KR101713112B1 - 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 관한 것으로서, 저장용기와, 제1가열부와, 도가니와, 제2가열부와, 연결관과, 냉온조절부를 포함한다. 저장용기는 고체 상태의 증착물질이 투입되는 투입구와, 증착물질이 배출되는 배출구를 구비한다. 제1가열부는 저장용기를 가열하여 증착물질을 액화시킨다. 도가니는 저장용기보다 낮은 위치에 배치되고, 하부에 유입구를 구비하며 상부에 증착챔버와 연결된 유출구를 구비한다. 제2가열부는 도가니를 가열하여 증착물질을 기화시킨다. 연결관은 배출구와 유입구를 연결한다. 냉온조절부는 연결관의 온도를 조절한다. 도가니 내부로 증착물질의 충진이 필요한 경우, 제1가열부 및 냉온조절부가 구동되고, 저장용기 및 연결관 내에 있는 증착물질이 액화되어 도가니에 충전되고, 증착물질이 도가니 내부에 충진되면, 제1가열부는 정지되고 냉온조절부가 구동되어 연결관을 냉각시킴으로써, 고체화된 증착물질에 의해 연결관의 내부가 폐쇄되는 것을 특징으로 한다.

Description

연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치{Deposition material supply apparatus which can continuously charged}
본 발명은 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 표면에 박막을 형성하기 위하여 진공챔버 내에 배치된 도가니에 증착물질을 공급하는 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 관한 것이다.
LCD, PDP, OLED와 같이 다층 구조를 갖는 평판 디스플레이를 생산함에 있어, 기판에 박막을 형성하는 증착 공정이 수행된다. 증착에 사용되는 장치로는 열을 이용한 장치와 전자빔을 이용한 장치로 구분되는데, 열을 이용한 장치는 증착물질을 열로 가열하여 증착하는 방법이고, 전자빔을 이용한 장치는 가속된 전자빔이 전달하는 전기에너지가 열에너지로 전환되면서 증착물질을 증발시키는 방식이다.
위의 두 증착 방법은 증착물질이 도가니에 일정량 담겨 있는 상태로 증착 공정이 진행된다. 증착 공정이 진행될수록 도가니에 담긴 증착물질이 증발되어 감소하므로, 증착물질을 도가니에 수시로 재공급해야 한다.
이를 위해, 종래에는 증착 공정을 중지하고, 진공챔버의 진공 상태를 해제한 상태에서 작업자가 직접 도가니에 증착물질을 재충전하였다. 따라서, 작업자의 작업부담이 컸고, 안전문제가 발생할 수 있음은 물론, 증착 공정의 증단에 따른 공정의 수율이 저하되는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1245129호(2013. 03. 25. 등록공고, 발명의 명칭 : 증착 장비의 증착물질 공급장치 및 이를 이용한 증착물질 공급방법)
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 증착 공정의 중단없이 증착물질의 충진을 간단하고 안전하게 할 수 있는 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치는, 고체 상태의 증착물질이 투입되는 투입구와, 상기 증착물질이 배출되는 배출구를 구비하는 저장용기; 상기 저장용기를 가열하여 상기 증착물질을 액화시키는 제1가열부; 상기 저장용기보다 낮은 위치에 배치되고, 하부에 유입구를 구비하며 상부에 증착챔버와 연결된 유출구를 구비하는 도가니; 상기 도가니를 가열하여 상기 증착물질을 기화시키는 제2가열부; 상기 배출구와 상기 유입구를 연결하는 연결관; 및 상기 연결관의 온도를 조절하는 냉온조절부;를 포함하고, 상기 도가니 내부로 상기 증착물질의 충진이 필요한 경우, 상기 제1가열부 및 상기 냉온조절부가 구동되어 상기 연결관이 가열됨으로써, 상기 연결관 내에 있는 증착물질이 액화되어 상기 연결관의 내부가 개방되고, 상기 증착물질이 상기 도가니 내부에 충진되면, 상기 제1가열부는 정지되고 상기 냉온조절부가 구동되어 상기 연결관을 냉각시킴으로써, 고체화된 증착물질에 의해 상기 연결관의 내부가 폐쇄되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 있어서, 상기 유출구와 상기 증착챔버를 연결하는 공급관;을 더 포함하고, 상기 공급관은, 상기 공급관에 결합되어 상기 증착챔버로 공급되는 증착물질의 유량을 측정하는 유량계를 구비하며, 상기 유량계에 측정된 상기 증착물질의 유량에 반비례하여 상기 제2가열부의 가열 세기가 조절될 수 있다.
본 발명에 따른 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 있어서, 상기 도가니에 결합되어 상기 도가니의 하측에 형성된 내압을 측정하는 압력센서를 구비하고, 상기 내압이 일정기준 이상이면, 상기 도가니에 상기 증착물질이 충진된 것으로 판단하여, 상기 제1가열부는 정지되고 상기 냉온조절부는 구동되어 상기 연결관을 냉각시키고, 상기 내압이 일정기준 이하이면, 상기 도가니에 상기 증착물질이 소진된 것으로 판단하여, 상기 제1가열부 및 상기 냉온조절부가 구동되어 상기 저장용기 및 상기 연결관을 가열시키는 제어부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 있어서, 상기 냉온조절부는, 상기 연결관의 외주면 일측에 결합되어 상기 연결관을 가열시키는 히터와, 상기 연결관의 외주면 타측에 결합되어 상기 연결관을 냉각시키는 쿨러와, 상기 히터와 상기 쿨러 사이에 개재되고 상기 연결관의 외주면에 밀착결합되어 상기 연결관 내부의 열을 외부로 발산하는 방열판을 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 있어서, 상기 연결관은, 단면적이 일정하게 유지되는 제1구간과, 상기 제1구간과 연속되고 단면적이 감소되다가 증가하는 제2구간과, 상기 제2구간과 연속되고 단면적이 일정하게 유지되는 제3구간을 구비하고, 상기 연결관 내부에 흐르는 상기 증착물질이 상기 제2구간을 지나면서 상기 증착물질의 유량이 일정비율로 감소된 상태로 상기 도가니에 유입시킬 수 있다.
본 발명에 따른 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 있어서, 상기 저장용기는, 상기 저장용기의 하측으로 갈수록 단면적이 좁아지는 경사부를 구비하고, 상기 제1가열부는, 상기 경사부의 외측에 배치될 수 있다.
본 발명에 따른 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 있어서, 상기 도가니, 상기 제2가열부 및 상기 증착챔버를 내부에 수용하는 진공챔버; 및 상기 저장용기에 결합되어 상기 저장용기의 내부에 진공을 발생시키는 진공펌프;를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 따르면, 증착 공정의 중단없이 증착물질을 도가니에 연속적으로 충진할 수 있다.
또한, 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 따르면, 도가니 내부에 담긴 증착물질의 높이가 급격하게 높아지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 따르면, 증착물질을 용융시키는데 필요한 열 에너지를 절약할 수 있고, 설비 비용도 줄일 수 있다.
또한, 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 따르면, 기존의 개폐밸브의 기능을 대체할 수 있고, 연결관 내부에 있는 증착물질을 용융시키는데 걸리는 시간도 단축할 수 있다.
또한, 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 따르면, 도가니에 증착물질이 충진됐는지 여부를 자동으로 감지하여 보다 효율적으로 증착물질을 공급할 수 있다.
또한, 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 따르면, 저장용기에 담긴 증착물질이 압력차에 의해 도가니 쪽으로 빨려 들어가는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이고,
도 2는 도 1의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 구성된 냉온조절부의 다양한 변형례를 나타낸 도면이고,
도 3은 도 1의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에서 고체화된 증착물질에 의해 연결관의 내부가 폐쇄되는 것을 나타낸 도면이고,
도 4는 도 1의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 구성된 연결관을 확대하여 나타낸 부분확대도이고,
도 5는 도 1의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치의 구성에 진공챔버와 진공펌프가 추가로 구성된 것을 개략적으로 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 구성된 냉온조절부의 다양한 변형례를 나타낸 도면이고, 도 3은 도 1의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에서 고체화된 증착물질에 의해 연결관의 내부가 폐쇄되는 것을 나타낸 도면이고, 도 4는 도 1의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치에 구성된 연결관을 확대하여 나타낸 부분확대도이고, 도 5는 도 1의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치의 구성에 진공챔버와 진공펌프가 추가로 구성된 것을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치(1)는 기판의 표면에 박막을 형성하기 위하여 진공챔버 내에 배치된 도가니에 증착물질을 공급하는 것으로서, 저장용기(100)와, 제1가열부(200)와, 도가니(300)와, 제2가열부(400)와, 연결관(500)과, 냉온조절부(600)를 포함한다.
상기 저장용기(100)는 고체 상태의 증착물질(M)이 투입되는 투입구(110)와, 증착물질(M)이 배출되는 배출구(120)를 구비한다. 증착물질(M)을 저장용기(100) 내에 투입한 후, 저장용기(100) 내에 외부 공기가 유입되지 않도록 투입구(110)에는 마개(미도시)가 결합된다. 저장용기(100)는 몸체부(130)와, 몸체부(130)의 하부에 결합되어 하측으로 갈수록 단면적이 좁아지는 경사부(140)를 구비한 호퍼 형태로 제작된다.
상기 제1가열부(200)는 저장용기(100)를 가열하여 증착물질(M)을 액화시킨다. 제1가열부(200)는 저장용기(100)의 외부를 감싸는 열선 형태로 설치될 수 있고, 인덕션과 같이 자기장에 의한 유도전류를 이용해 저장용기(100)를 가열할 수도 있으며, 이외에 다양한 공지기술을 이용하여 저장용기(100)를 가열할 수 있다. 제1가열부(200)는 저장용기(100)를 증착물질(M)의 액화점과 기화점 사이의 온도범위에서 가열하여 저장용기(100)에 담긴 고체 상태의 증착물질(M)을 액체 상태로 용융시킨다.
제1가열부(200)는 저장용기(100)의 경사부(140) 외측에 배치하여 저장용기(100)의 일부분만 가열함으로써, 열 에너지를 절약할 수 있고, 제1가열부(200)의 설치 비용도 줄일 수 있다.
상기 도가니(300)는 저장용기(100)보다 낮은 위치에 배치되고, 하부에 유입구(310)를 구비하며 상부에 증착챔버(C, 도 5 참조)와 연결된 유출구(320)를 구비한다.
상기 제2가열부(400)는 도가니(300)를 가열하여 증착물질(M)을 기화시킨다. 제2가열부(400)는 제작의 편의를 위해 제1가열부(200)와 동일한 가열원을 갖는 것이 바람직하고, 증착물질(M)이 증발될 수 있도록 도가니(300)를 가열하게 된다. 도가니(300)에서 증발된 증착물질(M)은 도가니(300)의 유출구(320)를 통해 증착챔버(C)로 배출되고, 기판(S)에 부착되어 박막을 형성한다.
상기 연결관(500)은 도가니(300)의 유입구(310)와 저장용기(100)의 배출구(120)를 서로 연결시키며, 제1가열부(200)에 의해 녹은 증착물질(M)이 중력에 의해 연결관(500)을 따라 도가니(300) 내부로 유입된다.
연결관(500)은 도 4에 도시된 바와 같이 단면적이 일정하게 유지되는 제1구간(L1)과, 제1구간(L1)과 연속되고 단면적이 감소되다가 증가하는 제2구간(L2)과, 제2구간(L2)과 연속되고 단면적이 일정하게 유지되는 제3구간(L3)을 구비한다. 연결관(500) 내부에 흐르는 증착물질(M)이 제2구간(L2)을 지나면서 증착물질(M)의 유량이 일정비율로 감소된 상태로 도가니(300)에 유입된다. 이는 도가니(300)에 유입되는 증착물질(M)의 양을 적게 하여 도가니(300) 내부에 담긴 증착물질(M)의 높이가 급격하게 높아지는 것을 방지하기 위함으로, 증착물질(M)의 유량이 필요 이상으로 클 경우, 증착물질(M)을 도가니(300)에 정확한 양으로 충진시키기 어렵게 된다. 제2구간(L2)의 단면적 조절은 유량조절밸브(미도시)로도 할 수 있다.
상기 냉온조절부(600)는 연결관(500)의 온도를 조절한다. 냉온조절부(600)는 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이 연결관(500)의 외주면 일측에 결합되어 연결관(500)을 가열시키는 히터(610)와, 연결관(500)의 외주면 타측에 결합되어 연결관(500)을 냉각시키는 쿨러(620)와, 히터(610)와 쿨러(620) 사이에 개재되고 연결관(500)의 외주면에 밀착결합되어 연결관(500) 내부의 열을 외부로 발산하는 방열판(630)을 구비한다.
냉온조절부(600)는 다양한 형태로 변형될 수 있다. 도 2를 참조하면, (b)에 도시된 바와 같이 연결관(500)의 둘레에 나선 형태로 감긴 유로에 냉수와 온수를 교대로 흘려보내는 방식으로 히터(610)와 쿨러(620)가 일체로 구비되고, 히터(610)와 쿨러(620) 사이에 방열판(630)이 나선 형태로 감긴 형태로 냉온조절부(600)가 구성될 수 있다. 또한, (c)에 도시된 바와 같이 열선으로 구성된 히터(610)가 연결관(500)의 둘레에 감겨 결합되고, 히터(610)의 외측에 방열판(630)이 결합되며, 방열판(630)의 양단부에 쿨러(620)가 각각 결합되어 구성될 수 있다. 또한, (d)에 도시된 바와 같이 열선으로 구성된 히터(610)가 연결관(500)의 둘레에 감겨 결합되고, 히터(610)의 외측에 방열판(630)이 결합되며, 히터(610)와 방열판(630)을 수용하는 함체 형태의 쿨러(620) 내부에 냉매를 흘려보내는 방식으로 냉온조절부(600)를 구성할 수도 있다.
이러한 냉온조절부(600)는 제1가열부(200)와 함께 다음과 같이 구동되어 필요에 따라 증착물질(M)을 도가니(300)에 공급하거나, 공급을 차단하게 된다.
도 1을 참조하면, 도가니(300)에 담긴 증착물질(M)의 양이 줄어들어 도가니(300) 내부로 증착물질(M)의 충진이 필요한 경우, 제1가열부(200) 및 냉온조절부(600)가 구동되어 저장용기(100) 및 연결관(500) 내에 있는 증착물질(M)이 액화되며, 증착물질(M)이 중력에 의해 도가니(300)에 충전된다. 증착물질(M)이 도가니(300) 내부에 충진되면, 제1가열부(200)는 정지되고 냉온조절부(600)가 구동되어 연결관(500)을 냉각시켜, 도 3에 도시된 바와 같이 연결관(500) 내부에 흐르는 액상의 증착물질(M1)이 굳어 고체화됨으로써, 고체화된 증착물질(M2)에 의해 연결관(500)의 내부가 폐쇄된다.
즉, 별도의 기계식 개폐밸브에 의해 연결관(500)이 개폐되는 것이 아니고, 연결관(500) 내부에 흐르는 증착물질(M)의 상 변화를 이용하여 연결관(500)을 개폐하는 원리로서, 증착 공정의 중단없이 증착물질(M)을 도가니(300)에 연속적으로 충진할 수 있게 된다.
더불어 본 발명은 냉온조절부(600)를 통해 종래의 개폐밸브의 기능을 대체할 수 있고, 연결관(500)을 미리 가열함으로써, 연결관(500) 내부에 있는 증착물질(M)을 용융시키는데 걸리는 시간도 단축할 수 있다. 만약, 냉온조절부(600)가 없다면, 제1가열부(200)에서 공급된 열이 연결관(500)을 타고 전도되어 고체 상태로 있는 증착물질(M)이 녹을 때까지 기다릴 수 밖에 없으므로, 그만큼 증착 공정이 지연될 수 밖에 없다.
한편, 도가니(300)의 하측에는, 도 1에 도시된 바와 같이 도가니(300)의 하측에 형성된 내압을 측정하는 압력센서(330)가 결합되고, 압력센서(330)로부터 신호를 입력받아 미리 설정된 동작조건에 따라 제어신호를 출력하는 제어부(950)를 더 포함할 수 있다.
제어부(950)는 도가니(300)의 하측에 형성된 내압이 일정기준 이상이면, 도가니(300)에 증착물질(M)이 충진된 것으로 판단하여, 제1가열부(200)는 정지되고 냉온조절부(600)는 구동되어 연결관(500)을 냉각시키고, 내압이 일정기준 이하이면, 도가니(300)에 있는 증착물질(M)이 소진된 것으로 판단하여, 제1가열부(200) 및 냉온조절부(600)가 구동되어 저장용기(100) 및 연결관(500)을 가열시킨다. 이를 통해 도가니(300)에 증착물질(M)이 충진됐는지 여부를 자동으로 감지하여 제1가열부(200) 및 냉온조절부(600)를 제어할 수 있게 된다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치(1)는 도가니(300)의 유출구(320)와 증착챔버(C)를 연결하는 공급관(700)을 더 포함할 수 있는데, 공급관(700)에는 증착챔버(C)로 공급되는 증착물질(M)의 유량을 측정할 수 있는 유량계(710)가 결합되며, 유량계(710)에서 측정된 증착물질(M)의 유량값이 제어부(950)에 입력되고, 제어부(950)는 유량값에 반비례하여 제2가열부(400)의 가열 세기를 조절한다. 이를 통해 도가니(300)에서 증착물질(M)의 기화량을 일정하게 유지시킬 수 있다.
본 발명은 진공챔버(800)와 진공펌프(900)를 더 포함할 수 있다. 도 5를 참조하면, 진공챔버(800)는 도가니(300), 제2가열부(400), 공급관(700) 및 증착챔버(C)를 내부에 수용하고, 진공펌프(900)는 저장용기(100)에 결합되어 저장용기(100)의 내부에 진공을 발생시킨다. 진공챔버(800)는 도가니(300), 제2가열부(400), 공급관(700) 및 증착챔버(C)가 외부 공기와 온도로부터 영향을 받지 않도록 차단하기 위함이고, 진공펌프(900)는 저장용기(100)의 내부압력과 진공챔버(800)의 내부압력을 대등하게 하여, 저장용기(100)에 담긴 증착물질(M)이 압력차에 의해 도가니(300) 쪽으로 빨려 들어가는 것을 방지하기 위함이다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치는, 연결관 내부에 흐르는 증착물질의 상 변화를 이용하여 연결관을 개폐함으로써, 증착 공정의 중단없이 증착물질을 도가니에 연속적으로 충진할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치는, 도가니에 유입되는 증착물질의 양을 작게 하여 도가니 내부에 담긴 증착물질의 높이가 급격하게 높아지는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치는, 저장용기의 일부분만 가열함으로써, 열 에너지를 절약할 수 있고, 설비 비용도 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치는, 냉온조절부를 통해 기존의 개폐밸브의 기능을 대체할 수 있고, 연결관을 가열함으로써, 연결관 내부에 있는 증착물질을 용융시키는데 걸리는 시간도 단축할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치는, 도가니에 증착물질이 충진됐는지 여부를 자동으로 감지하여 제1가열부 및 냉온조절부를 제어함으로써, 보다 효율적으로 증착물질을 공급할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치는, 진공펌프를 통해 저장용기에 담긴 증착물질이 압력차에 의해 도가니 쪽으로 빨려 들어가는 것을 방지할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
1 : 본 발명의 일 실시예에 따른 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치
100 : 저장용기
200 : 제1가열부
300 : 도가니
400 : 제2가열부
500 : 연결관
600 : 냉온조절부
700 : 공급관
800 : 진공챔버
900 : 진공펌프

Claims (7)

  1. 고체 상태의 증착물질이 투입되는 투입구와, 상기 증착물질이 배출되는 배출구를 구비하는 저장용기;
    상기 저장용기를 가열하여 상기 증착물질을 액화시키는 제1가열부;
    상기 저장용기보다 낮은 위치에 배치되고, 하부에 유입구를 구비하며 상부에 증착챔버와 연결된 유출구를 구비하는 도가니;
    상기 도가니를 가열하여 상기 증착물질을 기화시키는 제2가열부;
    상기 배출구와 상기 유입구를 연결하는 연결관; 및
    상기 연결관의 온도를 조절하는 냉온조절부;를 포함하고,
    상기 도가니 내부로 상기 증착물질의 충진이 필요한 경우, 상기 제1가열부 및 상기 냉온조절부가 구동되어 상기 연결관이 가열됨으로써, 상기 연결관 내에 있는 증착물질이 액화되어 상기 연결관의 내부가 개방되고,
    상기 증착물질이 상기 도가니 내부에 충진되면, 상기 제1가열부는 정지되고 상기 냉온조절부가 구동되어 상기 연결관을 냉각시킴으로써, 고체화된 증착물질에 의해 상기 연결관의 내부가 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유출구와 상기 증착챔버를 연결하는 공급관;을 더 포함하고,
    상기 공급관은,
    상기 공급관에 결합되어 상기 증착챔버로 공급되는 증착물질의 유량을 측정하는 유량계를 구비하며,
    상기 유량계에 측정된 상기 증착물질의 유량에 반비례하여 상기 제2가열부의 가열 세기가 조절되는 것을 특징으로 하는 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 도가니는,
    상기 도가니에 결합되어 상기 도가니의 하측에 형성된 내압을 측정하는 압력센서를 구비하고,
    상기 내압이 일정기준 이상이면, 상기 도가니에 상기 증착물질이 충진된 것으로 판단하여, 상기 제1가열부는 정지되고 상기 냉온조절부는 구동되어 상기 연결관을 냉각시키고, 상기 내압이 일정기준 이하이면, 상기 도가니에 상기 증착물질이 소진된 것으로 판단하여, 상기 제1가열부 및 상기 냉온조절부가 구동되어 상기 저장용기 및 상기 연결관을 가열시키는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 냉온조절부는,
    상기 연결관의 외주면 일측에 결합되어 상기 연결관을 가열시키는 히터와, 상기 연결관의 외주면 타측에 결합되어 상기 연결관을 냉각시키는 쿨러와, 상기 히터와 상기 쿨러 사이에 개재되고 상기 연결관의 외주면에 밀착결합되어 상기 연결관 내부의 열을 외부로 발산하는 방열판을 구비하는 것을 특징으로 하는 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 연결관은,
    단면적이 일정하게 유지되는 제1구간과, 상기 제1구간과 연속되고 단면적이 감소되다가 증가하는 제2구간과, 상기 제2구간과 연속되고 단면적이 일정하게 유지되는 제3구간을 구비하고,
    상기 연결관 내부에 흐르는 상기 증착물질이 상기 제2구간을 지나면서 상기 증착물질의 유량이 일정비율로 감소된 상태로 상기 도가니에 유입되는 것을 특징으로 하는 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 저장용기는,
    상기 저장용기의 하측으로 갈수록 단면적이 좁아지는 경사부를 구비하고,
    상기 제1가열부는,
    상기 경사부의 외측에 배치되는 것을 특징으로 하는 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도가니, 상기 제2가열부 및 상기 증착챔버를 내부에 수용하는 진공챔버; 및
    상기 저장용기에 결합되어 상기 저장용기의 내부에 진공을 발생시키는 진공펌프;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연속 충진이 가능한 증착물질 공급장치.
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