마찰 실린더를 더 포함할 수 있다.The first tension imbalance correction unit may further include a first low friction cylinder disposed at a reference position of the first rail block and elastically supporting the first rail block so as not to deviate from the reference position.

상기 제1 무게추는 상기 보정 테이블 상의 제1 브래킷에 지지되고, 상기 제1 저마찰 실린더 상의 제2 브래킷에 지지될 수 있다.The first weight is supported by a first bracket on the correction table and can be supported by a second bracket on the first low friction cylinder.

상기 제1 블록 연결부는, 상기 댄서 롤의 일단부가 배치되되 상기 제1 레일 블록과 연결되는 고정 블록; 및 상기 고정 블록에 착탈 가능하게 결합되며, 상기 고정 블록과 함께 상기 댄서 롤의 일단부를 지지하는 착탈 블록을 포함할 수 있다.The first block connecting portion includes a fixed block having one end of the dancer roll and connected to the first rail block; And a detachable block detachably coupled to the fixed block and supporting the one end of the dancer roll together with the fixed block.

상기 댄서 롤의 주변에 배치되며, 상기 필름을 피딩(feeding)시키는 필름 피더를 더 포함할 수 있다.And a film feeder disposed around the dancer roll and feeding the film.

상기 필름 피더는, 상기 필름의 피딩을 가이드하는 필름 피딩용 가이드 롤; 상기 필름 피딩용 가이드 롤에 이웃하게 배치되며, 구동모터의 동력에 의해 상기 필름을 피딩시키는 닙 롤(nip roll); 및 상기 닙 롤에 연결되며, 상기 닙 롤을 상기 필름 피딩용 가이드 롤에 접근 또는 이격 구동시키는 닙 롤 구동부를 포함할 수 있다.Wherein the film feeder comprises: a guide roll for feeding a film to guide the feeding of the film; A nip roll disposed adjacent to the film feeding guide roll and feeding the film by the power of the driving motor; And a nip roll driving unit connected to the nip roll, which drives the nip roll to move toward or away from the film feeding guide roll.

상기 닙 롤 구동부는, 상기 닙 롤의 길이방향을 따라 상기 닙 롤의 양단부에 대칭적으로 배치될 수 있다.The nip roll driving unit may be symmetrically disposed at both ends of the nip roll along the longitudinal direction of the nip roll.

상기 닙 롤 구동부는, 상기 구동모터가 연결되되 상기 닙 롤의 일단부에 배치되는 제1 연결부를 업/다운(up/down) 구동 가능하게 지지하는 제1 업/다운 구동부; 및 상기 구동모터의 반대편에서 상기 닙 롤의 타단부에 배치되는 제2 연결부를 업/다운(up/down) 구동 가능하게 지지하는 제2 업/다운 구동부를 포함할 수 있다.The nip roll driving unit may include: a first up / down driving unit connected to the driving motor to support a first connecting unit disposed at one end of the nip roll so as to be able to drive up / down; And a second up / down driving part for supporting the second connecting part disposed at the other end of the nip roll on the opposite side of the driving motor so as to be able to drive up / down.

상기 임프레스 롤과 상호작용하여 상기 임프린트 공정을 진행하되 상기 임프린트 공정의 완료 후에 상기 필름을 박리시키는 디몰딩 공정을 진행하는 디몰딩 롤(demolding roll); 및 상기 임프린트 공정이 진행되는 스테이지(stage)를 더 포함할 수 있으며, 상기 임프레스 롤은 상기 스테이지에 대하여 상대 이동 가능한 임프린트 유닛(imprint unit)에 마련될 수 있으며, 상기 디몰딩 롤은 상기 임프린트 유닛과는 분리되어 개별적으로 마련되되 상기 스테이지에 대하여 상대 이동 가능한 디몰딩 유닛(demolding unit)에 마련될 수 있다.A demolding roll for performing a demolding process for interacting with the impregn roll to perform the imprint process and peeling the film after completion of the imprint process; And a stage on which the imprinting process is performed. The imprint roll may be provided in an imprint unit that is relatively movable with respect to the stage. The demolding roll may be provided in the imprint unit, May be separately provided and provided in a demolding unit that is movable relative to the stage.

본 발명에 따르면, 댄서 롤에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 용이하게 보정할 수 있으며, 이로 인해 패턴의 복제품질을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the tension imbalance of the film guided by the dancer roll can be easily corrected, thereby improving the reproduction quality of the pattern.

도 1 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 복제장치 및 그 방법을 통해 기판 상에 패턴이 복제되는 과정을 개략적으로 도시한 도면들이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 복제장치의 개략적인 구성도이다.
도 7은 필름 픽싱 모듈의 확대도이다.
도 8은 도 7의 사시도이다.
도 9는 도 6에 도시된 디몰딩 유닛의 확대도이다.
도 10은 도 9의 사시도이다.
도 11은 도 10의 A 영역의 확대도이다.
도 12는 도 11에 도시된 제1 장력 불균형 보정부의 확대도이다.
도 13은 도 12의 측면도이다.
도 14는 필름 피더의 확대 사시도이다.
도 15는 도 14의 요부 확대도이다.
도 16은 장력 불균형 보정유닛의 확대 사시도이다.
도 17은 장력 불균형 보정유닛의 개략적인 평면도이다.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 복제장치의 제어블록도이다.FIGS. 1 to 5 are views schematically showing a process of copying a pattern onto a substrate through a pattern copying apparatus and a method according to an embodiment of the present invention.
6 is a schematic block diagram of a pattern copying apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 is an enlarged view of the film picking module.
Fig. 8 is a perspective view of Fig. 7. Fig.
9 is an enlarged view of the demolding unit shown in Fig.
Fig. 10 is a perspective view of Fig. 9. Fig.
11 is an enlarged view of the area A in Fig.
12 is an enlarged view of the first tension imbalance correcting section shown in Fig.
13 is a side view of Fig.
14 is an enlarged perspective view of the film feeder.
15 is an enlarged view of the main part of Fig.
16 is an enlarged perspective view of the tension imbalance correction unit.
17 is a schematic plan view of the tension imbalance correction unit.
18 is a control block diagram of a pattern copying apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 복제장치 및 그 방법을 통해 기판 상에 패턴이 복제되는 과정을 개략적으로 도시한 도면들이다.FIGS. 1 to 5 are views schematically showing a process of copying a pattern onto a substrate through a pattern copying apparatus and a method according to an embodiment of the present invention.

이들 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 복제방법에 대해 간략하게 먼저 설명한다.A method of copying a pattern according to an embodiment of the present invention will be briefly described first with reference to these drawings.

참고로, 본 실시예와 같이 유연한 필름(flexible)을 이용한 패턴(pattern) 복제방식은 마스터 몰드(미도시)의 패턴을 1차로 복제한 후, 복제된 패턴을 기판의 표면으로 재복재(전이)시키는 방식으로 공정이 진행될 수 있다.For reference, a pattern replicating method using a flexible film as in the present embodiment replicates a pattern of a master mold (not shown) primarily, and then replicates the replicated pattern to the surface of the substrate. The process can proceed.

다만, 여기서는 도 1 내지 도 5에 도시된 것처럼 마스터 몰드에서 필름으로 패턴이 복제되는 경우는 생략하고, 필름이 복제된 패턴을 기판의 표면으로 재복재(전이)시키는 경우에 대해 설명한다. 여기서, 기판은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등과 같은 디스플레이나 반도체 등의 웨이퍼, 혹은 태양광 모듈의 기판 모두를 포함할 수 있다.Here, the case where the pattern is copied from the master mold to the film as shown in Figs. 1 to 5 is omitted, and a case where the film is replicated (transferred) to the surface of the substrate will be described. Here, the substrate may include a display such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP) and an organic light emitting diode (OLED), a wafer such as a semiconductor, or a substrate of a solar module.

먼저, 도 1과 같은 기판 상에 도 2처럼 레지스트를 도포한다. 이때는 기판의 일면에만 레지스트를 도포한다. 다음, 도 3처럼 레지스트의 일측에 필름이 배치된다. 이때의 필름은 앞서도 기술한 것처럼 도시 않은 마스터 몰드에서 필름으로 패턴이 미리 복제된 상태이다.First, a resist is applied onto a substrate as shown in FIG. 1, as shown in FIG. At this time, the resist is applied only to one side of the substrate. Next, a film is disposed on one side of the resist as shown in FIG. In this case, the pattern is preliminarily copied from the master mold to the film, which is not shown, as described above.

그런 다음, 도 4처럼 임프레스 롤(143)이 필름의 표면에 접촉 가압되어 회전됨으로써, 기판 상의 레지스트에 필름의 패턴이 복제, 즉 임프린트된다. 물론, 패턴 복제공정 시 임프레스 롤(143)만 단독으로 동작되는 것은 아니다. 자세히 후술하겠지만 본 실시예의 경우, 패턴 복제공정 시 임프레스 롤(143), 필름 픽싱 모듈(130) 및 디몰딩 롤(153)과의 상호작용에 의해 패턴이 복제될 수 있다.Then, the impression roll 143 is pressed and rotated on the surface of the film as shown in Fig. 4, whereby the pattern of the film is copied, i.e. imprinted, on the resist on the substrate. Of course, not only the impression roll 143 alone operates in the pattern duplication process. As will be described in detail later, in the case of this embodiment, the pattern can be copied by interaction with the impression roll 143, the film-fixing module 130, and the demolding roll 153 during the pattern copying process.

여기서, 기판 상에 복제되는 패턴은 예컨대, 디스플레이 기판이 경우에 편광필름의 역할을 대체할 수 있다. 이러한 경우, 고가의 편광판을 사용하지 않아도 되는 이점이 있다. 물론, 복제 패턴이 반드시 편광기능을 수행해야만 하는 것은 아니므로 이러한 사항에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.Here, the pattern replicated on the substrate can replace the role of the polarizing film, for example, in the case of a display substrate. In this case, there is an advantage that an expensive polarizing plate is not used. Of course, the reproduction pattern does not necessarily have to perform a polarizing function, and therefore the scope of the present invention is not limited to such a matter.

본 실시예처럼 필름 픽싱 모듈(130) 및 디몰딩 롤(153)과의 상호작용에 의해 임프레스 롤(143)이 필름의 표면에 접촉 가압되어 회전되면서 패턴이 복제될 경우, 임프린트 공정이 진행되는 중이거나 임프린트 공정이 진행된 직후에 기판으로부터 필름이 임의로 들뜨는 것을 저지하여 패턴 복제불량이 발생되는 것을 방지할 수 있다.When the pattern is copied while the impression roll 143 is pressed against the surface of the film by the interaction with the film fixing module 130 and the demolding roll 153 as in the present embodiment, It is possible to prevent the film from being arbitrarily lifted from the substrate immediately after the imprinting process, and to prevent the pattern replication failure from occurring.

임프린트 공정이 완료되면 도 5처럼 필름이 박리되는 디몰딩 공정이 진행된다. 이때는 디몰딩 롤(153)을 비롯하여 디몰딩 앵글 롤(155) 등의 상호작용으로 인해 디몰딩 공정이 원활하게 진행될 수 있다.When the imprint process is completed, a demolding process is performed in which the film is peeled as shown in FIG. At this time, the demolding process can proceed smoothly due to the interaction of the demolding roll 153, the demolding angle roll 155, and the like.

도 1 내지 도 5를 참조하여 간략하게 설명한 패턴 복제공정이 원활하게 진행되기 위해 아래와 같은 구조의 패턴 복제장치가 제안된다.In order to smoothly carry out the pattern duplication process briefly described with reference to FIGS. 1 to 5, a pattern duplicating apparatus having the following structure is proposed.

특히, 본 실시예에 따른 패턴 복제장치는 댄서 롤(210, dancer roll)에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 용이하게 보정할 수 있으며, 이로 인해 패턴의 복제품질을 향상시킬 수 있도록 한다.In particular, the pattern duplicating apparatus according to the present embodiment can easily correct the tension imbalance of the film guided by the dancer roll 210, thereby improving the reproduction quality of the pattern.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 복제장치의 개략적인 구성도이고, 도 7은 필름 픽싱 모듈의 확대도이며, 도 8은 도 7의 사시도이고, 도 9는 도 6에 도시된 디몰딩 유닛의 확대도이며, 도 10은 도 9의 사시도이고, 도 11은 도 10의 A 영역의 확대도이며, 도 12는 도 11에 도시된 제1 장력 불균형 보정부의 확대도이고, 도 13은 도 12의 측면도이며, 도 14는 필름 피더의 확대 사시도이고, 도 15는 도 14의 요부 확대도이며, 도 16은 장력 불균형 보정유닛의 확대 사시도이고, 도 17은 장력 불균형 보정유닛의 개략적인 평면도이며, 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 복제장치의 제어블록도이다.7 is a magnified view of the film picking module, FIG. 8 is a perspective view of FIG. 7, and FIG. 9 is a cross-sectional view of the copying apparatus of FIG. Fig. 10 is an enlarged view of the molding unit, Fig. 10 is a perspective view of Fig. 9, Fig. 11 is an enlarged view of region A of Fig. 10, Fig. 12 is an enlarged view of the first tension imbalance correction unit shown in Fig. 14 is an enlarged perspective view of the film feeder, FIG. 15 is an enlarged view of the main part of FIG. 14, FIG. 16 is an enlarged perspective view of the tension imbalance correction unit, and FIG. 17 is a schematic view of the tension imbalance correction unit And FIG. 18 is a control block diagram of a pattern duplicating apparatus according to an embodiment of the present invention.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 패턴 복제장치는 댄서 롤(210)에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 용이하게 보정할 수 있도록 한 것으로서, 스테이지(120, stage)와, 스테이지(120)의 주변에 배치되되 상호간 별개로 마련되고 개별적으로 컨트롤되면서 임프린트 공정과 디몰딩 공정을 진행하는 임프린트 유닛(140, imprint unit) 및 디몰딩 유닛(150, demolding unit)을 포함할 수 있다. 디몰딩 유닛(150)에 댄서 롤(210)과, 댄서 롤(210)에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 보정하는 댄서 롤측 장력 불균형 보정부(220)가 갖춰질 수 있다.Referring to these drawings, the pattern copying apparatus according to the present embodiment can easily correct a tension imbalance of a film guided by a dancer roll 210, and includes a stage 120, a stage 120, An imprint unit 140 and a demolding unit 150, which are disposed separately from each other and are independently controlled, and which perform an imprint process and a demolding process, may be included. The dicing unit 150 may be provided with a dancer roll 210 and a dancer roll side tension imbalance correcting unit 220 for correcting a tension imbalance of the film guided by the dancer roll 210. [

이러한 구성들 외에도 본 실시예에 따른 패턴 복제장치에는 필름 픽싱 모듈(130, film fixing module), 필름 사행 조절부(160), 그리고 필름 공급 및 회수 유닛(170) 등이 더 갖춰질 수 있는데, 이들은 컨트롤러(180)에 의해 유기적인 메커니즘으로 동작됨으로써 패턴의 복제를 위한 임프린트 공정과 디몰딩 공정이 원활하게 진행될 수 있도록 한다.In addition to these configurations, the pattern copying apparatus according to the present embodiment may further include a film fixing module 130, a film skew adjusting unit 160, and a film supply and collection unit 170, (180), the imprinting process and the demolding process for copying the pattern can be performed smoothly.

각 구성들에 의해 순차적으로 살펴보면, 우선 전술한 구성들을 지지하기 위해 본 실시예에 따른 패턴 복제장치에는 장치 테이블(110)이 마련된다. 도 6에 도시된 바와 같이, 장치 테이블(110)에는 스테이지(120)를 비롯하여 필름 픽싱 모듈(130), 임프린트 유닛(140), 디몰딩 유닛(150), 필름 사행 조절부(160), 그리고 필름 공급 및 회수 유닛(170) 등의 구성들이 위치별로 탑재될 수 있다.In order to support the above-described configurations, a device replica device according to the present embodiment is provided with a device table 110. 6, the apparatus table 110 includes a stage 120, a film fixing module 130, an imprint unit 140, a demolding unit 150, a film skew adjustment unit 160, The supply and recovery unit 170, and the like can be mounted on a position-by-position basis.

특히, 스테이지(120)는 장치 테이블(110) 상에서 이동 가능하게 탑재된다. 이를 위해, 장치 테이블(110)에는 스테이지 이동부(115)가 마련된다. 스테이지 이동부(115)는 모터와 볼 스크루 방식으로 스테이지(120)를 위치 이동시킬 수 있다.In particular, the stage 120 is movably mounted on the apparatus table 110. To this end, a stage moving part 115 is provided on the apparatus table 110. The stage moving part 115 can move the stage 120 by a motor and a ball screw method.

이러한 스테이지(120)는 기판이 로딩되되 기판과의 상호작용을 통해 필름을 이용한 패턴의 임프린트 공정이 진행되는 장소를 이룬다.The stage 120 is a place where a substrate is loaded, and an imprint process of a pattern using a film is performed through interaction with a substrate.

스테이지(120) 상에 기판이 로딩되어 패턴 복제공정이 진행될 때, 기판이 흔들려선 아니된다. 따라서 스테이지(120)에는 다수의 석션홀(121)이 마련되어 기판을 흡착 고정한다. 따라서 기판이 스테이지(120)에 로딩된 이후에는 스테이지(120)와 한 몸체를 이룰 수 있다.When the substrate is loaded on the stage 120 and the pattern replication process proceeds, the substrate is not shaken. Accordingly, the stage 120 is provided with a plurality of suction holes 121 to suction and fix the substrate. Accordingly, after the substrate is loaded on the stage 120, it can be formed into a single body with the stage 120. [

스테이지(120) 상에 로딩된 기판으로 필름에 의한 패턴 복제공정이 진행되기 위해서는 일단, 기판과 필름 간의 상대적인 위치가 맞아야 한다. 이때, 기판과 달리 필름은 정해진 공정라인으로 풀려 공급된다는 점을 고려해볼 때, 필름에 대하여 기판의 상대적인 위치를 조정하는 것이 바람직할 수 있다. 이를 위해, 본 실시예의 패턴 복제장치에는 스테이지 얼라인부(125)가 마련된다.In order for the pattern duplication process to be performed on the substrate loaded on the stage 120, the relative position between the substrate and the film must be matched. At this time, it may be preferable to adjust the relative position of the substrate with respect to the film, considering that the film is unrolled and supplied to the predetermined processing line unlike the substrate. To this end, the pattern duplicating apparatus of the present embodiment is provided with a stage alignment portion 125. [

스테이지 얼라인부(125)는 장치 테이블(110) 상에 마련되어 스테이지(120)와 연결되며, 스테이지(120)를 평면 상의 X축, Y축 또는 θ축으로 이동시켜 스테이지(120)에 로딩된 기판과 필름 간의 상대 위치를 얼라인시키는 역할을 한다.The stage alignment portion 125 is provided on the apparatus table 110 and is connected to the stage 120 and moves the stage 120 in a plane X-axis, Y-axis or? And serves to align the relative positions of the films.

스테이지 얼라인부(125)는 기판과 필름에 형성되는 얼라인 마크(align mark)를 통해 스테이지(120)를 평면 상의 X축, Y축 또는 θ축으로 이동시킴으로써 기판과 필름 간의 상대 위치가 얼라인될 수 있게끔 한다. 스테이지 얼라인부(125)는 모터와 볼 스크루의 조합에 의해 구현될 수 있다.The stage alignment portion 125 moves the stage 120 in a plane X-axis, Y-axis, or? -Axis through an alignment mark formed on the substrate and the film so that the relative position between the substrate and the film is aligned I can do it. The stage alignment portion 125 can be realized by a combination of a motor and a ball screw.

필름 픽싱 모듈(130)은 스테이지(120)의 주변에 배치되며, 임프린트 공정이 진행되는 중이거나 임프린트 공정이 진행된 직후, 즉 기판 상의 레지스트가 아직 경화되지 않은 임프린트 공정이 진행된 직후에 기판으로부터 필름이 임의로 들뜨는 것을 저지시키는 역할을 한다.The film-fixing module 130 is disposed around the stage 120, and the film is optionally removed from the substrate immediately after the imprint process or after the imprint process, that is, immediately after the imprint process in which the resist on the substrate is not yet cured, It serves to stop the excitement.

다시 말해, 도 4처럼 임프린트 공정이 진행될 때, 기판 상의 레지스트가 아직 경화되지 않았음에도 불구하고 필름 자체의 텐션 등에 의해 필름이 기판으로부터 들뜨면 복제품질이 저하될 수밖에 없는데, 이러한 현상을 효과적으로 예방하기 위하여 필름 픽싱 모듈(130)이 적용된다. 필름 픽싱 모듈(130)은 해당 위치에서 공정 상황에 맞게 업/다운(up/down) 이동되면서 필름의 들뜸 현상을 저지시킬 수 있다.In other words, when the imprint process is performed as shown in FIG. 4, even though the resist on the substrate is not yet cured, the quality of the copy is inevitably lowered if the film is lifted from the substrate due to the tension of the film itself. In order to effectively prevent such a phenomenon The film-fixing module 130 is applied. The film picking module 130 can be moved up / down in accordance with the process conditions at the corresponding position to prevent the film lifting phenomenon.

이러한 필름 픽싱 모듈(130)은 도 7 및 도 8에 보다 자세히 도시된 것처럼 픽싱 모듈 바디(131)와, 픽싱 모듈 바디(131)의 일측에 배치되는 필름 배큠 패드(133)와, 픽싱 모듈 바디(131)의 일측 단부에 마련되며, 필름에 완충적으로 접촉가압되는 완충용 필름 접촉가압부(132)를 포함할 수 있다.7 and 8, the film picking module 130 includes a picking module body 131, a film dispensing pad 133 disposed on one side of the picking module body 131, 131), and may include a buffer film pressing portion 132 which is buffered against the film.

픽싱 모듈 바디(131)는 완충용 필름 접촉가압부(132)를 지지하는 구조물일 수 있다. 본 실시예에서 픽싱 모듈 바디(131)는 사각 플레이트 타입으로 제작될 수 있다.The fixing module body 131 may be a structure for supporting the buffer film pressing portion 132. In this embodiment, the fixing module body 131 may be formed in a square plate type.

픽싱 모듈 바디(131)의 일측에는 필름 배큠 패드(133)가 중첩되게 더 연결된다. 이러한 필름 배큠 패드(133)는 픽싱 모듈 바디(131)의 두께 방향을 따라 배치되되 진공(vaccum)으로 필름을 흡착하여 고정시키는 역할을 한다. 따라서 필름 배큠 패드(133)에는 다수의 석션홀(133a)이 형성된다.A film discharging pad 133 is further connected to one side of the fixing module body 131 in a superimposed manner. The film discharging pad 133 is disposed along the thickness direction of the fixing module body 131, and serves to attract and fix the film by a vacuum. Therefore, a plurality of suction holes 133a are formed in the film discharging pad 133. [

완충용 필름 접촉가압부(132)는 필름 픽싱 모듈(130)의 다운(down) 동작 시 실질적으로 필름에 접촉가압되는 부분이다. 따라서 필름 픽싱 모듈(130)은 필름에 손상을 입히지 않는 재질, 예컨대 테프론 수지로 제작될 수 있으며, 모서리는 날카롭지 않게 라운딩 처리될 수 있다.The buffer film pressing portion 132 is a portion which is substantially pressed against the film in the down operation of the film picking module 130. Accordingly, the film-fixing module 130 can be made of a material that does not damage the film, for example, Teflon resin, and the edges can be rounded without sharpening.

본 실시예에서 완충용 필름 접촉가압부(132)는 픽싱 모듈 바디(131)와 필름 배큠 패드(133)의 단부를 전체적으로 커버하도록 배치될 수 있다.The buffer film pressing portion 132 may be disposed so as to cover the entire ends of the fixing module body 131 and the film discharging pad 133 in this embodiment.

이와 같은 구조의 필름 픽싱 모듈(130)이 적용될 경우, 필름 배큠 패드(133)의 넓은 면적으로 필름을 흡착한 이후에 다시 완충용 필름 접촉가압부(132)가 필름을 스테이지(120) 쪽으로 접촉가압할 수 있기 때문에 필름을 안정적으로 고정시킬 수 있다. 따라서 임프린트 공정이 진행되는 중이거나 임프린트 공정이 진행된 직후, 즉 기판 상의 레지스트가 아직 경화되지 않은 임프린트 공정이 진행된 직후에 기판으로부터 필름이 임의로 들뜨는 것을 저지시킬 수 있다.When the film fixing module 130 having such a structure is used, the film is attracted to a large area of the film discharging pad 133, and then the buffer film pressing portion 132 again presses the film toward the stage 120 The film can be stably fixed. Thus, it is possible to prevent the film from being arbitrarily lifted from the substrate immediately after the imprint process is proceeding or immediately after the imprint process, that is, immediately after the imprint process, in which the resist on the substrate is not yet cured, proceeds.

임프린트 유닛(140)은 실질적으로 임프린트 공정을 진행하는 유닛이다. 이러한 임프린트 유닛(140)은 이웃된 디몰딩 유닛(150)과는 완전히 다른 별개의 유닛으로서 디몰딩 유닛(150)과는 별개로 개별 컨트롤될 수 있다. 이러한 임프린트 유닛(140)은 도 6에 도시된 바와 같이, 임프레스 롤(143, impress roll), 임프린트 유닛 바디(141), 임프린트 주행부(142), 임프레스 롤 업/다운 구동부(144), 그리고 경화 모듈(145)을 포함할 수 있다.The imprint unit 140 is a unit that substantially proceeds with the imprint process. This imprint unit 140 can be individually controlled as a separate unit completely different from the neighboring demolding unit 150, separately from the demolding unit 150. 6, the imprint unit 140 includes an impression roll 143, an imprint unit body 141, an imprint running portion 142, an impression roll up / down driving portion 144, Module 145, as shown in FIG.

임프레스 롤(143)은 도 4처럼 실질적으로 필름에 접촉가압되어 회전되면서 임프린트 공정을 진행하는 롤(roll)이다. 앞서도 기술한 것처럼 임프레스 롤(143)에 이해 임프린트 공정이 진행될 때는 그 주변의 필름 픽싱 모듈(130) 및 디몰딩 롤(153)과 상호작용한다.As shown in FIG. 4, the impression roll 143 is a roll that pushes the film substantially in contact with the film to rotate the imprint process. As described above, when the understanding imprint process is carried out on the impression roll 143, it interacts with the surrounding film fixing module 130 and the demolding roll 153.

임프린트 유닛 바디(141)는 임프레스 롤(143)이 회전 가능하게 탑재되는 장소를 이룬다. 임프린트 유닛 바디(141)에 임프레스 롤(143)을 비롯하여 임프린트 주행부(142), 임프레스 롤 업/다운 구동부(144), 경화 모듈(145)들이 위치별로 탑재될 수 있다.The imprint unit body 141 is a place where the impression roll 143 is rotatably mounted. The imprint roll unit 143, the imprint running unit 142, the impression roll up / down driving unit 144, and the curing module 145 may be mounted on the imprint unit body 141 on a position-

임프린트 주행부(142)는 임프린트 유닛 바디(141)를 주행시키는 역할을 한다. 임프린트 주행부(142)는 모터와 볼 스크루의 조합에 의해 적용될 수도 있고, 아니면 리니어 모터로 적용될 수도 있다.The imprint running section 142 serves to run the imprint unit body 141. [ The imprint running portion 142 may be applied by a combination of a motor and a ball screw, or may be applied to a linear motor.

임프레스 롤 업/다운 구동부(144)는 임프린트 유닛 바디(141)에 마련되어 임프레스 롤(143)과 연결되며, 임프레스 롤(143)을 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다. 실질적으로 임프린트 공정이 진행될 때는 임프레스 롤 업/다운 구동부(144)에 의해 임프레스 롤(143)이 다운(down) 동작되고, 디몰딩 공정이나 기판의 인입 또는 반출 공정이 진행될 때는 임프레스 롤 업/다운 구동부(144)에 의해 임프레스 롤(143)이 업(up) 동작될 수 있다.The impression roll-up / down driving unit 144 is provided in the imprint unit body 141 and is connected to the impression roll 143 to drive the impression roll 143 up / down. When the imprint process is substantially progressed, the impression roll 143 is down-operated by the impression roll-up / down driving unit 144, and when the de-molding process, The impression roll 143 can be operated up by the motor 144. [

경화 모듈(145)은 임프레스 롤(143)에 이웃한 위치에서 임프린트 유닛 바디(141)에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 결합되며, 임프린트 공정이 진행 완료된 필름의 표면을 경화시키는 역할을 한다. 즉 경화 모듈(145)은 임프레스 롤(143)을 추종하면서 임프린트 공정이 진행 완료된 필름의 표면을 경화시킨다. 따라서 패턴 복제시간을 단축시킬 수 있다.The curing module 145 is coupled to the imprint unit body 141 at a position adjacent to the impression roll 143 so as to be movable up and down and serves to cure the surface of the film that has been subjected to the imprint process do. That is, the curing module 145 follows the impression roll 143 and hardens the surface of the film after the imprint process. Therefore, the pattern copying time can be shortened.

디몰딩 유닛(150)은 도 6에 도시된 바와 같이, 임프린트 유닛(140)과는 분리되어 개별적으로 마련되고 스테이지(120)에 대하여 상대 이동 가능한 유닛으로서 디몰딩 공정을 위해 마련된다.The demolding unit 150 is provided separately for the demolding process as a unit that is separately provided from the imprint unit 140 and is movable relative to the stage 120, as shown in FIG.

물론, 디몰딩 유닛(150)의 일 구성인 디몰딩 롤(153, demolding roll)은 임프린트 공정 시 필름의 일측을 지지하기 때문에 임프린트 공정의 진행 시 일정한 역할을 담당한다.Of course, the demolding roll 153, which is a component of the demolding unit 150, plays a certain role in the progress of the imprinting process because it supports one side of the film during the imprinting process.

이러한 디몰딩 유닛(150)은 도 6, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 디몰딩 롤(153), 디몰딩 유닛 바디(151), 디몰딩 주행부(152), 그리고 디몰딩 롤 업/다운 구동부(154)를 포함할 수 있다.6, 9 and 10, the de-molding unit 150 includes a de-molding roll 153, a de-molding unit body 151, a de-molding run 152, / Down-driving unit 154, as shown in FIG.

뿐만 아니라 디몰딩 유닛(150)은 댄서 롤(210)과, 댄서 롤(210)에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 보정하는 댄서 롤측 장력 불균형 보정부(220)와, 임프레스 롤(143)과 디몰딩 롤(153)에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 보정하는 장력 불균형 보정유닛(280)을 포함할 수 있다.In addition, the de-molding unit 150 includes a dancer roll 210, a dancer roll side tension imbalance correction unit 220 for correcting a tension imbalance of a film guided by the dancer roll 210, And a tension imbalance correction unit 280 for correcting the tension imbalance of the film guided by the molding roll 153. [

디몰딩 롤(153)에 대해 먼저 살펴보면, 디몰딩 롤(153)은 앞서도 기술한 것처럼 디몰딩 공정 시 사용되기도 하지만 임프린트 공정 시에도 필름의 일측을 지지하여 필름이 임의로 들뜨지 않도록 한다. 즉 임프레스 롤(143)의 구름이동에 의해 임프린트 공정이 진행될 때, 디몰딩 롤(153)이 위치되는 필름의 후단부 영역이 들뜨면 아니되므로 이를 위해 디몰딩 롤(153)이 적용된다.As for the demolding roll 153, the demolding roll 153 is used in the demolding process as described above, but also supports one side of the film during the imprinting process so that the film is not excited arbitrarily. That is, when the imprint process is performed by the rolling movement of the impression roll 143, the rear end region of the film on which the demolding roll 153 is to be placed is not accommodated. Therefore, the demolding roll 153 is applied thereto.

디몰딩 유닛 바디(151)는 디몰딩 롤(153)이 회전 가능하게 탑재되는 장소를 이룬다. 디몰딩 유닛 바디(151)에 디몰딩 롤(153)을 비롯하여 디몰딩 주행부(152), 디몰딩 롤 업/다운 구동부(154)들이 위치별로 탑재될 수 있다.The demolding unit body 151 is a place where the demolding roll 153 is rotatably mounted. The demolding unit body 151 may include a demolding roll 153, a demolding traveling unit 152, and a demolding roll up / down driving unit 154.

디몰딩 주행부(152)는 디몰딩 유닛 바디(151)를 주행시키는 역할을 한다. 즉 디몰딩 유닛(150)은 디몰딩 주행부(152)의 작용에 의해 장치 테이블(110) 상에서 이동될 수 있다. 이러한 디몰딩 주행부(152)는 모터와 볼 스크루의 조합에 의해 적용될 수도 있고, 아니면 리니어 모터로 적용될 수도 있다.The demolding traveling unit 152 serves to travel the demolding unit body 151. That is, the demolding unit 150 can be moved on the apparatus table 110 by the action of the demolding run 152. The deforming traveling section 152 may be applied by a combination of a motor and a ball screw, or may be applied to a linear motor.

디몰딩 롤 업/다운 구동부(154)는 디몰딩 유닛 바디(151)에 마련되고 디몰딩 롤(153)과 연결되며, 디몰딩 롤(153)을 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다. 임프린트 공정이 진행되거나 디몰딩 공정이 진행될 때, 디몰딩 롤 업/다운 구동부(154)에 의해 디몰딩 롤(153)이 업/다운(up/down) 구동되어 최적의 위치로 배치될 수 있다.The demolding roll up / down driving unit 154 is provided in the demolding unit body 151 and is connected to the demolding roll 153 and serves to up / down drive the demolding roll 153 do. The demolding roll 153 may be driven up / down by the demolding roll up / down driving unit 154 to be disposed at the optimum position when the imprint process or the demolding process proceeds.

이러한 구성들 외에도 본 실시예에 따른 디몰딩 유닛(150)에는 디몰딩 앵글 롤(155, demolding angle roll), 앵글 롤 업/다운 구동부(156), 그리고 필름 아이들 롤(157, film idle roll)이 더 갖춰질 수 있다.In addition to these configurations, a demolding angle roll 155, an angle roll up / down driving unit 156, and a film idle roll 157 are provided in the demolding unit 150 according to the present embodiment. Can be more equipped.

디몰딩 앵글 롤(155)은 디몰딩 유닛 바디(151)를 기준으로 하여 디몰딩 롤(153)의 반대편에 배치되고 디몰딩 롤(153)과 함께 필름을 지지하며, 필름의 박리 공정 시 디몰딩 롤(153)과의 디몰딩 각도를 조절하는 롤(roll)이다. 디몰딩 앵글 롤(155)과 디몰딩 롤(153)이 이루는 각도에 따라 보다 쉽고 원활하게 디몰딩, 즉 필름의 박리가 진행될 수 있기 때문에 본 실시예처럼 디몰딩 앵글 롤(155)이 적용되는 편이 바람직하다.The demolding angle roll 155 is disposed on the opposite side of the demolding roll 153 with respect to the demolding unit body 151 and supports the film together with the demolding roll 153, And a roll that adjusts the deforming angle with the roll 153. Since the demolding, that is, the peeling of the film can proceed more easily and smoothly according to the angle formed by the demolding angle roll 155 and the demolding roll 153, the demolding angle roll 155 is applied as in the present embodiment desirable.

앵글 롤 업/다운 구동부(156)는 디몰딩 유닛 바디(151)에 마련되고 디몰딩 앵글 롤(155)과 연결되며, 최적의 디몰딩 각도 조절을 위해 디몰딩 앵글 롤(155)을 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다. 앵글 롤 업/다운 구동부(156) 역시, 모터와 볼 스크루의 조합에 의해 적용될 수 있다.The angle roll up / down driving unit 156 is provided on the de-molding unit body 151 and is connected to the de-molding angle roll 155. The angle roll up / (up / down) drive. The angle roll up / down driving unit 156 may also be applied by a combination of a motor and a ball screw.

필름 아이들 롤(157)은 디몰딩 유닛 바디(151)의 상부에 배치되며, 디몰딩 롤(153) 및 디몰딩 앵글 롤(155)과 함께 필름을 지지하는 롤(roll)이다. 필름 아이들 롤(157)은 무동력 자유회전 롤일 수 있다. 본 실시예의 경우, 댄서 롤(210)에 이웃되게 다수 의 필름 아이들 롤(157)이 적용되고 있다.The film idle rolls 157 are rolls disposed on top of the demolding unit body 151 and supporting the film together with a demolding roll 153 and a demolding angle roll 155. The film idle rolls 157 can be non-rotating, free-running rolls. In the case of the present embodiment, a plurality of film idle rolls 157 are applied adjacent to the dancer rolls 210.

필름 사행 조절부(160)는 디몰딩 유닛(150)과 연결되며, 스테이지(120) 상에 로딩되는 기판에 대한 필름의 사행을 조절하는 역할을 한다.The film meander control unit 160 is connected to the demolding unit 150 and regulates the meandering of the film with respect to the substrate loaded on the stage 120. [

앞서 기술한 것처럼 필름과 기판의 전단부 영역은 스테이지 얼라인부(125)의 작용으로 스테이지(120)를 이동시키면서 필름과 기판 간의 상대 위치를 맞출 수 있다. 하지만, 필름과 기판의 전단부 영역에 대한 얼라인 작업을 완료했다 하더라도 필름은 길이가 길고 유연하기 때문에 필름과 기판의 후단부 영역에서 상대 위치가 틀어질 수도 있다. 즉 기판의 후단부 영역에서 필름이 틀어져 배치, 즉 사행될 수 있다. 이를 조절하기 위해 필름 사행 조절부(160)가 마련되는 것이다.As described above, the front end region of the film and the substrate can align the relative position between the film and the substrate while moving the stage 120 by the action of the stage alignment portion 125. However, even if the alignment of the film and the front end region of the substrate is completed, the film may have a relatively long length and be flexible, so that the film and the rear end portion of the substrate may be displaced relative to each other. That is, the film may be twisted, that is, warped, in the rear end region of the substrate. And a film skew adjustment unit 160 is provided to adjust the film skew adjustment.

필름 사행 조절부(160)는 디몰딩 유닛(150) 전체를 +X축 방향 혹은 ??X축 방향으로 위치 이동시키는 캔트리 구조로 적용될 수 있다. 필름과 기판의 전단부 영역은 스테이지 얼라인부(125)의 작용으로 이미 얼라인된 상태이기 때문에 필름과 기판의 후단부 영역은 필름 사행 조절부(160)의 작용으로 디몰딩 유닛(150) 전체가 +X축 방향 혹은 ??X축 방향으로 위치 이동되도록 함으로써 필름과 기판의 후단부 영역에 대한 상대 위치 얼라인 작업이 용이하게 진행되도록 할 수 있다. 필름 사행 조절부(160)는 모터와 볼 스크루의 조합에 의해 적용될 수도 있고, 아니면 리니어 모터로 적용될 수도 있다.The film warping adjuster 160 can be applied to a can tree structure in which the entire de-molding unit 150 is moved in the + X-axis direction or the? X-axis direction. Since the front end region of the film and the substrate are already aligned by the action of the stage alignment portion 125, the rear end region of the film and the substrate is moved by the action of the film winding control portion 160, Axis direction or the? X-axis direction, the relative position aligning operation for the film and the rear end region of the substrate can be facilitated. The film skew adjustment unit 160 may be applied by a combination of a motor and a ball screw, or may be applied to a linear motor.

필름 공급 및 회수 유닛(170)은 도 6에 도시된 바와 같이, 임프린트 유닛(140) 및 디몰딩 유닛(150)과는 분리되어 개별적으로 마련되며, 공정라인으로 새로운 필름을 공급하고 임프린트 공정이 완료된 필름을 회수하는 역할을 한다. 필름 공급 및 회수 유닛(170) 역시, 임프린트 유닛(140) 및 디몰딩 유닛(150)과 마찬가지로 독립적으로 위치 이동될 수 있다.The film supply and collection unit 170 is separately provided from the imprint unit 140 and the demolding unit 150 as shown in FIG. 6, and a new film is supplied to the process line and the imprint process is completed And serves to recover the film. The film supply and collection unit 170 can also be independently moved as in the imprint unit 140 and the demolding unit 150. [

이러한 필름 공급 및 회수 유닛(170)은 필름 유닛 바디(171)와, 필름 유닛 바디(171)의 일측에 마련되며, 공정라인으로 새로운 필름을 공급하는 필름 공급부(172)와, 필름 유닛 바디(171)의 타측에 마련되며, 공정라인에서 사용이 완료된 필름을 회수하는 필름 회수부(173)를 포함할 수 있다.The film supply and recovery unit 170 includes a film unit body 171 and a film supply unit 172 provided at one side of the film unit body 171 for supplying a new film to the process line, And a film recovery unit 173 for recovering the used film in the process line.

필름 유닛 바디(171)는 필름 공급부(172)와 필름 회수부(173)를 지지한다. 도면에는 생략되어 있으나 필름 유닛 바디(171)에도 필름 유닛 바디(171)을 주행시키기 위한 주행부가 결합될 수 있다.The film unit body 171 supports the film supply unit 172 and the film recovery unit 173. Although not shown in the drawing, a running unit for running the film unit body 171 may be coupled to the film unit body 171 as well.

필름 공급부(172)는 공정라인으로 새로운 필름을 공급하는 역할을 한다. 이러한 필름 공급부(172)는 필름 공급용 롤(172a)과, 필름 공급용 롤(172a)에서 풀리는 필름을 가이드하는 다수의 공급측 아이들 롤(172b)을 포함할 수 있다.The film supply unit 172 serves to supply a new film to the process line. The film supply unit 172 may include a film supply roll 172a and a plurality of supply side idle rolls 172b that guide the film unwound from the film supply roll 172a.

필름 회수부(173)는 공정라인에서 사용이 완료된 필름을 회수하는 역할을 한다. 이러한 필름 회수부(173)는 필름 회수용 롤(173a)과, 필름 회수용 롤(173a) 측으로 회수되는 필름을 가이드하는 다수의 회수측 아이들 롤(173b)을 포함할 수 있다.The film recovery unit 173 serves to recover the used film in the process line. The film recovery unit 173 may include a film recovery roll 173a and a plurality of recovery side idols 173b for guiding the film recovered to the film recovery roll 173a.

한편, 앞서도 기술한 것처럼 필름을 롤에 조립하는 공차, 댄서 롤(210)의 조립 또는 작동 공차 등의 여러 환경 요인에 의해 댄서 롤(210)을 통해 가이드되는 필름의 양 단부에 걸리는 장력이 일정할 수 없는데, 만약 필름의 장력 편심이 발생되면 필름의 장력이 불균형해질 수밖에 없어 이로 인해 패턴의 복제품질이 저하될 우려가 높다.On the other hand, as described above, due to various environmental factors such as the tolerance of assembling the film to the roll, assembly of the dancer roll 210, or operation tolerance, the tension applied to both ends of the film guided through the dancer roll 210 is constant If the tension eccentricity of the film is generated, the tensile force of the film is inevitably unbalanced, which may cause a deterioration of the copy quality of the pattern.

이러한 현상을 예방하기 위해 댄서 롤(210)과, 장력 불균형 보정유닛(280)이 마련된다. 앞서도 기술한 것처럼 댄서 롤(210)과, 장력 불균형 보정유닛(280)은 디몰딩 유닛(150)의 일 구성일 수 있다.To prevent such a phenomenon, a dancer roll 210 and a tension imbalance correction unit 280 are provided. As described above, the dancer roll 210 and the tension imbalance correction unit 280 may be a configuration of the de-molding unit 150. [

댄서 롤(210)에 대해 먼저 살펴보면, 도 6, 그리고 도 9 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 댄서 롤(210)은 임프레스 롤(143) 및 디몰딩 롤(153)과 함께 필름을 가이드하는 역할을 한다. 댄서 롤(210)의 주변으로 한 쌍의 필름 아이들 롤(157)이 배치된다.Referring first to the dancer roll 210, the dancer roll 210, together with the impression roll 143 and the demolding roll 153, serves to guide the film, as shown in Figures 6 and 9-13. . A pair of film idle rolls 157 are disposed around the dancer rolls 210.

댄서 롤측 장력 불균형 보정부(220)는 댄서 롤(210)에 연결되며, 댄서 롤(210)에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 보정하는 역할을 한다.The dancer roll side tension imbalance correcting unit 220 is connected to the dancer roll 210 and serves to correct the tension imbalance of the film guided by the dancer roll 210.

본 실시예에서 댄서 롤측 장력 불균형 보정부(220)는 필름의 장력 차이로 인해 댄서 롤(210)의 양단부에 각각 걸리는 하중(weight)에 기초하여 필름의 장력 불균형을 자동으로 보정하는 역할을 한다.In this embodiment, the dancer roll side tension imbalance correcting unit 220 automatically corrects the tension imbalance of the film based on the weight applied to both ends of the dancer roll 210 due to the tension difference of the film.

다시 말해, 모터나 실린더의 동력으로 필름의 양단부를 당기는 것이 아니라 필름의 양단부 측에 제1 및 제2 무게추(241,251)를 걸고, 제1 및 제2 무게추(241,251)들에 의한 자중의 힘으로 필름의 양단부가 팽팽하게 당겨지면서 그 장력의 불균형이 보정될 수 있도록 한다. 즉 도 11에서 필름의 양단부에 가해지는 장력(P1,P2)이 상이할 수 있는데, 만약 한 쪽(P1)이 느슨하게 처진 경우라면 그 쪽에 해당되는 제1 무게추(241)의 자중에 의해 느슨한 쪽의 장력이 좀 더 팽팽하게 당겨질 수 있기 때문에 필름의 장력 불균형을 보정할 수 있다. 특히, 이러한 보정작업에 별도의 동력이 필요치 않기 때문에 우수한 효과를 제공할 수 있다.In other words, instead of pulling both ends of the film by the power of the motor or the cylinder, first and second weight weights 241 and 251 are attached to the both end sides of the film, and the force of the self weight by the first and second weight weights 241 and 251 Both ends of the film are pulled tightly so that the imbalance of the tension can be corrected. That is, tension P1 and P2 applied to both ends of the film in Fig. 11 may be different. If one side P1 loosens, the weight of the first weight 241, The tensile force of the film can be pulled more tightly, so that the tension imbalance of the film can be corrected. Particularly, since no additional power is required for such a correction operation, an excellent effect can be provided.

이러한 역할을 수행하는 댄서 롤측 장력 불균형 보정부(220)는 보정 테이블(230)과, 보정 테이블(230) 상의 양측에 배치되어 해당 위치에서 댄서 롤(210)과 연결되는 제1 및 제2 장력 불균형 보정부(240,250)를 포함할 수 있다. The dancer roll side tension imbalance correction unit 220 that performs this role is provided with a correction table 230 and first and second tension imbalance correction units 230 disposed on both sides of the correction table 230 and connected to the dancer roll 210 at the corresponding positions, And may include corrector 240,250.

보정 테이블(230)은 제1 및 제2 장력 불균형 보정부(240,250)가 설치되는 장소를 이룬다. 보정 테이블(230)은 도 6에 도시된 바와 같이, 디몰딩 유닛(160)의 디몰딩 유닛 바디(161)의 일측에 결합될 수 있다. 이러한 보정 테이블(230)에는 제1 브래킷(231)과 제2 브래킷(232)이 연결된다. 제1 브래킷(231)은 제1 무게추(241)를 지지하는 역할을 하고, 제2 브래킷(232)은 제1 저마찰 실린더(248)를 지지하는 역할을 한다.The correction table 230 is a place where the first and second tension imbalance correctors 240 and 250 are installed. The correction table 230 may be coupled to one side of the demolding unit body 161 of the demolding unit 160, as shown in FIG. The first bracket 231 and the second bracket 232 are connected to the correction table 230. The first bracket 231 serves to support the first weight 241 and the second bracket 232 serves to support the first low friction cylinder 248.

제1 장력 불균형 보정부(240)는 제1 무게추(241)를 구비하되 댄서 롤(210)의 일단부에서 보정 테이블(230)과 연결되며, 제1 무게추(241)의 하중에 기초하여 댄서 롤(210)의 일단부를 자동으로 위치 이동시키면서 필름의 일단부에 대한 장력 불균형을 보정하는 역할을 한다.The first tension imbalance correction unit 240 includes a first weight unit 241 and is connected to the correction table 230 at one end of the dancer roll 210. The first tension imbalance correction unit 240 includes a first tension imbalance correction unit 240, And serves to correct the tension imbalance of one end of the film while automatically moving the one end of the dancer roll 210.

그리고 제2 장력 불균형 보정부(250)는 제2 무게추(251)를 구비하되 댄서 롤(210)의 타단부에서 보정 테이블(230)과 연결되며, 제2 무게추(251)의 하중에 기초하여 댄서 롤(210)의 타단부를 자동으로 위치 이동시키면서 필름의 타단부에 대한 장력 불균형을 보정하는 역할을 한다.The second tension imbalance correcting unit 250 has a second weight 251 and is connected to the correction table 230 at the other end of the dancer roll 210. The second tension imbalance correcting unit 250 is based on the load of the second weight 251 Thereby automatically adjusting the position of the other end of the dancer roll 210 and correcting tension imbalance of the other end of the film.

본 실시예에서 제1 장력 불균형 보정부(240)와 제2 장력 불균형 보정부(250)는 탑재되는 위치가 상이할 뿐 서로 동일한 구조를 갖는다. 따라서 이하에서는 도 11 내지 도 13을 참조하여 제1 장력 불균형 보정부(240)에 대해서만 설명하기로 하고, 제2 장력 불균형 보정부(250)에 대해서는 편의상 생략한다.In this embodiment, the first tension imbalance correcting unit 240 and the second tension imbalance correcting unit 250 have the same structure as each other, except that they are mounted at different positions. Therefore, only the first tension imbalance correction unit 240 will be described below with reference to FIGS. 11 to 13, and the second tension imbalance correction unit 250 will be omitted for the sake of convenience.

이러한 제1 장력 불균형 보정부(240)는 필름이 당겨지는 방향을 따라 보정 테이블(230) 상에 마련되는 제1 가이드 레일(242)과, 제1 가이드 레일(242)에 결합되고 제1 가이드 레일(242)을 따라 이동되는 제1 레일 블록(243)과, 제1 레일 블록(243)과 댄서 롤(210)이 일단부를 연결하는 제1 블록 연결부(244)와, 제1 무게추(241)와 제1 레일 블록(243)에 연결되며, 제1 무게추(241)의 하중에 기초하여 제1 레일 블록(243)이 제1 가이드 레일(242) 상에서 직선운동되도록 하는 제1 운동 전달부(245)를 포함할 수 있다.The first tension imbalance correction unit 240 includes a first guide rail 242 provided on the correction table 230 along the film pulling direction and a second guide rail 242 coupled to the first guide rail 242, A first block connecting portion 244 connecting one end of the first rail block 243 and the dancer roll 210 to each other and a first weight portion 241 connected to the first rail block 243, And a first motion transmitting part connected to the first rail block 243 and configured to linearly move the first rail block 243 on the first guide rail 242 based on the load of the first weight 241 245).

제1 가이드 레일(242)과 제1 레일 블록(243)은 통상의 LM 가이드 구조일 수 있다. 이러한 제1 레일 블록(243) 상에 제1 블록 연결부(244)가 연결되고 제1 블록 연결부(244)에 댄서 롤(210)이 일단부가 연결되기 때문에 제1 무게추(241)의 자중에 의해 제1 레일 블록(243)이 이동될 대, 댄서 롤(210)이 일단부가 위치 이동되면서 그에 대응되는 필름의 일단부에 장력을 제공할 수 있다.The first guide rail 242 and the first rail block 243 may be a conventional LM guide structure. Since the first block connecting portion 244 is connected to the first rail block 243 and the one end of the dancer roll 210 is connected to the first block connecting portion 244, When the first rail block 243 is moved, the dancer roll 210 can be tensioned at one end of the film while one end thereof is moved.

제1 블록 연결부(244)는 댄서 롤(210)의 일단부가 배치되되 제1 레일 블록(243)과 연결되는 고정 블록(244a)과, 고정 블록(244a)에 착탈 가능하게 결합되며, 고정 블록(244a)과 함께 댄서 롤(210)의 일단부를 지지하는 착탈 블록(244b)을 포함할 수 있다. 이와 같은 제1 블록 연결부(244)의 구조로 인해 댄서 롤(210)의 일단부에 대한 설치 및 유지보수가 간편해질 수 있다.The first block connecting portion 244 includes a fixed block 244a having one end of the dancer roll 210 connected to the first rail block 243 and a fixed block 244a detachably coupled to the fixed block 244a, And a detachable block 244b that supports one end of the dancer roll 210 together with the other end 244a. Because of the structure of the first block connecting portion 244, the installation and maintenance of the one end of the dancer roll 210 can be simplified.

제1 운동 전달부(245)는 보정 테이블(230) 상에 마련되는 제1 도르래(246)와, 일단부는 제1 무게추(241)에 연결되고 타단부는 제1 도르래(246)에 가이드되어 제1 레일 블록(243)에 연결되는 제1 와이어(247)를 포함할 수 있다.The first motion transmission portion 245 is connected to the first sheave 246 provided on the correction table 230 and the first sheave 246 is connected to the first weight portion 241 at one end and is guided to the first sheave 246 at the other end And a first wire 247 connected to the first rail block 243.

이에, 제1 무게추(241)의 자중에 의해 제1 와이어(247)가 제1 도르래(246)에 가이드되면서 당겨지면 이의 힘으로 제1 레일 블록(243)이 제1 가이드 레일(242) 상에서 이동될 수 있고, 이의 동작으로 댄서 롤(210)이 일단부가 위치 이동되면서 그에 대응되는 필름의 일단부에 장력을 제공할 수 있다. 이러한 제1 장력 불균형 보정부(240)의 동작과 동일한 형태로 제2 장력 불균형 보정부(250)가 동작될 수 있는데, 이들의 동작에 의해 필름에 대한 장력 불균형이 자동으로 보정될 수 있다.When the first wire 247 is pulled while being guided by the first sheave 246 by the weight of the first weight 241, the first rail block 243 is pulled by the force of the first weight 241 on the first guide rail 242 And by its operation, the dancer roll 210 can be tensioned at one end of the corresponding film while one end is being moved. The second tension imbalance correcting unit 250 can be operated in the same manner as the operation of the first tension imbalance correcting unit 240, and the tension imbalance for the film can be automatically corrected by these operations.

제1 장력 불균형 보정부(240)에는 제1 저마찰 실린더(248)가 더 마련된다. 앞서 기술한 것처럼 제1 저마찰 실린더(248)는 제2 브래킷(232)에 지지되면서 보정 테이블(230) 상에 탑재된다. 이러한 제1 저마찰 실린더(248)는 제1 레일 블록(243)의 기준위치에 배치되며, 제1 레일 블록(243)이 기준위치를 벗어나지 않게 탄성적으로 지지하는 역할을 한다. 특히, 제1 저마찰 실린더(248)는 댄서 롤(210)의 세팅 기준을 이룰 수 있다.The first tension imbalance correction unit 240 is further provided with a first low friction cylinder 248. As described above, the first low friction cylinder 248 is mounted on the correction table 230 while being supported by the second bracket 232. The first low friction cylinder 248 is disposed at a reference position of the first rail block 243 and functions to elastically support the first rail block 243 without departing from the reference position. In particular, the first low friction cylinder 248 may meet the setting criteria of the dancer roll 210.

한편, 도 6, 도 9 및 도 10, 그리고 도 14 및 도 15에 도시된 바와 같이, 디몰딩 유닛(150)에는 필름을 피딩(feeding)시키는 필름 피더(260)가 마련된다. 댄서 롤(210)이 필름을 가이드하는 역할을 하는 것과 달리 필름 피더(260)는 댄서 롤(210)의 주변에 배치되며, 실질적으로 필름을 피딩(feeding)시킨다. 즉 임프린트 공정 시 미리 세팅된 거리만큼 필름을 피딩시킬 수 있고, 장력 조절 시 필름을 피딩시킬 수 있다.6, 9, 10, 14, and 15, the demolding unit 150 is provided with a film feeder 260 for feeding a film. Unlike the dancer roll 210 that serves to guide the film, the film feeder 260 is disposed around the dancer roll 210 and substantially feeds the film. That is, it is possible to feed the film by a preset distance in the imprint process, and to feed the film during the tension adjustment.

이러한 필름 피더(260)는 필름의 피딩을 가이드하는 필름 피딩용 가이드 롤(261)과, 필름 피딩용 가이드 롤(261)에 이웃하게 배치되며, 구동모터(265)의 동력에 의해 필름을 피딩시키는 닙 롤(263, nip roll)과, 닙 롤(263)을 구동시키는 닙 롤 구동부(270)를 포함할 수 있다.The film feeder 260 includes a film feeding guide roll 261 for guiding the feeding of the film and a guide roll 261 for feeding the film by power of the drive motor 265, A nip roll 263 (nip roll), and a nip roll driving unit 270 for driving the nip roll 263.

특히, 본 실시예의 경우, 필름 피더(260)에 닙 롤 구동부(270)가 적용되어 닙 롤(263)을 필름 피딩용 가이드 롤(261)에 접근 또는 이격 구동시키는 역할을 하고 있기 때문에 필름의 피딩 작업과 장력 조절 작업의 효율을 높일 수 있다.Particularly, in this embodiment, since the nip roll driving unit 270 is applied to the film feeder 260 to move the nip roll 263 toward or away from the film feeding guide roll 261, It is possible to increase the efficiency of work and tension control work.

본 실시예에서 닙 롤 구동부(270)는 닙 롤(263)의 길이방향을 따라 닙 롤(263)의 양단부에 대칭적으로 배치될 수 있다. 즉 닙 롤 구동부(270)는 구동모터(265)가 연결되되 닙 롤(263)의 일단부에 배치되는 제1 연결부(271)를 업/다운(up/down) 구동 가능하게 지지하는 제1 업/다운 구동부(272)와, 구동모터(265)의 반대편에서 닙 롤(263)의 타단부에 배치되는 제2 연결부(273)를 업/다운(up/down) 구동 가능하게 지지하는 제2 업/다운 구동부(274)를 포함할 수 있다. 제1 업/다운 구동부(272)와 제2 업/다운 구동부(274)는 동기적으로 제어될 수 있다.In this embodiment, the nip roll driving portion 270 may be symmetrically disposed at both ends of the nip roll 263 along the longitudinal direction of the nip roll 263. That is, the nip roll driving unit 270 includes a first upshifting unit 270 which supports the first connecting unit 271, which is connected to the driving motor 265 and is disposed at one end of the nip roll 263, Down drive unit 272 and a second connection unit 273 which supports the second connection unit 273 disposed at the other end of the nip roll 263 on the opposite side of the drive motor 265 so as to be capable of up / / Down driver 274, as shown in FIG. The first up / down driver 272 and the second up / down driver 274 may be controlled synchronously.

제1 연결부(271)는 박스 형태를 가지며, 일측에서 구동모터(265)가 연결되게 관통구(271a)를 구비하는 연결부 몸체(271b)와, 연결부 몸체(271b) 내에 마련되고 닙 롤(263)의 일단부가 회전 가능하게 탑재되는 닙 롤 탑재블록(271c,271d)과, 연결부 몸체(271b)의 하부를 이루는 하부 베이스(271e)와, 하부 베이스(271e)에 결합되고 연결부 몸체(271b)의 승하강 이동을 가이드하는 가이드 레일(271f)을 포함할 수 있다.The first connection portion 271 has a box shape and includes a connecting body 271b having a through hole 271a for connecting a driving motor 265 to one side thereof and a connecting body 271b provided in the connecting body 271b and having a nip roll 263, A lower base 271e which constitutes the lower part of the connecting body 271b and a lower base 271e which is coupled to the lower base 271e and which is connected to the connecting body 271b And a guide rail 271f for guiding the downward movement.

하부 베이스(271e) 상에 다수의 제1 업/다운 구동부(272), 예컨대 실린더가 배치되어 연결부 몸체(271b)와 연결될 수 있다. 제1 업/다운 구동부(272) 사이에는 필름 피딩용 가이드 롤(261)이 결합되는 가이드 롤 결합부(271g)가 마련된다.A plurality of first up / down driving parts 272, for example, cylinders, may be disposed on the lower base 271e and connected to the connecting body 271b. A guide roll engaging portion 271g is provided between the first up / down driving portion 272 and the guide roll 261 for film feeding.

이에, 제1 업/다운 구동부(272)가 동작되면 연결부 몸체(271b)를 승하강시키면 연결부 몸체(271b)에 부속된 구성들, 즉 구동모터(265)를 비롯해서 닙 롤(263)이 함께 승하강될 수 있다. 하강 시 필름 피딩용 가이드 롤(261)에 접근되면서 필름을 물게 되는데, 구동모터(265)의 동작 시 닙 롤(263)이 회전되면서 필름을 피딩시킬 수 있다.When the first up / down driving portion 272 is operated, the nip rolls 263 together with the components attached to the connecting portion body 271b, that is, the driving motor 265, Can be lowered. The film is fed while approaching the film feeding guide roll 261 at the time of lowering, and the nip roll 263 can be rotated to feed the film during operation of the driving motor 265.

한편, 도 6, 그리고 도 16 내지 도 18에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 패턴 복제장치에는 장력 불균형 보정유닛(280)이 더 갖춰진다.On the other hand, as shown in Fig. 6 and Fig. 16 to Fig. 18, the pattern duplication apparatus according to the present embodiment is further provided with a tension imbalance correction unit 280. Fig.

장력 불균형 보정유닛(280)은 임프레스 롤(143)에 근접된 영역에 배치되며, 임프린트 공정 시 임프레스 롤(143)과 디몰딩 롤(153)에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 보정하는 역할을 한다. The tension imbalance correction unit 280 is disposed in the region close to the impression roll 143 and serves to correct the tension imbalance of the film that is guided by the impression roll 143 and the molding roll 153 in the imprint process .

앞서 기술한 댄서 롤측 장력 불균형 보정부(220)를 통해 필름의 장력 불균형을 보정할 수 있다. 다만, 댄서 롤(210)은 임프레스 롤(143)에서 다소 멀리 떨어져 있어서 댄서 롤측 장력 불균형 보정부(220)를 통한 필름의 장력 불균형을 보정하더라도 경우에 따라 그 보정 효과가 다소 약할 수도 있다. 이를 보완하기 위해 장력 불균형 보정유닛(280)이 마련된다. 물론, 장력 불균형 보정유닛(280)이 댄서 롤측 장력 불균형 보정부(220)와 반드시 함께 적용되어야 하는 것은 아니다. 즉 본 실시예에서 장력 불균형 보정유닛(280)은 구성상 제외될 수도 있다.The tensile unbalance of the film can be corrected through the dancer roll side tension imbalance correction unit 220 described above. However, even if the dancer roll 210 is spaced a little away from the impression roll 143 to compensate for the tension imbalance of the film through the dancer roll side tension imbalance correction unit 220, the correction effect may be somewhat weakened in some cases. To compensate for this, a tension imbalance correction unit 280 is provided. Of course, the tension unbalance correcting unit 280 does not necessarily have to be applied together with the dancer roll side tension unbalance correcting unit 220. That is, in this embodiment, the tension imbalance correction unit 280 may be excluded from the configuration.

본 실시예에서 장력 불균형 보정유닛(280)은 디몰딩 롤(153)에 연결되며, 디몰딩 롤(153)을 강제로 가압하는 서보 구동방식 장력 불균형 보정유닛(280)으로 적용될 수 있다.In this embodiment, the tension imbalance correction unit 280 is connected to the de-molding roll 153 and can be applied to the servo-driven tension imbalance correction unit 280 for forcing the de-molding roll 153.

이러한 서보 구동방식 장력 불균형 보정유닛(280)은 디몰딩 롤(153)의 일단부에 마련되는 제1 서보모터(281)와, 제1 서보모터(281)와 디몰딩 롤(153)의 일단부에 연결되며, 제1 서보모터(281)의 구동 시 디몰딩 롤(153)의 일단부를 개별적으로 위치 이동시키는 제1 무빙부(282)와, 디몰딩 롤(153)의 타단부에 마련되는 제2 서보모터(283)와, 제2 서보모터(283)와 디몰딩 롤(153)의 타단부에 연결되며, 제2 서보모터(283)의 구동 시 디몰딩 롤(153)의 타단부를 개별적으로 위치 이동시키는 제2 무빙부(284)를 포함할 수 있다.The servo drive type tension unbalance correcting unit 280 includes a first servo motor 281 provided at one end of the demolding roll 153 and a second servo motor 281 provided at one end of the first servo motor 281 and the demolding roll 153 A first moving part 282 which is connected to the first servo motor 281 and moves the one end of the demolding roll 153 individually when the first servo motor 281 is driven, The second servo motor 283 is connected to the other end of the second servo motor 283 and the demolding roll 153. The other end of the demolding roll 153 is driven by the second servo motor 283, And a second moving part 284 for moving the second moving part 284 to a position.

제1 무빙부(282)와 제2 무빙부(284)는 LM 가이드를 포함할 수 있으며, 제1 서보모터(281)와 제2 서보모터(283)의 동작 시 해당 위치에서 디몰딩 롤(153)의 일단부와 타단부를 당겨 필름의 장력을 보정할 수 있게끔 한다. 즉 도 17에서 제1 서보모터(281)가 동작되면 제1 무빙부(282)를 통해 디몰딩 롤(153)의 일단부가 P3 방향으로 당겨질 수 있고, 제2 서보모터(283)가 동작되면 제2 무빙부(284)를 통해 디몰딩 롤(153)의 타단부가 P4 방향으로 당겨질 수 있는데, 이러한 서보 동작에 기초하여 필름의 장력 불균형을 보정할 수 있다. 특히, 장력 불균형 보정유닛(280)의 경우, 필름의 장력이 불균형하다는 정보를 피드백해서 제1 서보모터(281)와 제2 서보모터(283)를 그에 맞게 컨트롤해서 구동시킬 수 있기 때문에 보다 정확하게 필름 장력의 불균형을 보정할 수 있다.The first moving part 282 and the second moving part 284 may include an LM guide and the first and second servomotors 281, So that the tension of the film can be corrected. 17, when the first servo motor 281 is operated, one end of the demolding roll 153 can be pulled in the P3 direction through the first moving part 282. When the second servo motor 283 is operated, The other end of the demolding roll 153 can be pulled in the P4 direction through the second moving part 284. The tension imbalance of the film can be corrected based on this servo operation. In particular, in the case of the tension unbalance correcting unit 280, it is possible to feed back information indicating that the tension of the film is unbalanced so that the first servo motor 281 and the second servo motor 283 can be controlled and driven accordingly, The imbalance of the tension can be corrected.

서보 구동방식 장력 불균형 보정유닛(280)에는 제1 로드 셀(291, rod cell)과, 제2 로드 셀(292), 그리고 이들의 컨트롤을 위한 컨트롤러(300)가 더 갖춰진다.The servo drive type tension imbalance correction unit 280 is further provided with a first load cell 291 (rod cell), a second load cell 292, and a controller 300 for controlling them.

제1 로드 셀(291)은 제1 무빙부(282)에 연결되며, 필름의 일단부에 형성되는 장력을 감지하는 역할을 하고, 제2 로드 셀(292)은 제2 무빙부(284)에 연결되며, 제2 서보모터(283)의 구동 시 필름의 타단부에 형성되는 장력을 감지하는 역할을 한다.The first load cell 291 is connected to the first moving part 282 and senses the tension formed at one end of the film and the second load cell 292 is connected to the second moving part 284 And detects the tension generated at the other end of the film when the second servomotor 283 is driven.

그리고 컨트롤러(300)는 제1 로드 셀(291)과 제2 로드 셀(292)의 감지신호에 기초하여 제1 서보모터(281)와 제2 서보모터(283)의 동작을 컨트롤한다. 이러한 컨트롤러(300)는 도 18에 도시된 바와 같이, 중앙처리장치(310, CPU), 메모리(320, MEMORY), 그리고 서포트 회로(330, SUPPORT CIRCUIT)를 포함할 수 있다.The controller 300 controls the operation of the first servo motor 281 and the second servo motor 283 based on the detection signals of the first load cell 291 and the second load cell 292. The controller 300 may include a central processing unit 310, a memory 320, and a support circuit 330, as shown in FIG.

중앙처리장치(310)는 본 실시예에서 제1 로드 셀(291)과 제2 로드 셀(292)의 감지신호에 기초하여 제1 서보모터(281)와 제2 서보모터(283)의 동작을 컨트롤하기 위해서 산업적으로 적용될 수 있는 다양한 컴퓨터 프로세서들 중 하나일 수 있다.The central processing unit 310 controls the operation of the first servo motor 281 and the second servo motor 283 based on the detection signals of the first load cell 291 and the second load cell 292 in this embodiment May be one of a variety of computer processors that may be industrially applicable to control.

메모리(320, MEMORY)는 중앙처리장치(310)와 연결된다. 메모리(320)는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체로서 로컬 또는 원격지에 설치될 수 있으며, 예를 들면 랜덤 액세스 메모리(RAM), ROM, 플로피 디스크, 하드 디스크 또는 임의의 디지털 저장 형태와 같이 쉽게 이용가능한 적어도 하나 이상의 메모리일 수 있다.The memory 320 (MEMORY) is connected to the central processing unit 310. The memory 320 may be a computer readable recording medium and may be located locally or remotely and may be any of various types of storage devices, such as random access memory (RAM), ROM, floppy disk, hard disk, May be at least one or more memories.

서포트 회로(330, SUPPORT CIRCUIT)는 중앙처리장치(310)와 결합되어 프로세서의 전형적인 동작을 지원한다. 이러한 서포트 회로(330)는 캐시, 파워 서플라이, 클록 회로, 입/출력 회로, 서브시스템 등을 포함할 수 있다.The support circuit 330 (SUPPORT CIRCUIT) is coupled with the central processing unit 310 to support the typical operation of the processor. Such a support circuit 330 may include a cache, a power supply, a clock circuit, an input / output circuit, a subsystem, and the like.

본 실시예에서 컨트롤러(300)는 제1 로드 셀(291)과 제2 로드 셀(292)의 감지신호에 기초하여 제1 서보모터(281)와 제2 서보모터(283)의 동작을 컨트롤하는데, 이러한 일련의 프로세스 등은 메모리(320)에 저장될 수 있다. 전형적으로는 소프트웨어 루틴이 메모리(320)에 저장될 수 있다. 소프트웨어 루틴은 또한 다른 중앙처리장치(미도시)에 의해서 저장되거나 실행될 수 있다.In this embodiment, the controller 300 controls the operation of the first servo motor 281 and the second servo motor 283 based on the detection signals of the first load cell 291 and the second load cell 292 , A series of such processes, and the like may be stored in the memory 320. Typically, software routines may be stored in memory 320. [ The software routines may also be stored or executed by other central processing units (not shown).

본 발명에 따른 프로세스는 소프트웨어 루틴에 의해 실행되는 것으로 설명하였지만, 본 발명의 프로세스들 중 적어도 일부는 하드웨어에 의해 수행되는 것도 가능하다. 이처럼, 본 발명의 프로세스들은 컴퓨터 시스템 상에서 수행되는 소프트웨어로 구현되거나 또는 집적 회로와 같은 하드웨어로 구현되거나 또는 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해서 구현될 수 있다.Although processes according to the present invention are described as being performed by software routines, it is also possible that at least some of the processes of the present invention may be performed by hardware. As such, the processes of the present invention may be implemented in software executed on a computer system, or in hardware such as an integrated circuit, or in combination of software and hardware.

이하, 패턴 복제장치의 작용을 설명한다.Hereinafter, the operation of the pattern duplicating apparatus will be described.

장치의 초기 상태에서는 필름 픽싱 모듈(130)과 임프린트 유닛(140)의 임프레스 롤(143), 그리고 디몰딩 유닛(150)의 디몰딩 롤(153)이 모두 업(up) 동작된 상태를 취한다. 이때는 필름이 스테이지(120)로부터 일정 거리 이격된 상태이므로 이 상태에서 마스터 몰드 또는 기판이 스테이지(120) 상으로 로딩될 수 있고, 반대로 취출될 수도 있다.The film pressing module 130 and the impression roll 143 of the imprint unit 140 and the demolding roll 153 of the demolding unit 150 are both operated up in the initial state of the apparatus . At this time, since the film is separated from the stage 120 by a certain distance, the master mold or the substrate may be loaded onto the stage 120 and vice versa.

만약, 마스터 몰드가 로딩된 경우라면 필름을 이용한 임프린트 공정을 통해 마스터 몰드의 패턴이 필름으로 복재될 수 있으며, 기판이 로딩된 경우라면 필름으로 복제된 패턴이 기판의 표면으로 재복재(전이)될 수 있는데, 여기서는 후자의 경우에 대해 설명하기로 한다.If the master mold is loaded, the pattern of the master mold may be transferred into the film through the imprint process using the film. If the substrate is loaded, the pattern replicated in the film may be re-transferred to the surface of the substrate Hereinafter, the latter case will be described.

스테이지(120) 상에 기판이 로딩되면 스테이지(120)의 석션홀(121)에 진공이 형성되어 기판이 진공으로 흡착 고정된다. 따라서 기판과 스테이지(120)는 한 몸체가 될 수 있다. 기판이 스테이지(120)에 흡착 고정되면 스테이지 얼라인부(125)가 평면 상의 X축, Y축 또는 θ축으로 이동되면서 기판과 필름의 전단부에 대한 상대 위치 얼라인 작업이 진행되도록 한다. 기판과 필름의 전단부에 대한 상대 위치 얼라인 작업은 기판과 필름에 표시된 얼라인 마크(align mark)를 확인하면서 진행할 수 있다.When the substrate is loaded on the stage 120, a vacuum is formed in the suction holes 121 of the stage 120 so that the substrate is vacuum-adhered and fixed. Accordingly, the substrate and the stage 120 can be one body. When the substrate is sucked and fixed to the stage 120, the stage alignment portion 125 is moved in the X-axis, Y-axis, or the? -Axis on a plane, so that the relative position aligning operation is performed with respect to the front end portion of the substrate and the film. The alignment of the substrate and the front end of the film relative to each other can be performed while confirming the alignment marks displayed on the substrate and the film.

기판과 필름의 전단부에 대한 상대 위치 얼라인 작업이 완료되면 기판과 필름의 후단부에 대한 얼라인 작업이 동일하게 진행된다.When the relative position aligning operation to the front end of the substrate and the film is completed, the aligning operation for the rear end of the substrate and the film proceeds in the same manner.

앞서, 기판과 필름의 전단부에 대한 얼라인 작업이 이미 완료되었기 때문에 기판과 필름의 후단부에 대한 얼라인 작업은 기판에 대해 필름의 어느 정도 틀어졌는지의 사행 정도만을 측정해서 사행을 조절하면 된다. 이러한 얼라인 작업은 필름 사행 조절부(160)를 통해 진행될 수 있다.Since the aligning operation for the front end portion of the substrate and the film has been completed previously, the aligning operation for the rear end portion of the substrate and the film can be performed by measuring only the degree of meandering of the film with respect to the substrate . The aligning operation can be performed through the film jam adjusting unit 160.

즉 필름과 기판의 전단부 영역은 스테이지 얼라인부(125)의 작용으로 이미 얼라인된 상태이기 때문에 필름과 기판의 후단부 영역은 필름 사행 조절부(160)의 작용으로 디몰딩 유닛(150) 전체가 +X축 방향 혹은 ??X축 방향으로 위치 이동되도록 함으로써 필름과 기판의 후단부 영역에 대한 상대 위치 얼라인 작업이 용이하게 진행되도록 할 수 있다.That is, since the front end region of the film and the substrate are already aligned by the action of the stage alignment portion 125, the rear end region of the film and the substrate is moved by the action of the film warping control portion 160, Axis direction or the? X-axis direction, the relative position aligning operation for the film and the rear end region of the substrate can be facilitated.

기판과 필름의 전단부 및 후단부 모두에 대한 얼라인 작업이 완료되면 처럼 필름의 전단부 영역에 위치되는 필름 픽싱 모듈(130)이 다운(down) 동작되어 필름의 전단부를 스테이지(120)에 접촉 가압시킨다. 이때는 기판 상의 레지스트가 경화되지 않은 상태라서 필름이 기판에 완전히 접촉되면 아니되므로 디몰딩 롤(153)은 완전히 다운(down) 동작되지 않고, 임프린트 공정이 진행될 수 있는 최적의 위치까지만 다운(down) 동작된다. 그렇다 하더라도 필름이 기판에 완전히 접촉되지는 않는다.The film fixing module 130 positioned at the front end region of the film is operated downward so that the front end portion of the film contacts the stage 120 Lt; / RTI > At this time, since the resist on the substrate is not cured, the film is not completely brought into contact with the substrate. Therefore, the demolding roll 153 is not completely down-operated, but moves down only to an optimal position where the imprinting process can proceed. do. Even so, the film is not in complete contact with the substrate.

그런 다음, 임프린트 주행부(142)에 의해 임프린트 유닛(140)이 주행되면서 임프레스 롤(143)이 필름을 회전 가압한다. 그러면 임프레스 롤(143)에 의해 필름이 그 전단부에서 후단부에 이르기까지 순차적으로 접촉가압됨으로써 패턴의 복제과정, 즉 임프린트 공정이 진행된다. 이때, 임프레스 롤(143)에 이웃된 경화 모듈이 UV 경화과정을 통해 복제된 필름을 경화시킨다.Then, the imprint unit 140 is driven by the imprint running section 142, and the impression roll 143 rotates and presses the film. Then, the film is successively pressed by the impression roll 143 from the front end portion to the rear end portion thereof, thereby progressing the replication process of the pattern, that is, the imprint process. At this time, the curing module adjacent to the impression roll 143 cures the duplicated film through the UV curing process.

임프린트 공정이 완료되어 임프레스 롤(143)이 디몰딩 롤(153)에 이웃하게 배치되면 임프레스 롤(143)은 업(up) 동작된다. 그리고 디몰딩 롤(153)은 다운(down) 동작되어 필름을 가압함으로써 아직 경화되지 않은 필름이 기판으로부터 임의로 들뜨지 않도록 한다.When the imprint process is completed and the impression roll 143 is disposed adjacent to the demoulding roll 153, the impression roll 143 is operated up. And the demolding roll 153 is operated down to pressurize the film so that the film that has not yet been cured is not excited arbitrarily from the substrate.

복제 패턴에 대한 경화가 완료되면 앵글 롤 업/다운 구동부(156)에 의해 디몰딩 앵글 롤(155)이 화살표 방향으로 업/다운(up/down) 구동됨으로써, 디몰딩 앵글 롤(155)과 함께 필름에 대한 최적의 디몰딩 각도를 형성한다.When the curing for the copy pattern is completed, the molding roll 155 is driven up / down in the direction of the arrow by the angle roll up / down driving unit 156, Thereby forming an optimum deforming angle for the film.

그런 다음, 디몰딩 롤(153)이 업(up) 동작되고 이어 디몰딩 유닛(150)이 필름 공급 및 회수 유닛(170) 쪽으로 주행됨으로써 필름의 박리 공정, 즉 디몰딩 공정이 진행된다. 이때는 임프린트 유닛(140) 역시, 필름 공급 및 회수 유닛(170) 쪽으로 먼저 주행될 수 있다.Then, the demolding roll 153 is operated up, and the demolding unit 150 is driven to the film supply and recovery unit 170, whereby the film peeling process, that is, the demolding process, proceeds. At this time, the imprint unit 140 may also be driven first toward the film supply and collection unit 170.

한편, 이와 같은 작용 중에 필름에 대한 장력이 댄서 롤측 장력 불균형 보정부(220) 또는 장력 불균형 보정유닛(280)에 의해 보정될 수 있기 때문에 패턴의 복제품질이 떨어지는 것을 방지할 수 있다. 앞서도 기술한 것처럼 댄서 롤측 장력 불균형 보정부(220)는 자중에 의해 필름의 장력 불균형을 자동으로 보정하고, 장력 불균형 보정유닛(280)은 서보 방식을 통해 동력을 이용해서 필름의 장력 불균형을 보정하고 있기 때문에 필름에 대한 장력을 정확하게 보정할 수 있게 된다.On the other hand, during this operation, the tension on the film can be corrected by the dancer roll side tension imbalance correction unit 220 or the tension imbalance correction unit 280, thereby preventing the copy quality of the pattern from deteriorating. As described above, the tension imbalance correction unit 220 of the dancer roll side automatically corrects the tension imbalance of the film by its own weight, and the tension imbalance correction unit 280 corrects the tension imbalance of the film using the power through the servo system The tension on the film can be precisely corrected.

이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 댄서 롤(210)에 의해 가이드되는 필름의 장력 불균형을 용이하게 보정할 수 있으며, 이로 인해 패턴의 복제품질을 향상시킬 수 있게 된다.According to the present embodiment having the structure and function as described above, it is possible to easily correct the tension imbalance of the film guided by the dancer roll 210, thereby improving the reproduction quality of the pattern.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It is therefore intended that such modifications or alterations be within the scope of the claims appended hereto.

110 : 장치 테이블 120 : 스테이지
130 : 필름 픽싱 모듈 140 : 임프린트 유닛
143 : 임프레스 롤 150 : 디몰딩 유닛
153 : 디몰딩 롤 160 : 필름 사행 조절부
170 : 필름 공급 및 회수 유닛 210 : 댄서 롤
220 : 댄서 롤측 장력 불균형 보정부 230 : 보정 테이블
240 : 제1 장력 불균형 보정부 241 : 제1 무게추
250 : 제2 장력 불균형 보정부 251 : 제2 무게추
260 : 필름 피더 263 : 닙 롤
270 : 닙 롤 구동부 280 : 장력 불균형 보정유닛
300 : 컨트롤러110: apparatus table 120: stage
130: Film fixing module 140: Imprint unit
143: Impress roll 150: Demolding unit
153: Demolding roll 160: Film winding control part
170: Film supply and recovery unit 210: Dancer roll
220: dancer roll side tension imbalance correction unit 230: correction table
240: first tension imbalance correcting unit 241: first weight adding unit
250: second tension imbalance correction unit 251: second weight increment
260: Film feeder 263: Nip roll
270: nip roll driving unit 280: tension imbalance correction unit
300: controller

Claims (14)

마스터 몰드(master mold) 또는 기판(glass)과의 상호작용을 통해 필름(film)을 이용한 패턴(pattern)의 임프린트 공정을 진행하는 임프레스 롤(impress roll);
상기 임프레스 롤과 함께 상기 필름을 가이드하는 댄서 롤(dancer roll); 및
상기 댄서 롤에 연결되며, 상기 댄서 롤에 의해 가이드되는 상기 필름의 장력 불균형을 보정하는 댄서 롤측 장력 불균형 보정부를 포함하며,
상기 댄서 롤측 장력 불균형 보정부는,
보정 테이블;
제1 무게추를 구비하되 상기 댄서 롤의 일단부에서 상기 보정 테이블과 연결되며, 상기 제1 무게추의 하중에 기초하여 상기 댄서 롤의 일단부를 자동으로 위치 이동시키면서 상기 필름의 일단부에 대한 장력 불균형을 보정하는 제1 장력 불균형 보정부; 및
제2 무게추를 구비하되 상기 댄서 롤의 타단부에서 상기 보정 테이블과 연결되며, 상기 제2 무게추의 하중에 기초하여 상기 댄서 롤의 타단부를 자동으로 위치 이동시키면서 상기 필름의 타단부에 대한 장력 불균형을 보정하는 제2 장력 불균형 보정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.An impress roll which proceeds with the imprinting process of a pattern using a film through interaction with a master mold or a glass substrate;
A dancer roll guiding the film with the impression roll; And
And a dancer roll side tension imbalance corrector connected to the dancer roll, the dancer roll side tension imbalance correcting unit correcting the tension imbalance of the film guided by the dancer roll,
Wherein the dancer roll side tension imbalance correcting unit comprises:
Correction table;
And a first weight, the one end of the dancer roll being connected to the correction table, the one end of the dancer roll being automatically moved based on the load of the first weight, A first tension imbalance correcting unit for correcting an imbalance; And
And a second weight connected to the correction table at the other end of the dancer roll and automatically moving the other end of the dancer roll based on the load of the second weight, And a second tension imbalance correcting unit for correcting the tension imbalance. 제1항에 있어서,
상기 댄서 롤측 장력 불균형 보정부는,
상기 필름의 장력 차이로 인해 상기 댄서 롤의 양단부에 각각 걸리는 하중(weight)에 기초하여 상기 필름의 장력 불균형을 자동으로 보정하는 무동력 방식의 댄서 롤측 장력 불균형 보정부인 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.The method according to claim 1,
Wherein the dancer roll side tension imbalance correcting unit comprises:
Wherein the dancer roll side tension imbalance correction unit is a non-dynamic type dancer roll side tension imbalance correction unit that automatically corrects a tension imbalance of the film based on a weight applied to both ends of the dancer roll due to a tension difference of the film. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 장력 불균형 보정부와 상기 제2 장력 불균형 보정부는 동일한 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.The method according to claim 1,
Wherein the first tension imbalance correcting unit and the second tension imbalance correcting unit have the same structure. 제1항에 있어서,
상기 제1 장력 불균형 보정부는,
상기 필름이 당겨지는 방향을 따라 상기 보정 테이블 상에 마련되는 제1 가이드 레일;
상기 제1 가이드 레일에 결합되고 상기 제1 가이드 레일을 따라 이동되는 제1 레일 블록;
상기 제1 레일 블록과 상기 댄서 롤이 일단부를 연결하는 제1 블록 연결부; 및
상기 제1 무게추와 상기 제1 레일 블록에 연결되며, 상기 제1 무게추의 하중에 기초하여 상기 제1 레일 블록이 상기 제1 가이드 레일 상에서 직선운동되도록 하는 제1 운동 전달부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.The method according to claim 1,
Wherein the first tension imbalance correcting unit comprises:
A first guide rail provided on the correction table along a direction in which the film is pulled;
A first rail block coupled to the first guide rail and moved along the first guide rail;
A first block connecting part connecting one end of the first rail block and the dancer roll; And
And a first motion transmission unit connected to the first weight block and the first rail block and configured to linearly move the first rail block on the first guide rail based on the load of the first weight. . 제5항에 있어서,
상기 제1 운동 전달부는,
상기 보정 테이블 상에 마련되는 제1 도르래; 및
일단부는 상기 제1 무게추에 연결되고 타단부는 상기 제1 도르래에 가이드되어 상기 제1 레일 블록에 연결되는 제1 와이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.6. The method of claim 5,
Wherein the first motion transmission portion comprises:
A first sheave provided on the correction table; And
Wherein one end portion is connected to the first weight portion and the other end portion is connected to the first rail block by being guided by the first sheave. 제5항에 있어서,
상기 제1 장력 불균형 보정부는,
상기 제1 레일 블록의 기준위치에 배치되며, 상기 제1 레일 블록이 상기 기준위치를 벗어나지 않게 탄성적으로 지지하는 제1 저마찰 실린더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.6. The method of claim 5,
Wherein the first tension imbalance correcting unit comprises:
Further comprising a first low friction cylinder disposed at a reference position of the first rail block and elastically supporting the first rail block so as not to deviate from the reference position. 제7항에 있어서,
상기 제1 무게추는 상기 보정 테이블 상의 제1 브래킷에 지지되고, 상기 제1 저마찰 실린더 상의 제2 브래킷에 지지되는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.8. The method of claim 7,
Wherein the first weight is supported by a first bracket on the correction table and is supported by a second bracket on the first low friction cylinder. 제5항에 있어서,
상기 제1 블록 연결부는,
상기 댄서 롤의 일단부가 배치되되 상기 제1 레일 블록과 연결되는 고정 블록; 및
상기 고정 블록에 착탈 가능하게 결합되며, 상기 고정 블록과 함께 상기 댄서 롤의 일단부를 지지하는 착탈 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.6. The method of claim 5,
Wherein the first block connection portion includes:
A fixed block disposed at one end of the dancer roll and connected to the first rail block; And
And a detachable block detachably coupled to the fixed block and supporting the one end of the dancer roll together with the fixed block. 제1항에 있어서,
상기 댄서 롤의 주변에 배치되며, 상기 필름을 피딩(feeding)시키는 필름 피더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.The method according to claim 1,
Further comprising a film feeder disposed around the dancer roll and feeding the film. 제10항에 있어서,
상기 필름 피더는,
상기 필름의 피딩을 가이드하는 필름 피딩용 가이드 롤;
상기 필름 피딩용 가이드 롤에 이웃하게 배치되며, 구동모터의 동력에 의해 상기 필름을 피딩시키는 닙 롤(nip roll); 및
상기 닙 롤에 연결되며, 상기 닙 롤을 상기 필름 피딩용 가이드 롤에 접근 또는 이격 구동시키는 닙 롤 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.11. The method of claim 10,
The film feeder includes:
A guide roll for feeding a film to guide the feeding of the film;
A nip roll disposed adjacent to the film feeding guide roll and feeding the film by the power of the driving motor; And
And a nip roll driving unit connected to the nip roll, the nip roll driving unit moving the nip roll toward or away from the film feeding guide roll. 제11항에 있어서,
상기 닙 롤 구동부는,
상기 닙 롤의 길이방향을 따라 상기 닙 롤의 양단부에 대칭적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.12. The method of claim 11,
The nip roll driving unit includes:
Wherein the nip rolls are symmetrically disposed at both ends of the nip roll along the longitudinal direction of the nip roll. 제11항에 있어서,
상기 닙 롤 구동부는,
상기 구동모터가 연결되되 상기 닙 롤의 일단부에 배치되는 제1 연결부를 업/다운(up/down) 구동 가능하게 지지하는 제1 업/다운 구동부; 및
상기 구동모터의 반대편에서 상기 닙 롤의 타단부에 배치되는 제2 연결부를 업/다운(up/down) 구동 가능하게 지지하는 제2 업/다운 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.12. The method of claim 11,
The nip roll driving unit includes:
A first up / down driving unit connected to the driving motor and supporting the first connection unit disposed at one end of the nip roll so as to be able to drive up / down; And
And a second up / down driving unit for supporting the second connecting unit disposed at the other end of the nip roll on the opposite side of the driving motor so as to be able to drive up / down. 제1항에 있어서,
상기 임프레스 롤과 상호작용하여 상기 임프린트 공정을 진행하되 상기 임프린트 공정의 완료 후에 상기 필름을 박리시키는 디몰딩 공정을 진행하는 디몰딩 롤(demolding roll); 및
상기 임프린트 공정이 진행되는 스테이지(stage)를 더 포함하며,
상기 임프레스 롤은 상기 스테이지에 대하여 상대 이동 가능한 임프린트 유닛(imprint unit)에 마련되며,
상기 디몰딩 롤은 상기 임프린트 유닛과는 분리되어 개별적으로 마련되되 상기 스테이지에 대하여 상대 이동 가능한 디몰딩 유닛(demolding unit)에 마련되는 것을 특징으로 하는 패턴 복제장치.The method according to claim 1,
A demolding roll for performing a demolding process for interacting with the impregn roll to perform the imprint process and peeling the film after completion of the imprint process; And
And a stage on which the imprinting process is performed,
Wherein the impression roll is provided in an imprint unit movable relative to the stage,
Wherein the demolding roll is provided separately from the imprinting unit and is provided in a demolding unit that is movable relative to the stage.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101150959B1 (en) * 2011-01-17 2012-05-29 (주)피엔티 Apparatus for forming pattern on light guide panel
KR20130051001A (en) * 2010-10-08 2013-05-16 도시바 기카이 가부시키가이샤 Demolding device
KR20130133184A (en) * 2010-11-22 2013-12-06 아사히 가라스 가부시키가이샤 Transfer device and method for producing resin pattern
KR20140109624A (en) * 2013-03-06 2014-09-16 삼성전자주식회사 Large scaled imprint apparatus and method
KR20150045508A (en) * 2012-10-05 2015-04-28 제이엑스 닛코닛세키 에네루기 가부시키가이샤 Manufacturing method for optical substrate using film shaped mold, manufacturing device, and optical substrate obtained thereby

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130051001A (en) * 2010-10-08 2013-05-16 도시바 기카이 가부시키가이샤 Demolding device
KR20130133184A (en) * 2010-11-22 2013-12-06 아사히 가라스 가부시키가이샤 Transfer device and method for producing resin pattern
KR101150959B1 (en) * 2011-01-17 2012-05-29 (주)피엔티 Apparatus for forming pattern on light guide panel
KR20150045508A (en) * 2012-10-05 2015-04-28 제이엑스 닛코닛세키 에네루기 가부시키가이샤 Manufacturing method for optical substrate using film shaped mold, manufacturing device, and optical substrate obtained thereby
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