KR101828381B1 - 복합 이송툴을 구비하는 기판절단장비 및 이를 이용한 기판 이송 방법 - Google Patents
복합 이송툴을 구비하는 기판절단장비 및 이를 이용한 기판 이송 방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명에 따르면, 로더와 언로더가 일체로 구비된 복합 이송툴을 사용하므로 로더와 언로더의 충돌이나 간섭을 고려하여 이들을 독립적으로 제어할 필요가 없으므로 기판의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간을 크게 줄일 수 있고 이를 통해 장비의 생산성을 크게 향상시킬 수 있다. 또한 기판절단장비의 전체적인 구성이나 배선을 단순화시킬 수 있으므로 장비의 제작시간을 단축하고 제작비용을 절감할 수 있고, 장비의 전체적인 크기를 크게 줄일 수 있다.
Description
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판절단장비의 개략 평면도
도 3a 및 도 3b는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 복합 이송툴의 정면도 및 저면도
도 4a 및 도 4b는 각각 본 발명의 다른 실시예에 따른 복합 이송툴의 평면도 및 정면도
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 복합 이송툴의 동작을 예시한 도면
도 6a 내지 도 6h는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판절단장비에서의 기판 이송 방법을 나타낸 공정순서도
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판절단장비의 개략 평면도
도 8은 고정형 복합 이송툴의 정면도
111: 로딩대기영역 112: 로딩영역
113: 작업영역 114: 언로딩영역
115: 반출영역 120: 이송툴이동가이드
130, 130a, 130b: 복합 이송툴 131: 로더
132: 언로더 133: 회전축
134: 이송툴프레임 135: 이동블록
137: 직선가이드 140: 지그이동가이드
150: 지그 160: 커팅툴이동가이드
170: 커팅툴 180: 스크랩수집부
190: 컨베이어
Claims (9)
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- 제1 방향을 따라 순차적으로 정의되는 로딩대기영역과 로딩영역;
상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 상기 로딩영역에서부터 순차적으로 정의되는 언로딩영역과 작업영역;
상기 로딩대기영역에서 상기 로딩영역의 상부에 걸쳐 설치되는 이송툴 이동가이드;
상기 이송툴 이동가이드에 이동 가능하게 결합된 이동블록과, 상기 이동블록에 결합된 이송툴프레임, 상기 이송툴프레임에 설치되어 서로 독립적으로 동작하는 로더와 언로더를 포함하는 복합 이송툴;
상기 로딩영역에서 상기 작업영역에 걸쳐 설치된 지그이동가이드;
기판이 안착되는 것으로서 상기 지그이동가이드에 결합된 지그;
상기 작업영역의 상부에 위치하는 커팅툴
을 포함하며, 상기 복합 이송툴은 상기 이동블록에 결합된 상기 제2 방향의 직선가이드를 포함하고, 상기 이송툴프레임은 상기 직선가이드를 따라 상기 이동블록에 대해 이동 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 기판절단장비 - 제3항에 있어서,
상기 언로딩영역의 하부에는 스크랩을 수집하는 스크랩수집부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판절단장비 - 삭제
- 제1 방향을 따라 순차적으로 정의되는 로딩대기영역과 로딩영역; 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 상기 로딩영역에서부터 순차적으로 정의되는 언로딩영역과 작업영역; 상기 제1 방향을 따라 설치되고, 상기 로딩대기영역에서 반출영역의 상부까지 연장되는 이송툴 이동가이드; 상기 이송툴 이동가이드에 이동 가능하게 결합된 이동블록과, 상기 이동블록에 결합된 이송툴프레임, 상기 이송툴프레임에 설치되어 서로 독립적으로 동작하는 로더와 언로더를 포함하는 복합 이송툴; 상기 로딩영역에서 상기 작업영역에 걸쳐 설치된 지그이동가이드; 기판이 안착되는 것으로서 상기 지그이동가이드에 결합된 지그; 상기 작업영역의 상부에 위치하는 커팅툴을 포함하는 기판절단장비에서 기판을 이송하는 방법에 있어서,
상기 복합 이송툴이 상기 로더를 이용하여 상기 로딩대기영역에서 기판을 픽업하는 단계;
상기 로더가 상기 로딩영역의 상부에 위치하고 상기 언로더가 상기 언로딩영역의 상부에 위치하는 지점으로 상기 복합 이송툴을 이동시키는 단계;
절단된 기판이 안착된 지그를 상기 작업영역에서 상기 언로딩영역으로 이동시키는 단계;
상기 언로더를 이용하여 절단된 기판을 픽업하는 단계;
상기 지그를 상기 로딩영역으로 이동시키는 단계;
상기 로더는 상기 지그에 기판을 내려 놓는 한편, 상기 언로더는 상기 언로딩영역의 하부에 위치하는 스크랩수집부에 스크랩을 버리는 단계
를 포함하는 기판 이송 방법 - 제6항에 있어서,
상기 스크랩을 버리는 단계의 이후에는,
상기 복합 이송툴에 구비된 회전축을 중심으로 상기 언로더와 상기 로더를 180도 회전시키고, 상기 로딩영역으로부터 상기 제1 방향을 따라 이격되어 정의되는 상기 반출영역의 상부에 상기 언로더를 위치시킨 후 절단된 기판을 상기 반출영역에 내려놓은 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법 - 제6항에 있어서,
상기 스크랩을 버리는 단계 이후에는,
상기 복합 이송툴에 상기 제2 방향으로 설치된 직선가이드를 따라 상기 언로더와 상기 로더를 이동시키고, 상기 로딩영역으로부터 상기 제1 방향을 따라 이격되어 정의되는 상기 반출영역의 상부에 상기 언로더를 위치시킨 후 절단된 기판을 상기 반출영역에 내려놓은 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법 - 제6항에 있어서,
상기 스크랩을 버리는 단계 이후에는,
상기 언로딩영역으로부터 상기 제1 방향을 따라 이격되어 정의되는 상기 반출영역의 상부에 상기 언로더가 위치하도록 상기 복합 이송툴을 이동시키고 절단된 기판을 상기 반출영역에 내려놓은 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114126234A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-03-01 | 宿迁知济谷艾科技有限公司 | 一种散热器电路板制造用切割装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000232080A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割システム及びペレットの移し替え装置 |
JP2007536727A (ja) * | 2004-05-07 | 2007-12-13 | ハンミ セミコンダクター カンパニー リミテッド | 半導体パッケージ製造工程用切断及びハンドラシステム |
KR101577658B1 (ko) * | 2014-08-27 | 2015-12-15 | 주식회사 영진하이텍 | 모듈식 ssd 라우팅 장치 |
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2016
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