KR101873770B1 - Continous compression sintering furnace and continous compression sintering method - Google Patents

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Abstract

본 발명은 연속식 압착 진공 소결로 및 연속식 압착 진공 소결 방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 피소결체의 예열, 압착/소결, 및 냉각을 연계된 독립 로에서 연속적으로 진행함에 따라 생산성 향상을 도모할 수 있도록 구성된 연속식 압착 진공 소결로 및 연속식 압착 진공 소결 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 압착 진공 소결로는 대차에 적재된 피소결체를 예열하는 예열로; 상기 예열로에서 예열된 상기 피소결체가 압착 및 소결되는 진공 소결로; 상기 진공 소결로에서 압착 및 소결된 상기 피소결체가 냉각되는 냉각로; 상기 예열로와 상기 진공 소결로 사이에 설치되며, 개폐기능이 구비된 1차 격벽; 및 상기 진공 소결로와 상기 냉각로 사이에 설치되며, 개폐기능이 구비된 2차 격벽;을 포함하며, 상기 피소결체는 상기 예열로, 상기 진공 소결로, 및 상기 냉각로를 차례로 통과하는, 연속식 압착 진공 소결로를 제공한다. The present invention relates to a continuous squeeze vacuum sintering furnace and a continuous squeeze vacuum sintering method, and more particularly, to a continuous squeeze vacuum sintering process, A continuous squeeze vacuum sintering furnace and a continuous squeeze vacuum sintering process.
A squeeze vacuum sintering furnace according to the present invention comprises a preheating furnace for preheating a sintering furnace loaded on a bogie; A vacuum sintering furnace for sintering the sintered body preheated in the preheating furnace; A cooling furnace for cooling the sintered compact sintered and sintered in the vacuum sintering furnace; A primary partition wall provided between the preheating furnace and the vacuum sintering furnace and having an opening / closing function; And a secondary barrier disposed between the vacuum sintering furnace and the cooling furnace and having an opening and closing function, wherein the furnace assembly includes a plurality of openings for passing through the preheating furnace, the vacuum sintering furnace, Thereby providing a squeeze vacuum sintering furnace.

Figure R1020160045570
Figure R1020160045570

Description

연속식 압착 진공 소결로 및 연속식 압착 진공 소결 방법{CONTINOUS COMPRESSION SINTERING FURNACE AND CONTINOUS COMPRESSION SINTERING METHOD}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a continuous sintering vacuum sintering furnace and a continuous sintering vacuum sintering method,

본 발명은 연속식 압착 진공 소결로 및 연속식 압착 진공 소결 방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 피소결체의 예열, 압착/소결, 및 냉각을 연계된 독립 로에서 연속적으로 진행함에 따라 생산성 향상을 도모할 수 있도록 구성된 연속식 압착 진공 소결로 및 연속식 압착 진공 소결 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a continuous squeeze vacuum sintering furnace and a continuous squeeze vacuum sintering method, and more particularly, to a continuous squeeze vacuum sintering process, A continuous squeeze vacuum sintering furnace and a continuous squeeze vacuum sintering process.

종래의 압착/진공 소결로는 피소결체와 피소결체 간의 소결을 방지하기 위해 각 피소결체 사이에 삽입된 이형제를 압착/진공 소결로에 거치한 후 진공 상태에서 소결 온도까지 승온 후 압착하는 방식의 배치식 압착/진공 소결로가 일반적이다. In the conventional squeeze / vacuum sintering furnace, in order to prevent the sintering between the sintering and the sintering of the sintered body, the release agent inserted between the sintered bodies is placed in a sintering / vacuum sintering furnace, Conventional squeezing / vacuum sintering furnaces are common.

이러한 배치식 소결로는 피소결체를 소결 온도까지 승온시키기 위해서 습식이나 건식 방식이 이용되고 있으나 모두 불활성 작동 유체를 이용한 승온 방법이며, 노 내부의 전기히터를 통한 대류 열전달 방식을 채용하고 있기 때문에 소결 온도까지 승온을 위해 많은 시간이 요구된다. 그리고 피소결체의 냉각 공정 또한 동일 노 내에서 이루어지기 때문에 승온을 위해 공급된 에너지가 불활성 냉각 유체를 통해 모두 냉각되어야 하므로 에너지 손실이 큰 단점이 있다. 또한, 피소결체의 장입부터 냉각까지 많은 시간이 소요되기 때문에 생산성이 결여되어 대용량 생산 공정 적용 시에 피소결체 제작을 위해 많은 시간이 소요됨과 동시에 제작비용이 증가한다는 단점이 있다. In the batch type sintering furnace, a wet type or a dry type is used to raise the sintering temperature to the sintering temperature. However, since all of the sintering furnaces employ a convection heat transfer method through an electric heater inside the furnace, A large amount of time is required for the temperature rise. Also, since the cooling process of the entanglement is also performed in the same furnace, the energy supplied for raising the temperature must be completely cooled through the inert cooling fluid. In addition, since it takes a long time from charging to cooling of the bead assembly, it takes a lot of time to manufacture a bead assembly when a large-capacity production process is applied due to lack of productivity, and the manufacturing cost is increased.

한편, 유사한 기술을 살펴보면, 한국공개특허 제10-2012-0011136호의 소결로에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 성형체를 소결하기 위한 소결로에 관한 것이다. 이를 위해, 내부에 성형체가 장입되어 소결되는 챔버; 상기 챔버의 상측에 설치되며, 상기 챔버의 내부와 외부를 연통시키는 배기구; 및 상기 배기구의 상기 챔버 외부로 돌출된 부분을 가열하는 히터(heater);를 포함하는 것을 특징으로 하는 소결로를 제공한다. 이러한 기존 기술은 배치식 소결로를 이용하고 압착 소결 방식과 냉각방식, 예열 방식이 모두 분리되어 있어 에너지 효율이 저하되는 문제점이 있었다. On the other hand, a similar technique is disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 10-2012-0011136, and more particularly, to a sintering furnace for sintering a compact. To this end, a chamber is provided in which a compact is charged and sintered; An exhaust port installed above the chamber and communicating the inside and the outside of the chamber; And a heater for heating a portion of the exhaust port projecting to the outside of the chamber. Such conventional techniques have been disadvantageous in that the batch sintering furnace is used and the sintering method, the cooling method, and the preheating method are separated from each other, thereby deteriorating energy efficiency.

(문헌 1) 대한민국 등록특허공보 제10-0432161호(2004.05.07.)(Document 1) Korean Patent Registration No. 10-0432161 (2004.05.07.)

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 피소결체의 예열, 압착/소결, 및 냉각을 연계된 독립 로에서 연속적으로 진행함에 따라 에너지 효율이 향상되고 기존의 제한된 공간에서 피소결체를 생산함으로써 발생하는 생산성 결여 문제를 해결하는데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus for continuously improving the energy efficiency in the independent furnace associated with preheating, compression / sintering, To solve the problem of lack of productivity caused by the production of the product.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르면, 대차에 적재된 피소결체를 예열하는 예열로; 상기 예열로에서 예열된 상기 피소결체가 압착 및 소결되는 진공 소결로; 상기 진공 소결로에서 압착 및 소결된 상기 피소결체가 냉각되는 냉각로; 상기 예열로와 상기 진공 소결로 사이에 설치되며, 개폐기능이 구비된 1차 격벽; 및 상기 진공 소결로와 상기 냉각로 사이에 설치되며, 개폐기능이 구비된 2차 격벽;을 포함하며, 상기 피소결체는 상기 예열로, 상기 진공 소결로, 및 상기 냉각로를 차례로 통과하는, 연속식 압착 진공 소결로를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a preheating furnace for preheating a furnace body mounted on a truck. A vacuum sintering furnace for sintering the sintered body preheated in the preheating furnace; A cooling furnace for cooling the sintered compact sintered and sintered in the vacuum sintering furnace; A primary partition wall provided between the preheating furnace and the vacuum sintering furnace and having an opening / closing function; And a secondary barrier disposed between the vacuum sintering furnace and the cooling furnace and having an opening and closing function, wherein the furnace assembly includes a plurality of openings for passing through the preheating furnace, the vacuum sintering furnace, Thereby providing a squeeze vacuum sintering furnace.

상기 예열로는, 상기 피소결체가 유입되는 개폐구; 상기 피소결체를 예열하는 유도 전류 발생 코일; 상기 유도 전류 발생 코일 내부에서 상기 피소결체가 상하 이동하도록 하는 수직 이동 장치; 및 상기 피소결체를 상기 예열로에서 상기 진공 소결로로 이송하는 제 1 이송 장치;를 포함하는 것이 바람직하다. Wherein the preheating furnace includes: an opening / closing port into which the subject assembly flows; An induction current generating coil for preheating said subject assembly; A vertical movement device for causing the subject assembly to move up and down within the induction current generating coil; And a first transfer device for transferring the bonded structure from the preheat furnace to the vacuum sintering furnace.

상기 진공 소결로는, 상기 예열로에서 이송된 상기 피소결체를 압착하는 유압 장치; 상기 대차의 이탈을 방지하기 위한 전자석 장치; 및 상기 전자석 장치가 설치되고, 상기 피소결체의 이동로가 되는 하부 지지대;를 포함하는 것이 바람직하다. The vacuum sintering furnace includes: a hydraulic pressure device for pressing the sludge conveyed by the preheating furnace; An electromagnet device for preventing departure of the bogie; And a lower support member on which the electromagnet device is installed and which serves as a movement path of the subject assembly.

상기 냉각로는, 냉각 유체를 공급하는 냉각 유체 공급 노즐; 상기 진공 소결로에서 압착 소결된 상기 피소결체를 상기 냉각로로 이송하는 제 2 이송장치; 및 냉각된 상기 피소결체를 외부로 배출시키는 게이트;를 포함하는 것이 바람직하다. The cooling furnace includes: a cooling fluid supply nozzle for supplying a cooling fluid; A second conveying device for conveying the sintered compact sintered and sintered in the vacuum sintering furnace to the cooling furnace; And a gate for discharging the cooled resultant assembly to the outside.

상기 개폐구는 외부 활성 가스가 유입되지 않도록 그라파이트 재질의 밀폐용 가스켓;을 포함하는 것이 바람직하다. The opening and closing port preferably includes a sealing gasket made of a graphite material so that the external active gas is not introduced.

상기 1차 격벽은, 1차 상부 격벽; 1차 하부 격벽; 및 열 손실을 방지하는 1차 보온제;를 포함하며, 상기 1차 하부 격벽은 상기 1차 상부 격벽측으로 개방되며, 상기 1차 하부 격벽과 상기 하부 지지대는 서로 지그재그로 맞물리도록 형성되며, 상기 1차 하부 격벽과 상기 하부 지지대 사이에는 가스켓이 설치되는 것이 바람직하다. The primary barrier rib includes a primary upper barrier rib; Primary lower bulkhead; And the primary lower partition wall is opened to the primary upper partition wall side, the primary lower partition wall and the lower support base are formed so as to be staggered with each other, It is preferable that a gasket is provided between the car lower partition and the lower support.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 피소결체를 예열하는 예열 단계; 상기 예열된 피소결체를 진공 소결로로 이송하는 제 1 이송 단계; 상기 제 1 이송단계에 의해 이송된 상기 피소결체를 압착 및 소결하는 압착 소결 단계; 상기 압착 및 소결된 피소결체를 냉각로로 이송하는 제 2 이송 단계; 및 상기 제 2 이송단계에 의해 이송된 상기 피소결체를 냉각하는 냉각 단계;를 포함하며, 상기 각 단계가 연속적으로 수행되는, 연속식 압착 진공 소결 방법을 제공한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, A first transferring step of transferring the preheated bonded body to a vacuum sintering furnace; A pressing and sintering step of squeezing and sintering the sintered body transferred by the first transferring step; A second conveying step of conveying the press-bonded and sintered hearth assembly to a cooling furnace; And a cooling step of cooling the sintered body transferred by the second transfer step, wherein each of the above steps is continuously performed.

상기 예열 단계는 유도 전류 발생 코일에 의해 예열되는 것이 바람직하다. The preheating step is preferably preheated by an induction current generating coil.

본 발명에 따르면, 피소결체의 예열, 압착/소결, 및 냉각을 연계된 독립 로에서 연속적으로 진행함에 따라 열에너지 배출이 최소화되어 에너지 효율이 향상되고, 생산성이 향상되는 효과가 있다. According to the present invention, as the continuous progress of the furnace assembly in the independent furnace associated with the preheating, compression / sintering, and cooling is minimized, the heat energy discharge is minimized, the energy efficiency is improved, and the productivity is improved.

또한, 유도 전류 예열로를 이용하여 단시간에 예열이 가능하여 생산성이 향상되는 효과가 있다. Also, since the preheating can be performed in a short time by using the induction current preheating furnace, the productivity is improved.

도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 연속식 압착 진공 소결로를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 연속식 압착 진공 소결로에서 피소결체가 이동하는 모습을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 예열로에서 수직 이동 장치에 의해 피소결체가 유도 전류 발생 코일 내부에서 예열되는 모습을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 예열로에서 수직 이동 장치에 의해 피소결체가 유도 전류 발생 코일 아래로 하강한 모습을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시례에 따른 격벽과 하부지지대의 밀폐구조를 도시한 도면이다. 1 is a view showing a continuous squeeze vacuum sintering furnace according to one embodiment of the present invention.
2 is a view showing a state in which a bonded body moves in a continuous squeeze vacuum sintering furnace according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a view showing a state in which a bonded body is preheated in an induction current generating coil by a vertical moving device in a preheating furnace according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 4 is a view showing a state in which a bonded structure is lowered below an induced current generating coil by a vertical moving device in a preheating furnace according to an embodiment of the present invention. FIG.
5 is a view showing a sealing structure of a partition and a lower support according to an embodiment of the present invention.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시례에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. 또한, 하기 실시례는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시례에 한정되는 것은 아니다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, the following embodiments can be modified into various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the following embodiments.

도 1은 본 발명의 일 실시례에 따른 연속식 압착 진공 소결로를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시례에 따른 연속식 압착 진공 소결로에서 피소결체가 이동하는 모습을 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시례에 따른 예열로에서 수직 이동 장치에 의해 피소결체가 유도 전류 발생 코일 내부에서 예열되는 모습을 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시례에 따른 예열로에서 수직 이동 장치에 의해 피소결체가 유도 전류 발생 코일 아래로 하강한 모습을 도시한 도면이다. FIG. 1 is a view showing a continuous squeeze vacuum sintering furnace according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a state in which a sintering body moves in a continuous squeeze vacuum sintering furnace according to an embodiment of the present invention FIG. 3 is a view showing a state in which a bonded body is preheated in the induction current generating coil by a vertical moving device in a preheating furnace according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross- In the preheating furnace according to the second embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시례에 따른 연속식 압착 진공 소결로(100)는 대차(11)에 적재된 피소결체(10)를 예열하는 예열로(110), 예열로(110)에서 예열된 피소결체가 압착 및 소결되는 진공 소결로(120), 진공 소결로(120)에서 압착 및 소결된 피소결체가 냉각되는 냉각로(130), 예열로(110)와 진공 소결로(120) 사이에 설치되며, 개폐기능이 구비된 1차 격벽(140), 및 진공 소결로(120)와 냉각로(130) 사이에 설치되며, 개폐기능이 구비된 2차 격벽(150)을 포함할 수 있다. 1 to 4, a continuous squeeze vacuum sintering apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a preheating furnace 110 for preheating a sintered body 10 loaded on a bogie 11, A vacuum sintering furnace 120 for squeezing and sintering the preheated sintering furnace in the preheating furnace 110, a cooling furnace 130 for cooling the sintered compact sintered and sintered in the vacuum sintering furnace 120, a preheating furnace 110 A primary partition wall 140 provided between the vacuum sintering furnace 120 and having an opening and closing function and a secondary partition wall 140 installed between the vacuum sintering furnace 120 and the cooling passage 130, 150).

피소결체(10)는 소결을 수행할 시에, 피소결체간의 소결을 방지하기 위해 피소결체와 피소결체 사이에 이형제가 삽입되도록 할 수 있다. 즉, 이형제는 소결을 시키고자 하는 피소결체 모듈과 모듈 사이에 거치하여 피소결체 모듈과 모듈 사이에 소결되는 것을 방지하고자 삽입하는 구조로 되어 있다.In the sintered body 10, when the sintering is performed, the mold release agent may be inserted between the sintered body and the sintered body to prevent sintering between the sintered bodies. That is, the mold release agent is inserted between the mold assembly module to be sintered and the module so as to prevent sintering between the mold assembly module and the module.

이와 같은 구성으로 적재된 피소결체(10)는 대차(11)에 실려 예열로 상부에 설치된 개폐구(111)를 통해 예열로 내부로 진입할 수 있다. 개폐구(111)에는 예열되는 동안 외부 활성 가스가 유입되지 않도록 그라파이트(graphite) 재질의 밀폐용 가스켓이 설치될 수 있다. In this configuration, the bonded body 10 loaded on the bogie 11 can enter the preheating furnace through the opening / closing port 111 installed on the upper part of the preheating furnace. The opening and closing port 111 may be provided with a sealing gasket made of a graphite material so that the external active gas may not be introduced during preheating.

예열로(110)는 피소결체(10)가 유입되는 개폐구(111) 이외에, 피소결체(10)를 예열하는 유도 전류 발생 코일(112)과 유도 전류 발생 코일(112) 내부에서 피소결체(10)가 상하 이동하도록 하는 수직 이동 장치(113)와 피소결체(10)를 예열로(110)에서 진공 소결로(120)로 이송하는 제 1 이송 장치(114)를 포함할 수 있다. The preheating furnace 110 includes an induction current generating coil 112 for preheating the filament assembly 10 and a filament assembly 10 in the induction current generating coil 112 in addition to the opening and closing port 111 through which the filament assembly 10 flows, And a first conveying device 114 for conveying the resultant assembly 10 from the preheating furnace 110 to the vacuum sintering furnace 120. The vertical conveying device 113 includes a vertical conveying device 113,

도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 개폐구(111)를 통해 예열로(110)로 진입한 피소결체(10)는 예열로(110) 내부에서 상하 이동하는 수직 이동 장치(113)에 실려져서 예열로(110)의 상부로부터 하부로 이동하게 된다. 피소결체(10)가 실린 수직 이동 장치(113)가 상부에서 하부로 이동하면서 예열로(110)에 설치된 유도 전류 발생 코일(112)을 통과하게 되며, 유도 전류 발생 코일(112)을 통과한 피소결체(10)는 약 700 ~ 800℃로 예열될 수 있다. 3 to 4, the bonded body 10 which has entered the preheating furnace 110 through the opening / closing port 111 is loaded in the vertical moving device 113 moving up and down in the preheating furnace 110 And moves from the upper portion of the preheating furnace 110 to the lower portion thereof. The vertical moving device 113 in which the subject assembly 10 is placed passes from the top to the bottom and passes through the induction current generating coil 112 installed in the preheating furnace 110, The formation 10 may be preheated to about 700 to 800 < 0 > C.

예열된 피소결체(10)는 제 1 이송장치(114)에 의해 예열로(110)에서 진공 소결로(120)로 이동하게 되며, 이때 1차 격벽(140)이 개방되며, 피소결체(10)가 진공 소결로(120)로 이동이 완료되면, 1차 격벽(140)이 패쇄된다. The preheated bonded body 10 is moved from the preheating furnace 110 to the vacuum sintering furnace 120 by the first transfer device 114. The primary partition wall 140 is opened and the bonded body 10 is opened, The first barrier rib 140 is closed when the vacuum chamber 120 is completely moved to the vacuum sintering furnace 120.

피소결체(10)가 실린 대차(11)에 바퀴와 같은 이송수단을 포함하고, 자성의 성질을 가지도록 하여, 전자석 모듈을 포함하는 제 1 이송장치(114)가 대차(11)에 붙도록 하고 텔레스코픽하게 늘어나면서 수평으로 피소결체(11)를 밀어서 피소결체(10)가 진공 소결로(120)로 용이하게 이동될 수 있도록 한다. A first conveying device 114 including an electromagnet module is attached to the carriage 11 so that the carriage 11 on which the completion conveying member 10 is placed includes a conveying means such as a wheel and has magnetic properties So that the bonded body 10 can be easily moved to the vacuum sintering furnace 120 by pushing the bonded body 11 horizontally while stretching telescopically.

진공 소결로(120)는 예열로(110)에서 이송된 피소결체(10)를 압착하는 유압 장치(121), 대차(11)의 이탈을 방지하기 위한 전자석 장치(122), 및 전자석 장치(122)가 설치되고, 피소결체(10)의 이동로가 되는 하부 지지대(123)를 포함할 수 있다. The vacuum sintering furnace 120 includes a hydraulic device 121 for pressing the bonded body 10 transferred from the preheating furnace 110, an electromagnet device 122 for preventing the deviation of the bogie 11, and an electromagnet device 122 And a lower support 123 which is a traveling path of the subject 10.

하부 지지대(123)는 냉각로(130)까지 연장되어 설치될 수 있으며, 피소결체(10)를 적재한 대차f(11)가 예열로(110)의 수직 이동 장치(113)로부터 진공 소결로(120)를 거쳐 냉각로(130)로 이동하는데 용이하도록 수직 이동 장치(113)의 높이와 동일한 높이가 되도록 할 수 있다. The lower support 123 may extend to the cooling furnace 130 and the conveyance f 11 loaded with the furnace assembly 10 may be connected to the vertical movement device 113 of the preheater 110 via a vacuum sintering furnace 120 so as to be easily moved to the cooling furnace 130. In this case,

여기서, 동일한 높이란 대차가 놓이는 위치를 의미하며, 설치되는 바닥의 높이의 미차가 있는 경우도 포함하는 의미로 사용될 수 있다. Here, the same height means the position where the bogie is placed, and may be used to mean that there is a difference in the height of the installed floor.

또한, 진공 소결로(120)의 진공상태와 밀폐를 유지하기 위해 진공 소결로(120)로 피소결체(10)가 유입되는 1차 격벽(140)과 피소결체(10)가 배출되는 2차 격벽(150)은 밀폐가 유지되도록 하여야 한다. In order to maintain the vacuum state and the closed state of the vacuum sintering furnace 120, a primary partition wall 140 and a secondary partition wall 140, through which the substrate 10 flows into the vacuum sintering furnace 120, (150) is to be kept sealed.

1차 격벽(140)은 예열로(110)와 진공 소결로(120) 사이에 설치되며, 1차 상부 격벽(141), 1차 하부 격벽(142), 및 열 손실을 방지하는 1차 보온제(143)를 포함할 수 있으며, 피소결체(10)가 예열로(110)에서 진공 소결로(120)로 이송될 때, 1차 하부 격벽(142)은 1차 상부 격벽(141)측으로 개방될 수 있다. The primary partition 140 is installed between the preheating furnace 110 and the vacuum sintering furnace 120 and includes a primary upper partition wall 141, a primary lower partition wall 142, The primary lower partition wall 142 may be opened toward the primary upper partition wall 141 when the sintered body 10 is transferred from the preheating furnace 110 to the vacuum sintering furnace 120 .

한편, 진공 소결(120)로는 기밀이 유지됨으로써 외부의 진공공급부(미도시)로부터 가해지는 진공에 의해 소결이 이루어지는 내부공간이 진공 상태를 유지하도록 하기 위해, 1차 격벽(140)과 피소결체(10)의 이동로가 되는 하부지지대(123) 사이에는 기밀이 유지되어야 한다. 이를 위해, 1차 하부 격벽(142)과 하부 지지대(123)는 서로 지그재그로 맞물리도록 형성되며, 1차 하부 격벽(142)과 하부 지지대(123) 사이에는 가스켓이 설치되어 진공 소결로(120)의 진공 상태를 유지할 수 있다. Meanwhile, the vacuum sintering 120 maintains the airtightness, so that the inner space in which the sintering is performed by the vacuum applied from the external vacuum supply unit (not shown) maintains the vacuum state, 10 should be kept airtight between the lower supports 123, A gasket is provided between the primary lower partition wall 142 and the lower support 123 to form a vacuum sintering furnace 120. The vacuum sintering furnace 120 is provided with a gasket between the primary lower partition wall 142 and the lower support 123, It is possible to maintain the vacuum state.

도 5는 본 발명의 일 실시례에 따른 격벽과 하부지지대의 밀폐구조를 도시한 도면이다. 5 is a view showing a sealing structure of a partition and a lower support according to an embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 1차 하부 격벽(142)의 일측이 오목부(144)와 돌출부(145)가 서로 교대로 형성되고, 이에 대응되도록 1차 하부 격벽(142)과 마주하는 하부지지대(123)의 일측은 돌출부(124)와 오목부(125)가 서로 교대로 형성되도록 하여, 1차 하부 격벽(142)의 오목부(144)와 하부 지지대(123)의 돌출부(124)가 맞물리고, 1차 하부 격벽(142)의 돌출부(145)가 하부 지지대(123)의 오목부(125)와 맞물리도록 하며, 서로 맞물린 부분의 기밀을 위해 각 오목부와 돌출부가 만나는 곳에 가스켓(126, 146)이 설치될 수 있다. As shown in FIG. 5, one side of the primary lower partition wall 142 is formed by alternately forming the recess 144 and the protrusion 145, and the lower support 142 facing the primary lower partition 142 The concave portion 144 of the primary lower partition wall 142 and the protrusion 124 of the lower support 123 are engaged with each other so that the protrusion 124 and the concave portion 125 are alternately formed on one side of the lower partition wall 123 And the projections 145 of the primary lower partition wall 142 are engaged with the recesses 125 of the lower support 123 and the gaskets 126, 146 may be installed.

마찬가지로, 2차 격벽(150)은 진공 소결로(120)와 냉각로(130) 사이에 설치되며, 2차 상부 격벽(151), 2차 하부 격벽(152), 및 열 손실을 방지하는 2차 보온제(미도시)를 포함할 수 있으며, 피소결체(10)가 진공 소결로(120)에서 냉각로(130)로 이송될 때, 2차 하부 격벽(152)은 2차 상부 격벽(151)측으로 개방될 수 있다. Similarly, the secondary partition 150 is provided between the vacuum sintering furnace 120 and the cooling passage 130 and includes a secondary upper partition wall 151, a secondary lower partition wall 152, and a secondary And the secondary lower partitions 152 are connected to the secondary upper partitions 151 when the resultant body 10 is transferred from the vacuum sintering furnace 120 to the cooling path 130. [ Lt; / RTI >

2차 격벽(150)과 피소결체(10)의 이동로가 되는 하부지지대(123) 사이에는 기밀이 유지되어야 하며, 이를 위해, 2차 하부 격벽(152)과 하부 지지대(123)는 서로 지그재그로 맞물리도록 형성되며, 2차 하부 격벽(152)과 하부 지지대(123) 사이에는 가스켓이 설치될 수 있다. The secondary lower partition 152 and the lower support 123 are zigzagged between the secondary partition 150 and the lower support 123 which is a path of movement of the body 10, And a gasket may be provided between the secondary lower partition 152 and the lower support 123.

즉, 2차 하부 격벽(152)의 일측이 오목부와 돌출부가 서로 교대로 형성되고, 이에 대응되도록 2차 하부 격벽(152)과 마주하는 하부지지대(123)의 일측은 돌출부와 오목부가 서로 교대로 형성되도록 하여, 2차 하부 격벽(152)의 오목부와 하부 지지대(123)의 돌출부가 맞물리고, 2차 하부 격벽(152)의 돌출부가 하부 지지대(123)의 오목부와 맞물리도록 하며, 서로 맞물린 부분의 기밀을 위해 각 오목부와 돌출부가 만나는 곳에 가스켓이 설치되어 진공 소결로(120)의 진공 상태를 유지할 수 있다. That is, one side of the secondary lower partition 152 is alternately formed with the concave portion and the protruding portion, and one side of the lower support 123 facing the secondary lower partition 152 corresponds to the protrusion and the concave portion alternately So that the recess of the secondary lower partition 152 and the protrusion of the lower support 123 are engaged and the protrusion of the secondary lower partition 152 is engaged with the recess of the lower support 123, A gasket may be installed at a position where the concave portions and the protruding portions meet to seal the mutually engaged portions so that the vacuum sintering furnace 120 can maintain a vacuum state.

2차 격벽(150)은 진공 소결로(120)와 냉각로(130) 사이에서 열 전환을 최소화하기 위해 2중 격벽(152a, 152b)으로 설치될 수 있다. The secondary barrier ribs 150 may be provided as double barrier ribs 152a and 152b to minimize heat conversion between the vacuum sintering furnace 120 and the cooling furnace 130. [

고온으로 예열된 피소결체(10)가 진공 소결로(120) 내부로 이동되면, 1차 격벽(140)과 2차 격벽(150)이 패쇄되고, 진공 소결로(120) 내부는 진공상태를 유지하도록 진공공급부(미도시)와 연결된 진공펌프(미도시)가 가동된다. 이로써, 진공 소결로(120) 내부는 진공상태 및 밀폐를 유지하게 된다. 이 상태에서 피소결체(10)는 진공 소결로(120)의 상부에 설치된 유압 장치(121)에 의해 압착되는데, 압착 시 바퀴를 구비한 대차(11)가 이탈하지 않게 하기 위해 하부 지지대(123)에 설치된 전자석 장치(122)에 의해 압착 소결이 진행되는 동안 피소결체(10)의 위치를 고정하게 할 수 있다. The primary partition wall 140 and the secondary partition wall 150 are closed and the inside of the vacuum sintering furnace 120 is maintained in a vacuum state when the furnace body 10 preheated at a high temperature is moved into the vacuum sintering furnace 120 A vacuum pump (not shown) connected to a vacuum supply unit (not shown) is operated. As a result, the inside of the vacuum sintering furnace 120 maintains the vacuum state and the closed state. In this state, the sintered body 10 is pressed by the hydraulic device 121 installed on the upper portion of the vacuum sintering furnace 120. In order to prevent the wheel 11 having the wheels from coming off during the squeezing operation, The position of the bonded body 10 can be fixed while the pressing and sintering is progressed by the electromagnet device 122 provided on the base body.

압착 및 소결이 완료된 피소결체(10)는 진공 소결로(120)에서 냉각로(130)로 이동하게 되는데, 이동을 위해서 2차 격벽(150)이 개방되며, 피소결체(10)는 냉각로(130)에 설치된 제 2 이송 장치(132)에 의해 냉각로(130) 내부로 이송되게 된다. The sintered compact 10 having been subjected to the squeezing and sintering is moved from the vacuum sintering furnace 120 to the cooling furnace 130. The secondary partition wall 150 is opened for movement, 130 to the inside of the cooling furnace 130 by the second conveying device 132 installed in the second conveying device 130.

제 2 이송 장치(132)는 전자석 모듈을 포함하며, 제어부(133)에 의해 텔레스코픽하게 늘어나면서 자성을 띤 대차(11)에 전자석을 접촉시킨 후 피소결체(10)를 냉각로(130)로 이동하도록 한다. 피소결체(10)가 냉각로(130)로 이동되면, 2차 격벽(150)이 패쇄된다. The second conveying device 132 includes an electromagnet module and moves the electromagnet 10 to the cooling path 130 after the electromagnet is brought into contact with the electromagnet 11 which is telescopically stretched and magnetized by the control unit 133 . When the bonded body 10 is moved to the cooling furnace 130, the secondary partition wall 150 is closed.

냉각로(130)는 냉각 유체를 공급하는 냉각 유체 공급 노즐(131)과 진공 소결로(120)에서 압착된 피소결체(10)를 냉각로(130)로 이송하는 제 2 이송 장치(132), 및 냉각된 피소결체(10)를 외부로 배출시키는 게이트(134)를 포함할 수 있다. The cooling furnace 130 includes a cooling fluid supply nozzle 131 for supplying a cooling fluid and a second conveying device 132 for conveying the sintered body 10 pressed by the vacuum sintering furnace 120 to the cooling furnace 130, And a gate 134 for discharging the cooled substrate 10 to the outside.

냉각로(130)로 이동된 피소결체(10)는 냉각 유체 공급 노즐(131)에서 분사되는 질소 등의 불활성 냉각 유체를 통해 냉각되며, 냉각이 완료된 피소결체(10)는 제 2 이송 장치(132)에 의해 게이트(134)를 통해 외부로 배출될 수 있다. The cooled body 10 moved to the cooling path 130 is cooled through an inert cooling fluid such as nitrogen injected from the cooling fluid supply nozzle 131 and the cooled body 10 is cooled by the second transfer device 132 To the outside through the gate 134.

이로써, 피소결체(10)는 예열로(110), 진공 소결로(120), 및 냉각로(130)를 차례로 통과하며 소결될 수 있으며, 도 2에 도시된 바와 같이, 피소결체(10, 10')들이 연속적으로 진행될 수 있다. As a result, the sintered body 10 can be sintered through the preheating furnace 110, the vacuum sintering furnace 120, and the cooling furnace 130 in order, and as shown in Fig. 2, 'May proceed continuously.

한편, 본 발명의 일 실시례에 따른 연속식 압착 진공 소결 방법은 피소결체를 예열하는 예열 단계, 예열된 피소결체를 진공 소결로로 이송하는 제 1 이송 단계, 제 1 이송 단계에 의해 이송된 피소결체를 압착 및 소결하는 압착 소결 단계, 압착 및 소결된 피소결체를 냉각로로 이송하는 제 2 이송 단계, 및 제 2 이송 단계에 의해 이송된 피소결체를 냉각하는 냉각 단계를 포함할 수 있으며, 이러한 각 단계가 연속적으로 수행될 수 있다. Meanwhile, the continuous squeeze vacuum sintering method according to an embodiment of the present invention includes a preheating step for preheating a sintering furnace, a first transferring step for transferring the preheated sintering furnace to a vacuum sintering furnace, A compression sintering step of squeezing and sintering the sintered body, a second transferring step of conveying the pressed and sintered sintered body to the cooling furnace, and a cooling step of cooling the sintered body transferred by the second transferring step, Each step can be performed continuously.

이와 같은 본 발명에 따른 연속식 압착 진공 소결로에 따르면, 피소결체의 예열, 압착/소결, 및 냉각을 연계된 독립 로에서 연속적으로 진행함에 따라 열에너지 배출이 최소화되어 에너지 효율이 향상되고, 생산성이 향상되는 장점이 있다. According to the continuous squeeze vacuum sintering furnace according to the present invention, since the continuous progress of the sintering furnace in the independent furnace associated with the preheating, squeezing / sintering and cooling is minimized, the energy efficiency is improved and the productivity is improved There is an advantage to be improved.

또한, 유도 전류 예열로를 이용하여 단시간에 예열이 가능하여 생산성이 향상되는 이점이 있다. In addition, since the preheating can be performed in a short time by using the induction current preheating furnace, the productivity is improved.

본 발명은 상기 실시례에 한정되지 않고, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정 또는 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention. It is.

110 : 예열로 111 : 개폐부
112 : 유도 전류 발생 코일 113 : 수직 이동 장치
114 : 제 1 이송 장치 120 : 진공 소결로
121 : 유압 장치 122 : 전자석 장치
123 : 하부 지지대 130 : 냉각로
131 : 냉각 유체 공급 노즐 132 : 제 2 이송 장치
133 : 제어부 134 : 게이트
140 : 1차 격벽 150 : 2차 격벽110: preheating furnace 111: opening / closing part
112: Induction current generating coil 113: Vertical moving device
114: first conveying device 120: vacuum sintering furnace
121: Hydraulic device 122: Electromagnet device
123: lower support 130: cooling furnace
131: cooling fluid supply nozzle 132: second conveying device
133: control unit 134: gate
140: primary barrier rib 150: secondary barrier rib

Claims (8)

대차에 적재된 피소결체를 예열하는 예열로;
상기 예열로에서 예열된 상기 피소결체가 압착 및 소결되는 진공 소결로;
상기 진공 소결로에서 압착 및 소결된 상기 피소결체가 냉각되는 냉각로;
상기 예열로와 상기 진공 소결로 사이에 설치되며, 개폐기능이 구비된 1차 격벽; 및
상기 진공 소결로와 상기 냉각로 사이에 설치되며, 개폐기능이 구비된 2차 격벽;을 포함하며,
상기 피소결체는 상기 예열로, 상기 진공 소결로, 및 상기 냉각로를 차례로 통과하며,
상기 진공 소결로는 상기 피소결체의 이동로가 되는 하부 지지대를 포함하며,
상기 1차 격벽은,
1차 상부 격벽;
1차 하부 격벽; 및
열 손실을 방지하는 1차 보온제;를 포함하며,
상기 1차 하부 격벽은 상기 1차 상부 격벽측으로 개방되며,
상기 1차 하부 격벽의 일측에는 오목부와 돌출부가 서로 교대로 형성되고, 이에 대응되도록 상기 1차 하부 격벽과 마주하는 상기 하부지지대의 일측에는 돌출부와 오목부가 서로 교대로 형성되도록 하여,
상기 1차 하부 격벽의 오목부와 상기 하부 지지대의 돌출부가 맞물리고, 상기 1차 하부 격벽의 돌출부가 상기 하부 지지대의 오목부와 맞물리도록 하며,
상기 1차 하부 격벽과 상기 하부 지지대의 서로 맞물린 부분의 기밀을 위해 상기 1차 하부 격벽의 오목부와 상기 하부 지지대의 돌출부가 맞물리는 곳과 상기 1차 하부 격벽의 돌출부가 상기 하부 지지대의 오목부와 맞물리는 곳에 가스켓이 설치되며,
상기 2차 격벽은 상기 진공 소결로와 상기 냉각로 사이에 열 전환을 최소화하기 위해 2중 격벽으로 설치되며,
상기 예열로는,
상기 피소결체가 유입되는 개폐구;
상기 피소결체를 예열하는 유도 전류 발생 코일;
상기 유도 전류 발생 코일 내부에서 상기 피소결체가 상하 이동하도록 하는 수직 이동 장치; 및
상기 피소결체를 상기 예열로에서 상기 진공 소결로로 이송하는 제 1 이송 장치;를 포함하며,
상기 진공 소결로는,
상기 예열로에서 이송된 상기 피소결체를 압착하는 유압 장치; 및
상기 대차의 이탈을 방지하기 위한 전자석 장치;를 포함하며,
상기 하부 지지대에는 상기 전자석 장치가 설치되며,
상기 냉각로는,
냉각 유체를 공급하는 냉각 유체 공급 노즐;
상기 진공 소결로에서 압착 소결된 상기 피소결체를 상기 냉각로로 이송하는 제 2 이송장치; 및
냉각된 상기 피소결체를 외부로 배출시키는 게이트를 포함하며,
상기 개폐구는 외부 활성 가스가 유입되지 않도록 그라파이트 재질의 밀폐용 가스켓;을 포함하며,
상기 유도 전류 발생 코일을 통과한 상기 피소결체는 700 ~ 800℃로 예열되는, 연속식 압착 진공 소결로. A preheating furnace to preheat the burner assemblies loaded on the bogie;
A vacuum sintering furnace for sintering the sintered body preheated in the preheating furnace;
A cooling furnace for cooling the sintered compact sintered and sintered in the vacuum sintering furnace;
A primary partition wall provided between the preheating furnace and the vacuum sintering furnace and having an opening / closing function; And
And a secondary barrier disposed between the vacuum sintering furnace and the cooling furnace and having an opening and closing function,
Wherein said sintered body passes through said preheating furnace, said vacuum sintering furnace, and said cooling furnace one after another,
Wherein the vacuum sintering furnace includes a lower supporter which is a path of movement of the filament assembly,
The primary barrier ribs
Primary top bulkhead;
Primary lower bulkhead; And
And a primary heat preserving agent for preventing heat loss,
The primary lower partition wall is opened toward the primary upper partition wall,
The recesses and the protrusions are alternately formed on one side of the primary lower partitions and the protrusions and recesses are alternately formed on one side of the lower support opposite to the primary lower partitions,
A concave portion of the primary lower partition wall is engaged with a protrusion of the lower support, and a protrusion of the primary lower partition wall is engaged with the concave portion of the lower support,
Wherein a concave portion of the primary lower partition and a protrusion of the lower support are engaged with each other so that the protrusion of the primary lower partition is in contact with the concave portion of the lower support, A gasket is installed at a position where it is engaged with the gasket,
The secondary partition is installed as a double partition wall to minimize heat conversion between the vacuum sintering furnace and the cooling furnace,
In the preheating furnace,
An opening / closing port into which the subject assembly flows;
An induction current generating coil for preheating said subject assembly;
A vertical movement device for causing the subject assembly to move up and down within the induction current generating coil; And
And a first conveying device for conveying the sintering furnace from the preheating furnace to the vacuum sintering furnace,
In the vacuum sintering furnace,
A hydraulic device for compressing the subject assembly transferred from the preheating furnace; And
And an electromagnet device for preventing departure of the bogie,
The electromagnet device is installed on the lower support,
In the cooling furnace,
A cooling fluid supply nozzle for supplying a cooling fluid;
A second conveying device for conveying the sintered compact sintered and sintered in the vacuum sintering furnace to the cooling furnace; And
And a gate for discharging the cooled substrate to the outside,
Wherein the opening and closing port includes a sealing gasket of graphite material so that an external active gas is not introduced,
And the sintered body having passed through the induction current generating coil is preheated to 700 to 800 ° C. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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