KR101865358B1 - 초음파 세정 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 초음파 세정 장치는 전달체를 이용하여 초음파발생장치에서 방출되는 초음파를 효율적으로 세정액에 전달할 수 있는 초음파 발생장치에 관한 것이다.

Description

초음파 세정 장치{An ultrasonic cleaning apparatus}
본 발명은 초음파 세정 장치 및 이를 포함하는 세정 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 일반 산업용 기구 또는 반도체 기판을 세정하기 위한 초음파 세정 장치 및 이를 포함하는 세정 시스템에 관한 것이다.
일반적인 산업용 세척기, 공업용 세척기는 기계가공, 부품제조 또는 채석 등에 의해 가공, 제조된 부품 또는 광물 (이하 '피세정물'이라고 함)들을 세척시켜 상기 피세정물에 묻어있는 이물질 또는 오일 등을 제거함으로써, 부품의 조립, 출고 포장 또는 제품가치성 향상시키는 데 사용되는 장치이다.
또한, 반도체 세척기는 반도체 기판을 세척시켜 반도체 기판에 묻어있는 이물질 또는 오일 등을 제거함으로써, 부품의 조립, 출고 포장 또는 제품가치성 향상시키는 데 사용되는 장치이다.
산업용 세척기 또는 반도체 세척기는 세척 방법에 따라 세정액을 고압으로 분사하는 스프레이형 세척기, 또는 부품을 세정액에 담근 후 초음파 발생에 의해 세척되도록 하는 초음파형 세척기(이하, '초음파 세척기'라고 함) 등으로 구분된다.
종래의 초음파 세척기는 본체와, 상기 본체의 내부에 구성되고 세정액을 분사하는 다수의 노즐이 구성된 세척수단과, 상기 본체의 외부 어느 일측에 구성된 이송테이블과, 상기 본체의 내부 하단에 구성되어 세척수단을 통해 피세정물이 세척될 때 발생하는 이물질이 포함된 세정액을 외부로 배출하는 배출수단, 상기 배출수단을 통해 배출되는 세정액을 이물질 즉, 오일과 세정액을 분리하는 분리수단이 상기 본체와 별도로 구성된다.
상기 본체의 일측에는 이송테이블이 출입하도록 개구와 상기 개구를 개폐시키는 도어가 구성되고, 상기 도어에는 도어의 승강을 안내하는 가이드레일, 승강수단이 구성된다.
이러한 종래의 초음파 세척기는 본체의 외부에 구성된 이송테이블에 피세정물을 올려놓고 본체의 개구를 통해 내부로 이송테이블을 이송한 후 상기 본체에 구성된 도어로 개구를 폐쇄시키고 내부에 구성된 세척수단의 세척노즐에서 초음파가 인가된 세정액이 분사되면 그 세정액에 의해 피세정물이 세척된다.
아울러, 피세정물을 세척한 후 발생한 세정액은 하방의 배출수단으로 수집되고, 상기 수집된 세정액은 본체의 외부에 구성된 분리수단에 이송되어, 상기 분리수단을 통해 이물질 즉, 오일과 세정액을 분리시켜 상기 분리된 오일 또는 세정액은 재처리 공정을 통해 재활용 또는 폐기된다.
그러나 종래의 초음파 세척기는 세정액을 고압으로 분사하여 피세정물을 세척하게 되는 것으로, 피세정물의 표면에 흡착된 이물질 특히 기름이나 퇴적된 먼지등의 탈락이 이루어지지 않아 세척률이 저하되는 문제점이 있었다.
그리고, 세척이 완료된 후 이송테이블을 따라 외부로 배출되는 피세정물에는 세정액이 묻혀있는 상태로 다음 공정으로 피세정물을 이송하게 되고, 이를 통해 상기 피세정물에 묻혀있던 세정액이 낙하되어 작업장을 오염시키게 되는 문제점이 있었다.
또한, 작업장 바닥에 낙하된 세정액에는 기름성분이 포함됨에 따라 작업자가 이동 중 미끄러질 수 있는 안전사고의 위험성을 가지는 문제점이 있었다.
한편, 세정액이 묻혀있는 상태로 세척이 완료된 피세정물을 공기 중에 방치하게 되면 공기 중에 함유된 분진 또는 기타 이물질들이 피세정물의 표면에 흡착되어, 본래의 세척작업의 효과를 상쇄시키는 문제점이 있었다.
상기의 문제점들 때문에 세척이 완료된 피세정물은 이송테이블을 따라 외부로 배출되면 별도의 압축기에서 제공되는 고압의 공기를 이용하여 작업자가 피세정물의 표면에 묻혀있는 세정액을 건조시키게 되는 작업 공정의 추가로 작업효율성이 저하되는 문제점이 있었다.
이와 관련된 기술로서, 한국공개특허 제2011-0090120호는 공급되는 세정액에 초음파를 부여하여 세정물에 분사함으로써 그 표면을 세정하도록 된 것으로서, 상기 세정액이 유입되는 유입부가 마련된 상부 노즐 하우징과, 상기 유입부와 대응되는 위치에 분사공이 마련되고, 일 측면에는 가스가 공급되기 위한 가스 공급부가 마련되는 하부 노즐 하우징으로 이루어진 노즐 하우징; 상기 유입부의 주변에 배치되어 초음파를 발생시키기 위한 압전세라믹; 및 상기 유입부로 유입된 세정액이 통과되어 상기 분사공으로 분사되도록 하기 위한 관통공을 구비하여 일측이 상기 압전세라믹에 접촉된 상태로 상기 노즐 하우징 내부에 배치되어 그 외측면과 상기 하부 노즐 하우징의 내측면 사이에 상기 분사공과 연결되는 통로를 형성하는 진동소자를 포함하고, 상기 유입부로 유입된 세정액이 상기 압전세라믹에 의해 진동하는 진동소자의 관통공을 통과하면서 초음파를 받음과 동시에 상기 가스 공급부로부터 통로를 통하여 공급되는 가스에 의해 상기 분사공을 통하여 세정물의 표면에 미세하게 분사되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치를 제시하였다.
그러나 종래기술은 압전세락믹에서 발생한 초음파가 세정액에 전달매개체 없이 전달됨으로써, 초음파가 가스에 약하게 전달되어 세정액의 세정효과가 저하되는 문제점이 있었다.
따라서 상술한 문제점을 해결하기 위한 다양한 초음파 세정 장치 및 이를 포함하는 세정 시스템의 개발이 필요한 실정이다.
한국공개특허 제2011-0090120호 (2011.08.10) 한국등록특허 제1599214호 (2014.07.28) 한국등록특허 제1544504호 (2013.10.14)
본 발명의 목적은 초음파를 세정물질로 전달하는 전달체의 음향 임피던스 값을 제어하여, 초음파발생기에서 방출된 초음파가 세정물질로 효율적으로 전달되게 한 것이다.
본 발명에 따른 초음파 세정 장치는 내부에 수납부(110)와, 제1 유통부(130)가 형성되는 유통케이스(100); 상기 제1 유통부(130)의 하단과 연통되는 제1 수용부(220)를 포함하는 수용케이스(200); 상기 제1 유통부(130)에 구비되며, 상기 제1 수용부(220)로 세정물질 생성을 위한 액체와 기체를 공급하는 컴팩트 유닛(300); 상기 수납부(110)에 설치되며 상기 제1 수용부(220)를 향해 초음파를 방출하는 초음파발생기(400); 상기 초음파발생기(400)에서 방출된 초음파가 상기 제1 수용부(220)로 이동하는 경로상에 위치되는 전달체(500); 및 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 세정물질이 피세정물로 분출되는 다수의 분출홀(620)을 포함하는 다공성나노구조체(600); 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 전달체(500)는, 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 세정물질의 음향 임피던스값과 상기 초음파발생기(400)의 음향 임피던스값 사이에 위치되는 음향 임피던스값을 가지는 매질인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 전달체(500)는, 상기 제1 수용부(220)에 가까워질수록 음향 임피던스 값이 점진적으로 낮아지는 복수개의 정합층으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 전달체(500)는, 복수개의 상기 정합층이 서로 마주보는 내측과, 정합층과 상기 제1 수용부(220)가 마주보는 정합층의 최외각 하측 중 선택되는 어느 하나 이상의 위치에 고정판이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 컴팩트유닛(300)은, 상기 제1 수용부(220)로 액체를 공급하는 액체공급관(310)과, 제1 수용부(220)로 기체를 공급하는 기체공급관(320)과, 상기 기체공급관(320)에서 상기 제1 수용부(220)로 공급되는 기체를 미세 입자로 분리하는 스파저(330)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 컴팩트유닛(300)은, 상기 제1 수용부(220)의 공간을 초과하는 세정물질을 배출하기 위한 액체배출관(340)과, 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 기체의 양을 제어하는 기체배출관(350)을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 컴팩트유닛(300)은, 상기 액체공급관(310)과, 기체공급관(320)과, 액체배출관(340)과, 기체배출관(350)이 서로 일체로 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 컴팩트유닛(300)은 상기 액체배출관(340)의 내부에 상기 액체공급관(310)이 삽입되고, 상기 기체배출관(350)의 내부에 상기 기체공급관(320)이 삽입되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 컴팩트유닛(300)은 상기 액체공급관(310), 기체공급관(320), 액체배출관(340), 기체배출관(350)이 내부에 일정간격 이격 삽입되는 통합관(360)을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명에 따른 초음파 세정 장치는 초음파발생기에서 발생한 초음파를 전달체를 통해 세정물질에 전달하여, 초음파 전달 과정에서 초음파가 약해지는 문제를 방지하는 장점이 있다.
그리고, 초음파가 정해진 임의의 세기로 세정물질에 전달되어 피세정물을 향해 일정한 속도(세기)로 세정물질을 방출할 수 있으므로, 세정효과를 극대화할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 초음파 세정 장치의 개략도
도 2 내지 도 3은 본 발명에 따른 컴팩트유닛의 실시예 1을 나타낸 사시도
도 4는 본 발명에 따른 컴팩트유닛의 실시예 2를 나타낸 사시도
도 5는 본 발명에 따른 컴팩트유닛의 실시예 3을 나타낸 사시도
도 6은 본 발명에 따른 높이조절부를 나타낸 사시도.
이하, 본 발명의 기술적 사상을 첨부된 도면을 사용하여 더욱 구체적으로 설명한다.
첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 더욱 구체적으로 설명하기 위하여 도시한 일예에 불과하므로 본 발명의 기술적 사상이 첨부된 도면의 형태에 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 방향표시에 있어서, 도면의 상측을 상측, 도면의 하측을 하측으로 정의하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 초음파 세정 장치의 개략도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명인 초음파 세정 장치는 내부에 수납부(110)와, 제1 유통부(130)와, 제2 유통부(120)가 형성되는 유통케이스(100)와, 상기 제1 유통부(130)의 하단과 연통되는 제1 수용부(220)와, 상기 제2 유통부(120)의 하단과 연통되는 제2 수용부(210)를 포함하는 수용케이스(200)와, 상기 제1 유통부(130)에 구비되며, 상기 제1 수용부(220)로 세정물질 생성을 위한 액체와 기체를 공급하는 컴팩트 유닛(300)과, 상기 수납부(110)에 설치되며 상기 제1 수용부(220)를 향해 초음파를 방출하는 초음파발생기(400)와, 상기 초음파발생기(400)에서 방출된 초음파가 상기 제1 수용부(220)로 이동하는 경로상에 위치되는 전달체(500)와, 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 세정물질이 피세정물로 분출되는 다수의 분출홀(620)을 포함하는 다공성나노구조체(600) 및 상기 제2 수용부(210)에 위치되는 세정물질을 피세정물로 안내하는 분사부(610)를 포함하여 이루어진다.
상세히 설명하면, 상기 수용케이스(200) 내부에 형성된 상기 제1 수용부(220)로 상기 컴팩트유닛(300)이 액체와 기체를 공급하여, 제1 수용부(220) 상에서 액체와 기체가 혼합된 세정물질을 생성하고, 생성된 세정물질에 상기 초음파 발생기(400)에서 초음파를 인가하여, 세정물질이 상기 다공성나노구조체(600)에 형성된 분출홀(620)을 통해 피세정물로 분출되어, 피세정물을 세정하는 것이다.
이때, 상기 컴팩트유닛(300)은 상기 제1 수용부(220)로 세정물질 생성에 사용되는 다양한 종류의 액체와 기체를 공급할 수 있으며, 이때, 액체는 초순수일 수 있고, 기체는 질소, 수소, 산소 등일 수 있다.
즉, 세정 대상에 대응하여 상기 제1 수용부(220)에서 다양한 기능을 가지는 세정물질을 생성하여 피세정물을 세정할 수 있는 것이다.
상기 세정물질은 액체, 기체, 미세 기체입자가 용해된 세정액일 수 있다.
또한, 본 발명인 초음파 세정 장치는 상기 분출홀(620)이 수 나노 내지 수 마이크로 직경을 가지므로, 통과하는 세정물질을 균일하게 분할하여 피세정물로 분출시켜, 세정능력을 극대화 시킬 수 있을 뿐만 아니라, 피세정물의 표면에 형성된 미세 패턴 파괴를 방지할 수 있음은 물론이다.
아울러, 상기 제2 유통부(120)는 외부에서 기능수, 버블수, 초수수 등을 포함하는 세정액을 공급받아 상기 제2 수용부(210)와 상기 분사부(610)를 통해 피세정물로 세정액을 안내한다.
상세히 설명하면, 일반적으로 피세정물을 세정할 경우 상기 분출홀(620)을 통해 피세정물로 방출되는 세정물질만 사용하여도 충분하지만, 세정 과정에서 추가적인 세정이 필요하거나, 린스공정이 필요할 경우 상기 제2 유통부(120)와 상기 제2 수용부(210) 및 상기 분사부(610)를 통해 필요한 공정에 대응되는 세정액을 방출하여 본 발명인 초음파 세정 장치를 통하여 다양한 방식의 세정공정이 가능하게 한 것이다.
그리고, 본 발명에서 상기 전달체(500)는 상기 초음파발생기(400)에서 방출되는 초음파를 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 세정물질로 효율적으로 전달하여, 세정의 정밀성과 신뢰성을 극대화 시킨다.
상세히 설명하면, 어떠한 임의의 매질을 통해 초음파가 전달될 경우 초음파가 전달되는 목표 대상과 초음파를 전달하는 매질의 음향 임피던스 값이 일정수치 이상 차이날 경우, 초음파가 목표 대상에 제대로 전달되지 못한다.
따라서, 본 발명에서는 상기 초음파발생기(400)와 상기 제1 수용부(220) 사이에 상기 전달체(500)를 위치시켜, 초음파의 전달이 효과적으로 일어나게 한 것이다.
이때, 상기 전달체(500)는 음향 임피던스 값이 초음파발생기(400)와 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 세정물질의 음향 임피던스 값 사이의 음향 임피던스 값을 가지는 매질로 이루어져, 초음파가 전달체(500)를 통해 세정물질로 전달되는 과정에서 소모되는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 상기 전달체(500)는 상기 제1 수용부(220)에 가까워질수록 임피더스 값이 점진적으로 낮아지는 복수개의 정합층으로 이루어질 수 있으며, 상기 정합층의 고정을 용이하게 하고자 인접한 정합층이 서로 마주보는 정합층의 내측 또는 정합층과 상기 제1 수용부(220)가 마주보는 정합층의 최하측 중 선택되는 어느 하나 이상의 위치에 고정판이 형성될 수 있다.
즉, 도면에 도시된 바와 같이 상기 전달체(500)가 상기 초음파발생기(400)의 하측에 직접 연결되는 제1 정합층(510)과, 상기 제1 정합층(510)의 하측에 형성되는 제2 정합층(520)으로 구분될 경우, 제1 정합층(510)과 제2 정합층(520)의 사이와 제2 정합층(520)의 하측에 고정판이 형성될 수 있는 것이다.
또한, 본 발명에서 상기 전달체(500)는 상측이 상기 초음파발생기(400)의 하측에 결합되고, 하측이 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 세정물질과 직접 접촉하여, 초음파를 직접 전달할 수 있음은 물론이다.
아울러, 상기 제1 정합층(510) 및 제2 정합층(520)은 유리 또는 수지 등의 복합 재질로 형성될 수 있고, 그래핀으로 형성될 수도 있으며, 그래핀으로 형성될 경우, 전기적 신호의 연결에 이용될 수 있다.
이하 본 발명에 따른 컴팩트유닛의 다양한 실시예에 대해 설명하기로 한다.
<컴팩트유닛(300)의 실시예 1>
도 2 내지 도 5는 본 발명에 따른 컴팩트유닛(300)의 제1 실시예를 나타내고 있다.
도 2 내지 도 5를 참조하여 설명하면, 상기 컴팩트유닛(300)은 상기 제1 수용부(220)로 액체를 공급하는 액체공급관(310)과, 상기 제1 수용부(220)로 기체를 공급하는 기체공급관(320)과, 액체배출관(340)과, 기체배출관(350)을 포함하며, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 기체공급관(320)에서 상기 제1 수용부(220)로 공급되는 기체를 미세 입자로 분리하는 스파저(330)를 포함하여 이루어질 수 있다.
상세히 설명하면, 상기 액체공급관(310)이 상기 제1 수용부(220)로 액체를 공급하고 상기 기체공급관(320)이 상기 제1 수용부(220)로 기체를 공급하여 제1 수용부(220)에서 세정액을 형성하되, 기체공급관(320)을 통해 제1 수용부(220)로 기체 공급 시 상기 스파저(330)를 통과하게 함으로서, 기체가 스파저(330)를 통과하며 미세 기체 입자 상태로 액체공급관(310)에서 공급된 액체에 용해될 수 있게 한 것이다.
이때, 상기 스파저(330)는 통과하는 기체를 미세 기체 입자로 분리할 수 있으면 충분하므로 다양한 구조 및 형상을 가질 수 있으나, 나노 마이크로 구조체인 것을 권장하며, 나노 마이크로 구조체는 나노 또는 마이크로 크기의 공극이 형성된 메쉬 형상일 수 있음은 물론이다.
그리고, 상기 액체배출관(340)은 상기 제1 수용부(220)의 공간을 초과하는 액상의 세정물질과, 세정액을 배출할 수 있으며, 상기 기체배출관(350)은 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 기체의 양을 제어할 수 있다.
상세히 설명하면, 상기 액체공급관(310)과 상기 기체공급관(320)을 통해 외부에서 액체 및 기체가 지속적으로 공급될 경우, 제1 수용부(220)의 부피를 초과하는 세정액 또는 액상의 세정물질이 위치되어 제1 수용부(220) 외부로 방출되는 문제가 발생할 수 있으므로, 상기 액체배출관(340)을 통해 제1 수용부(420)에 위치되는 액상의 세정물질 또는 세정액의 양을 제어하는 것이다.
이때, 상기 기체배출관(350)은 제1 수용부(220)에 위치되는 세정액에 용해된 기체의 양 또한 제어할 수 있음은 물론이다.
또한, 본 발명에서 상기 컴팩트유닛(200)은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 액체공급관(310)과, 상기 기체공급관(320)과, 상기 액체배출관(340) 및 상기 기체배출관(350)이 부채꼴 형상으로 이루어져 서로 일체로 결합될 수 있으며, 이 외에도 도 3에 도시된 바와 같이 각각의 공급관 및 배출관이 원형의 단면 형상을 가지며 외주면이 연결되는 일체형으로 형성될 수 있다. 그리고, 이외에도 이하에서 개시하는 다양한 구조를 가지는 것이 가능하다.
<컴팩트유닛(300)의 실시예 2>
도 4를 참조하면, 컴팩트유닛(300)은 상기 액체배출관(340) 내부에 상기 액체공급관(310)이 삽입되고, 상기 기체배출관(350)의 내부에 상기 기체공급관(320)이 삽입되는 구조로 형성될 수 있으며, 상기 액체배출관(340)과 기체배출관(350)은 외주면이 서로 연결된 결합 형태일 수 있다.
<컴팩트유닛(300)의 실시예 3>
도 5를 참조하면, 컴팩트유닛(300)은 통합관(360)을 더 포함하고, 상기 통합관(360)의 내부에 상기 액체공급관(310)과, 상기 기체공급관(320)과, 상기 액체배출관(340)과, 상기 기체배출관(350)이 서로 일정간격 이격 배치될 수 있다.
또한, 도 6을 참조하여 설명하면 본 발명인 초음파 세정 장치는 피세정물로 도포되는 세정액의 두께를 일정하게 하기 위한 세정액 높이조절부(10)가 더 구비될 수 있다.
상세히 설명하면, 세정액을 피세정물에 도포할 경우 피세정물에 도포되는 세정액의 두께가 일정하지 않게 되므로, 상기 분출홀(620)을 통해 방출되는 세정액에 의해 발생하는 압력파가 일정하지 않아, 피세정물의 세정이 불균일하게 될 수 있으므로, 세정액 높이조절부(10)를 이용하여 피세정물에 도포되는 세정액의 두께를 균일하게 하여 주는 것이다.
이때, 상기 높이조절부(10)는 연결부(13)를 통해 상기 유통케이스(100), 상기 수용케이스(200) 또는 어떠한 임의의 대상물에 결합되어, 피세정물의 상측에 일정한 거리 이격된 상태로 고정되며, 상기 분사부(610)를 통해 방출되는 세정액이 높이조절부(10)의 내측에 형성된 공간(11)으로 유입된다.
즉, 상기 높이조절부(10)는 피세정물에 대응하는 원형 또는 다각 형상을 가지되 상하 방향으로 일정한 두께를 가져, 분사부(610)에서 피세정물에 도포하는 세정액이 높이조절부(10)의 두께만큼 일정하게 도포되는 것이다.
따라서, 피세정물의 표면에 형성된 미세 패턴이 파손되는 것을 방지하고, 세정이 균일하게 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 높이조절부(10)는 상측에 형성된 연결부를 통해 외부 대상과 결합될 수 있고, 상측은 상기 다공성나노구조체(600)와 대향 형성 되고, 하측은 피세정물과 대향 이격형성될 수 있으며, 상면이 일정한 높이를 가져야 함은 물론이다.
아울러, 본 발명인 초음파 세정 장치는 도면상에서 상기 제2 유통부(120)와, 상기 제2 수용부(210)와 상기 분사부(610)가 유통케이스(100)와 수용케이스(200)의 가장자리에 형성된 것을 도시하였지만, 이러한 구성은 습식 세정에 용이한 대표적 구성이며, 건식 세정 시 상기 제2 유통부(120)와 상기 제2 수용부(210)와 상기 분사부(610)가 형성되지 않을 수 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
1000 : 본 발명에 따른 초음파 세정 장치
100 : 유통케이스
110 : 수납부
120 : 제2 유통부
130 : 제1 유통부
200 : 수용케이스
210 : 제2 수용부
220 : 제1 수용부
300 : 컴팩트유닛
310 : 액체공급관
320 : 기체공급관
330 : 스파저
340 : 액체배출관
350 : 기체배출관
360 : 통합관
400 : 초음파발생기
500 : 전달체
510 : 제1정합층
520 : 제2정합층
600 : 다공성나노구조체
610 : 분사부
620 : 분출홀

Claims (10)

  1. 내부에 수납부(110)와, 제1 유통부(130)가 형성되는 유통케이스(100);
    상기 제1 유통부(130)의 하단과 연통되는 제1 수용부(220)를 포함하는 수용케이스(200);
    상기 제1 유통부(130)에 구비되며, 상기 제1 수용부(220)로 세정물질 생성을 위한 액체와 기체를 공급하는 컴팩트 유닛(300);
    상기 수납부(110)에 설치되며 상기 제1 수용부(220)를 향해 초음파를 방출하는 초음파발생기(400);
    상기 초음파발생기(400)에서 방출된 초음파가 상기 제1 수용부(220)로 이동하는 경로상에 위치되며, 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 세정물질의 음향 임피던스 값과 상기 초음파발생기(400)의 음향 임피던스 값 사이에 위치되는 음향 임피던스 값을 가지는 매질로 이루어지는 전달체(500); 및
    상기 제1 수용부(220)에 위치되는 세정물질이 피세정물로 분출되는 다수의 분출홀(620)을 포함하는 다공성나노구조체(600); 를 포함하는, 초음파 세정 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 전달체(500)는, 상기 제1 수용부(220)에 가까워질수록 음향 임피던스 값이 점진적으로 낮아지는 복수개의 정합층으로 이루어진 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 전달체(500)는, 복수개의 상기 정합층이 서로 마주보는 내측과, 정합층과 상기 제1 수용부(220)가 마주보는 정합층의 최하측 중 선택되는 어느 하나 이상의 위치에 고정판이 형성되는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 컴팩트유닛(300)은, 상기 제1 수용부(220)로 액체를 공급하는 액체공급관(310)과, 제1 수용부(220)로 기체를 공급하는 기체공급관(320)과, 상기 기체공급관(320)에서 상기 제1 수용부(220)로 공급되는 기체를 미세 입자로 분리하는 스파저(330)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 컴팩트유닛(300)은, 상기 제1 수용부(220)의 공간을 초과하는 액상의 세정물질과, 세정액을 배출하기 위한 액체배출관(340)과, 상기 제1 수용부(220)에 위치되는 기체의 양을 제어하는 기체배출관(350)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 컴팩트유닛(300)은, 상기 액체공급관(310)과, 기체공급관(320)과, 액체배출관(340)과, 기체배출관(350)이 서로 일체로 결합되는 것을 특징으로 하는, 초음파 세정 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 컴팩트유닛(300)은 상기 액체배출관(340)의 내부에 상기 액체공급관(310)이 삽입되고, 상기 기체배출관(350)의 내부에 상기 기체공급관(320)이 삽입되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 컴팩트유닛(300)은 상기 액체공급관(310), 기체공급관(320), 액체배출관(340), 기체배출관(350)이 내부에 일정간격 이격 삽입되는 통합관(360)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치.
  10. 제1, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 유통케이스(100)에 형성되는 제2 유통부(120)와, 상기 수용케이스(200)에 형성되며 상기 제2 유통부(120)의 하단과 연통되는 제2 수용부(210)와, 상기 제2 수용부(210)에 위치되는 세정액을 피세정물로 안내하는 분사부(610)를 더 포함하는, 초음파 세정 장치.
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