KR101656341B1 - 레이저 스크라이버 - Google Patents

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KR101656341B1
KR101656341B1 KR1020160031725A KR20160031725A KR101656341B1 KR 101656341 B1 KR101656341 B1 KR 101656341B1 KR 1020160031725 A KR1020160031725 A KR 1020160031725A KR 20160031725 A KR20160031725 A KR 20160031725A KR 101656341 B1 KR101656341 B1 KR 101656341B1
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KR1020160031725A
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조윤기
김흥구
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제너셈(주)
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Abstract

본 발명은 레이저 스크라이버에 관한 것으로, 정렬을 위한 감지홀을 구성하여 웨이퍼셀을 흡착고정하는 흡착수단과, 상기 흡착수단의 회동조절을 통해 웨이퍼셀의 정렬을 이루는 위치보정수단을 구성하여 테이블에 설치되는 전후이동수단; 상기 테이블에 설치되어 흡착수단의 감지홀을 통해 상기 웨이퍼셀이 정렬된 상태를 감지하는 감지수단; 상기 전후이동수단의 상측에 배치되도록 테이블에 설치되어, 정렬된 상태로 전후 이동되는 웨이퍼셀의 표면에 금긋기 가공을 이루는 레이저조사수단;을 포함하여 이루어져, 상기 감지수단의 감지에 따른 위치보정수단의 회동조절을 통해 웨이퍼셀의 배치정렬을 이룬 후, 전후이동수단을 통해 상기 웨이퍼셀을 레이저조사수단의 하측으로 이동배치하여 상기 레이저조사수단을 이용한 금긋기 가공을 이룰 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

레이저 스크라이버 {Laser scriber}

본 발명은 레이저 스크라이버에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 웨이퍼셀의 선 검수와 더불어 자동 배치정렬을 통해 레이저조사수단을 이용한 금긋기 가공에 따른 불량 발생을 막을 수 있을 뿐만 아니라, 금긋기 가공의 자동공정을 통해 생산성 및 편의성을 높일 수 있으며, 흡착수단의 손쉬운 회동제어는 물론, 제작에 따른 비용과 시간의 절감 및 유지보수를 용이하게 이룰 수 있고, 설치높이 조절을 통해 두께가 다른 웨이퍼의 금긋기 가공도 정밀하게 할 수 있는 레이저 스크라이버에 관한 것이다.

최근 태양광 발전에 관련된 산업은 지구환경문제와 미래에너지원의 다원화에 의한 에너지 안보를 강조하면서 일본, 유럽, 미국을 중심으로 세계적인 관심 속에 급속한 속도로 성장을 하고 있는 산업 중 한 분야로써, 해마다 30%이상(최근 수년 내에는 40%이상)의 놀라운 성장률을 보이고 있다. 이러한 배경으로 21세기의 새로운 산업으로 급부상할 것을 예상하고, 범정부 차원의 기술개발과 내수 초기시장 창출을 위한 다양한 보급정책을 추진하고 있다.

이에 따라, 태양광 이용 분야 측면에서도 주택용 및 중대규모 산업용 건물, 공공건물 및 빌딩 등, 건물에 PV 시스템을 적용하기 위한 건물 일체형 태양광발전(BIPV: Building Integrated Photovoltaic) 제조기술 개발이 활발히 진행되고 있으며, 특히, 선진국을 중심으로 건물적용 PV 시스템의 설치사례가 증가하면서, 다양한 건물 적용을 위한 태양전지모듈(PV모듈)에 대한 연구개발이 활발히 추진되고 있다.

태양전지모듈은 일반적으로 유리 상에 유리접합용 에바(EVA: Ethylene-vilylacetate)필름을 부착하고, 상기 에바필름 위에 솔라셀을 위치시키고, 상기 솔라셀 위에 에바필름을 부착한 후에 백시트 또는 유리를 적층 형성하여 만들어진다.

그리고, 솔라셀은 다수개의 정렬된 셀스트링(Cell-string)을 버스바(Buss bar)의 전극과 솔더링하여 전기적으로 연결함으로써 만들어지는데, 이와 같은 솔라셀은 자동화된 레이업 장비(Lay-up machine)에 의해 만들어지며, 이 과정에서 셀스트링과 버스바의 솔더링은 사람에 의해 직접 이루어지거나 로봇에 의해 자동으로 이루어 질 수 있다.

또한, 솔라셀의 셀스트링을 위해서는 기본적으로 웨이퍼를 절단하는 작업이 수행되는데, 종래에는 웨이퍼가 너무 잘게 절단되는 것에 의해 작업이 불편하고 오래 걸리는 문제점이 있었으며, 웨이퍼의 정밀하고 균일한 절단이 이루어지지 않아 불량제작이 많은 문제점도 있었다.

한편, 최근 들어서는 웨이퍼의 균일하고 정밀한 절단을 위한 레이저 스크라이버가 개발되고 있으며, 이러한 종래의 레이저 스크라이버는 등록특허공보 제10-1096599호를 통해 확인할 수 있다.

대한민국등록특허공보 제10-1096599호 (2011.12.14.) "레이저 스크라이버" - 에버테크노 주식회사

그러나, 전술한 종래의 "레이저 스크라이버"는 스크라이버할 태양전지판의 선 검사를 이룰 수 없어 별도의 선 검사를 실시해야 하는 불편함이 있었을 뿐만 아니라, 테양전자판을 정렬시키기 위한 조절기구가 다방향에 다수로 설치되는 것에 의해 구조가 복잡함은 물론, 제작이 어려워 제작비용이 증대됨과 더불어, 유지보수가 어려운 문제점이 있었다.

또한, 웨이퍼의 사이즈에 따라 다수로 구성된 레이저 광학헤드의 위치를 변경배치하여 사용해야 하는 불편함이 있었고, 상기 웨이퍼를 지지하는 로딩트레이에 승강수단이 미구비된 것으로 인해 두께가 다른 웨이퍼에는 스크라이빙이 원활히 이루어지지 못하는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은 배치검수수단을 통해 웨이퍼셀의 불량을 선 검수할 수 있을 뿐만 아니라, 위치보정수단 및 감지수단을 통해 흡착고정된 웨이퍼셀의 배치정렬을 자동으로 이룰 수 있어 레이저조사수단을 이용한 금긋기 가공시 불량 발생을 막을 수 있으며, 배치검사수단과 전후이동수단 및 배출로딩수단을 통해 웨이퍼셀의 금긋기 가공 공정을 자동화할 수 있어 생산성 및 편의성이 높아지는 레이저 스크라이버를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명은 위치보정수단이 전후이동수단에 단일 구성된 상태로 흡착수단에 연결되는 것에 의해 흡착수단의 회동제어를 손쉽게 할 수 있음은 물론, 구조가 간단하여 제작에 따른 비용과 시간의 절감을 이룰 수 있고, 유지보수가 용이한 레이저 스크라이버를 제공하는데 목적이 있다.

또한, 본 발명은 높이조절수단을 통해 위치보정수단의 설치높이를 변경하여 흡착수단에 흡착고정된 웨이퍼셀의 설치 높이를 가변시킬 수 있도록 함으로써 두께가 다른 웨이퍼에도 금긋기 가공을 정밀하게 할 수 있는 레이저 스크라이버를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 정렬을 위한 감지홀을 구성하여 웨이퍼셀을 흡착고정하는 흡착수단과, 상기 흡착수단의 회동조절을 통해 웨이퍼셀의 정렬을 이루는 위치보정수단을 구성하여 테이블에 설치되는 전후이동수단; 상기 테이블에 설치되어 흡착수단의 감지홀을 통해 상기 웨이퍼셀이 정렬된 상태를 감지하는 감지수단; 상기 전후이동수단의 상측에 배치되도록 테이블에 설치되어, 정렬된 상태로 전후 이동되는 웨이퍼셀의 표면에 금긋기 가공을 이루는 레이저조사수단;을 포함하여 이루어져, 상기 감지수단의 감지에 따른 위치보정수단의 회동조절을 통해 웨이퍼셀의 배치정렬을 이룬 후, 전후이동수단을 통해 상기 웨이퍼셀을 레이저조사수단의 하측으로 이동배치하여 상기 레이저조사수단을 이용한 금긋기 가공을 이룰 수 있는 것에 특징이 있는 레이저 스크라이버를 제공한다.

본 발명의 레이저 스크라이버를 이용하면, 배치검수수단을 통해 웨이퍼셀의 불량을 선 검수할 수 있을 뿐만 아니라, 위치보정수단 및 감지수단을 통해 흡착고정된 웨이퍼셀의 배치정렬을 자동으로 이룰 수 있어 레이저조사수단을 이용한 금긋기 가공시 불량 발생을 막을 수 있으며, 배치검사수단과 전후이동수단 및 배출로딩수단을 통해 웨이퍼셀의 금긋기 가공 공정을 자동화할 수 있어 생산성 및 편의성이 높아지는 장점이 있다.

또한, 본 발명은 위치보정수단이 전후이동수단에 단일 구성된 상태로 흡착수단에 연결되는 것에 의해 흡착수단의 회동제어를 손쉽게 할 수 있음은 물론, 구조가 간단하여 제작에 따른 비용과 시간의 절감을 이룰 수 있고, 유지보수가 용이한 장점이 있다.

또한, 본 발명은 높이조절수단을 통해 위치보정수단의 설치높이를 변경하여 흡착수단에 흡착고정된 웨이퍼셀의 설치 높이를 가변시킬 수 있으므로 두께가 다른 웨이퍼에도 금긋기 가공을 정밀하게 할 수 있는 유용한 발명이다.

도 1은 본 발명의 레이저 스크라이버를 도시한 확대도.
도 2는 본 발명의 레이저 스크라이버를 도시한 정면도.
도 3은 본 발명의 전후이동수단을 도시한 사시도.
도 4는 본 발명의 흡착수단과 위치보정수단과 높이조절수단이 결합된 상태를 도시한 사시도.
도 5는 본 발명의 흡착수단과 위치보정수단과 높이조절수단이 부분 분리된 상태를 도시한 사시도.
도 6은 본 발명의 감지수단 및 위치보정수단을 통해 흡착수단이 회동조절되는 상태를 도시한 평면도.
도 7은 본 발명의 배치검수수단과 배출로딩수단이 구비된 레이저 스크라이버를 도시한 사시도.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 구성을 살펴보면 다음과 같다.

본 발명은 도 1 내지 도 7에 도시된 바와 같이 웨이퍼셀(1)의 절단을 위하여 상기 웨이퍼셀(1)의 상면에 금긋기 가공을 하는 레이저 스크라이버(100)에 관한 것으로, 정렬을 위한 감지홀(111)을 구성하여 웨이퍼셀(1)을 흡착고정하는 흡착수단(110)과, 상기 흡착수단(110)의 회동조절을 통해 웨이퍼셀(1)의 정렬을 이루는 위치보정수단(120)을 구성하여 테이블(10)에 설치되는 전후이동수단(140); 상기 테이블(10)에 설치되어 흡착수단(110)의 감지홀(111)을 통해 상기 웨이퍼셀(1)이 정렬된 상태를 감지하는 감지수단(150); 상기 전후이동수단(140)의 상측에 배치되도록 테이블(10)에 설치되어, 정렬된 상태로 전후 이동되는 웨이퍼셀(1)의 표면에 금긋기 가공을 이루는 레이저조사수단(160);으로 이루어져, 상기 감지수단(150)의 감지에 따른 위치보정수단(120)의 회동조절을 통해 웨이퍼셀(1)의 배치정렬을 이룬 후, 전후이동수단(140)을 통해 상기 웨이퍼셀(1)을 레이저조사수단(160)의 하측으로 이동배치하여 상기 레이저조사수단(160)을 이용한 금긋기 가공을 이룰 수 있는 것을 특징으로 한다.

이하에서는 전후이동수단(140)과, 감지수단(150)과, 레이저조사수단(160)으로 이루어진 본 발명에 대해 보다 상세히 설명한다.

먼저, 전후이동수단(140)은 흡착수단(110)에 고정설치된 웨이퍼셀(1)의 금긋기 가공 및 이동배치를 위해 상기 흡착수단(110)을 전후방향으로 시키는 수단으로, 공지된 통상의 리니어모터 등으로 용이하게 구성할 수 있다.

아울러, 상기 흡착수단(110)은 공지된 바와 같이 통상의 진공장치(미도시)에 연결설치되어 웨이퍼셀(1)을 흡착하는 구성으로, 내부에는 흡기를 위한 흡기통로(미도시)가 구성되고, 상면에는 흡기통로에 연통되는 흡기공(113)이 다수로 형성된다.

그리고, 상기 흡착수단(110)에는 흡착고정된 웨이퍼셀(1)의 정렬을 위한 감지홀(111)이 상하방향으로 관통형성되는 것을 특징으로 하는데, 상기 감지홀(111)은 감지수단(150)을 이용한 감지를 정확히 이루어 위치보정수단(120)을 통한 웨이퍼셀(1)의 정렬이 정확히 이루어질 수 있도록 양측으로 이격되어 복수로 구성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 위치보정수단(120)은 전후이동수단(140)에 설치되어 흡착수단(110)의 회동조절을 이루는 구성으로, 본 발명에서는 상기 위치보정수단(120)이 보정플레이트(121)와, 보정스크류(123)와, 보정이동몸체(125)와, 베어링부(128)와, 회동축(129)로 이루어지는 것을 특징으로 하며, 이하에서 보다 상세히 설명한다.

첫째, 위치보정수단(120)의 보정플레이트(121)는 전후이동수단(140)의 상부에 배치되는 구성으로, 상기 전후이동수단(140)의 작동에 따라 전후방향으로 왕복이동되며, 이를 통해, 흡착수단(110)에 흡착고정된 웨이퍼셀(1)의 전후방향 이동을 이루는 작용을 한다.

둘째, 보정스크류(123)는 통상의 브라켓을 통해 보정플레이트(121)에 연결설치되어 보정모터(122)의 구동에 따라 회전작동하는 구성으로, 공간 활용을 위하여 상기 보정스크류(123)의 축이 전후방향으로 형성된다.

그리고, 상기 보정모터(122)는 보정스크류(123)에 결합되어 보정스크류(123)를 직접 회전작동시킬 수도 있으나, 공간의 효율적인 활용을 통해 부피를 최적화 할 수 있도록 상기 보정모터(122)는 통상의 브라켓을 통해 보정플레이트(121)의 하부에 연결설치되어 보정스크류(123)와 통상의 밸트풀리로 결합되는 것이 바람직하다.

셋째, 보정이동몸체(125)는 상기 보정스크류(123)에 나사결합되어 보정스크류(123)의 회전작동에 따라 전후방향으로 이송되는 구성으로, 이를 위하여, 상기 보정이동몸체(125)의 하부가 보정플레이트(121)에 전후방향으로 슬라이드결합되며, 이와 같은 슬라이드결합은 보정플레이트(121)와 보정이동몸체(125) 사이에 설치되는 제1리니어베어링(124)으로 이룰 수 있다.

넷째, 베어링부(128)는 위치보정수단의 작동에 따라 회동조절되는 흡착수단(110)의 움직임을 원활하게 보조하는 작용을 하는 구성으로, 상기 보정이동몸체(125)의 상부에 좌우방향으로 슬라이드결합되는 제2리니어베어링(126)과, 일측이 제2리니어베어링(126)에 결합되고 타측이 흡착수단(110)에 결합되는 회동베어링(127)으로 구성된다.

다섯째, 회동축(129)은 상기 보정플레이트(121)의 내부에 베어링결합된 상태로 상부가 흡착수단(110)의 하부에 고정결합되어 흡착수단(110)의 회동중심이 되는 구성이다.

따라서, 상기 위치보정수단(120)에 구성된 보정모터(122)가 구동하여 보정스크류(123)가 회전작동하게 되면, 보정이동몸체(125)가 전후방향으로 이동하게 되고, 상기 보정이동몸체(125)의 전후방향이동 시, 베어링부(128)에 결합된 흡착수단(110)이 회동축(129)을 기준으로 회동조절되게 되므로 상기 흡착수단(110)에 흡착고정된 웨이퍼셀(1)의 정렬을 이룰 수 있다.

그리고, 상기 흡착수단(110)에 회동조절에 따른 움직임은 제2리니어베어링(126)과 회동베어링(127)으로 이루어진 베어링부(128)를 통해 연동되어 보조되어지므로 흡착수단(110)의 원활한 정렬을 이룰 수 있으며, 상기 위치보정수단(120)은 상술한 구성 외에도 공지된 다양한 방법을 적용하여 실시할 수도 있을 것이다.

한편, 상기 흡착수단(110)에는 위치보정수단(120)의 회동조절이 보다 용이하게 이루어지도록 하는 구성이 더 포함되는 것이 바람직한데, 이와 같은 구성은 흡착수단(110)의 양측에 위치보정수단(120)의 보정플레이트(121)에 안착되는 롤러(115)를 추가로 구성하는 것으로 용이하게 이룰 수 있으며, 상기 롤러(115)에 의한 마찰 및 마모 방지를 위하여 롤러(115)가 안착되는 보정플레이트(121)에는 패드(121a)를 추가로 구성하는 것이 더욱 바람직하다.

그리고, 상기 흡착수단(110)의 일측에는 위치보정수단(120)의 보정플레이트와 탄성결합됨으로써 인장력을 통해 흡착수단(110)을 탄성고정토록 하는 탄성체(117)가 더 포함 구성되는 것이 더욱 바람직하며, 이와 같은 탄성체(117)에 의하면, 회동제어되는 흡착수단(110)의 떨림이나 흔들림 등이 방지되므로, 위치보정수단(120)에 의한 회동제어를 정밀하게 할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에서는 웨이퍼셀(1)의 두께 변화에도 적절히 대응하여 금긋기 가공을 정밀하게 할 수 있도록 하는 수단이 더 포함 구성되는 것이 바람직하는데, 이는, 전후이동수단(140)에 구성되어 흡착수단(110)을 포함한 위치보정수단(120)의 높이조절을 이루게 하는 높이조절수단(130)을 상기 전후이동수단(140)과 위치보정수단(120) 사이에 추가 구성하는 것으로 용이하게 이룰 수 있다.

이러한 높이조절수단(130)은 고정플레이트(131)와, 높이조절스크류(133)와, 전후이동몸체(135)와, 제4리니어베어링(136)과, 승강몸체(137)와, 승강가이더(138)로 구성할 수 있으며, 이와 같은 구성은 이하에서 보다 상세히 설명한다.

첫째, 높이조절수단(130)의 고정플레이트(131)는 상기 전후이동수단(140)에 결합되어 전후이동수단(140)의 구동에 따라 전후방향으로 왕복 이동됨으로써 웨이퍼셀(1)을 전후방향으로 이동하게 하는 구성으로, 높이조절수단(130)의 설치를 위한 기본플레이트이다.

둘째, 높이조절스크류(133)은 통상의 브라켓을 통해 고정플레이트(131)에 연결설치되어 높이조절모터(132)의 구동에 따라 회전작동하는 구성으로, 공간활용을 할 수 있음은 물론, 승강가이더(139)와의 연계를 통한 용이한 작동을 위하여 상기 높이조절스크류(133)의 축이 전후방향으로 형성된다.

셋째, 전후이동몸체(135)는 상기 높이조절스크류(133)에 나사결합되어 높이조절스크류(133)의 회전작동에 따라 전후방향으로 이송되는 구성으로, 이를 위하여, 상기 전후이동몸체(135)의 하부가 고정플레이트(131)에 전후방향으로 슬라이드결합된다.

그리고, 이와 같은 전후이동몸체(135)의 슬라이드결합은 고정플레이트(131)와 전후이동몸체(135) 사이에 설치되는 제3리니어베어링(134)으로 이룰 수 있는데, 본 발명에서는 전후이동몸체(135)의 전후이동에 따라 승강몸체(137)가 연동하여 승강작동할 수 있도록 상기 전후이동몸체(135)의 상부에는 제1경사면(135a)이 형성되는 것을 특징으로 한다.

넷째, 제4리니어베어링(136)은 상기 전후이동몸체(135)의 제1경사면(135a)에 슬라이드결합되는 구성으로, 전후이동몸체(135)와 슬라이드결합되는 승강몸체(137)의 연동작동을 위해 구성된다.

다섯째, 승강몸체(137)는 상기 위치보정수단(120)의 하부에 결합설치되어 웨이퍼셀의 설치 높이를 조절하는 구성으로, 제1경사면(135a)에 대응되는 제2경사면(137a)을 하부에 형성하여 제4리니어베어링(136)에 결합되어 진다.

여섯째, 승강가이더(139)는 전후이동몸체(135)의 전후이동시 승강몸체(137)가 승강작동하는 것을 가이드하는 구성으로, 상기 고정플레이트(131)에 고정설치된 상태로 승강몸체(137)의 측면에 슬라이드결합되어 설치된다.

그리고, 상기 승강가이더(139)는 제5리니어베어링(138)을 통해 승강몸체(137)의 측면에 슬라이드결합되는 것이 바람직하며, 한 쌍으로 구성됨으로써 승강몸체(137)의 양측에 상하방향으로 슬라이드결합되는 것이 더욱 바람직하다.

따라서, 상기 높이조절수단(130)에 구성된 높이조절모터(132)가 구동하여 높이조절스크류(133)가 회전작동하게 되면, 전후이동몸체(135)가 전후방향으로 이동하게 되고, 이와 동시에, 제4리니어베어링(136)을 통해 전후이동몸체(135)의 제1경사면에 슬라이드결합된 승강몸체(137)가 승강가이더(139)의 안내를 받으면서 승강작동하게 되며, 이로 인해, 위치보정수단(120)의 높이가 변경되어 흡착수단(110)에 흡착되어 있는 웨이퍼셀(1)의 높이조절이 이루어진다.

아울러, 상기 전후이동수단(140)은 감지수단(150)을 기준으로 하여 양측으로 대칭되게 배치됨으로써 상기 전후이동수단(140)이 전후방향으로 교차되게 하면서 연속작업이 가능하게 할 수도 있는데, 이때에는, 각각의 전후이동수단(140)에 구성되어 서로 대칭되게 구비되는 흡착수단(110)의 높이가 서로 다르게 위치됨으로써 서로 방해가 되는 현상이 없게 제작되어야 할 것이다.

또한, 감지수단(150)은 상기 테이블(10)에 설치되어 흡착수단(110)의 감지홀(111)을 통해 상기 웨이퍼셀(1)이 정렬된 상태를 감지하는 구성으로, 테이블(10)에 설치되는 설치플레이트(151)와, 상기 설치플레이트(151)에 구성되어 흡착수단(110)의 감지홀(111)을 통해 웨이퍼셀(1)의 배열을 검사하는 검사부(153)와, 상기 검사부(153)에 인접설치되어 웨이퍼셀(1)에 빛을 조사하는 조명(155)으로 이루어진다.

또한, 레이저조사수단(160)은 상기 전후이동수단(140)의 상측에 배치되도록 테이블(10)에 설치되어, 정렬된 상태로 전후 이동되는 웨이퍼셀(1)의 표면에 금긋기 가공을 이루는 구성으로, 프로그램 세팅 값에 따라 웨이퍼셀(1)의 원하는 부분에 금긋기 가공을 이룰 수 있도록 되어 있다.

즉, 통상의 웨이퍼셀(1)은 가로 * 세로의 넓이가 160mm * 160mm로 되어 있는데, 레이조조사수단(160)을 이용한 레이저 가공은 한 자리에서 180mm * 180mm까지 가공 작업이 가능하도록 되어 있어, 상기 레이저조사수단(160)의 움직임 없이도 웨이퍼셀(1)의 금긋기 가공을 용이하게 이룰 수 있게 된다.

더불어, 본 발명은 웨이퍼셀(1)의 공급에서부터 배출까지 모든 공정이 자동화 되는 것이 바람직하는데, 이와 같은 구성은 전후이동수단(140)의 전방에 배치되어 웨이퍼셀(1)을 로딩하는 공급로딩수단(11)을 구비한 배치검수사단(15)을 테이블(10)의 전방에 구성하고, 상기 테이블(10)의 후방에는 전후이동수단(140)의 후방에 배치되어 금긋기 가공이 이루어진 웨이퍼셀(1)을 로딩시키는 배출로딩수단(1)이 더 포함 구성되는 것으로 용이하게 이룰 수 있을 것이다.

아울러, 상기 배치검수수단(15)에는 로딩되는 웨이퍼셀(1)의 불량을 선 검사하여 제작되는 완성품에 불량이 생기지 않도록 하는 비전검사장치(12)가 더 포함 구성되는 것이 바람직하며, 이를 위하여, 상기 공급로딩수단(11)과 전후이동수단(140) 사이에는 공급로딩수단(11)을 통해 로딩되는 웨이퍼셀(1)을 회전 이동시켜 비전검사장치(12) 및 흡착수단(110)에 안착시키는 작용을 하는 회전픽커(13)가 더 포함 구성되는 것이 더욱 바람직하다.

그리고, 상기 전후이동수단(140)과 배출로딩수단(17) 사이에는 금긋기 된 웨이퍼셀(1)을 배출이송하는 이동픽커(미도시)가 더 포함 구성되는데, 상기 이동픽커는 웨이퍼셀(1)의 단순 배출을 위한 구성이므로, 회전운동이 아닌 직선 운동하게 제작하는 것이 바람직하며, 상술한 배치검수수단(15)의 회전픽커(13)의 일측에는 불량 웨이퍼셀(1)을 적재하여 한꺼번에 처리할 수 있도록 하는 적재플레이트(14)가 더 포함 구성되는 것이 좋다.

상기와 같은 구성에 따른 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 공급로딩수단(11)을 통해 웨이퍼셀(1)이 로딩되면, 회전픽커(13)가 로딩된 웨이퍼셀(1)을 흡착한 상태로 회전이동시켜 비전검사장치(12)를 통해 비전검사를 이룬다.

이때, 비전검사장치(12)를 통해 불량이 검출된 웨이퍼셀(1)은 회전픽커(13)에 의해 적재플레이트(14)에 안착되어 적재되고, 불량 검출이 안된 정상적인 웨이퍼셀은 회전픽커(13)에 의해 흡착수단에 안착되어 지며, 이후, 흡착수단(110)의 흡기홀(113)에 의한 흡기력을 통해 상기 흡착수단(110)에 안착된 웨이퍼셀(1)이 견고하고 흡착고정된다.

또한, 상기와 같이 흡착고정된 웨이퍼셀(1)은 감지수단(150)의 검사부(153)가 흡착수단(110)의 감지홀(111)을 통해 웨이퍼셀(1)의 위치를 감지하여 위치보정수단(120)을 작동시키는 것으로 배치정렬이 이루어진다.

즉, 웨이퍼셀(1)의 정렬이 올바르지 않을 때에는, 보정모터(122)의 구동에 따라 보정스크류(123)가 회전작동하여 보정이동몸체(125)가 전후방향으로 이동하는 작동이 이루어지고, 이를 통해 베어링부(128)에 결합된 흡착수단(110)이 회동축(129)을 중심으로 회동조절됨과 동시에 베어링부(128)에 의한 연동이 보조되어 진다. 따라서, 상기 흡착수단(110)에 흡착고정된 웨이퍼셀(1)의 정렬이 이루어지는 것이다.

이처럼, 웨이퍼셀(1)의 정렬이 이루어진 다음에는, 전후이동수단(140)의 구동에 따라 흡착수단(110)이 구비된 위치보정수단(120)이 전후방향으로 이동하게 되어 웨이퍼셀(1)이 레이저조사수단(160)의 하부에 위치하게 되며, 이후, 레이저조사수단(160)에 의한 가공을 통해 웨이퍼셀(1)의 표면 금긋기가 완료된다.

그리고, 금긋기가 완료된 웨이퍼셀(1)은 전후이동수단(140)의 이어지는 작동을 통해 후방로 이송된 다음, 이동픽커를 통해 웨이퍼셀(1)을 배출로딩수단(17)으로 배출하는 작업이 이어지며, 이러한 작업의 연속공정을 통해 본 발명의 레이저 스크라이버(100)를 자동화 한다.

한편, 웨이퍼셀(1)의 두께가 다른 것에 금긋기 가공을 할 때에는, 높이조절수단(130)의 조절을 통해 웨이퍼셀(1)의 높이조절을 손쉽게 이룰 수 있으며, 이로 인해, 본 발명에서는 웨이퍼셀(1)의 두께에 관계 없이 금긋기 가공을 정밀하게 할 수 있는 장점이 있게 된다.

1 : 웨이퍼셀
10 : 테이블 11 : 공급로딩수단 12 : 비전검사장치 13 : 회전픽커 14 : 적재플레이트 15 : 배치검수수단 17 : 배출로딩수단
110 : 흡착수단 111 : 감지홀 113 : 흡기홀 115 : 롤러 117 : 탄성체
120 : 위치보정수단 121 : 보정플레이트 121a : 패드 122 : 보정모터 123 : 보정스크류 124 : 제1리니어베어링 125 : 보정이동몸체 126 : 제2리니어베어링 127 : 회동베어링 128 : 베어링부 129 : 회동축
130 : 높이조절수단 131 : 고정플레이트 132 : 높이조절모터 133 : 높이조절스크류 134 : 제3리니어베어링 135 : 전후이동몸체 135a : 제1경사면 136 : 제4리니어베어링 137 : 승강몸체 137a : 제경사면 138 : 제5리니어베어링 139 : 승강가이더
140 : 전후이동수단
150 : 감지수단 151 : 설치플레이트 153 : 검사부 155 : 조명
160 : 레이저조사수단 100 : 레이저 스크라이버

Claims (5)

  1. 정렬을 위한 감지홀(111)을 구성하여 웨이퍼셀(1)을 흡착고정하는 흡착수단(110)과, 상기 흡착수단(110)의 회동조절을 이루게 하여 웨이퍼셀(1)을 정렬시키는 위치보정수단(120)을 구성하여 테이블(10)에 설치되는 전후이동수단(140);
    상기 테이블(10)에 설치되되, 흡착수단(110)의 감지홀(111)을 통해 흡착수단에 흡착고정된 웨이퍼셀(1)의 위치를 확인하여 상기 웨이퍼셀이 정렬된 상태를 감지하는 감지수단(150);
    상기 전후이동수단(140)의 상측에 배치되도록 테이블(10)에 설치되어, 정렬된 상태로 전후 이동되는 웨이퍼셀(1)의 표면에 금긋기 가공을 이루는 레이저조사수단(160);을 포함하여 구성되되,
    상기 위치보정수단(120)은 상기 전후이동수단(140)의 상측에 배치되는 보정플레이트(121)와, 상기 보정플레이트(121)에 연결설치되어 보정모터(122)의 구동에 따라 회전작동하는 보정스크류(123)와, 상기 보정스크류(123)에 나사결합된 상태로 하부가 보정플레이트(121)에 전후방향으로 슬라이드결합되는 제1리니어베어링(124)을 구성한 보정이동몸체(125)와, 상기 보정이동몸체(125)의 상부에 좌우방향으로 슬라이드결합되는 제2리니어베어링(126)과, 일측이 제2리니어베어링(126)에 결합되고 타측이 흡착수단(110)에 결합되는 회동베어링(127)으로 구성되어 상기 흡착수단(110)의 회동조절에 따른 움직임을 보조하는 베어링부(128)와, 상기 보정플레이트(121)의 내부에 베어링결합된 상태로 상부가 흡착수단(110)의 하부에 고정결합되어 흡착수단(110)의 회동중심이 되는 회동축(129)으로 이루어져,
    상기 감지수단(150)의 감지에 따라 작동하는 위치보정수단(120)에 의해 흡착수단(110)의 회동조절을 이루어 웨이퍼셀(1)의 배치 정렬을 이룬 후, 전후이동수단(140)을 통해 상기 웨이퍼셀(1)을 레이저조사수단(160)의 하측으로 이동배치하여 상기 레이저조사수단(160)을 이용한 금긋기 가공을 이룰 수 있는 것에 특징이 있는 레이저 스크라이버.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 흡착수단(110)의 양측에는 흡착수단(110)의 회동조절을 위하여 위치보정수단(120)에 안착되는 롤러(115)가 더 포함 구성되고,
    상기 흡착수단(110)의 일측에는 위치보정수단(120)에 연결되어 인장력을 통해 흡착수단(110)을 탄성고정하는 탄성체(117)가 더 포함 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이버.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 전후이동수단(140)에는,
    전후이동수단(140)에 결합되는 고정플레이트(131);
    상기 고정플레이트(131)에 결합설치되는 높이조절모터(132)에 의해 회동작동하는 높이조절스크류(133);
    상기 높이조절스크류(133)에 나사결합된 상태로 하부가 고정플레이트(131)에 전후방향으로 슬라이드결합되는 제3리니어베어링(134)을 구성하며, 상부에는 제1경사면(135a)을 형성하는 전후이동몸체(135);
    상기 전후이동몸체(135)의 제1경사면(135a)에 슬라이드결합되는 제4리니어베어링(136);
    상기 위치보정수단(120)의 하부에 결합설치되되, 제1경사면(135a)에 대응되는 제2경사면(137a)을 하부에 형성하여 제4리니어베어링(136)에 결합되는 승강몸체(137);
    상기 고정플레이트(131)에 설치되어 제5리니어베어링(138)을 통해 승강몸체(137)의 양측에 상하방향으로 슬라이드결합되는 승강가이더(139);로 이루어져,
    상기 위치보정수단(120)의 높이를 조절하는 높이조절수단(130)이 더 포함 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이버.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 테이블(10)의 전방에는 전후이동수단(140)의 전방에 배치되어 웨이퍼셀(1)을 로딩하는 공급로딩수단(11)과, 로딩된 웨이퍼셀(1)을 비전검사하는 비전검사장치(12)와, 로딩 및 비전검사된 웨이퍼셀(1)을 이동배치하는 회전픽커(13)로 이루어진 배치검수수단(15)이 더 포함 구성되고,
    상기 테이블(10)의 후방에는 전후이동수단(140)의 후방에 배치되어 금긋기 가공이 이루어진 웨이퍼셀(1)을 이동픽커를 통해 공급받아 로딩시키는 배출로딩수단(17)이 더 포함 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이버.
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