KR101826474B1 - 방수 검사 장치 및 이를 이용하는 방수 검사 방법 - Google Patents

방수 검사 장치 및 이를 이용하는 방수 검사 방법 Download PDF

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주식회사 케이엔케이
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Abstract

본 발명은 피검사체가 배치되는 테이블; 상기 테이블 상부에 배치되어 내부에 피검사체를 수용하는 챔버; 상기 챔버로 공기를 공급하고, 공급되는 공기의 유량을 측정하는 공기공급부; 상기 챔버 내부의 유량을 측정하고, 외부로 공기를 배출시키는 공기배출부; 피검사체를 통해 공기가 외부로 배출되는 것을 감지하는 누설감지부; 및 상기 챔버를 관통하여 배치되고, 피검사체를 가압하여 고정하는 고정부를 포함하는 방수 검사 장치에 관한 것이다. 이러한 본 발명에 따르면 공기압을 이용하는 검사가 아닌 공기의 유량을 측정해 누설되는 공기의 유량을 감지하여 방수 검사를 하므로 검사 시간이 줄어 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

방수 검사 장치 및 이를 이용하는 방수 검사 방법 { WATERPROOF INSPECTION SYSTEM AND WATERPROOF INSPECTION METHOD USING IT }
본 발명은 방수 검사 장치 및 이를 이용한 방수 검사 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 공기를 이용하여 피검사체의 방수 검사를 실시하는 방수 검사 장치 및 이를 이용한 방수 검사 방법에 관한 것이다.
최근 기술의 발전으로 휴대폰 등에 방수 및 방진 기능이 필수 기능으로 보편화 되고 있음에 따라 그에 대한 검사 기술도 매우 중요시된다.
방수 검사의 방법으로 실제 피검사체를 수조에 투입하여 직접 방수 검사를 행하였으나, 이 경우 피검사체의 손상이 발생되고 작업시간 및 작업방법의 난해로 인해 공기압을 사용하는 누설검사를 이용한 방수검사가 이용되고 있다.
공기압 검사는 고기의 밀도가 물보다 낮아서 실제 물속에서 행해지는 검사방법보다 신뢰성이 높은 장점이 있고, 작업 방법도 매우 용이하여 보편화 된 검사방법으로 자리 잡고 있다.
그러나, 이러한 방수검사를 위한 공기압 검사는 공기가 물보다 낮은 밀도를 가지고 있어 액체를 이용한 직접 검사보다 신뢰성을 높일 수 있으나 이러한 부분 때문에 상대적으로 검사기 구성에 필요한 부품 등의 연결 배관부의 누수 또한 발생할 소지가 있어 검사기 제작시 어려움이 발생한다.
이를 극복하기 위해 공기압 누설 검사기를 구성하는 공기압 배관부 및 밸브 등에 고가의 자재가 필요하고, 조립시 누수가 되지 않도록 추가적인 실링 처리를 해야 하므로 제작이 용이하지 못해 생산성이 줄어드는 추가적인 문제가 발생한다.
또한, 공기압의 누설을 확인하기 위해 대부분 압력센서를 사용하는데, 공기압 특성상 압축성이 떨어지고 온도변화에 민감하게 작용하므로 공기압을 측정하는데 공기압의 안정화 시간이 필요하고, 실제 공기압 누설은 발생하지 않으나 단순히 주변 온도변화에 따른 공기압의 변화가 발생한다.
따라서, 정확한 누설 값을 측정하는데 어려움이 있고, 공기압을 측정하기 위한 시간이 길어지므로 실제 제품의 검사 시간이 증가하여 생산성이 떨어지는 문제가 발생한다.
한국등록특허 제10-1406697호 (2014.06.13) "열상카메라를 이용한 단말기 방수검사장치" 한국등록특허 제10-1197704호 (2012.11.06) "단말기 방수 검사장치"
본 발명의 목적은 공기의 유량을 비교하여 피검사체의 방수 검사를 실시하는 방수 검사 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 상기한 방수 검사 장치를 이용하여 방수 검사를 할 수 있는 방수 검사 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 방수 검사 장치는, 피검사체가 배치되는 테이블; 상기 테이블 상부에 배치되어 내부에 피검사체를 수용하는 챔버; 상기 챔버로 공기를 공급하고, 공급되는 공기의 유량을 측정하는 공기공급부; 상기 챔버 내부의 유량을 측정하고, 외부로 공기를 배출시키는 공기배출부; 피검사체를 통해 공기가 외부로 배출되는 것을 감지하는 누설감지부; 및 상기 챔버를 관통하여 배치되고, 피검사체를 가압하여 고정하는 고정부를 포함한다.
여기서, 상기 공기공급부는, 공기를 공급하는 공기공급기; 상기 공기공급기와 결합하여 상기 챔버로 공기를 이동시키는 공기공급라인; 상기 공기공급라인에 결합되고, 상기 공기공급라인을 개폐하는 유량조절밸브; 상기 공기공급라인에 결합되어, 공기의 압력을 조절하는 레귤레이터; 및 상기 공기공급라인에 결합되고, 상기 레귤레이터로부터 상기 챔버로 유입되는 공기의 유량을 측정하는 공급유량센서를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 공기배출부는, 상기 챔버의 일측에 배치되고, 상기 챔버 내부의 공기를 외부로 배출하는 공기배출라인; 상기 공기배출라인에 결합되어 상기 챔버 내부의 공기 유량을 측정하는 배출유량센서; 상기 공기공급라인에 결합되어 상기 공기공급라인을 개폐하는 유량조절밸브를 포함할 수 있다.
또한, 상기 누설감지부는, 상기 테이블에 배치된 피검사체의 하부에 배치되고, 피검사체를 통과한 공기를 외부로 배출하는 공기누설라인; 상기 테이블에 배치된 피검사체의 하부에 구비되어, 피검사체를 통해 외부로 배출되는 공기의 유량을 감지하는 누설유량센서를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 고정부는, 피검사체를 가압하는 가압블럭; 및 상기 가압블럭을 상하이동시키는 승강실린더를 포함할 수 있다.
한편, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 다른 하나의 특징에 따른 방수 검사 방법은, 공기공급부가 챔버로 공기를 유입하는 단계; 공기배출부가 상기 챔버 내부의 유량을 측정하여 유량 변동 여부를 판단하는 단계; 및 누설감지부가 피검사체를 통한 공기의 누설 여부를 판단하는 단계; 피검사체의 불량 또는 상기 챔버의 파손 여부를 판단하는 단계를 포함한다.
여기서, 상기 공기를 유입하는 단계는, 공기공급기가 공기공급라인으로 공기를 공급하는 단계; 유량조절밸브가 공기공급라인을 개방하는 단계; 레귤레이터가 공기의 압력을 조절하는 단계; 공급유량센서가 공기의 유량을 측정하는 단계; 및 상기 유량조절밸브가 상기 공기공급라인을 폐쇄하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 유량 변동 여부를 판단하는 단계는, 배출유량센서가 상기 챔버 내의 유량을 측정하는 단계; 및 상기 공급유량센서에서 측정된 유량과 상기 배출유량센서에서 측정된 유량을 비교하여 일치 여부를 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 피검사체의 불량 또는 상기 챔버의 파손 여부를 판단하는 단계는, 상기 유량 변동 여부를 판단하는 단계에서 유량의 변동이 감지되고, 상기 공기 누설 여부를 판단하는 단계에서 누설이 감지되지 않으면 상기 챔버 및 상기 피검사체를 정상으로 인지하고, 상기 유량 변동 여부를 판단하는 단계에서 유량의 변동이 감지되고, 상기 공기 누설 여부를 판단하는 단계에서 누설이 감지되면 상기 챔버는 정상으로 인지하고 상기 피검사체를 불량으로 인지할 수 있다.
또한, 상기 피검사체의 불량 또는 상기 챔버의 파손 여부를 판단하는 단계는, 상기 유량 변동 여부를 판단하는 단계에서 유량의 변동이 감지되고, 상기 공기 누설 여부를 판단하는 단계에서 누설이 감지되지 않으면 상기 챔버의 파손으로 인지할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 방수 검사 장치 및 이를 이용하는 방수 검사 방법에 따르면,
첫째, 공기압을 이용하는 검사가 아닌 공기의 유량을 측정해 누설되는 공기의 유량을 감지하여 방수 검사를 하므로 검사 시간이 줄어 생산성을 향상시킬 수 있다.
둘째, 공기압을 이용하는 방법이 아닌 공기의 유량을 이용하므로 주변 온도의 영향을 받지 않아 검사의 정확도를 높일 수 있다.
셋째, 공기공급부가 챔버로 유입되는 공기의 유량을 측정하고, 공기배출부가 챔버로 유입된 공기의 유량을 측정하여 서로 비교하므로 검사의 정확도를 향상시킬 수 있다.
넷째, 누설감지부에 의해 피검사체를 통과한 공기를 감지할 수 있어 검사의 신뢰성을 높일 수 있다.
다섯째, 공급유량센서, 배출유량센서 및 누설유량센서에 의해 피검사체 뿐만 아니라 챔버의 파손 여부도 검사할 수 있으므로 유지보수에 용이하다.
여섯째, 고정부가 피검사체를 가압하여 고정하므로 검사시 피검사체가 임의로 움직이는 것을 방지하여 정확한 검사를 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 방수 검사 장치를 대략적으로 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 방수 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 3은 도 2에 도시된 챔버에 공기가 유입되는 과정을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 4는 도 2에 도시된 유량 변동 여부를 판단하는 과정을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 이때, 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음에 유의한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략할 것이다. 마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성 요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 방수 검사 장치를 대략적으로 나타낸 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 방수 검사 장치(100)는 테이블(110), 챔버(120), 공기공급부(130), 공기배출부(140), 누설감지부(150) 및 고정부(160)를 포함한다.
테이블(110)은 피검사체(10)가 배치되고, 챔버(120)는 테이블(110)의 상부에 배치되어 내부에 피검사체(10)를 수용한다.
공기공급부(130)는 챔버(120)로 공기를 공급하고, 공급되는 공기의 유량을 측정한다.
여기서, 공기공급부(130)는 공기공급기(131), 공기공급라인(132), 유량조절밸브(133), 레귤레이트(134) 및 공급유량센서(135)를 포함한다.
공기공급기(131)는 공기를 공급하고, 공기공급라인(132)은 공기공급기(131)와 결합하여 챔버(120)로 공기를 이동시킨다.
유량조절밸브(133)는 공기공급라인(132)에 결합되고, 공기공급라인(132)을 개폐한다.
레귤레이터(134)는 공기공급라인(132)에 결합되어 공기의 압력을 조절한다.
그리고, 공급유량센서(135)는 공기공급라인(132)에 결합되고, 레귤레이터(134)로부터 챔버(120)로 유입되는 공기의 유량을 측정한다.
여기서, 유량조절밸브(133)는 사용자의 조작에 의해 설정된 공기의 양만큼만 챔버(120)로 공급할 수 있도록 설정된 공기의 유양이 공급유량센서(135)에서 측정되면 공기공급라인(132)를 폐쇄할 수 있다.
공기배출부(140)는 챔버(120) 내부의 유량을 측정하고, 피검사체의 방수 검사가 끝난 후 챔버(120) 외부로 공기를 배출시킨다.
여기서, 공기배출부(140)는 공기배출라인(141), 배출유량센서(142) 및 유량조절밸브(143)를 포함한다.
공기배출라인(141)은 챔버(120)의 일측에 배치되고, 챔버(120) 내부의 공기를 외부로 배출한다.
배출유량센서(142)는 공기배출라인(141)에 결합되어 챔버(120) 내부의 공기유량을 측정한다.
그리고, 유량조절밸브(143)는 공기배출라인(141)에 결합되어 공기배출라인(141)을 개폐하여, 피검사체(10)의 방수 검사가 종료되면 챔버(120) 내부의 공기를 외부로 배출할 수 있다.
누설감지부(150)는 피검사체를 통해 공기가 외부로 배출되는 것을 감지한다.
여기서, 누설감지부(150)는 공기누설라인(151) 및 누설유량센서(152)를 포함한다.
공기누설라인(151)은 테이블(110)에 배치된 피검사체(10)의 하부에 배치되고, 피검사체(10)를 통과한 공기를 외부로 배출한다.
누설유량센서(152)는 공기누설라인(151)에 결합되어 피검사체(10)를 통해 외부로 배출되는 공기의 유량을 감지한다.
배출유량센서(142)에서 측정된 챔버(120) 내부의 유량이 공급유량센서(135)에서 측정된 공기의 유량과 일치하지 않는 경우,
누설유량센서(152)에서 공기의 유량이 감지되면 피검사체(10)는 불량품이고, 공기의 유량이 감지되지 않으면 피검사체(10)는 정상품이나 챔버(120)의 파손으로 판단될 수 있다.
그리고, 배출유량센서(142)에서 측정된 챔버(120) 내부의 유량이 공급유량센서(135)에서 측정된 공기의 유량과 일치하는 경우에는 피검사체(10) 및 챔버(120) 모두 정상으로 판단될 수 있다.
그리고, 고정부(160)는 챔버(120)를 관통하여 배치되고, 피검사체를 가압하여 고정한다.
여기서, 고정부(160)는 가압블럭(161) 및 승강실린더(162)를 포함한다.
가압블럭(161)은 파검사체(10)를 가압하고, 승강실린더(162)는 가압블럭(161)을 상하이동시킨다.
따라서, 가압블럭(161)이 피검사체(10)를 가압하여 고정하므로 검사시 피검사체(10)가 임의로 움직이는 것을 방지하여 정확한 검사를 수행할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 방수 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 3은 도 2에 도시된 챔버에 공기가 유입되는 과정을 설명하기 위한 흐름도이며, 도 4는 도 2에 도시된 유량 변동 여부를 판단하는 과정을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 방수 검사 방법은 공기공급부(130)가 챔버(120)로 공기를 유입한다(단계 S110).
그리고, 공기배출부(140)가 챔버(120) 내부의 유량을 측정하여 유량 변동 여부를 판단한다(단계 S120).
이후, 누설감지부(150)가 피검사체(10)를 통한 공기의 누설 여부를 판단한다(단계 S130).
마지막으로, 피검사체(10)의 불량 또는 챔버(120)의 파손 여부를 판단한다(단계 S140).
도 1 및 도 3을 참조하여 챔버(120)에 공기를 유입하는 과정(단계 S110)에 대해 구체적으로 설명한다.
공기공급기(131)가 공기공급라인(1312)으로 공기를 공급하고(단계 S111), 유량조절밸브(133)가 공기공급라인(132)을 개방한다(단계 S112).
그리고, 레귤레이터(134)가 공기공급라인(132)을 통해 이동하는 공기의 압력을 일정하게 조절한다(단계 S113).
이후 공급유량센서(135)가 챔버(120)로 공급되는 공기의 유량을 측정하고(단계 S114), 유량조절밸브(133)가 공기공급라인(132)을 폐쇄한다(단계 S115).
단계 S114에서 공급유량센서(135)가 사용자의 조작에 의해 설정된 공기의 양만큼 챔버(120)로 유입되는 것을 감지하면, 단계 S115에서 유량조절밸브(133)는 공기공급라인(132)을 폐쇄한다.
도 1 및 도 4를 참조하여 공기배출부(140)가 챔버(120) 내부의 유량을 측정하여 유량 변동 여부를 판단하는 과정(단계 S120)에 대해 구체적으로 설명한다.
배출유량센서(142)가 챔버(120) 내의 유량을 측정한다(단계 S121).
그리고, 공급유량센서(125)에서 측정된 유량과 배출유량센서(142)에서 측정된 유량을 비교하여, 일치 여부를 판단한다(단계 S122).
그리고, 단계 S122 이후에 누설감지부(150)가 피검사체(10)를 통한 공기의 누설 여부를 판단한다(단계 S130).
단계 S130은 단계 S122에서 공급유량센서(125)에서 측정된 유량과 배출유량센서(142)에서 측정된 유량이 일치해도 수행하게 되고, 불일치해도 수행하게 된다.
이후, 피검사체(10)의 불량 또는 챔버(120)의 파손 여부를 판단한다(단계 S140).
단계 S140은 단계 S122 및 단계 S130의 결과에 따라 세 가지로 나뉠 수 있다.
첫째, 단계 S122에서 공급유량센서(125)에서 측정된 유량과 배출유량센서(142)에서 측정된 유량이 일치하는 없는 것으로 판단되고, 단계 S130에서 피검사체(10)를 통한 공기의 누설이 감지되지 않을 경우, 단계 S140은 챔버(120) 및 피검사체(10) 모두 정상으로 판단한다.
둘째, 단계 S122에서 공급유량센서(125)에서 측정된 유량과 배출유량센서(142)에서 측정된 유량이 일치하지 않는 것으로 판단되고, 단계 S130에서 피검사체(10)를 통한 공기의 누설이 감지되는 경우, 단계 S140은 피검사체(10)가 방수가 되지 않는 불량으로 판단한다.
마지막으로, 단계 S122에서 공급유량센서(125)에서 측정된 유량과 배출유량센서(142)에서 측정된 유량이 일치하지 않는 것으로 판단되고, 단계 S130에서 피검사체(10)를 통한 공기의 누설이 감지되지 않을 경우, 단계 S140은 챔버(120)가 파손된 것으로 인지하고, 피검사체(10)는 정상으로 판단한다.
이렇게, 본 발명은 각 단계의 경우에 따라 피검사체(10)의 정상 및 불량을 판단할 수 있고, 나아가 챔버(120)의 파손 여부도 파악할 수 있으므로, 피검사체(10)의 정상과 불량을 판단하는 신뢰도를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 방수 검사 장치(100) 및 이를 이용하는 방수 검사 방법은, 기존의 공기압을 이용하는 검사가 아닌 공기의 유량을 측정해 누설되는 공기의 유량을 감지하여 방수 검사를 하므로 공기압을 이용한 검사 방법보다 검사 시간이 줄어 생산성을 향상시킬 수 있다.
그리고, 공기압을 이용하는 방법이 아닌 공기의 유량을 이용하므로 주변 온도의 영향을 받지 않아 검사의 정확도를 높일 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110...테이블 120...챔버
130...공기공급부 131...공기공급기
132...공기공급라인 133...유량조절밸브
134...레귤레이터 135...공급유량센서
140...공기배출부 141...공기배출라인
142...배출유량센서 143...유량조절밸브
150...누설감지부 151...공기누설라인
152...누설유량센서 160...가압부
161...가압블럭 162...승강실린더

Claims (10)

  1. 피검사체가 배치되는 테이블;
    상기 테이블 상부에 배치되어 내부에 피검사체를 수용하는 챔버;
    상기 챔버로 공기를 공급하고, 공급되는 공기의 유량을 측정하는 공기공급부;
    상기 챔버 내부의 유량을 측정하고, 외부로 공기를 배출시키는 공기배출부;
    피검사체를 통해 공기가 외부로 배출되는 것을 감지하는 누설감지부; 및
    상기 챔버를 관통하여 배치되고, 피검사체를 가압하여 고정하는 고정부를 포함하고,
    상기 공기공급부는,
    공기를 공급하는 공기공급기;
    상기 공기공급기와 결합하여 상기 챔버로 공기를 이동시키는 공기공급라인;
    상기 공기공급라인에 결합되고, 상기 공기공급라인을 개폐하는 유량조절밸브;
    상기 공기공급라인에 결합되어, 공기의 압력을 조절하는 레귤레이터; 및
    상기 공기공급라인에 결합되고, 상기 레귤레이터로부터 상기 챔버로 유입되는 공기의 유량을 측정하는 공급유량센서를 포함하며,
    상기 공기배출부는,
    상기 챔버의 일측에 배치되고, 상기 챔버 내부의 공기를 외부로 배출하는 공기배출라인;
    상기 공기배출라인에 결합되어 상기 챔버 내부의 공기 유량을 측정하는 배출유량센서;
    상기 공기배출라인에 결합되어 상기 공기배출라인을 개폐하는 유량조절밸브를 포함하고,
    상기 누설감지부는,
    상기 테이블에 배치된 피검사체의 하부에 배치되고, 피검사체를 통과한 공기를 외부로 배출하는 공기누설라인;
    상기 테이블에 배치된 피검사체의 하부에 구비되어, 피검사체를 통해 외부로 배출되는 공기의 유량을 감지하는 누설유량센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 방수 검사 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 고정부는,
    피검사체를 가압하는 가압블럭; 및
    상기 가압블럭을 상하이동시키는 승강실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 방수 검사 장치.
  6. 공기공급부가 챔버로 공기를 유입하는 단계;
    공기배출부가 상기 챔버 내부의 유량을 측정하여 유량 변동 여부를 판단하는 단계; 및
    누설감지부가 피검사체를 통한 공기의 누설 여부를 판단하는 단계;
    피검사체의 불량 또는 상기 챔버의 파손 여부를 판단하는 단계를 포함하고,
    상기 공기를 유입하는 단계는,
    공기공급기가 공기공급라인으로 공기를 공급하는 단계;
    유량조절밸브가 공기공급라인을 개방하는 단계;
    레귤레이터가 공기의 압력을 조절하는 단계;
    공급유량센서가 공기의 유량을 측정하는 단계; 및
    상기 유량조절밸브가 상기 공기공급라인을 폐쇄하는 단계를 포함하며,
    상기 유량 변동 여부를 판단하는 단계는,
    배출유량센서가 상기 챔버 내의 유량을 측정하는 단계; 및
    상기 공급유량센서에서 측정된 유량과 상기 배출유량센서에서 측정된 유량을 비교하여 일치 여부를 판단하는 단계를 포함하고,
    상기 피검사체의 불량 또는 상기 챔버의 파손 여부를 판단하는 단계는,
    상기 유량 변동 여부를 판단하는 단계에서 유량의 변동이 감지되고, 상기 공기 누설 여부를 판단하는 단계에서 누설이 감지되지 않으면 상기 챔버 및 상기 피검사체를 정상으로 인지하며,
    상기 유량 변동 여부를 판단하는 단계에서 유량의 변동이 감지되고, 상기 공기 누설 여부를 판단하는 단계에서 누설이 감지되면 상기 챔버를 정상으로 인지하고 상기 피검사체를 불량으로 인지하며,
    상기 피검사체의 불량 또는 상기 챔버의 파손 여부를 판단하는 단계는,
    상기 유량 변동 여부를 판단하는 단계에서 유량의 변동이 감지되고, 상기 공기 누설 여부를 판단하는 단계에서 누설이 감지되지 않으면 상기 챔버의 파손으로 인지하는 것을 특징으로 하는 방수 검사 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2004085254A (ja) * 2002-08-23 2004-03-18 Dainippon Printing Co Ltd 洩れ検査方法及び装置
JP2007147559A (ja) * 2005-11-30 2007-06-14 Yamatake Corp リーク検査方法およびリーク検査装置

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